KR19990080393A - 진공 챔버 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 챔버 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 관련 산업에 이용되는 진공 증착기 등의 진공 챔버를 제조하는 방법에 관한 것으로, 소정의 직경을 갖는 석영관(20)을 소정의 길이로 절단하여, 그 일단부를 크라운 형태로 컷팅하는 단계와; 상기한 단계에서 그 일단부가 크라운 형태로 컷팅된 석영관(20)의 크라운 부분에 버너의 화염을 분사하여 용융시키면서 반구 형태로 성형하는 단계와; 반구 형태로 성형된 석영관(20)의 일단부의 결합부(21)를 용융 석영으로 접합하는 단계와; 결합부를 접합한 후에 접합된 부분을 매끄럽게 가공하는 단계로 이루어져, 보다 경제적으로 제조할 수 있으면서, 챔버의 직경을 크게 할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

진공 챔버 제조 방법

본 발명은 진공 챔버 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 관련 산업에 이용되는 진공 증착기 등의 진공 챔버를 제조하는 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 산업에서 이용되는 진공 챔버는 고온, 고압에 견딜 수 있는 소재인 석영(quartz, SiO₂)을 많이 이용하여, 진공 증착기 등의 장비를 구성한다.

그런데, 진공 챔버는 그 이용 회수가 많아지면 그 내벽에 증착 소재가 증착되어, 내부를 확인할 수 없을 뿐만 아니라, 다른 금속을 증착할 때에는 불순물로 작용하기 때문에 자주 새로운 것으로 교환해 주어야 하고, 또한 그 소재가 석영이기 때문에 취급 부주의로 인하여 쉽게 파손되는 문제점이 있었다.

따라서, 가격인 고가인 진공 챔버를 자주 교환해야 하는 상황은 생산성을 저하시키는 요인으로 작용하였다.

한편, 이러한 진공 챔버를 제조하는 종래의 제조 방법은 도 1에 나타낸 바와 같이, 석영관(2)의 일단 또는 양단을 고정척(1)에 고정시켜 회전시키면서 어느 한 부분에 버너(30)의 화염을 분사하여, 용융시키면서 반구 형태로 모양을 성형하였다.

따라서, 종래의 방법으로 진공 챔버를 제조하면 진공 챔버의 직경 크기를 현실적으로 350mm 정도의 크기까지밖에 제조할 수 없는 문제점이 있었다.

그리고, 석영관(2)의 일단 또는 양단을 고정척(1)에 고정시키고, 제조해야 하기 때문에 석영관이 일부 손실되어 경제적인 낭비가 따르는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 진공 챔버의 제조 방법을 개선하여, 보다 큰 직경이면서 생산성이 뛰어난 진공 챔버 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위하여, 진공 챔버를 제조하는 방법에 있어서, 소정의 직경을 갖는 석영관을 소정의 길이로 절단하여, 그 일단부를 크라운 형태로 컷팅하는 단계와; 상기한 단계에서 그 일단부가 크라운 형태로 컷팅된 석영관의 크라운 부분에 버너의 화염을 분사하여 용융시키면서 반구 형태로 성형하는 단계와; 반구 형태로 성형된 석영관의 일단부의 결합부를 용융 석영으로 접합하는 단계와; 결합부를 접합한 후에 접합된 부분을 매끄럽게 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버 제조 방법을 제공한다.

도 1은 종래의 진공 챔버 제조 방법을 설명하기 위한 간략한 설명도,

도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법에 제조된 진공 챔버를 나타낸 정면도 및 평면도,

도 3∼5는 본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법을 설명하기 위한 설명도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

10 : 진공 챔버 20 : 석영관

21 : 결합부 30 : 챔버 금형

40 : 버너

본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법에 대하여 본 발명의 일 실시예를 통하여 상세하게 설명한다.

첨부한 도면, 도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법에 제조된 진공 챔버를 나타낸 정면도 및 평면도이고, 도 3∼5는 본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법을 설명하기 위한 설명도이다.

본 발명에 따른 진공 챔버 제조 방법에 따라서 제조된 도 2의 진공 챔버(10)를 제조하는 과정은 도 3∼5에 나타낸 바와 같다.

진공 챔버 제조 방법은 먼저, 소정의 직경을 갖는 석영관(20)을 적당한 길이로 절단한 후에, 그 일단을 크라운 형태 즉, 다수의 쐐기 형태로 컷팅한다.

그리고, 진공 챔버(10)의 형태와 같은 챔버 금형(30)을 미리 준비한다.

이 챔버 금형(30)은 고온에서도 그 형태가 변형되지 않는 소재이어야 하는데, 그래파이트(graphite, 흑연)가 적당한 소재이다.

이 석영은 용융 온도가 약 1800℃이며, 이 온도를 유지하기 위하여 버너의 연료로써 열량이 높은 수소(H₂)를 많이 이용한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 챔버 금형(30)에 석영관(20)을 끼우고, 버너(40)를 이용하여 석영관의 쐐기 부분에 열을 가하여 챔버 금형(30)의 형태와 같게 절곡시킨다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 반구 형태로 절곡된 석영관(20)의 결합부(21)를 결합시키기 위하여, 용융 석영을 이용하여 접합시킨다.

그리고, 결합부(21)를 접합시키기 위하여 용융 석영을 이용하여 용접하면 돌출 부위가 발생하는데, 이 돌출 부위를 절삭하여 제거한다.

상기한 바와 같은 방법으로 진공 챔버를 제조하면, 보다 경제적으로 제조할 수 있으면서, 챔버의 직경을 크게 할 수 있으며, 동일한 품질의 챔버를 제조할 수 있는 효과를 제공한다.

Claims (1)

1. 진공 챔버(10)를 제조하는 방법에 있어서,

   소정의 직경을 갖는 석영관(20)을 소정의 길이로 절단하여, 그 일단부를 크라운 형태로 컷팅하는 단계와; 상기한 단계에서 그 일단부가 크라운 형태로 컷팅된 석영관(20)의 크라운 부분에 버너의 화염을 분사하여 용융시키면서 반구 형태로 성형하는 단계와; 반구 형태로 성형된 석영관(20)의 일단부의 결합부(21)를 용융 석영으로 접합하는 단계와; 결합부를 접합한 후에 접합된 부분을 매끄럽게 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버 제조 방법.