KR19990062211A - 반도체 장치의 테스트 시스템 - Google Patents

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KR19990062211A
KR19990062211A KR1019970082522A KR19970082522A KR19990062211A KR 19990062211 A KR19990062211 A KR 19990062211A KR 1019970082522 A KR1019970082522 A KR 1019970082522A KR 19970082522 A KR19970082522 A KR 19970082522A KR 19990062211 A KR19990062211 A KR 19990062211A
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KR1019970082522A
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이운복
이경동
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

반도체 장치의 테스트 시스템에 관하여 개시한다. 본 발명의 반도체 장치의 테스트 시스템은 소정의 신호를 발생시키기 위한 하나의 드라이버를 구비한 입력부와, 상기 하나의 드라이버에 대하여 복수개 연결되며 각 테스트 대상물에 상기 드라이버의 신호를 전달하기 위한 스위치를 구비한 제어부 및 상기 드라이버의 신호에 대하여 상기 테스트 대상물 외부로 출력되는 결과를 감지하여 비교하기 위한 비교부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 있어서 상기 제어부의 스위치는 측정하고자 하는 테스트 대상물에 대하여 선택적으로 온/오프할 수 있는 릴레이 스위치로 이루어지는 것이 바람직하다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 반도체 메모리 칩 등의 기능 또는 전압 및 전류를 테스트함에 있어서 테스터 입력부내의 하나의 드라이버에 의한 신호만으로도 복수개의 칩의 기능을 동시에 테스트할 수가 있으며, 테스터 입력부내의 드라이버 수를 감소시킴으로써 테스터의 전체 부피를 줄일 수 있고 제조비용의 절감효과도 기대할 수가 있다.

Description

반도체 장치의 테스트 시스템
본 발명은 반도체 장치의 테스트 시스템에 관한 것으로, 특히 테스터(tester) 입력부의 하나의 드라이버(driver) 신호만으로 다수의 반도체 메모리 칩 등의 기능을 동시에 테스트할 수 있도록 한 반도체 장치의 테스트 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 메모리 칩 등의 반도체 장치를 제조한 후에는 이러한 반도체 장치가 고(go) 상태에 있는지 아니면 노-고(no-go) 상태에 있는지를 결정하거나, 오(誤)기능의 원인이나 위치를 조사하기 위하여 테스트를 하고 그 결과를 분석(test analysis)하게 된다.
반도체 메모리 칩 등의 반도체 장치를 테스트하기 위한 테스터는 통상 각 메모리 칩에 가할 소정의 신호를 발생시키는 드라이버와, 이러한 드라이버의 신호에 대하여 메모리 칩 외부로 출력되는 결과를 감지하여 비교하는 비교기(comparator)를 구비하고 있다. 또한, 실제로 다수의 메모리 칩의 기능을 테스트하는 경우에는 이들 다수의 칩들을 동시에 테스트한다.
한편 이렇게 다수의 메모리 칩들을 동시에 테스트함에 있어서 사용되는 테스터는 테스트할 칩의 개수 만큼의 드라이버를 구비하고 있다.
이를 보다 알기 쉽게 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 반도체 장치의 테스트 시스템을 설명하기 위한 개략도이다. 도 1에 의하면, 8개의 칩(20)을 동시에 테스트하는 경우에 있어 CHIP1에서 CHIP8까지의 칩내에 동일한 역할을 하는 각 핀(A0)에 동일한 신호(S0)를 가하기 위해 테스터의 입력부(10')내에 이에 대응하는 D1∼D8의 8개의 드라이버(11')가 구비되도록 테스트 시스템이 설계되어 있다.
즉 종래의 반도체 장치의 테스트 시스템은 각각의 칩내에 동일한 역할을 하는 핀(pin)들에는 실제로 동일한 신호가 가해짐에도 불구하고, 이와 같이 다수의 칩을 동시에 테스트하기 위하여 그와 동일한 수의 드라이버를 구비함으로써 테스터의 부피가 불필요하게 커지고 이에 따라 제조비용도 많이 든다는 문제점을 안고 있었다.
따라서, 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로 본 발명의 목적은 테스터 입력부내의 하나의 드라이버에 의한 신호만으로도 복수개의 테스트 대상물의 기능을 동시에 테스트할 수 있는 반도체 장치의 테스트 시스템을 제공하는 데 있다.
도 1은 종래의 반도체 장치의 테스트 시스템을 설명하기 위한 개략도이고,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 장치의 테스트 시스템을 설명하기 위한 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 입력부 11 : 드라이버
20 : 반도체 칩 30 : 제어부
31 : 릴레이 스위치
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 장치의 테스트 시스템은 소정의 신호를 발생시키기 위한 하나의 드라이버를 구비한 입력부와;
상기 하나의 드라이버에 대하여 복수개 연결되며 각 테스트 대상물에 상기 드라이버의 신호를 전달하기 위한 스위치를 구비한 제어부와; 및
상기 드라이버의 신호에 대하여 상기 테스트 대상물 외부로 출력되는 결과를 감지하여 비교하기 위한 비교부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서 상기 제어부의 스위치는 릴레이 스위치로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서 상기 릴레이 스위치는 측정하고자 하는 테스트 대상물에 대하여 선택적으로 온/오프되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서 상기 테스트 대상물에 전달되는 상기 드라이버의 신호로는 전압 또는 전류가 될 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 장치의 테스트 시스템에 의하면, 테스터 입력부내의 하나의 드라이버에 의한 신호만으로도 복수개의 테스트 대상물의 기능을 동시에 테스트할 수가 있다.
본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 장치의 테스트 시스템을 설명하기 위한 개략도이다. 여기서는 혼동을 피하기 위해 종래의 기술에 대한 도 1에서와 동일 또는 유사한 구성에 대하여 동일 또는 유사한 부호를 사용하였다.
도 2에 의하면, 종래의 경우와 같이 8개의 칩(20)을 동시에 테스트하는 경우에 있어서 CHIP1에서 CHIP8까지의 칩내에 동일한 역할을 하는 각 핀(A0)에 동일한 신호(S0)를 가하기 위해서 종래와는 달리 테스터의 입력부(10)내에 D1하나의 드라이버(11)만을 사용하였다. 테스트의 대상이 되는 8개의 각 반도체 칩(20)에 드라이버(11)에서 발생시킨 신호(S0)를 전달하기 위해서 상기한 하나의 드라이버(11)에 R1에서 R8의 8개의 릴레이 스위치(31)를 연결하여 제어부(30)를 구성하였다.
따라서 상기한 본 발명의 구성에 따르면, 테스터 입력부(10)내의 하나의 드라이버(11)에서 발생한 동일한 신호(S0)가 상기 제어부(30)의 릴레이 스위치(31)에 의해 각각의 칩(20)의 동일한 역할을 하는 핀(A0)에 가해지며, 이 신호(S0)에 대하여 각 반도체 칩(20) 외부로 출력되는 결과가 미도시된 비교기(comparator)를 구비한 비교부에서 감지되고 또한 비교된다.
각 칩의 전압 또는 전류를 선택적으로 측정하기 위하여는 측정하고자 하는 칩에 대응하는 릴레이 스위치를 선택적으로 온/오프(ON/OFF)하면 되며, 본 실시예에서는 이러한 온/오프 선택의 방법으로 5V의 전압을 가진 릴레이 전원 단자(VR)를 사용하여 5V의 전압을 가하면 릴레이 스위치가 오프(OFF)되고 0V의 전압을 가하면, 즉 전압을 가하지 않으면 릴레이 스위치가 온(ON)이 되도록 하였다.
상기한 본 발명의 실시예에서는 8개의 칩에 대하여 하나의 드라이버를 구비한 테스트 시스템에 관한 것이나, 16개 또는 32개의 칩을 동시에 테스트함에 있어서도 하나의 드라이버를 구비한 테스터를 사용할 수가 있으며, 필요에 따라서는 사용되는 테스터가 하나 이상의 드라이버를 구비할 수도 있다.
한편 지금까지 반도체 칩의 일반적인 기능 테스트에 관하여 설명되었으나, 그밖의 반도체 칩의 양/불량 판정 및 고장 셀(fail cell)의 위치파악 등을 위한 테스트의 경우에는 칩의 입력단과 무관하므로 본 발명에서와 같은 하나의 드라이버를 구비한 테스터의 사용에 문제가 없다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 장치의 테스트 시스템에 의하면, 반도체 메모리 칩 등의 기능 또는 전압 및 전류를 테스트함에 있어서 테스터 입력부내의 하나의 드라이버에 의한 신호만으로도 복수개의 칩의 기능을 동시에 테스트할 수가 있다.
또한 본 발명의 반도체 장치의 테스트 시스템에 의하면, 테스터 입력부내의 드라이버 수를 감소시킴으로써 테스터의 전체 부피를 줄일 수 있으며, 제조비용의 절감효과 또한 기대할 수가 있다.
본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (4)

  1. 소정의 신호를 발생시키기 위한 하나의 드라이버를 구비한 입력부와;
    상기 하나의 드라이버에 대하여 복수개 연결되며 각 테스트 대상물에 상기 드라이버의 신호를 전달하기 위한 스위치를 구비한 제어부와; 및
    상기 드라이버의 신호에 대하여 상기 테스트 대상물 외부로 출력되는 결과를 감지하여 비교하기 위한 비교부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어부의 스위치는 릴레이 스위치인 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 릴레이 스위치는 측정하고자 하는 테스트 대상물에 대하여 선택적으로 온/오프되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 테스트 대상물에 전달되는 상기 드라이버의 신호는 전압 또는 전류인 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 시스템.
KR1019970082522A 1997-12-31 1997-12-31 반도체 장치의 테스트 시스템 KR19990062211A (ko)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000025232A (ko) * 1998-10-09 2000-05-06 김영환 Cdma 시스템에서 다중 드라이버/리시버 지원 ber 테스트보드
US6753693B2 (en) 2001-12-03 2004-06-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Test apparatuses for semiconductor integrated circuits
KR100487946B1 (ko) * 2002-08-29 2005-05-06 삼성전자주식회사 반도체 테스트 시스템 및 이 시스템의 테스트 방법
KR100718457B1 (ko) * 2005-12-28 2007-05-14 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 테스트 장치와 이를 이용한 반도체 소자 검사방법
KR100750397B1 (ko) * 2006-01-24 2007-08-17 주식회사디아이 웨이퍼 검사장치의 멀티 테스트 구현시스템

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