KR19990058717A - 확장기판을 갖는 검사기판 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 검사장치에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 복수개의 반도체 소자들이 삽입되는 소켓들이 형성된 기판몸체와, 기판몸체에 자유롭게 결합/분리가 가능한 확장기판을 포함하는 검사기판에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 반도체 소자 검사장치에 연결되는 확장연결단자와, 기판몸체의 연결단자가 삽입되는 확장슬롯 및 확장연결단자와 확장슬롯을 전기적으로 연결하는 금속배선을 포함하는 확장기판을 개시하며, 확장기판을 기판몸체에 결합/분리하는 결합수단을 개시한다. 이러한 확장기판을 사용함으로써, 확장기판의 확장연결단자가 마모되는 경우 확장기판만을 교체하여 검사기판을 재활용할 수 있으며, 나아가 검사공정의 원가를 절감할 수 있다.

Description

확장기판을 갖는 검사기판 ( Test board having extension board )

본 발명은 반도체 소자 검사장치에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 복수개의 반도체 소자들이 삽입되는 소켓들이 형성된 기판몸체와, 기판몸체에 자유롭게 결합/분리가 가능한 확장기판을 포함하는 검사기판에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자는 제조된 후에 제품의 신뢰성, 전기적 성능 및 수명(Life Cycle)을 보증하기 위하여 고온 또는 상온의 열과 일정한 전압 등의 조건하에서 장시간의 스트레스(Stress)를 가하는 번-인(Burn-in) 및 전기적 특성 검사를 거치게 된다. 번-인 검사는 반도체 소자 제품의 초기 불량을 선별하여 제품의 수명을 보증하기 위한 공정이며, 전기적 특성 검사는 제조(Fabrication) 및 조립(Assembly) 공정에서 발생한 디씨(DC) 불량 및 성능(Function) 불량한 제품의 선별 및 빠른 분류를 위한 공정이다.

이와 같은 번-인 검사 및 전기적 특성 검사에 각 반도체 소자를 낱개로 공급하여 공정을 진행하는 것은 비효율적이므로, 검사기판(Test Board)이라는 매개물을 이용하여 다량의 제품을 한번에 공급하며, 반도체 소자의 종류에 따라 다양한 종류의 검사기판이 사용된다.

도 1은 종래의 검사기판(100)의 한 예를 나타낸 사시도이다. 도 1을 참고로 하여 검사기판(100)의 구성을 설명하면 다음과 같다.

검사기판(100)은 직사각형 형태의 기판몸체(10)와, 기판몸체(10)의 일단에 형성된 연결단자(12)와 기판몸체(10)의 위에 복수개 형성된 소켓들(20) 및 기판몸체(10)에 형성되어 연결단자(12)와 소켓들(20)을 전기적으로 연결시키는 금속배선(도시되지 않음)을 포함한다. 연결단자(12)는 반도체 소자 검사장치의 슬롯(도시되지 않음)에 삽입되어 전기적으로 연결될 수 있으며, 소켓들(20)에는 각기 한 개의 반도체 소자(도시되지 않음)가 삽입되고, 금속배선을 통하여 연결단자(12)와 연결되어 있다.

도 2는 종래의 반도체 소자 검사장치의 일부를 나타낸 사시도이다. 도 2를 참고로 하여 검사기판이 연결되는 반도체 소자 검사장치의 연결부분을 설명하면 다음과 같다.

반도체 소자 검사장치는 검사공정에 필요한 각종 제어회로(도시되지 않음)가 형성된 드라이버기판(50)과, 드라이버기판(50)에 연결되어 검사기판과 드라이버기판(50)을 연결시키는 복수개의 슬롯기판들(60)을 포함한다. 드라이버기판(50)의 각종 제어회로들은 검사기판에 삽입된 반도체 소자들을 일정한 형식에 따라 검사를 진행하며, 드라이버기판(50)은 다시 모니터(도시되지 않음)와 같은 출력장치에 연결되어 작업자로 하여금 검사공정의 진행상황을 체크할 수 있도록 한다.

도 3은 종래의 검사기판이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 모습을 간략하게 나타낸 구성도이다. 도 3을 참고로 하여 검사기판이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 경로를 살펴보면 다음과 같다.

반도체 소자 검사장치에 각각의 검사기판이 연결되는 기본적 구성은 다음과 같다. 반도체 소자 검사장치의 드라이버기판(50)에 복수개의 슬롯기판(60)이 연결되어 있으며, 검사기판(100)이 삽입되는 반응실의 벽(70)을 사이에 두고 슬롯기판(60)과 검사기판(100)이 일대일 대응되어 연결된다. 각 기판 사이의 연결은 한 쌍의 슬롯들(64, 54)에 연결단자들(62, 12)이 삽입되어 이루어진다.

이때 반도체 소자 검사장치의 드라이버기판과 슬롯기판은 검사되는 반도체 소자의 종류가 바뀌는 등 일정한 조건하에서 다소 변동될 수 있으나, 일단 반도체 소자가 선택된 후에는 고정된 상태에서 검사공정이 진행된다. 그에 반하여 검사기판은 반도체 소자들을 바꾸면서 반도체 소자 검사장치의 슬롯기판에 반복적으로 삽입/분리된다. 삽입/분리되는 공정은 자동화 장치에 의해 자동적으로 진행되거나 또는 작업자에 의해 수동으로 진행될 수 있다. 또한 이와 같이 검사기판이 삽입/분리되는 과정에서 반도체 소자 검사장치의 슬롯에 연결되는 검사기판의 연결단자가 물리적으로 손상될 수 있다.

검사기판의 연결단자가 손상된다는 것은 결국 해당 검사기판이 반도체 소자와 반도체 소자 검사장치 사이에서 소정의 기능을 수행할 수 없음을 의미하며, 따라서 연결단자가 손상된 검사기판은 사용할 수 없게 되어 반도체 소자 검사비용의 증가를 야기할 수 있다.

본 발명의 목적은 검사기판이 반도체 소자 검사장치에 반복적으로 삽입/분리될 때 발생하는 검사기판의 연결단자가 물리적으로 마모되어 손상되는 것을 방지하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 검사기판이 손상되는 것을 방지하여 반도체 소자 검사공정의 비용을 절감하는 것이다.

도 1은 종래의 검사기판을 나타낸 사시도,

도 2는 종래의 반도체 소자 검사장치의 일부를 나타낸 사시도,

도 3은 종래의 검사기판이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 모습을 간략하게 나타낸 구성도,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판을 나타낸 사시도,

도 5a는 도 4의 확장기판을 나타낸 사시도,

도 5b는 도 4의 결합수단을 나타낸 단면도,

도 6은 도 4의 검사기판이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 모습을 간략하게 나타낸 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

10 : 기판몸체 12, 62, 112, 132, 162 : 연결단자

20, 120 : 소켓 50 : 드라이버기판

54, 64, 134, 154, 164 : 슬롯 60 : 슬롯기판

70, 170 : 반응실 벽 100, 200 : 검사기판

130 : 확장기판 136 : 확장기판몸체

138 : 개구부 140 : 결합수단

142 : 볼트 144 : 너트

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판몸체의 연결단자가 삽입되는 확장슬롯과, 반도체 소자 검사장치에 연결되는 확장연결단자를 포함하는 확장기판을 갖는 검사기판을 가지며, 확장기판을 통하여 반도체 소자 검사장치에 전기적으로 연결되는 검사기판을 제공한다.

본 발명에 따른 확장기판을 갖는 검사기판을 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 검사기판은 기판몸체와, 기판몸체의 일단에 형성되며 반도체 소자 검사장치에 전기적으로 연결되는 연결단자와, 기판몸체의 위에 형성되며 반도체 소자가 각각 삽입되는 복수개의 소켓들 및 기판몸체에 형성되며 소켓과 연결단자를 전기적으로 연결하는 금속배선을 포함한다.

더 나아가 확장기판몸체와, 확장기판몸체의 일단에 형성되며 반도체 소자 검사장치에 전기적으로 연결되는 확장연결단자와, 확장기판몸체의 다른 일단에 형성되며 기판몸체의 연결단자가 삽입되는 확장슬롯과, 확장기판몸체에 형성되며 확장연결단자와 확장슬롯을 전기적으로 연결하는 금속배선을 포함하는 확장기판을 기판몸체에 자유로이 결합/분리할 수 있는 것을 특징으로 한다.

이하 도면을 참고로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판을 설명한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판을 나타낸 사시도이다. 도 4를 참고로 하여 확장기판을 갖는 검사기판의 구성을 설명한다.

검사기판(200)은 기판몸체(110)와, 기판몸체(110)의 일단에 형성된 연결단자(112)와, 기판몸체(110)의 위에 복수개 형성된 소켓들(120) 및 기판몸체(110)에 형성되어 연결단자(112)와 소켓들(120)을 전기적으로 연결시키는 금속배선(도시되지 않음)을 포함한다. 또한 검사기판(200)은 확장기판몸체(136)와, 확장기판몸체(136)의 일단에 형성된 확장연결단자(132)와, 기판몸체(110)의 연결단자(112)가 삽입되는 확장슬롯(134) 및 확장기판몸체(136)에 형성되며 확장슬롯(134)과 확장연결단자(132)를 전기적으로 연결하는 금속배선(도시되지 않음)을 포함하는 확장기판(130)을 가진다.

확장기판(130)은 결합수단(140)을 통해 자유로이 기판몸체(110)에 결합/분리될 수 있다.

도 5a는 확장기판(130)을 나타낸 사시도이며, 도 5b는 결합수단(140)을 나타낸 단면도이다. 도 5a 및 도 5b를 참고로 하여 확장기판(130)이 기판몸체(110)에 결합되는 것을 설명한다.

확장기판(130)은 위에서 설명한 바와 같이, 확장연결단자(132), 확장슬롯(134)을 포함하는 확장기판몸체(136)를 갖는다. 또한 기판몸체(110)에 물리적으로 결합되기 위하여, 기판몸체(110)와 대응하는 면의 양끝에 개구부(138)가 형성되어 있다. 개구부(138)는 기판몸체(110)에도 형성되고, 이와 같은 개구부(138)를 통하여 결합수단(140)이 관통하여 결합되며 결합수단(140)은 볼트(142)와 너트(144)를 사용하는 것이 바람직하다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 확장기판(130)을 갖는 검사기판(200)이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 모습을 간략하게 나타낸 구성도이다. 도 3을 참고로 하여 검사기판(200)이 반도체 소자 검사장치에 연결되는 경로를 살펴보면 다음과 같다.

반도체 소자 검사장치에 각각의 검사기판(200)이 연결되는 기본적 구성은 다음과 같다. 반도체 소자 검사장치의 드라이버기판(150)에 복수개의 슬롯기판(160)이 연결되어 있으며, 검사기판(200)이 삽입되는 반응실의 벽(170)을 사이에 두고 슬롯기판(160)과 검사기판(200)이 일대일 대응되어 연결된다. 각 기판 사이의 연결은 한 쌍의 슬롯들(164, 154)에 연결단자들(162, 132)이 삽입되어 이루어진다.

또한 각각의 검사기판(200)은 확장기판(130)을 매개로 하여 슬롯기판(160)에 연결되며, 결과적으로 검사기판(200)이 반도체 소자 검사장치에 반복적으로 삽입/분리될 때 확장기판(130)과 슬롯기판(160) 사이의 삽입/분리가 이루어진다.

따라서, 종래에 검사기판의 연결단자가 물리적으로 마모되는 등 손상을 입는 것에 비하여, 본 발명에 따른 검사장치는 확장기판의 확장연결단자가 물리적으로 마모될 수 있으며, 물리적으로 손상된 확장기판을 자유롭게 분리한 후 새로운 확장기판으로 결합함으로써 검사기판을 재사용할 수 있다. 또한 검사기판은 종래와 같은 검사기판을 그대로 활용할 수 있으며, 단지 확장기판을 추가로 결합한 구조이기 때문에 검사기판을 전면 교체하는 등의 과도한 원가부담도 줄일 수 있다.

그리고, 확장기판이 사용됨에 따라 확장기판의 크기만큼 잡음(Noise)이 발생하여 검사장치의 효율을 떨어뜨릴 수 있으나, 확장기판과 연결되는 슬롯기판의 크기를 확장기판의 크기만큼 줄임으로써 검사장치로의 데이터 이동거리를 일정하게 유지하도록 할 수 있다.

이와 같은 확장기판의 크기는 약 600×40 ㎜이며, 종래 검사기판에 비하여 늘어난 길이 약 40 ㎜만큼 슬롯기판의 길이를 줄인다. 또한 이러한 슬롯기판의 크기변화에 따라 검사기판이 삽입되는 반도체 소자 검사장치의 반응실의 구조도 개선하는 것이 바람직하다.

또한 반도체 소자 검사장치는 전기적 특성 검사장치 또는 번-인 검사장치 등과 같이 검사기판을 매개로 하여 반도체 소자를 검사하는 구조적 특성을 갖는 대부분의 검사장치가 사용될 수 있으며, 검사기판에 삽입되는 반도체 소자는 디램(DRAM ; Dynamic Random Access Memory)과 같은 메모리 소자와 알파칩(Alpha Chip)과 같은 비메모리 소자를 모두 적용할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따라 확장기판을 갖는 검사기판은 각종 반도체 소자 검사장치에 사용될 수 있으며, 검사기판이 반복적으로 삽입/분리됨으로 인해 연결단자가 손상되는 대부분의 경우에 적용될 수 있다.

본 발명에 따른 검사기판은 결합/분리가 가능한 확장기판을 구비함으로써 반도체 소자 검사장치에 연결될 때 슬롯에 반복적으로 삽입/분리되는 과정에서 마모되는 검사기판의 연결단자의 손상을 방지하며, 그에 따라 연결단자의 손상으로 인하여 검사기판이 사용될 수 없게 되는 것을 방지한다. 또한 단순히 확장기판을 교체함으로써 종래에 비하여 낮은 비용으로 검사기판을 유지/보수할 수 있다.

Claims (11)

1. 반도체 소자 검사장치와 전기적으로 연결되는 연결단자를 갖는 기판몸체;

   상기 기판몸체에 형성되며, 반도체 소자가 각각 삽입되는 복수개의 소켓들; 및

   상기 기판몸체에 형성되며, 상기 소켓과 상기 연결단자를 전기적으로 연결하는 금속배선;

   을 포함하는 검사기판에 있어서,

   상기 검사기판은 상기 기판몸체에 자유롭게 결합/분리가 가능한 확장기판을 가지며, 상기 확장기판을 통하여 상기 반도체 소자 검사장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 검사기판.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 확장기판은

   상기 반도체 소자 검사장치와 전기적으로 연결되는 확장연결단자;

   상기 기판몸체의 연결단자와 전기적으로 연결되는 확장슬롯;

   상기 확장연결단자와 상기 확장슬롯을 연결하는 금속배선; 및

   상기 확장연결단자, 상기 확장슬롯 및 상기 금속배선이 형성된 확장기판몸체;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사기판.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 소자 검사장치는

   상기 연결단자가 수용되는 슬롯들이 복수개 형성된 슬롯기판;

   상기 슬롯기판과 연결되며, 상기 검사에 필요한 각종 제어회로가 형성된 드라이버기판;

   를 포함하며, 상기 슬롯을 통하여 상기 연결단자와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 검사기판.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 확장기판의 크기만큼 상기 슬롯기판의 크기를 감소시킴으로써 상기 확장기판의 크기로 인한 잡음을 방지하는 것을 특징으로 하는 검사기판.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 확장기판의 크기는 약 40 ㎜인 것을 특징으로 하는 검사기판.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 확장기판은 결합수단을 통하여 상기 기판몸체에 결합되는 것을 특징으로 하는 검사기판.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 결합수단은 볼트(Bolt)와 너트(Nut)인 것을 특징으로 하는 검사기판.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 소자 검사장치는 번-인 검사장치인 것을 특징으로 하는 검사기판.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 소자는 비메모리 소자인 것을 특징으로 하는 검사기판.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 비메모리 소자는 알파칩(Alpha Chip)인 것을 특징으로 하는 검사기판.
11. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 소자는 메모리 소자인 것을 특징으로 하는 검사기판.