KR19990047447A

KR19990047447A - 액정 표시 장치의 노광 장치

Info

Publication number: KR19990047447A
Application number: KR1019970065865A
Authority: KR
Inventors: 임민섭
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-12-04
Filing date: 1997-12-04
Publication date: 1999-07-05

Abstract

마스크와 기판을 정렬하기 위한 키 중 마스크의 패널 패턴 영역 바깥 상부에 두 쌍의 마스크 키, 하부에 한 쌍의 마스크키를 형성한다. 그리고, 기판의 마스크 키에 대향하는 위치에 플레이트 키를 형성한다.

Description

액정 표시 장치의 노광 장치

본 발명은 액정 표시 장치(liquid crystal display: 이하 'LCD' 라 한다)용 노광 장치에 관한 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 노광 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에서 정렬키의 정렬 상태를 나타낸 사시도이다.

도 1 에서와 같이 마스크(10)와 기판(20)을 정렬하기 위해 마스크(10) 위의 패널 패턴 영역(30) 바깥 상부, 중앙, 하부에 각각 한 쌍씩의 마스크 키(50, 51; 60, 61; 70, 71)가 형성되어 있고, 마스크(10)와 대향하는 기판(20)위의 대향 영역(40) 밖에 각각의 마스크 키(50, 51; 60, 61; 70, 71)와 대향하도록 한 쌍씩의 플레이트 키(80, 81; 90, 91; 100, 101)가 형성되어 있다. 마스크(10)와 기판(20)을 정렬할 때에는 각각의 마스크 키(50, 51; 60, 61; 70, 71)와 플레이트 키(80, 81; 90, 91; 100, 101)를 도 2와 같은 방식으로 동일선상에서 직접 맞춘다. 그리고, 여러 키 중에서 먼저 중앙의 키(60, 61; 90, 91)를 정렬하고, 그 다음, 상하부 키(50, 51, 70, 71; 80, 81, 100,101)를 정렬한다.

여기에서 중앙에 위치한 정렬키(60, 61; 90, 91)는 정렬용 현미경이 이동할 수 있는 거리의 한계 때문에 반드시 필요하다. 그러나, 대형 기판을 제작하는 경우에는 대향 영역(40)의 면적이 커지므로 정렬키를 만들기가 어렵다.

따라서, 본 발명은 현재의 기판으로 대형 패널 제작을 가능하게 하고자 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 노광 장치를 나타낸 사시도이고,

도 2는 도 1에서 정렬키의 정렬 상태를 나타낸 사시도이고,

도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 노광 장치를 나타낸 사시도이고,

도 4는 도 3의 Ⅳ부분에 대한 상세 단면도이다.

이러한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에서는 마스크와 기판 위에 형성되는 정렬키의 위치를 변경한다. 즉, 마스크와 기판의 패널 패턴 바깥 중앙에 위치한 각각의 정렬키를 마스크와 기판의 패널 패턴 바깥 상부에 위치한 정렬키의 바로 아래로 이동시킨다. 이는 대형 패널을 제작하는 경우에 마스크와 대향하는 기판의 패널 패턴 영역의 면적이 커지므로, 정렬키가 이 영역에 포함되지 않게 하고자 함이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 다음 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.

먼저 본 발명의 실시예를 기재한다. 도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 노광 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ부분에 대한 상세 단면도이다.

도 3 및 도 4 에서와 같이 본 실시예의 마스크(10)와 기판(20)은 마스크(10)와 기판(20)이 일대일의 일정한 광로상을 동시에 스캐닝하여 패턴이 전사될 수 있도록 형성되어 있다. 마스크(10)와 기판(20)을 정렬하기 위한 키 중 종래의 키 중에서 중앙에 위치한 키(60, 61; 90, 91)는 생략되고 대신 마스크(10) 및 기판(20)의 각각의 패널 패턴 영역(130;140) 바깥 상부에 위치한 한 쌍의 마스크 키(62, 63)와 플레이트 키(92, 93)의 위에 0각각 마스크 키(50,51)와 플레이트 키(80,81)가 형성되어 있다. 이 때, 마스크 키(62, 63) 및 플레이트 키(92, 93)의 위치는 중심에서 기판 크기의 1/4 이상 바깥에 위치하는 것이 바람직하다. 이 두 쌍의 마스크 키(50, 51; 62, 63) 및 플레이트 키(80, 81; 90, 91)를 이동하여 마스크(10)와 기판(20)을 정렬할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따르면; 대형 기판도 용이하게 정렬할 수 있다.

Claims

마스크,

상기 마스크와 대향하는 기판,

상기 마스크의 패널 패턴 영역 바깥 상부에 두 쌍, 하부에 한 쌍씩 형성되어 있는 마스크 키,

상기 기판의 상기 마스크 키에 대응하는 위치에 형성되어 있는 플레이트 키를 포함하는 액정 표시 장치용 노광 장치.
제1항에서,

상기 마스크 및 기판 상부에 형성되어 있는 각 두 쌍의 마스크 키와 플레이트 키 중 각 한 쌍은 상기 마스크 및 기판 크기의 1/4 이상 상부 밖에 위치하는 액정 표시 장치용 노광 장치.