KR19990035574A - 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법 - Google Patents

반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 설비의 소정 영역에 백업 정보 데이터 저장 버퍼 및 키핑 모듈을 구비하고, 이곳에 호스트가 저장하고 있는 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터를 기 저장함으로써, 만약 호스트 및 설비간의 온라인 상태에 이상이 발생되어 호스트 및 설비간의 통신이 두절되더라도, 설비가 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터에 따라 공정을 진행할 수 있도록 하여, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법
본 발명은 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 설비의 버퍼 영역에 기 저장해 둠으로써, 제품의 전체적인 생산 효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체 소자는 그 제조에 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각 설비 등을 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.
이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비의 배치 형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.
도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(2)가 배치되며, 이러한 설비(2)에는 로트(1)가 로딩되어 적절한 반도체 제품으로 제조되고 있다.
이때, 작업자는 설비와 온라인된 O/I PC(Operater Interface PC:4)를 통해 설비의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.
여기서, 설비(2)는 제어기능을 갖춘 호스트(3)와 온라인되는 바, 이때, 호스트(3)는 자신의 데이터 베이스에 저장된 다양한 공정 진행 정보 데이터들 중 설비에 가장 필요·적절한 기초 정보 데이터, 예컨대, 로트 아이디(LOTID), 피피 아이디(PPID;Process Program ID)를 산정하여 그 정보 데이터를 설비(2)로 다운로드시킴으로써, 설비(2)의 공정조건을 적절한 상태로 설정한다.
이때, 설비(2)는 호스트(3)로부터 설정된 기초 정보 데이터를 저장한 후, 이에 해당하는 로트(1)가 로딩되면 설정된 프로세스 프로그램에 따라 공정을 진행시킴으로써, 로트(1)를 적절한 반도체 제품으로 제조한다.
예컨대, 호스트(3)로부터 설정·저장된 로트 아이디 A에 해당하는 로트(1)가 로딩되면, 설비(2)는 호스트(3)로부터 설정·저장된 피피 아이디를 참조하여 당해 로트(1)에 요구되는 프로세스 스텝 B의 프로그램 C를 실행시킨다. 이에 따라, 로트 아이디 A의 로트(1)는 프로그램 C에 의해 실행되는 설비(2) 동작에 따라 적절히 가공·제조된다.
이와 같이, 종래의 반도체 제조용 설비(2)는 호스트(3)로부터 설정된 로트 아이디, 피피 아이디 등의 기초 정보 데이터를 저장한 후 이에 해당하는 로트(1)가 로딩되면 당해 기초 정보 데이터에 따라 로트(1)를 가공함으로써, 기 부여된 반도체 제조 공정을 적절히 진행하고 있다.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.
첫째, 상술한 바와 같이, 종래의 설비는 단지 로트 아이디, 피피 아이디 등의 기초 정보만 호스트로부터 설정받아 저장함과 아울러 이에 맞추어 반도체 제조 공정을 진행하고 있는 바, 이때, 만약 호스트와 설비의 온라인 상태가 오프되는 경우 설비는 이와 무관하게 반도체 제조 공정을 진행시킴으로써, 설비에서 진행되는 실 공정 상황과 호스트가 자신의 데이터 베이스 영역에 기 저장하고 있는 설비의 공정 상황이 서로 불일치되는 문제점이 발생된다.
둘째, 호스트와 설비의 온라인 상태를 복구한 후, 공정을 정상화하기 위해서는 호스트에 기 저장된 공정 상황과 설비의 공정 상황을 일치시켜야 하는 바, 이러한 작업에는 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.
셋째, 이러한 시간소요에 따라, 공정 정상화가 장시간 지연되는 경우, 예측하지 못한 공정사고가 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 설비의 소정 영역에 백업 정보 데이터 저장 버퍼 및 키핑 모듈을 구비하고, 이곳에 호스트가 저장하고 있는 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터를 기 저장함으로써, 만약 호스트 및 설비간의 온라인 상태에 이상이 발생되어 호스트 및 설비간의 통신이 두절되더라도, 설비가 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터에 따라 공정을 진행할 수 있도록 하여, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 상술한 바와 같이, 설비의 정보 데이터 버퍼에 백업 정보 데이터를 기 저장해 둠으로써, 호스트 및 설비의 온라인 상태 복구 후 호스트 및 설비의 공정 상황을 신속히 재개시킬 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 필요한 때에 호스트가 상술한 백업 정보 데이터를 수정/참조할 수 있도록 하고, 이를 통해, 호스트가 자신의 정보 데이터가 변경 되는 경우, 설비의 백업 정보 데이터를 적절히 변경시킬 수 있도록 함으로써, 상술한 백업 정보 데이터를 탄력적으로 운용시킬 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 제공함에 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조용 설비의 배치 형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 설비의 배치 형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트로부터 백업 정보 데이터를 다운로드 받은 후 상기 백업 정보 데이터를 백업 정보 데이터 버퍼 영역에 저장하고, 상기 호스트와의 온라인 상태 여부를 지속적으로 판단하는 제 1 단계와; 상기 판단결과, 상기 호스트와 온라인 상태가 아니면, 키핑 모듈을 온 시켜 상기 백업 정보 데이터를 재 저장한 후 상기 백업 정보 데이터에 따라 소정의 반도체 제조 공정을 진행하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 상기 호스트와 온라인 상태이면, 상기 호스트로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되었는가의 여부를 재차 판단하는 제 3 단계와; 상기 판단결과, 상기 호스트로부터 상기 설비 호출 메시지가 다운로드 되었으면, 상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지인가의 여부를 판단하는 제 4 단계와; 상기 판단결과, 상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보를 수정하고자하는 메시지가 아니면, 상기 백업 정보 데이터를 상기 호스트로 업로드하는 제 5 단계와; 상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보를 수정하고자하는 메시지이면, 상기 호스트로부터 수정 백업 정보 데이터를 다운로드받아 상기 백업 정보 데이터를 수정하는 제 6 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 설비 호출 메시지는 스트림 펑션(Stream function)메시지인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 스트림 펑션 메시지에 실려오는 변수 아이디는 VID인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 스트림 펑션 메시지에 실려오는 변수 아이디는 ECID인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 스트림 펑션 메시지는 S1F3인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 스트림 펑션 메시지는 S1F5인 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에서는 호스트 및 설비간의 온라인 상태에 이상이 발생되더라도, 설비는 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 내용에 따라 공정을 신속히 진행시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 설비의 배치 형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.
이에 도시된 바와 같이, 설비(10)에는 백업 정보 데이터를 저장할 수 있는 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)이 형성된다.
이때, 설비(10)와 온라인된 호스트(3)는 자신의 데이터 베이스에 기 저장되어 있는 정보 데이터를 전량 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)으로 다운로드하여 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 이곳에 작성한다. 이에 따라, 설비(10)의 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에는 호스트(3)의 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터가 적절히 저장된다.
또한, 상술한 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)은 데이터 세이브 기능을 갖는 키핑 모듈(12)과 연결되는 바, 이러한 키핑 모듈(12)은 일정한 조건이 갖추어질 경우 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 키핑 락을 신속히 설정하여 이에 저장된 백업 정보 데이터가 소실되지 않도록 적절히 보호·저장하는 기능을 수행한다.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비(10)의 정보 데이터 제어방법은 호스트(3)로부터 백업 정보 데이터를 다운로드 받은 후 이러한 백업 정보 데이터를 백업 정보 데이터 버퍼 영역(11)에 저장하고, 호스트(3)와의 온라인 상태를 지속적으로 판단하는 제 1 단계(S10)와, 이러한 판단결과, 호스트(3)와 온라인 상태가 아니면, 키핑 모듈(12)을 온 시켜 백업 정보 데이터를 재 저장한 후 저장된 백업 정보 데이터에 따라 적절한 반도체 제조 공정을 진행하는 제 2 단계(S20)와, 이러한 판단결과, 호스트(3)와 온라인 상태이면, 호스트(3)로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되었는가의 여부를 재차 판단하는 제 3 단계(S30)와, 이러한 판단결과, 호스트(3)로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되었으면, 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지인가의 여부를 판단하는 제 4 단계(S40)와, 이러한 판단결과, 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지가 아니면, 상술한 백업 정보 데이터를 호스트(3)로 업로드하는 제 5 단계(S50)와, 이러한 판단결과, 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지이면, 호스트(3)로부터 수정 백업 정보 데이터를 다운로드받아 상술한 백업 정보 데이터를 수정하는 제 6 단계(S60)를 포함한다. 이에 따라, 본 발명에서는 설비(10) 및 호스트(3)가 온라인 상태가 아닌 경우에도, 호스트(3)에 기 저장되어 있는 정보 데이터와 동일한 내용의 반도체 제조 공정이 설비(10)에 의해 신속히 수행될 수 있다.
이하, 상술한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.
먼저, 설비(10)는 호스트(3)로부터 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 다운로드 받아 이를 자신의 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장한다.(S11) 이에 따라, 설비(10)의 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에는 기초 정보 데이터를 포함한 호스트(3)의 모든 정보 데이터, 예컨대, 공정을 진행할 로트의 개수, 공정을 진행할 설비(10)와의 통신 룰, 로트 아이디, 피피 아이디 등의 모든 정보 데이터가 전량 백업·저장된다.
이어서, 설비(10)는 자신과 호스트(3)와의 온라인 상태 이상 유무를 지속적으로 관측·판단한다.(S12)
이러한 판단결과, 자신과 호스트(3)와의 온라인 상태에 이상이 발생하여 호스트(3)와의 온라인 상태가 단선된 것으로 판정되면, 설비(10)는 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)과 연결된 키핑 모듈(12)을 온 시켜 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 키핑 락을 설정함으로써, 백업·저장되어 있던 백업 정보 데이터를 안정적으로 재 저장한다.(S21,S22) 이에 따라, 호스트(3)의 정보 데이터와 동일한 내용을 갖는 백업 정보 데이터는 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 예측하지 못한 소실없이 안정적으로 재 저장된다.
계속해서, 설비(10)는 재 저장된 백업 정보 데이터에 따라 부품을 가동하여 적절한 반도체 제조 공정을 진행한다.(S23) 이때, 상술한 바와 같이, 백업 정보 데이터는 호스트(3)가 온라인 이상 발생 전에 기 저장하고 있던 정보 데이터와 동일한 내용을 갖는 데이터인 바, 이에 따라, 설비(10)는 호스트(3)와의 온라인 상태 이상에 구애됨이없이 호스트(3)가 구현하고자 하던 동일한 내용의 반도체 제조 공정을 신속히 수행할 수 있다.
종래의 경우, 설비(10) 및 호스트(3)간의 온라인 상태에 이상이 발생되는 경우, 호스트(3)가 저장하고 있는 공정 정보 데이터와 설비(10)의 실 공정 상황 간에 차이가 발생하여 예측하지 못한 공정사고가 유발되는 문제점이 있었다.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 설비(10)는 호스트(3)가 저장하고 있는 공정 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 기 저장하고 있음으로써, 설비(10) 및 호스트(3)간의 온라인 상태에 이상이 발생되더라도 호스트(3)의 정보 데이터와 동일한 내용의 반도체 제조 공정을 진행할 수 있고, 이에 따라, 호스트(3)의 공정 정보 데이터와 설비(10)의 실 공정 상황 간의 차이에 의한 공정사고는 미연에 방지될 수 있다.
또한, 종래의 경우, 일정 시간이 경과하여 호스트(3)와의 온라인 상태가 복구된 후 설비(10)의 실 공정 상황과 호스트(3)의 기 저장 공정 상황을 일치시켜야 할 때, 그 차이를 일일이 파악하는 작업을 수행해야 함으로써, 전체적인 공정 정상화 시간이 증가하는 심각한 문제점이 발생하였다.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 설비(10)는 호스트(3)에 저장되어 있는 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 기 저장하고 있고, 또한 이에 맞추어 적절한 공정을 진행하고 있는 바, 이에 따라, 호스트(3)는 설비(10)의 실 공정 상황과 자신의 기 저장 공정 상황을 일치시킬 필요없이, 공정을 단시간내에 신속히 정상화할 수 있다.
한편, 설비(10)는 상술한 판단결과, 자신과 호스트(3)와의 온라인 상태가 이상없이 정상적인 것으로 판정되면, 호스트(3)로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되었는가의 여부를 재차 판단한다.(S30)
이러한 판단결과, 호스트(3)로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되지 않은 것으로 판정되면, 설비(10)는 플로우를 리턴하여 상술한 제 1 단계를 재차 반복한다.(S10)
그러나, 이러한 판단결과, 호스트(3)로부터 설비 호출 메시지가 다운로드된 것으로 판정되면, 설비(10)는 호스트(3)가 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장된 백업 정보 데이터를 참조 또는 수정하고자 하는 것으로 파악한 후, 다운로드된 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지인가의 여부를 재차 판단한다.(S40)
이러한 판단결과, 다운로드된 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지가 아니면, 설비(10)는 호스트(3)가 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장된 백업 정보 데이터를 참조하고자 하는 것으로 파악한 후, 상술한 백업 정보 데이터를 호스트(3)로 신속히 업로드한다.(S50)
이때, 본 발명의 특징에 따르면, 호스트(3)로부터 다운로드되는 설비 호출 메시지는 통신 전달이 원할한 스트림 펑션 메시지이다. 이에 따라, 설비(10)는 호스트(3)로부터 다운로드되는 설비 호출 메시지에 신속히 대응할 수 있다.
여기서, 바람직하게, 스트림 펑션 메시지는 S1F5이며, 이에 실려오는 변수 아이디는 VID(Variable ID) 또는 ECID(Equipment Constant ID)이다.
예컨대, 호스트(3)가 설비(10)의 백업 정보 데이터를 참조하고자 하면, 호스트(3)는 스트림 펑션 메시지 S1F5에 변수 아이디 VID 또는 ECID를 실은 후, 이러한 변수 아이디에 키 값을 지정하여 설비(10)로 다운로드 한다. 그 다음에, 설비(10)는 다운로드된 스트림 펑션 메시지 S1F5의 의미가 백업 정보 데이터를 참조하고자하는 메시지인 것을 즉시 파악하고, 상술한 키 값에 따라 백업 정보 데이터를 신속히 업로드함으로써, 호스트(3)가 요구하는 백업 정보 데이터 참조 역할을 적절히 수행한다. 이에 따라, 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장되어 있던 백업 정보 데이터는 호스트(3)로 신속히 업로드된다.
한편, 이러한 판단결과, 다운로드된 설비 호출 메시지가 백업 정보 데이터를 수정하고자 하는 메시지이면, 설비(10)는 호스트(3)로부터 수정 백업 정보 데이터를 다운로드받아 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장된 백업 정보 데이터를 신속히 수정한다.(S60)
이때, 본 발명의 특징에 따르면, 호스트(3)로부터 다운로드되는 설비 호출 메시지는 상술한 참조 과정과 동일한 스트림 펑션 메시지이다. 이에 따라, 설비(10)는 호스트(3)로부터 다운로드되는 설비 호출 메시지에 신속히 대응할 수 있다.
여기서, 바람직하게, 스트림 펑션 메시지는 S1F3이며, 이에 실려오는 변수 아이디는 VID 또는 ECID이다.
예컨대, 호스트(3)가 설비(10)의 백업 정보 데이터를 수정하고자 하면, 호스트(3)는 스트림 펑션 메시지 S1F3에 변수 아이디 VID 또는 ECID를 실은 후, 이러한 변수 아이디에 키 값을 지정하여 설비(10)로 다운로드 한다. 그 다음에, 설비(10)는 다운로드된 스트림 펑션 메시지 S1F3의 의미가 백업 정보 데이터를 수정하는 메시지인 것을 즉시 파악하고, 상술한 키 값에 포함된 수정내용에 따라 백업 정보 데이터를 신속히 수정함으로써, 호스트(3)가 요구하는 백업 정보 데이터 수정 역할을 적절히 수행한다. 이에 따라, 설비(10)의 백업 정보 데이터 저장 버퍼 영역(11)에 저장되어 있던 백업 정보 데이터는 호스트(3)가 요구하는 내용으로 적절히 수정된다.
이처럼, 본 발명에 따른 설비(10)의 백업 정보 데이터 운용 결과, 호스트(3)는 필요한 때에 백업 정보 데이터를 적절히 수정/참조할 수 있음으로써, 자신의 정보 데이터가 변경 되는 경우, 설비(10)의 백업 정보 데이터를 적절히 변경시켜 이를 탄력적으로 운용할 수 있다.
이 후, 설비는 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 본 발명을 적절히 완수한다.
이와 같이, 본 발명에서는 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 내용의 백업 정보 데이터를 설비의 버퍼 영역에 기 저장해 둠으로써, 제품의 전체적인 생산 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.
이러한 본 발명은 반도체 제조라인에 배치되어 일정한 관리를 필요로 하는 모든 반도체 제조 설비에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에서는 설비의 소정 영역에 백업 정보 데이터 저장 버퍼 및 키핑 모듈을 구비하고, 이곳에 호스트가 저장하고 있는 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터를 기 저장함으로써, 만약 호스트 및 설비간의 온라인 상태에 이상이 발생되어 호스트 및 설비간의 통신이 두절되더라도, 설비가 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터에 따라 공정을 진행할 수 있도록 하여, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

Claims (6)

  1. 호스트로부터 백업 정보 데이터를 다운로드 받은 후 상기 백업 정보 데이터를 백업 정보 데이터 버퍼 영역에 저장하고, 상기 호스트와의 온라인 상태 여부를 지속적으로 판단하는 제 1 단계와;
    상기 판단결과, 상기 호스트와 온라인 상태가 아니면, 키핑 모듈을 온 시켜 상기 백업 정보 데이터를 재 저장한 후 상기 백업 정보 데이터에 따라 소정의 반도체 제조 공정을 진행하는 제 2 단계와;
    상기 판단결과, 상기 호스트와 온라인 상태이면, 상기 호스트로부터 설비 호출 메시지가 다운로드 되었는가의 여부를 재차 판단하는 제 3 단계와;
    상기 판단결과, 상기 호스트로부터 상기 설비 호출 메시지가 다운로드 되었으면, 상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보 데이터를 수정하고자하는 메시지인가의 여부를 판단하는 제 4 단계와;
    상기 판단결과, 상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보를 수정하고자하는 메시지가 아니면, 상기 백업 정보 데이터를 상기 호스트로 업로드하는 제 5 단계와;
    상기 설비 호출 메시지가 상기 백업 정보를 수정하고자하는 메시지이면, 상기 호스트로부터 수정 백업 정보 데이터를 다운로드받아 상기 백업 정보 데이터를 수정하는 제 6 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 설비 호출 메시지는 스트림 펑션(Stream function)메시지인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 스트림 펑션 메시지에 실려오는 변수 아이디는 VID인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 스트림 펑션 메시지에 실려오는 변수 아이디는 ECID인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 스트림 펑션 메시지는 S1F3인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 스트림 펑션 메시지는 S1F5인 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법.
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