KR20000020700A - 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 동일 모델의 설비에서 공정이 진행되는 경우, 공정조건 관리모듈을 통해 이전 설비의 공정조건을 다음 설비의 공정진행에 탄력적으로 반영함으로써, 반복적인 공정조건 설정을 방지하고, 그 결과, 전체적인 공정시간을 현저히 줄일 수 있다.

Description

반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 공정조건 관리모듈을 통해 전체적인 공정진행을 신속하게 달성시킴으로써, 생산라인의 공정효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비들을 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.

이와함께, 작업자는 각 설비들의 동작상황을 소정의 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 각 생산라인 A, B, C내에는 지정된 공정을 실행하는 설비들(3,4,5)이 배치되며, 이러한 설비들(3,4,5)에는 로트(도시안됨)가 투입되어 요구되는 공정을 수행받는다.

이때, 작업자는 각 설비들(3,4,5)과 온라인으로 연결된 작업자 인터페이스 퍼스널 컴퓨터(Operater Interface Personal Computer:2; 이하, "O/I PC"라 칭함)를 통해 각 설비들(3,4,5)의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.

여기서, 각 설비들(3,4,5)은 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 이러한 호스트(1)는 O/I PC(2)와 온라인으로 연결된다.

이때, 로트는 생산라인 A에 배치된 설비(3a)로 로딩되어 공정 a를 수행받은 후, 이송장치를 통해 생산라인 B에 배치된 설비(4a)로 로딩되어 공정 b를 수행받고, 연이어 생산라인 C에 배치된 설비(5a)로 로딩되어 공정 c를 수행받는다.

이러한 각 공정 a, b, c가 모두 완료되면, 로트는 양호한 기능을 수행하는 반도체 소자로 제조 완료된다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.

상술한 바와 같이, 로트는 각 생산라인에 배치된 설비들을 경유하여 하나의 반도체 소자로 제조 완료되는데, 이때, 서로 다른 생산라인에 배치된 설비들은 만약, 서로가 동일유형의 모델이더라도, 체계적인 관리가 부재하기 때문에 공정조건을 공유할 수 없다.

일례로, 상술한 생산라인 A에 배치된 설비(3a)가 생산라인 B에 배치된 설비(4a)와 동일 모델이더라도, 설비(3a)와 설비(4a)는 서로의 공정조건을 서로 공유할 수 없다.

이 경우, 호스트는 새로운 공정이 진행될 때 마다, 공정조건을 새로이 구성하여 새로운 설비에 반복하여 다운로드하여야 한다.

이러한 반복적인 공정조건 다운로드가 여러번 진행되는 경우, 전체적인 공정시간이 현저히 증가하고, 결국, 공정효율이 현저히 저하하는 문제점이 야기된다.

따라서, 본 발명의 목적은 서로 다른 생산라인에 배치된 설비들이 서로 동일 모델의 설비인 경우, 각 설비들 사이의 공정조건을 서로 공유시키는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 각 설비들 사이의 공정조건을 서로 공유시켜, 전체적인 공정시간을 줄이는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 전체적인 공정시간 저감을 통해, 생산라인의 공정효율을 향상시키는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.

도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법을 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전 스탭의 공정이 완료되었는가의 여부를 판단한 후 전 스탭의 공정이 완료되었으면, 공정진행설비의 모델유형 및 공정조건을 기록하는 단계와, 로트가 다음 스탭의 설비로 로딩되었는가의 여부를 판단한 후 로트가 다음 스탭의 설비로 로딩되었으면, 전 스탭의 공정진행설비들 중 다음 스탭의 설비와 동일 모델의 설비가 있는가의 여부를 판단하는 단계와, 전 스탭의 공정진행설비들 중 다음 스탭의 설비와 동일 모델의 설비가 있으면, 해당 설비의 공정조건을 다음 스탭의 설비로 다운로드시킨 후 공정을 진행시키는 단계를 포함한다.

이러한 본 발명의 달성에 따라, 생산라인의 전체적인 공정효율은 현저히 향상된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 바와 같이, 서로 다른 생산라인, 예컨대, 생산라인 A,B,C에는 각각 적정 기능을 갖춘 다양한 설비들(3,4,5)이 배치된다.

이때, 호스트(1)와 각 설비들(3,4,5) 사이에는 각 설비들(3,4,5)과 관련된 여러 가지 기준정보들, 예컨대, 설비아이디, 설비의 종류, 설비의 작업영역, 설비의 진행가능 공정, 설비와 연계된 스토커 아이디, 장비의 성능 등을 저장하고 있는 공정조건 관리모듈(10)이 배치된다.

이러한 공정조건 관리모듈(10)은 설비서버를 통해 설비들(3,4,5)로부터 업로드되는 가동상태 데이터를 실시간으로 수신한다. 이에 따라, 공정조건 관리모듈(10)은 예컨대, 설비(3a)에서 공정이 완료되는 경우, 이를 실시간으로 파악할 수 있다.

여기서, 작업자는 공정조건 관리모듈(10)을 설치할 때에 이와 대응되는 설비들(3,4,5)에도 적절한 보고 기능을 부여함으로써, 설비들(3,4,5)의 가동상태가 공정조건 관리모듈(10)로 실시간 보고될 수 있도록 한다.

이하, 이러한 구성을 갖는 본 발명의 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법을 상세히 설명한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 먼저, 공정조건 관리모듈(10)은 전 스탭의 공정이 완료되었는가의 여부를 판단한다(단계 S11).

이때, 전 스탭의 공정이 아직 완료되지 않았으면, 공정조건 관리모듈(10)은 플로우를 종료한다.

반면에, 전 스탭의 공정이 모두 완료되었으면, 공정조건 관리모듈(10)은 전 공정에서 공정진행을 실시한 공정진행설비의 모델유형 및 공정조건을 자신의 데이터 베이스 영역에 모두 기록한다(단계 S12).

일례로, 생산라인 A의 설비(3a)가 공정을 모두 완료하였으면, 공정조건 관리모듈(10)은 설비(3a)의 모델유형 및 공정조건을 자신의 데이터 베이스 영역에 모두 기록한다.

이어서, 공정조건 관리모듈(10)은 로트가 다음 스탭, 예컨대, 생산라인 B의 설비(4a)로 로딩되었는가의 여부를 판단한다(단계 S20).

이때, 로트가 아직 다음 스탭의 설비(4a)로 로딩되지 않았으면, 공정조건 관리모듈(10)은 플로우를 상술한 단계 S12로 진행하여, 로트의 로딩을 준비한다.

반면에, 로트가 다음 스탭의 설비(4a)로 로딩되었으면, 공정조건 관리모듈(10)은 자신의 데이터 베이스 영역을 써치하여, 전 스탭, 예컨대, 생산라인 A의 공정진행설비들 중 설비(4a)와 동일 모델의 설비가 있는가의 여부를 판단한다(단계 S30).

이때, 전 스탭의 공정진행설비들 중 설비(4a)와 동일 모델의 설비가 없으면, 공정조건 관리모듈(10)은 플로우를 단계 S42로 진행하여, 새로운 공정조건에 따른 새로운 공정을 진행시킨다.

반면에, 전 스탭의 공정진행설비들 중 설비(4a)와 동일 모델의 설비, 예컨대, 설비(3a)가 있으면, 공정조건 관리모듈(10)은 해당 설비, 예컨대, 설비(3a)의 공정조건을 자신의 데이터 베이스로부터 도출하여 도출된 공정조건을 설비(4a)로 다운로드한다(단계 S41). 이에 따라, 설비(4a)는 설비(3a)의 공정조건에 맞추어 신속한 공정진행을 실시한다(단계 S42).

종래의 경우, 호스트는 새로운 공정이 진행될 때 마다, 공정조건을 새로이 구성하여 새로운 설비에 반복하여 다운로드하여야 하였으며, 그 결과, 전체적인 공정시간이 현저히 증가되었고, 결국, 생산라인의 공정효율이 현저히 저하되었다.

그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 공정조건 관리모듈(10)은 새로운 공정이 진행될 때, 이전 공정의 기록을 면밀히 살펴, 동일 모델의 설비에서 공정이 진행되는 경우, 이전 설비의 공정조건을 다음 설비의 공정진행에 탄력적으로 반영함으로써, 반복적인 공정조건 설정을 방지하고, 그 결과, 전체적인 공정시간을 현저히 줄일 수 있다. 결국, 생산라인의 공정효율은 현저히 향상된다.

이후, 공정조건 관리모듈(10)은 각 설비들(3,4,5)의 공정이 완료될 때마다, 상술한 각 단계를 지속적으로 반복하여, 신속한 공정진행이 달성될 수 있도록 함으로써, 전체적인 공정효율을 최적의 상태로 향상시킨다.

이와 같이, 본 발명에서는 공정조건 관리모듈을 통해 전체적인 공정진행을 신속하게 달성시킴으로써, 생산라인의 공정효율을 현저히 향상시킨다.

이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로하는 모든 반도체 제조설비에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법에서는 동일 모델의 설비에서 공정이 진행되는 경우, 공정조건 관리모듈을 통해 이전 설비의 공정조건을 다음 설비의 공정진행에 탄력적으로 반영함으로써, 반복적인 공정조건 설정을 방지하고, 그 결과, 전체적인 공정시간을 현저히 줄일 수 있다.

Claims (1)

1. 전 스탭의 공정이 완료되었는가의 여부를 판단한 후 상기 전 스탭의 공정이 완료되었으면, 공정진행설비의 모델유형 및 공정조건을 기록하는 단계와;

   로트가 다음 스탭의 설비로 로딩되었는가의 여부를 판단한 후 상기 로트가 다음 스탭의 설비로 로딩되었으면, 전 스탭의 공정진행설비들 중 상기 다음 스탭의 설비와 동일 모델의 설비가 있는가의 여부를 판단하는 단계와;

   상기 전 스탭의 공정진행설비들 중 상기 다음 스탭의 설비와 동일 모델의 설비가 있으면, 해당 설비의 공정조건을 상기 다음 스탭의 설비로 다운로드시킨 후 공정을 진행시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 공정조건 변경방법.