KR19990025134U - 웨이퍼 운반벨트 조정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치는 반응챔버와, 상기 반응챔버 내를 움직이며 웨이퍼를 운반하는 운반벨트와, 상기 운반벨트의 전단부에 설치하여 벨트를 구동하는 구동롤러와, 상기 운반벨트의 네 모서리에 설치하여 벨트의 위치를 인식하는 광센서와, 상기 롤러축 양단에 설치하여 광센서로부터 전달받은 신호에 따라 롤러의 회전축을 움직이므로 벨트의 틀어짐을 조정하는 유압수단으로 구성되어, 벨트의 틀어짐 조정을 위해 따로 작업할 필요가 없으며, 작업시간을 단축시켜서 장비의 가동률을 향상시키고, 항상 벨트의 상태가 안정되어 있어, 웨이퍼에 증착되는 필름의 막질을 향상시킬 수 있으며, 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있도록 하였다.

Description

웨이퍼 운반벨트 조정장치

본 고안은 웨이퍼 운반벨트 조정장치에 관한 것으로, 특히 벨트의 틀어짐 조정을 위해 따로 작업할 필요가 없으며, 작업시간을 단축시켜서 장비의 가동률을 향상시키고, 항상 벨트의 상태가 안정되어 있어, 웨이퍼의 증착되는 필름의 막질을 향상시킬 수 있으며, 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있도록 한 웨이퍼 운반벨트 조정장치에 관한 것이다.

종래의 기술에 의한 웨이퍼 벨트장치는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 웨이퍼를 운반하는 운반벨트(1)와, 상기 운반벨트(1)를 구동하는 롤러(2)와, 반응챔버(4)로 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 종래의 기술에 의한 벨트 틀어짐에 대한 조정시 장비의 덮개를 떼어내고, 벨트(1)가 2사이클 정도 회전하는 동안 벨트정면에서 육안을 관찰하면서 벨트가 반응챔버(4)의 측면과 접촉하는지를 관찰한다. 벨트(1)의 틀어짐이 관찰되면 수작업으로 롤러(2)의 축을 느슨하게 하고, 롤러(2)의 축을 전후방으로 밀거나 당겨서 벨트(1)의 틀어짐을 조정하게 된다.

그러나, 이러한 종래의 기술에서는 육안으로 관찰하기 때문에 벨트(1)의 틀어짐을 조정하는 것이 정확하지 않고, 모든 것이 수작업으로 이루어지 지기 때문에 작업시간이 오래 걸리며, 작업이 까다롭다. 그리고 벨트(1)의 틀어짐 조정이 제대로 되지 않은 상태에서 장비를 사용하게 되면, 웨이퍼에 증착되는 필름의 막질이 나빠져서 웨이퍼의 수율을 저하시키는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 벨트의 틀어짐 조정을 위해 따로 작업할 필요가 없으며, 작업시간을 단축시켜서 장비의 가동률을 향상시키고, 항상 벨트의 상태가 안정되어 있어, 웨이퍼에 증착되는 필름의 막질을 향상시킬수 있으며, 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있도록 한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 기술에 의한 웨이퍼의 벨트장치를 나타내는 평면도.

도 2는 종래의 기술에 의한 웨이퍼의 벨트장치를 나타내는 측면도.

도 3은 종래의 기술에 의한 웨이퍼의 벨트장치를 나타내는 정면도.

도 4는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 나타내는 평면도.

도 5는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 나타내는 측면도.

도 6a 내지 도 9b는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치의 작동을 나타내는 동작도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 운반벨트 2 : 롤러

4 : 반응챔버 5 : 광센서

6 : 롤러지지대 7 : 유압기암

8 : 유압기 9 : 컨트롤러

이러한, 본 고안의 목적은 반응챔버와, 상기 반응챔버 내를 움직이며 웨이퍼를 운반하는 운반벨트와, 상기 운반벨트의 전단부에 설치하여 벨트를 구동하는 구동롤러와, 상기 운반벨트의 네 모서리에 설치하여 벨트의 위치를 인식하는 광센서와, 상기 롤러축 양단에 설치하며 광센서로부터 전달받은 신호에 따라 롤러의 회전축을 움직이므로 벨트의 틀어짐을 조정하는 유압수단에 의해 달성된다.

이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.

도 4는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 나타내는 평면도이고, 도 5는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치를 나타내는 측면도이며, 도 6a 내지 도 9b는 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치의 작동을 나타내는 동작도를 각각 보인 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치는 반응챔버(4)와, 상기 반응챔버(4) 내를 움직이며 웨이퍼를 운반하는 운반벨트(1)와, 상기 운반벨트(1)의 전단부에 설치하여 벨트를 구동하는 구동롤러(2)와, 상기 운반벨트(1)의 네 모서리에 설치하여 벨트의 위치를 인식하는 광센서(5)와, 상기 롤러(2)축 양단에 설치하며 광센서(5)로부터 전달받은 신호에 따라 롤러(2)의 회전축을 움직이므로 벨트의 틀어짐을 조정하는 유압수단을 포함하여 구성된다.

상기 유압수단은 롤러(2)축 양단에 설치한 롤러축 지지대(6)와, 상기 롤러축 지지대(6)에 각각 설치한 유압기용 아암(7)와, 상기 아암(7)을 구동하는 유압기(8)로 구성된다.

이와 같이 구성된 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치의 작용효과를 설명한다.

본 고안에서는 벨트(1)의 네 모서리부에 위치한 광센서(5)에 의해 벨트(1)의 위치가 인식되며, 벨트(1)가 반응챔버(4)의 측벽과 가까이 접근하거나 접촉하게 되면, 상기 광센서(5)가 컨트롤러(9)에 벨트 위치에 대한 정보를 보내고, 컨트롤러(9)는 유압기(8)에 명령을 내려서 롤러(2)의 축을 움직임으로써 벨트(1)의 틀어짐을 조정하게 된다.

본 고안의 동작을 좀더 상술하면, 도 6a와 같이 운반벨트(1)가 좌측으로 붙으면, 광센서(5)에 의해 벨트의 위치를 인식한 후, 컨트롤러(9)를 통해 유압기(8)에 신호를 보내게 되면, 좌측 유압기(8a)에서는 좌측 유압기암(7a)을 밀게 되고, 우측 유압기(8b)에서는 우측 유압기암(7b)을 잡아당기게 되어 롤러(2)의 회전축을 오른쪽으로 경사지게 함으로, 도 6b와 같이, 벨트(1)를 오른쪽으로 미끄러지도록 하여 정위치에 오도록 한다. 도 7a는 운반벨트(1)가 우측으로 붙은 경우를 나타내는 것으로, 동작은 운반벨트가 좌측으로 붙은 경우의 반대로 동작함을 알 수 있다.

도 8a는 운반벨트(1)가 좌측으로 기울어진 경우를 나타낸 것으로, 이때도 운반벨트가 좌측으로 붙은 경우와 같이 왼쪽 유압기(8a)의 유압기암(7a)은 밀고, 오른쪽 유압기(8b)의 유압기암(7b)은 당기도록 신호를 전달하여, 기울어진 운반벨트(1)를 도 8b와 같이 정위치에 오도록 한다.

도 9a는 운반벨트(1)가 우측으로 기울어진 상태를 나타내며, 상기 운반벨트가 좌측으로 기울어진 상태에서 운반벨트를 조절하는 것과 반대로 동작하면 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 운반벨트 조정장치는 반응챔버와, 상기 반응챔버 내를 움직이며 웨이퍼를 운반하는 운반벨트와, 상기 운반벨트의 전단부에 설치하여 벨트를 구동하는 구동롤러와, 상기 운반벨트의 네 모서리에 설치하여 벨트의 위치를 인식하는 광센서와, 상기 롤러축 양단에 설치하며 광센서로부터 전달받은 신호에 따라 롤러의 회전축을 움직이므로 벨트의 틀어짐을 조정하는 유압수단으로 구성되어, 벨트의 틀어짐 조정을 위해 따로 작업할 필요가 없으며, 작업시간을 단축시켜서 장비의 가동률을 향상시키고, 항상 벨트의 상태가 안정되어 있어, 웨이퍼에 증착되는 필름의 막질을 향상시킬수 있으며, 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있도록 한 효과가 있다.

Claims (2)

1. 반응챔버와, 상기 반응챔버 내를 움직이며 웨이퍼를 운반하는 운반벨트와, 상기 운반벨트의 전단부에 설치하여 벨트를 구동하는 구동롤러와, 상기 운반벨트의 네 모서리에 설치하여 벨트의 위치를 인식하는 광센서와, 상기 롤러축 양단에 설치하며 광센서로부터 전달받은 신호에 따라 롤러의 회전축을 움직이므로 벨트의 틀어짐을 조정하는 유압수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반벨트 조정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 유압수단을 롤러축 양단에 설치한 롤러축 지지대와, 상기 롤러축 지지대와 각각 설치한 유압기용 아암과, 상기 아암을 구동하는 유압기로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반벨트 조정장치.