KR19990019645A

KR19990019645A - 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 증발성 게터

Info

Publication number: KR19990019645A
Application number: KR1019970043040A
Authority: KR
Inventors: 문권진; 우광제
Original assignee: 김영남; 오리온전기 주식회사
Priority date: 1997-08-29
Filing date: 1997-08-29
Publication date: 1999-03-15
Also published as: KR100260235B1

Abstract

본 발명은 전계방출표시소자의 패널내에 진공을 시키기 위해 사용되는 게터를 장착한 이후에 일반 산화분위기에서도 고온공정을 할 수 있는 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터에 관한 것으로, 도우넛 형상의 게터용기(10)에 홈부(16)를 형성하고, 상기 홈부(16)에 증발성 게터(12)를 형성하며 상기 증발성 게터(12)의 상부측에는 산화방지막(8)을 형성하도록 구성된 특징이 있다.

Description

전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 증발성 게터

본 발명은 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전계방출표시소자의 패널내에 진공을 시키기 위해 사용되는 게터를 장착한 이후에 일반 산화분위기에서도 고온 공정을 할 수 있는 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터에 관한 것이다.

일반적으로, 전계방출표시소자는 진공 내에서 팁 형상을 하는 소정의 금속 또는 실리콘 등에 높은 전기장을 인가하여 하판상의 에미터 팁으로부터 전자를 방출하여 상판에 형성되어 있는 형광층을 발광시켜 영상을 표시하는 디스플레이 장치이다.

따라서, 에미터 팁에서 방출된 전자가 형광층으로 날아가는 동안 아무런 산란이 없어야 하는 것으로, 이를 위해 전계방출표시소자의 상판과 하판 사이의 공간은 방출되는 전자의 활동을 극대화 하기 위해 10^-6Torr 이상의 진공도가 요구된다.

이러한 소정의 고진공 상태를 만들기 위해서는 게터를 사용하여 패널내부의 가스를 흡착시키는 것이 바람직하다.

종래의 일반적인 구조를 살펴볼 때, 전계방출표시소자의 패널 내부에 진공도를 높이기 위하여 증발성 게터를 장착하고, RF 유도 가열법으로 게터를 활성화시켜 고진공을 얻을 수 있도록 도 1 에 도시된 것과 같이 게터 용기(6)에 증발성 게터(2)를 담고 있도록 구성하여 이를 활성화시켜 패널의 내부를 고진공의 상태로 제작하였다.

그러나 상기와 같은 증발성 게터(2)는 전계방출표시소자가 제작되는 공정에서 게터(2)가 장착된 후에, 계속 진행되는 공정상에서 높은 온도를 요구하는 공정이 많아 증발성 게터(2)의 경우 산화분위기 또는 질소가스 등이 게터와 반응할 수 있는 가스 분위기인 경우에 활성화되어 이들 기체를 미리 흡착해 버리므로 게터로서의 효율이 떨어져 패널의 고진공을 이루지 못할 뿐만 아니라, 작업공정 또한 계속적으로 이루어지지 않는 등의 제약이 따르는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 개량 발명된 것으로, 본 발명의 목적은 패널에 게터를 장착한 후에 일정 온도 이상의 공정이 이루어 질 수 있도록 한 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터를 제공하는 것이다.

도 1은 종래의 전계방출표시소자용 증발성 게터는 나타낸 부분 절개 사시도.

도 2는 본 발명의 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 증발성 게터를 나타낸 부분 절개 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

8: 산화방지막 10: 게터 용기

16 홈부

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터는, 도우넛 형상의 게터 용기에 홈부를 형성하고, 상기 홈부에 증발성 게터를 형성하며 상기 증발성 게터의 상부측에는 산화방지막을 형성하도록 구성된다.

상기와 같이 구성 본 발명의 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 게터를 첨부된 도면을 참조하여 아래와 같이 상세하게 설명한다.

도 2 에 전계방출표시소자용 패널의 내부에 진공도를 높이기 위하여 도우넛 형상의 게터용기(10)에 홈부(16)를 형성하고 있으며, 상기 홈부(16)에 증발성 게터(12)를 충전시켜 형성하고, 상기 증발성 게터(12)의 상부측에는 증발성 게터(12)가 외부측과 차단되도록 산화방지막(8)을 형성한다.

상기와 같이 증발성 게터(12)의 상부측에 산화방지막(8)을 형성하므로 증발성 게터(12)를 활성시키기 이전에 다른 공정상에서 온도와 산화분위기 또는 질소가스 등에 의해 반응되는 것을 방지한다.

상기 증발성 게터(12)의 활성화시 가열하면 산화방지막(8)을 제거하면서 증발성 게터(12)가 활성화되면서 패널 내부에 형성되어 있는 가스와 반응하여 진공을 시작하게 된다.

따라서 본 고안의 산화방지막을 갖는 증발성 게터로 인해 증발성 게터를 전계방출표시소자의 패널에 장착한 후에도 일정온도 이상의 공정 작업에 제약을 받지않고 계속되는 연속공정을 할 수 있을뿐만 아니라, 게터의 일부분이 미리 흡착되는 것을 방지하기 때문에 게터의 효율성을 높일 수 있다.

Claims

전계방출표시소자용 증발성 게터를 형성함에 있어서, 도우넛 형상의 게터용기(10)에 홈부(16)를 형성하고, 상기 홈부(16)에 증발성 게터(12)를 형성하며 상기 증발성 게터(12)의 상부측에는 산화방지막(8)을 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로하는 전계방출표시소자용 산화방지막을 갖는 증발성 게터.