KR19990017512A

KR19990017512A - 비지에이패키지의 마크검사장치

Info

Publication number: KR19990017512A
Application number: KR1019970040465A
Authority: KR
Inventors: 송현근
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-08-25
Filing date: 1997-08-25
Publication date: 1999-03-15

Abstract

본 발명은 BGA패키지의 솔더볼을 검사하고 나서 트레이를 상, 하 위치를 전환하여 마크검사를 용이하게 할 수 있도록 한 BGA패키지의 마크검사장치에 관한 것이다.

본 발명의 목적은 BGA패키지의 솔더볼과 마크 외관검사를 효율적으로 실시할 수 있는 BGA패키지의 마크검사장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치는 BGA패키지들을 담은 트레이들을 로딩한 로더부; 상기 BGA패키지들의 솔더볼들을 외관검사하는 솔더볼 검사부; 상기 솔더볼 외관검사 완료한 BGA패키지들의 상, 하면을 전환시키기 위해 상기 트레이의 상, 하면을 전환시키는 트레이 전환부; 상기 전환된 트레이 내의 BGA패키지들의 마크을 외관검사하는 마크검사부; 상기 마크검사 완료한 트레이를 언로딩하는 언로더부; 그리고 상기 각부 사이에서 상기 트레이를 이송하는 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명은 트레이에 담겨진 BGA패키지의 마크외관검사를 솔더볼 검사와 함께 콘베어에 의해 연속적으로 이송하면서 이룩할 수 있어 BGA패키지의 마크외관검사를 단순화하여 효율성을 향상시킬 수 있다.

Description

비지에이패키지의 마크검사장치

본 발명은 BGA패키지의 마크검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 BGA패키지의 솔더볼을 검사하고 나서 트레이를 상, 하 위치를 전환하여 마크사를 용이하게 할 수 있도록 한 BGA패키지의 마크검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 널리 알려진 바와 같이, 자동외관검사공정에서는 CCD카메라와 레이저를 응용하여 반도체칩 패키지의 각 공정에서 발생할 수 있는 여러 가지 제품외형 불량을 반도체칩 패키지의 포장, 입고 전에 자동으로 스크린하여 고객에게 안정된 외관품질을 제공하기 위해 반도체칩 패키지의 리드가 원래의 기준점에서 벗어난 정도를 측정하는 스큐(skew), 리드의 중심에서 인접 리드의 중심 사이의 간격인 피치, 리드의 폭, 리드와 리드 사이의 간격, 패키지 표면에 인쇄된 제품코드 등에 대한 품질의 마킹상태, 리드와 가장 낮은 기준 평면과의 들뜸 정도를 측정하는 평탄도(coplanarity)를 자동 검사한다.

그런데, 마킹공정에서는 반도체칩 패키지의 조립 및 테스트공정중 반도체칩 패키지의 상면과 하면에 반도체칩의 종류, 제조회사의 로고 및 상호, 조립일자 등의 각종 정보를 마킹한다. 마킹공정은 레이저를 이용하여 반도체칩 패키지의 표면에 특정문자를 마킹하는 레이저마킹과, 활자판을 이용하여 반도체칩 패키지의 표면에 특정문자를 마킹하는 잉크 마킹으로 구분된다.

기존에는 잉크 마킹이 보다 선명한 마킹을 제공하였으나 각종 편의성 및 유지 관리의 용이성으로 인하여 레이저 마킹이 점차 보편화되어 가고 있는 추세에 있다.

상기 반도체칩 패키지의 표면에 마킹된 마크가 레이저 외관검사설비에 의해 자동으로 외관검사되어 왔다.

종래의 레이저 외관검사설비는 도 1에 도시된 바와 같이, BGA패키지들(도시 안됨)을 담은 트레이들(1)을 로딩한 로더부(10)와, 상기 BGA패키지들의 솔더볼들을 외관검사하는 솔더볼 검사부(20)와, 상기 BGA패키지의 마크를 외관검사하는 마크 검사부(30)와, 검사완료한 트레이(1)를 언로딩하는 언로더부(40)와, 상기 각부 사이에서의 트레이(1)의 이송을 실시하는 이송수단인 콘베어(50)로 이루어져 있다.

이와 같이 구성된 종래의 레이저 외관검사설비에서는 먼저, 로더부(10) 내의 트레이들(1) 중 하나가 로더부(10)의 로봇암(도시 안됨)에 의해 이송용 콘베어(50)에 올려 놓여져 솔더볼 검사부(20)로 이송되기 시작한다.

트레이(1)가 솔더볼 검사부(20)에 이송 완료되고 나면, 솔더볼 검사부(20)에서 레이저(도시 안됨)가 트레이(1) 내의 BGA패키지들(도시 안됨)의 솔더볼들에 레이저광을 조사하여 솔더볼들의 외관을 검사한다. 상기 솔더볼 검사결과가 전송라인(도시 안됨)을 거쳐 제어부에 전송된다.

상기 BGA패키지의 솔더볼 검사가 완료되고 나면, 상기 BGA패키지의 마크검사를 마크검사부(30)에서 생략한 채 트레이(1)가 언로더부(40)로 이송된다. 이는 레이저 외관검사설비가 인트레이데드버그(intray dead bug) 방식으로 BGA패키지의 외관검사를 실시하므로 트레이(1) 내의 BGA패키지는 솔더볼이 상측을 향하고 마크가 형성된 표면이 하측을 향하고 있어서 마크검사부(30)의 CCD카메라(도시 안됨)가 마크를 볼 수 없기 때문이다.

이후, 트레이(1)가 언로더부(40)의 전방에 도착하면, 언로더부(40)의 로봇암(도시 안됨)이 상기 트레이를 콘베어(50)로부터 언로딩한다.

따라서, 1차로 BGA패키지의 솔더볼이 검사 완료되고 나면, 작업자가 육안으로 직접 마크를 검사한다. 또는, 마킹면이 상측을 향하도록 BGA패키지를 뒤집어 트레이(1)에 담은 후 다시 로더부(10)에 로딩한 후 콘베어(50)에 올려 놓는다.

상기 BGA패키지의 솔더볼 검사를 솔더볼 검사부(20)에서 생략한 채 트레이(1)가 마크검사부(30)로 곧장 이송되어 마크검사부(30)의 CCD카메라(도시 안됨)가 BGA패키지의 마크외관검사를 실시한다.

상기 BGA패키지의 마크외관검사가 완료되고 나면, 트레이(1)가 언로더부(40)로 이송된다.

그러나, 종래의 레이저 외관검사설비에서는 로더부(10)의 트레이(1)를 콘베어(50)에 의해 이송하면서 BGA패키지의 솔더볼 외관검사를 1차로 실시하고 언로더부(40)에 언로딩한다. 이후, 상기 BGA패키지의 마크를 육안 검사하거나, 상기 BGA패키지를 뒤집어서 트레이(1)에 담고 나서 콘베어(50)에 의해 이송하면서 마크 외관검사를 2차로 실시한다. 이로써, 종래의 레이저 외관검사설비가 BGA패키지의 마크를 검사하는데 비효율적이었다.

따라서, 본 발명의 목적은 BGA패키지의 솔더볼과 마크 외관검사를 효율적으로 실시할 수 있는 BGA패키지의 마크검사장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 BGA패키지의 마크검사장치의 구조를 나타낸 개략도.

도 2는 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치의 구조를 나타낸 개략도.

도 3은 도 2의 트레이 전환부의 구조를 나타낸 상세도.

도면의주요부분에대한부호의설명

1,3: 트레이 10: 로더부 20: 솔더볼 검사부 30: 마크 검사부 40: 언로더부 50: 콘베어 60: 트레이 전환부 61: 엘리베이터 63: 전환부 63a: 클램핑부 63b: 회전모타

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치는

BGA패키지들을 담은 트레이들을 로딩한 로더부;

상기 BGA패키지들의 솔더볼들을 외관검사하는 솔더볼 검사부;

상기 솔더볼 외관검사 완료한 BGA패키지들의 상, 하면을 전환시키기 위해 상기 트레이의 상, 하면을 전환시키는 트레이 전환부;

상기 전환된 트레이 내의 BGA패키지들의 마크를 외관검사하는 마크검사부;

상기 마크검사 완료한 트레이를 언로딩하는 언로더부; 그리고

상기 각부 사이에서 상기 트레이를 이송하는 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여한다.

도 2는 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치를 나타낸 개략도이고 도 3은 도 2의 트레이 전환부를 나타낸 상세도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 솔더볼 검사부(20)와 마크 검사부(30) 사이에 트레이 전환부(60)가 설치된 것을 제외하면 도 1의 구조와 동일한 구조로 이루어져 있다.

상기 트레이 전환부(60)는 도 3에 도시된 바와 같이, 솔더볼 검사부(20)로부터 이송되어 온, 솔더볼 검사완료한 BGA패키지를 담은 트레이(1)를 빈 트레이(3)의 하부면으로 상향 이동시키는 엘리베이터(61)와, 밀착한 트레이들(1),(3)을 클램핑하여 상, 하 위치를 전환시키는 전환부(63)으로 이루어져 있다. 여기서, 전환부(63)는 트레이들(1),(3)을 클램핑하는 클램핑부(63a)와, 클램핑부(63a)를 180도 회전시키는 회전모타(63b)로 이루어져 있다.

이와 같이 구성되는 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치의 작용을 설명하면, 먼저, 로더부(10) 내의 트레이들(1) 중 하나가 로더부(10)의 로봇암(도시 안됨)에 의해 이송용 콘베어(50)에 올려 놓여져 솔더볼 검사부(20)로 이송되기 시작한다.

상기 BGA패키지의 솔더볼 검사가 완료되고 나면, 트레이(1)가 트레이 전환부(60)로 이송된다. 이때, 상기 트레이(1)는 상측에 기 놓여진 빈 트레이(3)의 하부에 위치한다. 여기서, 빈 트레이(3)의 포켓이 하측을 향하고 있다.

이어서, 트레이 전환부(60)의 엘리베이터(61)가 트레이(1)를 상향 이동시켜 빈 트레이(3)와 접촉시키면서 클램핑부(63a)로 상향 이동시킨다. 트레이들(1),(3)이 클램핑(63a)에 도달하고 나면, 클램핑부(63a)가 트레이들(1),(3)을 클램핑함과 아울러 엘리베이트(61)이 하향 이동한다. 이후, 회전모타(63b)가 축을 180도 회전시켜 트레이들(1),(3)의 위치를 상,하 전환시킨다.

그런 다음, 엘리베이터(61)가 다시 상향 이동하여 트레이들(1),(3)을 지지하고 이와 아울러 클램핑부(63a)가 트레이들(1),(3)의 클램핑을 해제한다.

이후, 엘리베이터(61)가 하향 이동하여 트레이들(1),(3)을 하향 이송한다. 이때, 트레이(3)에 담겨진 BGA패키지는 솔더볼이 하측을 향하고 마킹면이 상측을 향하고 있다.

트레이(3)가 엘리베이터(61)에 의해 하향 이동되고 콘베어(50)에 의해 마크검사부(30)로 이송되면, 마크검사부(30)의 CCD카메라(도시 안됨)가 상측을 향하고 있는 BGA패키지의 마크를 외관검사한다.

상기 BGA패키지의 마크외관검사가 완료되고 나면, 트레이(3)가 언로더부(40)로 이송된다. 이후, 트레이(3)가 언로더부(40)의 전방에 도착하면, 언로더부(40)의 로봇암(도시 안됨)이 상기 트레이를 콘베어(50)로부터 언로딩한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 BGA패키지의 마크검사장치에서는 BGA패키지들을 담은 트레이를 콘베어에 의해 이송하면서 솔더볼 검사부에서 솔더볼을 검사한다. 그리고 나서 트레이전환부에서 상기 BGA패키지를 담은 트레이를 엘리베이터에 의해 그 위에 기 위치한 빈 트레이로 상향 이동시켜 서로 밀착시키고 클램핑부에 의해 클램핑하고 회전모타에 의해 180도 회전시켜 양자의 상, 하 위치를 전환시킨다. 이때, BGA패키지의 마킹면이 상측을 향하므로 다음의 마크검사부에서 마크를 검사할 수 있다.

한편, 본 발명은 도시된 도면과 상세한 설명에 기술된 내용에 한정하지 않으며 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 형태에도 적용 가능함은 이 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다.

Claims

BGA패키지들을 담은 트레이들을 로딩한 로더부; 상기 BGA패키지들의 솔더볼들을 외관검사하는 솔더볼 검사부; 상기 솔더볼 외관검사 완료한 BGA패키지들의 상, 하면을 전환시키기 위해 상기 트레이의 상, 하면을 전환시키는 트레이 전환부; 상기 전환된 트레이 내의 BGA패키지들의 마크를 외관검사하는 마크검사부; 상기 마크검사 완료한 트레이를 언로딩하는 언로더부; 그리고 상기 각부 사이에서 상기 트레이를 이송하는 이송수단을 포함하는 BGA패키지의 마크검사장치.
제 1 항에 있어서, 상기 트레이 전환부는 상기 솔더볼 검사완료한 BGA패키지를 담은 트레이를 내부에 기 설치된 빈 트레이의 하부면으로 상향 이동, 밀착시키는 엘리베이터; 그리고 상기 밀착한 트레이들을 클램핑하여 상, 하 위치를 전환시키는 전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 BGA패키지의 마크검사장치.
제 2 항에 있어서, 상기 전환부는 상기 밀착한 트레이들을 클램핑하는 클램핑부; 그리고

상기 클램핑부를 180도 회전시키는 회전모타를 포함하는 것을 특징으로 하는 BGA패키지의 마크검사장치.