KR19990014294A - 연마 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
경우1 | 경우2 | 종래 | |
연마액 | 15 ℃ | 40 ℃ | 15 ℃ |
열매체 | 15 ℃ | 40 ℃ | 15 ℃ |
연마실 | 16 ℃ | 39 ℃ | 23 ℃ |
연마온도 | 17 ℃ | 39 ℃ | 23 ℃ |
목표온도 | 16 ℃ | 40 ℃ | 16 ℃ |
3경우 | 경우4 | 종래 | |
연마액 | 10 ℃ | 48 ℃ | 15 ℃ |
열매체 | 15 ℃ | 47 ℃ | 15 ℃ |
연마실 | 23 ℃ | 23 ℃ | 23 ℃ |
연마온도 | 17 ℃ | 39 ℃ | 23 ℃ |
목표온도 | 16 ℃ | 40 ℃ | 16 ℃ |
Claims (17)
- 가공물의 표면을 연마하기 위한 연마장치에 있어서,연마표면을 제공하는 연마공구 및 가공물을 유지시키는 가공물 유지장치를 구비한 연마유닛; 및상기 가공물의 표면과 상기 연마표면 사이의 연마경계면 안으로 연마액을 공급하는 연마액 공급장치를 포함하고,상기 연마경계면의 온도는, 변수로서, 최소한 상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 외기온도에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1항에 있어서,상기 장치는 상기 연마공간을 특정온도로 유지시키는 외기온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1항에 있어서,상기 장치는 상기 연마액을 특정 온도로 유지시키는 용액온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1항에 있어서,상기 장치는 상기 연마공구 내의 내부통로 안을 흐르는 열매체를 특정 온도로 유지시키는 공구온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1항에 있어서,상기 장치는 연마표면 온도를 검출하는 센서장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 2항에 있어서,상기 외기온도 제어장치는 하향유동 형태로 상기 연마공간으로 공급되는 공기의 공기온도를 유지시키는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 가공물의 표면을 연마하는 연마장치에 있어서,연마표면을 제공하는 연마공구 및 가공물을 유지하는 가공물 유지장치를 구비한 연마유닛;상기 가공물의 표면과 상기 연마표면 사이의 연마경계면 안으로 연마액을 공급하는 연마액 공급장치;상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 외기온도를 직접 또는 간접적으로 검출하는 외기온도 센서; 및상기 외기온도 센서의 검출결과에 따라 상기 연마경계면에서의 연마온도를 유지시키는 연마온도 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 7항에 있어서,상기 장치는 상기 연마공간을 특정온도로 유지시키는 외기온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 7항에 있어서,상기 장치는 상기 연마액을 특정온도로 제어하는 용액온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 7항에 있어서,상기 장치는 상기 연마공구 내의 내부통로 안을 흐르는 열매체를 특정온도로 유지시키는 공구온도 제어장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 7항에 있어서,상기 장치는 연마공간 온도를 검출하는 센서가 제공되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 8항에 있어서,상기 외기온도 제어장치는 하향유동 형태로 상기 연마공간으로 공급되는 공기의 공기온도를 유지시키는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 연마표면을 제공하는 연마공구와 가공물을 유지하는 가공물 유지장치를 구비한 연마유닛, 및 상기 가공물의 표면과 상기 연마표면 사이의 연마경계면 안으로 연마액을 공급하는 연마액 공급장치를 포함하는 연마장치에 의해 가공물의 표면온도를 제어하는 방법에 있어서,상기 연마액, 상기 연마공구 안을 흐르는 열매체 및 상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 각 온도는 상기 연마경계면의 온도가 목표 연마온도로 유지되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 13항에 있어서,상기 연마액, 상기 연마공구 안을 흐르는 열매체 및 상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 각 온도는 실질적으로 동일하게 유지되는 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 13항에 있어서,상기 연마액, 상기 연마공구 안을 흐르는 열매체 및 상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 온도는 상기 연마경계면의 검출온도에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 연마표면을 제공하는 연마공구와 가공물을 유지하는 가공물 유지장치를 구비한 연마유닛, 및 상기 가공물의 표면과 상기 연마표면 사이의 연마경계면 안으로 연마액을 공급하는 연마액 공급장치를 포함하는 연마장치에 의해 가공물의 표면온도를 제어하는 방법에 있어서,상기 연마온도는 상기 연마유닛을 둘러싸는 연마공간의 외기온도 및 목표 연마온도에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 16항에 있어서,상기 연마공구를 특정온도로 유지하도록 상기 연마공구 안을 순환하는 열매체를 제어하는 방법을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
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