KR19990006167A

KR19990006167A - 파티클 제거 장치

Info

Publication number: KR19990006167A
Application number: KR1019970030389A
Authority: KR
Inventors: 윤찬준; 박종건
Original assignee: 김영환; 현대전자산업 주식회사
Priority date: 1997-06-30
Filing date: 1997-06-30
Publication date: 1999-01-25
Also published as: KR100256299B1

Abstract

본 발명은 액정디스플레이용 셀의 절단 공정에서 발생하는 글래스 파티클을 제거하기 위한 장치로서, 컷팅된 셀이 올려져 고정되는 진공 클램프를 갖는 본체; 상기 본체의 진공 클램프에 올려진 셀의 위치를 정렬시키는 수단; 위치가 정렬되어 고정된 셀의 사각면에 위치하도록 설치되며, 질소를 분사하여 셀 표면의 글래스 파티클을 이온화시키는 이온 송풍기; 이온화되어 셀 표면으로부터 격리된 글래스 파티클을 흡입 제거하는 수단; 및 이들 각 구성 부품의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하여 절단된 셀의 표면에 존재하는 글래스 파티클을 비접촉식으로 흡입 제거하도록 구성된 것을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 셀의 4각면 끝에 부착된 파티클들이 이온송풍기로 인하여 파티클이 이온화되어 셀과 분리되고, 상기와 같이 분리된 파티클은 파티클 흡입부로 쉽게 흡입됨으로써, 글래스 파티클에 따른 셀과 폴라라이저의 조립시 발생하는 불량을 배제할 수 있고, 셀 테스트시의 데이터 오프 및 픽셀의 부족이 일어나는 일을 방지할 수 있으며, 다음 공정으로 안정된 셀을 제공함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

파티클 제거 장치

본 발명은 액정 디스플레이 제조를 위한 셀 절단 과정에서 발생하는 글래스 파티클을 비접촉 방식으로 제거하는 파티클 제거 장치에 관한 것이다.

화상 정보 전달에 있어서, 인간과 기계의 인터페이스 역할을 하는 표시장치(Display)의 소형화 및 고품질화에 관심이 모아지고 있다. 이로 인해 지금까지 사용되어온 부피가 큰 음극선관(CRT)에 대신한 각종 액정 디스플레이가 개발되어 급속히 보급되고 있다. 액정 평판 디스플레이(LCD)의 기술 진전은 현저하여 이미 색상 화질에서는 음극선관(CRT)에 필적하거나 그 이상을 실현하기에 이르고 있다. 따라서, 최근에는 크기가 작아 휴대가 간편하고 인체에 유해한 전자파 발생이 없는 등의 이점이 있는 액정 디스플레이로 대체되고 있다.

상기와 같은 액정 디스플레이는 개별 스윗칭 소자인 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 하부기판 즉, 박막 트랜지스터 기판과, 빨강, 초록, 파랑의 3가지 색필터층이 반복 배열되어 칼라화를 실현시키는 대향기판인 상부기판으로 구성되어 있다.

이러한 액정 디스플레이는 액정디스플레이용 글래스나 플라스틱 셀을 세정하는 공정, 알칼리 방지막을 코팅하는 공정, 투명도전막을 피착하는 공정, 방부제(Resist)를 도포하는 공정, 배향층 형성 공정, 러빙(Rubbing) 처리 공정, 시일(Seal)제 인쇄 공정, 탈포 및 건조 공정, 기판 접합 공정, 가열 및 가압과 경화 공정, 진공탈기 공정, 액정주입 공정, 주입 구멍 봉지 공정, 액정 셀(Cell) 분단 공정, 표시 기능 검사 공정, 편광판 및 광반사판 부착 공정, 외관 검사 공정 등을 걸쳐서 제조된다.

상기와 같은 액정디스플레이의 제조공정 중 셀을 절단하는 공정이 있는데, 이는각각의 단위 셀로 금긋기를 한 후, 이 스크라이빙 라인을 따라 별도의 공구를 진행시켜 셀을 절단한다. 이때 금긋기나 컷팅시 글래스 파티클이 발생되는데, 이와 같이 발생되는 글래스 파티클은 후속 공정에 나쁜 영향을 주므로 철저히 제거하여야 한다.

종래에는 상기와 같은 금긋기나 컷팅시 발생하는 글래스 파티클을 브러쉬를 이용하여 제거하고 있었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 글래스 파티클 제거방법은 브러쉬를 이용하는 접촉식으로써 셀이 데미지를 입을 우려가 있고, 더욱이 컷팅후에는 별도의 파티클 제거 작업을 진행하지 않음에 따라 컷팅된 셀에 파티클이 존재하여 후속 공정에 많은 영향을 미치고 있었다. 즉 셀(CELL)과 폴라라이저(POLARIZER)의 조립시 불량이 발생하거나, 또는 셀 테스트시에 데이타 오픈 및 팩셀 부족 등과 같은 문제점이 발생하고 있었다.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 셀의 컷팅시 발생하는 글래스 파티클을 비접촉식으로 제거할 수 있는 파티클 제거 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 파티클 제거 장치를 보인 정면도.

도 2는 도 1의 평면도.

도 3은 도 1의 측면도.

도 4는 본 발명의 요부 구성을 보인 측단면도.

도 5는 도 4의 A부 상세도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1; 본체2; 작업대

3; 셀4; 진공 클램프

5; 제 1실린더6; 제 2실린더

7; 제 3실린더8; 제 4실린더

9; 이온송풍기10:제 1흡입관

11; 제 2흡입관12; 플렉시블한 관

13; 링 송풍기14; 필터

15; 제 5실린더16; 제 6실린더

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 파티클 제거 장치는, 컷팅된 셀이 올려져 고정되는 진공 클램프를 갖는 본체; 상기 본체의 진공 클램프에 올려진 셀의 위치를 정렬시키는 수단; 위치가 정렬되어 고정된 셀의 사각면에 위치하도록 설치되며, 질소를 분사하여 셀 표면의 글래스 파티클을 이온화시키는 이온 송풍기; 이온화되어 셀 표면으로부터 격리된 글래스 파티클을 흡입 제거하는 수단; 및 이들 각 구성 부품의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 위치 정렬 수단은 셀을 고정하는 진공 클램프에 인접하게 설치되어 진공 클램프에 올려진 셀의 4면을 밀어 이동시키는 4개의 실린더로 구성되고, 이들 4개의 실린더 중 2개는 셀 위치의 기준이 되는 고정 실린더로 사용되며, 다른 2개는 이동 실린더로 사용되도록 구성된다.

또한, 상기 글래스 파티클 흡입 제거수단은 진공 클램프에 곶덩된 셀의 전, 후측부에 셀의 가장자리를 따라 이동 가능하게 설치된 제 1흡입관 및 셀의 좌, 우측부에 이동 가능하게 설치된 제 2흡입관과, 상기 제 1 및 제 2흡입관에 진공을 부여하는 링 송풍기와, 상기 링 송풍기와 제 1 및 제 2흡입관을 연결하는 플렉시블 관의 도중에 설치되어 흡입되는 글래스 파티클을 분리시키는 필터와, 상기 제 1흡입관을 좌, 우측으로 왕복이동시키는 제 5실린더와, 상기 제 2흡입관을 전, 후측으로 왕복이동시키는 제 6실린더를 포함하여 구성된다.

이와 같은 본 발명에 의한 파티클 제거 장치는, 셀 조립후 구조적으로 렌즈세척이나 스프레이 세척 방법으로 파티클을 제거할 수 없는 부위, 즉 셀의 사면 가장자리 부분에 존재하는 파티클을 비접촉식으로 제거할 수 있는 장치로써, 파티클 오염에 따른 불량의 원인을 배제시킬 수 있고, 또 다음 공정으로 보다 안정된 셀을 투입함으로써 수율 및 품질 향상을 도모할 수 있다.

[실시예]

이하, 상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 보다 구체적으로 설명한다.

첨부한 도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 파티클 제거 장치를 보인 정면도, 도 2는 도 1의 평면도, 도 3은 도 1의 측면도이고, 도 4는 본 발명의 요부 구성을 보인 측단면도이며, 도 5는 도 4의 A부 상세도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 파티클 제거 장치는, 본체(1)의 상부를 구성하는 작업대(2)에 컷팅된 셀(3)이 올려져 고정되는 진공 클램프(4)가 설치되어 있고, 이 진공 클램프(4)의 네개 방향으로 4개의 실린더(6)(7)(8)(9)가 작업대(2)에 고정, 설치되어 있다.

상기 실린더(5)(6)(7)(8)는 진공 클램프(4)에 올려진 셀(3)을 고정하기전에 그 위치를 정렬시키기 위한 것으로써, 4개의 실린더 중 2개, 즉 제 1실린더(5)와 제 4실린더(8)는 셀 위치의 기준이 되는 고정 실린더로 사용되고, 나머지 두개의 실린더(6)(7)는 진공 클램프(4)에 올려진 셀(3)의 측면을 밀어 이동시키는 이동 실린더로 사용되도록 구성되어 있다.

또한, 상기 셀(3)의 4각면에 위치하는 부분에는 이온 송풍기(9)가 설치되어 있으며, 셀(3)의 전, 후면과 좌, 우측면에는 제 1흡입관(10)과 제 2흡입관(11)이 셀(3)의 가장자리를 따라 이동 가능하게 설치되어 있다.

상기 이온 송풍기(9)는 진공 클램프(4)에 고정될 셀(3)의 사각면에 질소를 분사하여 셀(3)의 표면에 존재하는 글래스 파티클들을 이온화시키기 위한 것으로, 이와 같이 이온화되면 셀(3)과의 밀착력이 약해져 파티클 들은 셀(3)의 표면으로부터 쉽게 분리되게 된다.

그리고, 상기 제 1흡입관(10) 및 제 2흡입관(11)은 이온 송풍기(9)에 의해 이온화되어 셀(3)의 표면으로부터 격리된 글래스 파티클을 흡입하여 제거하는 수단을 구성하는 부품으로써, 이와 같은 글래스 파티클 흡입 제거수단은 상기한 제 1흡입관(10) 및 제 2흡입관(11) 이외에도, 상기한 흡입관(10)(11)에 플렉시블관(12)으로 연결되어 진공력을 부여하는 링 송풍기(13)와, 상기 플렉시블관(12)의 도중에 설치되어 흡입되는 글래스 파티클을 분리하는 필터(14)와, 상기한 제 1흡입관(10)을 왕복 이동시키기 위한 제 5실린더(15)와, 제 2흡입관(11)을 왕복 이동시키기 위한 제 6실신더(16)를 포함하고 있다.

상기 링 송풍기(13)는 본체(1)의내부에 설치되어 있고, 필터(14)에 연결되어 있으며, 이 필터(14)에 플렉시블관(12)이 연결되어 링 송풍기(13)와 제 1흡입관(10) 및 제 2흡입관(11)이 연통되도록 되어 있다.

상기 셀(3)의 4각면 끝에 붙어있는 글래스 파티클의 정전기를 이온화하여 셀(3)로부터 글래스 파티클을 분리시키는 이온송풍기(9)와, 상기 셀(3)의 위치를 정열하는 수단과, 셀(3)을 고정하는 진공 클램프(4)와, 글래스 파티클을 흡입, 제거하는 수단들의 각 구성 부품의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)가 본체(1)에 설치되어 있다.

이하, 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 파티클 제거 장치의 작용을 설명한다.

즉, 작업자는 상기 진공 클램프(4)의 4개의 방향에 설치된 실린더 중 제 1실린더(5)와 제 4실린더(8)의 원점을 맞춰 고정한 다음, 셀(3)을 집어 진공클램프(4)에 올려놓고, 작동 스위치(미도시)를 누르면 제 4실린더(6)와, 제 3실린더(7)가 0.1m/sec의 속도로 이동되어 셀(3)이 위치를 정열하게 되면, 진공 클램프(4)가 작동되어 셀(3)을 고정하게 된다.

상기와 같이 셀(3)의고정이 끝남과 동시에 링 송풍기(13)와 이온 송풍기(9)가 작동되어, 링 송풍기는 150㎜/Aq의 진공압을 발생시키게 되고, 이온 송풍기는 3~4kgf/㎠의 이온압을 발생시키게 된다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이, 셀(3)의 4각면에 설치된 이온 송풍기(9)가 셀(3)의 4각면 끝에 붙어있는 글래스 파티클의 정전기를 이온화하게 되면, 셀(3)의 4면 끝단에서 10㎜범위안에 붙어있는 글래스 파티클이 셀(3) 표면과 분리하게 된다.

상기와 같이 글래스 파티클이 셀(3) 표면과 분리하게 되면, 제 5실린더(15)가 작동되어 제 1흡입관(10)을 셀(3)의 좌, 우측으로 왕복이동시켜서 셀(3)의 좌,우측의 끝에 붙어있는 글래스 파티클을 흡입, 제거하게 되고, 상기 제 5실린더(15)의 작동이 끝나게 되면, 제 6실린더(16)가 작동되어 제 2흡입관(11)을 셀(3)의 전, 후측으로 왕복이동시켜 셀(3)의 전, 후측의 끝에 붙어있는 글래스 파티클을 흡입, 제거하게 된다.

또한, 상기 제 6실린더(16)의 왕복이동이 끝나면 진공 클램프(4)와 링 송풍기(13) 및 이온 송풍기(9)의 작동이 끝남으로써, 셀(3)에서 글래스 파티클을 제거하는 공정이 끝나게 된다.

상기와 같은 본 발명에 의한 파티클 제거 장치는 셀(3)의 4각면의 끝에서 발생하는 글래스 파티클을 제거함으로써, 글래스파티클에 따른 불량의 원인을 배제하였고, 다음 공정으로 안정된 셀(3)을 제공함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 셀의 4각면 끝에 부착된 글래스 파티클들이 이온송풍기로 인하여 글래스 파티클의 정전기가 이온화되어 셀과 분리되어서, 글래스 파티클이 흡입관들로 쉽게 흡입, 제거됨으로써, 글래스 파티클에 따른 셀과 폴라라이저의 조립시 발생하는 불량을 배제할 수 있고, 셀 테스트시에 데이터 오픈 및 픽셀 부족이 일어나는일을 방지할 수 있으며, 다음 공정으로 안정된 셀을 제공함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명은 상술한 특정이 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims

액정디스플레이용 셀의 절단 공정에서 발생하는 글래스 파티클을 제거하기 위한 장치로서,

컷팅된 셀이 올려져 고정되는 진공 클램프를 갖는 본체;

상기 본체의 진공 클램프에 올려진 셀의 위치를 정렬시키는 다수;

위치가 정렬되어 고정도니 셀의 사각면에 위치하도록 설치되며, 질소를 분사하여 셀 표면의 글래스 파티클을 이온화시키는 이온 송풍기;

이온화되어 셀 표면으로부터 격리된 글래스 파티클을 흡입 제거하는 수단; 및

이들 각 구성 부품의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하여 절단된 셀의 표면에 존재하는 글래스 파티클을 비접촉식으로 흡입 제거하도록 구성된 것을 특징으로 하는 파티클 제거 장치.
제 1항에 있어서, 상기 위치 정렬 수단은 셀을 고정하는 진공 클램프에 인접하게 설치되어 진공 클램프에 올려진 셀의 4면을 밀어 이동시키는 4개의 실린더로 구성되고, 이들 4개의 실린더 중 2개는 셀 위치의 기준이 되는 고정 실린더로 사용되고, 다른 2개는 이동 실린더로 사용되는 것을 특징으로 하는 파티클 제거 장치.
제 1항에 있어서, 상기 글래스 파티클 흡입 제거수단은 진공 클램프에 고정된 셀의 전, 후측부에 셀의 가장자리를 따라 이동 가능하게 설치된 제 1흡입관 및 셀의 좌, 우측부에 이동 가능하게 설치된 제 2흡입관;

상기 제 1 및 제 2흡입관에 진공을 부여하는 링 송풍기;

상기 링 송풍기와 제 1 및 제 2흡입관을 연결하는 플렉시블관의도중에 설치되어 흡입되는 글래스 파티클을 분리시키는 필터;

상기 제 1흡입관을 좌,우측으로 왕복이동시키는 제 5실린더; 및

상기 제 2흡입관을 전, 후측으로 왕복이동시키는 제 6실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 파티클 제거 장치.