JP2003266032A - 洗浄装置および洗浄方法ならびに液晶表示装置の製法 - Google Patents
洗浄装置および洗浄方法ならびに液晶表示装置の製法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置の製造工程において、基板表面に
ポリイミド樹脂などの高分子材料で配向膜を成膜した
後、ラビング処理された基板を洗浄する場合に、基板端
面に形成されたアライメントマーカに付着した汚れを完
全に除去できる枚葉式基板洗浄方法および枚葉式基板洗
浄装置を提供する。 【解決手段】基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め
用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗
浄するために、アルコール洗浄室と、ブラシ洗浄室と、
純水洗浄室とからなるが、これらアルコール洗浄室とブ
ラシ洗浄室は、前処理兼ブラシ洗浄室１にて共通され
る。そして、前処理兼ブラシ洗浄室１に対し、純水洗浄
室である洗浄液置換室２が接続されている。
ポリイミド樹脂などの高分子材料で配向膜を成膜した
後、ラビング処理された基板を洗浄する場合に、基板端
面に形成されたアライメントマーカに付着した汚れを完
全に除去できる枚葉式基板洗浄方法および枚葉式基板洗
浄装置を提供する。 【解決手段】基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め
用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗
浄するために、アルコール洗浄室と、ブラシ洗浄室と、
純水洗浄室とからなるが、これらアルコール洗浄室とブ
ラシ洗浄室は、前処理兼ブラシ洗浄室１にて共通され
る。そして、前処理兼ブラシ洗浄室１に対し、純水洗浄
室である洗浄液置換室２が接続されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高輝度かつ高精細
かつ薄型軽量である液晶表示装置の製造工程において、
基板表面にポリイミド樹脂などの高分子材料にて配向膜
を成膜した後、導電性レーヨン原糸などを織って作られ
たバフ材であるラビング布でラビング処理し、そして、
かかる液晶パネル用部材に対し洗浄する洗浄装置および
洗浄方法に関するものである。
かつ薄型軽量である液晶表示装置の製造工程において、
基板表面にポリイミド樹脂などの高分子材料にて配向膜
を成膜した後、導電性レーヨン原糸などを織って作られ
たバフ材であるラビング布でラビング処理し、そして、
かかる液晶パネル用部材に対し洗浄する洗浄装置および
洗浄方法に関するものである。
【０００２】さらに本発明は液晶パネル用部材の基板の
非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライ
メントマーカを洗浄し、これによって高い精度でもって
液晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法
に関するものである。
非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライ
メントマーカを洗浄し、これによって高い精度でもって
液晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法
に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】液晶表示装置（ＬＣＤ）を製造する場
合、まず一方のガラス基板上には平行に配列した多数の
インジウム・ティン・オキサイド又はインジウムスズ酸
化化合物（ＩＴＯ）からなる透明電極と二酸化ケイ素
（ＳｉＯ2）などの絶縁性を持つ薄膜であるオーバーコ
ート層とを順次形成する。
合、まず一方のガラス基板上には平行に配列した多数の
インジウム・ティン・オキサイド又はインジウムスズ酸
化化合物（ＩＴＯ）からなる透明電極と二酸化ケイ素
（ＳｉＯ2）などの絶縁性を持つ薄膜であるオーバーコ
ート層とを順次形成する。
【０００４】また、他方のガラス基板上には、画素ごと
に赤・緑・青の各色を配したカラーフィルターと各カラ
ーフィルター間にクロム金属もしくは感光性レジストの
ブラックレジストを配した遮光膜とを形成し、さらに平
行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とを順次形
成する。
に赤・緑・青の各色を配したカラーフィルターと各カラ
ーフィルター間にクロム金属もしくは感光性レジストの
ブラックレジストを配した遮光膜とを形成し、さらに平
行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とを順次形
成する。
【０００５】次にポリイミド樹脂などの配向性を持つ薄
膜である配向膜にて、双方の透明電極に対し覆うように
成膜し、その後、この膜面をラビング布である決まった
方向に擦ってラビング処理を行っている。
膜である配向膜にて、双方の透明電極に対し覆うように
成膜し、その後、この膜面をラビング布である決まった
方向に擦ってラビング処理を行っている。
【０００６】しかしながら、このラビング処理工程で
は、樹脂材料である配向膜を擦るために、削りかすが発
生し、そのために、かかる液晶パネル用部材の表面に対
し洗浄処理を行っていた。
は、樹脂材料である配向膜を擦るために、削りかすが発
生し、そのために、かかる液晶パネル用部材の表面に対
し洗浄処理を行っていた。
【０００７】このような洗浄処理においては、ラビング
処理により配向膜に発生した配向特性が変化しないよう
に洗浄することが重要であり、そのためにイソプロピル
アルコール（ＩＰＡ）やフロンなどの溶剤ならびに純水
などを使用して基板の洗浄処理・乾燥処理が行われてい
た。
処理により配向膜に発生した配向特性が変化しないよう
に洗浄することが重要であり、そのためにイソプロピル
アルコール（ＩＰＡ）やフロンなどの溶剤ならびに純水
などを使用して基板の洗浄処理・乾燥処理が行われてい
た。
【０００８】ところで、このようなラビング処理や基板
の洗浄処理の後には、一対の液晶パネル用部材を貼り合
わせる工程があるが、そのために双方の液晶パネル用部
材における基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用
のアライメントマーカを設けている。
の洗浄処理の後には、一対の液晶パネル用部材を貼り合
わせる工程があるが、そのために双方の液晶パネル用部
材における基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用
のアライメントマーカを設けている。
【０００９】すなわち、一方の基板にＩＴＯなどで形成
された雄型のアライメントマーカを、他方の基板にもＩ
ＴＯなどで形成された雌型のアライメントマーカを形成
し、そして、画像認識処理によりアライメントマーカの
重心座標を読取り、その値を用いて両方の基板の高精度
な位置合せを実施した後、液晶層を介してシール材によ
り互いの基板が貼合せられていた。
された雄型のアライメントマーカを、他方の基板にもＩ
ＴＯなどで形成された雌型のアライメントマーカを形成
し、そして、画像認識処理によりアライメントマーカの
重心座標を読取り、その値を用いて両方の基板の高精度
な位置合せを実施した後、液晶層を介してシール材によ
り互いの基板が貼合せられていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術では、たとえばＩＰＡで基板表面の洗浄を実施しな
がら基板表面の濡れ性の改善処理を行い、そして、基板
表面を純水に置換してから超音波（ウルトラソニック・
ＵＳ）や高周波の超音波（メガソニック・ＭＳ）を使用
して基板表面に付着したμｍオーダーの微小な異物の除
去を行い、その後、基板表面の水分除去を行うために乾
燥処理を行っても、ラビング工程にて付着したアライメ
ントマーカの汚れが完全に除去できなかった。
技術では、たとえばＩＰＡで基板表面の洗浄を実施しな
がら基板表面の濡れ性の改善処理を行い、そして、基板
表面を純水に置換してから超音波（ウルトラソニック・
ＵＳ）や高周波の超音波（メガソニック・ＭＳ）を使用
して基板表面に付着したμｍオーダーの微小な異物の除
去を行い、その後、基板表面の水分除去を行うために乾
燥処理を行っても、ラビング工程にて付着したアライメ
ントマーカの汚れが完全に除去できなかった。
【００１１】そのために、画像処理手法を用いて、ＳＴ
Ｎタイプの液晶表示装置によれば、２種類の液晶パネル
用部材である信号側基板と走査側基板に対し、各々が有
するアライメントマーカの重心座標を精密に検出し、位
置合せを実施しようとしても、画像認識のアルゴリズム
においてアライメントマーカに付着している汚れをアラ
イメントマーカの一部分と認識していた。よって、実際
のパターン幅より大きい幅であると認識し、計算された
パターンの重心座標は、実際の重心座標と異なった値が
得られていた。その結果、貼合せ工程にて貼合せ精度
が、たとえば目的値の５μｍ以下に達しないという課題
があった。
Ｎタイプの液晶表示装置によれば、２種類の液晶パネル
用部材である信号側基板と走査側基板に対し、各々が有
するアライメントマーカの重心座標を精密に検出し、位
置合せを実施しようとしても、画像認識のアルゴリズム
においてアライメントマーカに付着している汚れをアラ
イメントマーカの一部分と認識していた。よって、実際
のパターン幅より大きい幅であると認識し、計算された
パターンの重心座標は、実際の重心座標と異なった値が
得られていた。その結果、貼合せ工程にて貼合せ精度
が、たとえば目的値の５μｍ以下に達しないという課題
があった。
【００１２】この課題を解消するために、特開平７−７
７６７７号公報によれば、基板表面に対し純水をカーテ
ン状に流下させて供給し、ラビング処理後の基板表面に
付着した異物を除去する技術が提案されている。
７６７７号公報によれば、基板表面に対し純水をカーテ
ン状に流下させて供給し、ラビング処理後の基板表面に
付着した異物を除去する技術が提案されている。
【００１３】しかしながら、基板表面に対し純水をカー
テン状に流下させて洗浄能力を向上させたとしても、ラ
ビング工程にて付着したアライメントマーカの汚れを完
全に除去することがむずかしく、そのために、基板貼合
せ工程にて貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しない
という問題が、いまだ未解決のままであった。
テン状に流下させて洗浄能力を向上させたとしても、ラ
ビング工程にて付着したアライメントマーカの汚れを完
全に除去することがむずかしく、そのために、基板貼合
せ工程にて貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しない
という問題が、いまだ未解決のままであった。
【００１４】したがって、本発明は叙上に鑑みて完成さ
れたものであり、その目的は液晶パネル用部材の非表示
領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライメント
マーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去できる洗
浄装置および洗浄方法を提供することにある。
れたものであり、その目的は液晶パネル用部材の非表示
領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライメント
マーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去できる洗
浄装置および洗浄方法を提供することにある。
【００１５】本発明の他の目的は、貼り合わせ位置決め
用のアライメントマーカを洗浄し、高い精度でもって液
晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法を
提供することにある。
用のアライメントマーカを洗浄し、高い精度でもって液
晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法を
提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄装置は、基
板上に電極とラビング処理した配向膜とを順次形成して
表示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合
わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネ
ル用部材を洗浄する装置構成において、前記液晶パネル
用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄室
と、前記基板のアライメントマーカが形成された非表示
領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄室と、こ
のブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材を純水液にて
洗浄する純水洗浄室とからなることを特徴とする。
板上に電極とラビング処理した配向膜とを順次形成して
表示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合
わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネ
ル用部材を洗浄する装置構成において、前記液晶パネル
用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄室
と、前記基板のアライメントマーカが形成された非表示
領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄室と、こ
のブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材を純水液にて
洗浄する純水洗浄室とからなることを特徴とする。
【００１７】本発明の洗浄方法は、基板上に電極とラビ
ング処理した配向膜とを順次形成して表示領域を成し、
かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用の
アライメントマーカを設けた液晶パネル用部材に対し洗
浄する方法であって、前記液晶パネル用部材をアルコー
ル液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、上記基板のア
ライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみに
ブラッシングするブラシ洗浄工程と、このブラッシング
処理後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗
浄工程とからなることを特徴とする。
ング処理した配向膜とを順次形成して表示領域を成し、
かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用の
アライメントマーカを設けた液晶パネル用部材に対し洗
浄する方法であって、前記液晶パネル用部材をアルコー
ル液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、上記基板のア
ライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみに
ブラッシングするブラシ洗浄工程と、このブラッシング
処理後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗
浄工程とからなることを特徴とする。
【００１８】本発明の液晶表示装置の製法は、基板上に
電極と配向膜とを順次形成して表示領域を成し、かつこ
の基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライ
メントマーカを設けた液晶パネル用部材に対し、下記工
程（１）〜（４）を経て２種類の液晶パネル用部材を、
液晶層を介して貼り合わせて成ることを特徴とする。 （１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングする。 （２）前記基板のアライメントマーカが形成された非表
示領域の部分のみにブラッシングする。 （３）前記液晶パネル用部材を洗浄する。 （４）（１）〜（３）の各工程を経た２種類の液晶パネ
ル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わ
せして貼り合わせる。
電極と配向膜とを順次形成して表示領域を成し、かつこ
の基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライ
メントマーカを設けた液晶パネル用部材に対し、下記工
程（１）〜（４）を経て２種類の液晶パネル用部材を、
液晶層を介して貼り合わせて成ることを特徴とする。 （１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングする。 （２）前記基板のアライメントマーカが形成された非表
示領域の部分のみにブラッシングする。 （３）前記液晶パネル用部材を洗浄する。 （４）（１）〜（３）の各工程を経た２種類の液晶パネ
ル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わ
せして貼り合わせる。
【００１９】
【発明の実施の形態】（液晶表示装置）最初に本発明の
洗浄装置および洗浄方法に用いる液晶表示装置の一例
を、図面により詳述する。
洗浄装置および洗浄方法に用いる液晶表示装置の一例
を、図面により詳述する。
【００２０】図１はＳＴＮ型単純マトリックスタイプの
カラー液晶表示装置の要部拡大断面図を示すものであ
る。
カラー液晶表示装置の要部拡大断面図を示すものであ
る。
【００２１】図１のカラー液晶表示装置において、１は
信号側のガラス基板であり、２は走査側のガラス基板で
ある。
信号側のガラス基板であり、２は走査側のガラス基板で
ある。
【００２２】一方の液晶パネル用部材によれば、ガラス
基板１上には平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明
電極３と、ＳｉＯ2などの絶縁性を持つ薄膜であるオー
バーコート層４と、一方向に配向処理を施したポリイミ
ド樹脂などの配向性を持つ薄膜である配向膜５とを順次
形成している。
基板１上には平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明
電極３と、ＳｉＯ2などの絶縁性を持つ薄膜であるオー
バーコート層４と、一方向に配向処理を施したポリイミ
ド樹脂などの配向性を持つ薄膜である配向膜５とを順次
形成している。
【００２３】他方の液晶パネル用部材によれば、ガラス
基板２上に画素ごとに赤・緑・青色を配したカラーフィ
ルター６と、各カラーフィルター６間にクロム金属もし
くは感光性レジストのブラックレジスト７を配した遮光
膜とを形成している。
基板２上に画素ごとに赤・緑・青色を配したカラーフィ
ルター６と、各カラーフィルター６間にクロム金属もし
くは感光性レジストのブラックレジスト７を配した遮光
膜とを形成している。
【００２４】上記カラーフィルター６は、顔料分散方
式、すなわちあらかじめ顔料により調合された感光性レ
ジストを基板上に塗布し、フォトリソグラフィにより形
成している。図中のＲ・Ｇ・Ｂの各表示はそれぞれ赤・
緑・青に着色した感光性レジストであることを示す。
式、すなわちあらかじめ顔料により調合された感光性レ
ジストを基板上に塗布し、フォトリソグラフィにより形
成している。図中のＲ・Ｇ・Ｂの各表示はそれぞれ赤・
緑・青に着色した感光性レジストであることを示す。
【００２５】これらカラーフィルター６とブラックレジ
スト７の上にアクリル系樹脂などからなる表面保護層と
してのオーバーコート層８と、上記透明電極３と互いに
直交し、かつ平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明
電極９と、一方向に配向処理を施したポリイミド樹脂な
どの配向性を持つ薄膜である配向膜１０とを順次構成し
ている。
スト７の上にアクリル系樹脂などからなる表面保護層と
してのオーバーコート層８と、上記透明電極３と互いに
直交し、かつ平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明
電極９と、一方向に配向処理を施したポリイミド樹脂な
どの配向性を持つ薄膜である配向膜１０とを順次構成し
ている。
【００２６】そして、一方の液晶パネル用部材と他方の
液晶パネル用部材とを、たとえば２５０゜の角度で捻ら
れたカイラルネマティック液晶からなる液晶層１１を介
してシール材１２により互いに貼り合わせる。
液晶パネル用部材とを、たとえば２５０゜の角度で捻ら
れたカイラルネマティック液晶からなる液晶層１１を介
してシール材１２により互いに貼り合わせる。
【００２７】さらに、両パネル部材の間には液晶層１１
の厚みを一定に保持するためにプラスティックなどで作
られたスペーサ１７を多数個配している。
の厚みを一定に保持するためにプラスティックなどで作
られたスペーサ１７を多数個配している。
【００２８】なお、本例の液晶表示装置ではオーバーコ
ート層４・８を設けているが、とくに設けなくてもよ
い。
ート層４・８を設けているが、とくに設けなくてもよ
い。
【００２９】また、ガラス基板１の外側に位相差板１３
と偏光板１４とを順次設け、他のガラス基板２の上に位
相差板１５と偏光板１６とを順次設ける。
と偏光板１４とを順次設け、他のガラス基板２の上に位
相差板１５と偏光板１６とを順次設ける。
【００３０】（洗浄装置および洗浄方法）図３は本発明
の洗浄装置の概略を示す。基本的な装置構成は、上述し
た液晶表示装置に関し、基板の非表示領域上に貼り合わ
せ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル
用部材を洗浄するために、前記アルコール洗浄室と、前
記ブラシ洗浄室と、前記純水洗浄室とからなるが、これ
らアルコール洗浄室とブラシ洗浄室は、前処理兼ブラシ
洗浄室１にて共通されている。そして、前処理兼ブラシ
洗浄室１に対し、純水洗浄室である洗浄液置換室２が接
続されている。
の洗浄装置の概略を示す。基本的な装置構成は、上述し
た液晶表示装置に関し、基板の非表示領域上に貼り合わ
せ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル
用部材を洗浄するために、前記アルコール洗浄室と、前
記ブラシ洗浄室と、前記純水洗浄室とからなるが、これ
らアルコール洗浄室とブラシ洗浄室は、前処理兼ブラシ
洗浄室１にて共通されている。そして、前処理兼ブラシ
洗浄室１に対し、純水洗浄室である洗浄液置換室２が接
続されている。
【００３１】実際には図３に示すように前処理兼ブラシ
洗浄室１、洗浄液置換室２、超音波洗浄室３および水切
り乾燥室４を順次連設して構成されている。
洗浄室１、洗浄液置換室２、超音波洗浄室３および水切
り乾燥室４を順次連設して構成されている。
【００３２】さらに、各室には液晶パネル用部材である
基板Ｓを搬送するための搬送ローラー５が一列に配列さ
れている。
基板Ｓを搬送するための搬送ローラー５が一列に配列さ
れている。
【００３３】そして、上記構成の洗浄装置を用いて、前
記アルコール洗浄工程と、ブラシ洗浄工程と、純水洗浄
工程とを順次経ることで、本発明の洗浄を達成する。
記アルコール洗浄工程と、ブラシ洗浄工程と、純水洗浄
工程とを順次経ることで、本発明の洗浄を達成する。
【００３４】以下、各工程を図３に示す洗浄装置にて説
明する。
明する。
【００３５】アルコール洗浄工程：前処理兼ブラシ洗浄
室１には、搬送される基板Ｓの上方にＩＰＡシャワーヘ
ッド６が配設されている。
室１には、搬送される基板Ｓの上方にＩＰＡシャワーヘ
ッド６が配設されている。
【００３６】このＩＰＡシャワーヘッド６は、ＩＰＡを
貯留したＩＰＡタンク７に高圧ポンプ８を介して配管接
続されており、この高圧ポンプを駆動させることによ
り、ＩＰＡタンク７からＩＰＡシャワーヘッド６へＩＰ
Ａが供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。
貯留したＩＰＡタンク７に高圧ポンプ８を介して配管接
続されており、この高圧ポンプを駆動させることによ
り、ＩＰＡタンク７からＩＰＡシャワーヘッド６へＩＰ
Ａが供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。
【００３７】ＩＰＡシャワーヘッド６は、基板Ｓの搬送
方向に対して直交する方向に設置されており、ＩＰＡを
基板表面に対してカーテン状に噴出することができ、基
板Ｓ表面全体を濡らすことができる。
方向に対して直交する方向に設置されており、ＩＰＡを
基板表面に対してカーテン状に噴出することができ、基
板Ｓ表面全体を濡らすことができる。
【００３８】ブラシ洗浄工程：続いて、搬送ローラー５
で基板Ｓを搬送しながら、基板搬送方向に対して平行に
位置する基板端面の二辺に端面洗浄ブラシ９を回転させ
ながら当接させる。
で基板Ｓを搬送しながら、基板搬送方向に対して平行に
位置する基板端面の二辺に端面洗浄ブラシ９を回転させ
ながら当接させる。
【００３９】このブラッシングについては、液晶パネル
用部材の基板のアライメントマーカが形成された非表示
領域の部分のみを対象にするが、図２に示すように、ブ
ラシ洗浄処理を実施する領域は、基板搬送方向に対して
平行となる基板Ｓ上の斜線部分１ａと斜線部分１ｂの領
域である。
用部材の基板のアライメントマーカが形成された非表示
領域の部分のみを対象にするが、図２に示すように、ブ
ラシ洗浄処理を実施する領域は、基板搬送方向に対して
平行となる基板Ｓ上の斜線部分１ａと斜線部分１ｂの領
域である。
【００４０】図４にて、端面洗浄ブラシ９の形状を示
す。ａ、ｂ、ｃの３とおりがあるが、左側は側面図、右
側は正面図である。
す。ａ、ｂ、ｃの３とおりがあるが、左側は側面図、右
側は正面図である。
【００４１】図４ａはロール形状であり、図４ｂはディ
スク形状であり、図４ｃは直線形状である。なお、基板
Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接しないこと、且
つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマーカに端面洗
浄ブラシ９が当接され、汚れが除去できるのであれば、
端面洗浄ブラシ９の形状は限定されるものではない。
スク形状であり、図４ｃは直線形状である。なお、基板
Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接しないこと、且
つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマーカに端面洗
浄ブラシ９が当接され、汚れが除去できるのであれば、
端面洗浄ブラシ９の形状は限定されるものではない。
【００４２】また、端面洗浄ブラシ９が基板Ｓに当接し
ている際に、回転運動や往復運動などをさせてもよい。
ただし、基板Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接し
ないこと、且つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマ
ーカにブラシが当接され、汚れが除去できるのであれ
ば、ブラシの回転運動、往復運動および動作方向は限定
されるものではない。
ている際に、回転運動や往復運動などをさせてもよい。
ただし、基板Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接し
ないこと、且つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマ
ーカにブラシが当接され、汚れが除去できるのであれ
ば、ブラシの回転運動、往復運動および動作方向は限定
されるものではない。
【００４３】また、端面洗浄ブラシ９の材質は、一般的
にナイロンを使用すればよい。しかし、貼合せ工程で用
いるアライメントマーカに付着した汚れが除去できるの
であれば、端面洗浄ブラシ９の材質は限定されるもので
はない。
にナイロンを使用すればよい。しかし、貼合せ工程で用
いるアライメントマーカに付着した汚れが除去できるの
であれば、端面洗浄ブラシ９の材質は限定されるもので
はない。
【００４４】純水洗浄工程：次の洗浄液置換室２には、
搬送される基板Ｓの上方に置換シャワーヘッド１０が配
設されている。
搬送される基板Ｓの上方に置換シャワーヘッド１０が配
設されている。
【００４５】この置換シャワーヘッド１０は、純水供給
配管に接続されており、置換シャワーヘッド１０から純
水が供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。
置換シャワーヘッド１０は、基板Ｓの搬送方向に対して
直交する方向に設置されており、純水を基板表面に対し
てカーテン状に噴出することができ、基板表面に乗って
いるＩＰＡを純水に置換することができる。ＩＰＡを置
換した純水廃液は、置換タンク１１に一時的に貯められ
た後、回収廃棄される。
配管に接続されており、置換シャワーヘッド１０から純
水が供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。
置換シャワーヘッド１０は、基板Ｓの搬送方向に対して
直交する方向に設置されており、純水を基板表面に対し
てカーテン状に噴出することができ、基板表面に乗って
いるＩＰＡを純水に置換することができる。ＩＰＡを置
換した純水廃液は、置換タンク１１に一時的に貯められ
た後、回収廃棄される。
【００４６】次に、超音波洗浄室３には、搬送される基
板Ｓの上方に超音波発生器と超音波シャワーヘッドを備
えた超音波洗浄装置１２が基板Ｓの搬送方向に沿って複
数個が並設されている。
板Ｓの上方に超音波発生器と超音波シャワーヘッドを備
えた超音波洗浄装置１２が基板Ｓの搬送方向に沿って複
数個が並設されている。
【００４７】各超音波洗浄装置１２のシャワーヘッド
は、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ１４を
介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４を駆動
させることにより、純水タンク１３から超音波洗浄装置
１２の超音波シャワーヘッドへ純水が供給され、その純
水に超音波が付与され、搬送ローラー５で搬送されてき
た基板表面に噴出されることで、基板表面の洗浄が実施
される。
は、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ１４を
介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４を駆動
させることにより、純水タンク１３から超音波洗浄装置
１２の超音波シャワーヘッドへ純水が供給され、その純
水に超音波が付与され、搬送ローラー５で搬送されてき
た基板表面に噴出されることで、基板表面の洗浄が実施
される。
【００４８】さらに、同じ超音波洗浄室３には、搬送さ
れる基板Ｓの上方にＭＳ発生器とＭＳシャワーヘッドを
備えたＭＳ洗浄装置１５が基板Ｓの搬送方向に沿って複
数個が並設されている。各ＭＳ洗浄装置１５のシャワー
ヘッドは、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ
１４を介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４
を駆動させることにより、純水タンク１３からＭＳ洗浄
装置１５のＭＳシャワーヘッドへ純水が供給され、その
純水にＭＳが付与され、搬送ローラー５で搬送されてき
た基板表面に噴出されことにより、基板表面の洗浄が実
施される。
れる基板Ｓの上方にＭＳ発生器とＭＳシャワーヘッドを
備えたＭＳ洗浄装置１５が基板Ｓの搬送方向に沿って複
数個が並設されている。各ＭＳ洗浄装置１５のシャワー
ヘッドは、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ
１４を介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４
を駆動させることにより、純水タンク１３からＭＳ洗浄
装置１５のＭＳシャワーヘッドへ純水が供給され、その
純水にＭＳが付与され、搬送ローラー５で搬送されてき
た基板表面に噴出されことにより、基板表面の洗浄が実
施される。
【００４９】最後に、水切り乾燥室４では、加圧空気源
に接続配管されたエアーナイフ１６が複数配設されてい
る。そして、洗浄が終了してから搬送ローラー５で搬送
されてきた基板Ｓの表面に向かって加圧空気を吹きつけ
ることにより、基板表面に残留する水滴を除去し乾燥さ
せる。
に接続配管されたエアーナイフ１６が複数配設されてい
る。そして、洗浄が終了してから搬送ローラー５で搬送
されてきた基板Ｓの表面に向かって加圧空気を吹きつけ
ることにより、基板表面に残留する水滴を除去し乾燥さ
せる。
【００５０】
【実施例】次に、本発明のような枚葉式の洗浄方法につ
いて、以下のように評価した。また、本例において、本
発明の液晶表示装置の製法を述べる。
いて、以下のように評価した。また、本例において、本
発明の液晶表示装置の製法を述べる。
【００５１】（例１）
工程（１）：基板上に電極と配向膜とを順次形成して表
示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わ
せ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル
用部材を作製する。
示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わ
せ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル
用部材を作製する。
【００５２】詳細には、まず、信号基板としてＩＴＯ膜
が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３
０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルタ
ー上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備
した。
が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３
０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルタ
ー上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備
した。
【００５３】次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パ
ターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、液晶表示装
置（ＬＣＤ）の表示部分に配向膜を成膜した後、２４０
℃で焼成を行った。
ターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、液晶表示装
置（ＬＣＤ）の表示部分に配向膜を成膜した後、２４０
℃で焼成を行った。
【００５４】つづけて、導電性レーヨン原糸を織って作
られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここ
で、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡
観察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の
一部分に異物２が付着していることを確認した。
られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここ
で、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡
観察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の
一部分に異物２が付着していることを確認した。
【００５５】工程（２）と工程（３）：前記基板のアラ
イメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブ
ラッシングする。その後、前記液晶パネル用部材を洗浄
する。
イメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブ
ラッシングする。その後、前記液晶パネル用部材を洗浄
する。
【００５６】すなわち、図４ａに示すようなローラー形
状の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に対し、
前記基板（液晶パネル用部材）を投入し、前述したよう
にブラッシングを行って、洗浄処理を実施した。
状の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に対し、
前記基板（液晶パネル用部材）を投入し、前述したよう
にブラッシングを行って、洗浄処理を実施した。
【００５７】ここで、貼合せ工程で使用するアライメン
トマーカを顕微鏡観察すると、図５ｂに示すようにアラ
イメントマーカ３に付着していた異物が除去されている
こと確認した。
トマーカを顕微鏡観察すると、図５ｂに示すようにアラ
イメントマーカ３に付着していた異物が除去されている
こと確認した。
【００５８】工程（４）：（１）〜（３）の各工程を経
た２種類の液晶パネル用部材を、アライメントマーカを
基準にして位置合わせして貼り合わせる。
た２種類の液晶パネル用部材を、アライメントマーカを
基準にして位置合わせして貼り合わせる。
【００５９】以下、この工程を詳細に述べる。信号基板
に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作ら
れた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを
一定に保持するためのプラスティックなどで作られたス
ペーサを多数個配した。
に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作ら
れた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを
一定に保持するためのプラスティックなどで作られたス
ペーサを多数個配した。
【００６０】次に、基板の膜面同士を当接させ、画像処
理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメ
ントマーカの精密な位置合せを実施した。
理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメ
ントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００６１】この結果、信号基板と走査基板とのアライ
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋４μｍ、Ｙ方向は＋２μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋４μｍ、Ｙ方向は＋２μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
【００６２】（例２）まず、信号基板としてＩＴＯ膜が
全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０
ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター
上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備し
た。
全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０
ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター
上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備し
た。
【００６３】次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パ
ターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表
示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行っ
た。
ターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表
示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行っ
た。
【００６４】次いで、導電性レーヨン原糸を織って作ら
れたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここ
で、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡
観察すると図５ａのようにアライメントマーカ１の一部
分に異物２が付着していることを確認した。
れたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここ
で、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡
観察すると図５ａのようにアライメントマーカ１の一部
分に異物２が付着していることを確認した。
【００６５】そして、図４ｂに示すようなディスク形状
の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板
を投入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で
使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると、図５
ｂのようにアライメントマーカ３に付着していた異物が
除去されていること確認した。
の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板
を投入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で
使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると、図５
ｂのようにアライメントマーカ３に付着していた異物が
除去されていること確認した。
【００６６】その後、信号基板に液晶の漏れを防止する
ためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
ためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
【００６７】しかる後、基板の膜面どうしを当接させ、
画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するア
ライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するア
ライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００６８】この結果、信号基板と走査基板とのアライ
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は−３μｍ、Ｙ方向は＋１μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は−３μｍ、Ｙ方向は＋１μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
【００６９】（例３）まず、信号基板としてＩＴＯ膜が
全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０
ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター
上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備し
た。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを
形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分に
配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０
ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター
上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備し
た。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを
形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分に
配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００７０】次に、導電性レーヨン原糸を織って作られ
たラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、
貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観
察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一
部分には異物２が付着していることを確認した。
たラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、
貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観
察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一
部分には異物２が付着していることを確認した。
【００７１】そして、図４ｃに示すような直線形状の端
面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板を投
入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で使用
するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ｂのよ
うにアライメントマーカ３に付着していた異物が除去さ
れていること確認した。
面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板を投
入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で使用
するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ｂのよ
うにアライメントマーカ３に付着していた異物が除去さ
れていること確認した。
【００７２】次いで、信号基板に液晶の漏れを防止する
ためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用
いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカ
の精密な位置合せを実施した。
ためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用
いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカ
の精密な位置合せを実施した。
【００７３】この結果、信号基板と走査基板とのアライ
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋２μｍ、Ｙ方向は−３μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋２μｍ、Ｙ方向は−３μｍであった。基板内の
電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電
極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値
の５μｍ以下に達した。
【００７４】（比較例）まず、信号基板としてＩＴＯ膜
が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３
０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルタ
ー上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備
した。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターン
を形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分
に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３
０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルタ
ー上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備
した。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターン
を形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分
に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００７５】次に、導電性レーヨン原糸を織って作られ
たラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、
貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観
察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一
部分には異物２が付着していることを確認した。
たラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、
貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観
察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一
部分には異物２が付着していることを確認した。
【００７６】次に、基板端面の洗浄ローラーが設置され
ていない洗浄装置に前記基板を投入し、洗浄処理を実施
した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマー
カを顕微鏡観察すると図５ａと同様にアライメントマー
カ１に異物２が付着したままであったことを確認した。
ていない洗浄装置に前記基板を投入し、洗浄処理を実施
した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマー
カを顕微鏡観察すると図５ａと同様にアライメントマー
カ１に異物２が付着したままであったことを確認した。
【００７７】次に、信号基板に液晶の漏れを防止するた
めのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用
いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカ
の精密な位置合せを実施した。
めのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成
し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプ
ラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用
いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカ
の精密な位置合せを実施した。
【００７８】この結果、信号基板と走査基板とのアライ
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋１１μｍ、Ｙ方向は＋１５μｍであり、画像処
理によるアライメントマーカの重心座標検出が正常にで
きなかった。さらに、基板内の電極パターンの位置ずれ
具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せず
れが生じ、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しない
ために、光漏れが生じ、表示特性不良が発生した。
メントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ
方向は＋１１μｍ、Ｙ方向は＋１５μｍであり、画像処
理によるアライメントマーカの重心座標検出が正常にで
きなかった。さらに、基板内の電極パターンの位置ずれ
具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せず
れが生じ、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しない
ために、光漏れが生じ、表示特性不良が発生した。
【００７９】本発明者が繰り返しおこなった実験によれ
ば、基板端面から２５ｍｍ以内をブラシ洗浄処理する枚
葉式基板洗浄方法により、基板端面に付着した汚れ、と
くにアライメントマーカに付着した汚れを完全に除去で
き、貼合せ工程での貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に
達したことを確認した。そして、従来においては、平行
に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とブラックレ
ジストを配した遮光膜の位置合せずれが原因で光漏れな
どの表示特性不良が発生していたが、貼り合せ精度が目
的値の５μｍ以下に達することにより表示特性不良が消
失したことも確認した。
ば、基板端面から２５ｍｍ以内をブラシ洗浄処理する枚
葉式基板洗浄方法により、基板端面に付着した汚れ、と
くにアライメントマーカに付着した汚れを完全に除去で
き、貼合せ工程での貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に
達したことを確認した。そして、従来においては、平行
に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とブラックレ
ジストを配した遮光膜の位置合せずれが原因で光漏れな
どの表示特性不良が発生していたが、貼り合せ精度が目
的値の５μｍ以下に達することにより表示特性不良が消
失したことも確認した。
【００８０】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、洗浄装
置として、基板上に電極とラビング処理した配向膜とを
順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示領
域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設
けた液晶パネル用部材を洗浄する装置構成において、液
晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール
洗浄室と、前記基板のアライメントマーカが形成された
非表示領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄室
と、このブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材を純水
液にて洗浄する純水洗浄室とからなることを特徴とし、
そして、本発明の洗浄方法によれば、液晶パネル用部材
をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、上
記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の
部分のみにブラッシングするブラシ洗浄工程と、このブ
ラッシング処理後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄
する純水洗浄工程とからなることで、液晶パネル用部材
の非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアラ
イメントマーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去
できた。
置として、基板上に電極とラビング処理した配向膜とを
順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示領
域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設
けた液晶パネル用部材を洗浄する装置構成において、液
晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール
洗浄室と、前記基板のアライメントマーカが形成された
非表示領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄室
と、このブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材を純水
液にて洗浄する純水洗浄室とからなることを特徴とし、
そして、本発明の洗浄方法によれば、液晶パネル用部材
をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、上
記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の
部分のみにブラッシングするブラシ洗浄工程と、このブ
ラッシング処理後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄
する純水洗浄工程とからなることで、液晶パネル用部材
の非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアラ
イメントマーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去
できた。
【００８１】また、本発明の液晶表示装置の製法によれ
ば、基板上に電極と配向膜とを順次形成して表示領域を
成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決
め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材に
対し、（１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングす
る、（２）前記基板のアライメントマーカが形成された
非表示領域の部分のみにブラッシングする、（３）前記
液晶パネル用部材を洗浄する、（４）２種類の液晶パネ
ル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わ
せして貼り合わせる、いう各工程を経ることで、高い精
度でもって液晶パネル用部材を貼ることができた。
ば、基板上に電極と配向膜とを順次形成して表示領域を
成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決
め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材に
対し、（１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングす
る、（２）前記基板のアライメントマーカが形成された
非表示領域の部分のみにブラッシングする、（３）前記
液晶パネル用部材を洗浄する、（４）２種類の液晶パネ
ル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わ
せして貼り合わせる、いう各工程を経ることで、高い精
度でもって液晶パネル用部材を貼ることができた。
【図１】本発明に係るＳＴＮ型単純マトリックスタイプ
のカラー液晶表示装置における要部拡大断面図である。
のカラー液晶表示装置における要部拡大断面図である。
【図２】本発明に係る基板表面の端面部分においてブラ
シ洗浄処理を行う領域を示す概略図である。
シ洗浄処理を行う領域を示す概略図である。
【図３】本発明の洗浄装置の概略を示す図である。
【図４】ａ、ｂおよびｃは本発明に係る基板端面洗浄ブ
ラシの概略構成例を示し、左図はその正面図であり、右
図はその側面図である。
ラシの概略構成例を示し、左図はその正面図であり、右
図はその側面図である。
【図５】ａは洗浄前のアライメントマーカの状態図であ
り、ｂは洗浄後のアライメントマーカの状態図である。
り、ｂは洗浄後のアライメントマーカの状態図である。
１・・・前処理兼ブラシ洗浄室
２・・・洗浄液置換室
３・・・超音波洗浄室
４・・・水切り乾燥室
５・・・搬送ローラー
９・・・端面洗浄ブラシ
１２・・・超音波洗浄装置
Ｓ・・・基板
Claims (3)
- 【請求項１】基板上に電極とラビング処理した配向膜と
を順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示
領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを
設けた液晶パネル用部材を洗浄する洗浄装置であって、
前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアル
コール洗浄室と、前記基板のアライメントマーカが形成
された非表示領域の部分のみにブラッシングするブラシ
洗浄室と、このブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材
を純水液にて洗浄する純水洗浄室とからなる洗浄装置。 - 【請求項２】基板上に電極とラビング処理した配向膜と
を順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示
領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを
設けた液晶パネル用部材に対し洗浄する方法であって、
前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアル
コール洗浄工程と、上記基板のアライメントマーカが形
成された非表示領域の部分のみにブラッシングするブラ
シ洗浄工程と、このブラッシング処理後の液晶パネル用
部材を純水液にて洗浄する純水洗浄工程とからなる洗浄
方法。 - 【請求項３】基板上に電極と配向膜とを順次形成して表
示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わ
せ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル
用部材に対し、下記工程（１）〜（４）を経て２種類の
液晶パネル用部材を、液晶層を介して貼り合わせて成る
液晶表示装置の製法。 （１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングする。 （２）前記基板のアライメントマーカが形成された非表
示領域の部分のみにブラッシングする。 （３）前記液晶パネル用部材を洗浄する。 （４）（１）〜（３）の各工程を経た２種類の液晶パネ
ル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わ
せして貼り合わせる。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002068989A JP3999986B2 (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 洗浄装置および洗浄方法ならびに液晶表示装置の製法 |
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| JP2002068989A JP3999986B2 (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 洗浄装置および洗浄方法ならびに液晶表示装置の製法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003266032A true JP2003266032A (ja) | 2003-09-24 |
| JP3999986B2 JP3999986B2 (ja) | 2007-10-31 |
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| JP2002068989A Expired - Fee Related JP3999986B2 (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 洗浄装置および洗浄方法ならびに液晶表示装置の製法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2002
- 2002-03-13 JP JP2002068989A patent/JP3999986B2/ja not_active Expired - Fee Related
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