KR19990002986A

KR19990002986A - Semiconductor Wafer Aligner

Info

Publication number: KR19990002986A
Application number: KR1019970026750A
Authority: KR
Inventors: 한광호; 박순종
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-06-24
Filing date: 1997-06-24
Publication date: 1999-01-15

Abstract

장력조절이 가능한 롤러지지대와 일체형 와이어를 설치하여 와이어의 교체 및 장력조절작업을 용이하게 하는 반도체 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다. 본 발명은 본체와 롤러에 감겨 회전하는 와이어의 좌우 움직임에 따라 웨이퍼를 정렬하는 암을 구비하는 반도체 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기 롤러에 연결되어 회전시에 걸림이 없고 자유회전이 가능하도록 일체형으로 형성된 와이어와, 상기 롤러가 설치되고 고정나사가 관통하여 본체에 고정되며 고정위치의 변경이 가능하도록 형성된 장방형의 관통구멍을 구비하는 이동조립식 롤러지지대로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a semiconductor wafer alignment device that facilitates replacement of wires and tension adjustment by installing a roller support and an integrated wire with tension control. The present invention is a semiconductor wafer aligning device having an arm for aligning the wafer according to the left and right movement of the wire wound around the main body and the roller, which is connected to the roller and formed integrally so that free rotation is possible without jamming during rotation. It is characterized in that the wire and the roller is installed, the fixing screw penetrates to the main body, it is characterized by consisting of a movable assembly roller support having a rectangular through-hole formed to be able to change the fixed position.

따라서 조립식 고정볼트의 상하 체결로 와이어의 장력을 형성하므로 좁은공간에서도 신속하게 와이어 장력을 조절할 수 있으며 와이어의 교체가 간편하고 일체형의 와이어를 사용하여 수명이 길며 회전이 자유로와 암의 동작불량을 방지하게 되는 효과를 갖는다.Therefore, the tension of wire is formed by fastening up and down of prefabricated fixing bolts, so it is possible to adjust wire tension quickly even in a narrow space. It has an effect.

Description

Semiconductor Wafer Aligner

본 발명은 반도체 웨이퍼 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장력조절이 가능한 롤러지지대와 일체형 와이어를 설치하여 와이어의 교체 및 장력조절작업을 용이하게 하는 반도체 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor wafer aligning apparatus, and more particularly, to a semiconductor wafer aligning apparatus that facilitates replacement and tension adjustment of wires by installing an integrated wire supporter and an integrated wire.

반도체 설비는 설비 내로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 웨이퍼 이송장치를 구비하고 있으며 이러한 웨이퍼 이송장치와 더불어 웨이퍼를 지지하거나 고정하는 웨이퍼 고정장치 및 이송된 웨이퍼를 공정을 수행하기에 앞서서 설비가 요구하는 정확한 자리에 위치시키는 웨이퍼 정렬장치 등이 설치된다.The semiconductor equipment includes a wafer transfer device for loading and unloading wafers into the equipment. In addition to the wafer transfer device, a wafer holding device for supporting or fixing the wafer and the exact wafer required for the process before carrying out the process of the transferred wafers are provided. A wafer aligning device or the like for placing a seat is provided.

일반적으로 웨이퍼 정렬장치는 모터나 유압실린더에 의해 움직이는 양쪽 집게형태의 암을 이용하여 웨이퍼를 지정된 위치로 파지하여 정렬한 후에 척 이나 홀더 등의 웨이퍼 고정장치로 인계하고 웨이퍼를 고정하여 공정을 수행시키는 역할을 한다.In general, the wafer aligning device grasps and aligns the wafer to a designated position by using both arms of a tong type moving by a motor or a hydraulic cylinder, and then turns over to a wafer holding device such as a chuck or a holder and fixes the wafer to perform a process. Play a role.

이러한 종래의 웨리퍼 정렬장치는 일반적으로 모터에 의해 양쪽의 롤러를 회전시키고, 양쪽의 암이 웨이퍼를 파지하고 해제하는 상대적인 움직임을 유도하기 위하여 안쪽 롤러에 와이어를 감아 연결하고 롤러의 상측 와이어와 하측 와이어에 각각 한 개씩의 암을 연결하는 방식으로 웨이퍼를 정렬하게 된다.Such a conventional wafer aligner generally rotates the rollers on both sides by a motor, connects the wires to the inner rollers and induces relative movements of the arms on both sides to grip and release the wafer, and the upper and lower wires of the rollers. The wafers are aligned by connecting one arm to each wire.

이러한 종래의 웨이퍼 정렬장치는 암을 보호하고 지지하는 본체와, 회전동력을 발생하는 모터와, 본체에 형성되어 모터에 의해 회전하는 2개의 롤러와, 양쪽 롤러를 감아 연결하고 상하줄이 교대로 왕복운동하는 와이어와, 상기 상측 및 하측 와이어에 각각 연결되어 웨이퍼를 파지할 수 있도록 상대적으로 좌우 왕복운동을 하는 2개의 암, 및 상기 암의 직선왕복운동을 인도하는 레일과, 와이어의 연결부위에 설치되어 상기 와이어의 장력을 조정하도록 하는 암나사, 수나사 및 고정너트로 구성되어 이루어진다.Such a conventional wafer aligning device includes a main body for protecting and supporting an arm, a motor generating rotational power, two rollers formed on the main body and rotating by a motor, and winding both rollers and reciprocating the upper and lower rows alternately. A wire which is connected to the moving wire, two arms which are connected to the upper and lower wires respectively and relatively reciprocates to hold the wafer, and a rail which guides the linear reciprocating motion of the arm, and is installed at the connection portion of the wire It consists of a female screw, a male screw and a fixing nut to adjust the tension of the wire.

통상적인 반도체 웨이퍼 정렬장치를 도1에 도시하였다.A typical semiconductor wafer aligning apparatus is shown in FIG.

도1에서와 같이 반도체 웨이퍼 정렬장치는 좌우로 보호판이 형성되는 본체(10)와, 본체(10)에 설치되어 정방향 및 역방향 회전을 교대로 하며 회전동력을 발생하는 모터(도시 않됨)와, 상기 본체(10)의 측면에 고정되어 상기 모터에 의해 회전하는 구동롤러(도시 않됨)와, 상기 본체(10)의 다른 한 쪽 본체(10) 측면에 고정되어 상기 맞은편 구동롤러(도시 않됨)에 의해 회전하는 롤러(18)와, 상기 2개의 롤러를 감아 회전하며 상하줄이 교대로 좌우 왕복운동하는 와이어(11)와, 상측 과 하측의 상기 와이어(11)에 각각 연결되어 웨이퍼를 제위치에 잡아주는 2개의 암(도시 않됨), 및 상기 암의 직선왕복운동을 인도하는 레일(도시 않됨)을 구비한다.As shown in FIG. 1, the semiconductor wafer aligning apparatus includes a main body 10 having a protection plate formed on the left and right sides, a motor (not shown) installed in the main body 10 to alternately rotate forward and reverse and generate rotational power. Drive roller (not shown) fixed to the side of the main body 10 and rotated by the motor, and fixed to the side of the other main body 10 of the main body 10 to the opposite drive roller (not shown) By rotating the rollers 18, the wires 11 which rotate and wind the two rollers, and the upper and lower rows alternately reciprocate left and right, and the upper and lower wires 11, respectively. Two arms (not shown) to hold, and rails (not shown) to guide the straight reciprocating motion of the arms.

또한, 상기 와이어(11)의 연결부위에는 상기 와이어(11)의 장력을 조정하도록 결합체결되는 암나사(12)와 수나사(14) 및 수나사(14)에 고정되어 연장에 의해 회전가능하도록 육각진 고정너트(16)가 설치된다.In addition, the connection part of the wire 11 is fixed to the female screw 12 and the male screw 14 and the male screw 14 coupled to adjust the tension of the wire 11, the hexagonal fixed to be rotatable by extension The nut 16 is installed.

따라서 작업자가 상기 고정너트(16)를 연장으로 돌려서 조임으로써 암나사(12)에 수나사(14)가 삽입되어 와이어(11)의 장력을 증가시키게 된다.Therefore, when the worker rotates the fixing nut 16 by extension, the male screw 14 is inserted into the female screw 12 to increase the tension of the wire 11.

그러므로 와이어(11)의 처짐으로 발생하는 암의 동작이탈을 막아 웨이퍼가 정확한 위치에 정렬된다.Therefore, the wafer is aligned at the correct position by preventing the arm from deviating due to deflection of the wire 11.

일반적으로 와이어의 연결부위에 설치된 고정너트를 조임으로써 와이어의 장력을 유지시키는 종래의 방법은 설비 내의 좁은 공간에서 와이어 교체작업 시에 작업이 매우 불편하고 고정너트의 조임이 어려워 장력의 조정이 힘들며 작업시간이 길어 시간손실이 크다.In general, the conventional method of maintaining the tension of the wire by tightening the fixing nut installed in the connection portion of the wire is very inconvenient when replacing the wire in a narrow space in the facility and difficult to tighten the fixing nut, it is difficult to adjust the tension Long time, big time loss.

또한 암나사와 수나사가 설치된 와이어의 연결부위는 장력에 의해 파손이 빈번한 반도체 웨이퍼 정렬장치의 취약부분으로 와이어의 수명이 매우 짧다.In addition, the connection part of the wire provided with the female thread and the male thread is a weak part of the semiconductor wafer alignment device which is frequently damaged by tension, and the wire life is very short.

또한 와이어의 교체시에 연결부위의 위치에 따라 롤러의 회전시에 암나사 및 수나사가 롤러에 걸리게 되어 파손되거나 암의 동작불량을 유발시키는 문제점이 있었다.In addition, according to the position of the connection part when the wire replacement, there is a problem that the female screw and the male thread is caught by the roller during the rotation of the roller, causing damage or malfunction of the arm.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 조립식 고정볼트의 상하 체결로 와이어의 장력을 형성하므로 좁은공간에서도 신속하게 와이어 장력을 조절할 수 있으며 와이어의 교체가 간편하고 일체형의 와이어를 사용하여 수명이 길며 회전이 자유로와 암의 동작불량을 방지하는 반도체 웨이퍼 정렬장치를 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the purpose is to form a tension of the wire by fastening the up and down of the prefabricated fixing bolts can quickly adjust the wire tension in a narrow space and the replacement of the wire is simple and integrated The present invention provides a semiconductor wafer alignment device that uses wires for a long life and free rotation and prevents a malfunction of the arm.

도1은 종래의 반도체 웨이퍼 정렬장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional semiconductor wafer alignment device.

도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 정렬장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a semiconductor wafer aligning apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도3은 도2의 반도체 웨이퍼 정렬장치를 측면에서 바라 본 측면도이다.3 is a side view of the semiconductor wafer aligning apparatus of FIG.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing

10, 20: 본체 11, 21: 와이어10, 20: main body 11, 21: wire

12: 암나사 14: 수나사12: Female thread 14: Male thread

16: 고정너트 18, 28: 롤러16: fixing nut 18, 28: roller

30: 롤러지지대 32: 돌출단턱30: roller support 32: protruding step

34: 관통구멍 36: 고정나사34: through hole 36: set screw

38: 와셔 40: 나사구멍38: washer 40: screw hole

42: 가이드홈42: guide groove

상기의 목적은 본체와 롤러에 감겨 회전하는 와이어의 좌우 움직임에 따라 웨이퍼를 정렬하는 암을 구비하는 반도체 웨이퍼 정렬장치에 있어서,The above object is a semiconductor wafer aligning apparatus having an arm for aligning the wafer according to the left and right movement of the wire wound around the main body and the roller,

상기 롤러에 연결되어 회전시에 걸림이 없고 자유회전이 가능하도록 일체형으로 형성된 와이어와, 상기 롤러가 설치되고 고정나사가 관통하여 본체에 고정되며 고정위치의 변경이 가능하도록 형성된 장방형의 관통구멍을 구비하는 이동조립식 롤러지지대로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 정렬장치에 의해 달성될 수 있다.It is connected to the roller and has a wire integrally formed so that there is no jam when rotating, and the roller is installed, the through-hole has a rectangular through hole formed to be fixed to the main body through the fixing screw, and to change the fixed position It can be achieved by a semiconductor wafer alignment device, characterized in that consisting of a movable assembly roller support.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 정렬장치의 바람직한 실시예를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a preferred embodiment of the semiconductor wafer aligning apparatus according to the present invention.

도2를 참조하여 설명하면 반도체 웨이퍼 정렬장치는 좌우로 보호판이 형성된 본체(20)와, 본체(20)에 설치되어 정방향 및 역방향 회전을 교대로 하며 회전동력을 발생하는 모터(도시 않됨)와, 상기 본체(20)의 측면에 고정되어 상기 모터에 의해 회전하는 구동롤러(도시 않됨)와, 맞은편 상기 구동롤러에 의해 회전하는 롤러(28)를 구비한다.Referring to FIG. 2, the semiconductor wafer aligning apparatus includes a main body 20 having protection plates formed on the left and right sides thereof, a motor (not shown) installed in the main body 20 to alternately rotate forward and backward and generate rotational power. A driving roller (not shown) fixed to the side of the main body 20 and rotated by the motor, and a roller 28 that is rotated by the drive roller opposite.

또한, 반도체 웨이퍼 정렬장치는 상기 2개 롤러를 감아 회전하며 상하줄이 교대로 좌우 왕복운동하는 일체형의 와이어(21)와, 상기 롤러(28)가 설치되고, 고정나사(36)가 관통하여 본체(20)에 고정되며 고정위치의 변경이 가능하도록 형성된 장방형의 관통구멍(34)을 구비하는 이동조립식 롤러지지대(30)와, 상기 롤러지지대(30)에 장력 조절방향으로 형성된 돌축단턱(32)과, 상기 본체(20)에 형성되며 상기 돌출단턱(32)이 삽입되어 장력조절방향으로 상기 롤러지지대(30)의 이동을 안내하고 위치이탈을 방지하는 가이드홈(42)을 구비한다.In addition, the semiconductor wafer aligning device rotates by winding the two rollers, and the integrated wire 21 and the roller 28 are installed, the upper and lower rows alternately reciprocate left and right, and the fixing screw 36 penetrates the main body. A movable prefabricated roller support 30 having a rectangular through hole 34 fixed to the 20 and formed to be able to change a fixed position, and a protrusion step 32 formed in the tension adjustment direction on the roller support 30. And a guide groove 42 formed in the main body 20 to guide the movement of the roller support 30 in the tension control direction to insert the protruding step 32 and prevent the positional deviation.

또한, 도면에 도시하지는 않았지만 상측 과 하측의 상기 와이어(21)에 각각 연결되어 웨이퍼를 제위치에 잡아주는 2개의 암 및 상기 암의 직선왕복운동을 인도하는 레일이 설치되어 있다.In addition, although not shown in the drawings, two arms connected to the upper and lower wires 21, respectively, to hold the wafer in place and rails for guiding the linear reciprocation of the arms are provided.

상기 롤러지지대(30)를 본체(20)에 고정시키는 고정나사(36)는 나사체결시에 고정나사(36)의 접촉면을 높이고 롤러지지대(30)의 파손을 방지하는 와셔(38)를 관통시켜 조립하는 것이 바람직하다.The fixing screw 36 for fixing the roller support 30 to the main body 20 allows the washer 38 to increase the contact surface of the fixing screw 36 and prevent breakage of the roller support 30 at the time of screwing. It is preferable to assemble.

이러한 반도체 웨이퍼 정렬장치의 동작을 설명하면, 먼저 도3에 도시된 바와 같이 와이어(21)가 장력을 읽어 암의 동작이탈이 발생하면 작업자는 좁은 공간에 설치되는 반도체 웨이퍼 정렬장치의 한 쪽 롤러가 부착된 이동조립식식 롤러지지대(30)를 고정나사(36)를 풀름으로써 좌우이동이 자유롭게 한 다음 연장을 사용하여 롤러지지대(30)를 이동시켜 와이어(21)가 적당한 장력이 되면 다시 고정나사(36)로 롤러지지대(30)를 본체(20)에 체결하게 된다.Referring to the operation of the semiconductor wafer aligning apparatus, as shown in FIG. 3, when the wire 21 reads the tension and an operation deviation of the arm occurs, the operator has one roller of the semiconductor wafer aligning apparatus installed in a narrow space. The left and right movement is freed by loosening the fixed assembly 36 by loosening the fixed assembly roller support 30, and then moving the roller support 30 by using the extension. 36) the roller support 30 is fastened to the main body 20.

또한 본 발명의 반도체 웨이퍼 정렬장치는 와이어(21)의 교체시에도 역시 고정나사(36)를 풀고 롤러지지대(30)를 분해한 후 와이어(21)를 교체하므로 간편하고 작업시간이 단축된다.In addition, the semiconductor wafer aligning device of the present invention is simple and shortens working time since the fixing screw 36 is also loosened, the roller support 30 is disassembled, and the wire 21 is replaced after the wire 21 is replaced.

따라서 일체형의 와이어(21)를 사용하므로 수명이 길고 암의 움직임이 부드러우며 이동조립식의 롤러지지대(30)를 사용하므로 와이어(21)의 교체 및 장력조절작업이 용이하게 된다.Therefore, the use of the integrated wire 21, the life is long, the movement of the arm is smooth, and using the roller assembly 30 of the movable assembly type, it is easy to replace the wire 21 and tension adjustment work.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 정렬장치에 의하면, 조립식 고정볼트의 상하 체결로 와이어의 장력을 형성하므로 좁은공간에서도 신속하게 와이어 장력을 조절할 수 있으며 와이어의 교체가 간편하고 일체형의 와이어를 사용하여 수명이 길며 회전이 자유로와 암의 동작불량을 방지하게 되는 효과를 갖는 것이다.As described above, according to the semiconductor wafer aligning apparatus according to the present invention, since the tension of the wire is formed by fastening up and down of the prefabricated fixing bolts, the wire tension can be adjusted quickly even in a narrow space, and the wire replacement is easy and the integrated wire is used. The long life and the rotation is free to have the effect of preventing the malfunction of the arm.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.

Claims

In the semiconductor wafer aligning device having a main body and an arm for aligning the wafer in accordance with the left and right movement of the wire wound around the roller,

A wire which is connected to the roller and integrally formed so as to freely rotate without rotation when the roller is rotated; And

A movable prefabricated roller support having a rectangular through-hole provided with the roller and fixed to the main body by penetrating a set screw, and configured to change a fixed position;

Semiconductor wafer alignment device, characterized in that consisting of.

The method of claim 1,

A projection shaft step formed on the roller support in a tension control direction; And

A guide groove formed in the main body to guide and support the movement of the roller support in the direction in which the protruding step is inserted;

The semiconductor wafer alignment device, characterized in that consisting of.