KR20020044910A - Velt tension system for robot drive motor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 로보트 구동모타 벨트 텐션장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 퓨전(fusion) 유브이/ 베이크(uv/bake) 설비에서 로보트 구동모타의 동력을 전달하는 벨트의 장력을 조절하기 위하여 텐션장치를 설치한 로보트 구동모타 벨트 텐션장치에 관한 것이다.The present invention relates to a robot drive motor belt tensioning device, and more particularly, to install a tension device for adjusting the tension of the belt for transmitting the power of the robot drive motor in a fusion UV / bake facility. One robot drive motor belt tensioning device.
일반적으로 반도체 제조 장비인 퓨전 유브이/베이크 설비에 웨이퍼를 이송하는 장치로 수직, 수평, 회전운동을 하는 로보트가 이용되고 있다.In general, a robot for vertical, horizontal, and rotational movement is used as a device for transferring wafers to a fusion UV / baking facility, which is a semiconductor manufacturing equipment.
상기한 로보트의 3축운동은 각각의 모타 제어에 의해 이루어지고, 모타의 동력은 구동축의 구동풀리에 설치된 타이밍 벨트를 통해 동력을 전달하게 되어 있다.The three-axis movement of the robot is made by the respective motor control, the power of the motor is to transmit power through the timing belt installed in the drive pulley of the drive shaft.
도 1은 종래기술로 로보트 구동장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 A방향에서 도시한 평면도이다.1 is a view showing a robot driving apparatus according to the prior art, Figure 2 is a plan view shown in the direction A of FIG.
로보트 구동장치(2)는 퓨전 유브이/베이크 설비에서 웨이퍼를 이송하는 장치에 사용되는 3-AXIS Robot Ass'y 기종의 구동부이다.The robot drive unit 2 is a drive unit of a 3-AXIS Robot Ass'y type used in an apparatus for transferring wafers in a fusion UV / baking facility.
이러한 로보트 구동장치(2)의 구성은 베이스 플레이트(4)에 수직으로 배치된 구동부(6)와, 이 구동부(6)에 의해 전달받은 동력에 의해 작동하는 종동부(8)로 구성되어 이루어지고 있다.The robot drive device 2 is composed of a drive unit 6 disposed perpendicular to the base plate 4 and a driven unit 8 operated by the power transmitted by the drive unit 6. have.
구동부(6)는 베이스 플레이트(4)에 모터 서포터(10)로 설치되는 스텝모타(12)와, 이 스텝모타(12)의 구동축(14) 상부에 브레이크(16)를 구비하고, 하단에는 구동풀리(18)를 설치하고 있다.The drive unit 6 includes a step motor 12 installed on the base plate 4 as a motor supporter 10, a brake 16 on the drive shaft 14 of the step motor 12, and a lower drive. The pulley 18 is provided.
종동부(8)는 구동부(6)로 부터 일정 간격 이격되어 베이스 플레이트(4)의 하부에 설치되며, 동력을 전달받아 각 부위로 회전력을 전달하여 동작하게 종동축(20)에 종동풀리(22)를 구비하고 있다.The driven part 8 is installed at the lower part of the base plate 4 by being spaced apart from the driving part 6 by a predetermined interval, and is driven by the driven shaft 20 to the driven shaft 20 to transmit and rotate the power to each part. ).
상기한 구동풀리(18)와 종동풀리(22)는 타이밍벨트(24)로 연결되어 동력을 전달하게 되어 있다.The driving pulley 18 and the driven pulley 22 are connected to the timing belt 24 to transmit power.
상기한 바와 같이 타이밍 벨트(24)에 의해 전달되는 동력은 장시간에 걸쳐작동함에 따라 구동부(6)나 종동부(8)의 각축을 지지하는 베어링의 마모를 가져온다.As described above, the power transmitted by the timing belt 24 causes abrasion of the bearing supporting the angular axes of the drive unit 6 or the follower 8 as it operates for a long time.
이에 따라 구동풀리(18)와 종동풀리(22)를 연결하여 동력을 전달하는 타이밍 벨트(24)의 장력은 초기 설정 텐션보다 이완된다.Accordingly, the tension of the timing belt 24 which connects the driving pulley 18 and the driven pulley 22 to transmit power is relaxed than the initial set tension.
이에 구동부(6)에서 종동부(8)로 전달되는 동력은 손실을 발생하게 되며, 이로 인해 정밀한 작동을 하지 못하여 주변의 장치에 나쁜 영향을 미치게 된다.The power transmitted from the drive unit 6 to the driven unit 8 generates a loss, thereby failing to operate precisely and adversely affect the peripheral devices.
그래서 상기한 바와 같은 타이밍 벨트(24)의 이완은 모타 서포터(10)를 통해 이루어지는데, 이 모타 서포터(10)는 4곳에 좌,우 이동이 가능하게 장공(26)을 뚫어 형성하고 있으며, 이 장공(26)을 통해 고정볼트(28)로 베이스 플레이트(4)에 고정되고 있다.Thus, as described above, the relaxation of the timing belt 24 is made through the motor supporter 10. The motor supporter 10 is formed by drilling a long hole 26 to move left and right in four places. The fixing bolt 28 is fixed to the base plate 4 through the long hole 26.
상기한 모타 서포터(10)에 의한 타이밍 벨트(24)의 텐션 조정은 베이스 플레이트(4)상에 스텝모타(12)를 거치하고 있는 모타 서포터(10)를 수동으로 좌,우 이동시켜 가면서 하게 된다.The tension adjustment of the timing belt 24 by the motor supporter 10 is performed by manually moving the motor supporter 10, which is mounting the step motor 12, on the base plate 4. .
이러한 모타 서포터(10)를 이용한 텐션 조정작업을 좀더 구체적으로 설명하면, 일단 4개의 고정볼트(28)를 약간 풀어 모타서포터(10)의 유동을 가능하게 한 다음 작업자중 한사람은 힘을 이용 텐션이 최대한 적정하게 작용하도록 우측으로 밀거나 당긴다.The tension adjustment operation using the motor supporter 10 will be described in more detail. Once the four fixing bolts 28 are slightly loosened to allow the motor supporter 10 to flow, one of the workers uses the force to tension the tensioner. Push or pull to the right to work as best you can.
그리고 나서 다른 작업자가 고정볼트(28)를 조임으로서 텐션 조정 작업을 완료하게 된다.Then another operator completes the tension adjustment work by tightening the fixing bolt (28).
상기한 바와 같이 이루어지는 로보트 구동장치(2)의 텐션작업이 작업자의 감각적인 수작업에 의해 이루어짐에 따라 작업자마다 텐션의 조정정도가 다르게 나타날 수 있는 문제점이 있다.As the tensioning operation of the robot driving device 2 made as described above is performed by the operator's sensuous manual operation, there is a problem that the degree of adjustment of the tension may be different for each operator.
그리고 로보트 구동장치의 정밀한 텐션 조정을 기할 수 없어, 베어링이나 벨트에 악영향을 미치게 되어 내구성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.In addition, since the precise tension adjustment of the robot drive device cannot be performed, there is a problem in that the bearing or the belt is adversely affected and the durability is reduced.
또, 작업자 한 사람만으로는 타이밍 벨트 텐션 작업을 원활하게 수행할 수 없는 문제점이 있다.In addition, there is a problem in that only one worker can not perform the timing belt tensioning operation smoothly.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 본 발명의 목적은 퓨전(fusion) 유브이/ 베이크(uv/bake) 설비에서 로보트 동력원인 스텝모타의 동력을 전달하는 벨트의 장력을 조절하기 위하여 텐션장치를 설치한 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention proposed to solve the problems of the prior art as described above is to adjust the tension of the belt for transmitting the power of the step motor which is the robot power source in the fusion UV / bake facility The present invention provides a robot drive motor belt tensioning device in which a tensioning device is installed.
도 1은 종래기술로 로보트 구동장치를 도시한 도면.1 is a view showing a robot drive in the prior art;
도 2는 도 1의 A방향에서 도시한 평면도.FIG. 2 is a plan view shown in direction A of FIG. 1; FIG.
도 3은 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 도시한 도면.3 is a view showing the robot drive motor belt tensioning device in the present invention.
도 4는 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치의 작용을 도시한 도면.Figure 4 is a view showing the operation of the robot drive motor belt tensioning device in the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
32:스텝모타 34:베이스 플레이트 36:모타 서포트32: step motor 34: base plate 36: motor support
38:고정볼트 40:장공 42:볼스크류축38: fixed bolt 40: long hole 42: ball screw shaft
44:가이드부 46:토크렌치44: A guide part 46: Torque wrench
이를 실현하기 위한 본 발명은The present invention for realizing this
로보트 동력원인 스텝모타 설치를 위해 베이스 플레이트상에 설치한 모타 서포트와,Motor support installed on the base plate for the step motor installation, the robot power source,
상기 베이스 플레이트상에서 모타 서포트를 좌,우 이동 가능하게 모타 서포트의 일측에 회전운동을 직선운동으로 변환하게 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어지는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.To provide a robot drive motor belt tensioning device comprising a tension adjusting means installed on the base plate to convert the rotational movement into a linear movement on one side of the motor support to move the motor support left and right.
텐션 조정수단은 모타 서포터의 일측면에 회전 가능하게 조립 설치된 볼스크류축과, 상기 볼스크류축의 전진과 후퇴를 안내하게 베이스 플레이트에 설치된 가이드부와, 상기 볼스크류축의 일단에 회전량을 조절하게 설치한 토크렌치를 포함하여 이루어지는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.The tension adjusting means is installed so as to adjust the amount of rotation at one end of the ball screw shaft, rotatably assembled on one side of the motor supporter, a guide part installed on the base plate to guide the forward and backward movement of the ball screw shaft. The present invention provides a robot drive motor belt tensioning device including a torque wrench.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예의 구성과 작용을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration and operation of a specific embodiment of the present invention will be described in detail.
도 3은 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 도시한 도면이다.3 is a view illustrating a robot driving motor belt tensioning device according to the present invention.
로보트 구동모타 벨트 텐션장치(30)는 로보트 동력원인 스텝모타(32) 설치를 위해 베이스 플레이트(34)상에 모타 서포트(36)를 설치하고, 상기 모타 서포트(36)를 좌,우 이동 가능하게 베이스 플레이트(34) 일측에 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어지고 있다.The robot drive motor belt tensioning device 30 installs the motor support 36 on the base plate 34 to install the step motor 32 as a robot power source, and moves the motor support 36 to the left and right. It comprises a tension adjusting means provided on one side of the base plate (34).
모타서포트(36)는 베이스 플레이트(34)에 고정볼트(38)로 체결이 이루어지게 4곳에 장공(40)을 뚫어 형성하고 있다.The motor support 36 is formed by drilling a long hole 40 in four places to be fastened to the base plate 34 by a fixing bolt 38.
상기 장공(40)은 모타 서포트(36)의 좌,우 이동이 가능하게 횡방향으로 형성하고 있다.The long hole 40 is formed in the transverse direction to enable the left and right movement of the motor support 36.
텐션 조정수단은 모타 서포터(36)의 일측면에 회전 가능하게 연결 설치된 볼스크류축(42)과, 상기 볼스크류축(42)을 베이스 플레이트(34)에 고정하면서 좌,우 이동을 안내하는 가이드부(44)와, 상기 볼스크류축(42)의 일단에 회전력을 눈금 또는 숫자를 보고 죌 수 있는 공구인 토크렌치(46)를 설치하여 이루어지고 있다.The tension adjusting means includes a ball screw shaft 42 rotatably connected to one side of the motor supporter 36 and a guide for guiding left and right movements while fixing the ball screw shaft 42 to the base plate 34. A portion 44 and one end of the ball screw shaft 42 are provided with a torque wrench 46 which is a tool that can measure the rotational force by reading a scale or a number.
볼스크류축(42)은 통상의 기술로 구체적인 도면은 생략하고 있으며, 가이드부(44)와 함께 이용되고 있다.The ball screw shaft 42 is abbreviate | omitted in a conventional technique, and is used with the guide part 44. As shown in FIG.
상기한 바와 같이 이루어지는 본 발명의 작용을 도4에 의하여 설명하면, 베이스 플레이트(34)에 모타 서포트(36)를 고정하고 있는 체결볼트(38)를 약간 풀어 이완시킨다.Referring to Figure 4 illustrates the operation of the present invention made as described above, slightly loosen and loosen the fastening bolt 38 is fixed to the motor support 36 to the base plate (34).
그리고 나서 타이밍 벨트(48)의 수명이 다되었으면 교환하고, 그렇지 않고 벨트의 텐션이 이완되어 있으면, 토오크 렌치(46)를 시계방향으로 회전시켜 원하는 치수에 이를때 까지 모타 서포트(36)를 일방향으로 이동시킨다.Then replace the timing belt 48 when it has reached the end of its service life. Otherwise, if the tension of the belt is relaxed, rotate the torque wrench 46 clockwise to move the motor support 36 in one direction until the desired dimension is reached. Move it.
모타 서포트(36)의 이동으로 구동축(47)의 구동풀리(50)에 걸친 타이밍 벨트(48)의 텐션이 알맞게 긴장상태를 갖게 되면 이완되어 있던 고정볼트(38)를 조인다.When the tension of the timing belt 48 across the drive pulley 50 of the drive shaft 47 becomes moderately tensioned by the movement of the motor support 36, the fixed fixing bolt 38 is tightened.
반대로 상기 타이밍 벨트(48)의 텐션이 너무 강하면 모터 서포터(36)를 고정하고 있는 고정볼트(38)를 먼저 약간 풀어 놓은 후 토크 렌치(46)를 반시계방향으로 회전시켜 가면서 모타 서포트(36)를 이동시켜 조정한 한 후 고정볼트(38)를 조인다.On the contrary, if the tension of the timing belt 48 is too strong, the fixing bolt 38 holding the motor supporter 36 is slightly released first, and then the motor support 36 is rotated counterclockwise. After adjusting, tighten the fixing bolt (38).
이상에서 본 발명의 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although only the embodiments of the present invention have been described in detail above, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims.
토크렌치의 수치를 이용하여 벨트 텐션을 조절하므로서 텐션 오차를 해소하게 되어 일정한 텐션을 유지하게 되는 발명이다.By adjusting the tension of the belt by using a torque wrench value, the tension error is eliminated and the invention maintains a constant tension.
작업자 한 사람만으로 텐션 조정 작업을 할 수 있게 된다.Only one worker can adjust the tension.
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |