KR19980086842A - 압력 센서 - Google Patents

Abstract

압력센서에 있어서, 하우징, 센서 엘리먼트, 기판, 리드, 차폐판, 터미널 홀더, 터미널, 방수 O링, 커넥터 케이스 등을 용이하게 조립할 수 있도록 하고, 커넥터 케이스의 변경이 용이하도록 한다.

하우징(1)과 커넥터 케이스(9)를 구비하고, 내부에 센서 엘리먼트(2), 기판(3), 리드(4), 차폐판(5), 터미널 홀더(71), 터미널(72), 방수 O링(8a, 8b)등을 수납하는 압력센서에 있어서, 하우징(1) 및 커넥터 케이스(9)의 코킹부를 상부 및 하부에 가지는 조인트(6)를 구비한다. 차폐부를 일체로 형성한 조인트(6b)이어도 좋다.

Description

압력센서

본 발명은, 압력센서에 관한 것으로, 특히 하우징과 커넥터 케이스를 구비하며, 내부에 압력을 검지하는 센서 엘리먼트와, 증폭후막기판회로(增幅厚膜基板回路)를 가지는 기판과, 센서 엘리먼트와 터미널을 연결하는 리드와, 관통콘덴서가 부착된 차폐판과, 터미널 홀더 및 터미널과, 방수 O링 등을 수납하는 압력센서에 관한 것이다.

종래부터, 도 13에 도시된 바와 같은 압력센서가 알려져 있다. 도 13a는 종래의 압력센서의 단면을 도시한 설명도이고, 도 13b는 상기 압력센서의 분해사시설명도이며, 도 13c는 상기 압력센서에 사용되는 차폐부재의 단면을 도시한 설명도이다.

상기 압력센서는, 하우징(1′)과 커넥터 케이스(9′)를 구비하고 있으며, 하우징(1′)과 커넥터 케이스(9′)로 구성되는 용기의 내부에, 압력을 검지하는 센서 엘리먼트(2′), 증폭후막기판회로를 가지는 기판(3′), 센서 엘리먼트(2′)와 터미널(72′)을 연결하는 리드(4′), 관통 콘덴서(51′)가 부착된 차폐부재(5′), 터미널 홀더(71′) 및 터미널(72′), 방수 O링(8′) 등을 수납하고 있다. 하우징(1′)과 커넥터 케이스(9′)는, 코킹에 의해 직접연결되어 있다.

하우징(1′)은, 센서 엘리먼트(2′), 기판(3′), 차폐판(5′), 커넥터 케이스(9′) 등을 포함하는 금속제의 케이스이며, 센서 엘리먼트(2′)는 헤더(21′), 시팅부재(22′) 및 센서칩(23′)으로 이루어지며, 하우징(1′)에 부착되어 있다. 그리고, 센서칩(23′)은, 단면이 ㄷ자형상을 하고 있는데, 하우징(1′)에 마련된 구멍(도시생략)으로부터 유체의 압력을 받으면 변형하며, 그 변화량에 따라 전기신호를 출력한다. 헤더(21′) 및 시팅부재(22′)는, 센서칩(23′)을 지지하며, 하우징(1′)에 고정되어 있다.

기판(3′)은, 정 8각형을 하고 있으며, 증폭후막기판회로(도시생략)를 가지고 센서 엘리먼트(2′)로부터의 미약한 신호를 증폭하는 것이고, 리드(4′)는 증폭후막기판회로에서 증폭된 전기신호를 터미널(72′)로 전달하는 전원이나 접지를 포함하는 선이다.

관통콘덴서(51′)는, 외부로부터 터미널(72′)을 통해 침입하는 전자노이즈를 차폐부재(5′)로 도피시키는 것으로서, 차폐부재(5′)에 설치된 구멍에 부착되어 있다. 차폐부재(5′)는, 도 4c에 도시한 바와 같이, 단면은 ㄷ자 형상이고, 하우징(1′)에 압입에 의해 고정되어 있다. 그리고, 관통콘덴서(51′)의 외부전원의 역할을 하며, 하우징(1′)과 접속됨으로써, 터미널(72′)로부터의 전자노이즈 등을 하우징(1′)을 통해 외부로 도피시킨다.

터미널 홀더(71′)는, 터미널(72′)을 인서트 몰드성형으로 유지시키고 있으며, 커넥터를 꽂고 빼는데 대해 견딜수 있도록 되어 있다. 그리고, 터미널(72′)은, 리드(4′)에 접속되어 있고, 전원, 접지 및 센서엘리먼트(2′)로부터의 출력신호를 외부로 입출력한다.

방수 O링(8′)은, 외부로 부터 물, 습기 등이 침입되는 것을 방지하는 것으로서, 하우징(1′)과 커넥터 케이스(9′)의 코킹부에 설치되어 있다.

커넥터 케이스(9′)는, 터미널(72′)을 꽂아 고정시키는 수지제의 케이스로서, 차폐판(5′)과 터미널 홀더(71′)를 유지시키고 있다.

종래의 압력센서는, 커넥터 케이스(9′)와 터미널(72′)이 일체로 된 구조(압입방식)이기 때문에, 압력센서의 사용자가 요구하는 형상으로 압력센서의 전체구조를 변경할 필요가 있었다. 그리고, 단면이 U자 형상인 차폐부재(5′)가 하우징(1′)에 압입고정되어 있고, 터미널 홀더(71′)를 차폐부재(5′)에 설치된 홈이나 구멍에 고정할 필요가 있기 때문에, 제조시에 공정수가 많아지고 이에따라 비용도 높아져, 문제가 되고 있었다.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 하우징, 센서 엘리먼트, 기판, 리드, 차폐판, 터미널 홀더, 터미널, 방수 O링, 커넥터 케이스 등을 용이하게 조립할 수 있도록 하고, 또한 커넥터 케이스의 변경이 용이하도록 한 압력센서를 제공하는데 있다.

또 본 발명은, 압력검출공간에 연통되는 내부공간과 상단에 두께가 얇은 수직상승부를 가지는 금속제의 하우징과, 내부공간과 내부공간을 상하로 분리하는 격벽과 상단에 두께가 얇은 수직상승부를 가지는 금속제의 원통형 조인트와, 절연성 재료로 이루어진 커넥터 케이스로 이루어지며, 하우징과 조인트와 케넥터 케이스를 겹쳐지게 쌓고, 각각의 수직상승부를 코킹 처리하여 일체적으로 형성한 내부공간에 압력검출용 센서 엘리먼트와 전기회로를 수용한 압력센서에 있어서, 차폐판을 하우징과 커넥터 케이스를 접속하는 조인트에 일체적으로 설치하고, 압력센서의 부품수를 감소시켜 조립작업의 편리성을 도모하는 것을 목적으로 한다.

또 본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 센서 엘리먼트를 하우징에 고착시킴에 있어서, 확실하게 밀폐시키는 용착고정기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

더욱이 본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 복수의 관통콘덴서를 일체형으로 형성하여, 부품수와 제조공정수를 감소시키는 것을 목적으로 한다.

그리고, 본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 하우징과 조인트의 코킹 결합부 및 조인트와 커넥터 케이스의 코킹 결합부의 회전을 방지하는 것을 목적으로 한다.

도 1a는 본 발명의 압력센서의 일 실시예를 도시한 단면도.

도 1b는 도 1a에 도시한 압력센서의 분해사시도.

도 2는 도 1a에 도시한 일 실시예의 변형예를 도시한 단면도.

도 3a는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 단면도.

도 3b는 도 3a의 실시예를 90도 회전시킨 단면도.

도 3c는 도 3a에 도시한 실시예의 분해사시도.

도 3d는 차폐부의 단면도.

도 4는 본 발명에 관련된 압력센서에 이용하는 관통콘덴서의 구성을 설명하는 단면도.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 관련된 압력센서의 단면도.

도 6은 도 5에 도시한 압력센서를 90도 회전시킨 단면도.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 관련된 압력센서의 단면도.

도 8a는 관통 콘덴서의 설치 양태를 설명하는 사시도.

도 8b는 도 8a에 도시한 설치 양태의 단면도.

도 9a는 일체형 관통 콘덴서의 설치양태를 설명하는 사시도.

도 9b는 도 9a에 도시한 설치양태의 단면도.

도 10a는 일체형 콘덴서의 다른 형태를 설명하는 사시도.

도 10b는 일체형 콘덴서의 다른 형태를 설명하는 단면도.

도 11a는 본 발명의 압력센서의 회전방지기구의 일실시예의 구성을 설명하는 사시도.

도 11b는 도 11a의 회전방지기구의 분해사시도.

도 12a는 본 발명의 압력센서의 회전방지기구의 다른 실시예의 구성을 설명하는 사시도.

도 12b는 도 12a의 회전방지기구의 분해사시도.

도 13a 및 도 13b는 종래의 압력센서의 단면도 및 분해사시도.

도 13c는 종래의 압력센서의 차폐부의 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 하우징 2 : 센서 엘리먼트

3 : 기판 4 : 리드

5 : 차폐판 6 : 조인트

8a,8b : 방수 O링 9 : 커넥터 케이스

51 : 관통콘덴서 71 : 터미널 홀더

72 : 터미널

본 발명은, 하우징과 커넥터 케이스를 구비하며, 내부에 압력을 검지하는 센서 엘리먼트와, 증폭후막기판회로를 가지는 기판과, 센서 엘리먼트와 터미널을 연결시키는 리드와, 관통콘덴서가 부착된 차폐판과, 터미널 홀더 및 터미널과, 방수 O링 등을 수납하는 압력센서에 있어서, 상기 하우징 및 상기 커넥터 케이스의 코킹부를 상부 및 하부에 가지는 조인트를 구비하는 압력 센서인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명은, 상기 차폐판이 상기 커넥터 케이스와 상기 조인트의 코킹부에 끼워져 고정되어 있는 압력 센서인 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 상기 방수 O링이 상기 코킹부에 설치되어 있는 압력센서인 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명은, 하우징과 커넥터 케이스를 구비하며, 내부에 압력을 검지하는 센서 엘리먼트, 증폭후막기판회로를 가지는 기판, 센서 엘리먼트와 터미널을 연결하는 리드, 관통 콘덴서, 터미널 홀더 및 터미널, 방수 O링 등을 수납하는 압력센서에 있어서, 상기 하우징과 상기 커넥터 케이스와의 코킹부를 상부 및 하부에 가지고, 이들 코킹부에 하우징과 커넥터 케이스를 고정하는 조인트와, 상기 조인트에 일체로 형성된 상기 관통 콘덴서를 부착시키는 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 관련된 하우징과 커넥터 케이스를 구비한 압력센서는, 커넥터 케이스의 형상이나 크기 등에 변경이 생기더라도, 압력센서 본체와 커넥터 케이스를 결합시키는 조인트의 존재에 의해 유연하게 대응할 수가 있다. 또한, 조립성이 우수한 압력센서를 얻을 수가 있다.

또 본 발명은 상기 압력센서에 있어서, 상기 하우징에 내부공간의 저부로 개구된 압력검출공간과 연통하는 유체도입홀 및 저부의 압력도입홀의 개구주위에 환형돌기를 설치하여, 센서 엘리먼트를 반도체기판에 형성한 압력검출소자와 유리제의 상부시팅부재와 실리콘제의 하부시팅부재와 금속제의 헤더를 쌓아 올려 구성하고, 조인트에 복수의 관통콘덴서를 끼워 삽입하는 개구를 설치하고, 상기 센서 엘리먼트의 헤더의 저면을 상기 환형 돌기상에 올려놓고 양자를 전기저항용접하여 밀봉되게 용접고정한 것을 특징으로 한다.

또 본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 센서 엘리먼트의 헤더의 하면에 하우징의 유체도입홀에 끼워지는 하방으로 수직된 관형상부를 설치한 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 복수의 관통콘덴서를 일체형의 관통콘덴서로 한 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 압력센서에 있어서, 코킹부에 회전방지기구를 설치함과 동시에, 회전방지기구를 조인트의 외주의 숄더부 및 커넥터 케이스의 외주의 숄더부에 각각 돌기를 설치함과 동시에, 이 돌기이외의 부분을 코킹처리하여 코킹잔여부를 형성하여 회전방지기구로 하거나, 조인트의 외주의 숄더부 및 커넥터 케이스의 외주의 숄더부에 각각 절결부를 설치함과 동시에, 숄더부를 코킹처리하여 코킹부를 형성하여 회전방지기구로 한 것을 특징으로 한다.

이하에서는, 도면에 의해 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1a는 압력센서의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이고, 도 1b는 상기 압력센서의 분해사시설명도이며, 도 2는 상기 압력센서의 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.

도 1 및 도 2에 있어서, 압력센서는, 하우징(1), 센서 엘리먼트(2), 기판(3), 리드(4), 관통콘덴서(51)가 부착된 차폐판(5), 조인트(6), 터미널 홀더(70), 터미널(72), 방수 O링(8a, 8b), 커넥터 케이스(9)등으로 구성되어 있고, 하우징(1), 조인트(6) 및 커넥터 케이스(9)로 이루어진 용기 내에, 센서 엘리먼트(2), 기판(3), 리드(4), 관통콘덴서(51)가 부착된 차폐판(5), 터미널 홀더(70), 터미널(72), 방수 O링(8a, 8b)등이 수납되어 있다.

하우징(1)은, 센서 엘리먼트(2), 기판(3), 차폐판(5), 커넥터 케이스(9)등을 수납하는 금속제의 케이스이며, 측정하는 유체를 내부로 도입하는 구멍(도시생략)을 가지고 있다. 센서 엘리먼트(2)는, 헤더(21), 시팅부재(22) 및 센서 칩(23)으로 이루어지며, 하우징(1)에 부착되어 있다. 그리고, 센서칩(23)은, 단면이 ㄷ자형상을 하고 있고, 하우징(1)에 설치한 구멍으로부터 도입되는 유체의 압력을 받으면 변형하는데, 그 변화량에 따라 전기 신호를 출력한다. 헤더(21) 및 시팅부재(22)는, 센서 칩(23)을 지지하며, 하우징(1)에 고정되어 있다.

기판(3)은 정 8각형을 이루고 있으며, 증폭후막기판회로(도시생략)를 가지고 센서 엘리먼트(2)로부터의 미약한 신호를 증폭하는 것이며, 리드(4)는, 증폭후막기판회로에서 증폭된 전기신호를 터미널(72)로 전달하는 전원이나 접지를 포함하는 선이다. 증폭후막기판회로는, 종래의 것과 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다.

관통콘덴서(51)는, 외부로부터의 터미널(72)을 통해 전자노이즈를 방지하는 것으로서, 차폐판(5)에 설치된 구멍에 부착되어 있다. 차폐판(5)은, 평판형상이며, 커넥터 케이스(9)와 조인트(6)와의 코킹부에 끼워진 상태로 고정되어 있다. 그리고, 관통콘덴서(51)의 외부전극의 역할을 하여 하우징(1)과 접속됨으로써, 터미널(72)로 부터의 전자노이즈를 하우징(1)을 통해 외부로 도피시킨다.

조인트(6)는, 하우징(1)과 동일한 재질로 이루어지며, 원통형으로 형성되어 있다. 그리고, 하우징(1)과 커넥터 케이스(9)를 연결하는 부재로서, 하우징(1) 과 커넥터 케이스(9)와의 코킹부를 상부 및 하부에 가지고 있다.

터미널 홀더(70)는, 터미널(72)을 인서트 몰드성형으로 유지시키고 있으며, 커넥터를 끼웠다 뺏다 하는데 견딜수 있도록 되어 있다. 그리고, 터미널(72)은, 리드(4)에 접속되어 있고, 전원, 접지 및 센서 엘리먼트(2)로부터의 출력신호를 외부로 입출력한다.

방수 O링(8a, 8b)은, 외부로 부터의 물이나 습기 등의 침입을 방지하는 것으로서, 하우징(1)과 조인트(6) 및 커넥터 케이스(9)와 조인트(6)의 코킹부분에 설치되어 있다.

커넥터 케이스(9)는, 터미널(72)을 끼워 고정하는 수지제의 케이스로서, 차폐판(5)과 터미널 홀더(70)를 유지시키고 있다. 그리고, 다른 형상의 각종 커넥터에 대응할 수가 있다.

본 실시예에서는, 조인트(6)를 사용하고 있기 때문에, 압력센서의 조립 시, 하우징(1)과 커넥터 케이스(9)의 크기에 변경이 있더라도, 조인트(6)의 존재에 의해 유연하게 대응할 수가 있다. 더욱이, 종래에는 압입고정되어 있었던 차폐판(5)을, 커넥터 케이스(9)와 조인트(6)를 코킹할 때 끼워서 고정시킬 수가 있으므로, 조립성이 양호해 진다.

또, 터미널 홀더(70)의 고정에 있어서 홈이나 구멍 등을 사용할 필요가 없기 때문에, 공정수가 줄어들어, 비용적으로도 유리하다.

그리고, 차폐판(5)과 관통콘덴서(51), 터미널 홀더(70)와 터미널(72) 등의 부품의 조합을 파트화할 수 있기 때문에, 조립작업도 편리해진다.

전기회로부를 차폐판(5) 및 조인트(6)로 완전히 둘러쌈으로서, 전원노이즈나 전자노이즈가 전기회로부에 침입하지 못하는 구조로 할 수가 있고, 이로써, 오동작을 방지할 수가 있다. 그리고, 터미널(72)로부터 침입하는 노이즈는 관통콘덴서(51)로 방지할 수가 있다.

또한, 코킹부에 방수 O링(8b)을 사용하는 대신에, 도 2에 도시한 바와 같이, 코킹부의 외주를 실리콘계 접착제 등의 방수제(8c)로 피복하는 것도 가능하다.

다음으로, 본 발명에 관련된 압력센서의 다른 실시예에 대해, 도 3a 내지 도 3d를 참조하면서 설명한다. 도 3a는 압력센서의 구성을 나타내는 단면도이고, 도 3b는 상기 압력센서의 구성을 나타내는 도 3a의 A-A선에 따른 단면도이다. 도 3c는 도 3b에 도시한 압력센서의 분해사시설명도이고, 도 3d는 상기 압력센서에 사용되는 조인트의 단면설명도이다.

도면에 있어서, 압력센서(100)는, 하우징(10), 센서엘리먼트(20), 회로기판(30), 리드(40), 조인트(50), 관통콘덴서(60), 터미널 홀더(70), 그리고 커넥터 케이스(90)등으로 구성되어 있다.

하우징(10)과 조인트(50) 및 커넥터 케이스(90)로 이루어진 용기내에, 센서 엘리먼트(20), 회로기판(30), 리드(40), 관통콘덴서(60), 터미널 홀더(70), O링(80a, 80b)등이 수납되어 있다.

하우징(10)은, 센서 엘리먼트(20), 회로기판(30), 조인트(50) 등을 수납하는 원통형상의 금속제 케이스로 구성되며, 본체(11)와, 측정할 유체를 내부로 도입하는 유체도입홀(12)과, 주변의 상부가장자리에 설치한 두께가 얇은 수직상승부(13)와, 본체내부에 형성한 내부공간(14)과, 내부공간의 저부(15)와, 상기 저부에 개구된 유체도입홀(12)의 주변에 설치한 환형의 돌기(16)와, 내부공간(14)의 상방에 설치한 제 1단부(17)와, 상기 단부(17)의 상방에 설치한 제 2단부(18)를 가지고 있다.

센서 엘리먼트(20)는, 압력을 검출하는 기능을 가지고 있으며, 반도체기판의 상부면에 복수의 저항을 브릿지를 형성하도록 설치한 피에조소자로 이루어진 압력검출소자(21)와, 상부면에 상기 압력검출소자(21)가 올려지고 밀봉되게 고정되는 유리제 상부시팅부재(22)와, 상기 상부시팅부재(22)의 하부면에 밀봉되게 고정된 실리콘제의 하부시팅부재(23)와, 상기 하부시팅부재를 상부면에 올려놓고 밀봉되게 고정하는 헤더(24)로 구성되어 있다.

압력검출소자(21)는, 반도체기판의 평면형상이 직사각형으로 형성됨과 동시에, 중앙부에 얇게 형성된 압력에 의해 변형하는 다이어프램부가 형성되어 있고, 상기 다이어프램부의 상부면에는, 복수의 저항을 브릿지형상으로 피에조소자로서 형성함으로써 왜곡 게이지인 압력검지부가 형성됨과 동시에, 주변부의 두께가 두꺼운 부분상에 집적회로 제조기술을 이용하여 제조한 증폭회로나 연산처리회로 등의 전기 회로를 설치하였다.

더욱이, 압력검출소자(21)의 상부면에 설치한 랜드부(도시생략)와 회로기판(30)의 상부면에 설치한 랜드부(도시생략)를 본딩와이어(29)에 의해 접속한 후, 압력검출소자(21)의 면상에 설치한 저항 등의 전기회로등을 보호하는 실리콘수지등으로 이루어진 방습보호층(25)이 그 상부면에 형성되어 있다.

예를 들면, 파이렉스유리(등록상표) 등의 유리로 이루어진 상부시팅부재(22)는, 그 평면형상이 직사각형이며, 중심에 관통공(22a)이 형성된 형상을 하고 있다. 실리콘제의 하부시팅부재(23)는, 그 평면형상이 직사각형이며, 중심에 관통공(23a)이 형성된 형상을 하고 있다. 하부시팅부재(23)의 헤더(24)와의 접합면에는 스퍼터링 등에 의해 금도금층이 형성되어 있다.

헤더(24)는, 42합금 등의 철-니켈계 합금을 이용하여 구성되며, 그 평면형상이 원형이며, 중심에 관통공(24a)을 유체도입홀(12)과 동심형상으로 설치한 형상을 이룬다. 헤더(24)의 하부시팅부재(23)와의 접합면에는 금도금층이 설치되어 있다.

상부시팅부재(22), 하부시팅부재(23) 및 헤더(24)의 관통공(22a, 23a, 24a)은, 각각 동축상에 배치되며, 하우징(10)의 유체도입홀(12)에 연통되어 있다.

압력검출소자(21)의 하부면은, 상부시팅부재(22)의 상부면에 양극접합(FAB접합)에 의해 밀봉되게 용착고정되며, 상부시팅부재(22)의 하부면은 하부시팅부재(23)의 상부면에 양극접합에 의해 밀봉되게 용착고정되고, 하부시팅부재(23)의 하부면과 헤더(24)의 상부면은 금-실리콘의 땜부재를 통해 가열압착(스크럽)함으로써, 금-실리콘 합금이 형성되어 밀봉되게 용착고정된다.

회로기판(30)은, 절연성 수지로 이루어지며, 8각형으로 구성되어 중앙부에 상기 센서 엘리먼트(20)를 배치하는 개구를 가지고 있다. 상기 회로 기판(30)에는, 증폭회로와 연산회로(도시생략)를 구성하는 회로소자 등이 탑재되어, 압려검출소자(21)로 부터의 신호를 본딩와이어(29)를 통해 상기 회로소자에 입력한다.

리드(40)는, 전기회로기판(30)에 설치된 입출력단자(랜드부)와 터미널(72)을 접속하는 도선이며, 신호선, 전원공급선 및 접지선을 포함하고 있다. 리드선(40)의 근본은, 회로기판(30)상에 설치된 랜드부(도시생략)상에 놓여지며, 납땜등에 의해 전기적으로 접속고정되어 있다.

조인트(50)는, 하우징(10)과 동일한 금속으로 형성되며, 하우징 등에 의해 구성되는 내부공간(14)에 배치된 센서 엘리먼트(20)를 외부 노이즈로부터 보호하는 차폐부로서의 역할과, 커넥터 케이스(90)를 하우징(10)에 일체화하는 접속구로서의 역할을 한다.

조인트(50)는, 원통형으로 형성된 본체(51)와, 본체(51)와 일체로 형성된 원통의 내부공간을 둘로 구획하는 격벽(52)과, 본체(51)의 주변 상부가장자리로 상승되는 얇게 형성된 수직상승부(53)와, 격벽의 일부에 설치된 복수의 개구(54)와, 본체의 하방외주부에 설치된 숄더부(56)와, 격벽의 상방에 설치된 커넥터 수용용 공간과, 격벽의 하방에 설치된 센서 엘리먼트 수용용 내부공간을 가지고 구성되어 있다.

도 3에 도시한 조인트(50)는, 하우징(10)과 커넥터 케이스(90)를 연결하는 부재이며, 하우징(10) 및 커넥터 케이스(90)의 코킹부를 상부 및 하부에 가지고 있다. 재질로서는, 예를 들면 황동을 사용하여, 예컨대 절삭에 의해 격벽(52)을 가지는 원통형으로 형성된다. 격벽(52)은, 관통 콘덴서(60)를 삽입하는 구멍을 가지는 평판형상으로 일체로 형성되며, 그 두께는, 예를 들면 0.6∼1mm정도로 하고 있다. 그리고, 관통콘덴서(60)의 외부전극의 역할을 하며 하우징(10)과 접속됨으로써, 터미널(72)로부터의 전자노이즈를 하우징(10)을 통해 외부로 도피시킨다.

이와 같이, 조인트(50)를 사용하고 있기 때문에, 압력센서를 조립할 때, 하우징(10)과 커넥터 케이스(90)의 크기에 변경이 있더라도, 조인트(50)의 존재에 의해 유연하게 대응할 수가 있다. 더욱이, 차폐판인 격벽(52)은, 조인트(50)와 일체로 형성되어 있기 때문에, 부품수가 저감되어, 압력센서의 조립작업을 한층 용이하게 할 수 있다.

또한, 이상의 실시예에 있어서, 커넥터 케이스(9 또는 90) 및 조인트(6 또는 50)의 어느 한쪽에 돌기부(도시생략)를, 다른 한쪽에는 상기 돌기부에 대응하도록 오목부(도시생략)를 각각 형성할 수 있는데, 그럼으로써, 압력센서의 조립시에 위치정렬이 편리해지고, 비틀림에 대해서도 강하게 고정시킬 수가 있다는 장점이 있다. 또, 하우징(10)과 조인트(6, 50)에 대해서도, 마찬가지로 각각 돌기부와 오목부를 설치할 수가 있다.

관통콘덴서(60)는, 도 4에 도시한 구성을 가지며, 외부로부터 터미널(72)을 통해 침입하는 전자노이즈를 조인트(50)를 경유하여 하우징(10)에 우회시켜 그 영향을 방지하는 것으로서, 격벽(52)에 설치된 개구(54)에 삽입된다.

그리고, 관통콘덴서(60)는, 유전체를 성형하여 구성된 중심에 관통공(62)을 가지는 원통형상의 통형상체(61)와, 그 외측에 설치된 외부전극(63)을 가지고 구성되며, 관통공(62)에 리드(40)를 삽입관통시키고, 이 리드(40)와 유전체의 사이에 형성된 틈새에 땜납 등을 흘려넣어 내부전극(64)을 이루고 있다. 상기 관통콘덴서(60)는, 조인트(50)의 격벽(52)에 설치한 개구(54)에 납땜에 의해 고정된다. 관통콘덴서(60)의 외부전극(63)은 격벽(52)을 통해 하우징(10)과 전기적으로 접속됨으로써, 터미널(72)로부터 침입해 들어오는 전자 노이즈를 하우징(10)을 통해 외부로 우회시킨다.

터미널 홀더(70)는, 몰드성형에 의해 얻어진 절연성 수지로 이루어진 베이스(71)와, L자형으로 구부러진 도체로 이루어진 터미널(72)로 이루어지며, 터미널(72)은, 상하 양단부가 돌출되도록 인서트몰드성형에 의해 베이스(71)에 유지되어 있다. 터미널(72)의 하단부(73)에는, 리드(40)의 정수리부가 삽입되는 개구가 설치되어 있다.

터미널(72)은, 하단부(73)에 설치된 개구에 리드(40)를 삽입하여 납땜에 의해 회로 기판(30)의 랜드부와 접속되어 있고, 전원선과 접지선은, 전기회로에 대한 전력공급에 사용되며, 접지선과 신호선은, 센서 엘리먼트(20)로부터의 출력신호를 외부로 취해내기 위해 사용된다.

실리콘 고무 등으로 이루어진 O링(80a,80b)은, 외부로부터의 물이나 습기 등의 침입을 방지하는 것으로서, 하우징(10)과 조인트(50) 및 커넥터 케이스(90)와 조인트(50)의 코킹부분에 설치되어 있다.

커넥터 케이스(90)는, 터미널(72)을 끼워 고정하는 수지제의 케이스로서, 상부에 설치된 소켓용 공간과, 하부에 설치된 터미널 홀더용 공간과, 외측하방에 설치된 숄더부(96)와, 터미널 삽입관통용 개구를 가지며, 격벽(52)과 공동으로 터미널홀더를 유지시키고 있다.

상기 커넥터 케이스(90)는, 그 형상을 변경함으로써, 다른 형상의 각종 커넥터에 대응할 수가 있다.

이들 구성부품을 이용하여 압력센서를 조립하는 순서를 설명한다.

하우징(10)의 내부공간(14)의 저부(15)에 설치한 돌기(16)상에, 상술한 바와 같이 양극접합된 상부시팅부재 및 하부시팅부재로 이루어진 시팅부재상에 압력검출소자를 가지며, 하부시팅부재가 가열압착된 헤더(24)를 가지는 센서 엘리먼트(20)의 헤더(24)를 올려놓고, 돌기(16)와 거의 동일한 형상의 전극을 헤더에 대해 강하게 누르고, 헤더(24)와 하우징의 본체(11)사이에 대전류를 흐르게 하여 주울열에 의해 전기저항용접을 하여, 센서 엘리먼트(20: 헤더(24))를 돌기(16)상에 밀봉되게 용착고정시킨다.

이어서, 회로부품을 올려놓고 고정하여 전기회로를 탑재한 회로기판(30)을 접착제 등을 이용하여 하우징(10)의 내부공간(14)의 제 1단부(17)상에 접착고정한 후, 압력검출소자(21)의 랜드부와 회로기판(30)의 랜드부를 본딩와이어(29)를 이용하여 접속한다. 그런 다음, 유체도입홀(12)로부터 압력을 가하여, 리드(40)의 출력을 모니터 하면서, 압력검출소자(21)를 구성하는 두께가 두꺼운 부분에 설치한 전기회로의 저항소자 등을 레이저 빔을 이용하여 트리밍함으로써 출력 조정 작업을 행한다.

그 후, 압력검출소자(21)의 표면 및 회로기판(30)의 표면에 실리콘 수지를 도포하여 방습보호층(25)을 형성한다.

이어서, 리드(40)를, 조인트(50)에 고정시킨 관통콘덴서(60)의 개구(62)에 위치정렬하여 납땜으로 고정한 후, 조인트(50)를 하우징(10)의 수직상승부(13)의 내부공간의 제 2단부(18)상에 올려 놓는다.

그 후, 수직상승부(13)를 조인트(50)의 숄더부(56)에 코킹처리하여 하우징(10)과 조인트(50)를 고정한다.

이어서, 관통콘덴서(60)의 개구(62)와 리드(40)사이에 형성된 틈새에 땜납을 흘려넣어 내부전극(64)을 형성한다.

그런 다음, 터미널 홀더(70)의 터미널(71)의 하단부(73)에 설치한 개구에 관통콘덴서(60)를 관통한 리드(40)의 정수리부를 삽입하여 납땜하고, 격벽(52)상에 터미널 홀더(70)의 베이스(71)를 올려놓는다.

그 후, 터미널(72)을 커넥터 케이스(90)에 설치한 개구에 삽입하고, 커넥터 케이스(90)의 하단부를 조인트(50)의 격벽(52)상에 위치시키고, 조인트(50)의 수직상승부(53)를 커넥터 케이스의 숄더부(96)에 코킹처리하여 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)를 고정한다.

상기와 같은 공정에 의해, 압력센서(100)가 조립된다.

본 실시예에서는, 센서 엘리먼트(20)의 헤더(24)를 하우징(10)의 내부공간(14)의 저부(15)에 설치한 환형돌기(16)상에 올려놓고, 전기저항용접에 의해 용착고정하였기 때문에, 헤더(24)와 돌기(16)의 용착이 극히 견고하여, 기밀성이 우수한 압력센서를 제공할 수가 있다.

또 본 실시예에서는, 격벽(52)을 가지는 조인트(50)를 사용하고 있기 때문에, 압력센서의 조립시, 하우징(10)과 커넥터 케이스(90)의 사이즈가 변경되더라도, 조인트(50)의 존재에 의해 유연하게 대응할 수 있다. 뿐만아니라, 종래에는 하우징의 내부공간의 측벽에 압입고정되어 있던 차폐판이, 조인트(50)와 일체로 설치되어있기 때문에, 하우징(10)의 제 2단부(18)상에 조인트를 올려놓고, 숄더부(56)를 수직상승부(13)로 코킹하기만 하면, 조인트(50)와 격벽(52)이 고정되므로, 조립공정수가 감소될 수 있다.

또 본 실시예에 의하면, 터미널 홀더(70)는, 격벽(52)상에 올려놓고, 리드(40)에 납땜함으로써 위치를 고정시킬 수 있어, 제조시의 공정수가 감소되므로, 비용적으로도 유리하다.

또 본 실시예에 의하면, 격벽(52)과 관통콘덴서(60), 터미널 홀더(70)와 터미널(72) 등의 부품의 조합을 파트화할 수 있어 조립작업이 편리해진다.

또한 본 실시예에 의하면, 전기회로부를 격벽(52) 및 조인트(50)로 완전히 둘러싸서, 전원노이즈나 전자 노이즈가 전기 회로부에 침입되지 않는 구조로 할 수가 있는데, 이렇게 함으로써, 오동작을 없앨 수가 있다. 더욱이, 터미널(72)로부터 침입하는 노이즈는, 관통콘덴서(60)로 방지할 수가 있다.

그리고, 코킹부에 O링(8a, 8b)을 사용하는 대신에, 코킹부의 외주를 실리콘계 접착제 등의 방수제로 피복함으로써, 방수성을 부여하는 것도 가능하다.

도 5 및 도6을 이용하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 도 5는 압력센서의 구성을 도시한 단면도이고, 도 6은 상기 압력센서의 구성을 도시한 도 5의 A-A선에 따른 단면도이다.

본 실시예에서는, 도 3a 및 도 3b에 도시한 압력센서에 비하여, 도시한 바와 같이, 헤더(24)에 수직 하방으로 연장된 관형상부(241)를 설치한 점에 특징이 있다. 그 이외의 구성은, 도 3a 및 도 3b에 도시한 압력센서와 거의 동일하므로, 동일한 구성부분에 대해서는 동일 부호를 사용하며, 그 설명은 생략한다.

본 실시예의 압력센서(100)는, 헤더(24)의 하방으로 수직을 이루는 관형상부(241)의 외부지름이 하우징(10)의 유체도입홀(12)에 끼워지는 크기로 되어 있고, 헤더(24)의 관형상부(241)를 하우징(10)의 유체도입홀(12)에 끼워넣은 후, 헤더(24)와 돌기(16)를 도 3a 및 도3b에 도시한 제 1실시예와 동일하게 전기저항용접에 의해 밀봉되게 용착고정한 점에 그 특징이 있다.

기타의 구성 및 제조공정은, 도 3a 및 도3b에 도시한 실시예와 동일하므로 그 설명은 생략한다.

본 실시예에 의하면, 하방으로 수직을 이루는 관형상부(241)가 유체도입홀(12)에 예를 들면 끼워져 고정되어 있기 때문에, 압력측정시에, 헤더(24)와 돌기(16)의 접합부에 반복적으로 변형력이 가해지더라도 끼워진 부분에 의해 헤더(24)의 관형상부(241)의 외측과 유체도입홀(12)이 고정되어 있기 때문에, 장기간 사용에 의해 상기 접합부가 벗겨지거나 하는 것을 대폭적으로 감소시킬 수 있어, 압력센서의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수가 있다.

도 7을 참조하면서 본 발명의 또 다른 실시예를 설명한다.

본 실시예는, 도 3a 및 도 3b에 도시한 압력센서에 비해, 조인트(50)에 일체로 형성된 격벽(52)을, 도시한 바와 같이 차폐판(520)으로서 별개로 설치한 점에 특징을 가지고 있다. 즉, 차폐판은 상기 커넥터와 조인트의 코킹부에 끼워져 고정되어 있는 것을 특징으로 한다. 그 이외의 구성은, 도 3a 및 도 3b에 도시한 압력센서와 거의 동일하므로, 동일한 구성부분은 동일부호로 나타내며, 그 설명은 생략한다.

본 실시예에서는, 조인트(50)에 차폐판을 올려놓기 위한 단부(58)를 설치하고, 그 단부(58)에 차폐판(520)을 올려놓고 있다.

차폐판(520)의 회전을 방지하기 위해 차폐판(520)에 도시를 생략한 돌기 또는 오목부를 설치함과 동시에, 조인트(50)에 차폐판을 올려놓기 위한 단부(58)상에 상기 차폐판(520)의 돌기에 맞는 오목부 또는 상기 차폐판(520)의 오목부에 맞는 돌기를 설치해도 좋다.

기타의 구성 및 제조공정은, 도 3a 및 도 3b에 도시한 실시예와 거의 동일하므로, 그 설명은 생략한다.

본 실시예에서는, 도 3a 및 도 3b에 도시한 실시예와 마찬가지로, 센서 엘리먼트(20)의 헤더(24)는 그 저면이 평탄한 형상을 하고 있으나, 헤더(24)의 저면은, 도 5에 도시한 실시예와 같이 저면에 하방으로 수직을 이루는 관형상부(241)를 설치한 형상을 채용하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다.

도 8 내지 도 10을 참조하면서 본 발명의 또 다른 실시예를 설명한다. 도 8 및 도 9는, 관통콘덴서와 조인트의 관계를 나타낸 도면으로서, 도 8a는 관통콘덴서와 조인트의 사사도를, 도 8b는 그 단면도를 나타내고 있다.

본 실시예는, 복수개의 관통콘덴서(60)를 일체로 하여 하나의 부품으로 한 것을 특징으로 하고 있다.

도 8a에 도시한 바와 같이, 복수개의 관통콘덴서(60)는, 각각 조인트(50)의 격벽(52)에 설치한 개구(54)에 하나씩 납땜에 의해 고정시킨 다음, 관통공(62)에 리드(40)를 삽입관통시키고 있다.

도 9a는 관통콘덴서와 조인트의 사시도를, 도 9b는 그 단면도를 도시하고 있다. 도 9a에 도시한 바와 같이, 본 실시예는 복수의 관통콘덴서를 일체로 하여 일체형 관통콘덴서(65)로 한 것이다. 일체형 관통콘덴서(65)는, 유전체(61)를 평탄한 형상으로 형성하고, 이 유전체(61)에 복수의 관통공(62)을, 리드(40)와 터미널(72)의 하단부(73)의 개구에 대응하는 위치에 설치함과 동시에, 복수의 관통콘덴서에 대해서, 유전체(61)의 외주에 하나의 외부전원을 공통으로 설치한 것이다.

본 실시예에서, 조인트(50)의 격벽(52)에 설치한 개구(54)는, 유전체(61)의 형상과 동일한 것을 채용하고, 개구의 하방에 받이부(55)를 설치해 두었다.

이와 같이 구성함으로써, 부품수를 줄일 수 있고, 더욱이 제조공정수를 줄일 수가 있다.

도 10은, 복수의 관통콘덴서를 일체로 만든 일체형 관통콘덴서(65)의 다른 실시예를 도시한 도면이며, 도 10a는 그 외형을 도시한 사시도이고, 도 10b는 그 구조를 도시한 종단면도이다.

상기 일체형 관통콘덴서(65)는, 유전체(61)를 평탄한 직사각형으로 형성하고, 이 유전체(61)에 내부전극이 되는 내부에 관통공(67)을 가지는 도전성 금속관(66)을 상하로 관통하도록 복수개 매설하여 형성하여 각 관통콘덴서의 내부전극으로 함과 동시에, 유전체(61)의 외주에 공통외부전극(63)이 되는 금속틀을 예를 들면 끼워 결합시켜 구성하였다.

또한, 금속틀의 하방에는 격벽에 대한 고정부재(68)를 설치하였다.

본 실시예에 의해서도 제 4 실시예와 동일한 효과를 얻을 수가 있다.

도 11을 참조하면서 본 발명의 또 다른 실시예를 설명한다.

전술한 실시예에 도시한 압력센서는, 하우징(10)과 조인트(50)를 하우징(10)의 수직상승부(13)를 코킹처리하여 고정하고, 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)를 조인트(50)의 수직상승부(53)를 코킹처리함으로써 고정하였다.

이와 같이 쌍방 모두 원통형의 부품을 코킹에 의해 고정하는 경우에는, 코킹처리를 견고하게 하였다 하더라도, 장기간의 사용에 의해 쌍방의 부품에 다른 회전력이 주어지면 코킹부가 회전할 우려가 있다. 이와 같은 회전이 압력센서에 발생되었을 때에는, 내부에 배치된 리드(40)에 비트는 힘이 작용하여, 리드(40)와 회전기판(30)의 접합 혹은 리드(40)와 터미널(72)의 하부와의 접합이 불량해질 우려가 있다.

본 실시예는, 이와 같은 문제에 대처하기 위한 것으로서, 하우징(10)과 조인트(50)와의 사이 및 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)와의 사이의 회전을 방지하는 구조이다.

도 11a는 압력센서(100)의 전체구성을 나타내는 사시도이고, 도 11b는 압력센서를 구성하는 구성요소의 조립을 나타내는 분해사시도이다.

본 실시예는, 조인트(50)의 숄더부(56)에 한 개 또는 복수개의 돌기(57)를 설치하고, 커넥터 케이스(90)의 숄더부(96)에 한 개 또는 복수개의 돌기(97)를 설치한 점에 특징을 가지고 있다.

이하에서는, 본 실시예의 조립방법을 설명한다. 먼저, 하우징(10)의 내부 공간(14)에 센서 엘리먼트(20) 및 회로기판(30)을 소정의 위치에 배치하여 고정시킨 다음, 조인트(50)를 리드(40)에 왜곡이 발생되지 않도록 위치정렬하고, 리드(40)를 관통콘덴서(60)의 관통공에 삽입하여 하우징(10)의 제 2숄더부(18)에 올려놓는다. 그런 다음, 하우징(10)의 수직상승부(13)의 상단을 코킹처리한다. 이 때, 코킹력이 조인트(50)의 숄더부(56)에 설치한 돌기(57)의 외측에 가해지지 않도록 함으로써, 코킹잔여부(19)가 수직상승부(13)의 돌기(57)에 형성된다.

다음으로, 관통콘덴서(60)를 관통한 리드(40)의 선단에 터미널 홀더(70)의 터미널 하단부(73)의 개구를 위치정렬하여 납땜한 다음, 커넥터 케이스(90)에 설치한 터미널 관통용 구멍에 터미널(72)을 삽입하고, 커넥터 케이스(90)를 조인트(50)의 격벽(52)상에 위치시킨다. 그런 다음, 조인트(50)의 수직상승부(53)의 상단을 코킹처리한다. 이 때, 코킹력이 커넥터 케이스(90)의 숄더부(96)에 설치한 돌기(97)의 외측에 가해지지 않도록 함으로써, 수직상승부(53)에 세로방향의 균열을 발생시켜, 코킹잔여부(59)가 돌기(97)의 외측에 형성된다.

이 수직상승부(13) 및 수직상승부(53)의 코킹부측에 발생된 균열의 단면은, 각각 돌기(57) 및 돌기(97)의 측면에 닿으므로, 하우징(10)과 조인트(50)와의 사이 및 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)와의 사이에 발생되는 회전을 방지할 수 있다.

도 12를 참조하면서, 본 발명의 또 다른 실시예를 설명한다.

본 실시예는, 하우징(10)과 조인트(50)와의 사이, 및 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)와의 사이의 회전을 방지하는 구조로 되어 있다.

도 12a는 압력센서(100)의 전체구성을 도시한 사시도이고, 도 12b는 압력센서를 구성하는 구성요소의 조립을 도시한 분해사시도이다.

본 실시예는, 조인트(50)의 숄더부(56)에 한 개 또는 복수개의 절결부(57′)를 설치하고, 커넥터 케이스(90)의 숄더부(96)에 한 개 또는 복수개의 절결부(97′)를 설치한 점에 특징을 가지고 있다.

이하에서는, 본 실시예의 조립방법을 설명한다. 먼저, 하우징(10)의 내부 공간(14)에 센서 엘리먼트(20) 및 회로기판(30)을 소정의 위치에 배치하여 고정시킨 다음, 조인트(50)를 리드(40)에 왜곡이 발생되지 않도록 위치정렬하고, 리드(40)를 관통콘덴서(60)의 관통공에 삽입하여 하우징(10)의 제 2숄더부(18)에 올려놓는다. 그런 다음, 하우징(10)의 수직상승부(13)의 상단을 코킹처리한다. 이로써, 코킹부(19′)가 절결부(57′)에 형성된다.

다음으로, 관통콘덴서(60)를 관통한 리드(40)의 선단에 터미널 홀더(70)의 터미널 하단부(73)의 개구를 위치정렬하여 납땜한 다음, 커넥터 케이스(90)에 설치한 터미널 관통용 구멍에 터미널(72)을 삽입하고, 커넥터 케이스(90)를 조인트(50)의 격벽(52)상에 위치시킨다. 그런 다음, 조인트(50)의 수직상승부(53)의 상단을 코킹처리한다. 이로써, 코킹부(59′)가 절결부(97′)에 형성된다.

이 수직상승부(13) 및 수직상승부(53)의 단면은, 각각 절결부(57′) 및 절결부(97′)의 측면에 닿으므로, 하우징(10)과 조인트(50)와의 사이에 발생되는 회전 및 조인트(50)와 커넥터 케이스(90)와의 사이에 발생되는 회전을 방지할 수 있다.

이상, 본 발명에 관련된 실시예를 설명하였으나, 도 3의 실시예에, 도 8 혹은 도 9의 실시예에 관련된 일체형 관통콘덴서를 조합할 수도 있다. 이에 더하여, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수가 있다.

또, 도 3의 실시예에, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수 있다.

또한, 도 5의 실시예에, 도 8 혹은 도 9의 실시예에 관련된 일체형 관통콘덴서를 조합할 수 있다. 이에 더하여, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수가 있다.

또, 도 5의 실시예에, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수가 있다.

도 7의 실시예에, 도 8 혹은 도 9의 실시예에 관련된 일체형 콘덴서를 조합할 수 있다. 이에 더하여, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수가 있다.

또, 도 7의 실시예에, 도 11 혹은 도 12의 실시예에 도시한 회전방지기구를 조합할 수가 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 격벽을 가지는 조인트를 사용하여 그 상부 및 하부를 코킹처리함으로써, 하우징과 조인트와 커넥터 케이스로 용기를 구성하고, 그 내부에 센서 엘리먼트, 관통콘덴서, 터미널, 터미널 홀더, 방수 O링 등을 수납하여 용이하게 조립할 수가 있고, 또, 커넥터 케이스의 변경이 용이하다. 더욱이, 차폐판을 별도로 설치할 필요가 없어지므로, 부품수가 줄어 조립작업을 편리하게 할 수가 있다.

또한, 복수의 관통콘덴서를 일체로 하여 일체형 관통콘덴서를 만드므로서, 부품수가 줄어 조립작업을 편리하게 할 수가 있다.

그리고, 코킹부에 회전방지기구를 설치함으로써, 코킹부에 회전을 발생시킬 우려가 없어지므로, 내부의 전기적 접속에 장애를 일으킬 우려가 없어진다. 따라서, 수명이 오래가는 압력센서를 얻을 수가 있다.

Claims (14)

1. 하우징과 커넥터 케이스를 구비하고, 내부에 압력을 검지하는 센서 엘리먼트, 증폭후막기판회로를 가지는 기판, 센서 엘리먼트와 터미널을 연결하는 리드, 관통콘덴서가 부착된 차폐판, 터미널 홀더 및 터미널, 방수 O링 등을 수납하는 압력센서에 있어서, 상기 하우징과 상기 커넥터 케이스와의 코킹부를 상부 및 하부에 가지는 조인트를 구비한 것을 특징으로 하는 압력센서.
2. 제 1항에 있어서, 상기 차폐판은, 상기 커넥터 케이스와 상기 조인트와의 코킹부에 끼워져 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 압력센서.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 방수 O링은, 상기 코킹부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 압력센서.
4. 하우징과 커넥터 케이스를 구비하고, 내부에 압력을 검지하는 센서 엘리먼트, 증폭후막기판회로를 가지는 기판, 센서 엘리먼트와 터미널을 연결하는 리드, 관통콘덴서, 터미널 홀더 및 터미널, 방수 O링 등을 수납하는 압력센서에 있어서, 상기 하우징과 상기 커넥터 케이스와의 코킹부를 상부 및 하부에 가지며, 상기 관통콘덴서를 부착시키는 차폐부를 일체로 형성한 조인트를 구비한 것을 특징으로 하는 압력센서.
5. 제 1항에 있어서, 상기 하우징은 내부공간의 저부에 개구하는 압력검출공간과 연통하는 유체도입홀과, 저부의 압력도입홀의 개구의 주위에 설치한 환형의 돌기를 가지며, 상기 센서엘리먼트는 반도체 기판에 형성한 압력검출소자와 유리제의 상부시팅부재와 실리콘제의 하부시팅부재와 금속제의 헤더를 쌓아 올려 구성되며, 상기 조인트는 관통콘덴서를 끼워 삽입하는 개구를 가지며, 상기 센서 엘리먼트의 헤더의 저면을 상기 환형돌기상에 올려놓고, 양자를 전기저항용접하여 밀봉되게 용착고정한 것을 특징으로 하는 압력센서.
6. 제 5항에 있어서, 센서 엘리먼트의 헤더의 하면에 하우징의 유체도입홀에 끼워 결합시키는 하방으로 수직을 이루는 관형상부를 설치한 것을 특징으로 하는 압력센서.
7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 복수의 관통콘덴서를 일체형 관통콘덴서로 한 것을 특징으로 하는 압력센서.
8. 제 5항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 코킹부에 회전방지기구를 설치한 것을 특징으로 하는 압력센서.
9. 제 8항에 있어서, 조인트의 외주의 숄더부 및 커넥터 케이스의 외주의 숄더부에 각각 돌기를 설치함과 동시에, 상기 돌기이외의 부분을 코킹처리함으로써 코킹잔여부를 형성하여 회전방지기구를 이룬 것을 특징으로 하는 압력센서.
10. 제 4항에 있어서, 상기 하우징은 내부공간의 저부에 개구하는 압력검출공간과 연통하는 유체도입홀과, 저부의 압력도입홀의 개구의 주위에 설치한 환형의 돌기를 가지며, 상기 센서엘리먼트는 반도체 기판에 형성한 압력검출소자와 유리제의 상부시팅부재와 실리콘제의 하부시팅부재와 금속제의 헤더를 쌓아 올려 구성되며, 상기 조인트는 관통콘덴서를 끼워 삽입하는 개구를 가지며, 상기 센서 엘리먼트의 헤더의 저면을 상기 환형돌기상에 올려놓고 양자를 전기저항용접하여 밀봉되게 용착고정한 것을 특징으로 하는 압력센서.
11. 제 10항에 있어서, 센서 엘리먼트의 헤더의 하면에 하우징의 유체도입홀에 끼워 결합시키는 하방으로 수직을 이루는 관형상부를 설치한 것을 특징으로 하는 압력센서.
12. 제 10항 또는 제 11항에 있어서, 복수의 관통콘덴서를 일체형 관통콘덴서로 한 것을 특징으로 하는 압력센서.
13. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서, 코킹부에 회전방지기구를 설치한 것을 특징으로 하는 압력센서.
14. 제 13항에 있어서, 조인트의 외주의 숄더부 및 커넥터 케이스의 외주의 숄더부에 각각 돌기를 설치함과 동시에, 상기 돌기이외의 부분을 코킹처리하여 코킹잔여부를 형성하여 회전방지기구로 한 것을 특징으로 하는 압력센서.