KR19980086629A

KR19980086629A - 수분계, 및 수분계용 전자천칭, 수분계용 필터, 수분계용 수분 흡착장치

Info

Publication number: KR19980086629A
Application number: KR1019980014172A
Authority: KR
Inventors: 후미히데 기쿠치
Original assignee: 에모리 모토히코; 가부시키가이샤 게츠토 가가쿠 겐큐쇼
Priority date: 1997-05-02
Filing date: 1998-04-21
Publication date: 1998-12-05
Also published as: GB2329718B; GB9807914D0; DE19819513A1; GB2329718A; FR2767385B1; TW432214B; DE19819513B4; FR2767385A1; US6279387B1

Abstract

(과제)

본 발명은 측정시료의 기화수분량과 함께 시료질량까지도 측정할 수 있는 수분계용의 전자천칭의 제공을 목적으로 함과 동시에, 수분계용 전자천칭을 구비한 수분계, 수분계용필터, 수분계용 수분흡착장치의 제공을 목적으로 한다.

(해결수단)

상기 본 발명의 각 목적중의 수분계용 전자천칭은, 수분계가 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열하는 가열부와, 가열부로부터 유출되는 캐리어가스로부터 기화수분을 흡착하는 수분흡착부와, 수분흡착부의 증가질량을 검지하는 전자천칭부(6)를 구비하고 있음과 동시에 이 전자천칭부(6)는 전자천칭부 유닛(6d)의 계량아암(6a)에 측정시료계량부(6b)와 포집된 기화수분질량검지부(6c)를 갖고 있다.

Description

수분계, 및 수분계용 전자천칭, 수분계용 필터, 수분계용 수분흡착장치

(제1의 발명)

본 발명은 수분계용 천칭에 관한다. 더욱 상세하게는 측정시료중의 수분량을 측정함과 동시에 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있도록한 수분계용의 전자천칭에 관한 것이다.

(제2의 발명)

본 발명은 수분계에 관한다. 더욱 상세하게는 측정시료중의 수분을 가열에 의하여 기화시켜, 이 기화한 수분 및 가스에 대하여 수분선택 조작을 행한후, 수분만을 포집하고 검지하는 것으로 측정시료중의 정확한 수분량을 미량수분범위까지 측정하는 가열건조형의 수분계에 관한 것이다.

(제3의 발명)

(제4의 발명)

본 발명은 수분계용 필터에 관한다. 더욱 상세히는 필터 내부의 흡착제의 교환을 용이하게 행할 수 있도록한 수분계용의 필터에 관한 것이다.

(제5의 발명)

본 발명은 수분계용 수분흡착장치에 관한다. 더욱 상세히는 기화수분을 포집하는 흡착제 교환시에 측정시료중의 수분량을 측정하는 전자천칭의 계량아암에 외력이 가하지 못하도록한 수분계용의 수분흡착장치에 관한 것이다.

(제1의 발명에 관한 종래기술)

종래부터 고체 또는 액체중의 수분량을 측정하는 고정밀도의 수분정량법으로서, 카알피셔법(Karl Fischer method)(KF법)이 널리 알려져 있다. KF법은 요오드, 이산화유황, 피리딘, 메탄올을 성분으로하는 카알피셔 시약이 물과 정량적으로 반응하는 것을 이용하는 것이다. 그러나, KF법에 의한 수분량의 측정에서는 측정대상물에 따라서는 각종의 수정이 필요로 되고, 정확한 수분량을 구하는데에는 상당한 숙련을 필요로하고 있었다. 또 측정에 있어서는 특수한 시약이나 글라스용기가 필요로 된다고하는 문제도 있었다.

상기의 문제점을 해결하기 위하여, 가열 건조형의 수분계가 개발되어 왔다. 이와같은 가열 건조형의 수분계는 예를들면 일본 특개평 7-12696호 공보에 기재되어 있는 것과 같이 캐리어가스를 생성하는 기체도입부와, 이 기체 도입부로부터 캐리어가스를 도입하여 피측정물을 가열하는 가열부와, 이 가열부로부터 도출되는 캐리어가스로부터 기화수분을 포집하는 수분수집부와, 상기 수분 수집부의 증가질량을 검출하는 전자천칭유닛을 구비하여 놓고, 피측정물을 가열하여 피측정물중의 수분을 기화시켜 이 기화시킨 수분을 포집, 계량하는 것으로 피측정물의 수분량을 측정한다라는 작용을 갖는 것이다.

(제2의 발명에 관한 종래기술)

종래부터 고체 또는 액체중의 수분량을 측정하는 고정밀도의 수분정량법으로서, 카알피셔법(KF법)이 널리 알려져 있다. KF법은 요오드, 이산화유황, 피리딘, 메탄올을 성분으로하는 카알피셔 시약이 물과 정량적으로 반응하는 것을 이용하는 것이다. 그러나, KF법에 의한 수분량의 측정에서는 측정대상물에 따라서는 각종의 수정이 필요로 되고, 정확한 수분량을 구하는데에는 상당한 숙련을 필요로하고 있었다. 또 측정에 있어서는 특수한 시약이나 글라스용기가 필요로 된다고하는 문제도 있었다.

KF법의 상기의 문제점을 해결하고 조작성을 개선하기 위하여, 가열 건조형의 수분계가 개발되어 왔다. 이와같은 가열 건조형의 수분계는 예를들면 일본 특개평 7-12696호 공보에 기재되어 있는 것과 같이 캐리어가스를 생성하는 기체도입부와, 이 기체 도입부로부터 캐리어가스를 도입하여 피측정물을 가열하는 가열부와, 이 가열부로부터 도출되는 캐리어가스로부터 기화수분을 포집하는 수분수집부와, 상기 수분 수집부의 증가질량을 검출하는 전자천칭유닛을 구비하여놓고, 피측정물을 가열하여 피측정물중의 수분을 기화시켜 이 기화시킨 수분을 포집, 계량하는 것으로 피측정물의 수분량을 측정한다라는 작용을 갖는 것이다.

(제3의 발명에 관한 종래기술)

KF법의 상기의 문제점을 해결하고 조작성을 개선하기 위하여, 가열 건조형의 수분계가 개발되어 왔다. 이와같은 가열 건조형의 수분계는 예를들면 일본 특개평 7-12696호 공보에 기재되어 있는 것과 같이 캐리어가스를 생성하는 기체도입부와, 이 기체 도입부로부터 캐리어가스를 도입하여 피측정물을 가열하는 가열부와, 이 가열부로부터 도출되는 캐리어가스로부터 기화수분을 포집하는 수분수집부와, 상기 수분 수집부의 증가질량을 검출하는 전자천칭유닛을 구비하여 놓고, 피측정물을 가열하여 피측정물중의 수분을 기화시켜 이 기화시킨 수분을 포집, 계량하는 것으로 피측정물의 수분량을 측정한다라는 작용을 갖는 것이다.

(제4의 발명에 관한 종래기술)

종래부터 고체 또는 액체중의 수분량을 측정하는 고정밀도의 수분정량법으로서, 카알피셔법(KF법)이 널리 알려져 있다. KF법은 요오드, 이산화유황, 피리딘, 메탄올을 성분으로하는 카알피셔 시약이 물과 정량적으로 반응하는 것을 이용하는 것이다. 그러나, KF법에 의한 수분량의 측정에서는 측정대상물에 따라서는 각종의 수정이 필요로 되고, 또 KF시약은 H₂O 이외와도 반응하기 때문에 정확한 수분량을 구하는데에는 상당한 숙련을 필요로하고 있었다. 또 측정에 있어서는 특수한 시약이나 글라스용기가 필요로 된다고하는 문제도 있었다.

그리고 또, 피측정물중의 수분량을 보다 정확히 구하기 위하여 수분수집부의 전단에 필터가 설치된 수분계에 대하여도 일본 특개평 7-12698호 공보에 기재되어 있다.

(제5의 발명에 관한 종래기술)

더욱이, 여기서 이와같은 수분계용의 수분수집장치로서는 흡착제가 충전되어 있는 셀에 직접 캐리어가스 도입튜브가 접속되어 있는 것과 같은 것이 사용되어 왔다. 그러나 이와같이 셀 본체에 직접 캐리어가스 도입튜브를 접속한 경우에는 충전제 교환시에 튜브의 비틀림등이 생기기 때문에 전자천칭의 계량치가 변동한다라는 문제점도 있었다. 따라서 캐리어가스 도입용의 튜브에 영향을 부여하는 일없이 흡착제의 교환을 행하는 것이 가능하게 하기 위하여 근년, 일본 특개평 7-12697호 공보에 기재되어 있는것과 같이 셀베이스를 통하여 튜브와 셀본체가 연통설치되는 바와같은 수분흡착장치가 제안되어 있다. 이와같은 수분흡착장치에 의하면, 흡착제를 교환하는 경우에는 셀본체를 셀베이스로부터 분리하여서 셀본체의 흡착제를 교체하여 다시 셀베이스에 연통설치하면 되기 때문에 충전제 교환시에 생기는 튜브의 비틀림 등의 문제를 해결할 수 있어 측정효율의 개선에는 매우 유효하겠지만, 이와같은 수분흡착장치에 있어서도 이하에 설명하는 바와같은 과제가 있었다.

(제1 발명에 관한 과제)

그런데, 종래의 가열건조형 수분계의 전자천칭에서는 기화수분량의 측정은 가능하더라도 시료질량자체를 측정할 수 없었기 때문에 시료질량을 수분계의 이외의 기기로 정확히 측정하여야 하며, 결과적으로 수분계와 같은 정밀도의 전자천칭이 별개로 필요하였다.

또, 이와같은 종래의 전자천칭을 갖는 수분계에 있어서는, 측정시료의 질량을 수분계와 별도로 설치된 전자천칭으로 측정한후에 측정시료를 수분계내로 이동시키는 것이 필요하고, 그 결과 측정시료 이동등의 경우에 외기습기 등의 흡착, 그렇지않으면 측정시료중의 수분의 방출이 생겨, 측정환경에 의한 오차 및 측정에 있어서 개인차가 생기기 쉬워, 고정밀도의 측정을 행할 수 없다라는 것도 문제로 되고 있었다.

더욱이 수분량의 계산의 경우에는 수분계 이외의 기기로 계량한 측정시료의 질량을 측정자가 수분계로 입력하는 등의 조작이 필요하고, 또 수분계와 같은 정밀도의 전자천칭을 별개로 필요로 하기 때문에 조작성 및 코스트상의 문제도 있었다.

따라서, 본 발명은 측정시료의 기화수분량 뿐만아니라, 시료질량자체까지도 측정할 수 있는 수분계용의 전자천칭의 제공을 목적으로 한다.

(제2 발명에 관한 과제)

그런데 상기와 같은 종래의 가열건조형 수분계로서는 원통상의 가열관이 수평으로 놓여져 있기 때문에 측정시료삽입시에 가열관의 덮개를 열므로서, 가열관 상부로부터 캐리어가스가 유출됨과 동시에 그 하부로부터는 외기가 유입되어 오차가 생기는 원인으로 되어 있었다. 또 수평으로 긴 가열관에서는 비가열부분이 많이 존재하기 때문에 측정시료로부터의 기화수분이 액화되기 쉽고, 또 수평으로 놓인 가열관의 도중에 캐리어가스의 유출구가 있기 때문에 가열관 선단부에 괴인 캐리어가스 등이 완전히 유출되지 않는다라는 문제점도 있었다.

또, 종래의 가열 건조형 수분계의 가열부에 있어서는 시료질량을 수분계 이외의 기기에서 정확히 측정하여야 하기 때문에 수분계 이외의 기기에 수분계와 같은 정밀도의 고정밀도 천칭이 별개로 필요하고 또 시료를 수분계 이외의 기기로부터 수분계내로 이동시키는 경우에 수분의 흡착·방출등도 고려되고, 측정환경에 의하여 오차가 생기기 쉬웠다.

더욱이, 이와같은 수분계의 가열부에 있어서는 캐리어가스의 도입이 1방향이므로, 캐리어가스의 전부가 유출되지 않고 또 캐리어가스가 측정시료표면을 목적한대로 흐르지 않는 등의 문제가 있고, 결과로서 오차의 원인으로 됨과 동시에 측정시간의 연장에 연계되는 등의 문제도 생기고 있었다.

그리고 또한, 종래의 가열 건조형의 수분계에서는 필터 및 수분흡착부의 흡착제의 교환이 곤란할 뿐만아니라, 필터부 및 수분흡착부는 스테인레스제이므로 그속이 보이지 않는다라는 점에서도 문제를 갖고 있었다.

그래서, 본 발명은 특별한 숙련이 불필요로 조작이 간단할 뿐만아니라 외부환경 등의 영향에 의한 오차가 생기기 어렵고, 극히 고정밀도의 수분량의 측정이 가능하게 되는 수분계의 제공을 목적으로 한다.

또, 본 발명은 측정에 있어서 개인차가 적고 단시간에서의 측정이 가능한 수분계의 제공을 목적으로 한다.

(제3 발명에 관한 과제)

그런데 상기와 같은 종래의 가열건조형 수분계에서는 캐리어가스의 도입이 1방향이므로 캐리어가스의 전부가 유출되지 않고 또 캐리어가스가 측정시료표면을 목적한대로 흐르지 않는 등의 문제가 있고, 특히 가열관이 수평으로 놓여진 경우에는 가열관의 도중에 캐리어가스의 유출구가 있기 때문에 1방향에서의 캐리어가스의 도입으로는 가열관 선단부에 괴인 캐리어가스 등을 완전히 유출할 수 없었다.

그리고 이와같은 캐리어가스 유출의 문제는 정확한 수분량 측정의 방해로 됨과 동시에 측정시간의 연장에 연계되는 등의 문제도 생기고 있었다.

또, 종래의 가열 건조형 수분계의 가열부에 있어서는 시료질량을 수분계 이외의 기기에서 정확히 측정하여야 하기 때문에 수분계 이외의 기기에 수분계와 같은 정도의 고정밀도 천칭이 별개로 필요하고 또 시료를 수분계 이외의 기기로부터 수분계내로 이동시키는 경우에 수분의 흡착·방출등도 고려되고, 측정환경에 의하여 오차가 생기기 쉬웠다.

또한 종래의 가열 건조형의 수분계에서는 필터 및 수분흡착부의 흡착제의 교환이 곤란할 뿐만아니라, 필터부 및 수분흡착부는 스테인레스제이므로 그속이 보이지 않는다라는 점에서도 문제를 갖고 있었다.

그래서, 본 발명은 특별한 숙련이 불필요로 조작이 간단할 뿐만아니라 측정에 있어서 개인차가 적고 단시간에서의 측정이 가능한 수분계의 제공을 목적으로 한다. 또 본 발명은 외부환경 등의 영향에 의한 오차가 생기기 어렵고, 극히 고정밀도의 수분량의 측정이 가능하게 되는 수분계의 제공을 목적으로 한다.

(제4 발명에 관한 과제)

그런데, 이와같은 가열건조형 수분계용의 필터에 있어서는 외기부분이 필터내부에 침입하는 것을 방지하기 위하여 필터용기와 위덮개를 나사체결에 의하여 결합하는 수법이 채용되어 있어, 필터내부의 흡착제 교환을 위하여 필터용기로부터 위덮개를 벗기는 경우에는 위덮개를 회전시켜서 떼내어야 한다. 이와같은 위덮개의 회전은 위덮개에 접속된 튜브에 큰부하(비틀림)를 걸게하는 것으로 되기 때문에 흡착제 교환시에는 튜브의 비틀림에 의한 튜브표면의 균열, 파손등을 방지한다라는 점에서 일단 튜브를 벗기고 그후에 위덮개를 떼어낼 필요가 있었다.

그 때문에 흡착제의 교환에 대하여는 장시간의 작업이 필요로 되고, 작업성의면에서 큰 문제로 되어 있었다. 특히 수분량을 고정밀도로 측정하기 위하여는 흡착제는 일련의 측정마다 또는 1일의 측정마다 교환하는 것이 바람직하고, 단시간 에 간편하게 흡착제의 교환을 행할 수 있는 필터는 고정밀도의 수분량 측정의 관점에서도 강하게 요구되고 있었다. 더욱이, 종래의 필터는 스테인레스제이고, 또 필터도 가열상태에서 사용하는 것이 바람직하다라는 점에서 스테인레스제의 홀더에 히터를 휘감고 있었기 때문에 필터내부를 관찰할 수가 없어, 필터내부의 오염 및 흡착제의 변화등을 검사할 수 없다라는 문제도 있었다.

그래서, 본 발명은 필터내부의 흡착제 교환시에 위덮개에 접속된 튜브를 비틀림함 없이 단시간에 간편히 흡착제를 교환할 수 있는 수분계용의 필터의 제공 및 내부를 확인할 수 있고 동시에 히터로 구비하고 있는 일체형의 필터의 제공을 목적으로 한다.

(제5 발명에 관한 과제)

즉, 수분흡착장치에 있어서는 외기수분의 차단은 측정정밀도를 향상시키기위하여 필수의 요건이지만, 상기의 수분흡착장치에 있어서는 이와같은 요건을 만족시키기위하여 복수단으로 설치된 패킹(0-링)을 개재시킨 체결에 의하여 셀베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡의 장착을 행하고 있다.

그러나, 이와같은 장착수단에서는 캡이나 셀본체의 부착, 떼어낼때에 전자천칭의 계량아암에 큰 부하가 걸리고, 결과적으로 전자천칭의 계량치가 변동하고 또 전자천칭 자체가 파손하는 일도 있었다. 더욱이 종래의 셀 본체는 스테인레스제였기 때문에 흡착제의 오염 및 교환시기등이 확인할 수 없다라는 문제도 있었다.

그래서, 본 발명은 단순히 셀본체를 캐리어가스 도입튜브가 접속된 셀베이스로부터 분리할 수 있도록 구성되었을 뿐만아니라 캡이나 셀본체의 부착, 떼어낼때에 전자천칭의 계량아암에 큰 부하가 걸리지 않도록 구성된 수분계용 수분흡착제의 제공을 목적으로 한다.

(제1 발명에 관한 과제해결수단)

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 측정시료중의 수분을 가열에 의하여 기화시켜 캐리어가스와 함께 휴행(가지고 간다)하고, 이의 기화수분만을 포집하고 검지하는 것으로 측정시료중의 수분량을 측정하는 수분계용의 전자천칭으로서, 이 전자천칭에 설치된 전자천칭유닛의 계량아암에 측정시료 계량부와 포집된 기화수분질량 검지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다(청구항 1).

(제2 발명에 관한 과제해결수단)

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 캐리어가스의 유량을 조정하는 컨트롤부와, 이 컨트롤부에 의하여 조정된 캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열건조하는 가열부와, 이 가열부에 있어서 발생한 이 측정시료중의 수분이외의 가스를 제거하는 필터부와, 가열 건조에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비하는 수분계에 있어서, 상기 가열부는 일단이 개구한 원통상의 가열관을 개구단이 하부가 되도록 수직으로 놓아서 구비하는 것을 특징으로 한다(청구항 2).

또, 상기 가열부는 가열관의 상부 폐구단에 캐리어가스 도입구 및 상기 필터부와 연락하는 캐리어가스 유출구를 갖고, 이 가열관을 가열하고, 동시에 이 캐리어가스 도입구로부터 캐리어가스를 유입시켜 가열부내부를 항상 외기압으로부터 가압상태로 할 수 있도록 설정되는 것이 바람직하다(청구항 3).

더욱이 상기 가열부는 가열관의 하부 개구단 저면에 시일재가 설치되어 있고, 비측정시에 있어서는 이 시일재와 가열관의 하부에 배치되는 가열관 덮개의 원주상의 돌기부가 접합함으로서 밀폐되고, 동시에 측정시에 있어서는 시일재와 측정시료가 적재된 샘플접시의 플랜지부가 접합함으로서 밀폐될 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다(청구항 4).

또한, 상기 전자천칭부는 상기 수분흡수구의 증가질량을 검출하고 동시에 상기 측정시료질량까지도 측정하는 전자천칭유닛을 설치하는 구성을 채용할 수 있고(청구항 5), 상기 필터부는 중공 원통상의 홀더와 흡착제가 충전된 필터본체와 홀더에 부착되는 덮개로부터 이루어지고, 상기 필터 본체는 홀더내에 삽입되고 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈을 맞물림함으로서 고정되고 폐색되는 구성이 채용될 수 있다(청구항 6).

상기 수분흡착부는 상기 전자천칭와 접합하는 베이스와 흡착제가 충전된 셀본체와 셀본체를 폐색하는 캡으로 이루어지고, 베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되어, 연통설치되는 것이 바람직하고(청구항 7), 상기 가열부의 전단에는 상기 캐리어가스를 적어도 2이상의 도입구로부터 가열부에 도입하기위한 분기부를 설치하는 것이 바람직하다(청구항 8).

(제3 발명에 관한 과제해결수단)

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 캐리어가스의 유량을 조정하는 컨트롤부와, 이 컨트롤부에 의하여 조정된 캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열 건조하는 가열부와, 이 가열부에 있어서 발생한 가스로부터 이 측정시료중의 수분이외의 가스를 제거하는 필터부와, 가열건조에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비하는 수분계에 있어서, 상기 가열부의 전단에 상기 캐리어가스를 적어도 2이상의 도입구로부터 가열부로 도입하기 위한 분기부를 설치하는 것을 특징으로 한 것이다(청구항 9).

또, 상기 전자천칭부는 상기 수분흡수부의 증가질량을 검출하고 동시에 상기 측정시료의 질량까지도 측정하는 전자천칭유닛을 갖는 것이 바람직하다(청구항 10).

더욱이, 상기 필터는 중공 원통상의 홀더와 활성탄이 충전된 필터본체와 홀더에 부착되는 덮개로 이루어지고, 상기 필터본체는 홀더내에 삽입되고 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물리게 함으로서 고정되고 폐색되도록 구성할 수가 있고(청구항 11), 또 상기 수분흡착부는 상기 전자천칭부와 접합하는 베이스와 흡착제가 충전된 셀본체와 셀본체를 폐색하는 캡으로 이루어지고, 베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되고, 연통설치되는 것이 바람직하다(청구항 12).

또한, 상기 필터부 및 수분흡착부는 글라스제로 할 수가 있다(청구항 13).

(제4 발명에 관한 과제해결수단)

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열하는 가열부와, 가열에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비한 수분계용의 필터에 있어서, 상기 필터는, 상기 수분흡착부의 전단에 설치되고, 중공 원통상의 홀더와 흡착제가 충전된 필터본체와, 홀더에 부착되는 덮개를 갖고, 상기 덮개의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브가 설치되고, 상기 필터본체는 홀더내에 삽입되고, 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물리게 함으로서 고정되고, 폐색되도록 구성된 것을 특징으로 한 것이다(청구항 14).

또, 상기 필터는 상기 홀더표면에 히터를 증착시키는 것이 바람직하고(청구항 15), 상기 필터는 글라스제이고, 동시에 상기 홀더표면에 증착된 히터는 투명한 것이 바람직하다(청구항 16).

더욱이, 상기 흡착제는 활성탄인 것이 바람직하다(청구항 17).

(제5 발명에 관한 과제해결수단)

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 측정시료중의 수분을 가열에 의하여 기화시켜 캐리어가스와 함께 휴행하고, 이 기화수분만을 포집하고 검지하는 것으로 측정시료중의 수분량을 측정하는 수분계용의 수분흡착장치로서, 상기 측정시료중의 수분량을 측정하는 전자천칭의 계량아암에 접합되고, 상기 캐리어가스를 도입하는 튜브가 접속되는 베이스와, 상기 기화수분만을 포집하는 흡착제가 충전된 셀본체와, 이 셀본체를 폐색하는 캡을 갖고, 베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되고, 연통설치되어 이루는 것을 특징으로 한다(청구항 18).

또 상기 셀본체는 상기 캡의 회전만에 의하여 외기를 차단할 수 있도록 설정되는 것이 바람직하다(청구항 19).

더욱이, 상기 셀 본체에는 수분 포집량에 따라 색이 변화하는 흡착제를 충전하는 것이 바람직하고(청구항 20), 이 경우에 있어서는 상기 셀본체는 투명한 글라스로 만들어지는 것이 바람직하다(청구항 21).

도 1은 본 발명이 적용되는 수분계의 유체계의 경로 및 블록도,

도 2는 전자천칭의 실시예를 도시하는 단면도,

도 3은 전자천칭의 실시예를 도시하는 개략 평면도,

도 4는 가열부의 실시예(비측정시)를 도시하는 단면도,

도 5는 가열부의 실시예를 도시하는 단면 설명도,

도 6은 가열부의 실시예(측정시)를 도시하는 단면도,

도 7은 측정시에 있어서 샘플접시 밀어올림기구의 설명도,

도 8은 필터부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 9는 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 10은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 11은 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 12는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 사시도,

도 13은 측정시 및 비측정시의 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 14는 수분계의 유체계의 경로 및 블록도,

도 15는 가열부의 실시예(비측정시)를 도시하는 단면도,

도 16은 가열부의 실시예를 도시하는 단면설명도,

도 17은 가열부의 실시예(측정시)를 도시하는 단면도,

도 18은 측정시에 있어서 샘플접시 밀어올림기구의 설명도,

도 19는 필터부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 20은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 21은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 22는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 23는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 사시도,

도 24는 측정시 및 비측정시의 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 25는 수분계의 유체계의 경로 및 블록도,

도 26은 가열부의 실시예(비측정시)를 도시하는 단면도,

도 27은 가열부의 실시예를 도시하는 단면설명도,

도 28은 가열부의 실시예(측정시)를 도시하는 단면도,

도 29는 측정시에 있어서 샘플접시 밀어올림기구의 설명도,

도 30은 필터부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 31은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 32는 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 33은 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 34는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 사시도,

도 35는 측정시 및 비측정시의 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 36은 수분계의 유체계의 경로 및 블록도,

도 37은 필터부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 38은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 39는 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 40은 가열부의 실시예(비측정시)를 도시하는 단면도,

도 41은 가열부의 실시예를 도시하는 단면 설명도,

도 42는 가열부의 실시예(측정시)를 도시하는 단면도,

도 43은 측정시에 있어서 샘플접시 밀어올림기구의 설명도,

도 44는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 45는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 사시도,

도 46은 측정시 및 비측정시의 수분흡착부의 일실시예를 도시하는 단면도,

도 47은 수분계의 유체계의 경로 및 블록도,

도 48은 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 49는 수분흡착부의 실시예를 도시하는 사시도,

도 50은 측정시 및 비측정시의 수분흡착부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 51은 가열부의 실시예(비측정시)를 도시하는 단면도,

도 52는 가열부의 실시예를 도시하는 단면 설명도,

도 53은 가열부의 실시예(측정시)를 도시하는 단면도,

도 54는 측정시에 있어서 샘플접시 밀어올림기구의 설명도,

도 55는 필터부의 실시예를 도시하는 단면도,

도 56은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도,

도 57은 본 발명의 필터본체의 교환방법의 설명도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 컨트롤부 2:분기부 3: 가열부

3a:가열관 3d: 시일재 3f: 가열관덮개

3h:샘플접시 4: 필터 4a:홀더

4c:필터본체 4d:흡착제 4g:덮개

4h:돌기 4i:리드홈 4g:히터

5: 수분흡착부 5b:베이스 5c:흡착제

5d:셀본체 5j:캡 5k:배출구

6:전자천칭부 6a:계량아암 6b:측정시료계량부

6c:기화수분질량검지부 6d:전자천칭유닛 6e:천칭샤프트

(제1 발명)

본 발명은 상기 수단에 의하여 측정시료에 포함되는 수분량 뿐만아니라 그 시료 자체의 질량도 측정할 수 있게 되므로, 수분계 이외의 기기에 고정밀도 천칭을 별개로 구비할 필요가 없고, 또 수분량 측정의 경우에 측정시료를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 일도 없으므로 외기습기등의 측정 환경에 의한 오차가 방지되는 것으로 된다.

(제2 발명)

본 발명에 있어서는 수분계의 가열부는 수직으로 놓여진 원통상의 가열관을 구비하고 있으므로, 측정시료 삽입시에 외기의 진입을 방지할 수가 있고, 외기습기의 영향을 받기 어려운 상태에서 수분량을 측정하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 있어서는 또 이 가열관을 항상 가열하고 동시에 상기 캐리어가스 도입구로부터 상시 캐리어가스를 흐르게함으로서, 이 가열관 내부가 항상 외기압에 의하여 가압상태로 되도록 설정되어 있고, 또 가열관은 가열관 덮개 및 샘플접시에 의하여 상시 밀폐되어 있으므로 가열관으로의 외기의 진입을 완전히 차단할 수 있어, 수분량 측정을 보다 고정밀도로 행할 수가 있다.

또한 본 발명의 상기 수단에 의하면, 수분계에 설치된 전자천칭부에 의하여 측정시료에 포함되는 수분량 뿐만아니라, 그의 시료자체의 질량도 측정할 수 있으므로, 고정밀도 천칭을 별개로 구비할 필요는 없고, 또 측정시료를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 것도 없기 때문에 외기습기등의 측정환경에 의한 오차가 방지된다.

또한, 본 발명에 의하면, 캐리어가스를 적어도 2방향으로 나누는 분기부가 설치되어 있고, 동시에 가열관의 상부에는 이 분기된 캐리어가스를 도입하는 적어도 2이상의 도입구가 설치되어 있으므로 가열관으로의 캐리어가스의 도입을 복수 방향으로부터 할 수가 있어, 그 결과 가열된 측정시료로부터 발생하는 수분 및 가스는 캐리어가스에 의하여 효율좋게 운반되는 것으로 되고, 단시간에 고정밀도로한 기화수분량 측정이 가능하게 된다.

(제3의 발명)

본 발명에 의하면 캐리어가스를 적어도 2방향으로 나누는 분기부가 설치되어 있으므로 가열관으로의 캐리어가스의 도입을 복수방향으로부터 할 수가 있고, 그 결과 가열된 측정시료로부터 발생하는 수분 및 가스는 캐리어가스에 의하여 효율좋게 운반되는 것으로되고, 단시간에 고정밀도로한 기화수분량측정이 가능하게 된다.

또, 본 발명의 상기 수단에 의하면 수분계에 설치된 전자천칭부에 의하여 측정시료에 포함된 수분량 뿐만아니라, 그의 시료자체의 질량도 측정할 수 있으므로 고정밀도 천칭을 별개로 구비할 필요는 없고, 또 측정시료를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 것도 없기 때문에 외기습기등의 측정환경에 의한 오차가 방지된다.

(제4의 발명)

본 발명에 의하면, 필터의 홀더 상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물리게 함으로서 흡착제가 충전되어 있는 필터 본체가 고정되고, 폐색되도록 구성되어 있기 때문에 필터내부의 흡착제 교환시에 위덮개에 접속된 튜브를 비틀어 대는 일없고 덮개를 용이하게 떼어내고, 또 부착시킬 수가 있어 단시간에 간편히 흡착제를 교환하는 것도 가능하게 된다.

또, 본 발명에 있어서는 필터를 글라스제로하고, 동시에 상기 홀더표면에 증착된 히터를 투명하게 할 수 있으므로 필터내부의 오염 및 흡착제의 변화등을 외부로부터 검사하는 것도 가능하게 된다.

(제5의 발명)

본 발명의 수분흡착장치에 의하면 캐리어가스 도입튜브가 접속된 베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡이 원뿔상의 요철의 끼워맞춤만에 의하여 결합되고, 연통 설치되어 있으므로, 셀본체 및 갭의 부착, 떼어낼시에는 거의 계량아암에 부하가 걸리는 것은 없다. 또, 본 발명의 셀본체에 있어서는 상기 캡을 단순히 회전함으로서 외기를 차단할 수 있도록 설정되어 있으므로, 이와같은 회전시에 있어서도 계량아암에 부하가 걸리는 것은 없다.

또한 본 발명에 있어서는 셀본체 내부에 충전되는 흡착제는 수분포집량에 따라 색이 변화하는 것이므로 이 색의 변화에 의하여 흡착제의 교환시기를 판단할 수 있고, 또 셀본체가 글라스제이기 때문에 그와같은 색의 변화를 셀외부로부터 확인할 수 있다.

(제1의 발명의 실시예)

이하, 도면에 도시한 실시예에 의거하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 관한 수분계용 전자천칭의 1실시예로서, 본 발명의 전자천칭이 적용되는 수분계에 있어서 유체계의 경로 및 기능블록도이다. 이 도면에 있어서, 1은 캐리어가스를 컨트롤하는 컨트롤부, 2는 컨트롤된 캐리어가스를 2방향으로 나누는 분기부, 3은 분기부(2) 로부터의 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열건조하는 가열부, 4는 가열부(3)로부터 유출하는 가열에 의하여 발생하는 기화수분 및 가스를 휴행하는 캐리어가스 가스중 기화수분이외의 가스를 제거하는 필터부, 5는 필터부(4)로부터 유출한 기화수분을 휴행하는 캐리어가스로부터 기화수분만을 흡착하는 수분흡착부, 6은 전자천칭부이고, 필요에따라 컨트롤부(1)의 전단에 캐리어가스중의 수분을 건조시키는 드라이유닛(1c)을 구비한다. 또, 캐리어가스 등이 흐르는 튜브는 테프론제인 것이 바람직하다.

그리고, 컨트롤부(1)는 질소 그렇지않으면 헬륨등의 불활성가스 또는 공기를 건조한 드라이에어로 이루어지는 캐리어가스의 유량을 조정하는 니들밸브(1a)와, 가열부로 이송되는 캐리어가스의 유량을 검지하는 플로센서(1b)로 구성되어 있다. 더욱이, 공기를 건조시킨 드라이에어를 캐리어가스로서 사용하는 경우에는 드라이유닛(1c)이 니들밸브(1a)의 전단에 설치된다.

더구나 분기부(2)는 본 발명의 전자천칭이 적용되는 수분계에 있어서 반드시 필요한 것은 아니지만, 측정시료표면에 정확히 캐리어가스를 보내주고, 기화수분등을 완전히 수분흡착부(5)로 휴행하기 위해서는 캐리어가스를 적어도 2방향, 바람직하게는 2방향 또는 3방향으로 분기하여 가열부(3)로 도입하는 것이 바람직하다.

도 2는 전자천칭(6)의 단면도이고, 도 3은 그의 개략 평면도이다. 이들의 도면에 있어서 상기 전자천칭부(6)는 전자천칭유닛(6d)의 계량아암(6a)에 측정시료계량부(6b)와 포집된 기화수분질량검지부(6c)를 구비하고 있다. 측정시료계량부(6b) 및 기화수분질량검지부(6c)의 위치에 대하여는 특히 제한은 없지만, 계량아암(6a)의 선단부에 측정시료계량부(6b)가 설치되어 있는 편이 구조상 바람직하다.

그리고, 측정시료의 계량은 측정시료계량부(6b)의 상부에 설치된 천칭샤프트(6e)가 샘플접시(3h)의 저면과 접하고, 측정시료계량부(6b)가 측정시료적재전후의 샘플접시(3h)의 질량을 검지하고 측정하는 것으로 행해진다.

또, 기화수분질량검지부(6c)의 상부에는 수분흡착부(5)가 설치되어 있어, 수분 흡착부중의 흡착제의 질량의 증가를 측정시료의 기화수분량으로서 검출한다.

도 4 내지 도 7은 가열부(3) 및 필터부(4)의 홀더(4a)에 대하여 도시한 도면이다. 여기서 도 2 및 도 3은 가열부(3) 및 필터(4)의 홀더(4a)의 단면도로서, 가열부(3)는 수직으로 놓여진 중공 원통상의 가열관(3a)을 구비하고, 그의 상부에는 2방향의 캐리어가스 도입구(3b) 및 상기 필터부(4)와 연락하는 캐리어가스 유출구(3c)가 설치되어 있다. 또, 가열관(3a)의 외주에는 히터가 증착되어 있고, 가열관(3a) 내부의 모양을 간단히 확인할 수 있도록 하기 위하여 가열관(3a) 및 증착되는 히터는 투명한 것이 바람직하고, 특히 가열관(3a)은 내열성등의 점에서 글라스제인 것이 바람직하다.

더욱이, 캐리어가스 도입구(3b)는 반드시 2방향으로할 필요는 없고, 1방향도 좋지만 상술한 바와같이 분기부(2)에 의하여 캐리어가스가 분기된 경우에는 분기수에 따라 도입구가 설치되게 된다. 또, 캐리어가스 도입구(3b)와 상기 테프론제 튜브와의 접속부분은 나일론제의 튜브로 하는 것이 바람직하다.

더욱이, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와같이 가열관(3a)의 하부에는 시일재(3d)가 가열관의 저단면(3e)에 따라 부착되어 있다. 여기서, 시일재(3a)의 재료로서는 내열성이고 동시에 수분을 흡수하지 않는 재료이면 특히 제한은 없지만, 우수한 내열성 및 밀착성을 갖고 동시에 수분의 흡수가 없다라는 점에서 플루오르계의 고무인 것이 바람직하다.

또한, 도 4는 비측정시에 있어서 가열부의 상태를 도시하고 있고, 가열관(3a)의 밑은 가열관 덮개(3f)로 밀폐되어 있다. 가열 관덮개(3f)에는 원주상으로 돌기(3g)가 설치되어 있고, 접합시에는 돌기(3g)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 가열관을 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 6은 측정시에 있어서, 가열부(3) 및 필터(4)의 단면도이고, 가열관(3a)의 밑에는 샘플접시(3h)가 설치되고, 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 비측정시와 꼭같이 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

더구나, 측정시료의 측정시에 있어서는 우선, 가열관 덮개(3f)가 화살표(가) 방향으로 약간 움직이고, 그후 화살표(나) 방향으로 이동한다. 이 상태에서 가열관을 가열하고 동시에 캐리어가스를 유입시켜두면 내외 압력차로 외기의 진입을 차단할 수 있으므로, 외기습기의 영향을 전혀 받는일 없이 측정시료의 삽입이 가능하게 된다. 뒤이어 샘플접시(3h)가 화살표(다) 방향에서 밀어올려져서 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 가열관(3a) 하부의 시일재(3d)에 밀착하는 것으로 된다.

도 7은 샘플접시(3h)의 밀어올림을 도시하는 도면이다. 여기서 샘플접시(3h)의 밀어올림은 밀어올림용의 샤프트(3j)에 의하여 행해진다. 밀어올림용의 샤프트(3j)는 나사(3o)에 의하여 원반(3p)에 부착되어 있고, 원반(3p)은 스크류(3q)의 회전에 의하여 상하로 이동될 수 있는 구조로 되어 있다. 샤프트(3j)는 베이스샤프트(3k)와 베이스샤프트(3k)의 내부를 슬라이드하는 샤프트 축(3m)과, 스프링(3n)으로 구성되어 있다. 이 샤프트(3j)는 스프링(3n)을 가지므로 밀어올림위치의 정지 정밀도가 가변되어 있더라도 밀폐에 필요한 하중이 샘플접시에 걸리도록 설정할 수가 있고, 또한 밀어올림 압력을 크게한 경우에는 나사(3o)의 나사길이를 변경하는 것으로 간단히 압력을 변경할 수가 있다.

도 8은 필터부(4)의 단면도이다. 이 도면에서 필터(4)는 홀더(4a)와 삽입부(4b)와 필터본체(4c)와 필터본체(4c)에 충전된 활성탄(4d)을 갖고 있다. 필터본체(4c)에는 삽입부(4b)와 연통하는 구멍(4e)이 비어있고, 필터본체(4c)의 밑에는 메시판(4f)이 설치되어 있다. 홀더(4a)의 외주에는 히터(4q)가 증착되어 있다. 홀더(4a) 및 히터(3q)의 재질은 필터의 오염등의 확인을 용이하게한다라는 점에서 글라스제인 것이 바람직하다. 더구나 고정밀도의 측정을 가능으로 하기 위해서는 활성탄을 매일 교환하는 것이 바람직하다.

홀더(4a)의 상부에는 덮개(4g)가 있고, 덮개(4g)의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브피팅(4o) 및 튜브(4p)가 설치되어 있다. 더욱이, 필터본체의 교환은 도 9에 도시하는 바와같이 행해져 홀더(4a)와 덮개(4g)와의 결합에 의한 필터본체(4c)의 고정은 도 10과 같은 홀더(4a) 상부에 있는 돌기(4h)와 덮개(4g)의 측면에 설치된 리드홈(4i)을 맞물림 함으로서 행해진다. 이와같은 고정방법을 채용하기 때문에, 필터본체(4c)의 교환을 매우 간단하게 행할 수가 있고, 또 교환시에 있어서 덮개(4g)를 떼어내는 경우 튜브(4p)가 비틀어지는 일도 없으므로 튜브(4p)표면의 비틀림에 의한 균열등에 의한 손상도 없고, 튜브(4p)를 덮개(4g)에 부착한대로 덮개(4g)를 홀더(4a)로부터 떼어내는 것이 가능하게 되어 작업성이 대폭으로 개선된다.

덮개(4g)의 이면측에는 O-링(4j)을 부착하기 위한 홈(4k)이 있다. 필터본체(4c)의 상부는 플랜지 형상으로 되어있고 이 플랜지부(4n)가 덮개(4g)의 이면의 홈(4k)에 부착되는 O-링(4j)이 밀착한다. 필터본체(4c)의 상부에는 플랜지부(4n)와 덮개(4g)의 간극에 메시판(4m)이 있고, 4a와 4c 사이에는 O-링(4r)이 있다.

도 11은, 수분흡착부(5)의 단면도이고, 도 12은 수분흡착부(5)가 계량아암(6a)에 부착된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 수분흡착부(5)는 캐리어가스 도입용 튜브(5a)가 접속되는 베이스(5b)와, 기화수분을 흡착하는 흡착제(5c)가 충전되는 셀본체(5d)를 갖고 있다. 베이스(5b)에는 튜브(5a) 장착용의 커넥터부(5e)와 구멍부(5f)와 원뿔상 돌기부(5g)가 설치되고, 원뿔상 돌기부(5g)가 셀본체(5d)에 끼워진다. 또 돌기부(5g)를 구비하는 베이스(5b)는 전자천칭부(6)에 있어서 계량아암(6a)에 부착되어 있다. 셀본체(5d)에는 원뿔상 돌기부(5g)와 끼워맞춤하기 위한 오목부(5h)가 있고 베이스(5b)에 부착된다. 더욱이 셀본체(5d)에는 테프론제의 원반(5i)이 부착되어 있고, 테프론제의 원반(5i)에는 캐리어가스가 셀본체(5d)에 유입할 수 있도록 구멍이 비여있다.

셀본체(5d)의 상부에는 캡(5j)이 장착되어 있다. 캡(5j)에는 수평방향으로 대칭으로 배치된 복수의 배출구(5k)가 설치되어 있고, 본체 상부 오목부(5m)에 설치된 배출구(5o)와 연통하도록 구성되어 있다. 더욱이 배출구(5o)는 캐리어가스 도입튜브(5a)와 수직방향이 되도록 부착되는 것이 바람직하다.

캡(5j)과 셀본체(5d)와의 부착은 본체 상부 오목부(5m)와 캡(5j)의 하부의 원뿔상의 돌기부(5n)가 끼워맞춤함으로서 행해진다. 더욱이, 도 13은 측정시 및 비측정시에 있어서 수분흡착부의 상태를 도시하는 도면이고, 캡(5j)의 배출구(5k)와 본체 상부 오목부(5m) 의 배출구(5o)와의 연통을 캡(5j)의 90도의 회전에 의하여 용이하게 전환할 수가 있고, 결과로서 용이하게 캐리어가스의 유출 및 외기의 차단을 행할 수가 있다.

이와같이 셀본체(5d)와 베이스(5b) 그렇지않으면 캡(5j)과의 부착이 원뿔상의 요철만의 끼워맞춤만으로 가능하게되고, 또 튜브(5a)는 베이스(5b)에 부착되어 있기때문에 셀본체 교환시등에 전자천칭부(6)에 큰 외력을 부여하는 일없이, 전자천칭의 파손등을 방지할 수가 있다. 또, 셀본체(5d) 및 흡착제(5c)의 재질로서는 특히 제한은 없지만, 흡착제의 교환시기의 판단을 용이하게 하기 위하여 셀본체(5d)는 글라스제인 것이 바람직하고, 또 흡착제(5c)는 수분포집량에 의하여 색이 변화하는 것과 같은 성질을 갖는 것이 바람직하다. 이와같은 흡착제(5c) 중에서도 분자체(Molecular Sieve)가 보다 바람직하고, 가장 바람직한 것으로서는 분자체(3A)가 열거된다. 또 여기서, 베이스(5b) 및 캡(5j)의 돌기부(5g) 및 (5n) 의 재질은 떼어내기의 용이성 및 밀착성의 점에서 테프론제인 것이 바람직하다.

(제2의 발명의 실시예)

도 14는 본 실예의 수분계의 유체계의 경로 및 기능블록도이다. 이 도면에 있어서, 1은 캐리어가스를 컨트롤하는 컨트롤부, 2는 컨트롤된 캐리어가스를 2방향으로 나누는 분기부, 3은 분기부(2)로부터의 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열 건조하는 가열부, 4는 가열부(3)로부터 유출하는 가열에 의하여 발생하는 기화수분 및 가스를 휴행하는 캐리어가스중 기화수분이외의 가스를 제거하는 필터부, 5는 필터부(4)로부터 유출한 기화수분을 휴행하는 캐리어가스로부터 기화수분만을 흡착하는 수분흡착부, 6은 수분흡착부(5)의 증가질량을 검출하는 전자천칭부이고, 필요에 따라 컨트롤부(1)의 전단에 캐리어가스중의 수분을 건조시키는 드라이유닛(1c)을 구비한다. 상기 전자천칭부(6)의 계량아암(6a)에는 수분질량검지부(6c)와 측정시료계량부(6b)가 설치되고, 기화수분의 질량 뿐만아니라 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있게되어 있다. 또 캐리어가스 등이 흐르는 튜브는 테프론제 인 것이 바람직하다.

더구나 분기부(2)는 본 발명의 수분계에 있어서 반드시 필요한 것은 아니지만, 측정시료표면에 정확히 캐리어가스를 보내주고, 기화수분등을 완전히 수분흡착부(5)로 휴행하기 위해서는 캐리어가스를 적어도 2방향, 바람직하게는 2방향 또는 3방향으로 분기하여 가열부(3)로 도입하는 것이 바람직하다.

도 15 내지 도 18은 가열부(3) 및 필터부(4)의 홀더(4a)에 대하여 도시한 도면이다. 여기서, 도 15 및 도 16은 가열부(3) 및 필터(4)의 홀더(4a)의 단면도로서, 가열부(3)는 수직으로 놓여진 중공 원통상의 가열관(3a)을 구비하고, 그 상부에는 2방향의 캐리어가스 도입구(3b) 및 상기 필터부(4)와 연락하는 캐리어가스 유출구(3c)가 설치되어 있다. 또, 가열관(3a)의 외주에는 히터가 증착되어 있고, 가열관(3a) 내부의 모양을 간단히 확인할 수 있도록하기 위하여 가열관(3a) 및 증착되는 히터는 투명인 것이 바람직하고, 특히 가열관(3a)은 내열성 등의 점에서 글라스제인 것이 바람직하다.

또한, 도 15 및 도 16에 도시하는 바와같이 가열관(3a)의 하부에는 시일재(3d)가 가열관의 저단면(3e)에 따라 부착되어 있다. 여기서, 시일재(3a)의 재료로서는 내열성이고 동시에 수분을 흡수하지 않는 재료이면 특히 제한은 없지만, 우수한 내열성 및 밀착성을 갖고 동시에 수분의 흡수가 없다라는 점에서 플루오르계의 고무인 것이 바람직하다.

또한, 도 15는 비측정시에 있어서 가열부의 상태를 도시하고 있고, 가열관(3a)의 밑은 가열관 덮개(3f)로 밀폐되어 있다. 가열 관덮개(3f)에는 원주상으로 돌기(3g)가 설치되어 있고, 접합시에는 돌기(3g)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 가열관을 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 17은 측정시에 있어서, 가열부(3) 및 필터(4)의 단면도이고, 가열관(3a)의 밑에는 샘플접시(3h)가 설치되고, 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 비측정시와 꼭같이 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

도 18은 샘플접시(3h)의 밀어올림을 도시하는 도면이다. 여기서 샘플접시(3h)의 밀어올림은 밀어올림용의 샤프트(3j)에 의하여 행해진다. 밀어올림용의 샤프트(3j)는 나사(3o)에 의하여 원반(3p)에 부착되어 있고, 원반(3p)은 스크류(3q)의 회전에 의하여 상하 이동할 수 있는 구조로 되어 있다. 샤프트(3j)는 베이스샤프트(3k)와 베이스샤프트(3k)의 내부를 슬라이드하는 샤프트 축(3m)과, 스프링(3n)으로 구성되어 있다. 이 샤프트(3j)는 스프링(3n)을 가지므로 밀어올림위치의 정지 정밀도가 가변되어 있더라도 밀폐에 필요한 하중이 샘플접시에 걸리도록 설정할 수가 있고, 또한 밀어올림 압력을 크게한 경우에는 나사(3o)의 나사길이를 변경하는 것으로 간단히 압력을 변경할 수가 있다.

도 19는 필터부(4)의 단면도이다. 이 도면에서 필터(4)는 홀더(4a)와 삽입부(4b)와 필터본체(4c)와 필터본체(4c)에 충전된 활성탄(4d)을 갖고 있다. 필터본체(4c)에는 삽입부(4b)와 연통하는 구멍(4e)이 비어있고, 필터본체(4c)의 밑에는 메시판(4f)이 설치되어 있다. 홀더(4a)의 외주에는 히터(4q)가 증착되어 있다. 홀더(4a) 및 히터(3q)의 재질은 필터의 오염등의 확인을 용이하게한다라는 점에서 글라스제인 것이 바람직하다. 더구나 고정밀도의 측정을 가능으로 하기 위해서는 활성탄을 매일 교환하는 것이 바람직하다.

홀더(4a)의 상부에는 덮개(4g)가 있고, 덮개(4g)의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브피팅(4o) 및 튜브(4p)가 설치되어 있다. 더욱이, 필터본체의 교환은 도 20에 도시하는 바와같이 행해져 홀더(4a)와 덮개(4g)와의 결합에 의한 필터본체(4c)의 고정은 도 21과 같은 홀더(4a) 상부에 있는 돌기(4h)와 덮개(4g)의 측면에 설치된 리드홈(4i)을 맞물림함으로서 행해진다. 이와같은 고정방법을 채용하기 때문에, 필터본체(4c)의 교환을 매우 간단하게 행할 수가 있고, 또 교환시에 있어서 덮개(4g)를 떼어내는 경우 튜브(4p)가 비틀어지는 일도 없으므로 튜브(4p)표면의 비틀림에 의한 균열등에 의한 손상도 없고, 튜브(4p)를 덮개(4g)에 부착한대로, 덮개(4g)를 홀더(4a)로부터 떼어내는 것이 가능하게 되어 작업성이 대폭으로 개선된다.

도 22는, 수분흡착부(5)의 단면도이고, 도 23은 수분흡착부(5)가 계량아암(6a)에 부착된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 수분흡착부(5)는 캐리어가스 도입용 튜브(5a)가 접속되는 베이스(5b)와, 기화수분을 흡착하는 흡착제(5c)가 충전되는 셀본체(5d)를 갖고 있다. 베이스(5b)에는 튜브(5a) 장착용의 커넥터부(5e)와 구멍부(5f)와 원뿔상 돌기부(5g)가 설치되고, 원뿔상 돌기부(5g)가 셀본체(5d)에 끼워진다. 또 돌기부(5g)를 구비하는 베이스(5b)는 전자천칭부(6)에 있어서 계량아암(6a)에 부착되어 있다. 셀본체(5d)에는 원뿔상 돌기부(5g)와 끼워맞춤하기 위한 오목부(5h)가 있고 베이스(5b)에 부착된다. 더욱이 셀본체(5d)에는 테프론제의 원반(5i)이 부착되어 있고, 테프론제의 원반(5i)에는, 캐리어가스가 셀본체(5d)에 유입할 수 있도록 구멍이 비여있다.

캡(5j)과 셀본체(5d)와의 부착은 본체 상부 오목부(5m)와 캡(5j)의 하부의 원뿔상의 돌기부(5n)가 끼워맞춤함으로서 행해진다. 더욱이, 도 24는 측정시 및 비측정시에 있어서 수분흡착부의 상태를 도시하는 도면이고, 캡(5j)의 배출구(5k)와 본체 상부 오목부(5m) 의 배출구(5o)와의 연통을 캡(5j)의 90도의 회전에 의하여 용이하게 전환할 수가 있고, 결과로서 용이하게 캐리어가스의 유출 및 외기의 차단을 행할 수가 있다.

이와같이 셀본체(5d)와 베이스(5b) 그렇지않으면 캡(5j)과의 부착이 원뿔상의 요철만의 끼워맞춤만으로 가능하게되고, 또 튜브(5a)는 베이스(5b)에 부착되어 있기때문에 셀본체 교환시등에 전자천칭부(6)에 큰 외력을 부여하는 일없이, 전자천칭의 파손등을 방지할 수가 있다. 또, 셀본체(5d) 및 흡착제(5c)의 재질로서는 특히 제한은 없지만, 흡착제의 교환시기의 판단을 용이하게 하기 위하여 셀본체(5d)는 글라스제인 것이 바람직하고, 또 흡착제(5c)는 수분포집량에 의하여 색이 변화하는 것과 같은 성질을 갖는 것이 바람직하다. 이와같은 흡착제(5c) 중에서도 분자체가 보다 바람직하고, 가장 바람직한 것으로서는 분자체(3A)가 열거된다. 또 여기서, 베이스(5b) 및 캡(5j)의 돌기부(5g) 및 (5n) 의 재질은 떼어내기의 용이성 및 밀착성의 점에서 테프론제인 것이 바람직하다.

(제3의 발명의 실시예)

도 25는 본 실예의 수분계의 유체계의 경로 및 기능블록도이다. 이 도면에 있어서, 1은 캐리어가스를 컨트롤하는 컨트롤부, 2는 컨트롤된 캐리어가스를 2방향으로 나누는 분기부, 3은 분기부(2)로부터의 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열 건조하는 가열부, 4는 가열부(3)로부터 유출하는 가열에 의하여 발생하는 기화수분 및 가스를 휴행하는 캐리어가스중 기화수분이외의 가스를 제거하는 필터부, 5는 필터부(4)로부터 유출한 기화수분을 휴행하는 캐리어가스로부터 기화수분만을 흡착하는 수분흡착부, 6은 수분흡착부(5)의 증가질량을 검출하는 전자천칭부이고, 필요에 따라 컨트롤부(1)의 전단에 캐리어가스중의 수분을 건조시키는 드라이유닛(1c)을 구비한다. 상기 전자천칭부(6)의 계량아암(6a)에는 수분질량검지부(6c)와 측정시료계량부(6b)가 설치되고, 기화수분의 질량 뿐만아니라 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있게되어 있다.

여기서 분기부(2)는 측정시료표면에 정확히 캐리어가스를 보내주고, 기화수분등을 완전히 수분흡착부(5)로 휴행하기 위해서는 캐리어가스를 적어도 2방향, 바람직하게는 2방향 또는 3방향으로 분기하여 가열부(3)로 도입하는 것이 바람직하다.

그리고, 컨트롤부(1)는 질소 그렇지않으면 헬륨 등의 불활성가스 또는 공기를 건조한 드라이에어로 이루어지는 캐리어가스의 유량을 조정하는 니들밸브(1a)와, 가열부로 이송되는 캐리어가스의 유량을 검지하는 플로센서(1b)로 구성되어 있고, 공기를 건조시킨 드라이에어를 캐리어가스로서 사용하는 경우에는 드라이유닛(1c)이 니들밸브(1a)의 전단에 설치된다.

더욱이, 본 발명에 있어서 가열부에 대하여 하등제한은 없고, 수직으로 놓은 가열관을 구비한 것이나 수평으로 놓아진 가열관을 구비한 것이거나 특히 문제는 없지만 측정시료 삽입시에 외기의 진입을 방지하고, 동시에 외기습기의 영향을 받기 어려운 상태에서 수분량을 측정하기 위해서는 수직으로 놓아진 가열관을 구비한 것이 바람직하다.

도 26 내지 도 29는 가열부(3) 및 필터부(4)의 홀더(4a)에 대하여 도시한 도면이다. 여기서 도 26 및 도 27은 가열부(3) 및 필터(4)의 홀더(4a)의 단면도로서, 가열부(3)는 수직으로 놓여진 중공 원통상의 가열관(3a)을 구비하고, 그의 상부에는 캐리어가스 도입구(3b) 및 상기 필터부(4)와 연락하는 캐리어가스 유출구(3c)가 설치되어 있다. 또, 가열관(3a)의 외주에는 히터가 증착되어 있고, 가열관(3a) 내부의 모양을 간단히 확인할 수 있도록 하기 위하여 가열관(3a) 및 증착되는 히터는 투명한 것이 바람직하고, 특히 가열관(3a)은 내열성등의 점에서 글라스제인 것이 바람직하다.

더욱이, 캐리어가스 도입구(3b)는 반드시 2방향으로할 필요는 없고, 분기부(2)의 분기수에 따라 도입구가 설치되게 된다. 또, 캐리어가스 도입구(3b)와 상기 테프론제 튜브와의 접속부분은 나일론제의 튜브로 하는 것이 바람직하다.

더욱이, 도 26 및 도 27에 도시하는 바와같이 가열관(3a)의 하부에는 시일재(3d)가 가열관의 저단면(3e)에 따라 부착되어 있다. 여기서, 시일재(3a)의 재료로서는 내열성이고 동시에 수분을 흡수하지 않는 재료이면 특히 제한은 없지만, 우수한 내열성 및 밀착성을 갖고 동시에 수분의 흡수가 없다라는 점에서 플루오르계의 고무인 것이 바람직하다.

더욱이, 도 26은 비측정시에 있어서 가열부의 상태를 도시하여 있고, 가열관(3a)의 밑은 가열관 덮개(3f)로 밀폐되어 있다. 가열 관덮개(3f)에는 원주상으로 돌기(3g)가 설치되어 있고, 접합시에는 돌기(3g)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 가열관을 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 28은 측정시에 있어서, 가열부(3) 및 필터(4)의 단면도이고, 가열관(3a)의 밑에는 샘플접시(3h)가 설치되고, 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 비측정시와 꼭같이 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

도 29는 샘플접시(3h)의 밀어올림을 도시하는 도면이다. 여기서 샘플접시(3h)의 밀어올림은 밀어올림용의 샤프트(3j)에 의하여 행해진다. 밀어올림용의 샤프트(3j)는 나사(3o)에 의하여 원반(3p)에 부착되어 있고, 원반(3p)은 스크류(3q)의 회전에 의하여 상하 이동할 수 있는 구조로 되어 있다. 샤프트(3j)는 베이스샤프트(3k)와 베이스샤프트(3k)의 내부를 슬라이드하는 샤프트 축(3m)과, 스프링(3n)으로 구성되어 있다. 이 샤프트(3j)는 스프링(3n)을 가지므로 밀어올림위치의 정지 정밀도가 가변되어 있더라도 밀폐에 필요한 하중이 샘플접시에 걸리도록 설정할 수가 있고, 또한 밀어올림 압력을 크게한 경우에는 나사(3o)의 나사길이를 변경하는 것으로 간단히 압력을 변경할 수가 있다.

도 30은 필터부(4)의 단면도이다. 이 도면에서 필터(4)는 홀더(4a)와 삽입부(4b)와 필터본체(4c)와 필터본체(4c)에 충전된 활성탄(4d)을 갖고 있다. 필터본체(4c)에는 삽입부(4b)와 연통하는 구멍(4e)이 비어있고, 필터본체(4c)의 밑에는 메시판(4f)이 설치되어 있다. 홀더(4a)의 외주에는 히터(4q)가 증착되어 있다. 홀더(4a) 및 히터(3q)의 재질은 필터의 오염등의 확인을 용이하게한다라는 점에서 글라스제인 것이 바람직하다. 더구나 고정밀도의 측정을 가능으로 하기 위해서는 활성탄을 매일 교환하는 것이 바람직하다.

홀더(4a)의 상부에는 덮개(4g)가 있고, 덮개(4g)의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브피팅(4o) 및 튜브(4p)가 설치되어 있다. 더욱이, 필터본체의 교환은 도 31에 도시하는 바와같이 행해져 홀더(4a)와 덮개(4g)와의 결합에 의한 필터본체(4c)의 고정은 도 32와 같은 홀더(4a) 상부에 있는 돌기(4h)와 덮개(4g)의 측면에 설치된 리드홈(4i)을 맞물림 함으로서 행해진다. 이와같은 고정방법을 채용하기 때문에, 필터본체(4c)의 교환을 매우 간단하게 행할 수가 있고, 또 교환시에 있어서 덮개(4g)를 떼어내는 경우 튜브(4p)가 비틀어지는 일도 없으므로 튜브(4p)표면의 비틀림에 의한 균열등에 의한 손상도 없고, 튜브(4p)를 덮개(4g)에 부착한대로 덮개(4g)를 홀더(4a)로부터 떼어내는 것이 가능하게 되어 작업성이 대폭으로 개선된다.

도 33은, 수분흡착부(5)의 단면도이고, 도 34는 수분흡착부(5)가 계량아암(6a)에 부착된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 수분흡착부(5)는 캐리어가스 도입용 튜브(5a)가 접속되는 베이스(5b)와, 기화수분을 흡착하는 흡착제(5c)가 충전되는 셀본체(5d)를 갖고 있다. 베이스(5b)에는 튜브(5a) 장착용의 커넥터부(5e)와, 구멍부(5f)와, 원뿔상 돌기부(5g)가 설치되고, 원뿔상 돌기부(5g)가 셀본체(5d)에 끼워진다. 또 돌기부(5g)를 구비하는 베이스(5b)는 전자천칭부(6)에 있어서 계량아암(6a)에 부착되어 있다. 셀본체(5d)에는 원뿔상 돌기부(5g)와 끼워맞춤하기 위한 오목부(5h)가 있고 베이스(5b)에 부착된다. 더욱이 셀본체(5d)에는 테프론제의 원반(5i)이 부착되어 있고, 테프론제의 원반(5i)에는 캐리어가스가 셀본체(5d)에 유입할 수 있도록 구멍이 비여있다.

캡(5j)과 셀본체(5d)와의 부착은 본체 상부 오목부(5m)와 캡(5j)의 하부의 원뿔상의 돌기부(5n)가 끼워맞춤함으로서 행해진다. 더욱이, 도 35는 측정시 및 비측정시에 있어서 수분흡착부의 상태를 도시하는 도면이고, 캡(5j)의 배출구(5k)와 본체 상부 오목부(5m) 의 배출구(5o)와의 연통을 캡(5j)의 90도의 회전에 의하여 용이하게 전환할 수가 있고, 결과로서 용이하게 캐리어가스의 유출 및 외기의 차단을 행할 수가 있다.

이와같이 셀본체(5d)와 베이스(5b) 그렇지않으면 캡(5j)과의 부착이 원뿔상의 요철만의 끼워맞춤만으로 가능하게되고, 또 튜브(5a)는 베이스(5b)에 부착되어 있기 때문에 셀본체 교환시등에 전자천칭부(6)에 큰 외력을 부여하는 일없이, 전자천칭의 파손등을 방지할 수가 있다. 또, 셀본체(5d) 및 흡착제(5c)의 재질로서는 특히 제한은 없지만, 흡착제의 교환시기의 판단을 용이하게 하기 위하여 셀본체(5d)는 글라스제인 것이 바람직하고, 또 흡착제(5c)는 수분포집량에 의하여 색이 변화하는 것과 같은 성질을 갖는 것이 바람직하다. 이와같은 흡착제(5c) 중에서도 분자체가 보다 바람직하고, 가장 바람직한 것으로서는 분자체(3A)가 열거된다. 또 여기서, 베이스(5b) 및 캡(5j)의 돌기부(5g) 및 (5n) 의 재질은 떼어내기의 용이성 및 밀착성의 점에서 테프론제인 것이 바람직하다.

(제4의 발명의 실시예)

도 36은 본 발명에 관한 수분계용 필터를 사용한 일실시예로서, 본 발명의 필터가 적용되는 수분계에 있어서, 유체계의 경로 및 기능블록도이다. 이 도면에 있어서, 1은 캐리어가스를 컨트롤하는 컨트롤부, 2는 컨트롤된 캐리어가스를 2방향으로 나누는 분기부, 3은 분기부(2)로부터의 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열 건조하는 가열부, 4는 가열부(3)로부터 유출하는 가열에 의하여 발생하는 기화수분 및 가스를 휴행하는 캐리어가스중 기화수분이외의 가스를 제거하는 필터부(수분계용 필터), 5는 필터부(4)로부터 유출한 기화수분을 휴행하는 캐리어가스로부터 기화수분만을 흡착하는 수분흡착부, 6은 전자천칭부이고, 필요에 따라 컨트롤부(1)의 전단에 캐리어가스중의 수분을 건조시키는 드라이유닛(1c)을 구비한다. 상기 전자천칭부(6)는 전자천칭유닛의 계량아암(6a)에 측정시료계량부와 기화수분질량 검지부를 구비하는 전자천칭유닛을 갖고 있다.

도 37은 필터부(4)의 단면도이다. 이 도면에서 필터(4)는 홀더(4a)와 삽입부(4b)와 필터본체(4c)와 필터본체(4c)에 충전된 흡착제(4d)를 갖고 있다. 필터본체(4c)에는 삽입부(4b)와 연통하는 구멍(4e)이 비어있고, 필터본체(4c)의 밑에는 메시판(4f)이 설치되어 있다. 홀더(4a)의 외주에는 히터(4q)가 증착되어 있다. 홀더(4a) 및 히터(3q)의 재질은 필터의 오염등의 확인을 용이하게한다라는 점에서 글라스제인 것이 바람직하다. 더구나 고정밀도의 측정을 가능으로 하기 위해서는 흡착제를 매일 교환하는 것이 바람직하고, 또 흡착제로서 특히 제한은 없지만 활성탄인 것이 바람직하다.

홀더(4a)의 상부에는 덮개(4g)가 있고, 덮개(4g)의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브피팅(4o) 및 튜브(4p)가 설치되어 있다. 더욱이, 필터본체의 교환은 도 38에 도시하는 바와같이 행해져 홀더(4a)와 덮개(4g)와의 결합에 의한 필터본체(4c)의 고정은 도 39와 같은 홀더(4a) 상부에 있는 돌기(4h)와 덮개(4g)의 측면에 설치된 리드홈(4i)을 맞물림 함으로서 행해진다. 이와같은 고정방법을 채용하기 때문에, 필터본체(4c)의 교환을 매우 간단하게 행할 수가 있고, 또 교환시에 있어서 덮개(4g)를 떼어내는 경우 튜브(4p)가 비틀어지는 일도 없으므로 튜브(4p)표면의 비틀림에 의한 균열등에 의한 손상도 없고, 튜브(4p)를 덮개(4g)에 부착한대로 덮개(4g)를 홀더(4a)로부터 떼어내는 것이 가능하게 되어 작업성이 대폭으로 개선된다.

도 40 내지 도 43은 가열부(3) 및 필터부(4)의 홀더(4a)에 대하여 도시한 도면이다. 여기서 도 40 및 도 41은 가열부(3) 및 필터(4)의 홀더(4a)의 단면도로서, 가열부(3)는 수직으로 놓여진 중공 원통상의 가열관(3a)을 구비하고, 그의 상부에는 2방향의 캐리어가스 도입구(3b) 및 상기 필터부(4)와 연락하는 캐리어가스 유출구(3c)가 설치되어 있다. 또, 가열관(3a)의 외주에는 히터가 증착되어 있고, 가열관(3a) 내부의 모양을 간단히 확인할 수 있도록 하기 위하여 가열관(3a) 및 증착되는 히터는 투명한 것이 바람직하고, 특히 가열관(3a)은 내열성등의 점에서 글라스제인 것이 바람직하다.

더욱이, 도 40 및 도 41에 도시하는 바와같이 가열관(3a)의 하부에는 시일재(3d)가 가열관의 저단면(3e)에 따라 부착되어 있다. 여기서, 시일재(3a)의 재료로서는 내열성이고 동시에 수분을 흡수하지 않는 재료이면 특히 제한은 없지만, 우수한 내열성 및 밀착성을 갖고 동시에 수분의 흡수가 없다라는 점에서 플루오르계의 고무인 것이 바람직하다.

또한, 도 40은 피측정시에 있어서 가열부의 상태를 도시하여 있고, 가열관(3a)의 밑은 가열관 덮개(3f)로 밀폐되어 있다. 가열 관덮개(3f)에는 원주상으로 돌기(3g)가 설치되어 있고, 접합시에는 돌기(3g)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 가열관을 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 42는 측정시에 있어서, 가열부(3) 및 필터(4)의 단면도이고, 가열관(3a)의 밑에는 샘플접시(3h)가 설치되고, 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 비측정시와 꼭같이 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

도 43은 샘플접시(3h)의 밀어올림을 도시하는 도면이다. 여기서 샘플접시(3h)의 밀어올림은 밀어올림용의 샤프트(3j)에 의하여 행해진다. 밀어올림용의 샤프트(3j)는 나사(3o)에 의하여 원반(3p)에 부착되어 있고, 원반(3p)은 스크류(3q)의 회전에 의하여 상하로 이동할 수 있는 구조로 되어 있다. 샤프트(3j)는 베이스샤프트(3k)와 베이스샤프트(3k)의 내부를 슬라이드하는 샤프트 축(3m)과, 스프링(3n)으로 구성되어 있다. 이 샤프트(3j)는 스프링(3n)을 가지므로 밀어올림위치의 정지 정밀도가 가변되어 있더라도 밀폐에 필요한 하중이 샘플접시에 걸리도록 설정할 수가 있고, 또한 밀어올림 압력을 크게한 경우에는 나사(3o)의 나사길이를 변경하는 것으로 간단히 압력을 변경할 수가 있다.

도 44는, 수분흡착부(5)의 단면도이고, 도 45는 수분흡착부(5)가 계량아암(6a)에 부착된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 수분흡착부(5)는 캐리어가스 도입용 튜브(5a)가 접속되는 베이스(5b)와, 기화수분을 흡착하는 흡착제(5c)가 충전되는 셀본체(5d)를 갖고 있다. 베이스(5b)에는 튜브(5a) 장착용의 커넥터부(5e)와 구멍부(5f)와 원뿔상 돌기부(5g)가 설치되고, 원뿔상 돌기부(5g)가 셀본체(5d)에 끼워진다. 또 돌기부(5g)를 구비하는 베이스(5b)는 전자천칭부(6)에 있어서 계량아암(6a)에 부착되어 있다. 셀본체(5d)에는 원뿔상 돌기부(5g)와 끼워맞춤하기 위한 오목부(5h)가 있고 베이스(5b)에 부착된다. 더욱이 셀본체(5d)에는 테프론제의 원반(5i)이 부착되어 있고, 테프론제의 원반(5i)에는 캐리어가스가 셀본체(5d)에 유입할 수 있도록 구멍이 비여있다.

캡(5j)과 셀본체(5d)와의 부착은 본체 상부 오목부(5m)와 캡(5j)의 하부의 원뿔상의 돌기부(5n)가 끼워맞춤함으로서 행해진다. 더욱이, 도 46은 측정시 및 비측정시에 있어서 수분흡착부의 상태를 도시하는 도면이고, 캡(5j)의 배출구(5k)와 본체 상부 오목부(5m) 의 배출구(5o)와의 연통을 캡(5j)의 90도의 회전에 의하여 용이하게 전환할 수가 있고, 결과로서 용이하게 캐리어가스의 유출 및 외기의 차단을 행할 수가 있다.

(제5의 발명의 실시예)

도 47은 본 발명에 관한 수분계용 수분흡착장치를 사용한 일실시예로서 본 발명의 수분흡착장치가 적용되는 수분계에 있어서, 유체계의 경로 및 기능블록도이다. 이 도면에 있어서, 1은 캐리어가스를 컨트롤하는 컨트롤부, 2는 컨트롤된 캐리어가스를 2방향으로 나누는 분기부, 3은 분기부(2)로부터의 캐리어가스를 도입하여 측정시료를 가열 건조하는 가열부, 4는 가열부(3)로부터 유출하는 가열에 의하여 발생하는 기화수분 및 가스를 휴행하는 캐리어가스중 기화수분이외의 가스를 제거하는 필터부, 5는 필터부(4)로부터 유출한 기화수분을 휴행하는 캐리어가스로부터 기화수분만을 흡착하는 수분흡착부(수분흡착장치), 6은 수분흡착부(5)의 증가질량을 검출하는 전자천칭부이고, 필요에 따라 컨트롤부(1)의 전단에 캐리어가스중의 수분을 건조시키는 드라이유닛(1c)을 구비한다.

상기 전자천칭부(6)의 계량아암(6a)에는 수분질량검지부(6c)와 측정시료계량부(6b)가 설치되어 기화수분의 질량뿐만아니라 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있게 되어있다.또 캐리어가스 등이 흐르는 튜브는 테프론제인 것이 바람직하다.

도 48은, 수분흡착부(5)의 단면도이고, 도 49는 수분흡착부(5)가 계량아암(6a)에 부착된 상태를 도시하는 사시도이다. 이 수분흡착부(5)는 캐리어가스 도입용 튜브(5a)가 접속되는 베이스(5b)와, 기화수분을 흡착하는 흡착제(5c)가 충전되는 셀본체(5d)를 갖고 있다. 베이스(5b)에는 튜브(5a) 장착용의 커넥터부(5e)와 구멍부(5f)와 원뿔상 돌기부(5g)가 설치되고, 원뿔상 돌기부(5g)가 셀본체(5d)에 끼워진다. 또 돌기부(5g)를 구비하는 베이스(5b)는 전자천칭부(6)에 있어서 계량아암(6a)에 부착되어 있다. 셀본체(5d)에는 원뿔상 돌기부(5g)와 끼워맞춤하기 위한 오목부(5h)가 있고 베이스(5b)에 부착된다. 더욱이 셀본체(5d)에는 테프론제의 원반(5i)이 부착되어 있고, 테프론제의 원반(5i)에는 캐리어가스가 셀본체(5d)에 유입할 수 있도록 구멍이 비여있다.

캡(5j)과 셀본체(5d)와의 부착은 본체 상부 오목부(5m)와 캡(5j)의 하부의 원뿔상의 돌기부(5n)가 끼워맞춤함으로서 행해진다. 더욱이, 도 50은 측정시 및 비측정시에 있어서 수분흡착부의 상태를 도시하는 도면이고, 캡(5j)의 배출구(5k)와 본체 상부 오목부(5m)의 배출구(5o)와의 연통을 캡(5j)의 회전(90도 방향)에 의하여 용이하게 전환할 수가 있고, 결과로서 용이하게 캐리어가스의 유출 및 외기의 차단을 행할 수가 있다.

도 51 내지 도 54는 가열부(3) 및 필터부(4)의 홀더(4a)에 대하여 도시한 도면이다. 여기서 도 51 및 도 52는 가열부(3) 및 필터(4)의 홀더(4a)의 단면도로서, 가열부(3)는 수직으로 놓여진 중공 원통상의 가열관(3a)을 구비하고, 그의 상부에는 2방향의 캐리어가스 도입구(3b) 및 상기 필터부(4)와 연락하는 캐리어가스 유출구(3c)가 설치되어 있다. 또, 가열관(3a)의 외주에는 히터가 증착되어 있고, 가열관(3a) 내부의 모양을 간단히 확인할 수 있도록 하기 위하여 가열관(3a) 및 증착되는 히터는 투명한 것이 바람직하고, 특히 가열관(3a)은 내열성등의 점에서 글라스제인 것이 바람직하다.

더욱이, 도 51 및 도 52에 도시하는 바와같이 가열관(3a)의 하부에는 시일재(3d)가 가열관의 저단면(3e)에 따라 부착되어 있다. 여기서, 시일재(3a)의 재료로서는 내열성이고 동시에 수분을 흡수하지 않는 재료이면 특히 제한은 없지만, 우수한 내열성 및 밀착성을 갖고 동시에 수분의 흡수가 없다라는 점에서 플루오르계의 고무인 것이 바람직하다.

또한, 도 51은 비측정시에 있어서 가열부의 상태를 도시하고 있고, 가열관(3a)의 밑은 가열관 덮개(3f)로 밀폐되어 있다. 가열 관덮개(3f)에는 원주상으로 돌기(3g)가 설치되어 있고, 접합시에는 돌기(3g)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 가열관을 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 53은 측정시에 있어서, 가열부(3) 및 필터(4)의 단면도이고, 가열관(3a)의 밑에는 샘플접시(3h)가 설치되고, 샘플접시(3h)의 플랜지부(3i)가 시일재(3d)를 밀어올리므로서, 비측정시와 꼭같이 밀폐하는 것이 가능하게 된다.

도 54는 샘플접시(3h)의 밀어올림을 도시하는 도면이다. 여기서 샘플접시(3h)의 밀어올림은 밀어올림용의 샤프트(3j)에 의하여 행해진다. 밀어올림용의 샤프트(3j)는 나사(3o)에 의하여 원반(3p)에 부착되어 있고, 원반(3p)은 스크류(3q)의 회전에 의하여 상하 이동할 수 있는 구조로 되어 있다. 샤프트(3j)는 베이스샤프트(3k)와 베이스샤프트(3k)의 내부를 슬라이드하는 샤프트 축(3m)과, 스프링(3n)으로 구성되어 있다. 이 샤프트(3j)는 스프링(3n)을 가지므로 밀어올림위치의 정지 정밀도가 가변되어 있더라도 밀폐에 필요한 하중이 샘플접시에 걸리도록 설정할 수가 있고, 또한 밀어올림 압력을 크게한 경우에는 나사(3o)의 나사길이를 변경하는 것으로 간단히 압력을 변경할 수가 있다.

도 55는 필터부(4)의 단면도이다. 이 도면에서 필터(4)는 홀더(4a)와 삽입부(4b)와 필터본체(4c)와 필터본체(4c)에 충전된 활성탄(4d)을 갖고 있다. 필터본체(4c)에는 삽입부(4b)와 연통하는 구멍(4e)이 비어있고, 필터본체(4c)의 밑에는 메시판(4f)이 설치되어 있다. 홀더(4a)의 외주에는 히터(4q)가 증착되어 있다. 홀더(4a) 및 히터(3q)의 재질은 필터의 오염등의 확인을 용이하게한다라는 점에서 글라스제인 것이 바람직하다. 더구나 고정밀도의 측정을 가능으로 하기 위해서는 활성탄을 매일 교환하는 것이 바람직하다.

홀더(4a)의 상부에는 덮개(4g)가 있고, 덮개(4g)의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브피팅(4o) 및 튜브(4p)가 설치되어 있다. 더욱이, 필터본체의 교환은 도 56에 도시하는 바와같이 행해져 홀더(4a)와 덮개(4g)와의 결합에 의한 필터본체(4c)의 고정은 도 57과 같은 홀더(4a) 상부에 있는 돌기(4h)와 덮개(4g)의 측면에 설치된 리드홈(4i)을 맞물림 함으로서 행해진다. 이와같은 고정방법을 채용하기 때문에, 필터본체(4c)의 교환을 매우 간단하게 행할 수가 있고, 또 교환시에 있어서 덮개(4g)를 떼어내는 경우 튜브(4p)가 비틀어지는 일도 없으므로 튜브(4p)표면의 비틀림에 의한 균열등에 의한 손상도 없고, 튜브(4p)를 덮개(4g)에 부착한대로 덮개(4g)를 홀더(4a)로부터 떼어내는 것이 가능하게 되어 작업성이 대폭으로 개선된다.

(제1의 발명의 효과)

이상 설명한 바와같이 본 발명은 수분계용 전자천칭을 기화수분량 뿐만아니라 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있도록 구성하였기 때문에 고정밀도 천칭을 별개 수분계외에 설치할 필요가 없고, 또 측정의 경우 측정시료자체를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 것도 불필요되므로, 설비적인 면에서의 간략화가 가능하게되고, 동시에 측정환경에 의한 오차를 방지할 수 있는 효과가 있다. 특히, 외기습기의 영향을 받지않는 상태에서 수분량 측정을 할 수있는 점에서 측정 정밀도의 대폭적인 개선의 달성이 가능하게되고, 미량의 수분량에 있어서도 높은 정밀도로 측정시료중의 수분량의 측정이 가능하게 된다.

(제2의 발명의 효과)

이상 설명한 바와같이 본 발명은 가열건조형 수분계의 가열부를 통상의 가열관을 수직으로 놓도록 구성한 때문에 측정시료를 가열관에 삽입할 경우에 외기의 진입을 방지할 수가 있다. 그리고 가열관 내부를 상기 가압하고 밀폐하는 것으로 더욱이 외기의 진입을 완전히 차단할 수가 있고, 외기습기의 영향을 받지않는 상태에서 수분량 측정을 할 수있는 점에서 측정정밀도의 대폭적인 개선의 달성이 가능하게 되고, 구체적으로 10ppm 이라는 극히 미량의 수분량에 있어서도 높은 정밀도로 측정시료중의 수분량의 측정이 가능하게 된다.

또, 수분계로서 기화수분과 함께 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있는 계량아암을 갖는 전자천칭부를 사용한 것은 고정밀도 천칭을 별개로 구비할 필요가없고, 또 측정시료를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 것도 불필요로 되므로 설비적인 면에서의 간략화가 가능하게 되고 동시에 측정환경에 의한 오차를 방지할 수 있는 효과가 있다.

더욱이, 가열부의 전단에 캐리어가스를 복수방향으로 분리하여 가열부에 도입하는 분기부를 설치한 경우에는 복수의 방향에서 유입하는 캐리어가스에 의하여 가열부내에서 발생한 기화수분등을 효율좋게 운반할 수 있고, 고체 및 액체를 불문하고 넓은 범위에서의 수분량의 측정이 가능함과 동시에 단시간에 고정밀도의 기화수분량 측정이 가능하게 된다.

더욱이, 본 발명은 그의 알맞는 실시예로서 필터부의 필터본체의 부착시에 튜브를 덮개로부터 떼어내는 일없이 용이하게 행할 수 있도록 하였으므로 작업성의 개선을 도모할 수가 있다. 특히 고정밀도의 측정에 있어서는 필터 본체는 매일 교환하는 것이 바람직하다라는 점에 비추어볼 때 본 발명에 있어서 작업성의 개선은 수분량 측정의 효율화라는 점에서 극히 유효한 것이다.

또, 수분흡착부의 셀 본체의 부착을 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 행하고 있기 때문에 전자천칭의 아암부등에 큰 외력이 걸리지 않고 셀본체 교환시에 있어서 전자천칭의 파손등을 방지할 수 있는 효과도 얻어진다.

(제3의 발명의 효과)

이상 설명한 바와같이 본 발명은 가열부의 전단에 캐리어가스를 복수방향으로 분기하여 가열부에 도입하는 분기부를 설치하여 있기 때문에 복수의 방향에서 유입하는 캐리어가스에 의하여 가열부내에서 발생한 기화수분등을 효율좋게 운반할 수가 있고, 고체 및 액체를 불문하고, 넓은 범위에서의 수분량의 측정이 가능함과 동시에 단시간에 고정밀도의 기화수분량 측정이 가능하게 된다.

또, 수분계로서, 기화수분과 함께 측정시료자체의 질량까지도 측정할 수 있는 천칭유닛을 갖는 전자천칭부를 사용한 것은 고정밀도 천칭을 별개로 구비할 필요가 없고, 또 측정시료를 수분계 이외의 기기쪽으로 이동시키는 일도 없으므로 설비적인 면에서의 간략화가 가능하게 되고, 동시에 측정환경에 의한 오차를 방지할 수 있는 효과가 있다.

더욱이, 본 발명은 그의 알맞는 실시예로서, 필터본체의 부착을, 튜브를 덮개로부터 떼어내는 일없이 용이하게 행할 수 있게 하였으므로,작업성의 개선을 도모할 수가 있다. 특히, 고정밀도의 측정에 있어서는 필터본체는 매일 교환하는 것이 바람직하다라는 점에 비추어볼 때, 본 발명에 있어서 작업성의 개선은 수분량 측정의 효율화라는 점에서 극히 유효한 것이다.

더욱 또, 본 발명에 있어서는 수분흡착부의 셀본체의 부착을 원뿔상의 요철의 끼워 맞춤만에 의하여 행하고 있기 때문에 전자천칭의 아암부등에 큰 외력이 걸리지 않고, 셀본체 교환시에 있어서, 전자천칭의 파손등을 방지할 수있는 효과도 얻어진다.

(제4의 발명의 효과)

이상 설명한 바와같이 본 발명은 필터의 홀더 상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물림 함으로서 흡착제가 충전되어 있는 필터 본체를 고정하고, 폐색하도록 구성되어 있기 때문에 필터내부의 흡착제 교환시에 위덮개에 접속된 튜브를 비틀림하는 일없이 덮개의 떼어내기 및 부착을 용이하게 행할 수가 있어, 단시간에 간편하게 흡착제를 교환할 수 있는 효과가 있다. 특히 수분량의 측정을 고정밀도로 행할 필요가 있는 경우에는 흡착제는 일련의 측정마다 또는 1일의 측정마다 교환하는 것이 바람직하고, 이와같은 관점에 비추어볼 때 본 발명에 있어서 필터를 사용함으로 인한 흡착제 교환시의 작업성의 개선은 수분량 측정의 효율화라는 점에서 극히 유효한 것이다.

또, 본 발명에 있어서는, 필터를 글라스제로하고, 동시에 상기 홀더 표면에 증착된 히터를 투명으로하는 구성을 채용할 수 있으므로 이와같은 경우에는 필터내부의 오염 및 흡착제의 변화등을 외부로부터 검사하는 것이 가능하게되고, 보다 고정밀도인 수분량의 측정을 할 수 있게 된다.

(제5의 발명의 효과)

이상 설명한 바와같이 본 발명은 수분흡착장치의 베이스와 셀본체 및 셀본체와 캡이 원뿔상의 요철의 끼워맞춤만에 의하여 결합되고, 연통설치되어 있으므로 계량아암에 부하를 거는 일없이 셀본체 및 캡의 결합, 떼어내기를 행할 수가 있다. 또, 이와같은 간단한 결합방법임에도 불구하고, 본 발명의 수분흡착장치는 우수한 외기차단효과를 갖고 있고, 이와같은 끼워맞춤부에 있어서는 기화수분을 휴행하는 캐리어가스의 누수등도 생기지 않기 때문에 극히 고정밀도의 수분량의 측정이 가능하게 된다.

또, 본 발명의 셀본체에 있어서는 캐리어가스의 배출 및 외기차단의 전환을 셀본체 상부에 장착된 캡의 회전에 의해서만 행하기 때문에 계량아암에 부하를 거는 일없이 용이하게 전환할 수가 있다.

더욱이, 본 발명에 있어서는 셀본체 내부에 충전되는 흡착제는 수분포집량에 의하여 색이 변화하는 것이고, 또 셀본체가 글라스제이고, 흡착제의 색의 변화를 셀의 외부로부터 확인할 수 있으므로, 흡착제의 교환시기를 용이하게 판단할 수 있게되어 수분계의 측정정밀도가 향상한다.

Claims

측정시료중의 수분을 가열에 의하여 기화시켜, 캐리어가스와 함께 휴행하고, 이의 기화수분만을 포집하고 검지하는 것으로 측정시료중의 수분량을 측정하는 수분계용의 전자천칭으로서, 이 전자천칭에 설치된 전자천칭유닛의 계량아암에 측정시료 계량부와 포집된 기화수분질량 검지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수분계용 전자천칭.
캐리어가스의 유량을 조정하는 컨트롤부와, 이 컨트롤부에 의하여 조정된 캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열건조하는 가열부와, 이 가열부에 있어서 발생한 가스로부터 이 측정시료중의 수분이외의 가스를 제거하는 필터부와, 가열 건조에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비하는 수분계에 있어서, 상기 가열부는 일단이 개구한 원통상의 가열관을 개구단이 하부가 되도록 수직으로 놓아서 구비하는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2 항에 있어서, 상기 가열부는 가열관의 상부 폐구단에 캐리어가스 도입구 및 상기 필터부와 연락하는 캐리어가스 유출구를 갖고, 이 가열관을 가열하고, 동시에 이 캐리어가스 도입구로부터 캐리어가스를 유입시켜 가열부내부를 항상 외기압으로부터 가압상태로 할 수 있도록 설정하여 이루는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 가열부는 가열관의 하부 개구단 저단면에 시일재가 설치되어 있고, 비측정시에 있어서는 이 시일재와 가열관의 하부에 배치되는 가열관 덮개의 원주상의 돌기부가 접합함으로서 밀폐되고, 동시에 측정시에 있어서는 시일재와 측정시료가 적재된 샘플접시의 플랜지부가 접합함으로서 밀폐될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2항에 있어서, 상기 전자천칭부는 상기 수분흡수구의 증가질량을 검출하고 동시에 상기 측정시료질량까지도 측정하는 전자천칭유닛을 갖는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2 항에 있어서, 상기 필터부는 중공 원통상의 홀더와 활성탄이 충전된 필터본체와 홀더에 부착되는 덮개로부터 이루어지고, 상기 필터 본체는 홀더내에 삽입되고 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈을 맞물림함으로서 고정되고 폐색되도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2 항에 있어서, 상기 수분흡착부는 상기 전자천칭와 접합하는 베이스와, 흡착제가 충전된 셀본체와, 셀본체를 폐색하는 캡으로 이루어지고, 베이스와, 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되어, 연통설치된 것을 특징으로 하는 수분계.
제 2 항에 있어서, 상기 가열부의 전단에 상기 캐리어가스를 적어도 2이상 방향에서 가열부에 도입하기 위한 분기부를 설치하는 것을 특징으로 하는 수분계.
캐리어가스의 유량을 조정하는 컨트롤부와, 이 컨트롤부에 의하여 조정된 캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열 건조하는 가열부와, 이 가열부에 있어서 발생한 가스로부터 이 측정시료중의 수분이외의 가스를 제거하는 필터부와, 가열건조에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비하는 수분계에 있어서, 상기 가열부의 전단에 상기 캐리어가스를 적어도 2이상의 도입구로부터 가열부로 도입하기 위한 분기부를 설치하는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 9 항에 있어서, 상기 전자천칭부는 상기 수분흡수부의 증가질량을 검출하고 동시에 상기 측정시료의 질량까지도 측정하는 전자천칭유닛을 갖는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 9 항에 있어서, 상기 필터는 중공 원통상의 홀더와 활성탄이 충전된 필터본체와 홀더에 부착되는 덮개로 이루어지고, 상기 필터본체는 홀더내에 삽입되고 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물리게 함으로서 고정되고 폐색되도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분계.
제 9 항에 있어서, 또 상기 수분흡착부는 상기 전자천칭부와 접합하는 베이스와, 흡착제가 충전된 셀본체와 셀본체를 폐색하는 캡으로 이루어지고, 베이스와, 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되고, 연통설치되는 것을 특징으로 하는 수분계.
제 9 항에 있어서, 상기 필터부 및 수분흡착부는 글라스제인 것을 특징으로 하는 수분계.
캐리어가스를 도입하고 측정시료를 가열하는 가열부와, 가열에 의하여 기화한 이 측정시료중의 수분만을 흡착하는 수분흡착부와, 이 수분흡착부의 증가질량을 검출하는 전자천칭부를 구비한 수분계용의 필터로서,

상기 필터는, 상기 수분흡착부의 전단에 설치되고, 중공 원통상의 홀더와 흡착제가 충전된 필터본체와, 홀더에 부착되는 덮개를 갖고, 상기 덮개의 상부에는 캐리어가스를 통하기 위한 튜브가 설치되고, 상기 필터본체는 홀더내에 삽입되고, 홀더상부의 돌기와 덮개에 설치된 리드홈과 맞물리게 함으로서 고정되고, 폐색되도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분계용 필터.
제 14 항에 있어서, 상기 홀더표면에 히터를 증착한 것을 특징으로 하는 수분계용 필터.
제 15 항에 있어서, 상기 필터는 글라스제이고, 동시에 상기 홀더표면에 증착된 히터는 투명한 것을 특징으로 하는 수분계용 필터.
제 14항 내지 제 16항중 어느 한 항에 있어서, 상기 흡착제는 활성탄인 것을 특징으로 하는 수분계용 필터.
측정시료중의 수분을 가열에 의하여 기화시켜 캐리어가스와 함께 휴행하고, 이 기화수분만을 포집하고 검지하는 것으로 측정시료중의 수분량을 측정하는 수분계용의 수분흡착장치로서, 상기 측정시료중의 수분량을 측정하는 전자천칭의 계량아암에 접합되고, 상기 캐리어가스를 도입하는 튜브가 접속되는 베이스와, 상기 기화수분만을 포집하는 흡착제가 충전된 셀본체와, 이 셀본체를 폐색하는 캡을 갖고, 베이스와, 셀본체 및 셀본체와 캡과는 원뿔상의 요철의 끼워맞춤에 의하여 결합되고, 연통설치되어 이루는 것을 특징으로 하는 수분계용 수분흡착장치.
제 18 항에 있어서, 상기 셀본체는 상기 캡의 회전만에 의하여 외기를 차단할 수 있도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 수분계용 수분흡착장치.
제 18 항에 있어서, 상기 셀본체에 충전되는 흡착제는 수분포집량에 따라 색이 변화하도록 구성된 것을 특징으로 하는 수분계용 수분흡착장치.
제 20 항에 있어서, 상기 셀본체는 투명한 글라스로 만들어지는 것을 특징으로 하는 수분계용 수분흡착장치.