KR19980080708A - 브라운관의 노광 방법 및 노광 장치 - Google Patents

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Abstract

브라운관의 노광 방법에서는, 판넬의 내면 상에 도포되는 포토레지스트들을 쉐도우 마스크를 통해 노출하여 판넬의 내면 상에 그 포토레지스트를 고착시킨다. 노광 광원으로부터 방출되어 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯을 관통하는 광이 직접적으로 입사되는 판넬의 내면 위치와, 노광 광원과 동일한 위치 또는 노광 광원과는 다른 위치에서의 노광 광원으로부터 방출되어, 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯을 관통하고, 판넬의 외면에서 반사되어 귀환되는 광이 입사되는 판넬의 내면 위치가 서로 일치되도록 설정한다. 또한, 이 방법을 구현하기 위한 노광 장치도 개시된다.

Description

브라운관의 노광 방법 및 노광 장치
본 발명은 브라운관(picture tube)의 노광 방법 및 노광 장치에 관한 것으로, 특히, 브라운관의 글래스 판넬(이하, 간단하게 판넬로서 칭함)에 대한 최외측 포토레지스트 스트라이프의 접착력을 향상시킬 수 있는 브라운관의 노광 방법 및 노광 장치에 관한 것이다.
도 1은 브라운관의 종래의 노광 방법을 설명하기 위한 장치의 개략도이다. 도 2는 포토레지스트 매트릭스가 형성된 브라운관의 스크린을 나타낸다. 브라운관의 내면에 포토레지스트 스트라이프(11)를 형성하기 위해서는, 판넬(14)의 내면(14a)에 도포된 감광제를 포함하는 포토레지스트(15)의 슬러리(slurry)층에 광원(16)으로부터의 자외광(13)을 조사하여 이 슬러리층을 고착시킨다. 이 슬러리층의 비고착 부분을 "현상(development)"이라고 불리우는 세척 공정으로 세척함에 따라 고착 부분(15a)이 포토레지스트 스트라이프(11)를 형성하게 된다.
따라서, 도 2에 나타난 바와 같이, 쉐도우 마스크(12)의 슬롯(12a)들에 대응되는 포토레지스트 스트라이프(11)들이 판넬(14)의 내면(14a)에 형성된다. 포토레지스트(15)들의 접착력과 포토레지스트 스트라이프(11)들의 크기는 입사광의 강도에 따라 좌우되기 때문에, 판넬(14)의 전면에 걸친 광 강도 분포에 대한 고려를 해야한다. 종래 기술에 따르면, 예를 들면 쉐도우 마스크(12)와 노광 광원(16) 간에 배치된 필터(17)에 의하여 입사광의 분포를 고려하였다.
종래의 칼라 브라운관에서는, 형성될 포토레지스트 스트라이프(11)의 크기와 피치가 크다. 예를 들면, 텔레비젼 브라운관은 0.4mm와 동일하거나 그 이상인 피치를 사용하고 있다. 그러나, 종래 기술이 고선명도 브라운관, 예를 들면 최근의 모니터관에 적용된다면, 다음과 같은 부적합이 발생한다. 스크린의 좌우 최외측 포토레지스트 스트라이프(11a)들은 바람직하지 않게 분리되기 쉬워서, 전체적으로 균일한 포토레지스트 스크린을 형성할 수 없게 된다. 이것은 고선명화에 대응하여 형성된 포토레지스트 매트릭스가 작기 때문에, 판넬(14)의 내면(14a) 상의 포토레지스트(15)의 접착력이 전체적으로 저하되고, 최외측 스트라이프 부근에만 어떤 특수한 상태가 발생된다는 것을 암시한다. 이 특수한 상태는 종래의 브라운관에서도 발생하였을 것이라고 추정되지만, 저선명도 브라운관에서는 문제가 되지 않았다.
도 3은 본 발명의 목적을 설명하기 위하여 노광 동안의 광 경로를 상세히 나타낸 도면이다. 노광으로 인한 감광성 포토레지스트 슬러리의 경화와, 판넬의 내면상의 감광성 포토레지스트 슬러리의 접착은 종래 기술에서 설명된 바와 같이, 기본적으로 입사 자외광(13)의 광량에 따라 좌우된다. 포토레지스트(15)와 판넬(14)의 슬러리층을 관통한 광은 판넬(14)의 외면(14b)에 의해 내부로 반사되고 판넬(14)의 내면(14a), 즉 판넬(14)와 포토레지스트(15)들 간의 접착면에 조사되어 이 부분에서의 접착 효과를 촉진시킴으로써 접착 효과를 향상시킬 수 있게 된다.
포토레지스트(15)들의 내부로의 입사후, 광은 입사 방향으로 향하는 확산광이 된다. 단순화를 위하여, 통과하는 광은 2개의 광 성분들, 즉 포토레지스트(5)들의 슬러리층 상에 입사되어 확산되는 광(13b)과, 확산되지 않고 직진하는 광(13a)으로서 분리하여 논의될 수 있다. 확산광(13b)을 고려하면, 스크린의 주변 보다 내측에서는, 이 내측부의 주변부로부터 확산되는 광이 직진광(13a)과 중첩되고, 선정된 반사광이 확보된다. 스크린의 최외측 부근에서는, 외측으로부터 확산되는 광이 없기 때문에, 반사광의 광량이 급격하게 감소된다.
직진하는 광(13a)은 포토레지스트(15)의 슬러리층을 통과하면서 감쇠되기는 하지만, 판넬(4)의 내면(14a)에 의해 굴절되어 판넬(14) 상에 입사되고, 판넬(14)의 외면(14b)에 의해 반사되어 귀환된다. 이 귀환된 광의 경로는 광원(16)의 위치, 쉐도우 마스크(12) 및 판넬(14)의 형상, 및 광원(16), 쉐도우 마스크(12), 및 판넬(14) 간의 위치 관계로 인해 입사광의 경로와 반드시 일치하지는 않지만, 귀환된 광은 최초 입사점(15a)보다는 외측에 있는 점(15b)에 도달된다. 특히, 평평한 내면을 가지는 최근의 판넬에서는, 최외측의 슬롯을 관통한 광이 동일한 경로를 따라 귀환되지 않는다.
쉐도우 마스크(12)의 최외측의 슬롯(12a1)에 대응되는 판넬의 최외측 포토레지스트 스트라이프(11a)로 귀환하는 광은 적으며, 최외측 부분에서는 반사광량의 급격한 감소가 발생한다. 이것은 최외측 부분 근처의 포토레지스트의 접착력을 저하시켜서, 포토레지스트가 분리되게 한다.
본 발명은 입사광만을 고려한 종래의 노광 방법의 문제점의 관점에서 이루어졌으며, 그 목적은 반사광의 경로를 최적화하고 최외측 부근의 포토레지스트 스트라이프의 광량을 증가시켜서 포토레지스트 스트라이프들의 부착 강도를 향상시킴으로써 포토레지스트의 분리를 방지시키는 노광 방법 및 노광 장치를 제공함에 있다.
전술된 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 특징에 따르면, 판넬의 내면에 도포된 포토레지스트를 쉐도우 마스크를 통하여 노광하여, 판넬의 내면 상에 고착하는 브라운관의 노광 방법에 있어서, 노광 광원으로부터 방출되어 쉐도우 마스크의 최외측의 슬롯을 관통하는 광이 직접적으로 입사되는 판넬의 내면 위치와, 상기 노광 광원과 동일한 위치 또는 상기 노광 광원과는 다른 위치에서의 노광 광원으로부터 방출되고, 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯을 관통하여, 판넬의 외면에서 반사되는 광이 입사되는 판넬의 내면 위치가 일치되도록 설정되는 단계를 포함한다.
본 발명의 제2 특징에 따르면, 제1 특징에 따른 브라운관의 노광 방법을 제공되는데, 여기서는 직접광(direct light)과 반사광(reflected light)이 입사되는 판넬의 내면 위치가 최외측 포토레지스트 스트라이프 상에 존재하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 특징에 따르면, 포토레지스트가 내면에 도포된 판넬과 노광 광원 간에 쉐도우 마스크를 배치한 브라운관의 노광 장치에 있어서, 노광 광원과 판넬의 내면 간의 거리, 쉐도우 마스크와 판넬의 내면 간의 간격, 판넬의 두께, 판넬의 굴절률, 쉐도우 마스크의 수평 피치, 노광 광원과 판넬의 중심을 접속하는 중심축에 대한 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯의 오프닝 각도(opening angle), 및 최외측 슬롯들로부터 카운트할 때, 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯들의 수를 선정된 관계를 만족하도록 설정하여, 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯을 관통한 광과, 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯을 관통하고 판넬 외면에 의해 반사되어 귀환되는 광을 판넬 내면 위치에서 서로 일치되도록 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4 특징에 따르면, 제3 특징에 따른 브라운관의 노광 장치가 제공되는데, 여기서 노광 광원, 쉐도우 마스크, 및 판넬은 다음 식:
과
θ0= tan-1{{(L-g)tanθ-Np}/(L-g)}
을 만족하도록 배치되는데, 여기서 L은 노광 광원과 판넬의 내면 간의 거리이고, g는 쉐도우 마스크와 판넬의 내면 간의 간격이고, t는 판넬의 두께이고, n은 판넬의 굴절률이고, p는 쉐도우 마스크의 슬롯들의 수평 피치이고, θ는 노광 광원과 판넬의 중심을 접속하는 중심축에 대한 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯의 오프닝 각도이며, N은 최외측 슬롯으로부터 카운트할 때, 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯들의 수이다.
전술된 각 특징들로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이, 최외측의 포토레지스트 스트라이프들에 정면 및 후면측으로부터 광이 입사되기 때문에, 광량이 증가되고, 이에 따라 스트라이프들의 접착력이 증가되어 포토레지스트의 분리를 방지하게 된다. 그 결과, 고선명, 고품질의 스트라이프형 브라운관이 제공될 수 있다.
바꾸어 말하자면, 내측 슬롯을 관통하는 노광의 광이 최외측의 포토레지스트 스트라이프 부분에 확실히 중첩되기 때문에, 최외측의 포토레지스트 스트라이프들이 확실히 고착되고, 최외측 포토레지스트들이 분리되지 않을 것이다. 최외측 스트라이프를 고려하여 광을 중첩시키기 때문에, 광의 중첩 효과는 근방의 내측 스트라이프까지의 접착력 및 스크린의 전체 주변부의 접착력을 증가시킬 수 있어서, 전체 스크린에 균일한 포토레지스트 스트라이프들을 형성할 수 있게 된다. 그 결과, 고선명, 고품질의 스트라이프형 브라운관을 제조할 수 있다.
본 발명의 전술된 이점들과 다수의 다른 이점들, 특징 및 부가적인 목적들은 본 분야의 숙련된 자에게는 본 발명의 기술적 사상과 결부된 바람직한 실시예들이 예시적인 예로서 나타난 후속 상세 설명과 첨부된 도면들을 참조함으로써 명백하게 될 것이다.
도 1은 종래의 브라운관의 노출 방법을 설명하기 위한 개략도.
도 2은 종래의 브라운관의 노출 방법에 의해 형성된 포토레지스트 스트라이프들을 가지는 브라운관의 광 방출 표면을 나타낸 평면도.
도 3은 종래의 브라운관의 노출 방법에서 노광 광의 경로를 설명하기 위한 개략도.
도 4는 본 발명에 따른 노출 방법의 원리를 설명하기 위한 개략도.
도 5는 서로 다른 위치에 배열된 노광 광원을 사용하는 본 발명에 따른 노광 방법을 설명하기 위한 개략도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 노광 방법을 설명하기 위한 개략도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11 : 포토레지스트 스트라이프
12 : 쉐도우 마스크
13 : 자외광
14 : 판넬
15 : 포토레지스트
16 : 광원
17 : 필터
본 발명에 따르면, 최외측의 슬롯을 통해 직진하여 판넬 내면에 입사되는 광과, 최외측 보다 내측인 슬롯을 관통하고 판넬의 외면에 의해 반사되는 광을 최외측의 포토레지스트 스트라이프 상에서 서로 일치되도록 설정하여, 최외측 포토레지스트 스트라이프 상의 광량을 증가시키고 포토레지스트 스트라이프의 접착력을 증가시킴으로써, 포토레지스트의 분리를 방지시킨다. 본 발명의 원리는 도 4를 참조하여 기술될 것이다.
설명을 간략화시키기 위하여, 판넬과 쉐도우 마스크의 곡률이 무한대인 경우에 대하여 설명할 것이다. 도 4는 노광시 브라운관의 각 부분들을 해당 참조 부호로 표시한다. 도 4는 예를 들면, 녹색 포토레지스트에 대응되는 노광 광원(6), 쉐도우 마스크(2), 및 글래스 판넬(4)를 나타낸다. 이 글래스 판넬(4)는 내면(4a)와 외면(4b)를 가진다. 쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯은 참조 부호(2a)로서 지칭되고, 이 최외측 슬롯(2a)에 대응되는 최외측 포토레지스트 스트라이프는 참조 부호(1a)로서 지칭된다. 이 치수적인 관계는 다음과 같다.
쉐도우 마스크(2)의 수평 피치는 p로서 지칭되고, 노광 광원(6)과 판넬(4)의 내면(4a)의 중심부 간의 거리는 L로서 지칭되고, 쉐도우 마스크(2)와 판넬(4)의 내면(4a) 간의 갭은 g로서 정의되고, 판넬(4)의 두께는 t로서 정의되고, 판넬(4)의 굴절률은 n으로서 정의되며, 광원(6)을 관통하는 판넬(4)의 중심선에 대하여 쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯(2a)와 광원(6)을 접속하는 선에 의해 형성된 각은 θ로서 정의된다고 가정한다. 또한, 광원(6)에 의해 방출된 광이 최외측 슬롯(2a)를 관통하여, 글래스 판넬(4) 상에 입사되는 위치를 1a로서 정의한다고 가정한다. 동일 광원(6)에 의해 방출되어 최외측 슬롯(2a) 보다 내측인 N번째의 슬롯을 관통하는 광이 판넬(4)의 외면(4b)에 의해 반사되어 최외측의 포토레지스트 스트라이프(1a; 예를 들면, 초록 포토레지스트) 상에 입사될 때, 입사광과 반사광이 위치(1a)에서 서로 중첩되어, 이 위치에서의 광량은 급격하게 감소되지 않는다. 이 조건은 다음과 같다.
도 4로부터, 쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯(2a) 이심(off-center) 거리(중심선으로부터의 거리) L1은 수학식 1과 같이 표현된다.
L1 = (L - g)tanθ
최외측 슬롯(2a)를 관통하는 광이 입사되는 판넬(4)의 내면(4a) 위치의 이심 거리 L2는 수학식 2와 같이 표현된다.
L2 = Ltanθ
최외측 슬롯(2a) 보다 내측인 N번째 슬롯의 중심축으로부터의 위치 L3는 수학식 3과 같이 표현된다.
L3 = (L - g)tanθ - Np
따라서, N번째 슬롯을 관통하는 광이 입사되는 글래스 판넬(4)의 내면(4a) 위치의 이심 거리 L4는 수학식 4와 같이 표현된다.
L4 = L·L3/(L - g)
= L{(L - g)tanθ - Np}/(L - g)
N번째 슬롯을 관통하는 광이 판넬(4)의 내면(4a)에 입사되는 입사각은 θ0으로서 정의되고 굴절각은 θ1으로서 정의된다고 가정하면, 수학식 5를 만족하게 된다.
sinθ0= nsinθ1
판넬(4)의 외면(4b) 상의 반사 위치(L5)는 수학식 6과 같이 표현된다.
L5 = L4 + t·tanθ1
판넬(4)의 외면(4b)에 의해 반사되는 광이 판넬(4)의 내면(4a)에 입사되는 위치 L6은 수학식 7과 같이 표현된다.
L6 = L4 + 2t·tanθ1
최외측 슬롯(2a)를 관통하는 광이 판넬(4)의 내면(4a) 상에 직접적으로 입사되는 위치와, 판넬(4)의 외면(4b)에 의해 반사되는 광이 판넬(4)의 내면(4a) 상에 입사되는 위치가 서로 일치하도록 설정하기 위해 요구되는 조건은 수학식 8과 같다.
L2 = L6
Np에 관련된 수학식들 2, 4, 7 및 8은 수학식 9와 같이 정리될 수 있다.
Np = {2(L - g)t/L}tanθ1
tanθ1은 수학식 5를 사용함으로써 수학식 10과 같이 변형된다.
수학식 10을 수학식 9에 대입하면, 수학식 11과 같이 된다.
θ0은 수학식 12와 같이 표현됨에 유의하여야 한다.
θ0= tan-1{L3/(L - g)}
= tan-1{{(L - g)tanθ - Np} / (L - g)}
수학식들 11과 12로부터, Np는 L, θ, n, g, 및 t의 함수이다.
수학식들 11과 12를 만족하도록 각 인자들을 결정할 경우, 최외측 슬롯(2a)를 관통하는 광과 최외측 슬롯(2a) 보다 내측의 슬롯을 관통하고 판넬의 외면에 의해 반사되어 귀환되는 광이 최외측 포토레지스트 스트라이프 상에서 서로 중첩될 수 있다. 따라서, 최외측 포토레지스트 스트라이프 상의 광량을 증가시켜서 포토레지스트의 접착력을 증가시킴으로 인해, 포토레지스트의 분리는 방지될 수 있다.
수학식들 11과 12는 도 4에 나타난 바와 같이, 동일한 광원(6)에 의해 방출된 2개의 광빔을 서로 일치시키는데 필요한 조건들이다. 대안적으로, 도 5에 나타난 바와 같이, 임의의 발광색에 대응되는 광원(6)으로부터 방출되어 판넬(4)의 내면(4a) 상에 직접적으로 입사되는 광과, 다른 발광색에 대응되는 다른 위치에서 광원(6'; 또는 광원 6")에 의해 방출되고 판넬(4)의 외면(4b)에 의해 반사되어 판넬(4)의 내면(4a)로 귀환되는 광이 서로 일치되게 하는 것을 가능하게 한다.
본 명세서에서는 쉐도우 마스크(2)와 글래스 판넬(4)의 곡률이 무한대인 경우에 대해서 기술하였다. 곡률이 유한이라고 할지라도, 필요한 조건들은 동일한 방식으로 계산될 수 있다. 또한, 필요한 조건들은 계산할 필요도 없이, 전술된 관계식을 만족시킬 수 있도록 관찰함으로써 설정될 수 있다.
전술된 원리의 설명에 있어서, 예를 들면 녹색 포토레지스트(5)에 대응되는 위치에서의 노광 광원(6)에 의해 방출된 광 중에서, 최외측 슬롯(2a)를 관통하는 광과 1 피치의 정수배(N 배)만큼 최외측 슬롯 보다는 내측 슬롯을 관통하는 광은 녹색 포토레지스트 스트라이프 상에 서로 중첩된다. 그러나, 노광 광원에 의해 방출되는 광은 녹색 포토레지스트에 대응되는 위치에서 적색 또는 청색 포토레지스트 스트라이프와 중첩될 수 있거나, 노광 광원에 의해 방출되는 광은 적색 또는 청색 포토레지스트에 대응되는 위치에서 적색, 청색, 또는 녹색 포토레지스트의 위치에서 중첩될 수 있다. 즉, 본 발명은 임의의 조합을 포함할 수 있다. 서로 다른 슬롯들을 관통하는 광빔이 서로 다른 경로를 통해 동일한 위치에 입사됨으로 인해 이 입사 위치에서의 포토레지스트의 접착력이 증가되기 때문에, 이 부분에서의 접착력 저하와 분리의 원인을 발생시키지 않고도 원하는 포토레지스트 스트라이프를 접착시킬 수 있다.
본 발명의 실시예는 도 6을 참조하여 기술될 것이다. 도 6은 노광 광원(6), 광 강도 분포를 조절하기 위한 필터(7), 쉐도우 마스크(2) 및 판넬(4)를 나타낸다. 본 발명에 따르면, 쉐도우 마스크(2)와 판넬(4) 간의 갭(g), 노광 광원(6)과 판넬(4) 간의 거리(L), 판넬(4)의 두께(t), 판넬(4)의 굴절률(n), 쉐도우 마스크(2)의 모든 슬롯들의 수평 피치(p), 중심선에 대한 최외측 슬롯(2a)의 오프닝 각도(θ), 및 노광 광원(6)과 쉐도우 마스크(2) 간의 거리(L - g)가 적절하게 선택될 때, 쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯 보다 내측인 슬롯을 관통하는 광은 전술된 바와 같이, 최외측 포토레지스트 스트라이프의 위치에서 중첩될 수 있다. 이 실시예에 있어서, 녹색 포토레지스트에 대응되는 위치(중심선상)에 조사된 노광 광원에 의해 노광을 실시하는 경우에, 쉐도우 마스크(2)의 최외측 보다 1개 슬롯 만큼 내측인 슬롯(2b)를 관통하는 광과 쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯(2a)를 관통하여 판넬의 최외측 포토레지스트에 조사되는 광이 한 부분에서 일치되게 하여 이를 고착시킨다.
노광 광원(6)에 의해 방출된 광(3)은 필터(7)을 관통하여 쉐도우 마스크(2)의 방향으로 배향된다. 필터(7)의 중앙부는 저하된 투과율을 가지는데, 이는 입사광의 균일성을 확보하기 위한 것이다. 쉐도우 마스크(2)를 관통하는 광(3)은 판넬(4)의 내면(4a)까지 직진하여 판넬(4)의 내면(4a)에 도포된 감광성 물질을 포함하는 포토레지스트(5)의 슬러리층에 조사된다. 쉐도우 마스크(2)의 슬롯들은 수직적으로 연장된다. 따라서, 수직적으로 연장된 스팟(spot)을 가지는 광빔은 감광성 포토레지스트 슬러리에 조사되기 때문에, 슬러리는 쉐도우 마스크의 형태와 동일한 형태로 감광성을 가진다. 감광성 부분은 경화되고 판넬에 고착되어 쉐도우 마스크(2)의 패턴과 동일한 포토레지스트 패턴이 경화된 부분(5c)으로서 형성된다. 실제로, 광원의 수직 사이즈에 따라 서로 수직 방향으로 중첩되어 신장되는 패턴들과, 판넬의 내면 상에 감광된 패턴들은 격리된 쉐도우 마스크의 슬롯 패턴에 대하여, 연속된 수직의 스트라이프를 형성한다. 비감광된 부분이 노출후 "현상"에 의해 세척될 때, 원하는 포토레지스트 패턴이 얻어진다.
쉐도우 마스크(2)의 최외측 슬롯(2a)를 관통하는 광은 판넬(4)의 내면(4a) 상에 도포된 포토레지스트(5)의 슬러리층의 일부(1a)를 경화시킨다. 슬롯(2a) 보다 한 슬롯 내측에 있는 슬롯(2b)를 관통하는 광은 포토레지스트(5)의 슬러리층의 일부(1b)에 유사하게 조사되어 포토레지스트(5)를 경화시킨다. 이 후속 광은 2개의 광 성분들, 예를 들면 해당 포토레지스트(5) 상에 입사되고 확산되어 판넬(4)에 입사되거나 직접적으로 반사되는 광(3b)와 판넬(4) 상에 직진하여 입사되는 광(3a)로서 별도로 논의될 수 있다. 확산후 판넬(4) 상에 입사되는 광(3b)은 확산으로 인해 최외측 스트라이프(1a) 상에 미소한 영향을 준다. 직진하는 광(3a)는 판넬(4)의 내면(4a)에 의해 굴절되고, 판넬(4) 내에 직진하며, 판넬(4)의 외면(4b)에 도달되어 외면(4b)에 의해 반사된 광(3c)과 굴절되어 판넬(4)의 외측에 가이드(guided)된 광(3d)을 형성한다. 외측에 가이드된 광(3d)는 본 발명에서 논의되지 않는다. 반사된 광(3c)는 포토레지스트 도포면으로 귀환되기 때문에, 포토레지스트(5)의 경화에 기여한다. 이 반사된 광(3c)는 판넬(4)의 내면(4a)의 최외측 포토레지스트 스트라이프(1a)에 근접한 쪽으로 귀환되지만, 이 귀환 위치는 통상적으로 규정되지 않는다. 본 발명은 다양한 조건들을 규정하여 귀환된 광이 확실히 최외측 스트라이프와 일치되게 한다. 예를 들면, 최외측 슬롯 보다 한 슬롯 만큼 내측인 슬롯을 관통하는 광은 최외측 스트라이프를 불완전하게 중첩하지 않아서 광량의 부족을 유발하지 않을 것이다. 이 귀환 경로는 전술된 각 인자들에 의해 결정된다. 광원의 거리가 감소된다면, 반사된 광의 입사 위치를 훨씬 더 외측으로 이동시킬 수 있으며, 그 역도 가능하다. 이와 같이, 각 인자들을 선택하여 2개의 광 성분들의 경로들이 서로 일치시키기 때문에, 충분한 광량을 가지는 광은 최외측 부분에 도포된 감광성 포토레지스트(5)의 슬러리와 판넬(4) 간의 접착면에 직접적으로 조사되고, 이 부분에서의 포토레지스트(5)의 경화에 기여함으로써, 접착력을 향상시킨다.
이 실시예는 단지 한가지 경우만을 나타내었다. 적색, 녹색 및 청색 포토레지스트에 각기 대응되는 노광 위치들로부터 방출된 광이 한가지 발광색에 대응되는 포토레지스트 스트라이프 또는 상이한 발광색들에 대응되는 포토레지스트로 집중될 수 있다면 동일한 효과를 얻을 수 있음은 물론이다.

Claims (4)

  1. 판넬의 내면에 도포된 포토레지스트를 쉐도우 마스크를 통하여 노광하여, 판넬의 내면에 고착시키는 브라운관의 노광 방법에 있어서,
    노광 광원으로부터 방출되어 상기 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯을 관통하는 광이 직접적으로 입사되는 상기 판넬의 상기 내면 상의 위치와, 상기 노광 광원과 동일한 위치 또는 상기 노광 광원과는 다른 위치에서의 노광 광원으로부터 방출되어, 상기 쉐도우 마스크의 상기 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯을 관통하고, 상기 판넬의 외면에서 반사되어 귀환되는 광이 입사되는 상기 판넬의 상기 내면 상의 위치가 일치되도록 설정하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 브라운관의 노광 방법.
  2. 제1항에 있어서, 직접광(direct light)과 반사광(reflected light)이 입사되는 상기 판넬의 상기 내면 위치는 최외측 포토레지스트 스트라이프 상에 존재하는 것을 특징으로 하는 브라운관의 노광 방법.
  3. 포토레지스트들이 내면에 도포된 판넬과 노광 광원 간에 쉐도우 마스크를 배치한 브라운관의 노광 장치에 있어서,
    상기 노광 광원과 상기 판넬의 상기 내면 간의 거리, 상기 쉐도우 마스크와 상기 판넬의 상기 내면 간의 간격, 상기 판넬의 두께, 상기 판넬의 굴절률, 상기 쉐도우 마스크의 수평 피치, 상기 노광 광원과 판넬의 중심을 접속하는 중심축에 대한 상기 쉐도우 마스크의 최외측 슬롯의 오프닝 각도(opening angle), 및 상기 최외측 슬롯으로부터 카운트할 경우, 상기 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯들의 수를 선정된 관계를 만족하도록 설정하여, 상기 쉐도우 마스크의 상기 최외측 슬롯을 관통한 광과, 상기 최외측 슬롯의 안쪽의 상기 슬롯을 관통하고 상기 판넬의 외면에 의해 반사되어 귀환되는 광이 상기 판넬의 상기 내면 상의 위치에서 서로 일치되도록 설정하는 것을 특징으로 하는 브라운관의 노광 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 노광 광원, 상기 쉐도우 마스크, 및 상기 판넬은 수학식 :
    과
    θ0= tan-1{{(L-g)tanθ-Np}/(L-g)}
    의 관계를 만족하도록 배치되는데, 여기서 L은 상기 노광 광원과 상기 판넬의 상기 내면 간의 거리이고, g는 상기 쉐도우 마스크와 상기 판넬의 상기 내면 간의 간격이고, t는 상기 판넬의 두께이고, n은 상기 판넬의 굴절률이고, p는 상기 쉐도우 마스크의 슬롯들의 수평 피치이고, θ는 상기 노광 광원과 상기 판넬의 중심을 접속하는 상기 중심축에 대한 상기 쉐도우 마스크의 상기 최외측 슬롯의 오프닝 각이며, N은 상기 최외측 슬롯으로부터 카운할 경우, 상기 최외측 슬롯의 안쪽의 슬롯들의 수임을 특징으로 하는 브라운관의 노광 방법.
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SG98010A1 (en) * 2000-12-22 2003-08-20 Sony Electronics Singapore Pte A method of exposing photo-resist on an optical substrate
JP2006210143A (ja) * 2005-01-28 2006-08-10 Hitachi Displays Ltd カラー陰極線管の製造方法
JP2006210144A (ja) * 2005-01-28 2006-08-10 Hitachi Displays Ltd カラー陰極線管の製造方法
US7657999B2 (en) * 2007-10-08 2010-02-09 Advantech Global, Ltd Method of forming an electrical circuit with overlaying integration layer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3953621A (en) * 1974-03-21 1976-04-27 Gte Sylvania Incorporated Process of forming cathode ray tube screens
JP3158297B2 (ja) * 1991-12-06 2001-04-23 ソニー株式会社 アパーチャーグリル

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