KR19980068900A

KR19980068900A - 모듈 피커의 멀티 핑거

Info

Publication number: KR19980068900A
Application number: KR1019970005697A
Authority: KR
Inventors: 이세진; 구자대; 변성진; 김선길
Original assignee: 김광호; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-02-25
Filing date: 1997-02-25
Publication date: 1998-10-26

Abstract

본 발명은 모듈을 테스트하는 핸들러(handler)에서 여러 가지 크기의 모듈을 이송하기 위하여 각 모듈의 크기에 맞도록 모듈 피커의 핑거를 교체하던 단점을 제거하기 위한 하나의 멀티 핑거(multi finger)를 제공하는 것에 관한 것으로서, 핑거와 핑거 실린더와 고정되는 핑거의 부분에 여러 개의 핑거 홀들을 형성하고, 그 핑거 홀들의 간격을 각기 대응되는 모듈의 크기와 대응되도록 형성하여 하나의 핑거로 서로 다른 크기의 모듈을 취급할 수 있는 모듈용 피커를 제공하여 각기 다른 크기의 핑거 제작 및 핑거를 보관하는 불편함을 제거할 수 있다.

Description

모듈 피커의 멀티 핑거

본 발명은 반도체 장비중 모듈(module) 피커의 핑거에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 모듈을 테스트하는 핸들러(handler)에서 여러 가지 크기의 모듈을 이송하기 위하여 각 모듈의 크기에 맞도록 모듈 피커의 핑거를 교체하던 단점을 제거하기 위한 하나의 멀티 핑거(multi finger)를 제공하는 것에 관한 것이다.

반도체 장치가 복수개 탑재된 모듈은 그 모듈의 안정성 및 신뢰성을 보장받기 위하여 다양한 검사를 거치게 된다. 이 때, 모듈이 검사 장치로 운송되거나 다시 반송되기 위해서는 모듈 이송 장치가 요구된다.

또한, 검사가 완료된 모듈은 그 제품을 출하하기 위하여 포장라인으로 이송되고, 제품을 포장 및 보호하기 위한 트레이(tray)에 이송 및 적제하기 위한 공정에서도 모듈 이송 장치가 사용되고 있다.

이하, 도면을 참조하여 모듈 이송장치의 모듈을 집어 올리고 놓는 피커를 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 종래 기술에 의한 모듈 이송용 피커를 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도 2는 종래 기술에 의한 모듈 이송용 피커에서 각기 다른 핑거를 적용하는 모양을 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도 1과 도 2를 설명하면, 모듈을 직접 집어 올리고 놓는 피커에 관한 도면으로써, 모듈(도면에 도시안됨)을 집어 올리고 놓을 수 있도록 좌우 왕복운동 수단인 핑거 실린더(220, 240)에 기계적으로 핑거(260)가 체결되어 고정되어 있고, 그 핑거 실린더(240)는 피크 암(170)의 말단에 양 대칭으로 고정되어 있는 모양을 나타내고 있다. 즉, 핑거 실린더(240)의 왕복운동 힘으로 상기 핑거(260)들이 좌우로 작동되어 모듈을 집고 놓을수 있는 구조로 이루어져 있다.

그리고, 포지셔너(110)는 피크 암(170)의 축방향으로 연장된 부분을 지지하여 정확한 상하 운동이 이루어지도록 가이드(guide) 역할을 하며, 그 내부에 상하 왕복운동 수단을 제공하는 피크 암 실린더(130)을 내장하여 고정하고 있다.

그 피크 암 실린더(130)의 말단부는 피크 암(170)의 소정의 부분에 고정되어 있으며, 그 피크 암 실린더(130)의 왕복운동으로 피크 암(170)이 상하로 작동된다. 즉, 상기 포지셔너(110)는 피크 암 실리더(130)를 내장하고, 그 피크 암 실린더(130)로 피크 암(170)의 상하 운동을 작동하는 역할을 한다.

모듈과 직접 접촉되는 상기 핑거(130)의 말단부에는 V자 홈을 형성하고, 그 홈을 이용하여 보다 용이하게 모듈을 집어 올릴수 있으며, 그 핑거(160)들의 크기를 취급하고자 하는 모듈의 크기에 알맞는 것을 선택할 수 있도록 다양한 크기를 갖는 핑거(160)들을 만들어 핑거 실린더(150)에 장착하여 사용할 수 있는 것을 도 3에 나타내었다.

이와 같이 여러 가지 길이를 갖는 핑거들(160)을 제공하고, 핑거 실린더(150)의 일측면에 나사 또는 핀 등의 탈착 가능한 수단을 형성하여 모듈 넓이에 알맞는 핑거들(160)을 장착하여 사용 할 수 있다.

상기 실린더들(130, 140)은 공기 압력으로 작동하는 일반적인 공압 실린더 이며, 실린더가 가지고 있는 장점으로는 직접 직선운동을 한다는 것이고, 설치 및 제어와 작동이 용이한 장점들을 가지고 있다.

또한, 상기 핑거(160)의 일측면에 광학으로 작동하는 센서(150)를 부착하여 모듈의 위치 및 상태를 파악할 수 있도록 할 수 있으며, 피커(100)의 동작을 자동으로 조정할 수 있도록 할 수 있다.

그러나, 이와 같은 피커는 크기가 다른 모듈을 취급할 때 마다 각 모듈의 크기에 대응하는 피커의 핑거를 교체하여야 하는 불편함이 있다. 이는 전술한 바와 같이 모듈의 크기와 대응되는 핑커를 교체하여야 하며, 각 모듈의 크기에 알맞는 여러개의 피커들을 준비해야되는 단점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 각 모듈의 크기에 따라 여러개의 핑거를 만들어 준비해야하는 불편함을 해소하기 위하여 하나의 핑거로 여러개의 모듈크기에 대응할 수 있는 멀티 핑거를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 모듈 이송용 피커를 개략적으로 나타내는 사시도.

도 2는 종래 기술에 의한 모듈 이송용 피커에서 각기 다른 핑거를 적용하는 모양을 개략적으로 나타내는 사시도.

도 3은 본 발명에 의한 멀티 핑거가 모듈 이송용 피커에 적용되는 모양을 나타내는 분해 사시도.

도 4는 본 발명에 의한 멀티 핑거가 모듈 이송용 피커에 적용되는 사례를 나타내는 측면도.

도면의 주요 부호에 대한 설명

100, 200 : 피커(picker) 110, 210 : 포지셔너(positioner)

130 : 피커 암 실린더(picker arm cyclinder)

140, 240 : 핑거 실린더(finger cylinder)

150, 250 : 센서(sensor) 160, 260 : 핑거(finger)

170 : 피크 암(picker arm) 270 ; 핑거 홀

290 : 나사 280 : 모듈(module)

상기 목적을 달성하기 위하여 칩이 실장되어 있는 모듈의 장방향 면을 집을수 있도록 쌍으로 이루어진 핑거와, 상기 핑거를 기계적으로 체결하여 고정하고 좌우 왕복운동을 하도록 운동 수단을 제공하는 좌우 왕복운동 수단과, 상기 좌우 왕복운동 수단을 고정하는 피크 암 및 상기 상하 왕복운동 수단을 고정하고 지지하는 포지셔너로 이루어진 모듈 이송용 피커에 있어서, 상기 핑거를 기계적으로 체결하고 있는 좌우 왕복운동 수단에 체결될 수 있도록 핑거의 체결부에 복수 개의 핑거 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈 피커의 멀티 핑거를 제공한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명하고자 한다.

도 3은 본 발명에 의한 멀티 핑거가 모듈 이송용 피커에 적용되는 모양을 나타내는 분해 사시도이다.

도 4는 본 발명에 의한 멀티 핑거가 모듈 이송용 피커에 적용되는 사례를 나타내는 측면도이다.

먼저, 도 3을 설명하면, 반도체 칩이 실장되어 있는 모듈(도면에 도시안됨)의 장방향 면을 집을수 있도록 한쌍으로 이루어진 핑거(220, 260)가 있고, 핑거(220, 260)를 나사(290)등의 기계적 체결수단등으로 핑거 실린더(240)에 고정되도록 되어 있는 모양을 나타내고 있다. 그리고, 상기 핑거 실린더(240)는 공기압으로 좌우왕복 운동을 하여 고정된 핑거(220)로 모듈을 잡고 놓을수 있도록 되어 있고, 핑거 실린더(240)는 피크 암에 고정되어 있다.

그리고, 핑거(260)의 고정되는 부분에는 복수 개의 핑거 홀(270)들이 형성되어 있으며, 핑거 홀(270)들은 소정의 간격으로 이격되어 형성되어 있고, 그 간격은 모듈의 크기에 대응되는 크기를 갖도록 이격되어 있다. 핑거(260)를 핑거 실린더(240)에 고정하는 수단으로 나사(290)가 사용되고, 그 나사(290)는 핑거(260)에 형성된 핑거 홀(280)들에 모두 대응되도록 되어 있다.

도 4는 본 발명에 의한 멀티 핑거(260)가 각기 다른 크기의 모듈(280)에 적용되는 예를 나타내고 있으며, 핑거(260)의 핑거 홀(270)에 각기 번호 또는 표식을 해놓고, 그 번호에 대응되는 크기의 모듈(280)을 이용할 수 있다.

즉, 모듈의 크기에 따라 핑거에 형성된 핑거 홀을 핑거 실린더에 끼움으로서 다른 핑거로 교체하지 않고 하나의 핑거로 여러개의 모듈에 대응하여 사용할 수 있는 것이다.

따라서, 본 발명에 의한 멀티 핑거는 서로 다른 크기의 모듈을 취급하는 피커에서 하나의 멀티 핑거를 갖고 핑거 실린더에 대응되는 핑거 홀을 이용하여 고정할 수 있으므로 여러개의 핑거를 제작하지 않아도 되며, 교체 시간이 짧아져 시간적인 낭비가 발생하지 않는 이점을 갖고 있다.

Claims

칩이 실장되어 있는 모듈의 장방향 면을 집을수 있도록 쌍으로 이루어진 핑거와, 상기 핑거를 기계적으로 체결하여 고정하고 좌우 왕복운동을 하도록 운동 수단을 제공하는 좌우 왕복운동 수단과, 상기 좌우 왕복운동 수단을 고정하는 피크 암 및 상기 상하 왕복운동 수단을 고정하고 지지하는 포지셔너로 이루어진 모듈 이송용 피커에 있어서,

상기 핑거를 기계적으로 체결하고 있는 좌우 왕복운동 수단에 체결될 수 있도록 핑거의 체결부에 복수 개의 핑거 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈 피커의 멀티 핑거.
제 1항에 있어서, 상기 핑거 홀들이 각기 다른 모듈 크기에 대응되는 간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 모듈 피커의 멀티 핑거.