KR19980022947U - 3중밸브 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반응챔버에 연결되어, 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되는 각각의 제 1개폐밸브와 제 2개폐밸브가 설치된 공정가스주입관과, 상기 공정가스주입관에 연결설치되고, 퍼지가스의 흐름이 조절되는 제 3개폐밸브가 설치된 퍼지가스주입관에 형성된 3중밸브에 있어서, 공정가스주입관에 게이지를 설치하여 일정시간 경과 후, 최초의 게이지 눈금과 최후의 게이지 눈금을 비교하여 가스 누설여부를 확인할 수 있고, 또한 퍼지가스주입관에 형성된 개폐밸브 상부쪽에 체크밸브를 설치하여 공정 중 챔버 내로 보내지는 공정가스가 다시 퍼지가스주입관으로 역류됨을 방지된다.
1. 반응챔버에 연결되고, 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되는 각각의 제 1개폐밸브와 제 2개폐밸브가 설치되며, 일측에는 제 3개폐밸브가 설치된 퍼지가스주입관이 연결설치된 공정가스주입관에 형성된 3중밸브에 있어서,
1. 반응챔버에 연결된 공정가스주입관의 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되도록 설치된 각각의 제 1개폐밸브와 제 2개폐밸브와, 상기 공정가스주입관에 연결설치된 퍼지가스주입관에 설치된 제 3개폐밸브를 포함하여 이루어지는 3중밸브에 있어서,
Description
제1도는 종래의 3중밸브를 설명하기 위한 개략도이고,
제2도는 본 고안의 3중밸브를 설명하기 위한 개략도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10, 20 : 공정가스주입관11 , 21 : 퍼지가스주입관
22 : 체크밸브
10-1, 10-2, 11-1, 20-1, 20-2, 21-1 : 개폐밸브
본 고안은 3중밸브에 관한 것으로, 특히 반응챔버 내로 공정가스를 공급하는 공정가스주입관과 그 일측에 퍼지가스가 공급관이 연결설치된 공정가스주입관에 발생되는 가스누설로 인한 손상을 방지하기에 적당한 3중밸브에 관한 것이다.
제1도는 공정가스 및 퍼지가스의 흐름을 제어하는 종래의 3중밸브를 대략적으로 도시한 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참고로 하여 설명하겠다.
종래의 3중밸브(10)은 제1도와 같이, 반응챔버에 연결되어, 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되는 각각의 제 1개폐밸브(10-2)와 제 2개폐밸브(10-1)가 설치된 공정가스주입관(10)과, 공정가스주입관에 연결설치되고, 퍼지가스의 흐름이 조절되는 제 3개폐밸브(11-1)가 설치된 퍼지가스주입관에 형성되어, 퍼지가스 및 공정가스의 흐름을 제어한다.
이때, 공정가스주입관의 출구에 설치된 제 2개폐밸브(10-1) 근접된 위치에는 압력제어부가 설치되어 반응챔버 내로 공급되는 공정가스의 압력이 조절된다.
종래의 가스의 흐름을 제어하는 3중밸브를 통하여 먼저 공정주입관의 세정 및 가스 누설 체크 후, 공정가스 주입되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
우선, 챔버에 연결설치된 공정가스주입관(10) 출구와 입구에 설치된 제 1, 2개폐밸브(10-1)(10-2)를 차단하고, 공정가스주입관 일측에 연결설치된 퍼지가스주입관(11)의 제 3개폐밸브(11-1)를 열어 퍼지가스를 공정가스주입관 내로 공급하여 내부를 퍼지가스로 가압한다.
이때, 퍼지가스로는 주로 질소가스를 사용한다.
이어서 가압된 공정가스주입관 내의 퍼지가 완료되면, 퍼지가스주입관에 설치된 제 3개폐밸브(11-1)를 차단한 후, 압력제어부를 통하여 공정가스주입관 내의 가스 누설여부를 관찰한다.
이때, 가스의 누설이 없음이 확인되며, 제 1개폐밸브(10-2)와 제 1개폐밸브(10-1)를 열어 공정가스주입관을 통하여 반응챔버 내로 공정가스를 주입하여 공정이 진행되도록 한다.
그러나, 종래에는 관 내의 가스누설 여부가 확인되는 압력제어부를 통하여서는 압력제어부가 설치된 근접된 위치에서의 누설만이 체크된다.
따라서 각각의 개폐밸브와 압력제어부 사이에서 발생될 수 있는 미세한 누설은 정확하게 감지할 수 없는 문제점이 발생된다.
또한, 작업자의 오동작 등으로 인하여 공정가스주입관과 퍼지가스주입관에 설치된 제 1개폐밸브와 제 3개폐밸브가 동시에 온될 시에, 공정가스가 퍼지가스공급관으로 역류됨이 체크되는 별도의 장치가 없어 장비 및 인명피해가 발생될 우려가 있다.
본 고안의 3중밸브는 이러한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 우선 공정가스주입관의 하부의 가스 누설까지도 체크할 수 있도록 게이지를 설치하고, 또한 공정진행시 공정가스가 퍼지가스주입관 내로 역류됨이 방지되도록 퍼지가스주입관에 별도의 장치를 설치하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 문제점을 해결하고자, 본 고안의 3중밸브에서는 공정가스주입관에 게이지를 설치하여 일정시간 경과 후, 최초의 게이지 눈금과 최후의 게이지 눈금을 비교하여 가스 누설여부를 확인할 수 있고, 또한 퍼지가스주입관에 체크밸브를 설치하여 공정 중 챔버 내로 보내지는 공정가스가 다시 퍼지가스주입관으로 역류됨을 방지한다.
제2도는 본 고안의 3중밸브를 대략적으로 도시한 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참고로하여 본 고안을 설명하겠다.
본 고안의 3중밸브는 반응챔버에 연결되어, 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되는 각각의 제 1개폐밸브(20-2)와 제 2개폐밸브(20-1)가 설치된 공정가스주입관(20)과, 공정가스주입관(20)에 연결설치되고, 퍼지가스의 흐름이 조절되는 제 3개폐밸브(21-1)가 설치된 퍼지가스주입관(21)에 형성되며, 이때 공정가스주입관(20)의 출구에 설치된 제 2개폐밸브(20-1) 근접된 위치에는 압력제어부가 설치되어 반응챔버 내로 공급되는 공정가스의 압력이 조절된다.
그리고 공정가스주입관(20)에 설치된 압력제어부 하부에 게이지를 설치하고, 퍼지가스주입관(21) 입구와 제 3개폐밸브(21-1) 사이에 체크밸브(22)를 설치하여, 게이지의 눈금을 통하여 일정시간동안 공급되는 가스의 압력이 비교함으로써 공정가스주입관 내의 누설이 체크되고, 체크밸브에 의해 공정가스가 퍼지가스주입관 내로 역류되는 것이 방지된다.
여기에서 체크밸브(22)는 퍼지가스주입관(21) 입구와 제 3개폐밸브(21-1) 사이에 설치되며, 일방향의 가스흐름만 허용하여 퍼지가스 공급시에만 열리고, 가스가 역방향으로 흐를 시에는 즉, 공정가스 등이 역류하여 가스의 흐름이 역방향일 경우는 차단된다.
따라서 퍼지가스가 주입되는 일방향 즉, 퍼지가스가 주입되는 퍼지가스주입관 입구에서, 공정가스주입관과 가까운, 출구쪽으로의 방향으로의 가스흐름시에만 밸브가 열리고, 가스의 흐름이 퍼지가스주입관의 출구에서 입구쪽으로 일 경우에는 밸브가 차단된다.
따라서, 게이지의 눈금을 통하여 일정시간동안 공급되는 가스의 압력을 비교하여 공정가스주입관(20) 내의 누설이 체크되고, 또한, 체크밸브(22)를 통하여 주입되는 공정가스가 퍼지가스주입관(21) 내로 역류되는 것이 방지된다.
본 고안의 가스의 흐름을 제어하는 3중밸브를 통하여 먼저 공정주입관의 세정 및 가스 누설 체크 후, 공정가스 주입되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
우선, 해당 공정진행 전에, 공정가스주입관(20) 입구와 출구에 설치된 제 1, 2개폐밸브(20-1)(20-2)를 차단하고, 퍼지가스주입관(21)에 설치된 제 3개폐밸브(21-1)를 열어 퍼지가스를 공정가스주입관 내로 공급하여 퍼지가스로 가압시킨다.
그리고 공정가스주입관 내의 가압이 완료되면, 퍼지가스로 가압된 상태에서 퍼지가스주입관(21)애 설치된 제 3개폐밸브(21-1)를 닫는다.
이어서 일정시간 즉, 12시간 정도 경과된 후, 최초의 게이지 눈금과 최후의 게이지 눈금을 비교하여 압력변동이 없으면 압력제어부와 공정가스주입관의 출구에 설치된 제 1개폐밸브(20-2) 사이의 누설이 없는 것으로 간주된다.
그리고 공정가스주입관 내의 압력변동이 없음이 확인되면 공정가스주입관에 설치된 제 1개폐밸브(20-2)를 열어 챔버 내로 공정가스를 주입하여 해당공정을 진행시킨다.
이때, 퍼지가스주입관(21)에 설치된 체크밸브(22)는 공정가스가 퍼지가스주입관쪽으로 역류되는 것을 방지한다.
상기에서 살펴본 바와 같이, 본 고안의 3중밸브에서는 관내에 게이지를 설치하여 일정시간 경과 후, 게이지 눈금을 비교하여 누설여부를 확인할 수 있고, 또한 퍼지가스주입관에 형성된 제 3개폐밸브 상부에 체크밸브를 설치하여 공정 중 챔버 내로 보내지는 공정가스가 퍼지가스주입관으로 역류됨을 방지가능하다.
따라서 본 고안에서는 공정가스주입관의 누설에 따른 장비오염 및 공정이상에 의한 웨이퍼 손실 등을 방지가능함에 따라 생산성 향상은 물론 비용 또한 절감된다.
또한, 작업자 실수로 공정가스주입관 및 퍼지가스주입관에 설치된 개폐밸브를 모두 열 경우에도 체크밸브로 인한 가스누설 및 가스의 역류가 방지되어 그에 따른 위험부담을 덜 수 있다. 또한, 퍼지가스주입관과 제 3개폐밸브 사이에 체크밸브를 설치함으로써 공정 상 역류되는 인체에 해로운 유독가스로 인하여 인명피해를 사전에 방지하고, 제 3개폐밸브가 부식되는 것을 방지한다.
Claims (2)
- 반응챔버에 연결되어, 입구와 출구에 공정가스의 흐름이 조절되는 각각의 제 1개폐밸브와 제 2개폐밸브가 설치된 공정가스주입관과, 상기 공정가스주입관의 일측에 연결설치되어, 퍼지가스의 흐름이 조절되는 제 3개폐밸브가 설치된 퍼지가스주입관에 형성된 3중밸브에 있어서,상기 공정가스주입관의 출구에 게이지가 설치되고, 상기 퍼지가스주입관에 체크밸브가 설치되어져서, 상기 게이지의 눈금을 통하여 일정시간동안 공급되는 가스의 압력이 비교되어 상기 공정가스주입관 내의 누설이 체크되고, 상기 체크밸브에 의해 공정가스가 상기 퍼지가스주입관 내로 역류되는 것이 방지되는 3중밸브.
- 제1항에 있어서,상기 체크밸브는 상기 퍼지가스주입관 입구와 상기 제 3개폐밸브 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 3중밸브.
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|---|---|---|---|
| KR2019960036321U KR200278538Y1 (ko) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 3중밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019960036321U KR200278538Y1 (ko) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | 3중밸브 |
Publications (2)
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114184709A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-03-15 | 新疆新特晶体硅高科技有限公司 | 一种氯硅烷在线检测装置及方法 |
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1996
- 1996-10-30 KR KR2019960036321U patent/KR200278538Y1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114184709A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-03-15 | 新疆新特晶体硅高科技有限公司 | 一种氯硅烷在线检测装置及方法 |
| CN114184709B (zh) * | 2021-12-22 | 2024-01-26 | 新疆新特晶体硅高科技有限公司 | 一种氯硅烷在线检测装置及方法 |
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