KR200181368Y1 - 진공장비의 배기라인 가스 누설검사장치 - Google Patents
진공장비의 배기라인 가스 누설검사장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 화학증착(CVD)공정에 사용되는 진공장비에서 공정완료 후 잔류하는 유독성 부산물의 배출시 펌프(pump)단과 가스세정기(scrubber)사이의 배기라인에서 가스가 누설되는지를 검사하는 장치에 관한 것으로, 장비의 시공완료후 반응가스를 흘리기 전에 파이프라인의 연결부위에서 가스의 누설이 발생되는지를 검사하여 유독가스의 누설로 인한 안전사고의 발생을 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 파이프라인(5)의 접속부에 각각 설치되어 배기라인구간과 타구간을 차단하는 차폐밸브(6a)(6b)와, 배기라인과 통하여져 테스트용 가스를 주입하는 가스주입구(7)와, 상기 가스주입구상에 설치되어 가스의 공급을 제어하는 공급밸브(8)와, 상기 가스주입구의 후단에 설치되어 파이프라인상에 주입된 가스의 압력을 나타내는 압력게이지(11)와, 배기라인과 통하여져 테스트완료된 가스를 외부로 배출하는 가스배출구(9)와, 상기 가스배출구상에 설치되어 가스의 배출을 제어하는 배출밸브(10)로 구성되어 있어 장비의 설치 및 유지 보수작업후 유독성가스의 누설로 인한 안전사고의 발생을 미연에 방지하게 된다.
Description
본 고안은 화학증착(CVD)공정에 사용되는 진공장비에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 공정후 잔류하는 유독성 부산물의 배출시 펌프(pump)단과 가스세정기(scrubber)사이의 배기라인에서 가스가 누설되는지를 검사하는 장치에 관한 것이다.
화학증착공정에 사용되는 진공장비는 도 1에 나타낸 바와 같이 공정이 진행되는 반응실(chamber)(1)과, 웨이퍼상 공정에 따라 필요한 막(膜)을 형성시키는 가스 분사부와, 파이프라인상에 설치되어 반응실의 진공유지 및 잔류가스를 배출하는 펌프(pump)(2)와, 펌프의 구동에 따라 배출되는 가스를 대기중에 방출하기 전에 가스의 유독성을 중화시키는 가스세정기(scrubber)(3)로 구성되며, 상기 반응실, 펌프, 가스세정기는 파이프라인(4)에 의해 상호 연결된다.
따라서 공정이 진행되는 동안, 즉 웨이퍼상에 막을 형성할 때 펌프(2)의 구동으로 반응실(1)내에서 반응하고 난 유독성 반응가스가 파이프라인(5)을 통해 가스세정기(4)로 흘러가 중화된 다음 외부로 배출된다.
그러나 종래에는 반응실(1)내에서 반응하고 난 유독성 반응가스가 배출되는펌프(2)와 가스세정기(4)사이의 파이프라인(5)을 시공하고 난 상태에서 가스의 누설 여부를 수치적으로 검증할 수 없고, 단지 육안으로 확인하거나, 장비의 가동에 따른 연결부위의 변색 여부를 통해 가스의 누설을 확인하게 되므로 작업공간의 안전성에 상당한 문제가 있었고, 이에 따라 작업시 유독가스가 누설될 경우에는 대형인명피해가 발생될 우려가 있다.
본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 장비의 시공완료후 반응가스를 흘리기 전에 파이프라인의 연결부위에서 가스의 누설이 발생되는지를 검사하여 유독가스의 누설로 인한 안전사고의 발생을 미연에 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 반응실내의 반응가스를 배출하는 펌프 및 반응가스내에 포함된 유독가스를 세정하는 가스세정기를 파이프라인에 설치하도록 된 것에 있어서, 상기 파이프라인의 접속부에 각각 설치되어 배기라인구간과 타구간을 차단하는 차폐밸브와, 배기라인과 통하여져 테스트용 가스를 주입하는 가스주입구와, 상기 가스주입구상에 설치되어 가스의 공급을 제어하는 공급밸브와, 상기 가스주입구의 후단에 설치되어 파이프라인상에 주입된 가스의 압력을 나타내는 압력게이지와, 배기라인과 통하여져 테스트완료된 가스를 외부로 배출하는 가스배출구와, 상기 가스배출구상에 설치되어 가스의 배출을 제어하는 배출밸브로 구성된 진공장비의 배기라인 가스 누설검사장치가 제공된다.
도 1은 종래의 진공장비를 나타낸 개략도
도 2는 본 고안이 구비된 진공장비의 개략도
도 3은 본 고안의 구성을 나타낸 개략도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 반응실 2 : 펌프
4 : 가스세정실 5 : 파이프라인
6a,6b : 개폐밸브 7 : 가스주입구
8 : 공급밸브 9 : 가스배출구
10 : 배출밸브 11 : 압력게이지
이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 도 2 및 도 3을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 고안이 구비된 진공장비의 개략도이고, 도 3은 본 고안의 구성을 나타낸 개략도로써, 본 고안의 구성중 종래 진공장비의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.
본 고안은 파이프라인(5)의 접속부에 배기라인구간과 타구간을 차단하는 차폐밸브(6a)(6b)가 각각 설치되어 있고 상기 차폐밸브중 어느 하나의 차폐밸브 일측에는 파이프라인(5)과 통하여져 테스트용 가스를 주입하는 가스주입구(7)가 형성되어 있으며 상기 가스주입구상에는 가스의 공급을 제어하는 공급밸브(8)가 설치되어 있다.
그리고 파이프라인(5)에 테스트완료된 가스를 외부로 배출하는 가스배출구(9)가 통하여지게 형성되어 있고 상기 가스배출구상에는 가스의 배출을 제어하는 배출밸브(10)가 설치되어 있으며 상기 가스주입구(7)의 후단에는 파이프라인(5)상으로 주입된 가스의 압력을 나타내는 압력게이지(11)가 설치되어 있다.
테스트완료된 가스를 배출하는 가스배출구(9)가 가스주입구(7)상에서 분기되어 구성되어 있다.
이는, 일측의 개폐밸브(6a) 및 가스주입구(7), 가스배출구(9), 공급 및 배출밸브(8)(10), 압력게이지(11)를 1개의 유니트(unit)로 생산할 수 있도록 하기 위함이다.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 장비의 설치 또는 유지보수 작업후 공정에 필요한 유독성가스를 흘리기 전에 안전사고의 발생을 미연에 방지하기 위하여 배기라인인 파이프라인(5)의 가스누설 여부를 측정하게 된다.
이를 위해 펌프(2)의 후단과 가스세정기(4)으미 전단 연결부를 분해하여 각각 파이프라인(5)의 양단에 개폐밸브(6a)(6b)를 설치한다.
그후, 개폐밸브를 폐쇄한 상태에서 가스주입구(7)상에 설치된 공급밸브(8)를 개방하여 파이프라인(5)상에 가압용 가스를 적정수준인 80 ∼ 100psi까지 주입하게 되는데, 이때 가스배출구(9)상에 설치된 배출밸브(10)는 폐쇄된 상태이다.
이에 따라 일정량의 가압용 가스가 파이프라인(5)상으로 공급되고 나면 공급밸브(8)를 잠근상태에서 일정시간동안 가스주입구(7)상에 설치된 압력게이지(11)를 통한 파이프라인(5)의 압력 변화상태를 관찰하여 가스가 누설되는지를 판단하게 된다.
상기 가스주입구(7)상에 설치된 압력게이지(11)의 압력이 일정시간동안 변하지 않으면 파이프라인(5)을 통해 누설되는 가스가 없음으로 판단하고 가스배출구(9)상에 설치된 배출밸브(10)를 개방하여 파이프라인(5)상에 채워진 가스를 기존의 배기라인으로 배출시킨다.
계속되는 가압용 가스의 배출로 가스주입구(7)상에 설치된 압력게이지(11)가 "0"을 가르키면 차폐밸브(6a)(6b)를 동시에 개방한 다음 파이프라인(5)의 양단에 테스트를 실시하기 전과 동일하게 펌프(2) 및 가스세정기(4)를 연결하므로써 테스트작업이 완료되는 것이다.
이상에서와 같이 본 고안은 장비의 설치 및 유지 보수작업후 배기라인상에서 유독성가스가 외부로 누설되는지를 확인한 다음 장지를 가동하게 되므로 유독성가스의 누설로 인한 안전사고의 발생을 미연에 방지하게 되는 효과를 얻게 된다.
Claims (2)
- 반응실내의 반응가스를 배출하는 펌프 및 반응가스내에 포함된 유독가스를 세정하는 가스세정기를 파이프라인에 설치하도록 된 것에 있어서, 상기 파이프라인의 접속부에 각각 연결되어 배기라인구간과 타구간을 차단하는 차폐밸브와, 배기라인과 통하여져 테스트용 가스를 주입하는 가스주입구와, 상기 가스주입구상에 설치되어 가스의 공급을 제어하는 공급밸브와, 상기 가스주입구의 후단에 설치되어 파이프라인상에 주입된 가스의 압력을 나타내는 압력게이지와, 배기라인과 통하여져 테스트완료된 가스를 외부로 배출하는 가스배출구와, 상기 가스배출구상에 설치되어 가스의 배출을 제어하는 배출밸브로 구성된 진공장비의 배기라인 가스 누설검사장치.
- 제 1 항에 있어서,가스배출구가 가스주입구상에서 분기되어 구성된 진공장비의 배기라인 가스누설검사장치.
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