KR0132423Y1

KR0132423Y1 - 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치

Info

Publication number: KR0132423Y1
Application number: KR2019950039698U
Authority: KR
Inventors: 최두규
Original assignee: 문정환; 엘지반도체주식회사
Priority date: 1995-12-11
Filing date: 1995-12-11
Publication date: 1999-02-01
Also published as: KR970046695U

Abstract

본 고안은 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치에 관한 것으로, 종래에는 밸브개폐조절기(7)가 오동작을 할 경우에는 밸브(3)와, 밸브(6)가 동시에 개방될 수도 있어, 이러한 경우에는 A케미칼과 B케이칼이 혼합되어 제조 공정상의 커다란 문제를 야기시킬 수 있는 바, 밸브개폐조절기(17)와 각각의 밸브(13)(16)를 연결하는 공기공급관(12)(15)의 도중에 공기연결관(21)을 연결설치하고, 이 공기연결관(21)의 일측에 스프링(22)으로 탄지되어 있는 피봇(pivot)(23)을 설치한 본 고안을 제공하여 밸브를 개폐시키는 밸브개폐조절기가 오동작되더라도 타측 공기공급관을 차단하도록 하여 두 종류 케미칼이 동시에 공정 챔버에 공급되는 작동불량을 방지하도록 한 것이다.

Description

반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치

제1도는 종래 기술에 의한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치의 구성도.

제2도는 본 고안에 의한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치의 일실시례를 보인 구성도.

제3도는 본 고안 장치의 동작을 보인 것으로서,

(a)는 밸브(13)가 개방된 상태에서의 공기연결관(21)의 상태도.

(b)는 밸브(13)가 닫혀 있는 상태에서의 공기연결관(21)의 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

12 : 밸브(13)의 공기공급관 13 : A케미칼공급관 개폐밸브

15 : 밸브(16)의 공기공급관 16 : B케미칼공급관 개폐밸브

17 : 밸브개폐조절기 21 : 공기연결관

22 : 피봇 23 : 탄성부재

본 고안은 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치에 관한 것으로, 특히 밸브의 개폐를 조절하는 밸브개폐조절기의 오동작에도 타측 공기공급관을 차단하는 공기차단수단을 구비하여 두 종류 이상의 케미칼이 동시에 공정 챔버로 유입되는 것을 방지하도록 한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정 중 케미칼을 공급할 때는 제1도에 도시한 바와 같이, 노말 크로즈 뉴매틱 밸브(Normal close pneumatic valve)를 사용한다.

이와 같은 케미칼 공급장치는 A라는 케미칼(1)을 공정 챔버(8)에 공급하고자 할 때는 밸브개폐조절기(7)에서 공기공급관(2)을 통해 공기를 공급하여 밸브(3)를 개방시켜 케미칼을 공급하고, B라는 케미칼(4)을 공급할 때는 공기공급관(5)을 통해 공기를 공급하여 밸브(6)를 개방하여 케미칼을 공급하게 된다.

미설명 부호 9,10은 각각의 케미칼공급관이다.

그러나 상기 밸브개폐조절기(7)가 오동작을 할 경우에는 밸브(3)와, 밸브(6)가 동시에 개방될 수도 있어, 이러한 경우에는 A케미칼과 B케미칼이 혼합되어 제조 공정상의 커다란 문제를 야기시킬 수 있다.

이와 같은 문제점을 착안하여 안출한 본 고안의 목적은 공기압에 의해 밸브의 개폐가 이루어져 두 종류 이상의 케미칼을 공급하는 케미칼 공급장치에서 두종류 이상의 케미칼이 동시에 공정 챔버에 공급되는 것을 방지하려는 것이다.

이러한 본 고안은 목적을 달성하기 위하여, 밸브개폐조절기에 의해 공기압으로 각각의 밸브가 개폐되는 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치에 있어서, 상기 밸브개폐조절기와 각각의 밸브를 연결하는 공기공급관의 도중에 공기가 연통되는 공기연결관을 연결설치하고, 이 공기연결관의 일측에 상기 밸브개폐조절기에서 공급하려는 공기공급관이 아닌 타측 공기공급관을 차단하는 공기차단수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치가 제공된다.

상기 공기차단수단은 타측 공기공급관을 차단하는 피봇과, 상기 피봇의 외주면에 피봇이 타측 공기공급관을 개방하는 쪽으로 탄지하도록 설치되는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 상기한 바와 같은 본 고안을 첨부도면에 도시한 일실시례에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.

첨부도면 제2도는 본 고안에 의한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급장치의 일실시례를 보인 구성이고, 제3도는 본 고안 장치의 동작을 보인 것으로서, (a)는 밸브(13)가 개방된 상태도, (b)는 밸브(13)가 닫혀 있는 상태도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치는 밸브개폐조절기(17)와, 상기 밸브개폐조절기(17)에 의해 공기를 공급받아 각각의 케미칼(11)(14)이 공정 챔버(18)로 공급되는 케미칼공급관(19)(20)의 통로를 개폐하는 밸브(13)(16)로 구성되어 있는 통상의 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치와 구성을 동일하다.

여기서, 본 고안의 일실시례에서는 상기 밸브개폐조절기(17)와 각각의 밸브(13)(16)를 연결하는 공기공급관(12)(15)의 도중에 공기연결관(21)을 연결설치하고, 이 공기연결관(21)의 일측에 스프링(22)으로 탄지되어 있는 피봇(pivot)(23)을 설치한 것이다.

이와 같이 구성되어 있는 본 고안 장치의 동작 및 효과를 설명한다.

먼저 A케미칼(11)을 공정 챔버(18)에 공급시에는 밸브개폐조절기(17)에서 공기공급관(12)을 통해 밸브(13)로 공기가 케미칼공급관(19)이 개방되고, 이에 따라 A케미칼이 공정챔버(18)에 공급되는데 이때 상기 밸브개폐조절기(17)가 오동작되어 밸브 16으로 공기를 공급하더라도 제3도의 (a)에서 보는 바와 같이, 공기압에 의해 피봇(23)이 공기공급관 15를 막아준 상태이기 때문에 밸브 16으로 공급되는 공기의 유입을 차단하게 되어 밸브(16)가 개방되지 않게 된다.

또한, B케미칼을 공급하고자 하여 밸브 16에 공기를 공급할 때는 밸브 13으로의 공기공급을 중단된 상태이기 때문에 제3도의 (b)와 같이, 피봇(23)은 스프링(22)에 의해 본래의 위치로 복귀되어 밸브(16)로 유입되는 공기공급관(15)을 차단하지 않게 되므로 밸브(16)가 개방되어 케미칼공급관(20)이 개방됨으로써 B케미칼의 공급이 원활하게 이루어지게 된다.

이상과 같이, 본 고안에 의한 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치는 두 종류 이상의 케미칼을 선택적으로 공정 챔버에 공급함에 있어서 밸브를 개폐시키는 밸브개폐조절기가 오동작되더라도 타측 공기공급관을 차단하도록 하여 두 종류 케미칼이 동시에 공정 챔버에 공급되는 작동불량을 방지하게 되는 효과가 있다.

Claims

밸브개폐조절기에 의해 공기압으로 각각의 밸브가 개폐되는 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치에 있어서, 상기 밸브개폐조절기와 각각의 밸브를 연결하는 공기공급관의 도중에 공기가 연통되는 공기연결관을 연결설치하고, 이 공기연결관의 일측에 상기 밸브개폐조절기에서 공급하려는 공기공급관이 아닌 타측 공기공급관을 차단하는 공기차단수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 공기차단수단은 타측 공기공급관을 차단하는 피봇과, 상기 피봇의 외주면에 피봇이 타측 공기공급관을 개방하는 쪽으로 탄지하도록 설치되는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치.