KR19980011626U - 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치에 관한 것으로, 종래에는 로봇블레이드의 휨이나 로봇의 위치 틀어짐이 발생한 상태에서 작업을 계속하여 웨이퍼의 파손을 일으키는 문제점이 있었다. 본 고안 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치는 도드락챔버의 내측면에 발광센서를 설치하고, 로봇블레이드의 측면에 수광센서를 설치하여, 발광센서에서 발광한 빛을 수광센서에서 수광하는지 여부로 로봇블레이드의 휨과 로봇의 위치 틀어짐을 감지할 수 있도록 함으로서, 종래와 같이 로봇블레이드의 휨이나 로봇의 위치 틀어짐이 발생한 상태에서 작업을 계속하여 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치

제1도는 종래 화학기상증착장비의 구성을 보인 횡단면도.

제2도는 종래 로봇블레이드의 구성을 보인 사시도.

제3도는 본 고안 위치감지장치가 구비된 화학기상증착장비의 구성을 보인 횡단면도.

제4도는 본 고안 로봇블레이드를 보인 사시도.

제5도는 본 고안 위치감지장치의 동작을 설명하기 위한 종단면도로,

(a)는 정상상태.

(b)는 비정상상태.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

12 : 도드락챔버14 : 로봇블레이드

20, 20' : 발광센서21, 21' : 수광센서

본 고안은 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치에 관한 것으로, 특히 로봇블레이드의 변형된 상태를 감지하여 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 하는데 적합한 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치에 관한 것이다.

제1도는 종래 화학기상증착장비의 구성을 보인 횡단면도이고, 제2도는 종래 로봇블레이드의 구성을 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래 화학기상증착장비는 공정 챔버(1)의 일측에 도드락챔버(2)가 연결설치되어 있고, 그 도드락챔버(2)의 내부에는 로봇(3)이 설치되어 있으며, 그 로봇(3)의 상단부에는 카세트(4)에 수납된 웨이퍼(W)들을 상기 챔버(1)로 이동시키기 위한 로봇블레이드(5)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 로봇블레이드(5)에는 웨이퍼(W)를 감지하기 위한 감지센서(6)와 웨이퍼(W)를 흡착하기 위한 진공척(7)이 설치되어 있다.

도면 중 미설명부호 8은 스토리지 엘리베이터이다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 화학기상증착장비에서 로봇블레이드의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 증착공정을 진행할 웨이퍼(W)가 수납된 카세트(4)를 장비의 입구부에 위치시킨다. 그런 다음, 로봇블레이드(5)를 전진시켜서 웨이퍼(W)하면을 진공흡착하는 방법으로 1장씩 스토리지 엘리베이터(8)의 상면에 적재한다. 이와 같이 적재한 웨이퍼(W)가 6장이 되면 도드락챔버(2)를 진공상태로 유지한 상태에서 공정 챔버(1)의 내부로 6장의 웨이퍼(W)를 이동시킨다. 그런 다음, 상기와 같은 동작을 반복하여 카세트(4)에 수납되어 있는 25장의 웨이퍼(W)를 공정 챔버(1)의 내부로 이동시킨 다음 증착공정을 진행한다.

그러나, 상기와 같은 종래의 증착장비에서는 웨이퍼(W)가 로봇블레이드(5)의 상면에 얹혀졌는지를 확인하기 위한 감지센서(6)는 설치되어 있으나, 로봇블레이드(5) 자체의 휨상태 또는 로봇(3)의 위치틀어짐 등을 확인하기 위한 장치는 구비되어 있지 않아서 장기간 반복사용시 로봇블레이드(5)의 휨에 의하여 카세트(4)의 웨이퍼(W)를 흡착시 다른 웨이퍼(W)를 손상시키는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 로봇블레이드의 휨 또는 로봇의 위치 틀어짐을 확인하여 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 하는데 적합한 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 도드락챔버의 내벽면 양측의 소정높이에 빛을 발광하기 위한 발광센서를 각각 설치하고, 로봇블레이드의 양측면에 빛을 수광하기 위한 수광센서를 각각 설치하여서 구성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 고안 위치감지장치가 구비된 화학기상증착장비의 구성을 보인 횡단면도이고, 제4도는 본 고안 로봇블레이드를 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안 위치감지장치가 구비된 화학기상증착장비는 공정 챔버(11)의 일측면에 도드락챔버(12)가 연결설치되어 있고, 그 도드락챔버(12)의 내부에 로봇(13)이 설치되어 있으며, 그 로봇(13)의 상단부에는 로봇블레이드(14)가 설치되어 있는 구성은 종래와 동일하다.

여기서, 본 고안은 상기 도드락챔버(12)의 내부 양측면의 소정높이에 빛을 발광하기 위한 발광센서(20)(20')를 각각 설치하고, 상기 로봇블레이드(14)의 양측면에 상기 발광센서(20)(20')에서 발광한 빛을 수광하기 위한 수광센서(21)(21')를 각각 설치하여, 상기 발광센서(20)(20')에서 발광하는 빛을 상기 수광센서(21)(21')에서 수광하는지의 여부로 로봇블레이드(14)의 휨이나 로봇(13)의 위치 틀어짐을 감지할 수 있도록 구성된다.

도면 중 미설명부호 15는 감지센서이고, 16은 진공척이며, 17은 스토리지 엘리베이터이다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안의 요부인 위치감지센서가 구비된 화학기상증착장비의 동작을 제3도 내지 제5도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 증착공정을 진행할 웨이퍼(W)가 수납된 카세트를 장비의 입구부에 위치시키고, 로봇블레이드(14)를 전진시켜서 웨이퍼(W) 하면을 진공흡착하는 방법으로 1장씩 스토리지 엘리베이터(17)의 상면에 적재하며, 이와 같이 적재한 웨이퍼(W)가 6장이 되면 도드락챔버(12)를 진공상태로 유지한 상태에서 공정 챔버(11)의 내부로 6장의 웨이퍼(W)를 이동시키고, 상기와 같은 동작을 반복하여 카세트에 수납되어 있는 25장의 웨이퍼(W)를 공정 챔버(11)의 내부로 이동시키는 동작은 종래와 동일하다.

여기서, 본 고안은 상기 챔버(11)의 내부로 웨이퍼를 로딩시키거나 언로딩시키는 동작을 진행시에 도드락챔버(12)의 내측에 설치된 발광센서(20)(20')에서 빛을 발광하고, 제5도의 (a)와 같이 수광센서(21)(21')에서 수광을 하면 정상상태로 판단하여 작업을 계속 진행하며, 제5도의 (b)와 같이 수광센서(21)(21')에서 빛을 수광하지 못하면 비정상상태로 판단하여 작업을 멈추도록 한다.

즉, 상기 로봇블레이드(14)의 휨이 발생하거나, 로봇(13)의 위치 틀어짐이 발생한 경우에 제5도의 (b)와 같이 발광센서(20)(20')에서 발광한 빛을 수광센서(21)(21')에서 수광하지 못하므로, 이런 경우에 장비를 멈추고 장비를 수리한 후, 작업을 계속하는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치는 도드락챔버의 내측 양면에 발광센서를 각각 설치하고, 로봇블레이드의 양측에 수광센서를 각각 설치하여, 발광센서에서 발광한 빛을 수광센서에서 수광하는지 여부로 로봇블레이드의 휨과 로봇의 위치 틀어짐을 감지할 수 있도록 함으로서, 종래와 같이 로봇블레이드의 휨이나 로봇의 위치 틀어짐이 발생한 상태에서 작업을 계속하여 웨이퍼의 파손이 발생되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 도드락챔버의 내벽면 양측의 소정높이에 빛을 발광하기 위한 발광센서를 각각 설치하고, 로봇블레이드의 양측면에 빛을 수광하기 위한 수광센서를 각각 설치하여서 구성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장비의 로봇블레이드 위치감지장치.