KR102674152B1 - Handler for testing electronic devices - Google Patents

Handler for testing electronic devices Download PDF

Info

Publication number
KR102674152B1
KR102674152B1 KR1020190026235A KR20190026235A KR102674152B1 KR 102674152 B1 KR102674152 B1 KR 102674152B1 KR 1020190026235 A KR1020190026235 A KR 1020190026235A KR 20190026235 A KR20190026235 A KR 20190026235A KR 102674152 B1 KR102674152 B1 KR 102674152B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test chamber
electronic components
test
handler
coupling member
Prior art date
Application number
KR1020190026235A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200107308A (en
Inventor
나윤성
성기주
김희준
김지훈
Original Assignee
(주)테크윙
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테크윙 filed Critical (주)테크윙
Priority to KR1020190026235A priority Critical patent/KR102674152B1/en
Publication of KR20200107308A publication Critical patent/KR20200107308A/en
Priority to KR1020240022885A priority patent/KR102674140B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102674152B1 publication Critical patent/KR102674152B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2862Chambers or ovens; Tanks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2868Complete testing stations; systems; procedures; software aspects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
    • G01R31/2877Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to cooling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 전자부품의 테스트를 지원하는 전자부품 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 내부에 전자부품을 수용할 수 있는 적어도 하나의 테스트챔버; 상기 테스트챔버가 설치되며, 테스트소켓이 설치된 테스트보드를 가진 테스터와 결합되는 본체; 및 상기 테스트챔버로 테스트되어야 할 전자부품을 반입시키거나 상기 테스트챔버로부터 테스트가 완료된 전자부품을 반출시키기 위해 상기 본체에 대하여 상대적으로 상기 테스트챔버를 승강시키는 승강기; 를 포함한다.
본 발명에 따르면 소량의 전자부품을 테스트하기에 적절한 소형이면서 저렴한 전자부품 테스트용 핸들러의 생산이 가능하다.
The present invention relates to a handler for testing electronic components that supports testing of electronic components.
A handler for testing electronic components according to the present invention includes at least one test chamber capable of accommodating electronic components therein; a main body in which the test chamber is installed and coupled to a tester having a test board with a test socket installed; and an elevator that elevates the test chamber relative to the main body to bring in electronic components to be tested into the test chamber or to take out electronic components that have been tested from the test chamber. Includes.
According to the present invention, it is possible to produce a small and inexpensive electronic component testing handler suitable for testing small quantities of electronic components.

Description

전자부품 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING ELECTRONIC DEVICES}Handler for testing electronic components {HANDLER FOR TESTING ELECTRONIC DEVICES}

본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a handler for testing electronic components.

반도체소자 등의 전자부품들은 생산이 이루어지면 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉘어서 양품만이 출하된다.When electronic components such as semiconductor devices are produced, they are tested by a tester and then divided into good and defective products and only the good products are shipped.

테스터와 전자부품의 전기적인 연결 및 적절한 테스트를 위해 요구되는 환경의 조성은 전자부품 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 약칭함)에 의해 이루어진다. 핸들러는 전자부품들의 종류나 테스트 환경 등에 따라 다양한 형태로 제작되어지며, 대한민국 특허공개 10-2013-0079701호, 10-2014-0147902호 및 대한민국 특허등록 10-0709114호 등을 통해 제안되어 왔다.The electrical connection between the tester and electronic components and the creation of the environment required for appropriate testing are made by a handler for electronic component testing (hereinafter abbreviated as 'handler'). Handlers are manufactured in various forms depending on the type of electronic components or test environment, and have been proposed through Korean Patent Publication No. 10-2013-0079701, 10-2014-0147902, and Korean Patent Registration No. 10-0709114.

핸들러는 로딩장치, 소크챔버, 테스트챔버, 연결장치, 디소크챔버, 언로딩장치 및 다수의 이송장치 등을 포함한다.The handler includes a loading device, a soak chamber, a test chamber, a connection device, a desoak chamber, an unloading device, and multiple transfer devices.

로딩장치는, 고객트레이에 적재된 테스트되어야 할 전자부품들을 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩(loading)시킨다.The loading device loads the electronic components to be tested loaded on the customer tray onto the test tray at the loading position.

소크챔버는 로딩위치에서 온 테스트트레이에 적재된 전자부품들에 열적인 자극을 가하기 위해 마련된다. 생산된 전자부품은 상온에서 테스트되는 경우도 있지만, 열적으로 열악한 사용 환경을 고려할 필요가 있기 때문에, 대개의 경우 고온 또는 저온 상태에서 테스트된다. 이러한 열적인 자극을 가하기 위해 소크챔버가 구비되는 것이다.The soak chamber is provided to apply thermal stimulation to the electronic components loaded on the test tray from the loading position. Produced electronic components are sometimes tested at room temperature, but because it is necessary to consider the thermally harsh environment of use, they are usually tested at high or low temperatures. A soak chamber is provided to apply this thermal stimulation.

테스트챔버는 소크챔버를 거쳐 온 테스트트레이에 적재된 전자부품들이 테스트될 수 있는 공간을 제공한다. 이를 위해 테스터는 테스트챔버 측으로 결합되어 있다.The test chamber provides a space where electronic components loaded on test trays that have passed through the soak chamber can be tested. For this purpose, the tester is connected to the test chamber side.

연결장치는 테스트챔버 내의 테스트위치에 있는 테스트트레이의 전자부품들을 테스터의 테스트소켓 측으로 가압하여 전자부품이 테스트소켓에 전기적으로 연결될 수 있게 한다.The connection device pressurizes the electronic components of the test tray at the test position in the test chamber toward the test socket of the tester so that the electronic components can be electrically connected to the test socket.

디소크챔버는 테스트챔버에서 온 테스트트레이에 적재된 전자부품으로부터 열적인 자극을 제거하기 위해 마련된다. 따라서 디소크챔버 내에서 열적인 자극이 제거된 전자부품이 언로딩장치에 의해 적절히 언로딩(unloading)될 수 있게 된다.The desoak chamber is provided to remove thermal stimulation from electronic components loaded on the test tray from the test chamber. Therefore, electronic components from which thermal stimulation has been removed within the desoak chamber can be properly unloaded by the unloading device.

언로딩장치는 언로딩위치로 온 테스트트레이로부터 전자부품들을 언로딩시키면서 빈 고객트레이로 이동시킨다.The unloading device unloads electronic components from the test tray that has come to the unloading position and moves them to an empty customer tray.

다수의 이송장치들은 테스트트레이를 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 거쳐 로딩위치로 이어지는 폐쇄된 순환경로를 따라 이송시킨다.Multiple transport devices transport the test tray along a closed circular path leading to the loading position via a loading position, a testing position, and an unloading position.

위와 같은 구조의 핸들러는 전자부품을 테스트트레이로 로딩시키는 작업이나 전자부품을 테스트트레이로부터 언로딩시키는 작업을 포함해 거의 모든 작업을 자동화시킴으로써 대규모 물량의 전자부품들을 최대한 빠르게 테스트할 수 있는 방향으로 진화되어 왔다. 이에 따라 테스트트레이도 더 많은 전자부품을 적재시킬 수 있도록 대형화되어 왔고, 더 나아가 여러 장의 테스트트레이에 적재된 전자부품들이 함께 테스트될 수 있도록 하여 그 처리 용량을 대폭 향상시켰다.The handler with the above structure has evolved to enable testing of large quantities of electronic components as quickly as possible by automating almost all tasks, including loading electronic components into a test tray and unloading electronic components from the test tray. It has been done. Accordingly, test trays have also been enlarged to accommodate more electronic components, and furthermore, electronic components loaded on multiple test trays can be tested together, greatly improving processing capacity.

한편, 전자부품의 종류에 따라서는 소량만이 생산되는 경우도 있고, 대학이나 기업 연구소에서 연구할 목적으로 사용하기 위해 소량만이 필요한 경우도 있다. 이러한 경우에도 앞서 언급한 핸들러를 사용하는 것은 다음과 같은 불편함 또는 문제가 있다.Meanwhile, depending on the type of electronic component, only small quantities may be produced, and in other cases, only small quantities may be needed for research purposes in universities or corporate research institutes. Even in this case, using the aforementioned handler has the following inconveniences or problems.

첫째, 전자부품을 고객트레이에 실어서 핸들러로 공급하고, 이를 받은 핸들러가 테스트트레이를 이송시키면서 로딩장치에 의한 로딩 과정부터 언로딩장치에 의한 언로딩 과정을 거치는 긴 자동화된 작업들이 모두 요구되기 때문에 처리 시간이 길어진다.First, electronic components are placed on a customer tray and supplied to the handler, and the handler who receives them transfers the test tray, which requires long automated tasks ranging from the loading process by the loading device to the unloading process by the unloading device. Processing time becomes longer.

둘째, 소크챔버, 디소크챔버, 연결장치, 테스트트레이 등이 구비됨으로 인해 장비의 규모가 크고, 자동화를 위한 부품들이 많이 적용됨으로써 생산단가 및 공간 점유율이 매우 높다.Second, the scale of the equipment is large because it is equipped with a soak chamber, a de-soak chamber, a connection device, and a test tray, and many parts for automation are applied, so the production cost and space occupancy are very high.

따라서 위의 핸들러를 연구소 등에서 연구 목적으로 사용하기에는 부적절하다.Therefore, it is inappropriate to use the above handler for research purposes in research institutes, etc.

본 발명의 목적은 소량 생산되는 전자부품들이나 연구 목적으로 소량만이 필요한 전자부품들의 테스트를 지원할 수 있는 핸들러를 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to provide a handler that can support testing of electronic components that are produced in small quantities or that require only small quantities for research purposes.

본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 내부에 전자부품을 수용할 수 있는 적어도 하나의 테스트챔버; 상기 테스트챔버가 설치되며, 테스트소켓이 설치된 테스트보드를 가진 테스터와 결합되는 본체; 및 상기 테스트챔버로 테스트되어야 할 전자부품을 반입시키거나 상기 테스트챔버로부터 테스트가 완료된 전자부품을 반출시키기 위해 상기 본체에 대하여 상대적으로 상기 테스트챔버를 승강시키는 승강기; 를 포함한다.A handler for testing electronic components according to the present invention includes at least one test chamber capable of accommodating electronic components therein; a main body in which the test chamber is installed and coupled to a tester having a test board with a test socket installed; and an elevator that elevates the test chamber relative to the main body to bring in electronic components to be tested into the test chamber or to take out electronic components that have been tested from the test chamber. Includes.

상기 승강기에 의해 상승된 상태에 있는 상기 테스트챔버를 회전시킬 수 있는 회전기; 를 더 포함한다.a rotator capable of rotating the test chamber in an elevated state by the elevator; It further includes.

상기 테스트챔버 내부를 저온으로 유지시키기 위해 저온가스를 상기 테스트챔버의 내부로 공급하기 위한 배관장치; 를 더 포함한다.a piping device for supplying low-temperature gas into the test chamber to maintain the inside of the test chamber at a low temperature; It further includes.

상기 배관장치는 상기 테스트챔버 측에 고정 설치되어서 상기 테스트챔버의 승강에 따라 함께 승강하는 제1 연결배관; 상기 제1 연결배관 측에 설치되는 제1 결합부재; 상기 본체 측에 고정 설치되는 제2 연결배관; 및 상기 제2 연결배관 측에 설치되어서 상기 제1 결합부재와 밀착되거나 떨어질 수 있는 제2 결합부재; 를 포함하며, 상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재는 상기 테스트챔버의 하강에 의해 상호 밀착됨으로써 저온가스가 상기 제2 연결배관을 통해 상기 제1 연결배관으로 갈 수 있도록 상기 제1 연결배관과 상기 제2 연결배관을 잇는 안정적인 유로를 형성시킨다.The piping device includes a first connection pipe that is fixedly installed on the test chamber side and moves up and down as the test chamber goes up and down; A first coupling member installed on the first connection pipe side; a second connection pipe fixedly installed on the main body; and a second coupling member installed on the second connection pipe side and capable of being in close contact with or separate from the first coupling member. It includes: the first coupling member and the second coupling member are brought into close contact with each other as the test chamber descends, so that the low-temperature gas can go to the first connection pipe through the second connection pipe. and forms a stable flow path connecting the second connection pipe.

상기 제1 결합부재를 상하 방향으로 다소 유동 가능하도록 상기 제1 결합부재를 탄성 지지하는 탄성부재; 를 더 포함한다.an elastic member that elastically supports the first coupling member so that the first coupling member can move somewhat in an up and down direction; It further includes.

상기 배관장치는 외력 또는 열수축이나 열팽창에 의한 휘어짐 및 복원이 가능하도록 주름관을 포함한다.The piping device includes a corrugated pipe to enable bending and restoration due to external force or thermal contraction or thermal expansion.

상기 테스트보드를 상기 본체에 결합시키기 위한 결합장치; 를 더 포함하고, 상기 결합장치는 상기 테스트보드의 양단을 걸거나 걸림을 해제시키기 위해 상호 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 진퇴 가능하게 마련되며, 진퇴를 위한 구동력을 받는 구동돌기를 가지는 한 쌍의 걸림부재; 상기 걸림부재의 이동 방향에 수직한 방향으로 이동되도록 구비되며, 상기 구동돌기가 삽입될 수 있는 구동홈이 경사지게 형성되어 있어서 그 이동에 의해 상기 구동돌기가 상기 구동홈의 경사를 타고 미끄러짐으로써 상기 한 쌍의 걸림부재가 진퇴하도록 되어 있는 한 쌍의 구동부재; 및 상기 한 쌍의 구동부재를 이동시키는 이동력을 제공하는 이동원; 을 포함한다.A coupling device for coupling the test board to the main body; It further includes, the coupling device is provided to move forward and backward so as to narrow or widen the gap between both ends of the test board or to release the locking device, and includes a pair of locking devices having a driving protrusion that receives a driving force for advancing and retreating. absence; It is provided to move in a direction perpendicular to the moving direction of the locking member, and the driving groove into which the driving protrusion can be inserted is formed at an angle, so that the driving protrusion slides along the inclination of the driving groove due to the movement of the driving protrusion. A pair of driving members in which the pair of locking members advances and retreats; and a moving source that provides a moving force to move the pair of driving members. Includes.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention, the following effects are achieved.

첫째, 로딩작업, 언로딩작업 및 이송작업들이 모두 제거되기 때문에 처리 시간이 짧아진다.First, processing time is shortened because loading, unloading, and transfer operations are all eliminated.

둘째, 위의 로딩작업, 언로딩작업 및 이송작업을 비롯하여 전자부품과 테스터 간의 전기적인 연결 작업을 위한 구성 부품들과 테스트트레이가 생략되기 때문에, 장비가 작아지질 뿐만 아니라 생산단가 및 공간 점유율을 하락시킬 수 있어서 좁은 공간의 실험실에서 사용하기에 최적화될 수 있다.Second, since the component parts and test trays for the electrical connection between electronic components and the tester, as well as the above loading, unloading, and transfer operations, are omitted, not only does the equipment become smaller, but the production cost and space occupancy decrease. It can be optimized for use in laboratories with narrow spaces.

셋째, 전자부품을 테스트챔버의 내부로 반입하거나 테스트챔버의 내부로부터 반출하는 작업을 위해 별도의 도어를 설치하지 않아도 되므로, 그 만큼 단열의 기밀성이 유지되고, 또한 생산단가를 더욱 절감할 수 있다.Third, since there is no need to install a separate door to bring electronic components into or out of the test chamber, the airtightness of the insulation is maintained and the production cost can be further reduced.

도 1 내지 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러에 대한 개략적인 사시도이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 핸들러에 적용된 배관장치에 대한 개략도이다.
도 6은 도 1의 핸들렁 적용된 결합장치에 대한 개략도이다.
도 7은 본 발명의 이해를 돕기 위해 테스터에 구비되는 테스트소켓에 대한 개념도이다.
1 to 3 are schematic perspective views of a handler for testing electronic components according to an embodiment of the present invention.
Figures 4 and 5 are schematic diagrams of the piping device applied to the handler of Figure 1.
Figure 6 is a schematic diagram of the coupling device applied to the handle rung of Figure 1.
Figure 7 is a conceptual diagram of a test socket provided in a tester to aid understanding of the present invention.

본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.Preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, but identical components will be assigned the same reference numerals, and for brevity of explanation, descriptions of overlapping or substantially identical components will be omitted or compressed as much as possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러(HR, 이하 '핸들러'라 약칭함)에 대한 사시도이다.Figure 1 is a perspective view of a handler (HR, hereinafter abbreviated as 'handler') for testing electronic components according to an embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 핸들러(HR)는 테스트챔버(100), 본체(200), 승강기(300), 회전기(400), 배관장치(500), 가열장치(600), 대류팬(700) 및 결합장치(800)를 포함한다.The handler (HR) according to this embodiment includes a test chamber 100, a main body 200, an elevator 300, a rotator 400, a piping device 500, a heating device 600, a convection fan 700, and a combination thereof. Includes device 800.

테스트챔버(100)는 내부에 전자부품을 수용할 수 있다. 이러한 테스트챔버(100)는 본체(200)와 밀착되는 하방을 제외한 상방과 측방이 모두 폐쇄된 구조를 가지며, 별도의 도어(door)도 구비되지 않는다. 본 실시예에서는 핸들러(HR)가 하나의 테스트챔버(100)만을 구비하고 있지만, 실시하기에 따라서는 하나의 본체(200)에 여러 개가 구비될 수도 있으며, 이런 경우에는 여러 개의 테스트챔버(100)가 설치될 수 있도록 본체(200)가 확장될 수도 있다. The test chamber 100 can accommodate electronic components therein. This test chamber 100 has a structure in which both the top and sides are closed except for the bottom, which is in close contact with the main body 200, and is not provided with a separate door. In this embodiment, the handler (HR) is provided with only one test chamber 100, but depending on the implementation, multiple test chambers 100 may be provided in one main body 200. In this case, multiple test chambers 100 may be provided. The main body 200 may be expanded so that it can be installed.

본체(200)에는 테스트챔버(100)가 승강 및 회전 가능하게 설치되며, 테스터(TESTER)와 결합된다. 여기서 본체(200)와 테스터(TESTER) 간의 결합은 테스터(TESTER)에 있는 테스트보드(TB)와 본체(200) 간의 결합에 의해 이루어진다. 테스트보드(TB)에는 전자부품과 전기적으로 연결될 수 있는 테스트소켓(TS)이 설치되어 있는데, 본체(200)와 테스트보드(TB) 간의 결합은 차후에 설명한다.A test chamber 100 is installed in the main body 200 to be able to lift and rotate, and is coupled to a tester. Here, the connection between the main body 200 and the tester (TESTER) is achieved by combining the test board (TB) in the tester (TESTER) and the main body 200. The test board (TB) is equipped with a test socket (TS) that can be electrically connected to electronic components. The connection between the main body 200 and the test board (TB) will be explained later.

승강기(300)는 본체(200)에 대하여 상대적으로 테스트챔버(100)를 승강시킨다.The elevator 300 elevates the test chamber 100 relative to the main body 200.

만일 테스트챔버(100)가 상승하면 도 2에서 참조되는 바와 같이 테스트챔버(100)와 본체(200) 간에 간격이 발생함으로 인해 본체(200)에 결합된 테스트보드(TB)가 작업자에게 노출되기 때문에, 작업자는 테스트되어야 할 전자부품을 테스트소켓(TS)으로 공급할 수 있게 된다.If the test chamber 100 rises, as shown in FIG. 2, a gap occurs between the test chamber 100 and the main body 200, and the test board (TB) coupled to the main body 200 is exposed to the operator. , the operator can supply the electronic components to be tested to the test socket (TS).

그리고 만일 테스트챔버(100)가 하강하면 도 1에서와 같이 테스트챔버(100)의 하단이 본체(200)에 밀착되면서 테스트챔버(100)의 내부가 밀폐되며, 이 상태에서 테스트챔버(100)의 내부를 요구되는 온도 환경으로 조성하기 위한 작업이 이루어지게 된다. 따라서 밀폐된 테스트챔버(100)의 내부에 위치하는 테스트소켓(TS)으로 공급된 전자부품들은 테스트챔버(100)의 내부에 형성되는 온도 환경에 동화된다.And, if the test chamber 100 is lowered, the lower end of the test chamber 100 is in close contact with the main body 200 as shown in FIG. 1, and the interior of the test chamber 100 is sealed, and in this state, the test chamber 100 Work is done to create the interior to the required temperature environment. Accordingly, the electronic components supplied to the test socket TS located inside the sealed test chamber 100 are assimilated to the temperature environment formed inside the test chamber 100.

회전기(400)는 승강기(300)에 의해 상승된 상태에 있는 테스트챔버(100)를 회전시킨다. 이렇게 테스트챔버(100)를 회전시킴으로써 도 3에서 참조되는 바와 같이 작업자가 테스트소켓(TS)으로 전자부품을 공급하거나 테스트소켓(TS)으로부터 전자부품을 회수하는 작업이 훨씬 수월해지게 된다. 이러한 회전기(400)는 본 실시예에서와 같이 자기 구동이 가능하도록 구동원(410)을 가질 수도 있지만, 작업자에 의해 수작업으로 회전될 수 있도록 구비되는 것도 충분히 고려될 수 있다.The rotator 400 rotates the test chamber 100 in an elevated state by the elevator 300. By rotating the test chamber 100 in this way, as shown in FIG. 3, it becomes much easier for the operator to supply electronic components to the test socket (TS) or retrieve electronic components from the test socket (TS). This rotator 400 may have a drive source 410 to enable self-driving as in this embodiment, but it can also be sufficiently considered to be provided so that it can be rotated manually by an operator.

참고로, 회전기(400)는 테스트챔버(100)의 상승 높이가 충분한 경우에는 생략될 수 있다. 그러나 실험실의 천장 높이가 일반 공장보다는 현저히 낮기 때문에 테스트챔버(100)의 상승만으로는 원활한 작업 공간의 확보가 쉽지 않다. 그리고 작업자가 팔을 뻗어서 전자부품을 테스트소켓(TS)으로 공급하거나 테스트소켓(TS)으로부터 회수하는 작업보다는 회전기(400)에 의해 테스트챔버(100)를 일정 각 위치만큼 회피시켜 놓은 상태에서 전자부품을 테스트소켓(TS)으로 공급하거나 테스트소켓(TS)으로부터 회수하는 작업이 보다 수월한 점이 있다. 또한, 테스트챔버(100)의 내부에는 각종 중량물들이 설치되어 있을 수 있는데, 그러한 중량물을 상방에 두고 그 하방에서 작업을 한다는 것은 중량물의 낙하 사고나 작업자의 무의식적인 고개 세움에 의한 부상 등의 개연성이 있어서 위험하다. 따라서 본 실시예에서처럼 테스트챔버(100)를 회전시킬 수 있는 회전기(400)를 구비하는 것이 바람직하다.For reference, the rotator 400 may be omitted if the height of the test chamber 100 is sufficient. However, since the ceiling height of the laboratory is significantly lower than that of a general factory, it is not easy to secure a smooth work space just by raising the test chamber 100. In addition, rather than the worker extending his arm to supply or retrieve electronic components to the test socket (TS), the test chamber 100 is evaded by a certain angle using the rotator 400 to remove the electronic components. It is easier to supply to or retrieve from a test socket (TS). In addition, various heavy objects may be installed inside the test chamber 100, and placing such heavy objects above and working below them raises the possibility of accidents such as falling heavy objects or injuries caused by workers unconsciously raising their heads. It is dangerous because Therefore, it is desirable to provide a rotator 400 capable of rotating the test chamber 100 as in this embodiment.

배관장치(500)는 테스트챔버(100)의 내부로 저온의 LN2가스를 공급함으로써 테스트챔버의 내부를 저온으로 조성하기 위해 구비된다. 그런데, 본 발명에 따르면 테스트챔버(100)가 승강되거나 회전되어지기 때문에 배관장치(500)를 이루는 각 배관들이 일체로 결합되도록 구성되기는 곤란하다. 물론, 유연성 소재의 배관을 사용하는 것을 고려해 볼 수는 있으나, 유연성 소재라고 하더라도 70도까지는 견디지만 그 이하의 온도에서는 유연성을 상실하여 휘는 힘이 다소 무리하게 작용할 시에 파손의 위험성이 있다. 그리고 ??70도 이하에서 견딜 수 있는 유연관의 제작 및 구입도 상당히 어려울뿐더러 그 안정성이 담보되기도 곤란하다. 따라서 도 4 및 도 5에서 참조되는 바와 같이 본 실시예에서의 배관장치(500)는 분사배관(511), 주름배관(512), 제1 연결배관(513), 제1 결합부재(514), 탄성 스프링(515), 제1 설치부재(516), 제2 연결배관(523), 제2 결합부재(524) 및 제2 설치부재(526)를 포함하도록 구성된다. 여기서 분사배관(511), 주름배관(512), 제1 연결배관(513), 제1 결합부재(514), 탄성 스프링(515) 및 제1 설치부재(516)는 테스트챔버(100) 측에 고정되어서 테스트챔버(100)의 승강에 따라 함께 승강하고, 제2 연결배관(523), 제2 결합부재(524) 및 제2 설치부재(526)는 본체(200) 측에 고정된다.The piping device 500 is provided to maintain a low temperature inside the test chamber 100 by supplying low-temperature LN2 gas into the test chamber 100. However, according to the present invention, because the test chamber 100 is lifted or rotated, it is difficult to configure the individual pipes forming the piping device 500 to be integrally coupled. Of course, you can consider using piping made of flexible material, but even if it is a flexible material, it can withstand up to 70 degrees, but it loses flexibility at temperatures below that, and there is a risk of damage when the bending force is somewhat excessive. In addition, it is quite difficult to manufacture and purchase flexible pipes that can withstand temperatures below 70 degrees, and its stability is also difficult to guarantee. Therefore, as referred to in FIGS. 4 and 5, the piping device 500 in this embodiment includes a spray pipe 511, a corrugated pipe 512, a first connection pipe 513, a first coupling member 514, It is configured to include an elastic spring 515, a first installation member 516, a second connection pipe 523, a second coupling member 524, and a second installation member 526. Here, the injection pipe 511, the corrugated pipe 512, the first connection pipe 513, the first coupling member 514, the elastic spring 515, and the first installation member 516 are located on the test chamber 100 side. It is fixed and goes up and down together as the test chamber 100 goes up and down, and the second connection pipe 523, the second coupling member 524, and the second installation member 526 are fixed to the main body 200 side.

분사배관(511)은 일 측이 테스트챔버(100)의 내부로 노출되고, 타 측이 주름배관(512)과 결합된다.One side of the injection pipe 511 is exposed to the inside of the test chamber 100, and the other side is coupled to the corrugated pipe 512.

주름배관(512)은 일 측이 분사배관(511)의 타 측과 결합되고, 타 측이 제1 연결배관(513)과 결합된다. 이러한 주름배관(512)은 전체 배관구조에서 열팽창이나 열수축에 따른 변형이나 차후 설명될 제1 연결배관(513)의 상승 등에 따른 변형을 보상하기 위해서 구비되며, 직선에서 3mm 정도의 차를 가지도록 휘어질 수 있으면 족하다. One side of the corrugated pipe 512 is coupled to the other side of the spray pipe 511, and the other side is coupled to the first connection pipe 513. This corrugated pipe 512 is provided to compensate for deformation due to thermal expansion or thermal contraction in the overall piping structure or the rise of the first connection pipe 513, which will be explained later, and is bent to have a difference of about 3 mm from the straight line. It's enough if you can lose.

제1 연결배관(513)은 일 측이 주름배관(512)의 타 측과 결합되고, 타 측(도면에서 하측)의 말단에는 제1 결합부재(514)가 결합된다. 이러한 제1 연결배관(513)은 필요에 따라 본 실시예에서와 같이 중단이 완만하게 구부러진 'ㄱ'자 형태를 가질 수 있다.One side of the first connection pipe 513 is coupled to the other side of the corrugated pipe 512, and a first coupling member 514 is coupled to the end of the other side (lower side in the drawing). If necessary, this first connection pipe 513 may have an 'ㄱ' shape with a gently curved middle end as in the present embodiment.

제1 결합부재(514)는 상하 방향으로 관통되는 제1 결합구멍(JH1)이 형성되어 있는데, 제1 연결배관(513)의 타 측 말단은 제1 결합구멍(JH1)에 삽입되는 형태로 제1 결합부재(514)에 결합된다. 그리고 제1 결합구멍(JH1)은 그 하단 부위가 하방으로 갈수록 폭이 넓어지도록 되어 있어서 테스트챔버(100)가 하강할 시에 제1 결합부재(514)와 제2 결합부재(524)가 상호 안정적이면서 적절히 결합될 수 있도록 되어 있다.The first coupling member 514 is formed with a first coupling hole (JH 1 ) penetrating in the vertical direction, and the other end of the first connection pipe 513 is inserted into the first coupling hole (JH 1 ). It is coupled to the first coupling member 514. In addition, the lower part of the first coupling hole (JH 1 ) is designed to become wider as it moves downward, so that when the test chamber 100 is lowered, the first coupling member 514 and the second coupling member 524 are connected to each other. It is designed to be stable and properly combined.

탄성 스프링(515)은 제1 결합부재(514)에 하방으로 탄성력을 가하는 탄성부재로서 구비된다. 이러한 탄성 스프링(515)에 의해 제1 결합부재(514)가 하방으로 탄성 가압되도록 탄성 지지됨으로써 제1 결합부재(514)는 상하 방향으로 다소간 승강 유동 및 복귀가 가능해진다.The elastic spring 515 is provided as an elastic member that applies downward elastic force to the first coupling member 514. The first coupling member 514 is elastically supported to be elastically pressed downward by the elastic spring 515, thereby enabling the first coupling member 514 to move up and down and return to some extent.

제1 설치부재(516)는 테스트챔버(100)에 고정되게 설치되며, 내부에 제1 설치공간(IS1)을 가진다. 제1 설치부재(516)는 단열성이 좋은 소재로 구비되는 것이 바람직하며, 이 제1 설치부재(516)에 위에서 언급한 분사배관(511), 주름배관(512), 제1 연결배관(513), 제1 결합부재(514) 및 탄성 스프링(515)이 고정 설치된다.The first installation member 516 is fixedly installed in the test chamber 100 and has a first installation space IS 1 therein. The first installation member 516 is preferably made of a material with good insulation properties, and the above-mentioned spray pipe 511, corrugated pipe 512, and first connection pipe 513 are connected to the first installation member 516. , the first coupling member 514 and the elastic spring 515 are fixedly installed.

제2 연결배관(523)은 LN2가스 공급기(도시되지 않음)로부터 공급배관(SP)을 통해 오는 LN2가스를 제1 연결배관(513)으로 보내기 위해 구비되며, 본체(200) 측에 고정 설치된다.The second connection pipe 523 is provided to send LN2 gas coming from an LN2 gas supplier (not shown) through the supply pipe (SP) to the first connection pipe 513, and is fixedly installed on the main body 200. .

제2 결합부재(524)는 상하 방향으로 관통되는 제2 결합구멍(JH2)이 형성되어 있는데, 제2 연결배관(523)의 일 측(도면에서 상측) 말단은 제2 결합구멍(JH2)에 삽입되는 형태로 제2 결합부재(524)에 결합된다. 그리고 제2 결합부재(524)의 상단 부위는 상방으로 갈수록 폭이 좁아지도록 되어 있어서 하방으로 갈수록 폭이 넓어지는 제1 결합구멍(JH1)의 하단 부위에 제2 결합부재(524)의 상단이 삽입될 수 있도록 되어 있다. 따라서 테스트챔버(100)가 하강하면 도 4에서와 같이 제1 결합부재(514)가 하강하면서 제2 결합부재(524)의 상단이 제1 결합부재(514)의 제1 결합구멍(JH1)의 하부로 삽입되면서 제1 결합부재(514)와 제2 결합부재(524)가 상호 밀착되고, 이에 따라 LN2가스가 제2 연결배관(523)을 통해 제1 연결배관(513)으로 갈 수 있도록 하는 안정적인 유로가 형성된다. 이 때, 탄성 스프링(515)은 제1 결합부재(514)를 하방으로 강하게 탄성 가압함으로써 제1 결합부재(514)와 제2 결합부재(524)의 긴밀한 밀착을 유지시킨다. 물론, 도 5에서와 같이 테스트챔버(100)가 상승하면 제1 결합부재(514)와 제2 결합부재(524)가 상호 분리되어 떨어짐으로써 제1 연결배관(514)과 제2 연결배관(524)을 잇는 유로가 끊어진다.The second coupling member 524 is formed with a second coupling hole (JH 2 ) penetrating in the vertical direction. The end of one side (upper side in the drawing) of the second connection pipe 523 is a second coupling hole (JH 2 ) . ) is coupled to the second coupling member 524 in the form of being inserted into the. In addition, the upper end of the second coupling member 524 is designed to become narrower as it moves upward, so that the upper end of the second coupling member 524 is located at the lower end of the first coupling hole (JH 1 ), which becomes wider as it moves downward. It is designed to be inserted. Therefore, when the test chamber 100 is lowered, the first coupling member 514 is lowered as shown in FIG. 4 and the upper end of the second coupling member 524 is in the first coupling hole (JH 1 ) of the first coupling member 514. As it is inserted into the lower part, the first coupling member 514 and the second coupling member 524 come into close contact with each other, so that LN2 gas can go to the first connection pipe 513 through the second connection pipe 523. A stable flow path is formed. At this time, the elastic spring 515 maintains close contact between the first coupling member 514 and the second coupling member 524 by strongly elastically pressing the first coupling member 514 downward. Of course, as shown in Figure 5, when the test chamber 100 rises, the first coupling member 514 and the second coupling member 524 are separated from each other and fall, thereby forming the first connection pipe 514 and the second connection pipe 524. ) is broken.

제2 설치부재(526)는 본체(200)에 고정되게 설치되며, 내부에 제2 설치공간(IS2)을 가진다. 이러한 제2 설치부재(526)도 단열성이 좋은 소재로 구비되는 것이 바람직하며, 제2 설치부재(526)에는 앞서 언급한 제2 연결배관(523)과 제2 결합부재(524)가 고정 설치된다.The second installation member 526 is fixedly installed in the main body 200 and has a second installation space IS 2 therein. This second installation member 526 is also preferably made of a material with good insulation properties, and the above-mentioned second connection pipe 523 and second coupling member 524 are fixedly installed on the second installation member 526. .

가열장치(600)는 테스트챔버(100)의 내부를 고온 환경으로 조성하기 위해 구비된다.The heating device 600 is provided to create a high temperature environment inside the test chamber 100.

대류팬(700)은 테스트챔버(100) 내부에서 강제적으로 대류 현상을 일으킴으로써 가열장치(600) 또는 배관장치(500)를 통해 오는 LN2가스에 의해 테스트챔버(100)의 내부가 전체적으로 고른 온도 환경을 가지도록 한다.The convection fan 700 forcibly creates a convection phenomenon inside the test chamber 100, creating an even temperature environment throughout the inside of the test chamber 100 due to the LN2 gas coming through the heating device 600 or the piping device 500. to have.

결합장치(800)는 테스트보드(TB)를 본체(200)에 결합시킨다. 이를 위해 도 6에서 참조되는 바와 같이 결합장치(800)는 한 쌍의 걸림부재(811, 812), 한 쌍의 구동부재(821, 822), 한 쌍의 이동원(831, 832)을 포함한다.The coupling device 800 couples the test board (TB) to the main body 200. To this end, as shown in FIG. 6, the coupling device 800 includes a pair of locking members 811 and 812, a pair of driving members 821 and 822, and a pair of moving sources 831 and 832.

한 쌍의 걸림부재(811, 812)는 테스트보드(TB)의 양단을 걸거나 걸림을 해제시키기 위해 상호 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 진퇴 가능하게 마련된다. 이를 위해 한 쌍의 걸림부재(811, 812)는 각각 상호 마주보는 방향으로 돌출된 걸림돌기(HP)를 가지며, 진퇴를 위한 구동력을 받는 구동돌기(DP)를 가진다. 그래서 구동돌기(DP)를 통해 구동력이 오면 도 4 및 도 5 간의 비교에서 참조되는 바와 같이 한 쌍의 걸림부재(811, 812)가 상호 가까워지거나 멀어지는 방향으로 진퇴되며, 이에 따라 걸림부재(811, 812)가 테스트보드(TB)를 걸거나 걸림을 해제한다.A pair of locking members 811 and 812 is provided so as to be able to advance and retreat so that the gap between them narrows or widens in order to lock or release the locking of both ends of the test board TB. To this end, the pair of locking members 811 and 812 each have a locking protrusion (HP) protruding in a direction facing each other, and a driving protrusion (DP) that receives a driving force for advancing and retreating. Therefore, when the driving force comes through the driving protrusion DP, as referenced in the comparison between FIGS. 4 and 5, the pair of locking members 811 and 812 advance and retreat in a direction that approaches or moves away from each other, and accordingly, the locking members 811, 812) hangs or unblocks the test board (TB).

한 쌍의 구동부재(821, 822)는 각각 한 쌍의 걸림부재(811, 812)를 진퇴시키기 위해 마련된다. 한 쌍의 구동부재(821, 822)는 한 쌍의 걸림부재(811, 812)가 진퇴하는 이동 방향에 수직한 방향으로 이동되도록 구비되며, 구동돌기(DP)가 삽입될 수 있는 구동구멍(DH)이 형성되어 있다. 여기서 구동구멍(DH)은 경사지게 형성되어 있어서 그 이동에 의해 구동돌기(DP)가 구동홈(DH)의 경사를 타고 미끄러짐으로써 한 쌍의 걸림부재(811, 812)가 진퇴하게 된다.A pair of driving members 821 and 822 are provided to advance and retreat a pair of locking members 811 and 812, respectively. A pair of driving members (821, 822) is provided to move in a direction perpendicular to the moving direction in which the pair of locking members (811, 812) advances and retreats, and has a driving hole (DH) into which the driving protrusion (DP) can be inserted. ) is formed. Here, the driving hole DH is formed at an angle, so that the driving protrusion DP slides along the slope of the driving groove DH due to its movement, thereby causing the pair of locking members 811 and 812 to advance and retreat.

이동원(531, 532)은 한 쌍의 구동부재(521, 522)를 이동시키는 이동력을 제공한다. 본 실시예에서는 이동원(531, 532)이 한 쌍의 구동부재(521, 522)를 각각 이동시키기 위한 2개의 실린더로 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 하나의 실린더로 한 쌍의 구동부재(521, 522)를 함께 이동시키도록 구현되거나, 모터와 같은 다른 구동수단으로 구현될 수도 있다. The moving sources 531 and 532 provide moving force to move the pair of driving members 521 and 522. In this embodiment, the moving sources 531 and 532 are provided with two cylinders for moving the pair of driving members 521 and 522, respectively. However, depending on the implementation, one cylinder is used to move the pair of driving members 521. , 522) may be implemented to move together, or may be implemented with other driving means such as a motor.

위의 구성들 외에도 본 발명에 따른 핸들러(HR)에는 공급배관(SP)에 결로 또는 결빙이 발생하는 것을 방지하기 위한 송풍팬이나, 제1 설치공간(IS1) 및 제2 설치공간(IS2)상에 결로 또는 결빙이 발생하는 것을 방지하기 위해 건조 공기를 분사하는 분사배관 및 건조공기 공급기가 추가적으로 더 구비될 수도 있다.In addition to the above configurations, the handler (HR) according to the present invention includes a blowing fan to prevent condensation or freezing in the supply pipe (SP), a first installation space (IS 1 ) and a second installation space (IS 2). ), a spray pipe for spraying dry air and a dry air supplier may be additionally provided to prevent condensation or freezing from occurring on the surface.

한편, 본 발명에 따른 핸들러(HR)는 전자부품과 테스트소켓(TS)을 전기적으로 연결시키기 위한 별도의 수단을 가지지 않는다. 그래서 도 7의 (a) 및 (b)의 개념도에서와 같이 테스트소켓(TS)이 전자부품(D)을 고정시키기 위한 고정기(FD)를 가지고 있다. 작업자는 테스트소켓(TS)에 전자부품(D)을 공급하거나 테스트소켓(TS)으로부터 전자부품(D)을 회수할 때에는 수작업으로 고정기(FD)를 조작하여, 도 7의 (b)의 상태에서와 같이 고정기(FD)에 의한 고정 상태를 해제시킨다. 물론, 작업자가 테스트소켓(TS)에 전자부품(D)을 공급하거나 테스트소켓(TS)으로부터 전자부품을 회수한 후에는 도 7의 (a)의 상태에서와 같이 고정기(FD)의 조작 상태를 해제시킴으로써 고정기(FD)가 전자부품(D)을 고정하는 상태로 되게 한다. 이 때, 테스트소켓(TS)에 전자부품(D)이 공급된 상태에서 고정기(FD)의 조작 상태가 해제되면, 도 7의 (a)에서와 같이 고정기(FD)는 전자부품(D)을 가압하여 전자부품(D)의 단자(T1)와 테스트소켓(TS)의 단자(T2)가 상호 전기적으로 연결된다. Meanwhile, the handler (HR) according to the present invention does not have a separate means for electrically connecting the electronic component and the test socket (TS). Therefore, as shown in the conceptual diagrams of Figures 7 (a) and (b), the test socket (TS) has a fixture (FD) for fixing the electronic component (D). When supplying electronic components (D) to the test socket (TS) or recovering electronic components (D) from the test socket (TS), the worker manually operates the fixture (FD), resulting in the state shown in (b) of Figure 7. As shown, the fixation state by the fixture (FD) is released. Of course, after the operator supplies the electronic component (D) to the test socket (TS) or retrieves the electronic component from the test socket (TS), the operating state of the fixture (FD) is as shown in (a) of FIG. By releasing, the fixer (FD) is brought into a state of fixing the electronic component (D). At this time, when the operation state of the fixture (FD) is released while the electronic component (D) is supplied to the test socket (TS), the fixture (FD) moves the electronic component (D) as shown in (a) of FIG. 7. ) is pressed, so that the terminal (T 1 ) of the electronic component (D) and the terminal (T 2 ) of the test socket (TS) are electrically connected to each other.

계속하여 위와 같은 핸들러(HR)의 작동방법에 대해 설명한다.We continue to explain how the above handler (HR) operates.

먼저, 초기에는 테스터(TESTER)와 본체(200)를 결합시킨다. 테스터(TESTER)와 본체(200)의 결합 작업은 궁극적으로 결합장치(800)를 작동시켜서 테스트보드(TB)를 본체(200)에 결합시킴으로서 완성된다. 이 후 승강기(300)를 작동시켜서 테스트챔버(100)를 상승시키고, 회전기(400)를 작동시켜서 테스트챔버(100)를 회전시킨다. 이와 같은 상태에서 작업자는 고정기(FD)를 조작하여 테스트되어야 할 전자부품(D)을 테스트소켓(TS)으로 공급한 후, 고정기(FD)의 조작 상태를 해제한다. 이어서 회전기(400)를 역으로 작동시킨 후, 승강기(300)도 역으로 작동시켜서 테스트챔버(100)를 하강시킨다. 이에 따라 테스트챔버(100)가 하강되면서 테스트챔버(100)에 의해 테스트보드(TB)가 밀폐되고, 제1 결합부재(514)와 제2 결합부재(524)는 서로 강하게 밀착되면서 LN2가스를 테스트챔버(100)의 내부로 공급하기 위한 유로가 연결된다. 이처럼 사전 준비가 완료되면, 작업자는 테스트 명령을 입력시키고, 해당 명령에 따라 핸들러(HR)는 테스트챔버(100)의 내부 온도 환경을 요구되는 온도 환경으로 조성한다. 만일 고온 테스트라면 가열장치(600)를 작동시키고, 저온 테스트라면 테스트챔버(100)의 내부로 LN2가스를 공급한다. 이렇게 함으로써 테스트챔버(100)의 내부(더 정확히는 전자부품의 온도)가 적절한 테스트를 위해 설정된 온도가 되면, 테스터(TESTER)에 의해 전자부품(D)에 대한 테스트가 진행된다.First, the tester and main body 200 are initially combined. The joining operation of the tester (TESTER) and the main body 200 is ultimately completed by operating the coupling device 800 to couple the test board (TB) to the main body 200. Afterwards, the elevator 300 is operated to raise the test chamber 100, and the rotator 400 is operated to rotate the test chamber 100. In this state, the operator operates the fixture (FD) to supply the electronic component (D) to be tested to the test socket (TS), and then releases the operating state of the fixture (FD). Next, the rotator 400 is operated in reverse, and the elevator 300 is also operated in reverse to lower the test chamber 100. Accordingly, as the test chamber 100 is lowered, the test board (TB) is sealed by the test chamber 100, and the first coupling member 514 and the second coupling member 524 are in strong contact with each other to test the LN2 gas. A flow path for supplying the inside of the chamber 100 is connected. Once the preliminary preparation is completed in this way, the operator inputs a test command, and according to the command, the handler (HR) creates the internal temperature environment of the test chamber 100 to the required temperature environment. If it is a high temperature test, the heating device 600 is operated, and if it is a low temperature test, LN2 gas is supplied into the test chamber 100. By doing this, when the inside of the test chamber 100 (more precisely, the temperature of the electronic component) reaches a temperature set for an appropriate test, the electronic component D is tested by the tester.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.As described above, the specific description of the present invention has been made by way of examples with reference to the accompanying drawings, but since the above-described embodiments are only explained by referring to preferred examples of the present invention, the present invention is limited to the above-mentioned examples. It should not be understood as limited, and the scope of rights of the present invention should be understood as the scope of the claims and equivalents described later.

HR : 전자부품 테스트용 핸들러
100 : 테스트챔버
200 : 본체
300 : 승강기
400 : 회전기
500 : 배관장치
512 : 주름관 513 : 제1 연결배관
514 : 제1 결합부재 515 : 탄성 스프링
523 : 제2 연결배관 524 : 제2 결합부재 800 : 결합장치
811, 812 : 걸림부재
821, 822 : 구동부재
831, 832 : 이동원
HR: Handler for electronic component testing
100: Test chamber
200: main body
300: elevator
400: Rotator
500: Piping device
512: Corrugated pipe 513: First connection pipe
514: first coupling member 515: elastic spring
523: second connection pipe 524: second coupling member 800: coupling device
811, 812: Locking member
821, 822: driving member
831, 832: Lee Dong-won

Claims (7)

내부에 전자부품을 수용할 수 있는 적어도 하나의 테스트챔버;
상기 테스트챔버가 설치되며, 테스트소켓이 설치된 테스트보드를 가진 테스터와 결합되는 본체;
상기 테스트챔버로 테스트되어야 할 전자부품을 반입시키거나 상기 테스트챔버로부터 테스트가 완료된 전자부품을 반출시키기 위해 상기 본체에 대하여 상대적으로 상기 테스트챔버를 승강시키는 승강기; 및
상기 테스트챔버 내부를 저온으로 유지시키기 위해 저온가스를 상기 테스트챔버의 내부로 공급하기 위한 배관장치;를 포함하고,
상기 배관장치는
상기 테스트챔버 측에 고정 설치되어서 상기 테스트챔버의 승강에 따라 함께 승강하는 제1 연결배관;
상기 제1 연결배관 측에 설치되는 제1 결합부재;
상기 본체 측에 고정 설치되는 제2 연결배관; 및
상기 제2 연결배관 측에 설치되어서 상기 제1 결합부재와 밀착되거나 떨어질 수 있는 제2 결합부재; 를 포함하며,
상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재는 상기 테스트챔버의 하강에 의해 상호 밀착됨으로써 저온가스가 상기 제2 연결배관을 통해 상기 제1 연결배관으로 갈 수 있도록 상기 제1 연결배관과 상기 제2 연결배관을 잇는 안정적인 유로를 형성시키는
전자부품 테스트용 핸들러.
At least one test chamber capable of accommodating electronic components therein;
a main body in which the test chamber is installed and coupled to a tester having a test board with a test socket installed;
an elevator that elevates the test chamber relative to the main body to bring in electronic components to be tested into the test chamber or to take out electronic components that have been tested from the test chamber; and
It includes a piping device for supplying low-temperature gas to the interior of the test chamber to maintain the interior of the test chamber at a low temperature,
The piping device is
a first connection pipe that is fixedly installed on the test chamber side and moves up and down as the test chamber goes up and down;
A first coupling member installed on the first connection pipe side;
a second connection pipe fixedly installed on the main body; and
a second coupling member installed on the second connection pipe and capable of being in close contact with or separate from the first coupling member; Includes,
The first coupling member and the second coupling member are brought into close contact with each other by the lowering of the test chamber so that low-temperature gas can go to the first connection pipe through the second connection pipe. Forming a stable flow path connecting connecting pipes
Handler for testing electronic components.
제1 항에 있어서,
상기 승강기에 의해 상승된 상태에 있는 상기 테스트챔버를 회전시킬 수 있는 회전기; 를 더 포함하는
전자부품 테스트용 핸들러.
According to claim 1,
a rotator capable of rotating the test chamber in an elevated state by the elevator; containing more
Handler for testing electronic components.
삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 결합부재를 상하 방향으로 다소 유동 가능하도록 상기 제1 결합부재를 탄성 지지하는 탄성부재; 를 더 포함하는
전자부품 테스트용 핸들러.
According to claim 1,
an elastic member that elastically supports the first coupling member so that the first coupling member can move somewhat in an up and down direction; containing more
Handler for testing electronic components.
제1 항에 있어서,
상기 배관장치는 외력 또는 열수축이나 열팽창에 의한 휘어짐 및 복원이 가능하도록 주름배관을 포함하는
전자부품 테스트용 핸들러.
According to claim 1,
The piping device includes corrugated piping to enable bending and restoration due to external force or thermal contraction or thermal expansion.
Handler for testing electronic components.
내부에 전자부품을 수용할 수 있는 적어도 하나의 테스트챔버;
상기 테스트챔버가 설치되며, 테스트소켓이 설치된 테스트보드를 가진 테스터와 결합되는 본체;
상기 테스트챔버로 테스트되어야 할 전자부품을 반입시키거나 상기 테스트챔버로부터 테스트가 완료된 전자부품을 반출시키기 위해 상기 본체에 대하여 상대적으로 상기 테스트챔버를 승강시키는 승강기;
상기 테스트챔버 내부를 저온으로 유지시키기 위해 저온가스를 상기 테스트챔버의 내부로 공급하기 위한 배관장치; 및
상기 테스트보드를 상기 본체에 결합시키기 위한 결합장치;를 포함하고,
상기 결합장치는,
상기 테스트보드의 양단을 걸거나 걸림을 해제시키기 위해 상호 간의 간격이 좁아지거나 넓어지도록 진퇴 가능하게 마련되며, 진퇴를 위한 구동력을 받는 구동돌기를 가지는 한 쌍의 걸림부재;
상기 걸림부재의 이동 방향에 수직한 방향으로 이동되도록 구비되며, 상기 구동돌기가 삽입될 수 있는 구동홈이 경사지게 형성되어 있어서 그 이동에 의해 상기 구동돌기가 상기 구동홈의 경사를 타고 미끄러짐으로써 상기 한 쌍의 걸림부재가 진퇴하도록 되어 있는 한 쌍의 구동부재; 및
상기 한 쌍의 구동부재를 이동시키는 이동력을 제공하는 이동원; 을 포함하는
전자부품 테스트용 핸들러.
At least one test chamber capable of accommodating electronic components therein;
a main body in which the test chamber is installed and coupled to a tester having a test board with a test socket installed;
an elevator that elevates the test chamber relative to the main body to bring in electronic components to be tested into the test chamber or to take out electronic components that have been tested from the test chamber;
a piping device for supplying low-temperature gas into the test chamber to maintain the inside of the test chamber at a low temperature; and
Includes a coupling device for coupling the test board to the main body,
The coupling device is,
A pair of locking members that can advance and retreat so that the gap between them narrows or widens in order to lock or unlock both ends of the test board, and have a driving protrusion that receives a driving force for advancing and retreating;
It is provided to move in a direction perpendicular to the moving direction of the locking member, and the driving groove into which the driving protrusion can be inserted is formed at an angle, so that the driving protrusion slides along the inclination of the driving groove due to the movement of the driving protrusion. A pair of driving members in which the pair of locking members advances and retreats; and
a moving source that provides a moving force to move the pair of driving members; containing
Handler for testing electronic components.
KR1020190026235A 2019-03-07 2019-03-07 Handler for testing electronic devices KR102674152B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026235A KR102674152B1 (en) 2019-03-07 2019-03-07 Handler for testing electronic devices
KR1020240022885A KR102674140B1 (en) 2019-03-07 2024-02-16 Handler for testing electronic devices

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026235A KR102674152B1 (en) 2019-03-07 2019-03-07 Handler for testing electronic devices

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020240022885A Division KR102674140B1 (en) 2019-03-07 2024-02-16 Handler for testing electronic devices

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200107308A KR20200107308A (en) 2020-09-16
KR102674152B1 true KR102674152B1 (en) 2024-06-12

Family

ID=72670129

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190026235A KR102674152B1 (en) 2019-03-07 2019-03-07 Handler for testing electronic devices
KR1020240022885A KR102674140B1 (en) 2019-03-07 2024-02-16 Handler for testing electronic devices

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020240022885A KR102674140B1 (en) 2019-03-07 2024-02-16 Handler for testing electronic devices

Country Status (1)

Country Link
KR (2) KR102674152B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100756850B1 (en) 2006-09-20 2007-09-07 미래산업 주식회사 Handler for testing electronic parts
JP2013167474A (en) 2012-02-14 2013-08-29 Seiko Epson Corp Handler and component inspection apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW533317B (en) * 1999-01-11 2003-05-21 Advantest Corp Testing device for electronic device substrate
KR102024943B1 (en) * 2013-07-17 2019-09-25 미래산업 주식회사 In-line Test Handler and Method for Controlling Moving of Test Tray in In-line Test Handler
KR102024946B1 (en) * 2013-08-08 2019-09-25 미래산업 주식회사 In-line Test Handler
KR102640942B1 (en) * 2016-07-07 2024-02-27 (주)테크윙 Test tray of handler for testing electronic devices
KR102664951B1 (en) * 2016-09-09 2024-05-10 (주)테크윙 Handler for testing electronic devices
KR20180077451A (en) * 2016-12-29 2018-07-09 (주)테크윙 Handling system for testing electronic devices
KR102359420B1 (en) * 2017-04-25 2022-02-09 (주)테크윙 Handler for testing electronic components
KR102455590B1 (en) * 2017-07-12 2022-10-19 (주)테크윙 Hander for testing electronic components

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100756850B1 (en) 2006-09-20 2007-09-07 미래산업 주식회사 Handler for testing electronic parts
JP2013167474A (en) 2012-02-14 2013-08-29 Seiko Epson Corp Handler and component inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20240026476A (en) 2024-02-28
KR102674140B1 (en) 2024-06-12
KR20200107308A (en) 2020-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100825781B1 (en) Test handler for testing semiconductor device having thermal isolator and test method of semiconductor device using the same
JP2002303650A (en) Index head of semiconductor element test handler
JPWO2007010610A1 (en) Pusher, pusher unit and semiconductor test equipment
US6956392B2 (en) Heat transfer apparatus for burn-in board
KR20150083038A (en) Substrate inspection apparatus and probe card transferring method
JPWO2006132064A1 (en) Adapter, interface device provided with the adapter, and electronic component testing apparatus
KR102674140B1 (en) Handler for testing electronic devices
WO2004109305A1 (en) Transportation device, electronic component-handling device, and transportation method in electronic component-handling device
KR101970301B1 (en) Apparatus for testing wafer
US7667453B2 (en) Test tray for test handler
JP2022508291A (en) Load port module
JP4523513B2 (en) Substrate delivery apparatus, substrate delivery method and storage medium
US9632132B2 (en) Test device for testing a flat module
TW201908754A (en) Inspection device, inspection system and position alignment method
JP2000138479A (en) Carrier for module ic handler
KR100428031B1 (en) Handler for testing semi-conductor devices
CN212048491U (en) Clamping tool
KR102538847B1 (en) Vacuum chuck
JP3917138B2 (en) Pod clamp unit of pod opener, pod clamp mechanism and clamping method using the pod clamp unit
TWI534946B (en) Plasma processing device
US10910785B2 (en) Connector-connecting jig
US10871507B2 (en) Semiconductor device handler with chuck clamp interlock
JP7169899B2 (en) socket
JP2012198240A (en) Pusher, pusher unit and semiconductor testing device
KR100806373B1 (en) Structure for Fixing a Buffer in Semiconductor Test Handler

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right