KR102635102B1

KR102635102B1 - apparatus for lifting panel of automatic optical inspection machine for surface of panel

Info

Publication number: KR102635102B1
Application number: KR1020210131652A
Authority: KR
Inventors: 고영광
Original assignee: 고영광
Priority date: 2021-10-05
Filing date: 2021-10-05
Publication date: 2024-02-07
Also published as: KR20230048796A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널이 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 구비되고, 광학 검사기로 이동되는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트를 상기 하부 플레이트에 이격되게 지지하는 고정 포스트; 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트; 상기 중부 플레이트에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트를 관통하여 상기 패널에 접촉되는 서포트 핀; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 중부 플레이트를 승하강시켜 상기 서포트 핀의 단부에 접촉된 상기 패널을 승하강시키는 슬라이딩 모듈; 및 상기 상부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 패널을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈; 을 포함한다.A panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention includes an upper plate on which a panel is disposed; a lower plate provided below the upper plate and moved to an optical inspection device; a fixing post provided on the lower plate and supporting the upper plate to be spaced apart from the lower plate; a central plate provided between the upper plate and the lower plate and raised and lowered in an upward and downward direction; a support pin provided on the central plate, the end of which penetrates the upper plate and contacts the panel; a sliding module provided on the lower plate and lifting and lowering the central plate to raise and lower the panel in contact with an end of the support pin; and a panel alignment module provided on the upper plate and aligning the panels placed on the upper plate in the front-to-back direction. Includes.

Description

Panel lifting device for panel surface inspection device {apparatus for lifting panel of automatic optical inspection machine for surface of panel}

본 발명은 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 관한 것으로, 패널을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널의 사이즈에 따라 패널을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a panel lifting device for a panel surface inspection device, and to a panel lifting device for a panel surface inspection device that can stably seat a panel, lift it to an accurate position, and accurately align the panel according to the size of the panel. will be.

광학 검사기는 디스플레이 패널, 글라스, 웨이퍼, 기판 등(이하, '패널(P)')의 표면을 머신 비전으로 촬영하여 표면의 찍힘, 스크래치, 파손 등의 불량(이하, '불량')을 검사하는 패널 표면 검사장치이다.An optical inspection device photographs the surface of a display panel, glass, wafer, substrate, etc. (hereinafter referred to as “panel (P)”) using machine vision to inspect defects such as nicks, scratches, and damage on the surface (hereinafter referred to as “defects”). It is a panel surface inspection device.

도 1에는 광학 검사기(A)로 패널(P)을 이송하는 시스템이 도시되어 있다. 핸들러(H)가 패널(P)이 적재된 공급부(미도시)로부터 패널(P)을 이송 받아 스테이지 유닛(S)에 안착시킨다. 스테이지 유닛(S)은 안착된 패널(P)을 광학 검사기(A)로 이송시킨 후 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향시킨다. 머신 비전(V)은 이송된 패널(P)의 표면을 촬영하여, 표면의 불량을 검사한다.Figure 1 shows a system for transferring a panel (P) to an optical inspection machine (A). The handler (H) receives the panel (P) from a supply unit (not shown) loaded with the panel (P) and places it on the stage unit (S). The stage unit (S) transfers the seated panel (P) to the optical inspection machine (A) and then opposes the machine vision (V) of the optical inspection machine (A). Machine vision (V) photographs the surface of the transferred panel (P) and inspects the surface for defects.

여기서, 핸들러(H)가 패널(P)을 스테이지 유닛(S)에 안착시킬 때, 패널(P)의 하중으로 인해 패널(P)이 파손될 수도 있으므로, 패널(P)은 안정적으로 안착시켜야 한다.Here, when the handler (H) seats the panel (P) on the stage unit (S), the panel (P) may be damaged due to the load of the panel (P), so the panel (P) must be stably seated.

이후, 패널(P) 표면의 촬영을 위해 패널(P)을 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향시켜야 하는데, 이 경우 패널(P)을 상부 방향으로 승강시켜 패널(P)을 머신 비전(V)에 대향시킨다. Afterwards, in order to photograph the surface of the panel (P), the panel (P) must be opposed to the machine vision (V) of the optical inspection machine (A). In this case, the panel (P) is lifted upward and the panel (P) is placed on the machine. Opposite it to Vision (V).

이때, 패널(P)이 정확한 위치로 승강되어야 하는데, 스테이지 유닛(S)을 승강시키는 경우 스테이지 유닛(S) 및 패널(P)의 하중 및 사이즈에 따라 정확한 위치로 승강되지 않으므로, 패널(P)을 정확한 위치로 승강시킬 수 있는 장치의 개발이 필요한 실정이다. At this time, the panel (P) must be lifted to the correct position, but when the stage unit (S) is lifted, it is not lifted to the correct position depending on the load and size of the stage unit (S) and the panel (P), so the panel (P) There is a need to develop a device that can elevate to an accurate position.

또한, 패널(P)이 스테이지 유닛(S)에 안착될 때 패널(P)의 사이즈에 따라 패널(P)이 스테이지 유닛(S)에 특정 위치에 정확히 정렬되어야 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 촬영할 수 있다.In addition, when the panel (P) is seated on the stage unit (S), depending on the size of the panel (P), the panel (P) must be accurately aligned at a specific position on the stage unit (S) to detect the panel (P) from the optical inspector (A). ) can be photographed accurately.

특히, 패널(P)의 면적(m²)이 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')의 경우에 따라, 각 패널(P)의 위치가 스테이지 유닛(S)에 정확하게 정렬되어야 한다. In particular, depending on the case, the area (m ² ) of the panel (P) is the original size, 1/2 the size of the original (hereinafter, 'half size'), or 1/2 the size of the half size (hereinafter, 'quarter size'). , the position of each panel (P) must be accurately aligned with the stage unit (S).

따라서, 패널(P)을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널(P)의 사이즈에 따라 패널(P)을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 개발이 필요한 실정이다. Therefore, there is a need to develop a panel lifting device for a panel surface inspection device that can stably seat the panel (P), lift it to an accurate position, and accurately align the panel (P) according to the size of the panel (P). .

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 패널을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널의 사이즈에 따라 패널을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치를 제공하는데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a panel lifting device for a panel surface inspection device that can stably seat a panel, lift it to an accurate position, and accurately align the panel according to the size of the panel.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널이 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 구비되고, 광학 검사기로 이동되는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트를 상기 하부 플레이트에 이격되게 지지하는 고정 포스트; 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트; 상기 중부 플레이트에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트를 관통하여 상기 패널에 접촉되는 서포트 핀; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 중부 플레이트를 승하강시켜 상기 서포트 핀의 단부에 접촉된 상기 패널을 승하강시키는 슬라이딩 모듈; 및 상기 상부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 패널을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈; 을 포함한다.A panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention to solve the above problem includes an upper plate on which a panel is disposed; a lower plate provided below the upper plate and moved to an optical inspection machine; a fixing post provided on the lower plate and supporting the upper plate to be spaced apart from the lower plate; a central plate provided between the upper plate and the lower plate and raised and lowered in an upward and downward direction; a support pin provided on the central plate, the end of which penetrates the upper plate and contacts the panel; a sliding module provided on the lower plate and lifting and lowering the central plate to raise and lower the panel in contact with an end of the support pin; and a panel alignment module provided on the upper plate and aligning the panels placed on the upper plate in the front-to-back direction. Includes.

또한, 상기 슬라이딩 모듈은, 상기 하부 플레이트에 구비되는 구동부; 상기 구동부에 연결되고 상기 구동부에 의해 전후 방향으로 이동되는 메인 로드; 상기 메인 로드의 단부에 결합되고 상기 메인 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 연결 로드; 상부에 경사면이 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되고 상기 연결 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 전후진 유닛; 및 상기 중부 플레이트에 결합되고 상기 경사면에 구비되어, 상기 경사면을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 유닛; 을 포함할 수 있다.In addition, the sliding module includes a driving unit provided on the lower plate; a main rod connected to the driving unit and moved forward and backward by the driving unit; a connecting rod coupled to an end of the main rod and moving in a forward and backward direction together with the main rod; a forward and backward unit having an inclined surface formed at the top, coupled to the connecting rod, and moving in a forward and backward direction together with the connecting rod; and a sliding unit coupled to the central plate and provided on the inclined surface to slide along the inclined surface. may include.

또한, 상기 전후진 유닛은, 상기 경사면이 상부에 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되는 전후진 바디; 상기 하부 플레이트에 결합되는 전후진 레일; 상기 전후진 바디의 하부에 결합되는 전후진 플레이트; 및 상기 전후진 플레이트와 상기 전후진 레일 사이에 구비되어, 상기 전후진 플레이트를 전후 방향으로 이동시키는 전후진 엘엠; 을 포함할 수 있다. In addition, the forward and backward unit includes: a forward and backward body having the inclined surface formed on an upper portion and coupled to the connecting rod; Forward and backward rails coupled to the lower plate; a forward and backward plate coupled to the lower portion of the forward and backward body; and a forward/backward LM provided between the forward/backward plate and the forward/backward rail to move the forward/backward plate in the forward/backward direction. may include.

또한, 상기 슬라이딩 유닛은, 상기 경사면에 구비되는 슬라이딩 레일; 상기 중부 플레이트에 결합되는 슬라이딩 브라켓; 및 상기 슬라이딩 브라켓과 상기 슬라이딩 레일 사이에 구비되어, 상기 슬라이딩 브라켓을 상기 경사면에 슬라이딩시키는 슬라이딩 엘엠; 을 포함할 수 있다. In addition, the sliding unit includes a sliding rail provided on the inclined surface; A sliding bracket coupled to the central plate; and a sliding LM provided between the sliding bracket and the sliding rail to slide the sliding bracket on the inclined surface. may include.

또한, 상기 슬라이딩 브라켓은, 상기 슬라이딩 엘엠에 결합되는 엘엠 결합부; 및 상기 엘엠 결합부로부터 절곡되고 상기 하부 플레이트에 수평하게 배치되고, 상기 중부 플레이트가 결합되는 플레이트 결합부; 를 포함할 수 있다. In addition, the sliding bracket includes an LM coupling portion coupled to the sliding LM; and a plate coupling portion bent from the LM coupling portion and disposed horizontally on the lower plate, to which the central plate is coupled. may include.

또한, 상기 패널 정렬 모듈은, 제1패널 및 제2패널이 배치된 상기 상부 플레이트에 고정 결합되는 정렬 고정 프레임; 상기 정렬 고정 프레임에 결합되는 정렬 승하강 유닛; 상기 정렬 승하강 유닛에 고정 결합되어 승하강되는 정렬 승하강 프레임; 상기 정렬 승하강 프레임의 일측에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제1패널을 이동시키는 전방 정렬 유닛; 및 상기 정렬 승하강 프레임의 타측에 구비되고, 상기 전방 정렬 유닛의 반대편에 배치되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제2패널을 이동시키는 후방 정렬 유닛; 을 포함할 수 있다. In addition, the panel alignment module includes an alignment fixing frame fixedly coupled to the upper plate on which the first and second panels are arranged; An alignment elevating and lowering unit coupled to the alignment fixing frame; an alignment elevating and lowering frame that is fixedly coupled to the alignment elevating and lowering unit to be raised and lowered; a front alignment unit provided on one side of the alignment elevating and lowering frame and moving the first panel disposed on the upper plate; and a rear alignment unit provided on the other side of the alignment elevating and lowering frame, disposed on the opposite side of the front alignment unit, and moving the second panel disposed on the upper plate. may include.

또한, 상기 전방 정렬 유닛은, 상기 상부 플레이트에 노출되고 상기 제1패널을 이동시키는 전방 헤드; 상기 전방 헤드가 구비되는 전방 브라켓; 상기 정렬 승하강 프레임에 결합되고 상기 전방 브라켓을 전후진시키는 전방 푸쉬 유닛; 및 상기 전방 브라켓과 상기 전방 푸쉬 유닛 사이에 구비되는 전방 브릿지; 를 포함할 수 있다. Additionally, the front alignment unit may include a front head exposed to the upper plate and moving the first panel; A front bracket equipped with the front head; a front push unit coupled to the alignment elevating and lowering frame and moving the front bracket forward and backward; and a front bridge provided between the front bracket and the front push unit; may include.

또한, 상기 전방 푸쉬 유닛은, 상기 정렬 승하강 프레임에 고정 결합되는 전방 푸쉬 바디; 및 상기 전방 푸쉬 바디에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 전방 브릿지에 결합되는 전방 푸쉬 피스톤; 을 포함할 수 있다. In addition, the front push unit includes a front push body fixedly coupled to the alignment elevating and lowering frame; and a front push piston coupled to the front push body in a forward and backward manner and coupled to the front bridge. may include.

또한, 상기 후방 정렬 유닛은, 상기 상부 플레이트에 노출되고 상기 제2패널을 이동시키는 후방 헤드; 상기 후방 헤드가 구비되는 후방 브라켓; 및 상기 정렬 승하강 프레임에 결합되고 상기 후방 브라켓을 전후진시키는 후방 푸쉬 유닛; 을 포함할 수 있다. Additionally, the rear alignment unit includes a rear head exposed to the upper plate and moving the second panel; a rear bracket equipped with the rear head; And a rear push unit coupled to the alignment elevating frame and moving the rear bracket forward and backward; may include.

또한, 상기 후방 푸쉬 유닛은, 상기 정렬 승하강 프레임에 고정 결합되는 후방 푸쉬 바디; 및 상기 후방 푸쉬 바디에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 후방 브라켓에 결합되는 후방 푸쉬 피스톤; 을 포함할 수 있다. In addition, the rear push unit includes a rear push body fixedly coupled to the alignment elevating and lowering frame; and a rear push piston coupled to the rear push body in a forward and backward manner and coupled to the rear bracket. may include.

본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 의하면, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상하 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승하강되므로, 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.According to the panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention, the support pin 23 provided on the central plate 20 is precisely raised and lowered in a stable and accurate position in the vertical direction, so that the panel (P ) When approaching the upper plate (10), the support pin (23) is lifted upward so that the end of the support pin (23) can stably contact the lower surface of the panel (P) to support the panel (P). do.

또한, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 검사 시, 중부 플레이트(20)가 정확한 위치로 정밀하게 승강되어 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 패널(P)을 사용자가 기설정한 정확한 위치로 정밀하게 승강시킬 수 있게 된다. In addition, when inspecting the surface of the panel (P) with the optical inspection machine (A), the central plate (20) is precisely lifted to the correct position and the panel (P) in contact with the end of the support pin (23) is preset by the user. It is possible to precisely elevate and lower the vehicle to the exact location.

또한, 슬라이딩 모듈(40)이 간단한 구조로 구성되어, 공간 활용성을 높이고 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트 사이(30)의 이격 공간을 슬림(slim)하게 구성할 수 있다. In addition, the sliding module 40 has a simple structure, which improves space utilization and allows the separation space between the upper plate 10 and the lower plate 30 to be slim.

또한, 패널 정렬 모듈(60)이 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 각각 후방 및 전방으로 기설정된 위치에 정확히 정렬시켜, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다. In addition, the panel alignment module 60 accurately aligns the first panel (P1) and the second panel (P2) to preset positions rearward and forward, respectively, so that the surface of the panel (P) can be accurately aligned in the optical inspection device (A). It becomes possible to inspect.

도 1은 광학 검사기(A)로 패널(P)을 이송하는 시스템 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 일부 분해사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 중부 플레이트(20) 및 하부 플레이트(30)의 분해사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 슬라이딩 모듈(40)의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 상부 방향으로 승강할 때 동작도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 하부 방향으로 하강할 때 동작도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 측면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)의 동작도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)의 동작도이다. 1 is a schematic diagram of a system for transferring a panel (P) to an optical inspection machine (A).
Figure 2 is a perspective view of a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a partial exploded perspective view of a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an exploded perspective view of the middle plate 20 and the lower plate 30 shown in FIG. 3.
FIG. 5 is a perspective view of the sliding module 40 shown in FIG. 4.
Figure 6 is a front view of a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is an operation diagram when the central plate 20 is lifted upward according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is an operation diagram when the central plate 20 is lowered in the downward direction according to an embodiment of the present invention.
Figure 9 is a perspective view of the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is a plan view of the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention.
Figure 11 is a side view of the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention.
Figure 12 is an operation diagram of the front alignment unit 613 according to an embodiment of the present invention.
Figure 13 is an operational diagram of the rear alignment unit 614 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms. The present embodiments are merely provided to ensure that the disclosure of the present invention is complete and to be understood by those skilled in the art. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 도면부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, with reference to the attached drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The same reference numerals in each drawing indicate the same member.

이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 6.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 일부 분해사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 중부 플레이트(20) 및 하부 플레이트(30)의 분해사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 슬라이딩 모듈(40)의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 정면도이다.Figure 2 is a perspective view of a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a partial exploded perspective view of a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is an exploded perspective view of the central plate 20 and the lower plate 30 shown in FIG. 3, FIG. 5 is a perspective view of the sliding module 40 shown in FIG. 4, and FIG. 6 is an exploded perspective view of the middle plate 20 and the lower plate 30 shown in FIG. This is a front view of the panel lifting device for the panel surface inspection device.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널(P)이 배치되는 상부 플레이트(10), 상기 상부 플레이트(10)의 하부에 구비되고, 광학 검사기(A)로 이동되는 하부 플레이트(30), 상기 하부 플레이트(30)에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)를 상기 하부 플레이트(30)에 이격되게 지지하는 고정 포스트(31), 상기 상부 플레이트(10)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트(20), 상기 중부 플레이트(20)에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트(10)를 관통하여 상기 패널(P)에 접촉되는 서포트 핀(23), 상기 하부 플레이트(30)에 구비되고, 상기 중부 플레이트(20)를 승하강시켜 상기 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 상기 패널(P)을 승하강시키는 슬라이딩 모듈(40), 및 상기 중부 플레이트(20)에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 패널(P)을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈(60)을 포함한다. 2 to 6, a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention includes an upper plate 10 on which a panel P is disposed, and a lower portion of the upper plate 10. A lower plate 30 is moved to the optical inspection machine (A), a fixing post 31 is provided on the lower plate 30 and supports the upper plate 10 at a distance from the lower plate 30, A central plate 20 is provided between the upper plate 10 and the lower plate 30 and rises and lowers in the upper and lower directions, and is provided on the central plate 20, and has an end penetrating the upper plate 10. A support pin 23 in contact with the panel P, provided on the lower plate 30, and a panel P in contact with an end of the support pin 23 by raising and lowering the central plate 20. It includes a sliding module 40 that raises and lowers, and a panel alignment module 60 provided on the middle plate 20 and aligning the panel P disposed on the upper plate 10 in the front-back direction. .

상부 플레이트(10)는 외관을 형성한다. 상부 플레이트(10)에는 패널(P)이 배치될 수 있다. 패널(P)은 디스플레이 패널, 글라스, 웨이퍼, 기판 등으로 실시될 수 있고, 이하에서 패널(P)은 디스플레이 패널로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. 패널(P)의 표면에는 찍힘, 스크레치, 파손, 액정 깨짐, 크랙 등의 불량(이하, '불량')이 발생될 수 있다. The top plate 10 forms the exterior. A panel (P) may be placed on the upper plate 10. The panel P may be implemented as a display panel, glass, wafer, substrate, etc. Hereinafter, the panel P will be described as being implemented as a display panel, but the embodiment is not limited thereto. Defects (hereinafter referred to as ‘defects’) such as dents, scratches, damage, broken liquid crystal, and cracks may occur on the surface of the panel P.

패널(P)은 실시예에 따라 다양한 면적으로 실시될 수 있다. 패널(P)의 면적(m²)은 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.The panel P may have various areas depending on the embodiment. The area (m ² ) of the panel (P) can be implemented in the original size, 1/2 the size of the original (hereinafter, 'half size'), or 1/2 the size of the half size (hereinafter, 'quarter size'). The embodiment is not limited thereto.

하부 플레이트(30)는 외관을 형성한다. 하부 플레이트(30)는 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다. 하부 플레이트(30)는 이송부(T)에 연결될 수 있다. 하부 플레이트(30)는 이송부(T)에 의해 패널(P)의 표면을 검사하는 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다. 본 발명의 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는 이송부(T)에 의해 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다. The lower plate 30 forms the exterior. The lower plate 30 can be moved to the optical inspection machine (A). The lower plate 30 may be connected to the transfer unit (T). The lower plate 30 can be moved by the transfer unit T to the optical inspection machine A that inspects the surface of the panel P. The panel lifting device for the panel surface inspection device of the present invention can be moved to the optical inspection machine (A) by the transfer unit (T).

고정 포스트(31)는 하부 플레이트(30)에 구비된다. 고정 포스트(31)는 하부 플레이트(30)에 수직하게 고정 구비될 수 있다. 고정 포스트(31)는 상부 플레이트(10)를 하부 플레이트(30)에 이격되게 지지한다. 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(30) 사이에는 이격 공간이 형성될 수 있다. The fixing post 31 is provided on the lower plate 30. The fixing post 31 may be fixed perpendicular to the lower plate 30. The fixing post 31 supports the upper plate 10 to be spaced apart from the lower plate 30. A space may be formed between the upper plate 10 and the lower plate 30.

중부 플레이트(20)는 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(30) 사이에 구비된다. 중부 플레이트(20)는 상술한 이격 공간에 구비될 수 있다. The central plate 20 is provided between the upper plate 10 and the lower plate 30. The central plate 20 may be provided in the above-mentioned space.

중부 플레이트(20)는 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. 여기서, 상하부 방향은 도 2에 도시된 Z축 방향으로 정의한다. Z축을 기준으로 상부 방향으로 이동되는 경우는 승강, 하부 방향으로 이동되는 경우는 하강으로 정의한다. 이 경우, 중부 플레이트(20)는 후술하는 슬라이딩 모듈(40)에 의해 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. The central plate 20 can be moved up and down. Here, the upper and lower directions are defined as the Z-axis direction shown in FIG. 2. Based on the Z-axis, movement in the upward direction is defined as elevation, and movement in the downward direction is defined as descent. In this case, the central plate 20 can be raised and lowered in the up and down direction by the sliding module 40, which will be described later.

서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 구비된다. 서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 수직하게 고정 구비될 수 있다. 서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 돌출되게 구비된다. The support pin 23 is provided on the central plate 20. The support pin 23 may be fixed perpendicular to the central plate 20. The support pin 23 is provided to protrude from the central plate 20.

서포트 핀(23)은 단부가 상부 플레이트(10)를 관통한다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 서포트 핀(23)의 단부가 관통되는 서포트 핀홀(11)이 개구되게 형성될 수 있다. 서포트 핀(23)은 상부 플레이트(10)에 상하방향으로 승하강될 수 있다. The support pin 23 has an end that penetrates the upper plate 10. In this case, the upper plate 10 may be formed with an open support pin hole 11 through which the end of the support pin 23 passes. The support pin 23 can be raised and lowered on the upper plate 10 in the vertical direction.

서포트 핀(23)의 단부에는 패널(P)이 접촉된다. 서포트 핀(23)의 단부에는 패널(P)의 하면이 접촉되어, 패널(P)을 지지할 수 있다. 즉, 배경기술에서 상술한 핸들러(H)가 본 발명의 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 패널(P)을 안착시킬 때, 서포트 핀(23)의 단부에 패널(P)이 접촉되어 지지될 수 있다. The panel P is in contact with the end of the support pin 23. The lower surface of the panel P is in contact with the end of the support pin 23, so that the panel P can be supported. That is, when the handler (H) described above in the background technology seats the panel (P) on the panel lifting device for the panel surface inspection device of the present invention, the panel (P) is supported by contacting the end of the support pin 23. You can.

슬라이딩 모듈(40)은 하부 플레이트(30)에 구비된다. 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 상하부 방향으로 승하강시킬 수 있다.The sliding module 40 is provided on the lower plate 30. The sliding module 40 can move the central plate 20 up and down.

슬라이딩 모듈(40)은 서포트 핀(23)을 승하강시킬 수 있다. 즉, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 승하강시켜, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)을 승하강시킬 수 있다. 이때, 슬라이딩 모듈(40)은 서포트 핀(23)을 승하강시켜, 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 패널(P)을 승하강시킬 수 있다. The sliding module 40 can raise and lower the support pin 23. That is, the sliding module 40 can raise and lower the central plate 20 and raise and lower the support pin 23 provided on the central plate 20. At this time, the sliding module 40 can raise and lower the support pin 23 to raise and lower the panel P in contact with the end of the support pin 23.

슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 승강시켜, 중부 플레이트(20)를 상부 플레이트(10)로 접근시킬 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)의 단부를 패널(P)에 접촉시킬 수 있다.The sliding module 40 can lift the middle plate 20 to bring the middle plate 20 closer to the upper plate 10. In this case, the sliding module 40 may contact the end of the support pin 23 provided on the central plate 20 to the panel P.

또한, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 하강시켜, 중부 플레이트(20)를 하부 플레이트(30)로 접근시킬 수 있다. 이 경우, 서포트 핀(23)에 접촉된 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 안착되게 배치될 수 있다. Additionally, the sliding module 40 can lower the middle plate 20 to bring the middle plate 20 closer to the lower plate 30. In this case, the panel P in contact with the support pin 23 may be arranged to be seated on the upper plate 10.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 모듈(40)은 상기 하부 플레이트(30)에 구비되는 구동부(41), 상기 구동부(41)에 연결되고 상기 구동부(41)에 의해 전후 방향으로 이동되는 메인 로드(42), 상기 메인 로드(42)의 단부에 결합되고 상기 메인 로드(42)와 함께 전후 방향으로 이동되는 연결 로드(43), 상부에 경사면(445a)이 형성되고, 상기 연결 로드(43)에 결합되고 상기 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동되는 전후진 유닛(44), 및 상기 중부 플레이트(20)에 결합되고 상기 경사면(445a)에 구비되어, 상기 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 유닛(45)을 포함한다.Here, the sliding module 40 according to an embodiment of the present invention includes a driving unit 41 provided on the lower plate 30, connected to the driving unit 41, and moved in the forward and backward directions by the driving unit 41. A main rod 42, a connecting rod 43 coupled to the end of the main rod 42 and moving in the front and rear direction together with the main rod 42, an inclined surface 445a formed at the top, and the connecting rod ( 43) and a forward and backward unit 44 that moves in the front and rear direction together with the connecting rod 43, and is coupled to the central plate 20 and is provided on the inclined surface 445a, forming the inclined surface 445a. It includes a sliding unit 45 that slides along.

구동부(41)는 하부 플레이트(30)에 구비된다. 구동부(41)는 공압 실린더, 유압 실린더, 서보 실린더 중 어느 하나로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.The driving unit 41 is provided on the lower plate 30. The driving unit 41 may be implemented as any one of a pneumatic cylinder, a hydraulic cylinder, and a servo cylinder, but the embodiment is not limited thereto.

메인 로드(42)는 구동부(41)에 연결된다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 전후 방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 전후 방향은 도 2에 도시된 X축 방향으로 정의한다. 이 경우, X축을 기준으로 전방으로 이동되는 경우는 전진, 후방으로 이동되는 경우는 후진으로 정의한다.The main rod 42 is connected to the driving unit 41. The main rod 42 can be moved forward and backward by the driving unit 41. Here, the front-back direction is defined as the X-axis direction shown in FIG. 2. In this case, moving forward relative to the X-axis is defined as forward, and moving backward is defined as backward.

연결 로드(43)는 메인 로드(42)의 단부에 결합된다. 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 전후 방향으로 이동된다. 연결 로드(43)는 메인 로드(42)를 기준으로 양측에 대칭되는 위치에 각각 구비될 수 있다. 이 경우, 메인 로드(42)를 기준으로 연결 로드(43)는 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)로 정의된다. 이하에서는 제1연결 로드(431)를 연결 로드(43)로 설명하며, 제2연결 로드(432)는 제1연결 로드(431)와 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.The connecting rod 43 is coupled to the end of the main rod 42. The connecting rod 43 moves forward and backward together with the main rod 42. The connecting rods 43 may be provided at symmetrical positions on both sides of the main rod 42. In this case, the connection rod 43 is defined as a first connection rod 431 and a second connection rod 432 based on the main rod 42. Hereinafter, the first connection rod 431 will be described as the connection rod 43, and since the second connection rod 432 is the same as the first connection rod 431, detailed description will be omitted.

전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)에 결합된다. 전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)의 단부에 결합될 수 있다. 전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)의 전단부 및 후단부에 각각 결합될 수 있다. 이 경우, 전후진 유닛(44)은 제1전후진 유닛(441) 및 제2전후진 유닛(442)으로 정의된다. The forward and backward unit 44 is coupled to the connecting rod 43. The forward and backward unit 44 may be coupled to the end of the connecting rod 43. The forward and backward unit 44 may be coupled to the front and rear ends of the connecting rod 43, respectively. In this case, the forward and backward unit 44 is defined as the first forward and backward unit 441 and the second forward and backward unit 442.

또한, 전후진 유닛(44)은 제2연결 로드(432)의 전단부 및 후단부에 각각 결합될 수 있다. 이 경우, 전후진 유닛(44)은 제3전후진 유닛(443) 및 제4전후진 유닛(444)으로 정의된다. Additionally, the forward and backward units 44 may be coupled to the front and rear ends of the second connection rod 432, respectively. In this case, the forward and backward unit 44 is defined as the third forward and backward unit 443 and the fourth forward and backward unit 444.

이하에서, 제1전후진 유닛(441)을 전후진 유닛(44)으로 설명하며, 제2전후진 유닛(442), 제3전후진 유닛(443) 및 제4전후진 유닛(444)은 제1전후진 유닛(441)과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, the first forward and backward unit 441 will be described as the forward and backward unit 44, and the second forward and backward unit 442, the third forward and backward unit 443 and the fourth forward and backward unit 444 will be described as the forward and backward unit 44. Since it is the same as the 1 forward/backward unit 441, detailed description is omitted.

전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동된다. 전후진 유닛(44)은 하부 플레이트(30)에 대해 전후 방향으로 이동된다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 전후 방향으로 이동될 수 있다.The forward and backward unit 44 moves forward and backward together with the connecting rod 43. The forward and backward unit 44 moves in the forward and backward direction relative to the lower plate 30. In this case, the first forward/backward unit 441 to the fourth forward/backward unit 444 may move in the forward/backward direction at the same time.

전후진 유닛(44)의 상부에는 경사면(445a)이 형성된다. 경사면(445a)은 경사지게 형성되어 슬로프(slope)로 형성될 수 있다. 경사면(445a)은 하부 플레이트(30)와 교각을 형성할 수 있다. 여기서, 경사면(445a)의 상단은 상사점, 경사면(445a)의 하단은 하사점으로 정의한다. An inclined surface 445a is formed on the upper part of the forward and backward unit 44. The inclined surface 445a may be inclined to form a slope. The inclined surface 445a may form a bridge pier with the lower plate 30. Here, the top of the inclined surface 445a is defined as top dead center, and the bottom of the inclined surface 445a is defined as bottom dead center.

슬라이딩 유닛(45)은 중부 플레이트(20)에 결합된다. 슬라이딩 유닛(45)은 중부 플레이트(20)에 고정 결합된다. The sliding unit 45 is coupled to the central plate 20. The sliding unit 45 is fixedly coupled to the central plate 20.

슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)에 구비된다. 슬라이딩 유닛(45)은 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)의 경사면(445a)에 구비될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 제1슬라이딩 유닛(451), 제2슬라이딩 유닛(452), 제3슬라이딩 유닛(453) 및 제4슬라이딩 유닛(454)으로 정의된다. 이하에서, 제1슬라이딩 유닛(451)을 슬라이딩 유닛(45)으로 설명하며, 제2슬라이딩 유닛(452), 제3슬라이딩 유닛(453) 및 제4슬라이딩 유닛(454)은 제1슬라이딩 유닛(451)과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다.The sliding unit 45 is provided on the inclined surface 445a. The sliding unit 45 may be provided on the inclined surface 445a of the first forward/backward unit 441 to the fourth forward/backward unit 444. In this case, the sliding unit 45 is defined as a first sliding unit 451, a second sliding unit 452, a third sliding unit 453, and a fourth sliding unit 454. Hereinafter, the first sliding unit 451 will be described as the sliding unit 45, and the second sliding unit 452, third sliding unit 453, and fourth sliding unit 454 will be described as the first sliding unit 451. ), so detailed description is omitted.

슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 상사점 내지 하사점 사이에서 슬라이딩될 수 있다.The sliding unit 45 may slide along the inclined surface 445a. In this case, the sliding unit 45 can slide between top dead center and bottom dead center.

슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다. The sliding unit 45 can be implemented as a servo machine. In this case, the sliding unit 45 can precisely slide on the inclined surface 445a to an exact position set by the user.

슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 상사점 내지 하사점 사이에서 승하강될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 선형적으로 상사점 내지 하사점 사이에서 정확한 위치로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상하 방향으로 승하강될 수 있게 된다. When the sliding unit 45 slides along the inclined surface 445a, the central plate 20 may be raised and lowered between top dead center and bottom dead center along the sliding unit 45. In this case, since the sliding unit 45 linearly and precisely slides to an accurate position between top dead center and bottom dead center, the middle plate 20 can be raised and lowered in the vertical direction stably and precisely.

이에 따라, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상하 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승하강되므로, 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.Accordingly, the support pins 23 provided on the middle plate 20 are precisely raised and lowered in a stable and accurate position in the vertical direction, so that the support pins 23 are raised and lowered when the panel P approaches the upper plate 10. By being lifted upward, the end of the support pin 23 can stably contact the lower surface of the panel P to support the panel P.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 전후진 유닛(44)은, 상기 경사면(445a)이 상부에 형성되고, 상기 연결 로드(43)에 결합되는 전후진 바디(445), 상기 하부 플레이트(30)에 결합되는 전후진 레일(446), 상기 전후진 바디(445)의 하부에 결합되는 전후진 플레이트(447), 및 상기 전후진 플레이트(447)와 상기 전후진 레일(446) 사이에 구비되어, 상기 전후진 플레이트(447)를 전후 방향으로 이동시키는 전후진 엘엠(448)을 포함한다.Here, the forward and backward unit 44 according to an embodiment of the present invention includes a forward and backward body 445 on which the inclined surface 445a is formed and coupled to the connecting rod 43, and the lower plate ( A forward and backward rail 446 coupled to 30), a forward and backward plate 447 coupled to the lower part of the forward and backward body 445, and provided between the forward and backward plate 447 and the forward and backward rail 446. and includes a forward and backward LM 448 that moves the forward and backward plate 447 in the forward and backward directions.

전후진 바디(445)는 연결 로드(43)에 결합된다. 이 경우, 전후진 바디(445)는 연결 로드(43)가 전후 방향으로 이동되면, 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동된다.The forward and backward body 445 is coupled to the connecting rod 43. In this case, the forward and backward body 445 moves forward and backward together with the connecting rod 43 when the connecting rod 43 moves forward and backward.

전후진 바디(445)의 상부에는 경사면(445a)이 형성된다. 경사면(445a)은 상술한 것과 같이, 경사지게 형성되어 하부 플레이트(30)와 교각을 형성할 수 있다. 이 경우, 전후진 바디(445)는 삼각형으로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. An inclined surface 445a is formed on the upper part of the forward and backward body 445. As described above, the inclined surface 445a may be inclined to form a bridge pier with the lower plate 30. In this case, the forward and backward body 445 may be implemented as a triangle, but the embodiment is not limited thereto.

전후진 레일(446)은 하부 플레이트(30)에 결합된다. 전후진 레일(446)은 전후 방향으로 배치된다. 전후진 레일(446)에는 후술하는 전후진 엘엠(448)이 전후 방향으로 이동되게 결합된다. The forward and backward rails 446 are coupled to the lower plate 30. The forward and backward rails 446 are arranged in the forward and backward directions. A forward and backward LM 448, which will be described later, is coupled to the forward and backward rail 446 to move in the forward and backward directions.

전후진 플레이트(447)는 전후진 바디(445)의 하부에 결합된다. 전후진 플레이트(447)는 전후진 바디(445)의 하부에 고정 결합된다.The forward and backward plate 447 is coupled to the lower part of the forward and backward body 445. The forward and backward plate 447 is fixedly coupled to the lower part of the forward and backward body 445.

전후진 엘엠(448)은 전후진 레일(446)에 결합된다. 전후진 엘엠(448)은 전후진 레일(446)을 따라 전후 방향으로 이동된다. The forward and backward LM (448) is coupled to the forward and backward rail (446). The forward and backward LM 448 moves forward and backward along the forward and backward rails 446.

전후진 엘엠(448)은 전후진 플레이트(447)와 전후진 레일(446) 사이에 구비된다. 전후진 엘엠(448)은 전후진 플레이트(447)를 전후진 레일(446)을 따라 전후 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 연결 로드(43)가 전후진 바디(445)를 전후 방향으로 이동시킬 수 있게 된다. The forward and backward LM 448 is provided between the forward and backward plate 447 and the forward and backward rails 446. The forward and backward LM 448 moves the forward and backward plate 447 in the forward and backward directions along the forward and backward rails 446. Accordingly, the connecting rod 43 can move the forward and backward body 445 in the forward and backward directions.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 유닛(45)은, 상기 경사면(445a)에 구비되는 슬라이딩 레일(455), 상기 중부 플레이트(20)에 결합되는 슬라이딩 브라켓(456), 및 상기 슬라이딩 브라켓(456)과 상기 슬라이딩 레일(455) 사이에 구비되어, 상기 슬라이딩 브라켓(456)을 상기 경사면(445a)에 슬라이딩시키는 슬라이딩 엘엠(457)을 포함한다.Here, the sliding unit 45 according to an embodiment of the present invention includes a sliding rail 455 provided on the inclined surface 445a, a sliding bracket 456 coupled to the central plate 20, and the sliding bracket It includes a sliding LM 457 provided between 456 and the sliding rail 455 to slide the sliding bracket 456 on the inclined surface 445a.

슬라이딩 레일(455)은 경사면(445a)에 구비된다. 슬라이딩 레일(455)은 경사면(445a)을 따라 경사지게 구비된다.The sliding rail 455 is provided on the inclined surface 445a. The sliding rail 455 is provided inclined along the inclined surface 445a.

슬라이딩 브라켓(456)은 중부 플레이트(20)에 결합된다. 슬라이딩 브라켓(456)은 후술하는 슬라이딩 엘엠(457)에 결합된다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)은 슬라이딩 엘엠(457)을 따라 슬라이딩 될 수 있다. 이때, 슬라이딩 브라켓(456)은 슬라이딩 엘엠(457)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에서 슬라이딩될 수 있다. The sliding bracket 456 is coupled to the central plate 20. The sliding bracket 456 is coupled to the sliding LM 457, which will be described later. In this case, the sliding bracket 456 may slide along the sliding LM 457. At this time, the sliding bracket 456 may slide along the sliding LM 457 and slide between top dead center and bottom dead center.

중부 플레이트(20)에는 슬라이딩 브라켓홈(22)이 개구되어 형성될 수 있다. 슬라이딩 브라켓홈(22)에는 슬라이딩 브라켓(456)이 노출되게 배치될 수 있다. 슬라이딩 브라켓홈(22)은 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 결합될 때, 슬라이딩 브라켓(456)이 슬라이딩 브라켓홈(22)으로 노출되게 배치되어, 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 결합될 때 서로 간섭되는 것을 방지한다. A sliding bracket groove 22 may be opened and formed in the central plate 20. The sliding bracket 456 may be disposed to be exposed in the sliding bracket groove 22. The sliding bracket groove 22 is arranged so that when the sliding bracket 456 is coupled to the central plate 20, the sliding bracket 456 is exposed to the sliding bracket groove 22, so that the sliding bracket 456 is exposed to the central plate (20). 20) prevents interference with each other when combined.

슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 레일(455)에 결합된다. 슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 레일(455)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에 슬라이딩될 수 있다.The sliding LM 457 is coupled to the sliding rail 455. The sliding LM 457 may slide along the sliding rail 455 and slide between top dead center and bottom dead center.

슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 브라켓(456)과 슬라이딩 레일(455) 사이에 구비된다. 슬라이딩 엘엠(457)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정된 위치로 정확하게 슬라이딩 될 수 있다. The sliding LM 457 is provided between the sliding bracket 456 and the sliding rail 455. The sliding LM 457 is implemented with a servo mechanism, allowing the user to accurately slide to a preset position.

슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 브라켓(456)을 경사면(445a)에 슬라이딩 레일(455)을 따라 슬라이딩시킨다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에서 승하강될 수 있다. 이에 따라, 슬라이딩 브라켓(456)에 결합된 중부 플레이트(20)가 상사점 내지 하사점 사이에서 정확한 위치로 정밀하게 승하강될 수 있다.The sliding LM 457 causes the sliding bracket 456 to slide along the sliding rail 455 on the inclined surface 445a. In this case, the sliding bracket 456 may slide along the inclined surface 445a and be raised and lowered between top dead center and bottom dead center. Accordingly, the central plate 20 coupled to the sliding bracket 456 can be precisely raised and lowered to an accurate position between top dead center and bottom dead center.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 브라켓(456)은, 상기 슬라이딩 엘엠(457)에 결합되는 엘엠 결합부(4562), 및 상기 엘엠 결합부(4562)로부터 절곡되고 상기 하부 플레이트(30)에 수평하게 배치되고, 상기 중부 플레이트(20)가 결합되는 플레이트 결합부(4561)를 포함한다.Here, the sliding bracket 456 according to an embodiment of the present invention has an LM coupling portion 4562 coupled to the sliding LM 457, and is bent from the LM coupling portion 4562 and includes the lower plate 30. It is disposed horizontally and includes a plate coupling portion 4561 to which the central plate 20 is coupled.

엘엠 결합부(4562)는 슬라이딩 엘엠(457)에 결합된다. 엘엠 결합부(4562)는 슬라이딩 엘엠(457)에 고정 결합되어, 슬라이딩 엘엠(457)과 함께 경사면(445a)에서 슬라이딩된다. 이 경우, 엘엠 결합부(4562)는 경사면(445a)과 수평하게 배치된다. The LM coupling portion 4562 is coupled to the sliding LM (457). The LM coupling portion 4562 is fixedly coupled to the sliding LM 457 and slides on the inclined surface 445a together with the sliding LM 457. In this case, the LM coupling portion 4562 is disposed horizontally with the inclined surface 445a.

상술한 것과 같이, 중부 플레이트(20)에는 슬라이딩 브라켓홈(22)이 개구되어 형성될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 간섭되지 않도록 엘엠 결합부(4562)가 슬라이딩 브라켓홈(22)에 노출되게 배치된다. As described above, the sliding bracket groove 22 may be opened and formed in the central plate 20. In this case, the LM coupling portion 4562 is disposed to be exposed to the sliding bracket groove 22 so that the sliding bracket 456 does not interfere with the central plate 20.

플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)로부터 절곡되어 형성된다. 이 경우, 플레이트 결합부(4561)는 하부 플레이트(30)에 수평하게 배치된다.The plate coupling portion 4561 is formed by bending from the LM coupling portion 4562. In this case, the plate coupling portion 4561 is disposed horizontally on the lower plate 30.

플레이트 결합부(4561)에는 중부 플레이트(20)가 결합된다. 이 경우, 플레이트 결합부(4561)는 중부 플레이트(20)에 수평하게 배치된다.The central plate 20 is coupled to the plate coupling portion 4561. In this case, the plate coupling portion 4561 is disposed horizontally on the central plate 20.

플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)와 소정각도를 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시예의 경우, 플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)와 둔각을 형성하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.The plate coupling portion 4561 may form a predetermined angle with the LM coupling portion 4562. In one embodiment of the present invention, the plate coupling portion 4561 forms an obtuse angle with the LM coupling portion 4562, but the embodiment is not limited thereto.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는 중부 플레이트 가이드 모듈(50)을 더 포함한다. Meanwhile, the panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention further includes a central plate guide module 50.

중부 플레이트 가이드 모듈(50)은 중부 플레이트(20)와 하부 플레이트(30) 사이에 구비된다. 중부 플레이트 가이드 모듈(50)은 중부 플레이트(20)가 상사점 내지 하사점 사이에서 안정적으로 상하부 방향으로 승하강되도록, 중부 플레이트(20)를 가이드 한다.The central plate guide module 50 is provided between the central plate 20 and the lower plate 30. The central plate guide module 50 guides the central plate 20 so that the central plate 20 stably moves up and down between top dead center and bottom dead center.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트 가이드 모듈(50)은, 상기 하부 플레이트(30)에 수직하게 구비되는 서포트 바(52), 및 상기 중부 플레이트(20)에 결합되고 상기 서포트 바(52)가 관통되어, 상기 서포트 바(52)에 대해 상하부 방향으로 승하강되는 가이드 부시(51)를 포함한다. Here, the central plate guide module 50 according to an embodiment of the present invention is coupled to the support bar 52 provided perpendicular to the lower plate 30 and the central plate 20 and the support bar ( 52) is penetrated and includes a guide bush 51 that goes up and down with respect to the support bar 52.

서포트 바(52)는 하부 플레이트(30)에 수직하게 구비된다. 서포트 바(52)는 하부 플레이트(30)에 고정 결합된다.The support bar 52 is provided perpendicular to the lower plate 30. The support bar 52 is fixedly coupled to the lower plate 30.

가이드 부시(51)는 중부 플레이트(20)에 결합된다. 이 경우, 가이드 부시(51)는 중부 플레이트(20)에 개구되게 형성된 부시홀(21)에 결합될 수 있다.The guide bush (51) is coupled to the central plate (20). In this case, the guide bush 51 may be coupled to the bush hole 21 formed to be open in the central plate 20.

가이드 부시(51)에는 서포트 바(52)가 관통된다. 이 경우, 가이드 부시(51)는 서포트 바(52)에 대해 상하부 방향으로 승하강된다. 이에 따라, 중부 플레이트(20)가 상하부 방향으로 승하강될 때, 가이드 부시(51)가 하부 플레이트(30)에 수직하게 결합된 서포트 바(52)를 따라 승하강되므로, 중부 플레이트(20)가 서포트 바(52)를 따라 상하부 방향으로 안정적이고 정확하게 승하강될 수 있게 된다.A support bar 52 penetrates the guide bush 51. In this case, the guide bush 51 is raised and lowered in the up and down directions with respect to the support bar 52. Accordingly, when the central plate 20 is raised and lowered in the up and down direction, the guide bush 51 is raised and lowered along the support bar 52 vertically coupled to the lower plate 30, so that the central plate 20 is raised and lowered. It is possible to move up and down in a stable and accurate manner along the support bar 52.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 상부 방향으로 승강할 때 동작도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 하부 방향으로 하강할 때 동작도이다.Figure 7 is an operation diagram when the central plate 20 according to an embodiment of the present invention is raised and lowered in the upward direction, and Figure 8 is an operation diagram when the central plate 20 according to an embodiment of the present invention is lowered in the downward direction. It is also a movement.

도 7에 따른 동작은 핸들러(H)가 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 안정적으로 안착시키기 위한 동작 및/또는 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 승강시켜 광학 검사기(A)에 대향시키는 동작이다. The operation according to FIG. 7 is an operation in which the handler (H) stably seats the panel (P) on the upper plate (10) and/or lifts and lowers the panel (P) placed on the upper plate (10) to operate the optical inspection device (A). ) is an action that opposes.

먼저, 핸들러(H)가 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 안착시키는 경우, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 전방으로 이동된다. 이 경우, 메인 로드(42)는 전진한다. 이때, 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 전진한다. 이 경우, 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)가 동시에 전진할 수 있다. First, when the handler H places the panel P on the upper plate 10, the driving unit 41 operates to generate driving force. The main rod 42 is moved forward by the driving unit 41. In this case, the main rod 42 advances. At this time, the connecting rod 43 moves forward together with the main rod 42. In this case, the first connection rod 431 and the second connection rod 432 may move forward simultaneously.

전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 전진한다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 전진할 수 있다. The forward and backward unit 44 moves forward together with the connecting rod 43. In this case, the first forward and backward unit 441 to the fourth forward and backward unit 444 can move forward simultaneously.

이때, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 하사점 내지 상사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다. At this time, the sliding unit 45 slides along the inclined surface 445a. The sliding unit 45 can slide between bottom dead center and top dead center. The sliding unit 45 is implemented with a servo machine and can precisely slide on the inclined surface 445a to an exact position set by the user.

슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 승강된다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 선형적으로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상부 방향으로 승강될 수 있게 된다. When the sliding unit 45 slides along the inclined surface 445a, the middle plate 20 is lifted and lowered along the sliding unit 45. In this case, since the sliding unit 45 slides linearly and precisely along the inclined surface 445a, the middle plate 20 can be stably and precisely lifted upward.

이에 따라, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상부 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강되므로, 핸들러(H)에 의해 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.Accordingly, the support pin 23 provided on the central plate 20 is precisely lifted upward to a stable and accurate position, thereby supporting the panel P when it approaches the upper plate 10 by the handler H. By lifting the pin 23 upward, the end of the support pin 23 can stably contact the lower surface of the panel P to support the panel P.

한편, 도 8을 참조하면, 실시예에 따라 패널(P)을 하부 방향으로 하강시킬 수 있다. 즉, 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 배치 또는 패널(P)을 광학 검사기(A)로 이동시킬 때, 패널(P)의 하중 및 사이즈로 인해 패널(P)을 안정적으로 상부 플레이트(10)에 배치하기 위해 패널(P)을 하부 방향으로 하강시킬 필요가 있다. Meanwhile, referring to FIG. 8, according to the embodiment, the panel P may be lowered downward. That is, when placing the panel (P) on the upper plate (10) or moving the panel (P) to the optical inspection machine (A), the panel (P) is stably attached to the upper plate ( 10), it is necessary to lower the panel (P) downward.

이 경우, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 후방으로 이동된다. 이 경우, 메인 로드(42)는 후진한다. 이때, 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 후진한다. 이 경우, 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)가 동시에 후진할 수 있다. In this case, the driving unit 41 operates to generate driving force. The main rod 42 is moved rearward by the driving unit 41. In this case, the main rod 42 moves backwards. At this time, the connecting rod 43 moves backward together with the main rod 42. In this case, the first connection rod 431 and the second connection rod 432 can move backward at the same time.

전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 후진한다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 후진할 수 있다. The forward and backward unit 44 moves backward together with the connecting rod 43. In this case, the first forward and backward units 441 to 444 can move backward simultaneously.

이때, 슬라이딩 유닛(45)이 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 상사점 내지 하사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다. At this time, the sliding unit 45 slides. The sliding unit 45 can slide between top dead center and bottom dead center. The sliding unit 45 is implemented with a servo machine and can precisely slide on the inclined surface 445a to an exact position set by the user.

슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 하강된다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 선형적으로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 하부 방향으로 하강될 수 있게 된다. When the sliding unit 45 slides along the inclined surface 445a, the middle plate 20 is lowered along the sliding unit 45. In this case, since the sliding unit 45 slides linearly and precisely along the inclined surface 445a, the middle plate 20 can be lowered stably and precisely in the downward direction.

이에 따라, 패널(P)의 하중 및 사이즈로 인해 패널(P)을 안정적으로 상부 플레이트(10)에 배치하기 위해 패널(P)을 하부 방향으로 정밀하게 하강시킬 수 있게 된다. Accordingly, the panel P can be precisely lowered in the downward direction in order to stably place the panel P on the upper plate 10 due to the load and size of the panel P.

한편, 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 광학 검사기(A)에 대향시키는 경우, 먼저 이송부(T)에 의해 패널(P)이 안착된 본 발명의 패널 표면 검사장치용 리프팅 장치가 광학 검사기(A)로 이동된다.Meanwhile, when the panel (P) placed on the upper plate 10 is opposed to the optical inspection machine (A), the lifting device for the panel surface inspection device of the present invention, in which the panel (P) is first seated by the transfer unit (T), is used. It moves to the optical inspection machine (A).

이후, 도 7에서 상술한 것과 같이, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 이 경우, 상술한 구성요소들이 작동되며 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 하사점 내지 상사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다. Afterwards, as described above in FIG. 7, the driving unit 41 operates to generate driving force. In this case, the above-described components are activated and the sliding unit 45 slides along the inclined surface 445a. The sliding unit 45 can slide between bottom dead center and top dead center. The sliding unit 45 is implemented with a servo machine and can precisely slide on the inclined surface 445a to an exact position set by the user.

이에 따라, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상부 방향으로 승강될 수 있게 되어, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상부 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강되므로, 패널(P)이 정확한 위치에 승강되어 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향될 수 있게 된다. Accordingly, the central plate 20 can be lifted upwards stably and precisely, and the support pins 23 provided on the central plate 20 are stably and precisely lifted upwards to an accurate position, so that the panel (P) is raised and raised to the correct position so that it can be opposed to the machine vision (V) of the optical inspection device (A).

이때, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 작동되어, 중부 플레이트(20)가 각 전후진 유닛(44)이 결합된 4개 지점에서 동시에 승강되므로, 중부 플레이트(20)가 하중에 의한 처짐 없이 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강될 수 있게 된다. At this time, the first forward and backward unit 441 to the fourth forward and backward unit 444 operate simultaneously, and the central plate 20 is simultaneously lifted and lowered at the four points where each forward and backward unit 44 is connected, so that the central plate (20) can be precisely raised and lowered to a stable and accurate position without sagging due to load.

이하에서는 도 9 내지 도 13을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)에 대하여 설명한다. Hereinafter, the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 to 13.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 사시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 측면도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)의 동작도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)의 동작도이다. FIG. 9 is a perspective view of the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention, FIG. 10 is a plan view of the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 11 is an embodiment of the present invention. It is a side view of the panel alignment module 60 according to an example, Figure 12 is an operation diagram of the front alignment unit 613 according to an embodiment of the present invention, and Figure 13 is a rear alignment unit according to an embodiment of the present invention ( This is the operation diagram of 614).

도 9 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에는 패널 정렬 모듈(60)이 구비된다.9 to 13, a panel lifting device for a panel surface inspection device according to an embodiment of the present invention is provided with a panel alignment module 60.

패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)에 구비될 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은 복수개 구비될 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)를 기준으로 양측에 각각 구비될 수 있다. 이 경우, 패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)의 일측에 구비된 제1패널 정렬 모듈(61) 및 타측에 구비된 제2패널 정렬 모듈(62)로 정의된다. 이하에서는, 제1패널 정렬 모듈(61)을 패널 정렬 모듈(60)로 설명하며, 제2패널 정렬 모듈(62)은 제1패널 정렬 모듈(60)과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.The panel alignment module 60 may be provided on the upper plate 10. A plurality of panel alignment modules 60 may be provided. Panel alignment modules 60 may be provided on both sides of the upper plate 10. In this case, the panel alignment module 60 is defined as a first panel alignment module 61 provided on one side of the upper plate 10 and a second panel alignment module 62 provided on the other side. Hereinafter, the first panel alignment module 61 will be described as the panel alignment module 60, and since the second panel alignment module 62 is the same as the first panel alignment module 60, detailed description will be omitted.

패널(P)은 상술한 것과 같이, 다양한 사이즈로 실시될 수 있다. 패널(P)은 면적(m²)이 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')로 실시될 수 있다. 이하에서, 상부 플레이트(10)에 배치되는 패널(P)은 쿼터 사이즈로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.The panel P may be implemented in various sizes, as described above. The panel P may have an area (m ² ) of the original size, 1/2 the size of the original (hereinafter, 'half size'), or 1/2 the half size (hereinafter, 'quarter size'). Hereinafter, the panel P disposed on the upper plate 10 will be described as having a quarter size, but the embodiment is not limited thereto.

상부 플레이트(10)에는 복수개의 패널(P)이 배치될 수 있다. 상부 플레이트(10)에는 2개 패널(P)이 배치될 수 있다. 이하에서, 패널(P)은 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)로 실시되고, 각 패널(P)은 쿼터 사이즈로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.A plurality of panels P may be disposed on the upper plate 10. Two panels (P) may be placed on the upper plate 10. Hereinafter, the panel P will be described as being made up of a first panel P1 and a second panel P2, and each panel P will be made up of a quarter size, but the embodiment is not limited thereto.

패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 정렬시킨다. 패널 정렬 모듈(60)은 패널(P)을 전후 방향으로 정렬시킬 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은, 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 각각 후방 및 전방으로 정렬시킬 수 있다. The panel alignment module 60 aligns the panel P disposed on the upper plate 10. The panel alignment module 60 can align the panel P in the front-to-back direction. The panel alignment module 60 can align the first panel P1 and the second panel P2 rearward and forward, respectively.

패널 정렬 모듈(60)이 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 기설정된 위치에 정확히 정렬시켜, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다. The panel alignment module 60 accurately aligns the panel P placed on the upper plate 10 to a preset position, allowing the optical inspection machine A to accurately inspect the surface of the panel P.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 패널 정렬 모듈(60)은, 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)이 배치된 상기 상부 플레이트(10)에 고정 결합되는 정렬 고정 프레임(611), 상기 정렬 고정 프레임(611)에 결합되는 정렬 승하강 유닛(615), 상기 정렬 승하강 유닛(615)에 고정 결합되어 승하강되는 정렬 승하강 프레임(612), 상기 정렬 승하강 프레임(612)의 일측에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 제1패널(P1)을 이동시키는 전방 정렬 유닛(613), 및 상기 정렬 승하강 프레임(612)의 타측에 구비되고, 상기 전방 정렬 유닛(613)의 반대편에 배치되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 제2패널(P2)을 이동시키는 후방 정렬 유닛(614)을 포함한다.Here, the panel alignment module 60 according to an embodiment of the present invention includes an alignment fixing frame 611 fixedly coupled to the upper plate 10 on which the first panel (P1) and the second panel (P2) are disposed. ), an alignment elevating and lowering unit 615 coupled to the alignment fixing frame 611, an alignment elevating and lowering frame 612 that is fixedly coupled to the alignment elevating and lowering unit 615 to be raised and lowered, and the alignment elevating and lowering frame 612 ), a front alignment unit 613 that moves the first panel (P1) disposed on the upper plate 10, and a front alignment unit 613 that is provided on the other side of the alignment elevating and lowering frame 612, and the front It is disposed on the opposite side of the alignment unit 613 and includes a rear alignment unit 614 that moves the second panel P2 disposed on the upper plate 10.

정렬 고정 프레임(611)은 상부 플레이트(10)에 고정 결합될 수 있다. 실시예에 따라, 정렬 고정 프레임(611)은 하부 플레이트(30)에 고정 결합될 수도 있다. The alignment fixing frame 611 may be fixedly coupled to the upper plate 10. Depending on the embodiment, the alignment fixing frame 611 may be fixedly coupled to the lower plate 30.

정렬 승하강 유닛(615)은 정렬 고정 프레임(611)에 결합된다. 정렬 승하강 유닛(615)은 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합되어, 후술하는 정렬 승하강 프레임(612)을 승하강시킬 수 있다.The alignment lifting and lowering unit 615 is coupled to the alignment fixing frame 611. The alignment lifting and lowering unit 615 is fixedly coupled to the alignment fixing frame 611 and can raise and lower the alignment lifting and lowering frame 612, which will be described later.

정렬 승하강 프레임(612)은 정렬 승하강 유닛(615)에 고정 결합된다. 정렬 승하강 프레임(612)은 정렬 승하강 유닛(615)에 의해 승하강된다. 정렬 승하강 프레임(612)은 전후 방향으로 길게 형성될 수 있다. The alignment elevating and lowering frame 612 is fixedly coupled to the alignment elevating and lowering unit 615. The alignment raising and lowering frame 612 is raised and lowered by the alignment raising and lowering unit 615. The alignment raising and lowering frame 612 may be formed to be long in the front-back direction.

전방 정렬 유닛(613)은 정렬 승하강 프레임(612)의 일측에 구비된다. 전방 정렬 유닛(613)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. The front alignment unit 613 is provided on one side of the alignment elevating and lowering frame 612. The front alignment unit 613 can be moved up and down together with the alignment raising and lowering frame 612.

전방 정렬 유닛(613)은 상부 플레이트(10)에 배치된 제1패널(P1)의 단부에 접촉된다. 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 밀어낼 수 있다. 여기서, 제1패널(P1)은 상부 플레이트(10)의 상면 중 후방에 위치한 패널(P)로 정의한다. The front alignment unit 613 contacts the end of the first panel P1 disposed on the upper plate 10. The front alignment unit 613 can push the first panel (P1). Here, the first panel (P1) is defined as the panel (P) located at the rear of the upper surface of the upper plate (10).

이 경우, 도 12와 같이, 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 이동시킨다. 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다. 이때, 전방 정렬 유닛(613)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정한 위치로 정확하게 패널(P)을 이동시킬 수 있다. In this case, as shown in FIG. 12, the front alignment unit 613 moves the first panel (P1). The front alignment unit 613 can move the first panel P1 backward. At this time, the front alignment unit 613 is implemented as a servo mechanism and can accurately move the panel P to a position preset by the user.

전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 이동시켜, 사용자가 기설정한 위치로 제1패널(P1)을 정렬시킨다. 이 경우, 전방 헤드(6133)가 제1패널(P1)을 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)이 기설정된 위치에 정확히 정렬되어, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.The front alignment unit 613 moves the first panel P1 and aligns the first panel P1 to a position preset by the user. In this case, the front head 6133 can move the first panel (P1). Accordingly, the first panel (P1) is accurately aligned at the preset position, allowing the optical inspection machine (A) to accurately inspect the surface of the panel (P).

후방 정렬 유닛(614)은 정렬 승하강 프레임(612)의 타측에 구비된다. 후방 정렬 유닛(614)은 전방 정렬 유닛(613)의 반대편에 배치된다. 후방 정렬 유닛(614)은 전방 정렬 유닛(613)에 대칭되게 배치될 수 있다. 후방 정렬 유닛(614)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. The rear alignment unit 614 is provided on the other side of the alignment elevating and lowering frame 612. The rear alignment unit 614 is disposed opposite the front alignment unit 613. The rear alignment unit 614 may be arranged symmetrically to the front alignment unit 613. The rear alignment unit 614 can be moved up and down together with the alignment raising and lowering frame 612.

후방 정렬 유닛(614)은 상부 플레이트(10)에 배치된 제2패널(P2)의 단부에 접촉된다. 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 밀어낼 수 있다. 여기서, 제2패널(P2)은 상부 플레이트(10)의 상면 중 전방에 위치한 패널(P)로 정의한다. The rear alignment unit 614 contacts the end of the second panel P2 disposed on the upper plate 10. The rear alignment unit 614 can push the second panel (P2). Here, the second panel (P2) is defined as the panel (P) located at the front of the upper surface of the upper plate (10).

이 경우, 도 13과 같이, 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 이동시킨다. 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 전진시킬 수 있다. 이때, 후방 정렬 유닛(614)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정한 위치로 정확하게 패널(P)을 이동시킬 수 있다. In this case, as shown in FIG. 13, the rear alignment unit 614 moves the second panel (P2). The rear alignment unit 614 may advance the second panel P2. At this time, the rear alignment unit 614 is implemented with a servo mechanism and can accurately move the panel P to a position preset by the user.

후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 이동시켜, 사용자가 기설정한 위치로 제2패널(P2)을 정렬시킨다. 이 경우, 후방 헤드(6143)가 제2패널(P2)을 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2패널(P2)이 기설정된 위치에 정확히 정렬되어, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.The rear alignment unit 614 moves the second panel P2 and aligns the second panel P2 to a position preset by the user. In this case, the rear head 6143 can move the second panel (P2). Accordingly, the second panel (P2) is accurately aligned at the preset position, allowing the optical inspection machine (A) to accurately inspect the surface of the panel (P).

전방 정렬 유닛(613)과 후방 정렬 유닛(614)은 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 서로 이격되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 제1패널(P1)은 후진되고, 제2패널(P2)은 전진될 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)은 및 제2패널(P2)이 상부 플레이트(10)의 후방 모서리 및 전방 모서리에 각각 배치되어, 기설정된 위치에 정렬될 수 있다. The front alignment unit 613 and the rear alignment unit 614 can move the first panel (P1) and the second panel (P2) in directions away from each other. In this case, the first panel (P1) can be moved backward and the second panel (P2) can be moved forward. Accordingly, the first panel P1 and the second panel P2 may be disposed at the rear edge and the front edge of the upper plate 10, respectively, and aligned at preset positions.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)은, 상기 상부 플레이트(10)에 노출되고 상기 제1패널(P1)을 이동시키는 전방 헤드(6133), 상기 전방 헤드(6133)가 구비되는 전방 브라켓(6132), 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 결합되고 상기 전방 브라켓(6132)을 전후진시키는 전방 푸쉬 유닛(6131), 및 상기 전방 브라켓(6132)과 상기 전방 푸쉬 유닛(6131) 사이에 구비되는 전방 브릿지(6134)를 포함한다.Here, the front alignment unit 613 according to an embodiment of the present invention includes a front head 6133 that is exposed to the upper plate 10 and moves the first panel P1; A front bracket 6132 provided, a front push unit 6131 coupled to the alignment elevating and lowering frame 612 and moving the front bracket 6132 forward and backward, and the front bracket 6132 and the front push unit 6131. ) Includes a front bridge 6134 provided between.

전방 헤드(6133)는 상부 플레이트(10)에 노출되게 배치될 수 있다. 전방 헤드(6133)는 상부 플레이트(10)에 수직하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 전방 헤드(6133)가 노출되는 정렬 헤드홈(12)이 개구되어 형성될 수 있다. The front head 6133 may be disposed to be exposed to the upper plate 10. The front head 6133 may be disposed perpendicular to the upper plate 10. In this case, the upper plate 10 may be formed with an opening in the alignment head groove 12 exposing the front head 6133.

전방 헤드(6133)는 정렬 헤드홈(12)을 관통하며 상부 플레이트(10)에 노출되어, 상부 플레이트(10)에 배치된 제1패널(P1)의 단부에 접촉된다. 이 경우, 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 밀어낼 수 있다. 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 이동시킨다. 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다.The front head 6133 penetrates the alignment head groove 12 and is exposed to the upper plate 10, making contact with the end of the first panel P1 disposed on the upper plate 10. In this case, the front head 6133 can push the first panel (P1). The front head 6133 moves the first panel (P1). The front head 6133 can retract the first panel (P1).

전방 브라켓(6132)은 몸체를 형성한다. 전방 브라켓(6132)에는 전방 헤드(6133)가 구비된다.The front bracket 6132 forms the body. The front bracket 6132 is provided with a front head 6133.

전방 푸쉬 유닛(6131)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 전방 푸쉬 유닛(6131)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. The front push unit 6131 is coupled to the alignment raising and lowering frame 612. The front push unit 6131 can be raised and lowered in the up and down direction together with the alignment raising and lowering frame 612.

전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 브라켓(6132)을 전후진시킬 수 있다. 이 경우, 전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 헤드(6133)를 전후진시킬 수 있다. 이때, 전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 헤드(6133)를 후진시켜, 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다. The front push unit 6131 can move the front bracket 6132 forward and backward. In this case, the front push unit 6131 can move the front head 6133 forward and backward. At this time, the front push unit 6131 can retract the front head 6133 and retract the first panel P1.

전방 브릿지(6134)는 전방 브라켓(6132)에 연결된다. 전방 브릿지(6134)는 전방 푸쉬 유닛(6131)에 연결된다. 전방 브릿지(6134)는 전방 브라켓(6132)과 전방 푸쉬 유닛(6131) 사이에 구비되어, 전방 브라켓(6132)과 전방 푸쉬 유닛(6131)을 연결한다. 이 경우, 전방 푸쉬 유닛(6131)이 전방 브릿지(6134)를 이동시키면, 전방 브릿지(6134)가 전방 브라켓(6132)을 이동시킬 수 있다. The front bridge 6134 is connected to the front bracket 6132. The front bridge 6134 is connected to the front push unit 6131. The front bridge 6134 is provided between the front bracket 6132 and the front push unit 6131, and connects the front bracket 6132 and the front push unit 6131. In this case, when the front push unit 6131 moves the front bridge 6134, the front bridge 6134 can move the front bracket 6132.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 푸쉬 유닛(6131)은, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 전방 푸쉬 바디(6131a), 및 상기 전방 푸쉬 바디(6131a)에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 전방 브릿지(6134)에 결합되는 전방 푸쉬 피스톤(6131b)을 포함한다.Here, the front push unit 6131 according to an embodiment of the present invention has a front push body 6131a fixedly coupled to the alignment elevating and lowering frame 612, and can move forward and backward with the front push body 6131a. It is coupled and includes a front push piston (6131b) coupled to the front bridge (6134).

전방 푸쉬 바디(6131a)는 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합된다. 전방 푸쉬 바디(6131a)는 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강된다.The front push body (6131a) is fixedly coupled to the alignment raising and lowering frame (612). The front push body (6131a) is raised and lowered together with the alignment raising and lowering frame (612).

전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 푸쉬 바디(6131a)에 전후진 가능하게 결합된다. 전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 푸쉬 바디(6131a)로부터 전후진될 수 있다.The front push piston (6131b) is coupled to the front push body (6131a) in a forward and backward manner. The front push piston (6131b) can be moved forward and backward from the front push body (6131a).

전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 브릿지(6134)에 결합된다. 이 경우, 전방 푸쉬 피스톤(6131b)이 전후진되어, 전방 브릿지(6134)를 전후진시킬 수 있다. 이에 따라, 전방 브릿지(6134)에 연결된 전방 헤드(6133)가 전후진되어, 제1패널(P1)을 이동시킬 수 있게 된다.The front push piston (6131b) is coupled to the front bridge (6134). In this case, the front push piston 6131b moves forward and backward, allowing the front bridge 6134 to move forward and backward. Accordingly, the front head 6133 connected to the front bridge 6134 moves forward and backward, allowing the first panel P1 to move.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)은, 상기 상부 플레이트(10)에 노출되고, 상기 제2패널(P2)을 이동시키는 후방 헤드(6143), 상기 후방 헤드(6143)가 구비되는 후방 브라켓(6142), 및 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 결합되고 상기 후방 브라켓(6142)을 전후진시키는 후방 푸쉬 유닛(6141)을 포함한다.Meanwhile, the rear alignment unit 614 according to an embodiment of the present invention includes a rear head 6143 that is exposed to the upper plate 10 and moves the second panel P2, and the rear head 6143. It includes a rear bracket 6142 provided with a rear push unit 6141 that is coupled to the alignment elevating and lowering frame 612 and moves the rear bracket 6142 forward and backward.

후방 헤드(6143)는 상부 플레이트(10)에 노출되게 배치될 수 있다. 후방 헤드(6143)는 상부 플레이트(10)에 수직하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 후방 헤드(6143)가 노출되는 정렬 헤드홈(12)이 개구되어 형성될 수 있다. The rear head 6143 may be disposed to be exposed to the upper plate 10. The rear head 6143 may be disposed perpendicular to the upper plate 10. In this case, the upper plate 10 may be formed with an opening in the alignment head groove 12 exposing the rear head 6143.

후방 헤드(6143)는 정렬 헤드홈(12)을 관통하며 상부 플레이트(10)에 노출되어, 상부 플레이트(10)에 배치된 제2패널(P2)의 단부에 접촉된다. 이 경우, 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 밀어낼 수 있다. 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 이동시킨다. 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 후진시킬 수 있다.The rear head 6143 penetrates the alignment head groove 12 and is exposed to the upper plate 10, making contact with the end of the second panel P2 disposed on the upper plate 10. In this case, the rear head 6143 can push the second panel (P2). The rear head 6143 moves the second panel (P2). The rear head 6143 can retract the second panel (P2).

후방 브라켓(6142)은 몸체를 형성한다. 후방 브라켓(6142)에는 후방 헤드(6143)가 구비된다.The rear bracket 6142 forms the body. The rear bracket 6142 is provided with a rear head 6143.

후방 푸쉬 유닛(6141)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 후방 푸쉬 유닛(6141)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. The rear push unit 6141 is coupled to the alignment raising and lowering frame 612. The rear push unit 6141 can be raised and lowered in the up and down direction together with the alignment raising and lowering frame 612.

후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 브라켓(6142)을 전후진시킬 수 있다. 이 경우, 후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 헤드(6143)를 전후진시킬 수 있다. 이때, 후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 헤드(6143)를 전진시켜, 제2패널(P2)을 전진시킬 수 있다. The rear push unit 6141 can move the rear bracket 6142 forward and backward. In this case, the rear push unit 6141 can move the rear head 6143 forward and backward. At this time, the rear push unit 6141 can advance the rear head 6143 and advance the second panel P2.

전방 헤드(6133)와 후방 헤드(6143)는 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 서로 이격되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 제1패널(P1)은 후진되고, 제2패널(P2)은 전진될 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)은 및 제2패널(P2)이 상부 플레이트(10)의 후방 모서리 및 전방 모서리에 각각 배치되어, 기설정된 위치에 정렬될 수 있다. The front head 6133 and the rear head 6143 can move the first panel P1 and the second panel P2 in directions away from each other. In this case, the first panel (P1) can be moved backward and the second panel (P2) can be moved forward. Accordingly, the first panel P1 and the second panel P2 may be disposed at the rear edge and the front edge of the upper plate 10, respectively, and aligned at preset positions.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 푸쉬 유닛(6141)은, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 후방 푸쉬 바디(6141a), 및 상기 후방 푸쉬 바디(6141a)에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 후방 브라켓(6142)에 결합되는 후방 푸쉬 피스톤(6141b)을 포함한다.Here, the rear push unit 6141 according to an embodiment of the present invention has a rear push body 6141a fixedly coupled to the alignment elevating and lowering frame 612, and can move forward and backward to the rear push body 6141a. It is coupled and includes a rear push piston (6141b) coupled to the rear bracket (6142).

후방 푸쉬 바디(6141a)는 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합된다. 후방 푸쉬 바디(6141a)는 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강된다.The rear push body (6141a) is fixedly coupled to the alignment raising and lowering frame (612). The rear push body (6141a) is raised and lowered together with the alignment raising and lowering frame (612).

후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 푸쉬 바디(6141a)에 전후진 가능하게 결합된다. 후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 푸쉬 바디(6141a)로부터 전후진될 수 있다.The rear push piston (6141b) is coupled to the rear push body (6141a) to be able to move forward and backward. The rear push piston (6141b) can be moved forward and backward from the rear push body (6141a).

후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 브라켓(6142)에 결합된다. 이 경우, 후방 푸쉬 피스톤(6141b)이 전후진되어, 후방 브라켓(6142)울 전후진시킬 수 있다. 이에 따라, 후방 헤드(6143)가 전후진되어, 제2패널(P2)을 이동시킬 수 있게 된다.The rear push piston (6141b) is coupled to the rear bracket (6142). In this case, the rear push piston 6141b can be moved forward and backward, and the rear bracket 6142 can be moved forward and backward. Accordingly, the rear head 6143 moves forward and backward, allowing the second panel P2 to move.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬 승하강 유닛(615)은, 상기 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합되는 승하강 푸쉬 바디(6151), 및 상기 승하강 푸쉬 바디(6151)에 승하강 가능하게 결합되고, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 승하강 푸쉬 피스톤(6152)을 포함한다.On the other hand, the alignment lifting and lowering unit 615 according to an embodiment of the present invention includes a lifting and lowering push body 6151 fixedly coupled to the alignment fixing frame 611, and a lifting and lowering push body 6151 connected to the lifting and lowering push body 6151. It is possible to couple, and includes a lifting and lowering push piston (6152) that is fixedly coupled to the alignment lifting and lowering frame (612).

승하강 푸쉬 바디(6151)는 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합된다. The raising and lowering push body 6151 is fixedly coupled to the alignment fixing frame 611.

승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 승하강 푸쉬 바디(6151)에 승하강 가능하게 결합된다. 승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 승하강 푸쉬 바디(6151)로부터 승하강될 수 있다.The raising and lowering push piston (6152) is coupled to the raising and lowering push body (6151) to enable it to be raised and lowered. The raising and lowering push piston 6152 can be raised and lowered from the raising and lowering push body 6151.

승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 이 경우, 승하강 푸쉬 피스톤(6152)이 승하강되어, 정렬 승하강 프레임(612)을 승하강시킬 수 있다. 이에 따라, 전방 정렬 유닛(613) 및 후방 정렬 유닛(614)이 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강되어, 전방 헤드(6133) 및 후방 헤드(6143)가 상부 플레이트(10)의 정렬 헤드홈(12)에 노출되게 배치될 수 있게 된다. The elevating and lowering push piston 6152 is coupled to the alignment elevating and lowering frame 612. In this case, the raising/lowering push piston 6152 can be raised/lowered to raise/lower the alignment raising/lowering frame 612. Accordingly, the front alignment unit 613 and the rear alignment unit 614 are raised and lowered together with the alignment raising and lowering frame 612, so that the front head 6133 and the rear head 6143 are aligned with the alignment head of the upper plate 10. It can be placed exposed to the groove 12.

이상, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.As mentioned above, those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims described below rather than the detailed description above, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention. must be interpreted.

10 : 상부 플레이트 20 : 중부 플레이트
30 : 하부 플레이트 40 : 슬라이딩 모듈
60 : 패널 정렬 모듈10: upper plate 20: middle plate
30: lower plate 40: sliding module
60: Panel alignment module

Claims

a top plate on which the panel is placed; a lower plate provided below the upper plate and moved to an optical inspection machine; a fixing post provided on the lower plate and supporting the upper plate to be spaced apart from the lower plate; a central plate provided between the upper plate and the lower plate and raised and lowered in an upward and downward direction; a support pin provided on the central plate, the end of which penetrates the upper plate and contacts the panel; a sliding module provided on the lower plate and lifting and lowering the central plate to raise and lower the panel in contact with an end of the support pin; and a panel alignment module provided on the upper plate and aligning the panels placed on the upper plate in the front-to-back direction. Including,
The panel alignment module includes an alignment fixing frame fixedly coupled to the upper plate on which the first and second panels are arranged; An alignment elevating and lowering unit coupled to the alignment fixing frame; an alignment elevating and lowering frame that is fixedly coupled to the alignment elevating and lowering unit to be raised and lowered; a front alignment unit provided on one side of the alignment elevating and lowering frame and moving the first panel disposed on the upper plate; and a rear alignment unit provided on the other side of the alignment elevating and lowering frame, disposed on the opposite side of the front alignment unit, and moving the second panel disposed on the upper plate. A panel lifting device for a panel surface inspection device comprising a.

According to paragraph 1,
The alignment raising and lowering unit is,
An elevating and lowering push body fixedly coupled to the alignment fixing frame; and
A lifting push piston coupled to the lifting push body to enable lifting and lowering, and fixedly coupled to the alignment lifting frame;
A panel lifting device for a panel surface inspection device comprising a.

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