KR100756438B1 - Probeing apparatus for testing cell of lcd - Google Patents

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KR100756438B1
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cell
horizontal plate
probe
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horizontal
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KR1020060130967A
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오정후
이경용
박금성
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주식회사 영우디에스피
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Abstract

A probing apparatus for checking a cell of an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to apply the power to the LCD cell, thereby discriminating the existence of a defect in the cell. An inspection stage(110) has a horizontal plate for seating the cell to be checked. A cell guide member(120) is installed at the horizontal plate and guides the cell seated on the horizontal plate to an exact inspection position. The first probe(130) has lead pins electrically connected with short pads of the cell. Electrodes(140) are exposed at the lower surface of the horizontal plate and connected with the lead pins of the first probe. The second probe(150) is movably installed at the lower portion of the inspection stage and selectively connected with electrodes so that the external image signals are transmitted to the cell side through the first probe. The cell guide member is a clamping member installed at the horizontal plate of the inspection stage or a cell seating groove formed at the horizontal plate of the inspection stage. The first probe is also installed at the bottom surface of the cell seating groove and electrically connected with the short pads of the cell by seating the cell.

Description

엘씨디 셀 검사용 프로빙장치{Probeing apparatus for testing cell of LCD}Probeing apparatus for testing cell of LCD
도 1은 종래의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 나타내는 정면도.1 is a front view showing a conventional probing apparatus for inspecting the LCD cell.
도 2는 도 1의 측면도.2 is a side view of FIG. 1;
도 3은 도 1의 평면도.3 is a plan view of FIG.
도 4는 본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 나타내는 정면도.Figure 4 is a front view showing a probing apparatus for testing the LCD cell of the present invention.
도 5는 본 발명을 구성하는 셀 가이드수단을 나타내기 위한 수평판의 나타내는 사시도.Fig. 5 is a perspective view showing a horizontal plate for showing cell guide means constituting the present invention.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도.6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5.
도 7은 본 발명을 구성하는 셀 가이드수단의 다른 실시예를 나타내기 위한 수평판의 사시도.Figure 7 is a perspective view of a horizontal plate for showing another embodiment of the cell guide means constituting the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
110...검사스테이지 111...수평판110 Inspection Stage 111 Horizontal Plate
120...셀 가이드수단 121...셀 안착홈120 Cell guide means 121 Cell seating groove
123...x축고정클램퍼 124...y축고정클램퍼123 ... x-axis fixed clampers 124 ... y-axis fixed clampers
125...x축이동클램퍼 126...y축이동클램퍼125 ... x axis travel clamper 126 ... y axis travel clamper
130...제1프로브 131,151...리드핀130 ... 1st probe 131,151 ... lead pin
140...전극단자 150...제2프로브140 ... electrode terminal 150 ... second probe
160...이송로봇 161...수직지지대160 ... Mobile Robot 161 ... Vertical Support
162...수평이송부재 163...수평지지대162 Horizontal Feeder 163 Horizontal Support
164...수직로드실린더 L...셀164 vertical rod cylinder L cell
P...쇼트패드P ... short pad
본 발명은 외부로부터 영상신호를 받기 위하여 엘씨디 셀에 전원을 인가하여 엘씨디 셀에 대한 결함여부를 판별하도록 한 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probing apparatus for inspecting an LCD cell for determining whether a defect is present in an LCD cell by applying power to an LCD cell in order to receive an image signal from the outside.
일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 엘씨디(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, LCD (LCD), which is one of the flat panel display devices, is superior to the cathode ray tube (CRT) and is smaller than the CRT of the screen size having the same average power consumption. Along with Plasma Display Panels (FEDs) and Field Emission Display Devices (FEDs), they have recently been in the spotlight as the next generation display devices for mobile phones, computer monitors, and televisions.
통상적으로, 엘씨디(LCD: Liquid Crystal Display)를 제조하는 공정은 유리 기판에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 TFT 공정과, 유리 기판에 배향막을 도포하고 액정을 주입함으로써 완제품 셀(cell)을 제작하는 셀공정과, 완성된 셀에 구동 IC 및 피시비(PCB)를 부착하고 백라이트유닛(back light unit) 및 하우징을 조립하는 모듈(module) 공정으로 이루어진다.In general, a process of manufacturing a liquid crystal display (LCD) includes a TFT process in which a thin film transistor is arranged on a glass substrate, and a cell in which a finished cell is manufactured by coating an alignment layer on a glass substrate and injecting liquid crystal. And a module process of attaching a driving IC and PCB to the finished cell and assembling a back light unit and a housing.
상기 공정 중 완제품 셀(cell)을 제조하는 셀공정은 기판에 액정을 주입하는 액정주입공정과, 절단공정(scribing), 엣지그라인딩(Edge Grinding) 공정 및 완성된 셀의 제조공정상 발생될 수 있는 결함을 검사하기 위한 셀 검사공정 등으로 이루어진다.The cell process of manufacturing the finished cell of the process is a liquid crystal injection process for injecting liquid crystal into the substrate, a defect that may occur in the cutting process, the edge grinding process and the manufacturing process of the finished cell It consists of a cell inspection process for inspecting.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 셀 검사장치는 검사대상이 되는 셀이 안착되는 수평판(11)을 가지는 검사스테이지(10)와, 상기 검사스테이지(10) 상부에 놓여진 셀(L)을 일정 위치에 정렬시키는 제1얼라인수단(20)과, 셀 검사위치로 이동된 상기 수평판(11) 상부에 위치되어 구비된 이송장치나 승강장치를 통해 자체적으로 위치를 제어하면서 셀(L)이 정확한 셀 검사위치에 위치되었는지를 감지하는 얼라인카메라(30)와, 상기 검사스테이지(10) 하부에 위치되어 상기 얼라인카메라(30)의 제어신호에 따라 검사스테이지(10)의 위치를 미세 제어하는 제2얼라인수단(40)으로 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 3, a conventional cell inspection apparatus includes an inspection stage 10 having a horizontal plate 11 on which a cell to be inspected is seated, and a cell placed on the inspection stage 10. The first alignment means 20 for aligning L) at a predetermined position, and the cell itself while controlling its position through a transfer device or a lifting device provided on the horizontal plate 11 moved to the cell inspection position. The alignment camera 30 for detecting whether L) is positioned at the correct cell inspection position, and the position of the inspection stage 10 located under the inspection stage 10 according to the control signal of the alignment camera 30. It consists of a second alignment means 40 for fine control.
상기 제1얼라인수단(20)은 수평판(11)에 배치된 x,y축 이동블럭(21)과, 상기 x,y축 이동블럭(21)에 각각 연결되어 검사스테이지(10) 상부에 놓여진 셀(L)이 일정 위치에 정렬되도록 상기 x,y축 이동블럭(21)을 독립적으로 이동시키는 x,y축 로드실린더(22)로 구성된다.The first alignment means 20 is connected to the x, y-axis moving block 21 and the x, y-axis moving block 21 disposed on the horizontal plate 11, respectively, on the inspection stage 10. It consists of an x, y-axis rod cylinder 22 which independently moves the x, y-axis moving block 21 so that the placed cell L is aligned at a predetermined position.
상기 제2얼라인수단(40)은 검사스테이지(10) 하부에 설치되어 상기 검사스테이지(10)를 x축으로 이동시키는 x축이송모듈(41)과, 상기 x축이송모듈(41)의 하부에 연결되어 상기 x축이송모듈(41)을 y축으로 이송시키는 y축이송모듈(42)과, 상기 x,y축이송모듈(41,42)에 각각 구비되어 상기 얼라인카메라(30)의 제어신호에 따라 해당 x,y축이송모듈(41,42)을 구동시키는 정역모터(미도시)로 구성된다.The second alignment means 40 is installed below the test stage 10 to move the test stage 10 to the x-axis transfer module 41 and the lower portion of the x-axis transfer module 41 Connected to the y-axis transfer module 42 for feeding the x-axis transfer module 41 to the y-axis and the x-, y-axis transfer modules 41 and 42, respectively, of the alignment camera 30 It consists of a forward and a reverse motor (not shown) for driving the corresponding x, y axis transfer module (41, 42) according to the control signal.
상기 얼라인카메라(30)는 수평판(11) 상부에 일정거리를 두고 설치되어 상기 셀(L)을 촬영한 다음 셀(L)에 미리 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 놓여졌는지를 판단한다.The alignment camera 30 is installed at a predetermined distance on the horizontal plate 11 to take a picture of the cell (L), and then analyze the position of a mark previously displayed on the cell (L) to determine whether it is placed in a normal inspection position. To judge.
그리고 셀 검사위치로 이동된 상기 수평판(11)의 상부로부터 일정간격 떨어져 승강 가능하게 설치된 프로브장치(50)와 메인카메라(60)를 통해 셀(L) 내부의 회로검사와 화상검사를 통해 결함여부를 판별하게 된다.And through the inspection of the circuit inside the cell (L) and the image inspection through the probe device 50 and the main camera 60 installed to be able to move up and down a predetermined distance from the top of the horizontal plate 11 moved to the cell inspection position It is determined whether or not.
상기 프로브장치(50)는 셀 검사위치 전방에 설치된 베이스(51)와, 베이스(51)에 설치된 승강부재(52)에 고정된 콘택트블록(53)으로 구성되어 상기 수평판(11)상에 놓여진 셀(L)의 미세한 쇼트패드에 전기적으로 접속됨으로써 상기 셀(L)로 외부의 영상신호를 전달한다.The probe device 50 is composed of a base 51 installed in front of the cell inspection position and a contact block 53 fixed to the elevating member 52 provided on the base 51 and placed on the horizontal plate 11. Electrically connected to the minute short pad of the cell (L) transmits an external video signal to the cell (L).
이중 상기 콘택트블록(53)에는 셀(L)의 쇼트패드를 외부의 영상 신호 입력장치인 패턴제너레이터(pattern generator)(미도시)와 전기적으로 연결시키기 위한 콘택트어셈블리(54)가 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 착탈이 가능하도록 결합된다. 그리고 상기 콘택트어셈블리(54)는 콘택트블록(53)의 하단부에 소정간격으로 배열되며 셀(L)의 쇼트패드들과 접속되는 리드핀(55)을 가진다. 상기 리드핀(55)은 예컨대 포고핀(pogo pin), 니들핀(needle pin), 블레이드핀(blade pin) 등 다양한 형태로 구성된다.The contact block 53 has a contact assembly 54 for electrically connecting the short pad of the cell L to a pattern generator (not shown), which is an external image signal input device, such as a bolt or the like. It is coupled to be detachable by. The contact assembly 54 has lead pins 55 arranged at the lower end of the contact block 53 at predetermined intervals and connected to the short pads of the cell L. The lead pin 55 is configured in various forms such as a pogo pin, a needle pin, a blade pin, and the like.
그리고 상기 메인카메라(60)는 검사스테이지(10) 상부와 하부에 각각 설치되어 셀(L)에 광원을 제공하는 프론트라이트(61) 및 백라이트(62)를 구비하며, 검사 스테이지(10) 상부에는 점등된 셀(L)의 상태를 촬영하여 셀(L) 내부의 회로연결이 정상적으로 이루어졌는지를 판단한다.The main camera 60 is provided at the upper and lower portions of the inspection stage 10 and includes a front light 61 and a backlight 62 for providing a light source to the cell L, and the upper portion of the inspection stage 10. The state of the lit cell L is photographed to determine whether the circuit connection inside the cell L is normally performed.
이와 같이 구성된 셀 검사장치는 다음과 같은 과정에 따라 셀 내부의 회로검사와 화상검사를 수행한다.The cell inspection apparatus configured as described above performs the circuit inspection and the image inspection inside the cell according to the following procedure.
먼저, 이전공정에서 조립이 완료된 셀(L)이 검사스테이지(10) 상부에 올려지면 검사스테이지(10) 상부에 위치된 얼라인카메라(30)가 상기 셀(L)을 촬영한 다음 셀(L)에 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 놓여졌는지를 판단하게 된다. 만일 정상위치에 놓여져 있지 않다고 판단되면, 제1얼라인수단(20)과 제2얼라인수단(40)에 신호를 보내어 셀(L)이 정상적인 검사위치에 놓여지도록 셀(L)과 검사스테이지(10)의 위치를 미세 제어한다.First, when the cell L assembled in the previous process is placed on the test stage 10, the alignment camera 30 positioned on the test stage 10 photographs the cell L and then the cell L The position of the marker marked in) is analyzed to determine whether it is in the normal inspection position. If it is determined that it is not in the normal position, it sends a signal to the first aligning means 20 and the second aligning means 40 so that the cell L is placed in the normal inspection position. 10) Finely control the position.
셀(L)이 정상적인 검사위치에 놓여지면 프로브장치(50)가 하강하면서 셀(L)에 형성된 쇼트패드와 전기적으로 접속되면서 외부로부터의 영상신호가 셀(L)로 전달된다. 이와 동시에 셀(L) 하부와 상부에 위치된 백라이트(62)와 프론트라이트(61)가 점등되면서 셀(L)을 비추게 된다.When the cell L is placed in the normal test position, the probe device 50 descends while being electrically connected to the short pad formed in the cell L, thereby transmitting an image signal from the outside to the cell L. At the same time, the backlight 62 and the front light 61 positioned at the lower part and upper part of the cell L are turned on to illuminate the cell L.
이와 같이, 셀(L)에 전원이 인가되고 백라이트가 셀(L)을 비추게 되면 셀(L) 내부에 존재하는 화상이 표시되는 화상표시영역들과 화상이 표시되지 않는 화상 비표시영역들에서 점등이 이루어지게 되는데, 이때 메인카메라(60)가 점등된 셀(L)의 상태를 촬영하여 셀(L) 내부의 회로연결이 정상적으로 이루어졌는지를 판단한다.As such, when power is applied to the cell L and the backlight illuminates the cell L, in the image display areas in which the image existing inside the cell L is displayed and in the image non-display areas in which the image is not displayed. When the lighting is made, the main camera 60 photographs the state of the lit cell L to determine whether the circuit connection inside the cell L is normally performed.
즉, 상기 메인카메라(60)는 프론트라이트(61)에 의해 조사된 광원이 셀(L)에 의해 반사된 것을 촬영하고, 촬영된 데이터를 분석하여 셀(L) 내부에 액정이 정상 적으로 분포되어 있는지의 여부와, 셀(L)에 파티클 등의 이물질이 존재하는지 여부, 얼룩이 존재하는지의 여부를 판단하게 된다.That is, the main camera 60 photographs that the light source irradiated by the front light 61 is reflected by the cell L, and analyzes the photographed data to normally distribute the liquid crystal in the cell L. It is judged whether or not, whether foreign matter such as particles is present in the cell L, and whether or not stains exist.
상기와 같은 과정을 통해 셀(L)의 검사가 완료되면, 검사결과에 따라 양품과 불량품을 선별하는 선별공정을 거친 후 양품으로 판정된 셀(L)들은 소정의 매거진(magazine)에 차례로 탑재되어 후속되는 모듈공정으로 이송된다.When the inspection of the cell (L) is completed through the above-described process, the cells (L) that are determined to be good after going through the sorting process of sorting good and defective goods according to the inspection result are sequentially loaded in a predetermined magazine (magazine) Transferred to a subsequent module process.
그러나 이와 같이 구성된 종래의 셀 검사장치는 다음과 같은 문제점을 갖는다.However, the conventional cell inspection apparatus configured as described above has the following problems.
첫째, 종래의 셀 검사장치는 얼라인카메라(30)가 셀(L)에 표시된 표식의 위치를 분석하여 정상적인 검사위치에 셀(L)이 놓여졌는지를 판단하는 방식을 따르고 있으므로 셀 검사 신뢰도가 낮다는 문제를 가진다. 즉, 셀(L)에 표시된 표식은 셀의 사양에 따라 그 표시위치와 형태가 다르고, 촬영조건이나 주위환경 변화에 따라서 촬영된 이미지의 품질이 달라지므로 셀(L)의 위치에 대한 인식정확도가 떨어질 수밖에 없으며 이는 셀(L)의 얼라인 정확도도 함께 떨어뜨리게 되므로 결국 셀 검사 신뢰도가 저하되는 것이다.First, the conventional cell inspection apparatus has a low cell inspection reliability since the alignment camera 30 analyzes the position of the mark displayed on the cell L to determine whether the cell L is placed at the normal inspection position. Has a problem. That is, the mark displayed on the cell L differs in its display position and shape according to the specification of the cell, and the quality of the captured image varies according to the shooting conditions or the change of surrounding environment. Inevitably, the alignment accuracy of the cell L is also reduced, resulting in a decrease in cell inspection reliability.
둘째, 종래의 셀 검사장치는 미세하게 형성된 쇼트패드에 프로브장치(50)가 정확하게 접속되도록 제1얼라인수단(20), 얼라인카메라(30) 및 제2얼라인수단(40)등 다수의 얼라인장치들을 구비하여야만 하므로 장치의 구성이 매우 복잡하고 막대한 설치비용이 소요되는 문제가 있다.Second, the conventional cell inspection apparatus includes a plurality of first alignment means 20, an alignment camera 30, and a second alignment means 40 such that the probe device 50 is accurately connected to a finely formed short pad. Since the alignment apparatuses must be provided, there is a problem in that the configuration of the apparatus is very complicated and enormous installation cost is required.
셋째, 종래의 셀 검사장치는 검사대상이 되는 셀(L)의 사양에 따라 예컨대, 메인카메라(60)의 포커스 설정, 검사스테이지(10)의 위치 설정, 얼라인 장비에 새 로운 얼라인 정보입력과 같은 별도의 셋팅작업이 이루어져야 하고 경우에 따라서는 얼라인 장비를 교체시켜야 하는 등의 많은 준비시간이 소요되므로 생산성이 저하되는 문제가 있다.Third, according to the specification of the cell (L) to be inspected, the conventional cell inspection apparatus, for example, focus setting of the main camera 60, position setting of the inspection stage 10, new alignment information input to the alignment equipment There is a problem in that the productivity is reduced because a separate setting operation such as, and in some cases it takes a lot of preparation time, such as replacing the alignment equipment.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 이루어진 것으로서, 다양한 사양의 셀에 대한 검사가 얼라인 과정 없이 자동으로 신속하고 정확하게 이루어지게 되는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a probing apparatus for the inspection of the LCD cell is made quickly and accurately the inspection of the cell of the various specifications without the alignment process.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 검사대상이 되는 셀이 놓여지는 수평판을 구비한 검사스테이지; 상기 수평판에 설치되어 수평판에 놓여진 셀을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단; 상기 수평판상에 설치되어 수평판에 셀이 놓여지는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속되는 리드선들로 이루어진 제1프로브; 상기 제1프로브의 리드선들과 연결된 상태에서 상기 검사스테이지 하부로 노출된 전극단자들; 및 검사스테이지의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 전극단자들과 선택적으로 접속됨으로써 외부의 영상신호를 제1프로브를 통해 셀측으로 전달하는 제2프로브를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an inspection stage having a horizontal plate on which a cell to be inspected is placed; Cell guide means installed on the horizontal plate to guide the cells placed on the horizontal plate to an accurate inspection position; A first probe formed on the horizontal plate and having lead wires electrically connected to the short pad of the cell by placing the cell on the horizontal plate; Electrode terminals exposed under the test stage while being connected to the lead wires of the first probe; And a second probe installed at a lower portion of the inspection stage and selectively connected to the electrode terminals to transmit an external video signal to the cell through the first probe.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미 와 개념으로 해석되어야만 한다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims are defined in the technical spirit of the present invention on the basis of the principle that the inventor can appropriately define the concept of the term in order to explain his invention in the best way. It must be interpreted to mean meanings and concepts.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치는 크게 검사대상이 되는 셀(L)이 놓여지는 검사스테이지(110)와, 상기 셀(L)을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단(120)과, 셀(L)의 쇼트패드(P)와 접속되는 제1프로브(130)와, 상기 제1프로브(130)의 리드선들과 일대일로 연결된 상태에서 수평판(111)의 하부면으로 노출된 전극단자(140)들과, 상기 전극단자(140)들에 선택적으로 접속되는 제2프로브(150)로 구성된다.As shown in Figures 4 to 6, the probing apparatus for the inspection of the LCD cell according to the present invention is the test stage 110, the cell (L) to be largely placed the test object, and the cell (L) the correct test position Horizontal plate in a state in which the cell guide means 120 to guide the first, the first probe 130 connected to the short pad (P) of the cell (L), and the lead wires of the first probe 130 Electrode terminals 140 exposed to the lower surface of the 111 and the second probe 150 is selectively connected to the electrode terminals 140.
상기 검사스테이지(110)는 셀(L) 검사가 이루어지는 곳으로서 검사대상이 되는 셀(L)이 놓여지는 수평판(111)을 가진다. 상기 수평판(111)은 놓여지는 셀(L)의 사양이 달라질 경우를 대비하여 검사스테이지(110)의 본체로부터 탈착이 가능하도록 설치된다.The inspection stage 110 has a horizontal plate 111 on which the cell L to be inspected is placed as a place where the cell L is inspected. The horizontal plate 111 is installed to be detachable from the main body of the inspection stage 110 in case the specifications of the placed cell (L) is different.
상기 검사스테이지(110)는 검사공정 이전의 작업라인에서 셀(L)을 공급받아 검사위치로 이동시킬 수 있도록 별도의 이동수단(미도시)을 구비하여 자체적으로 이동가능하게 설치되어도 무방하다.The inspection stage 110 may be installed to be movable by itself with a separate moving means (not shown) to receive the cell (L) from the work line before the inspection process to move to the inspection position.
상기 수평판(111)에는 이전의 셀(L) 공급단계에서 수평판(111)에 놓여진 셀(L)이 정확한 검사위치에 위치되도록 안내하는 셀 가이드수단(120)이 설치된다.The horizontal plate 111 is provided with a cell guide means 120 for guiding the cell L placed on the horizontal plate 111 in the previous cell L supply step to be located at the correct inspection position.
상기 셀 가이드수단(120)은 검사대상이 되는 셀(L)이 정확한 검사위치에 안착되어지도록 상기 검사스테이지(110)의 수평판(111)에 형성된 셀 안착홈(121)이 바람직하다. 이 경우, 상기 셀 안착홈(121)의 내벽면(122)은 외측으로 경사지게 형성될 수 있다. 이렇게 하면 상기 내벽면(122)이 셀(L)이 이전공정에서 공급되어질 때 셀(L)의 가장자리를 가이드하게 되므로 상기 셀(L)은 내벽면(122)을 따라 안착홈(121) 내부로 원활하게 안착되게 된다. 따라서, 상기 셀(L)은 별도의 얼라인 과정없이 정확한 검사위치에 놓일 수 있게 된다.The cell guide means 120 is preferably a cell seating groove 121 formed in the horizontal plate 111 of the test stage 110 so that the cell (L) to be inspected is seated at the correct test position. In this case, the inner wall surface 122 of the cell seating groove 121 may be formed to be inclined outward. In this case, the inner wall surface 122 guides the edge of the cell L when the cell L is supplied in the previous process, so that the cell L moves into the seating groove 121 along the inner wall surface 122. It will settle down smoothly. Therefore, the cell L can be placed at the correct inspection position without a separate alignment process.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 셀 가이드수단(120)의 다른 실시예로서, 상기 검사스테이지(110)의 상부면에는 상기 수평판(111)에 설치되어 수평판(111)에 놓여진 셀(L)을 정확한 검사위치로 안내하는 클램핑 부재가 구비될 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 7, as another embodiment of the cell guide means 120, the upper surface of the test stage 110 is installed on the horizontal plate 111, the cell placed on the horizontal plate 111 A clamping member for guiding (L) to the correct inspection position can be provided.
상기 클램핑 부재는 검사위치에 놓여진 셀(L)의 두 측면을 지지하도록 검사스테이지(110) 상부면에 고정된 x축고정클램퍼(123) 및 y축고정클램퍼(124), 그리고 상기 고정클램퍼에 대향되도록 검사스테이지(110)의 수평판(111)에 설치되어 수평판(111)에 놓여진 셀(L)을 해당 고정클램프(123,124)측으로 밀어서 밀착시키는 x축이동클램퍼(125) 및 y축이동클램퍼(126)로 구성될 수 있다. 상기 이동클램퍼들은 검사스테이지(110) 상부면에 설치된 로드실린더를 통해 이동력을 부여받는다. 상기 로드실린더들은 x,y축이동클램퍼(125,126)에 각각 연결되어 수평판(111) 상부에 놓여진 셀(L)이 일정 위치에 정렬되도록 상기 x,y축이동클램퍼들(125,126)을 독립적으로 이동시킨다.The clamping member is opposed to the x-axis fixed clamper 123 and the y-axis fixed clamper 124 fixed to the upper surface of the test stage 110 so as to support two sides of the cell L placed at the test position, and the fixed clamper. The x-axis movable clamper 125 and the y-axis movable clamper which are installed on the horizontal plate 111 of the inspection stage 110 so as to push the cells L placed on the horizontal plate 111 to the fixed clamps 123 and 124 in close contact with each other. 126). The movable clampers are given a moving force through a rod cylinder installed on the upper surface of the test stage 110. The rod cylinders are independently connected to the x and y axis moving clampers 125 and 126 to independently move the x and y axis moving clampers 125 and 126 so that the cell L placed on the horizontal plate 111 is aligned at a predetermined position. Let's do it.
또한, 상기 클램핑 부재는 상기 셀 안착홈(121)과 함께 설치되어도 무방하다. 이 경우, 상기 클램핑 부재는 셀 안착홈(121)에 셀(L)이 안착되지 못할 경우 상기 셀(L)의 측면을 밀어서 셀 안착홈(121)에 정상적으로 안착되도록 정렬시킴과 동시에 검사도중 상기 셀(L)이 외부의 충격에 유동되어 셀(L)의 쇼트패드(P)와 제1 프로브(130)와의 접속이 끊어지지 않도록 안정적으로 고정시킨다.In addition, the clamping member may be installed together with the cell seating groove 121. In this case, when the cell L is not seated in the cell seating groove 121, the clamping member aligns the cell seating groove 121 so as to be normally seated in the cell seating groove 121, and at the same time, the cell (L) is stably fixed so that the connection between the short pad (P) of the cell (L) and the first probe (130) is not broken by an external impact.
제1프로브(130)는 상기 검사스테이지(110)의 수평판(111)상에 설치되어 수평판(111)에 셀(L)이 놓여질 때 셀(L)의 쇼트패드(P)와 전기적으로 접속된다. 이를 위하여 상기 제1프로브(130)는 셀(L)의 쇼트패드(P)와 일대일로 대응되도록 마주보게 형성되어 수평판(111)에 셀(L)이 놓여지는 것에 의하여 셀(L)의 바닥면에 형성된 쇼트패드(P)와 전기적으로 접속되는 리드핀(131)들을 가진다. 상기 리드핀(131)들은 예컨대 포고핀(pogo pin), 니들핀(needle pin), 블레이드핀(blade pin) 등 다양한 형태로 구성될 수 있다.The first probe 130 is installed on the horizontal plate 111 of the inspection stage 110 and electrically connected to the short pad P of the cell L when the cell L is placed on the horizontal plate 111. do. To this end, the first probe 130 is formed to face the short pad P of the cell L in one-to-one correspondence, and the bottom of the cell L is disposed by placing the cell L on the horizontal plate 111. Lead pins 131 electrically connected to the shot pad P formed on the surface. The lead pins 131 may be configured in various forms such as a pogo pin, a needle pin, a blade pin, and the like.
가이드수단(120)이 셀 안착홈(121)일 경우에 상기 제1프로브(130)는 셀 안착홈(121) 바닥면에 설치된다. 따라서, 셀(L)이 셀 안착홈(121)에 안착되면 별도의 얼라인 과정없이 자동적으로 셀(L)의 쇼트패드(P)와의 전기적 접속이 이루어지게 된다.When the guide means 120 is the cell seating groove 121, the first probe 130 is installed on the bottom surface of the cell seating groove 121. Therefore, when the cell L is seated in the cell seating groove 121, electrical connection with the short pad P of the cell L is automatically performed without a separate alignment process.
수평판(111)의 하부면에는 상기 리드핀들(131)과 일대일로 연결된 전극단자(140)들이 노출된 상태로 구비된다. 상기 전극단자(140)들은 검사스테이지(110)의 작동오차를 포함하도록 셀(L)의 쇼트패드(P) 보다 접속면적이 크고 단자간격이 넓게 형성된다.The lower surface of the horizontal plate 111 is provided with the electrode terminals 140 connected to the lead pins 131 one-to-one. The electrode terminals 140 have a larger connection area and a wider terminal spacing than the short pad P of the cell L to include an operation error of the test stage 110.
상기 제2프로브(150)는 검사스테이지(110) 하부에 위치되어 승강동작을 통해 상기 전극단자(140)들과 일대일로 접속된다. 제2프로브(150)의 승강동작은 검사스테이지(110) 전방에 설치된 이송로봇을 통해 이루어진다.The second probe 150 is positioned below the test stage 110 and connected to the electrode terminals 140 one-to-one through a lifting operation. Lifting operation of the second probe 150 is made through a transfer robot installed in front of the inspection stage (110).
상기 이송로봇(160)은 검사스테이지(110) 전방의 바닥에 고정된 수직지지 대(161)와, 상기 수직지지대(161)를 따라 수평으로 왕복이동하는 수평이송부재(162)와, 상기 수평이송부재(162)의 단부에 연결된 수평지지대(163)와, 수평지지대(163)에 설치된 수직로드실린더(164)로 구성될 수 있으며, 이 경우 상기 제2프로브(150)는 상기 이송로봇(160)의 수직로드실린더(164) 상단에 고정되어 수직로드실린더(164)에 의한 승강이동과 수평이송부재(162)에 의한 수평이동이 가능하도록 설치된다.The transfer robot 160 includes a vertical support 161 fixed to the floor in front of the inspection stage 110, a horizontal transfer member 162 horizontally reciprocating along the vertical support 161, and the horizontal transfer. It may be composed of a horizontal support 163 connected to the end of the member 162, and a vertical rod cylinder 164 installed on the horizontal support 163, in which case the second probe 150 is the transfer robot 160 It is fixed to the top of the vertical rod cylinder 164 of the vertical rod cylinder 164 is installed to enable the horizontal movement by the lifting movement and the horizontal transfer member 162.
상기 제2프로브(150)는 제1프로브(130)와 마찬가지로 리드핀(151)을 통해 상기 전극단자(140)와 접속된다. 상기 리드핀(151)은 전극단자(140)들와 동일하게 전극단자(140)들은 검사스테이지(110)의 작동오차를 포함하도록 제2프로브(150)의 리드핀(151) 역시 접속부 면적이 크고 핀들의 간격이 넓게 형성된다. 따라서, 제2프로브(150)와 전극단자(140)들도 제1프로브(130)와 쇼트패드(P)와 같이 별도의 얼라인 과정 없이 제2프로브(150)와의 접속이 원활하게 이루어질 수 있다. Like the first probe 130, the second probe 150 is connected to the electrode terminal 140 through the lead pin 151. The lead pins 151 are the same as the electrode terminals 140, and the lead pins 151 of the second probe 150 also have a large connection area so that the electrode terminals 140 include an operation error of the test stage 110. The gap is formed wide. Therefore, the second probe 150 and the electrode terminals 140 may also be smoothly connected to the second probe 150 without an additional alignment process such as the first probe 130 and the short pad P. FIG. .
한편, 상기 전극단자(140)를 이루는 각 단자들과 제2프로브(150)을 이루는 각 리드핀(151)들은 검사스테이지(110)의 작동오차 범위와 이송로봇(160)의 작동오차 범위를 포함하는 크기와 간격으로 형성된다. 이렇게 하면, 검사스테이지(110)나 이송로봇(160)이 이동하면서 위치상 오차가 발생되더라도 상기 전극단자(140)들과 제2프로브(150)와의 접속이 원활하게 이루어질 수 있게 되므로 별도의 얼라인 과정이 요구되지 않는다.Meanwhile, each of the terminals constituting the electrode terminal 140 and each of the lead pins 151 constituting the second probe 150 include an operating error range of the test stage 110 and an operating error range of the transfer robot 160. Are formed in size and spacing. In this case, even if an error occurs in position while the inspection stage 110 or the transfer robot 160 moves, the electrode terminals 140 and the second probe 150 may be smoothly connected, so that separate alignment is performed. No process is required.
따라서, 셀(L) 검사를 위한 외부의 영상신호는 제2프로브(150)측으로 입력되며, 제2프로브(150)가 선택적으로 검사스테이지(110)의 하부에서 상측으로 이동하 여 검사스테이지(110) 하부로 노출된 전극단자(140)들과 선택적으로 접속되는 것에 의하여 제1프로브(130)를 통해 셀(L)측으로 전달된다.Therefore, the external image signal for the cell (L) inspection is input to the second probe 150 side, the second probe 150 is selectively moved from the lower side of the inspection stage 110 to the upper side to the inspection stage 110 It is transferred to the cell L side through the first probe 130 by being selectively connected to the electrode terminals 140 exposed to the lower side.
또한, 상기 수평판(111)의 상방에는 제2프로브(150)가 수평판(111) 하부의 전극단자들(140)과 접촉될 때 수평판(111)이 상향 유동되지 않도록 수평판(111)의 상부를 가압하는 지지판(170)이 승강가능하게 설치될 수도 있다.In addition, the horizontal plate 111 above the horizontal plate 111 so that the horizontal plate 111 does not flow upward when the second probe 150 is in contact with the electrode terminals 140 below the horizontal plate 111. Support plate 170 for pressing the upper portion of the may be installed to be liftable.
이 경우, 상기 지지판(170)의 하부면에는 수평판(111)과 직접 접촉되도록 돌출된 완충패드(171)가 부착되는 것이 바람직하다. 이 완충패드(171)는 수평판(111)이 가압될 때 상기 수평판(111)과 직접 접촉됨으로써, 수평판(111)이 상향유동되지 않도록 지지할 뿐 아니라, 수평판(111)으로 전달되는 가압충격을 방지한다.In this case, the lower surface of the support plate 170 is preferably attached to the buffer pad 171 protruding to be in direct contact with the horizontal plate 111. The buffer pad 171 is in direct contact with the horizontal plate 111 when the horizontal plate 111 is pressed, thereby supporting the horizontal plate 111 so as not to flow upward, and is transmitted to the horizontal plate 111. Prevent pressurized shock.
상기 수평판(111)에는 상부에 설치된 카메라(60)가 수평판(111)에 놓인 셀을 촬영할 수 있도록 관통홈(미도시)이 형성된다. The horizontal plate 111 is formed with a through groove (not shown) so that the camera 60 installed in the upper portion can photograph the cells placed on the horizontal plate 111.
본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치를 이용하여 셀 검사가 수행되는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the process of performing the cell test using the probing apparatus for the LCD cell test of the present invention.
먼저, 외부로부터 검사대상이 되는 셀(L)이 검사스테이지(110)의 상부면에 놓여진다. 이때, 상기 셀(L)은 검사스테이지(110) 상부면에 설치된 가이드수단(120)에 의해 가이드되므로 별도의 얼라인 과정 없이 상기 셀(L)을 정확한 검사위치에 위치시킬 수 있게 된다.First, the cell L to be inspected from the outside is placed on the upper surface of the inspection stage 110. At this time, the cell (L) is guided by the guide means 120 installed on the upper surface of the inspection stage 110, it is possible to position the cell (L) in the correct inspection position without a separate alignment process.
즉, 상기 가이드수단(120)이 셀 안착홈(121)일 경우에는 상기 셀(L)은 셀 안착홈(121)의 경사면을 따라 바닥면에 놓여지게 되며, 이와 동시에, 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)가 자연스럽게 접속된다.That is, when the guide means 120 is the cell seating groove 121, the cell L is placed on the bottom surface along the inclined surface of the cell seating groove 121, and at the same time, the first probe 130 And the short pad P of the cell L are naturally connected.
이때, 상기 제1프로브(130)는 검사대상이 되는 셀(L)의 사양에 따라 그 위치가 달라지게 되는데, 새로운 사양의 셀(L)을 검사하고자 할 때는 기존의 수평판 대신 새로운 사양의 셀(L)에 맞도록 제1프로브(130)의 위치가 변경된 새로운 수평판(111)으로 교체시키면 된다.At this time, the position of the first probe 130 is changed according to the specification of the cell (L) to be inspected, when you want to inspect the cell (L) of the new specification, the cell of the new specification instead of the existing horizontal plate What is necessary is just to replace with the new horizontal board 111 in which the position of the 1st probe 130 was changed so that it might correspond to (L).
또한, 상기 가이드수단(120)이 클램핑 부재일 경우에는 로드실린더가 셀(L)의 두측면이 x,y축고정클램퍼(123, 124)에 밀착될 때까지 x,y축이동클램퍼(125, 126)를 밀어서 이동시킨다. 이렇게 하면 셀(L)의 x,y축에 대향되는 두측면이 해당 x,y축고정클램퍼(123, 124)에 밀착되면서 상기 셀(L)이 정확한 검사위치로 자동정렬되게 되며 이 과정에서 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)는 자연스럽게 접속된다.In addition, when the guide means 120 is a clamping member, the x, y axis moving clamper 125, until the two sides of the rod cylinder is in close contact with the x, y axis fixed clampers (123, 124) 126) to move it. In this case, the two sides of the cell L, which face each other on the x and y axes are in close contact with the corresponding x and y axis fixing clampers 123 and 124, and the cell L is automatically aligned to the correct inspection position. The probe 130 and the short pad P of the cell L are naturally connected.
이와 같이, 제1프로브(130)와 셀(L)의 쇼트패드(P)가 접속이 완료되면, 제2프로브(150)가 승강하면서 검사스테이지(110) 하부의 전극단자(140)와 접속된다. 이때, 제2프로브(150)는 검사스테이지(110) 전방에 설치된 이송로봇(160)을 통해 이루어지게 되며, 상기 전극단자(140)와 제2프로브(150)의 리드핀(151)이 검사스테이지(110)의 작동오차와 이송로봇(160)의 작동오차를 충분히 포함하도록 접속부 면적이 크고 핀들의 간격이 넓게 형성되어 있기 때문에 별도의 얼라인 과정 없이 접속이 신속하고 원활하게 이루어지게 된다.As such, when the connection between the first probe 130 and the short pad P of the cell L is completed, the second probe 150 is lifted and connected to the electrode terminal 140 under the test stage 110. . At this time, the second probe 150 is made through the transfer robot 160 installed in front of the test stage 110, the lead pin 151 of the electrode terminal 140 and the second probe 150 is the test stage Since the connection area is large and the spacing of the pins is formed to be wide enough to include the operation error of the 110 and the operation error of the transfer robot 160, the connection is made quickly and smoothly without a separate alignment process.
한편, 상기 수평판(111)의 상방에 지지판(170)이 승강가능하게 설치된 경우에는 제2프로브(150)가 전극단자(140)에 접촉될 때 지지판(170)이 하강하면서 수평판(111)의 상부를 지지한다. 이 경우, 상기 지지판(170)의 하부면에 부착된 완충패드(171)가 수평판(111)이 지지될 때 수평판(111)과 직접 접촉됨으로써, 수평 판(111)이 상향유동되지 않도록 지지하면서 수평판(111)으로 전달되는 충격을 막는다.On the other hand, when the support plate 170 is installed to be elevated above the horizontal plate 111, the horizontal plate 111 while the support plate 170 is lowered when the second probe 150 is in contact with the electrode terminal 140 Support the top of the. In this case, the buffer pad 171 attached to the lower surface of the support plate 170 is in direct contact with the horizontal plate 111 when the horizontal plate 111 is supported, thereby supporting the horizontal plate 111 so as not to flow upward. While preventing the shock transmitted to the horizontal plate (111).
이와 같은 과정을 거쳐, 검사스테이지(110)상에 셀(L)이 정확한 위치에 정렬되면 프론트라이트(61) 및 백라이트(62)가 점등된 상태에서 메인카메라(60)를 통한 셀(L) 검사가 이루어지게 되며 이는 종래의 셀(L) 검사과정과 동일하므로 여기서의 상세한 설명은 생략한다.Through this process, when the cell L is aligned at the correct position on the inspection stage 110, the cell L is inspected through the main camera 60 while the front light 61 and the backlight 62 are turned on. This is the same as the conventional cell (L) inspection process, so a detailed description thereof will be omitted.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치는 셀이 안착되는 검사스케이지의 수평판에 제1프로브를 설치하고 제1프로브와 연결된 전극단자에 선택적으로 접속되도록 제2프로브를 설치하여 셀의 안착과 동시에 셀의 쇼트패드와 프로브의 접속이 자동으로 이루어지도록 함으로써, 종래와 같이 광학적으로 셀의 얼라인 상태를 파악하는 얼라인카메라와 같은 별도의 얼라인 부재가 요구되지 않아 검사장비를 간소화시킬 수 있는 것은 물론 얼라인 신뢰도를 비롯한 셀 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In the probe cell proving device of the present invention configured as described above, a first probe is installed on a horizontal plate of an inspection scale on which a cell is seated, and a second probe is installed to be selectively connected to an electrode terminal connected to the first probe. As the cell's short pad and probe are automatically connected at the same time as the cell is settled, an additional alignment member such as an alignment camera that optically checks the alignment state of the cell is not required. In addition to simplifying, there is an effect that can significantly improve cell inspection reliability, including alignment reliability.
또한, 검사대상이 되는 셀의 사양에 따라 검사스테이지의 수평판을 교체하기만 하면 되므로 셀의 사양에 따라 카메라의 포커스와 얼라인 위치 등과 같은 얼라인 장비에 대한 얼라인 정보를 다시 셋팅시키거나 경우에 따라서 얼라인 장비를 교체시켜야 하는 종래와는 달리 셀의 사양에 따른 준비시간이 적게 소요되므로 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the specification of the cell to be inspected, it is only necessary to replace the horizontal plate of the inspection stage, so if the alignment information on the alignment equipment such as the focus and the alignment position of the camera is reset according to the specification of the cell, According to the conventional method, which requires the replacement of the alignment equipment, the preparation time according to the specification of the cell may be reduced, thereby improving productivity.
본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청 구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 포함되어야 한다.While the invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, it will be understood that the invention can be variously modified and modified without departing from the spirit or scope of the invention as provided by the following claims. It should be included in the scope of the invention.

Claims (8)

  1. 검사대상이 되는 셀이 놓여지는 수평판을 구비한 검사스테이지;An inspection stage having a horizontal plate on which a cell to be inspected is placed;
    상기 수평판에 설치되어 수평판에 놓여지는 셀을 정확한 검사위치로 안내하는 셀 가이드수단;Cell guide means for guiding the cell placed on the horizontal plate to the correct inspection position;
    상기 수평판상에 설치되어 수평판에 셀이 놓여지는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속되는 리드핀들을 구비한 제1프로브;A first probe provided on the horizontal plate and having lead pins electrically connected to the short pad of the cell by placing the cell on the horizontal plate;
    상기 제1프로브의 리드핀들과 연결된 상태로 수평판의 하부면으로 노출된 전극단자들; 및Electrode terminals exposed to the lower surface of the horizontal plate while being connected to the lead pins of the first probe; And
    검사스테이지의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 전극단자들과 선택적으로 접속됨으로써 외부의 영상신호를 제1프로브를 통해 셀측으로 전달하는 제2프로브를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.It is installed on the lower part of the inspection stage to move up and down and selectively connected to the electrode terminal for transmitting an external video signal to the cell side through the first probe, characterized in that it comprises an LCD cell Probing device.
  2. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 셀 가이드 수단은 상기 검사스테이지의 수평판에 설치된 클램핑부재인 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.And the cell guide means is a clamping member installed on a horizontal plate of the test stage.
  3. 제 2항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 클램핑부재는The clamping member is
    검사위치에 놓여진 셀의 두 측면을 지지하도록 검사스테이지 상부면에 고정 된 x축고정클램퍼 및 y축고정클램퍼;An x-axis fixed clamper and a y-axis fixed clamper fixed to an upper surface of the test stage to support two sides of the cell placed at the test position;
    상기 고정클램퍼에 대향되도록 검사스테이지의 수평판에 설치되어 수평판에 놓여진 셀을 해당 고정클램프측에 밀어서 밀착시키는 x축이동클램퍼 및 y축이동클램퍼로 구성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.And an x-axis moving clamper and a y-axis moving clamper, which are installed on a horizontal plate of the inspection stage so as to face the fixed clamper, and push the cells placed on the horizontal plate to the fixed clamp side.
  4. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 셀 가이드수단은 검사스테이지의 수평판에 형성된 셀 안착홈인 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.And the cell guide means is a cell seating groove formed in a horizontal plate of an inspection stage.
  5. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 제1프로브는 상기 셀 안착홈 바닥면에 설치되어 셀 안착홈에 셀이 안착되는 것에 의하여 셀의 쇼트패드와 전기적으로 접속이 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.The first probe is installed on a bottom surface of the cell seating groove, and the cell is probed to the cell seating groove is electrically connected to the short pad of the cell by the cell seating groove, characterized in that the probing device for the inspection.
  6. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 검사스테이지의 전방에는 바닥에 고정된 수직지지대와, 상기 수직지지대를 따라 수평으로 왕복이동하는 수평이송부재와, 상기 수평이송부재의 단부에 연결된 수평지지대와, 수평지지대에 설치된 수직로드실린더를 구비한 이송로봇이 설치되고,The front of the inspection stage is provided with a vertical support fixed to the floor, a horizontal conveying member reciprocating horizontally along the vertical support, a horizontal support connected to the end of the horizontal conveying member, and a vertical rod cylinder installed on the horizontal support One transport robot is installed,
    상기 제2프로브는 상기 이송로봇의 수직로드실린더 상단에 고정되어 승강과 수평이동이 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.The second probe is fixed to the top of the vertical rod cylinder of the transfer robot probing apparatus for the inspection of the LCD cell, characterized in that the lifting and horizontal movement is installed.
  7. 제 1항 또는 제6항에 있어서,The method according to claim 1 or 6,
    상기 전극단자들은 별도의 얼라인 과정 없이 제2프로브와의 접속이 원활하게 이루어지도록 상기 전극단자를 구성하는 각 단자와 제2프로브를 구성하는 각 리드핀들이 검사스테이지의 작동오차 범위와 이송로봇의 작동오차 범위를 포함하는 면적과 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.The electrode terminals are each of the terminals constituting the electrode terminal and the lead pins constituting the second probe so that the connection with the second probe can be made smoothly without a separate alignment process, the operating error range of the inspection stage and the transfer robot Probing apparatus for the inspection of the LCD cell, characterized in that formed in the area and the interval including the operating error range.
  8. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 수평판의 상방에 승강가능하게 설치되어 제2프로브가 수평판 하부의 전극단자들과 접촉될 때 수평판이 상향 유동되지 않도록 수평판의 상부를 지지하는 지지판을 더 구비한 것을 특징으로 하는 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치.And a support plate which is installed to be elevated above the horizontal plate and supports the upper portion of the horizontal plate so that the horizontal plate does not flow upward when the second probe is in contact with the electrode terminals below the horizontal plate. Probing device for cell inspection.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103021896A (en) * 2011-09-20 2013-04-03 灿美工程股份有限公司 Apparatus for testing and repairing of substrate
CN103035850A (en) * 2011-10-05 2013-04-10 灿美工程股份有限公司 Apparatus for testing and repairing substrate
KR20150137676A (en) 2014-05-30 2015-12-09 주식회사 영우디에스피 Apparatus for inspecting curved display panel
KR101705300B1 (en) * 2016-11-21 2017-02-09 주식회사 에스피텍 System for installing curved panel

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060088162A (en) * 2005-02-01 2006-08-04 주식회사 메디코아 A universal fixture for pcb test

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060088162A (en) * 2005-02-01 2006-08-04 주식회사 메디코아 A universal fixture for pcb test

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103021896A (en) * 2011-09-20 2013-04-03 灿美工程股份有限公司 Apparatus for testing and repairing of substrate
KR101269443B1 (en) * 2011-09-20 2013-05-30 참엔지니어링(주) Apparatus for testing and repairing of substrate
CN103035850A (en) * 2011-10-05 2013-04-10 灿美工程股份有限公司 Apparatus for testing and repairing substrate
KR101269446B1 (en) * 2011-10-05 2013-05-30 참엔지니어링(주) Apparatus for testing and repairing of substrate
KR20150137676A (en) 2014-05-30 2015-12-09 주식회사 영우디에스피 Apparatus for inspecting curved display panel
KR101668085B1 (en) * 2014-05-30 2016-10-24 주식회사 영우디에스피 Apparatus for inspecting curved display panel
KR101705300B1 (en) * 2016-11-21 2017-02-09 주식회사 에스피텍 System for installing curved panel

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