KR20100079500A - Apparatus for inspecting substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for inspecting a substrate is provided to prevent the generation of inspection errors due to the vibration of a connecting plate, lift pins and a pin plate by guiding the lift operation of the lift pins and the pin plate using a guiding unit. CONSTITUTION: A substrate is loaded on the upper side of a stage(10). The stage and the substrate are transferred to one direction. A vision camera(40) is installed over the upper side of the stage. The vision camera scans the substrate which is transferring to one direction. A plurality of lift pins(22) is lifted through a plurality of lift pin holes which is installed in the stage. The lift pins support the substrate on the stage. A pin plate connects the lower sides of the lift pins. A guiding unit(26) is connected to both one end and the other end of the pin plate. The guiding unit guides the lift operation of the pin plate.

Description

기판검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}Substrate Inspection Equipment {APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 형성된 패턴 결함을 검사하는 기판검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly to a substrate inspection apparatus for inspecting a pattern defect formed on the substrate.

일반적으로 글라스를 검사하는 시스템에 많이 사용되는 컬러 필터 패턴 자동광학검사(Automated Optical Inspection:이하 AOI) 시스템은 컬러 필터 글라스(Color Filter glass)의 미세한 패턴 결함을 정밀한 카메라에 의해 고속으로 검출하고, 검출된 결함을 실시간으로 재생, 저장 가능한 제품으로, 다양한 모델의 글라스(Multi Model Glass)에 대응이 가능하며, 사용자 운영하기 쉬운 소프트웨어와 인라인(Inline) 및 독립적으로 운영(Stand alone)이 가능한 검사 장비이다.Color filter pattern Automated Optical Inspection (AOI) system, which is commonly used in glass inspection systems, detects and detects fine pattern defects of color filter glass at high speed with a precise camera. It is a product that can reproduce and store the defects in real time, and it can cope with various models of glass (Multi Model Glass), and it is an easy-to-operate software, an inline and stand alone inspection equipment. .

글라스는 스테이지의 상부에 놓여진 상태에서 스테이지와 함께 일방향으로 이동하며, 카메라 설치 프레임에 설치된 여러 대의 비전카메라는 기판을 스캔하여 패턴 결함을 검사한다.The glass moves in one direction with the stage while the glass is placed on top of the stage, and several vision cameras installed in the camera mounting frame scan a substrate to check for pattern defects.

본 발명의 목적은 스테이지 상에 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 데 있다. 또한, 기판의 유동으로 인하여 검사오류가 발생하는 것을 방지할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus capable of stably supporting a substrate on a stage. In addition, the present invention provides a substrate inspection apparatus capable of preventing inspection errors from occurring due to the flow of the substrate.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판검사장치는 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들; 상기 스테이지의 하부에 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 핀 플레이트; 그리고 상기 핀 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 핀 플레이트의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a substrate inspection apparatus includes a stage on which a substrate is placed and moves along one direction with the substrate; A vision camera installed at an upper portion of the stage and scanning the substrate moving along the one direction; A plurality of lift pins supporting the substrate placed on the stage by elevating through a plurality of lift pin holes formed in the stage; A pin plate positioned below the stage to connect a lower portion of the lift pins and to move up and down with the lift pins; And guide members connected to one end and the other end of the pin plate, respectively, to guide the lift of the pin plate.

상기 핀 플레이트는 상기 기판의 일변과 나란하게 배치될 수 있다.The pin plate may be disposed parallel to one side of the substrate.

상기 기판검사장치는 상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 그리고 상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 더 포함할 수 있다.The substrate inspection apparatus is disposed perpendicular to the pin plate and connected to the pin plate, and the auxiliary plate is lifted with the pin plate; And an auxiliary guide member connected to one end and the other end of the auxiliary plate to guide the lifting and lowering of the auxiliary plate.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 기판검사장치는 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들; 상기 스테이지의 하부에 서로 나란하게 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 각각 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 복수의 핀 플레이트들; 상기 핀 플레이트들의 일단 및 타단을 각각 연결하여 상기 핀 플레이트들과 함께 승강하는 제1 및 제2 연결플레이트들; 그리고 상기 제1 및 제2 연결플레이트들에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 연결플레이트들의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a substrate inspection apparatus includes a stage on which a substrate is placed, and moves along one direction with the substrate; A vision camera installed at an upper portion of the stage and scanning the substrate moving along the one direction; A plurality of lift pins supporting the substrate placed on the stage by elevating through a plurality of lift pin holes formed in the stage; A plurality of pin plates positioned parallel to each other at a lower portion of the stage, respectively connecting lower portions of the lift pins, and being lifted together with the lift pins; First and second connection plates that connect one end and the other end of the pin plates, respectively, and move up and down with the pin plates; And guide members connected to the first and second connection plates, respectively, to guide the lifting of the first and second connection plates.

상기 핀 플레이트들은 상기 기판의 일변과 나란하게 배치되며, 상기 연결플레이트들은 상기 핀 플레이트들과 수직하게 배치될 수 있다.The pin plates may be disposed parallel to one side of the substrate, and the connection plates may be disposed perpendicularly to the pin plates.

상기 기판검사장치는 상기 스테이지에 형성된 복수의 분사홀들에 각각 연결되어 상기 분사홀들에 에어를 공급하는 에어공급라인을 더 포함하며, 상기 분사홀들은 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 향하여 상기 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지로부터 부상시킬 수 있다.The substrate inspection apparatus further includes an air supply line connected to a plurality of injection holes formed in the stage to supply air to the injection holes, wherein the injection holes face the substrate placed on the stage. Air may be jetted to float the substrate from the stage.

본 발명에 의하면 기판을 스테이지 상에 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 기판의 유동으로 인하여 검사오류가 발생하는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, the substrate can be stably supported on the stage. In addition, inspection errors can be prevented from occurring due to the flow of the substrate.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 3을 참고하여 더 욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 3. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments are provided to explain the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.

이하에서는 기판을 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다.Hereinafter, the substrate is described as an example, but the spirit and scope of the present invention are not limited thereto.

한편, 명세서 내용 중 "포함하는", "구비하는", "갖는", "함유하는", "수반하는", 그리고 이와 동등한 의미를 가지는 단어는 기재된 항목과 그 등가물 뿐만 아니라 추가적인 항목도 포함하는 것으로 해석된다.Meanwhile, the words "comprising", "including", "having", "having", "comprising", and "accompanied" in the specification are intended to include additional items as well as the listed items and their equivalents. Interpreted

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 측면도이며, 도 2는 도 1에 도시한 핀 플레이트 및 보조 플레이트를 나타내는 평면도이다. 기판검사장치는 스테이지(10), 리프트 핀(22), 그리고 비전카메라(40)를 포함한다.1 is a side view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view showing a pin plate and an auxiliary plate shown in FIG. The substrate inspection apparatus includes a stage 10, a lift pin 22, and a vision camera 40.

스테이지(10)는 기판(S)이 놓여지는 상부면을 가지며, 기판(S)은 스테이지(10)와 대체로 나란하게 배치된다. 스테이지(10)의 상부면에는 확산홈(12)이 형성되며, 확산홈(12) 상에는 복수의 분사홀들(14)이 형성된다. 분사홀들(14)은 에어공급라인(18)에 연결되며, 에어공급라인(18)은 분사홀들(14)에 각각 에어를 공급한다.The stage 10 has an upper surface on which the substrate S is placed, and the substrate S is disposed substantially parallel to the stage 10. Diffusion grooves 12 are formed on the upper surface of the stage 10, and a plurality of injection holes 14 are formed on the diffusion grooves 12. The injection holes 14 are connected to the air supply line 18, and the air supply lines 18 supply air to the injection holes 14, respectively.

에어공급라인(18)을 통해 공급된 에어는 분사홀들(14)을 통해 각각 분사되며, 분사된 에어는 확산홈(12) 상에서 확산되어 스테이지(10)의 상부면에 놓여진 기판(S)을 스테이지(10)의 상부면으로부터 부상시킨다.The air supplied through the air supply line 18 is injected through the injection holes 14, respectively, and the injected air is diffused on the diffusion groove 12 to form the substrate S placed on the upper surface of the stage 10. It floats from the upper surface of the stage 10.

또한, 스테이지(10)는 복수의 리프트 핀 홀들(16)을 포함한다. 리프트 핀(22)은 리프트 핀 홀(16) 상에 설치되어 리프트 핀 홀(16)을 통해 승강하며, 스테이지(10) 상에 놓여진 기판(S)을 지지한다. 기판(S)은 반송로봇(도시안함)에 의해 스테이지(10)의 상부로 이동하며, 상승한 복수의 리프트 핀들(22) 상에 놓여진다. 이후, 리프트 핀들(22)은 하강하며, 기판(S)은 스테이지(10)의 상부에 놓여진다.The stage 10 also includes a plurality of lift pin holes 16. The lift pins 22 are installed on the lift pin holes 16 to move up and down through the lift pin holes 16, and support the substrate S placed on the stage 10. The substrate S is moved to the upper part of the stage 10 by a carrier robot (not shown), and is placed on the lifted plurality of lift pins 22. The lift pins 22 then descend and the substrate S is placed on top of the stage 10.

리프트 핀들(22)은 핀 플레이트(24)에 연결되며, 핀 플레이트(24)는 리프트 핀들(22)과 함께 동시에 승강한다. 이때, 기판(S)의 무게로 인하여 또는 승강하는 과정에서 리프트 핀들(22)이 유동할 수 있다. 리프트 핀들(22)이 유동할 경우, 기판(S)을 안정적으로 지지하기 곤란할 뿐만 아니라, 검사오류의 원인이 될 수 있다.The lift pins 22 are connected to the pin plate 24, and the pin plate 24 moves up and down simultaneously with the lift pins 22. At this time, the lift pins 22 may flow due to the weight of the substrate S or in the process of lifting. When the lift pins 22 flow, it is difficult to stably support the substrate S, and may cause inspection errors.

따라서, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단에 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)를 각각 설치하고, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단이 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)를 따라 각각 승강할 수 있도록 한다. 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)는 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단의 승강을 각각 안내하며, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단이 유동하는 것을 방지한다.Accordingly, the left guide member 26 and the right guide member 27 are provided at the left end and the right end of the pin plate 24, respectively, and the left end and the right end of the pin plate 24 are the left guide member 26. And right and left along the right guide member 27. The left guide member 26 and the right guide member 27 guide the lifting of the left and right ends of the pin plate 24, respectively, and prevent the left and right ends of the pin plate 24 from flowing.

한편, 도 2에 도시한 바와 같이, 복수의 핀 플레이트들(24)은 서로 나란하게 배치되며, 보조플레이트들(25)은 복수의 핀 플레이트들(24)과 수직하게 배치되어 핀 플레이트들(24)을 연결한다. 보조플레이트들(25)은 핀 플레이트들(24)과 동시에 승강한다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the plurality of pin plates 24 are arranged in parallel with each other, and the auxiliary plates 25 are disposed perpendicularly to the plurality of pin plates 24 to form pin plates 24. ). The auxiliary plates 25 are raised and lowered simultaneously with the pin plates 24.

마찬가지로, 보조플레이트(25)가 유동하는 것을 방지하기 위하여 보조플레이트(25)의 상단 및 하단에 상부 보조가이드부재(28) 및 하부 보조가이드부재(29)를 각각 설치하고, 보조플레이트(25)의 상단 및 하단이 상부 보조가이드부재(28) 및 하부 가이드부재(29)를 따라 각각 승강할 수 있도록 한다. 상부 가이드부재(28) 및 하부 가이드부재(29)는 보조플레이트(25)의 상단 및 하단의 승강을 각각 안내하며, 보조플레이트(25)의 상단 및 하단이 유동하는 것을 방지한다.Similarly, in order to prevent the auxiliary plate 25 from flowing, the upper auxiliary guide member 28 and the lower auxiliary guide member 29 are respectively provided at the upper and lower ends of the auxiliary plate 25, and The upper and lower ends are respectively elevated along the upper auxiliary guide member 28 and the lower guide member 29. The upper guide member 28 and the lower guide member 29 guide the lifting of the upper and lower ends of the auxiliary plate 25, respectively, and prevent the upper and lower ends of the auxiliary plate 25 from flowing.

도 2에 도시한 바와 같이, 가이드부재(26,27)가 핀 플레이트(24)의 상하방향 유동을 방지하는 반면에, 보조가이드부재(28,29)는 보조플레이트(25)의 좌우방향유동을 방지한다. 따라서, 리프트 핀(22)이 상하좌우방향으로 유동하는 것을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 2, the guide members 26 and 27 prevent the vertical flow of the pin plate 24, while the auxiliary guide members 28 and 29 prevent the lateral flow of the auxiliary plate 25. prevent. Therefore, the lift pin 22 can be prevented from flowing in the up, down, left and right directions.

한편, 핀 플레이트(24)와 스테이지(10) 사이에 벨로우즈(도시안함)가 설치될 수 있으며, 벨로우즈는 리프트 핀(22)의 하부를 감싸도록 설치된다. 또한, 스테이지(10)는 일방향(예를 들어, 도 1을 기준으로 우측방향)으로 이동하며, 스테이지(10)의 상부에 설치된 비전카메라(40)는 기판(S)을 스캔하여 기판(S) 상에 존재 하는 패턴결함을 촬영한다. 광 조사부(30)는 기판(S)의 표면에 검사용 광원을 조사할 수 있다.Meanwhile, a bellows (not shown) may be installed between the pin plate 24 and the stage 10, and the bellows may be installed to surround the lower part of the lift pin 22. In addition, the stage 10 moves in one direction (for example, to the right direction with reference to FIG. 1), and the vision camera 40 installed on the upper portion of the stage 10 scans the substrate S and the substrate S. FIG. Photograph the pattern defects on the screen. The light irradiation part 30 may irradiate the inspection light source to the surface of the substrate S. FIG.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 기판검사장치는 보조플레이트(25)와 대체로 나란한 연결플레이트(251,252)를 더 구비할 수 있다. 연결플레이트(251,252)는 핀 플레이트들(24)과 수직하게 배치되어 핀 플레이트들(24)의 양단을 각각 연결하며, 핀 플레이트들(24)과 동시에 승강한다.3 is a plan view schematically showing a substrate inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the substrate inspection apparatus may further include connection plates 251 and 252 which are generally parallel with the auxiliary plate 25. The connection plates 251 and 252 are disposed perpendicular to the pin plates 24 to connect both ends of the pin plates 24, and are simultaneously lifted with the pin plates 24.

연결플레이트(251,252)는 각각 외측으로 돌출된 돌기(253,254)를 가지며, 돌기(253,254)는 가이드부재(26,27)에 삽입되어 가이드부재(26,27)를 따라 승강한다. 가이드부재(26,27)는 돌기(253,254)의 승강을 각각 안내하며, 이를 통해 연결플레이트(251,252) 및 핀 플레이트들(24)이 유동하는 것을 방지한다.The connection plates 251 and 252 each have protrusions 253 and 254 protruding outwards, and the protrusions 253 and 254 are inserted into the guide members 26 and 27 to move up and down along the guide members 26 and 27. The guide members 26 and 27 guide the lifting and lowering of the protrusions 253 and 254, respectively, thereby preventing the connection plates 251 and 252 and the pin plates 24 from flowing.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.Although the present invention has been described in detail by way of preferred embodiments thereof, other forms of embodiment are possible. Therefore, the technical idea and scope of the claims set forth below are not limited to the preferred embodiments.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.1 is a side view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시한 핀 플레이트 및 보조 플레이트를 나타내는 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating the pin plate and the auxiliary plate illustrated in FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.3 is a plan view schematically showing a substrate inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 스테이지 12 : 확산홈10: stage 12: diffusion groove

14 : 분사홀 16 : 리프트 핀 홀14: injection hole 16: lift pin hole

22 : 리프트 핀 24 : 핀 플레이트22: lift pin 24: pin plate

25 : 보조플레이트 251 : 연결플레이트25: auxiliary plate 251: connection plate

253,254 : 돌기 26,27 : 가이드부재253,254: projection 26,27: guide member

28,29 : 보조가이드부재 30 : 광조사부28,29: auxiliary guide member 30: light irradiation unit

40 : 비전카메라40: vision camera

Claims (7)

상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지;A stage on which a substrate is placed, and moving along one direction with the substrate; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라;A vision camera installed at an upper portion of the stage and scanning the substrate moving along the one direction; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들;A plurality of lift pins supporting the substrate placed on the stage by elevating through a plurality of lift pin holes formed in the stage; 상기 스테이지의 하부에 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 핀 플레이트; 및A pin plate positioned below the stage to connect a lower portion of the lift pins and to move up and down with the lift pins; And 상기 핀 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 핀 플레이트의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And a guide member connected to one end and the other end of the pin plate to guide the lifting and lowering of the pin plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핀 플레이트는 상기 기판의 일변과 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The pin plate is a substrate inspection device, characterized in that arranged parallel to one side of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판검사장치는,The substrate inspection device, 상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 및An auxiliary plate disposed perpendicular to the pin plate and connected to the pin plate, the auxiliary plate being lifted with the pin plate; And 상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And an auxiliary guide member connected to one end and the other end of the auxiliary plate to guide the lifting and lowering of the auxiliary plate. 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지;A stage on which a substrate is placed, and moving along one direction with the substrate; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라;A vision camera installed at an upper portion of the stage and scanning the substrate moving along the one direction; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들;A plurality of lift pins supporting the substrate placed on the stage by elevating through a plurality of lift pin holes formed in the stage; 상기 스테이지의 하부에 서로 나란하게 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 각각 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 복수의 핀 플레이트들;A plurality of pin plates positioned parallel to each other at a lower portion of the stage, respectively connecting lower portions of the lift pins, and being lifted together with the lift pins; 상기 핀 플레이트들의 일단 및 타단을 각각 연결하여 상기 핀 플레이트들과 함께 승강하는 제1 및 제2 연결플레이트들; 및First and second connection plates that connect one end and the other end of the pin plates, respectively, and move up and down with the pin plates; And 상기 제1 및 제2 연결플레이트들에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 연결플레이트들의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And a guide member connected to the first and second connection plates, respectively, to guide the lifting of the first and second connection plates. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 핀 플레이트들은 상기 기판의 일변과 나란하게 배치되며,The pin plates are arranged parallel to one side of the substrate, 상기 연결플레이트들은 상기 핀 플레이트들과 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And the connection plates are disposed perpendicular to the pin plates. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 기판검사장치는,The substrate inspection device, 상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 및An auxiliary plate disposed perpendicular to the pin plate and connected to the pin plate, the auxiliary plate being lifted with the pin plate; And 상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And an auxiliary guide member connected to one end and the other end of the auxiliary plate to guide the lifting and lowering of the auxiliary plate. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 기판검사장치는 상기 스테이지에 형성된 복수의 분사홀들에 각각 연결되어 상기 분사홀들에 에어를 공급하는 에어공급라인을 더 포함하며,The substrate inspection apparatus further comprises an air supply line connected to each of the plurality of injection holes formed in the stage to supply air to the injection holes, 상기 분사홀들은 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 향하여 상기 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지로부터 부상시키는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.And the injection holes inject the air toward the substrate placed above the stage to lift the substrate from the stage.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104900559A (en) * 2014-03-03 2015-09-09 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Bearing device, reaction chamber and semiconductor processing equipment
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102047414B1 (en) * 2012-12-31 2019-11-21 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for inspecting glass

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080029097A (en) * 2006-09-28 2008-04-03 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus for inspecting pattern
KR101362455B1 (en) * 2006-11-10 2014-02-11 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus driving lift pins and device having it for manufacturing FPD

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104900559A (en) * 2014-03-03 2015-09-09 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Bearing device, reaction chamber and semiconductor processing equipment
CN109029534A (en) * 2018-07-27 2018-12-18 京东方科技集团股份有限公司 Carrying measuring device for oled substrate

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