KR102635052B1 - 액추에이터 및 이를 구비하는 디스플레이 - Google Patents

Abstract

소형화를 도모하는 것이 용이한 액추에이터를 제공한다. 액추에이터(S1)가 구비하는 탄성 지지체(16)는 장착 부재(12)에 고정되는 장착 부재측 피고정부(92), 가동자(14)에 고정되는 가동자측 피고정부(94), 및 장착 부재측 피고정부(92)와 가동자측 피고정부(94) 사이에 위치하는 변형부(80)를 갖는다. 변형부(80)의 종단(80E)(변형부(80)에서의 장착 부재측 피고정부(92) 쪽의 단부)은 가동자측 피고정부(94)에 대하여 X 방향 한쪽의 영역 및 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향 다른 쪽의 영역(「X 방향 외측 영역」)에만 위치한다.

Description

액추에이터 및 이를 구비하는 디스플레이

본 발명은 액추에이터에 관한 것이다.

종래, 액추에이터로서, 특허 문헌 1에 기재된 액추에이터가 알려져 있다.

이 액추에이터는 코일(원통형 전자 코일(2, 2'))을 포함하여 구성되는 장착 부재(요크(1), 케이스(8) 등)와, 자석(영구 자석(3))을 포함하여 구성되는 가동자(가동자(5))와, 장착 부재에 고정됨과 동시에 가동자에 고정되는 탄성 지지체(지지 부재(7, 7'))를 구비한다. 탄성 지지체(지지 부재(7, 7'))가 변형되는 것에 의해, 가동자(가동자(5))는 장착 부재에 대하여 소정의 변위 방향(x 방향, y 방향)으로 상대 변위된다.

이 액추에이터는 원판 형상의 탄성 지지체(지지 부재(7, 7'))의 외주 가장자리가 그 외주 전체에서 통 형상 부재(요크(1))에 고정되어 있다.

일본 실공소 61-45745호 공보

그런데, 상술한 바와 같은 액추에이터는 장치 내에 설치되는 것이 보통이다. 장치 내에서의 액추에이터의 설치 공간을 고려하면, 액추에이터에는 소형화가 요구된다.

본 발명은 소형화를 도모하는 것이 용이한 액추에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

제 1 양태에 관한 액추에이터는 코일을 포함하여 구성되는 장착 부재와, 자석을 포함하여 구성되고 상기 장착 부재에 대하여 소정의 변위 방향으로 상대 변위하는 가동자와, 상기 장착 부재에 고정되는 장착 부재측 피고정부, 상기 가동자에 고정되는 가동자측 피고정부 및 상기 장착 부재측 피고정부와 상기 가동자측 피고정부 사이에 위치하는 변형부를 갖는 탄성 지지체를 구비하는 액추에이터로서, 상기 변위 방향을 ±Z 방향으로 하고, ±Z 방향에 직교하는 평면 내의 방향 중 서로 수직인 방향을 X 방향 및 Y 방향으로 하고, 상기 변형부에서의 상기 가동자측 피고정부 쪽 단부를 시단(始端)으로 하고, 상기 변형부에서의 상기 장착 부재측 피고정부 쪽의 단부를 종단(終端)으로 했을 때, 상기 변형부의 상기 종단은 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 한쪽 영역 및 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 다른 쪽 영역에만 위치하는 액추에이터이다.

이 양태에서, 액추에이터는 코일을 포함하여 구성되는 장착 부재와, 자석을 포함하여 구성되는 가동자를 구비한다.

또한, 액추에이터는 탄성 지지체를 구비한다. 탄성 지지체는 장착 부재에 고정되는 장착 부재측 피고정부, 가동자에 고정되는 가동자측 피고정부 및 장착 부재측 피고정부와 가동자측 피고정부 사이에 위치하는 변형부를 갖는다. 탄성 지지체의 변형부가 변형되는 것에 의해, 가동자는 장착 부재에 대하여 소정의 변위 방향(±Z 방향)으로 상대 변위한다.

또한, 이 양태에서, 변형부의 종단(변형부에서의 장착 부재측 피고정부 쪽 단부)은 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 한쪽 영역 및 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 다른 쪽 영역(이하, 「X 방향 외측 영역」)에만 위치하고, 가동자측 피고정부와 X 방향에서 겹치는 영역(이하, 「X 방향 내측 영역」)에는 위치하지 않는다.

이 때문에, 변형부의 종단이 X 방향 내측 영역에도 위치하는 양태와 비교하여 액추에이터의 소형화를 도모할 수 있다.

구체적으로 설명하면, 변형부의 종단이 X 방향 외측 영역 외에 X 방향 내측 영역에도 위치하는 양태에서는 X 방향 내측 영역에서 탄성 지지체를 고정하기 위한 구조가 액추에이터의 구성으로 필요하게 된다. 탄성 지지체는 변위(예컨대, 진동에 의한 변위)하는 가동자를 지지하는 부재이기 때문에, 탄성 지지체를 고정하기 위한 구조에는 일정한 강도가 필요하며, 그 구조를 배치하기 위해서는 X 방향 내측 영역에 일정한 공간이 필요하게 된다.

이에 비해, 이 양태에서는, 변형부의 종단이 X 방향 외측 영역에 위치하고, X 방향 내측 영역에는 위치하지 않는다. 이 때문에, 탄성 지지체를 고정하기 위한 구조가 X 방향 내측 영역에는 불필요하게 되고, 그 결과, 액추에이터의 소형화를 도모하는 것이 용이해진다.

제 2 양태에 관한 액추에이터는, 제 1 양태에 있어서, 상기 변형부는 상기 시단을 갖고 상기 가동자측 피고정부에 대하여 Y 방향의 한쪽에 형성된 Y 방향 한쪽 측부와, 상기 시단을 갖고 상기 가동자측 피고정부에 대하여 Y 방향의 다른 쪽에 형성된 Y 방향 다른 쪽 측부와, 상기 종단을 갖고 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 한쪽에 형성된 X 방향 한쪽 측부와, 상기 종단을 갖고 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 다른 쪽에 형성된 X 방향 다른 쪽 측부와, 상기 Y 방향 한쪽 측부와 상기 X 방향 한쪽 측부를 연결하는 제 1 암부와, 상기 Y 방향 한쪽 측부와 상기 X 방향 다른 쪽 측부를 연결하는 제 2 암부와, 상기 Y 방향 다른 쪽 측부와 상기 X 방향 한쪽 측 부를 연결하는 제 3 암부와, 상기 Y 방향 다른 쪽 측부와 상기 X 방향 다른 쪽 측부를 연결하는 제 4 암부를 포함하여 구성되어 있다.

이 양태에서, 변형부는 각각 시단을 갖는 Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부와, 각각 종단을 갖는 X 방향 한쪽 측부 및 X 방향 다른 쪽 측부를 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 이러한 부분들 사이가 4개의 암부로 연결되어 있다. 이 때문에, 변형부에서의 암부의 길이를 비교적 길게 확보할 수 있음과 동시에, 변형부를 X 방향 및 Y 방향에 대칭인 구조로 하기 쉽고, X 방향 및 Y 방향의 축선 중심의 회전을 억제할 수 있으므로, 탄성 지지체에 의한 가동자의 변위 방향(±Z 방향)의 지지가 안정적이다.

또한, 각 암부는 1개의 암으로 구성되어 있는 암부 외에, 2개 이상의 암으로 구성된 암부라도 좋다. 또한, 변형부의 Y 방향 한쪽 측부, Y 방향 다른 쪽 측부, X 방향 한쪽 측부 및 X 방향 다른 쪽 측부의 각각은 인접하는 각 암부의 측부가 일체로 형성된 것(도 9 참조) 외에, 암부마다 분리된 것이라도 좋다(예컨대, 도 17, 도 18 참조).

제 3 양태에 관한 액추에이터는, 제 2 양태에 있어서, 상기 Y 방향 한쪽 측부는 상기 시단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 1 암부와 상기 제 2 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부이고, 상기 Y 방향 다른 쪽 측부는 상기 시단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 3 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부이다.

이 양태에서, Y 방향 한쪽 측부는 시단을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부와 제 2 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부이고, Y 방향 다른 쪽 측부는 시단을 한개 가짐과 동시에 제 3 암부와 제 4 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부이다. 이 때문에, 시단을 갖는 Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

즉, Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부는 시단을 갖기 때문에, 그 변형량이 커지기 쉽게 되고 그 결과, 본 양태에서는, Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부의 강성을 확보하기 쉽기 때문에, Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

또한, Y 방향의 대칭성을 확보할 수 있기 때문에 안정적인 진동을 얻을 수 있게 된다.

제 4 양태에 관한 액추에이터는, 제 2 양태에 있어서, 상기 X 방향 한쪽 측부는 상기 종단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 1 암부와 상기 제 3 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부이고, 상기 X 방향 다른 쪽 측부는 상기 종단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 2 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부이다.

이 양태에서, X 방향 한쪽 측부는 종단을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부와 제 3 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부이며, X 방향 다른 쪽 측부는 종단을 한개 가짐과 동시에 제 2 암부와 제 4 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부이다. 이 때문에, 종단을 갖는 X 방향 한쪽 측부 및 X 방향 다른 쪽 측부의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

또한, X 방향의 대칭성을 확보할 수 있기 때문에 안정적인 진동을 얻을 수 있게 된다.

제 5 양태에 관한 액추에이터는, 제 2 양태에 있어서, 상기 Y 방향 한쪽 측부는 상기 시단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 1 암부와 상기 제 2 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부이고, 상기 Y 방향 다른 쪽 측부는 상기 시단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 3 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부이고, 상기 X 방향 한쪽 측부는 상기 종단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 1 암부와 상기 제 3 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부이며, 상기 X 방향 다른 쪽 측부는 상기 종단을 한개 가짐과 동시에 상기 제 2 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부이다.

이 양태에 따르면, 시단을 갖는 Y 방향 한쪽 측부 및 Y 방향 다른 쪽 측부의 변형량 증대를 억제할 수 있음과 동시에, 종단을 갖는 X 방향 한쪽 측부 및 X 방향 다른 쪽 측부의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

제 6 양태에 관한 액추에이터는, 제 2 양태 내지 제 5 양태 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 4개의 암부 각각을 상기 시단 쪽으로부터 상기 종단 쪽을 향해 신장하는 부분이라고 파악했을 때, 상기 4개의 암부 각각은 그 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향하는 되돌림부를 포함하여 구성되어 있다.

또한, X 방향 내측이란, X 방향에서 가동자의 중심축으로 접근하는 방향을 의미하고, Y 방향 내측이란, Y 방향에서 가동자의 중심축으로 접근하는 방향을 의미한다. 여기서, 가동자의 중심축이란, Z 방향에 평행한 축이며, 가동자의 중심을 지나는 축을 의미한다.

이 양태에서, 4개의 암부 각각은 그 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향하는 되돌림부를 포함하여 구성되어 있다. 이 때문에, 암부가 되돌림부를 포함하지 않는 양태와 비교하여, 액추에이터 전체를 대형화하지 않고도 암부의 길이를 길게 할 수 있다.

제 7 양태에 관한 액추에이터는, 제 1 양태 내지 제 6 양태 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 장착 부재측 피고정부의 Y 방향 한쪽 단부 및 Y 방향 다른 쪽 단부는 상기 종단보다 Y 방향 외측에 위치한다.

이 양태에서, 장착 부재측 피고정부의 Y 방향 한쪽 단부 및 Y 방향 다른 쪽 단부는 종단보다 Y 방향 외측에 위치한다. 즉, 장착 부재측 피고정부의 Y 방향 길이가 종단의 Y 방향 길이보다 Y 방향 양측으로 연장되어 있다. 이 때문에, 장착 부재에 대한 탄성 지지체의 고정이 안정된다.

또한, 장착 부재측 피고정부의 Y 방향 한쪽 단부 및 Y 방향 다른 쪽 단부가 가동자측 피고정부보다 Y 방향 외측에 위치하면, 장착 부재에 대한 탄성 지지체의 고정이 더욱 안정된다.

제 8 양태에 관한 액추에이터는, 제 1 양태 내지 제 7 양태 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 장착 부재는 상기 코일이 고정되는 코일 고정부와, 상기 탄성 지지체가 고정되는 지지체 고정부를 포함하여 구성되고, 상기 코일 고정부는 ±Z 방향을 판 두께 방향으로 하는 평판 형상 부분이고, 상기 코일은 상기 코일 고정부의 Z 방향의 한쪽에 고정되고, 상기 지지체 고정부가 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 마련되는 것이며, 상기 탄성 지지체가 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 배치되고, 상기 가동자는 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 배치되며, 또한 상기 탄성 지지체의 Z 방향의 다른 쪽에 고정되어 있다.

이 양태에 따르면, 액추에이터의 각 구성이 적절한 구조 및 배치 관계로 되어 있으므로, 소형(특히, Z 방향으로의 소형) 액추에이터로 할 수 있다.

제 9 양태에 관한 액추에이터는, 제 8 양태에 있어서, 상기 지지체 고정부는 상기 가동자에 대하여 X 방향의 한쪽과 X 방향의 다른 쪽에 한 쌍이 마련되고, 상기 액추에이터는 상기 한 쌍의 상기 지지체 고정부가 X 방향 내측으로 쓰러지는 것을 방지하는 쓰러짐 방지부를 더 구비한다.

이 양태에서, 액추에이터는 한 쌍의 지지체 고정부가 X 방향 내측으로 쓰러지는 것을 방지하는 쓰러짐 방지부를 더 구비한다. 이 때문에, 액추에이터의 내구성이 향상된다.

제 10 양태에 관한 액추에이터는, 제 1 양태 내지 제 9 양태 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 탄성 지지체는 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조이다.

이 양태에서, 탄성 지지체는 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조이므로 제진 성능이 높다.

제 11 양태에 관한 디스플레이는, 제 1 양태 내지 제 10 양태 중 어느 하나의 양태에 관한 액추에이터를 구비하는 디스플레이이다.

이 양태에서, 디스플레이는 소형화된 액추에이터를 구비한다. 즉, 디스플레이가 구비하는 액추에이터가 소형화되어 있으므로, 디스플레이가 구비하는 다른 구성(장치, 배선 등)의 배치가 용이하다.

제 12 양태에 관한 액추에이터는 코일을 포함하여 구성되는 장착 부재와, 자석을 포함하여 구성되고 상기 장착 부재에 대하여 소정의 변위 방향으로 상대 변위하는 가동자와, 상기 장착 부재에 고정되는 장착 부재측 피고정부, 상기 가동자에 고정되는 가동자측 피고정부 및 상기 장착 부재측 피고정부와 상기 가동자측 피고정부 사이에 위치하는 변형부를 갖는 탄성 지지체를 구비하는 액추에이터로서, 상기 탄성 지지체는 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조이다.

이 양태에서, 탄성 지지체는 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조이므로 제진 성능이 높다. 특히, 완충재에 실리콘계의 부재를 이용함으로써, 환경 온도에 지배되지 않고 특성을 유지할 수 있는 탄성 지지체로 할 수 있다. 실리콘계의 부재로는 실리콘 고무층의 양면에 실리콘계 점착제의 층을 갖는 3층 구조의 양면 테이프가 바람직하다.

본 발명에 따르면, 소형화를 도모하는 것이 용이한 액추에이터를 얻을 수 있다.

도 1은 제 1 실시 형태의 액추에이터의 사시도이다.
도 2는 제 1 실시 형태의 액추에이터의 사시도(경사 아래쪽에서 본 도면)이다.
도 3은 제 1 실시 형태의 액추에이터의 측면도(+Y 방향에서 본 도면)이다.
도 4는 제 1 실시 형태의 액추에이터의 평면도(+Z 방향에서 본 도면)이다.
도 5는 제 1 실시 형태의 액추에이터의 단면도(도 4의 6-6선 단면도)이다.
도 6는 제 1 실시 형태의 액추에이터의 단면도(도 4의 7-7선 단면도)이다.
도 7은 제 1 실시 형태의 외측 프레임을 나타내는 도면이다.
도 8은 제 1 실시 형태의 커버를 나타내는 도면이다.
도 9는 제 1 실시 형태의 탄성 지지체를 나타내는 평면도이다.
도 10은 제 1 실시 형태의 액추에이터의 분해 사시도이다.
도 11은 제 1 실시 형태의 액추에이터를 구비하는 디스플레이를 나타내는 사시도(경사 뒤쪽에서 본 도면)이다.
도 12는 제 2 실시 형태의 액추에이터를 나타내는 사시도이다.
도 13은 제 2 실시 형태의 액추에이터의 평면도이다.
도 14는 제 2 실시 형태의 액추에이터의 단면도(도 13의 14-14선 단면도)이다.
도 15는 제 2 실시 형태의 추가 탄성 지지체를 나타내는 평면도이다.
도 16은 제 2 실시 형태의 액추에이터의 분해 사시도이다.
도 17은 탄성 지지체의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 18은 탄성 지지체의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 19는 탄성 지지체의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 20은 탄성 지지체의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 21은 탄성 지지체의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 22는 「완충재 없음」의 경우, 및 「완충재 있음」의 경우의 시뮬레이션 결과를 나타내는 그래프이다.
도 23은 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조의 탄성 지지체로 하는 경우에 있어서, 온도 조건을 변경하여 시뮬레이션한 결과를 나타내는 그래프로서, 완충재로서의 접착 테이프에 아크릴계 점착제 양면 테이프를 사용한 경우의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 24는 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조의 탄성 지지체로 하는 경우에 있어서, 온도 조건을 변경하여 시뮬레이션한 결과를 나타내는 그래프로서, 완충재로서의 접착 테이프에 실리콘계 점착제 양면 테이프를 사용한 경우의 결과를 나타내는 그래프이다.

다음 설명에서는 각 도면에 나타내는 +Z 방향을 윗 방향이라 하고, -Z 방향을 아래 방향이라고 하는 경우가 있다. 다만, 이것은 액추에이터의 장착 방향을 한정하는 것은 아니다. 또한, 각 구성의 배치 관계에 대하여 설명할 때는, 탄성 지지체(16)가 자유 상태(각 도면에 표시된 상태)일 때의 배치 관계를 의미한다. 또한, 이하의 설명에서, Z 방향에 평행한 축으로서, 가동자(14)의 중심을 지나는 축을 가동자(14)의 중심축(AX)이라고 한다. 그리고, X 방향에서 가동자(14)의 중심축(AX)에 접근하는 방향을 X 방향 내측이라 하고 멀어지는 방향을 X 방향 외측이라 하며, Y 방향에서 가동자(14)의 중심축(AX)에 접근하는 방향을 Y 방향 내측이라 하고 멀어지는 방향을 Y 방향 외측이라 한다. 또한, +X 방향을 X 방향의 한쪽, -X 방향을 X 방향의 다른 쪽이라 하고, +Y 방향을 Y 방향의 한쪽, -Y 방향을 Y 방향의 다른 쪽이라 하며, +Z 방향을 Z 방향의 한쪽, -Z 방향을 Z 방향의 다른 쪽이라 한다. 또한, 각 도면에서는, 도면을 보기 쉽게 하는 관점에서 부호를 생략하는 경우가 있다.

[제 1 실시 형태]

이하, 본 발명의 제 1 실시 형태에 관한 액추에이터(S1)에 대하여 설명한다.

도 1은 제 1 실시 형태의 액추에이터(S1)의 사시도이고, 도 10은 분해 사시도이다.

액추에이터(S1)는 디스플레이(100)의 표시부(102)(도 11 참조) 등에 장착되는 「장착 부재」로서의 장착 부재(12)를 구비한다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 장착 부재(12)는 커버(50)와 내측 프레임(40)과 터미널(62)과 코일(30)과 쿠션 부재(64)와 외측 프레임(20)과 접착 시트(66)로 구성된다.

또한, 액추에이터(S1)는 장착 부재(12)에 대하여 소정의 변위 방향(±Z 방향)으로 상대 변위하는 가동자(14)를 구비한다. 가동자(14)는 요크(72)와 자석(74)과 극편(pole piece)(76)으로 구성된다.

또한, 액추에이터(S1)는 장착 부재(12)에 대하여 가동자(14)를 탄성 지지하는 탄성 지지체(16)를 구비한다. 탄성 지지체(16)는 2장의 판 스프링재(16S)와 완충재(16L)로 구성된다. 탄성 지지체(16)는 2장의 판 스프링재(16S) 사이에 완충재(16L)가 끼워진 구조로 이루어진다. 판 스프링재(16S)는 금속제로 이루어지고, 예를 들면, 스테인리스제이다. 완충재(16L)는 판 스프링재(16S)보다 낮은 탄성율을 갖는 부재이며, 예를 들어, 한 쌍의 판 스프링재(16S) 사이에 배치된 양면 테이프이다. 이 양면 테이프는 실리콘 고무층의 양면에 실리콘계 점착제층을 갖는 3층 구조의 양면 테이프더라도 좋다. 완충재(16L)는 각 판 스프링재(16S)의 변형에 추종하여 변형되고, 판 스프링재(16S)를 통해 가동자(14)의 진동을 흡수한다. 탄성 지지체(16)에 있어서는, 한 쌍의 판 스프링재(16S) 사이에 완충재(16L)가 배치되어 있으므로, 가동자(14)의 진폭 시에도 각 판 스프링재(16S)로부터 완충재(16L)가 분리되지 않는다. 따라서, 완충재(16L)에 의한 제진 성능을 안정적으로 유지할 수 있고, 가동자(14)의 구동을 입력 신호에 대하여 원활하게 추종시킬 수 있다.

도 7에는 외측 프레임(20)이 표시되어 있다. 외측 프레임(20)은 저판부(底板部)(21)와, 저판부(21)의 X 방향 양쪽에 형성된 한 쌍의 제 1 종판부(縱板部)(22)와, 저판부(21)의 Y 방향 양쪽에 형성된 한 쌍의 제 2 종판부(23)와, 한 쌍의 제 1 종판부(22)의 위쪽에 형성된 한 쌍의 피장착부(24)를 구비한다.

저판부(21)는 Z 방향을 판 두께 방향으로 하는 평판 형상으로 이루어져 있으며, X 방향을 길이 방향으로 하는 직사각형 형상으로 이루어져 있다. 저판부(21)의 중앙에는 원형의 관통공(21A)이 형성되어 있다. 제 1 종판부(22)는 X 방향을 두께 방향으로 하는 평판 형상으로 이루어져 있으며, Y 방향을 길이 방향으로 하는 직사각형 형상으로 이루어져 있다. 제 1 종판부(22)의 중앙 하부에는 직사각형 형상의 관통공(22A)이 형성되어 있다. 제 2 종판부(23)는 Y 방향을 판 두께 방향으로 하는 평판 형상으로 이루어져 있으며, X 방향을 길이 방향으로 하는 직사각형 형상으로 이루어져 있다. 제 2 종판부(23)의 Z 방향 치수는 제 1 종판부(22)의 Z 방향 치수보다 작고, 구체적으로는 1/2 이하로 되어 있다. 피장착부(24)는 Z 방향을 판 두께 방향으로 하는 평판 형상으로 이루어져 있으며, Y 방향을 길이 방향으로 하는 직사각형 형상으로 이루어져 있다. 피장착부(24)는 제 1 종판부(22)에 대하여 X 방향 외측에 형성되어 있다. 피장착부(24)에는 직사각형의 장착용 구멍(24A)이 관통 형성되어 있다. 장착용 구멍(24A)을 이용하는 것에 의해, 접착 시트(66)를 사용하지 않고도 다른 부재에 장착할 수 있다.

외측 프레임(20)은 1장의 금속제 판재로 제조되어 있다. 이 때문에, 저판부(21)와 제 1 종판부(22) 사이, 저판부(21)와 제 2 종판부(23) 사이, 및 제 1 종판부(22)와 피장착부(24) 사이에는, 각각, 판 두께 방향으로 구부려진 굽힘부(부호 생략)가 형성되어 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 코일(30)은 감긴 전선으로 구성되고, 보빈(31)의 외주 쪽에 형성된다. 코일(30)은 보빈(31)를 통해 외측 프레임(20)의 저판부(21) 상면에 고정된다. 외측 프레임(20)의 저판부(21)가 본 발명의 「코일 고정부」에 상당한다.

보빈(31)는 상하 방향을 축 방향으로 하는 원통형으로 이루어져 있다. 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 코일(30)과 외측 프레임(20)의 저판부(21) 사이에는 상하 방향의 간극이 형성된다. 이 간극은 후술하는 쿠션 부재(64)의 두께보다 두껍다. 또한, 코일(30)의 내주측 공간에 가동자(14)의 극편(76)이 배치되고, 코일(30)의 외주 측에 요크(72)의 하부가 배치된다.

쿠션 부재(64)는 고무 등의 탄성 부재로 형성된다. 쿠션 부재(64)는 외측 프레임(20)의 저판부(21)의 상면 쪽에 접착 등으로 고정된다. 쿠션 부재(64)는, 가동자(14)가 과도하게 진동할 때 등, 아래 방향으로 과도하게 변위된 가동자(14)가 맞닿게 할 수 있는 위치에 배치된다. 구체적으로는, 쿠션 부재(64)는 요크(72)의 수하부(垂下部)(72S)의 아래쪽에 배치된다. 쿠션 부재(64)는 요크(72)의 수하부(72S)와 마찬가지로 평면에서 보아 원형으로 이루어진다.

접착 시트(66)는 액추에이터(S1)를 다른 부재에 장착하기 위한 부재이다. 접착 시트(66)는 양면이 접착면으로 이루어진다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 접착 시트(66)는 외측 프레임(20)의 저판부(21)의 하면 쪽에 접착된다. 접착 시트(66)에는 외측 프레임(20)의 저판부(21)의 관통공(21A)에 대응하는 관통공(66A)이 형성된다. 접착 시트(66)의 관통공(66A)은 외측 프레임(20)의 저판부(21)의 관통공(21A)보다 한층 큰 원형 구멍으로 이루어진다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 접착 시트(66)는 외측 프레임(20)의 저판부(21) 하면의 거의 전체(구체적으로는 90% 이상의 영역)를 덮도록 배치된다.

내측 프레임(40)은 외측 프레임(20)의 저판부(21)의 상면 측에 고정된다. 내측 프레임(40)은 X 방향의 한쪽에 배치된 한쪽 내측 프레임(40)과, X 방향의 다른 쪽에 배치된 다른 쪽 내측 프레임(40)으로 구성된다. 한쪽 내측 프레임(40) 및 다른 쪽 내측 프레임(40)은 서로 별개로 이루어지고, 또한 서로 대략 동일한 구조로 이루어진다. 이하, 단지 내측 프레임(40)이라고 할 때에는 한쪽 내측 프레임(40) 및 다른 쪽 내측 프레임(40)의 양쪽 모두를 가리킨다.

도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)은 벽 두께 방향을 X 방향으로 향하게 하여 Y 방향으로 연장하는 입벽부(41)(「지지체 고정부」)와, 입벽부(41)의 Y 방향 양단과 접속된 한 쌍의 저벽부(42)(「쓰러짐 방지부」)를 구비한다.

입벽부(41)의 상면(41U)(도 5 및 도 10 참조)은 법선 방향을 윗 방향으로 향하게 한 평면으로 이루어져 있다. 입벽부(41)의 상면(41U)에서는 복수(본 실시 형태에서는 3개)의 원주 형상의 핀(43)이 위쪽을 향해 돌출되어 있다. 복수의 핀(43)은 Y 방향으로 나란히 배치된다.

도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 입벽부(41)의 상면(41U)은 탄성 지지체(16)의 하면에 접촉하고, 복수의 핀(43)은 탄성 지지체(16)의 복수의 관통공(92A)(도 9 참조)에 삽입된다.

저벽부(42)는 입벽부(41)보다 상하 방향의 높이가 낮게 형성된다. 이 때문에, 도 3에 나타내는 바와 같이, 저벽부(42)의 상면(42U)은 입벽부(41)의 상면(41U)보다 낮은 위치에 위치한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 저벽부(42)는 Y 방향으로 연장되는 하나의 입벽부(41)에 대하여 Y 방향 양단에 한 쌍이 형성되어 있다. 저벽부(42)는 입벽부(41)의 X 방향 내측에 위치한다. 입벽부(41)는 그 상부에서 탄성 지지체(16)를 지지하기 때문에 입벽부(41)의 상부에는 X 방향 내측으로의 힘(탄성 지지체(16)로부터의 힘)이 더해지고 그 결과, 저벽부(42)는 입벽부(41)의 X 방향 내측에 위치하고 있으므로 입벽부(41)(「지지체 고정부」)가 X 방향 내측으로 쓰러지는 것을 방지하는 「쓰러짐 방지부」로서 기능한다.

도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이, 저벽부(42)의 상면(42U)은 평면부(42U1)와 경사부(42U2)를 포함하여 구성되어 있다. 저벽부(42)의 상면(42U)의 평면부(42U1)는 법선 방향을 윗 방향으로 향하게 한 평면이다. 저벽부(42)의 상면(42U)의 경사부(42U2)는 평면부(42U1)에 대하여 입벽부(41) 측에 위치하고 있으며, 입벽부(41) 쪽을 향함에 따라 그 높이 위치가 높아지도록 경사져 있다. 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 저벽부(42)의 상면(42U)의 경사부(42U2) 중 가장 입벽부(41) 쪽에서의 높이 위치는 입벽부(41)의 상면(41U)보다도 낮은 위치로 되어 있다. 저벽부(42)의 상면(42U)의 경사부(42U2)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 측면에서 보아(다시 말해, Y 방향에서 보아) 아래쪽으로 볼록하게 되도록 만곡되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 저벽부(42)의 Y 방향의 치수는 입벽부(41) 쪽인 X 방향 외측에서 크고, 입벽부(41)로부터 떨어진 방향인 X 방향 내측을 향함에 따라 작아지게 형성된다. 저벽부(42)의 Y 방향 외측면(부호 생략)은 입벽부(41)의 Y 방향 외측면(부호 생략)과 대략 한 면(구체적으로는 법선 방향을 Y 방향 외측으로 향하게 한 평면)으로 된다. 한편, 저벽부(42)의 Y 방향 내측면(42Y)(도 4의 오른쪽 위의 저벽부(42)에 대해서만 부호 부여)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, X 방향 내측을 향함에 따라 서서히 Y 방향 외측으로 변위하고 있으며, 구체적으로는 평면에서 보아 Y 방향 바깥쪽으로 볼록하게 되도록 만곡되어 있다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)의 입벽부(41)의 상면(41U)에는 깊이 방향을 아래 방향으로 하는 홈(44)이 형성된다. 홈(44)에는 커버(50)의 일부(제 2 삽입부(53))가 삽입된다. 홈(44)은 상하 방향의 위쪽으로 개방되는 것 외에, X 방향 내측에도 개방되어 있다. 한편, 홈(44)은 X 방향 외측에는 개방되어 있지 않다. 홈(44)의 위치는 내측 프레임(40)의 Y 방향의 양 측부이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 홈(44)의 Y 방향의 위치는 저벽부(42)가 형성된 위치와 중첩되어 있다. 홈(44)의 깊이(Z 방향 치수) 및 커버(50)의 제 2 삽입부(53)는 저벽부(42)의 일부까지 도달되어 있다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)의 X 방향 외측면(40X)에는 X 방향 내측으로 움푹 패인 제 1 오목부(48)가 형성된다. 제 1 오목부(48)는 후술하는 제 2 오목부(47)의 아래쪽에 형성된다. 도 1, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 1 오목부(48)에 터미널(62)이 배치된다.

또한, 내측 프레임(40)에는 코일(30)의 배선(도시 생략)을 외부로 끌어 내기 위한 배선 통과부(49)(도 5, 도 10)가 형성되어 있다. 배선 통과부(49)는 내측 프레임(40)의 Y 방향 중앙 위치의 하면에 형성된 홈이다.

도 8에는 커버(50)가 도시되어 있다. 커버(50)는 내측 프레임(40)에 탄성 지지체(16)를 고정하도록 기능한다. 커버(50)는 한 쌍이 마련되고, 한 쌍의 커버(50)는 서로 동일한 구조이다. 또한, 도 8의 각 화살표는 X 방향 한쪽의 커버(50)(도 4의 왼쪽 커버(50))를 기준으로 나타내고 있다.

커버(50)는 내측 프레임(40)과의 사이에 탄성 지지체(16)를 유지하는 협지부(51)와, 내측 프레임(40)과 외측 프레임(20) 사이에 삽입되는 제 1 삽입부(52)와, 내측 프레임(40)의 홈(44) 에 삽입되는 제 2 삽입부(53)를 갖는다.

제 1 삽입부(52)에 대하여 구체적으로 설명한다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)의 X 방향 외측면(40X)에는 X 방향 내측으로 움푹 패인 제 2 오목부(47)가 형성된다. 제 2 오목부(47)는 위쪽으로도 개방되어 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)의 X 방향 외측면(40X)과 외측 프레임(20)의 제 1 종판부(22)는 맞닿아 있지만, 내측 프레임(40)의 X 방향 외측면(40X)의 제 2 오목부(47)의 부분은 외측 프레임(20)의 제 1 종판부(22)와의 사이에 공간이 형성된다. 이 공간에 커버(50)의 제 1 삽입부(52)가 삽입된다.

커버(50)는 한 장의 판재로 제조된다. 이 때문에, 협지부(51)와 제 1 삽입부(52) 사이, 및 협지부(51)와 제 2 삽입부(53) 사이에는 각각 판 두께 방향으로 구부려진 굽힘부(부호 생략)가 형성된다.

협지부(51)는 판 두께 방향을 상하 방향으로 향하게 한 평판 형상으로 이루어지고, Y 방향을 길이 방향으로 하는 직사각형 형상으로 이루어진다.

협지부(51)에는 복수(본 실시 형태에서는 3개)의 관통공(51A)이 Y 방향으로 나란하게 형성된다. 복수의 관통공(51A)에는 내측 프레임(40)의 입벽부(41)의 복수의 핀(43)이 각각 삽입된다. 복수의 관통공(51A)은 협지부(51)의 Y 방향 중앙에 위치하는 관통공(51A)과, 이 관통공(51A)에 대하여 Y 방향에 대칭인 위치에 형성된 복수(본 실시 형태에서는 2개)의 관통공(51A, 51A)으로 구성되어 있다. 관통공(51A)의 형상은 원형으로 이루어진다.

제 1 삽입부(52)는 협지부(51)에 대하여 X 방향 외측에 형성되고, 판 두께 방향을 X 방향으로 향하게 한 평판 형상으로 이루어진다. 제 1 삽입부(52)는 협지부(51)보다도 X 방향 외측 부분이 아래 방향을 향해 구부러지는 것으로 형성된다. 제 1 삽입부(52)의 Y 방향 한쪽 단부는 협지부(51)의 복수의 관통공(51A) 중 가장 Y 방향 한쪽에 있는 관통공(51A)보다도 Y 방향의 한쪽에 위치하고, 제 1 삽입부(52)의 Y 방향 다른 쪽 단부는 협지부(51)의 복수의 관통공(51A) 중 가장 Y 방향 다른 쪽에 있는 관통공(51A)보다도 Y 방향의 다른 쪽에 위치한다.

제 2 삽입부(53)는 협지부(51)에 대하여 Y 방향 외측에 한 쌍이 형성되고, 판 두께 방향을 Y 방향으로 향하게 한 평판 형상으로 이루어진다. 제 2 삽입부(53)는 협지부(51)보다도 Y 방향 외측 부분이 아래 방향을 향해 구부러지는 것으로 형성된다.

탄성 지지체(16)는 그 전체가 판 두께 방향을 상하 방향으로 향하게 한 평판 형상으로 이루어진다.

탄성 지지체(16)는 일부분에서 장착 부재(12)에 고정되고, 다른 부분에서 가동자(14)에 고정된다. 장착 부재(12)에 고정되는 부분과 가동자(14)에 고정되는 부분 사이의 부분이 가동자(14)가 변위(진동)할 때 변형되는 부분으로 된다.

즉, 도 9에 나타내는 바와 같이, 탄성 지지체(16)는 장착 부재(12)에 고정되는 장착 부재측 피고정부(92)와, 가동자(14)에 고정되는 가동자측 피고정부(94)와, 장착 부재측 피고정부(92)와 가동자측 피고정부(94) 사이의 변형부(80)로 구성된다.

장착 부재측 피고정부(92)에는 복수(본 실시 형태에서는 3개)의 관통공(92A)이 형성되어 있다. 장착 부재측 피고정부(92)의 관통공(92A)에는 내측 프레임(40)의 입벽부(41)의 복수의 핀(43)이 각각 삽입된다. 관통공(92A)의 형상은 원형으로 이루어지고, 관통공(92A)의 크기는 핀(43)이 정확하게 들어가는 크기로 이루어진다.

장착 부재측 피고정부(92)는 변형부(80)와의 경계 부분인 경계부(80E)를 갖는다. 경계부(80E)는 탄성 지지체(16) 중 장착 부재(12)에 고정된 부분(본 실시 형태에서는, 내측 프레임(40)과 커버(50) 사이에 끼워진 부분)과 고정되지 않은 부분의 경계 부분을 말한다. 경계부(80E)는 Y 방향으로 직선 형상으로 연장되는 부분으로 이루어진다. 경계부(80E)는 후술하는 변형부(80)의 종단(80E)과 일치한다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 장착 부재측 피고정부(92)는 경계부(80E)(종단(80E))와 Y 방향의 위치가 일치하는 본체부(92H)와, 본체부(92H)에 대하여 Y 방향 외측에 위치하는 연장부(92E)로 구성된다. 연장부(92E)는 본체부(92H)에 대하여 Y 방향 한쪽과 다른 쪽의 양쪽에 형성되어 있다. 이것에 의해, 장착 부재측 피고정부(92)는 본체부(92H)와 한 쌍의 연장부(92E)가 합쳐져, Y 방향을 길이 방향으로 하는 긴 형상으로 형성된다. 복수의 관통공(92A)은 장착 부재측 피고정부(92)의 본체부(92H), 한쪽의 연장부(92E) 및 다른 쪽의 연장부(92E)의 각각에 형성된다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 가동자측 피고정부(94)는 외형이 원형으로 이루어지고, 그 중심에 원형의 기준 구멍(94K)이 관통 형성되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 가동자측 피고정부(94)의 기준 구멍(94K)과 동일한 형상의 관통공이 가동자(14)(즉, 요크(72), 자석(74) 및 극편(76))에도 형성되어 있다. 도면을 보기 쉽게 한다는 관점에서, 가동자(14)의 관통공에 대해서도 가동자측 피고정부(94)의 기준 구멍(94K)과 동일한 도면 부호인 94K를 부여한다. 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 가동자측 피고정부(94)는 그 하면의 전체가 가동자(14)의 요크(72)에 접착 등으로 고정되어 있다. 구체적으로 말하면, 기준 구멍(94K)의 가장자리(내측 가장자리)로부터 원형의 외부 형상을 형성하는 외측의 가장자리(외측 가장자리)까지의 전체가 가동자(14)의 요크(72)에 고정되어 있다.

요크(72)는 연자성체이며, 바닥이 있는 원통형 구조로 이루어진다. 구체적으로는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 요크(72)는 벽 두께 방향을 상하 방향으로 향하게 한 천정부(72T)와, 천정부(72T)의 전체 외주로부터 아래 방향으로 연장하는 수하부(72S)로 구성된다. 천정부(72T)는 평면에서 보아 원형으로 이루어지고, 수하부(72S)의 벽 두께 방향은 천정부(72T)의 중심축(가동자(14)의 중심축(AX)과 일치함, 도 10 참조)에 수직인 방향으로 이루어진다.

요크(72)의 천정부(72T)의 하면에는 자석(74)이 고정된다. 자석(74)의 하면에는 연자성체인 극편(76)이 고정된다. 자석(74) 및 극편(76)은, 평면에서 보아 대략 서로 유사한 형상으로 이루어지고, 구체적으로는 원형으로 이루어진다. 다만, 극편(76) 쪽이 자석(74)보다 약간 큰 외형을 갖는다. 환언하면, 극편(76)의 직경은 자석(74)의 직경보다 약간 크다.

도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 자석(74) 및 극편(76)의 외주 측에는 일정한 공간을 남겨 두어 요크(72)의 수하부(72S)가 배치된다. 요크(72)의 수하부(72S)의 하단은 극편(76)의 하단과 높이가 일치하고 있다. 자석(74) 및 극편(76)과 요크(72)의 수하부(72S) 사이의 공간에는 코일(30)이 배치된다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 바닥이 있는 원통형 구조의 요크(72)의 외면에서, 천정부(72T)와 수하부(72S)의 경계에는, 위쪽 방향을 법선 방향으로 한 상부 평면(72T1)과 수평 방향을 법선 방향으로 한 외측면(72S1)을 연결하는 만곡면(72W)(도 5, 도 6 참조)이 형성된다. 요크(72)의 외면을 구성하는 상부 평면(72T1), 만곡면(72W) 및 외측면(72S1) 중 위쪽 방향을 법선 방향으로 한 상부 평면(72T1)이 탄성 지지체(16)와 접착된다. 구체적으로는, 상부 평면(72T1)의 전체가 탄성 지지체(16)와 접착된다.

탄성 지지체(16) 및 가동자(14)의 각각에는 서로를 위치 결정하기 위한 기준 구멍(94K)이 형성된다. 구체적으로, 기준 구멍(94K)은 탄성 지지체(16), 요크(72), 자석(74) 및 극편(76)에 형성된다. 각각에 형성된 기준 구멍(94K)의 크기, 형상은 서로 동일하다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 변형부(80)는 시단(80S)으로부터 종단(80E)을 향해, Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)와, 암부(82A, 82B, 82C, 82D)와, X 방향 한쪽 측부(83P) 및 X 방향 다른 쪽 측부(83M)를 갖는다.

여기서, 시단(80S)이란, 변형부(80)를 가동자측 피고정부(94) 쪽으로부터 장착 부재측 피고정부(92) 쪽을 향해 신장하는 부분으로 파악했을 때의 변형부(80)의 시작 부분을 말하고, 구체적으로는, 가동자측 피고정부(94)와 변형부(80)의 경계부와 일치한다. 시단(80S)은 Y 방향 한쪽의 시단(80S)과 Y 방향 다른 쪽의 시단(80S)이 존재한다.

Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 모두 가동자측 피고정부(94)와 Y 방향에서 인접한 부분이다. Y 방향 한쪽 측부(81P)는 가동자측 피고정부(94)의 Y 방향의 한쪽에 위치하고, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 가동자측 피고정부(94)의 Y 방향의 다른 쪽에 위치한다. Y 방향 한쪽 측부(81P)는 Y 방향 한쪽의 시단(80S)을 갖고, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 Y 방향 다른 쪽의 시단(80S)을 갖는다.

변형부(80)는 Y 방향 한쪽 측부(81P)로부터 X 방향의 한쪽과 다른 쪽을 향해 분기되어 있고, 각각, 제 1 암부(82A)와 제 2 암부(82B)에 연결되어 있다.

Y 방향 다른 쪽 측부(81M)로부터도 X 방향의 한쪽과 다른 쪽을 향해 분기되어 있고, 각각, 제 3 암부(82C)와 제 4 암부(82D)에 연결되어 있다. 이와 같이, Y 방향 한쪽 측부(81P)는 제 1 암부(82A)와 제 2 암부(82B)의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부(81P)로 되어 있고, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 제 3 암부(82C)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)로 되어 있다.

X 방향 한쪽 측부(83P)에서는, Y 방향 한쪽 접속부(81P)로부터 분기된 2개의 암부(82A, 82B) 중 X 방향 한쪽의 제 1 암부(82A)가 합류되고, Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)로부터 분기된 2개의 암부(82C, 82D) 중 X 방향 한쪽의 제 3 암부(82C)가 합류되고 있다.

X 방향 다른 쪽 측부(83M)에서는, Y 방향 한쪽 접속부(81P)로부터 분기된 2개의 암부(82A, 82B) 중 X 방향 다른 쪽의 제 2 암부(82B)가 합류되고, Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)로부터 분기된 2개의 암부(82C, 82D) 중 X 방향 다른 쪽의 제 4 암부(82D)가 합류되고 있다.

이와 같이, X 방향 한쪽 측부(83P)는 제 1 암부(82A)와 제 3 암부(82C)의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부(83P)로 되어 있고, X 방향 다른 쪽 측부(83M)는 제 2 암부(82B)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)로 되어 있다.

<동작>

이상과 같이 구성된 액추에이터(S1)는 가동자(14)가 탄성 지지체(16)에 지지되고, 코일(30)에 통전되지 않은 상태에서는 도 5에 나타내는 원점 위치에 있다. 가동자(14)에 발생하는 추력은 기본적으로는 플레밍의 왼손 법칙에 따라 주어지는 추력에 준한다. 액추에이터(S1)에서는 코일(30)이 플레이트(20)에 고정되고, 자석(74) 등에 의해 가동자(14)가 구성되어 있으므로, 코일(30)에 통전하여 코일(30)로부터 발생되는 힘의 반력으로서의 추력이 가동자(14)에 발생된다. 그리고, 코일(30)에 교류를 통전시킴으로써, 가동자(14)가 중심축(AX)을 따라 상하 방향으로 진폭하고, 진동한다.

<작용 효과>

다음에, 본 실시 형태의 작용 효과에 대하여 설명한다.

본 실시 형태에서, 액추에이터(S1)는 코일(30)을 포함하여 구성되는 장착 부재(12)와, 자석(74)를 포함하여 구성되는 가동자(14)를 구비한다.

또한, 액추에이터(S1)는 탄성 지지체(16)를 구비한다. 탄성 지지체(16)는 장착 부재(12)에 고정되는 장착 부재측 피고정부(92), 가동자(14)에 고정되는 가동자측 피고정부(94) 및 장착 부재측 피고정부(92)와 가동자측 피고정부(94) 사이에 위치하는 변형부(80)를 갖는다. 탄성 지지체(16)의 변형부(80)가 탄성 변형하는 것에 의해, 가동자(14)는 장착 부재(12)에 대하여 소정의 변위 방향(±Z 방향)으로 상대 변위한다.

또한, 본 실시 형태에서는 도 9에 나타내는 바와 같이, 변형부(80)의 종단(80E)(변형부(80)에서의 장착 부재측 피고정부(92) 쪽 단부)은 가동자측 피고정부(94)에 대하여 X 방향 한쪽의 영역 및 가동자측 피고정부(94)에 대하여 X 방향 다른 쪽의 영역(이하, 「X 방향 외측 영역」)에 위치하고, 가동자측 피고정부(94)와 X 방향에서 겹치는 영역(이하, 「X 방향 내측 영역」)에 위치하지 않는다.

이 때문에, 변형부(80)의 종단(80E)이 X 방향 내측 영역에도 위치하는 양태와 비교하여 액추에이터(S1)의 소형화를 도모할 수 있다.

구체적으로 설명하면, 변형부(80)의 종단(80E)이 X 방향 외측 영역 외에 X 방향 내측 영역에도 위치하는 양태에서는 X 방향 내측 영역에서 탄성 지지체(16)를 고정하기 위한 구조가 액추에이터(S1)의 구성으로서 필요하게 된다. 탄성 지지체(16)는 변위(예컨대, 진동에 의한 변위)하는 가동자(14)를 지지하는 부재이기 때문에, 탄성 지지체(16)를 고정하기 위한 구조에는 일정한 강도가 필요하며, 그 구조를 배치하기 위해서는 X 방향 내측 영역에 일정한 공간이 필요하게 된다.

이에 대해, 본 실시 형태에서는, 변형부(80)의 종단(80E)이 X 방향 외측 영역에 위치하고, X 방향 내측 영역에는 위치하지 않는다. 이 때문에, 탄성 지지체(16)를 고정하기 위한 구조가 X 방향 내측 영역에는 불필요하게 되고, 그 결과, 액추에이터(S1)의 소형화를 도모하는 것이 용이해진다.

또한, 본 실시 형태에서, 변형부(80)는 각각 시단(80S)을 갖는 Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)와, 각각 종단(80E)를 갖는 X 방향 한쪽 측부(83P) 및 X 방향 다른 쪽 측부(83M)를 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 이러한 부분 사이가 4개의 암부(82A, 82B, 82C, 82D)로 연결되어 있다. 이 때문에, 변형부(80)에서의 암부(82A, 82B, 82C, 82D)의 길이를 비교적 길게 확보할 수 있음과 동시에, 변형부(80)를 X 방향 및 Y 방향에 대칭인 구조로 하기 쉽고, X 방향 및 Y 방향의 축선 중심의 회전을 억제할 수 있으므로, 탄성 지지체(16)에 의한 가동자(14)의 변위 방향(±Z 방향)의 지지가 안정적이다.

또한, 본 실시 형태에서, Y 방향 한쪽 측부(81P)는 시단(80S)을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부(82A)와 제 2 암부(82B)의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부(81P)이며, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 시단(80S)을 한개 가짐과 동시에 제 3 암부(82C)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)이다. 이 때문에, 각각 시단(80S)을 갖는 Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

즉, Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 시단을 갖기 때문에, 그 변형량이 커지기 쉽고 그 결과, 본 실시 형태에서는, Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)의 강성을 확보하기 쉽기 때문에, 예를 들어, 도 17에 나타내는 양태와 비교하여, Y 방향 한쪽 측부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)에서의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

특히, 본 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)가 갖는 시단(80S)의 폭 W1(X 방향 치수)이 암부(82A, 82B, 82C , 82D)의 최소 폭 W2의 2배 이상(추가로 말하면 2.5배 이상)으로 형성되어 있으므로, 시단(80S) 부근의 변형량이 효과적으로 억제된다.

또한, 본 실시 형태에서, Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)가 갖는 시단(80S)의 폭 W1(X 방향 치수)이 Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)의 X 방향 치수의 최소값 W4(최소 폭)보다 크게 되어 있다. 이 때문에, Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)가 갖는 시단(80S)의 폭 W1(X 방향 치수)이 Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)의 X 방향 치수의 최소값 W4(최소 폭)과 일치하는 양태(도 21 참조)와 비교하여 시단(80S)의 응력이 집중되는 것을 억제할 수 있다.

특히, 본 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, Y 방향 한쪽 접속부(81P) 및 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)가 갖는 시단(80S)의 폭 W1(X 방향 치수)이 암부(82A, 82B, 82C , 82D)의 최소 폭 W2의 1.5배 이상(추가로 말하면, 2.5배 이상)으로 형성되어 있으므로, 시단(80S) 부근의 변형량이 효과적으로 억제된다.

또한, 본 실시 형태에서, X 방향 한쪽 측부(83P)는 종단(80E)을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부(82A)와 제 3 암부(82C)의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부(83P)이며, X 방향 다른 쪽 측부(83M)는 종단(80E)을 한개 가짐과 동시에 제 2 암부(82B)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)이다. 이 때문에, 예를 들어, 도 18에 나타내는 양태와 비교하여, 각각 종단(80E)을 갖는 X 방향 한쪽 측부(83P) 및 X 방향 다른 쪽 측부(83M)의 변형량 증대를 억제할 수 있다.

특히, 본 실시 형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, X 방향 한쪽 접속부(83P) 및 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)가 갖는 종단(80E)의 폭 W3(Y 방향 치수)이 암부(82A, 82B, 82C , 82D)의 최소 폭 W2의 2배 이상(추가로 말하면, 3배 이상)으로 형성되어 있으므로, 종단(80E) 부근의 변형량이 효과적으로 억제된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 종단(80E)의 Y 방향의 위치가 가동자측 피고정부(94)가 형성된 Y 방향의 범위(본 실시 형태에서는 가동자측 피고정부(94)의 직경 D1의 범위)에 들어가 있다. 이 때문에, Y 방향 양측의 시단(80S)으로부터의 암부의 길이를 길게 확보하기 쉽다.

또한, 본 실시 형태에서, X 방향 한쪽 접속부(83P)와 X 방향 다른 쪽 접속부(83M) 양쪽의 X 방향 내측 단부가 Y 방향으로 직선 형상으로 연장되는 직선 가장자리부(83X1, 83X2)로 되어 있다. 그리고, 직선 가장자리부(83X1, 83X2)는 변형부(80)에서의 Y 방향 중앙에 위치하며, Y 방향의 치수가 종단(80E)의 치수의 90% 이상으로 되어 있다. 이 때문에, X 방향 한쪽 접속부(83P) 및 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)를 밸런스 좋고 크게 형성할 수 있으므로, 가동자(14)의 지지가 안정적이다.

또한, 본 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 4개의 암부(82A, 82B, 82C, 82D)의 각각은 그 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향하는 되돌림부(84)를 포함하여 구성되어 있다. 이 때문에, 암부(82A, 82B, 82C, 82D)가 되돌림부(84)를 포함하지 않는 양태(도 20 참조)와 비교하여 액추에이터(S1) 전체를 대형화하지 않고도 암부(82A, 82B, 82C, 82D)의 길이를 길게 할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 변형부(80)가 분리되어 있지 않다. 환언하면, 변형부(80)의 각 부분은 모두 상호 접속되어 있다. 예를 들어, Y 방향 한쪽 측부(81P)와 Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 각 암부(82A, 82B, 82C, 82D)나 X 방향 한쪽 측부(83P), X 방향 다른 쪽 측부(83M)를 통해 접속되어 있다. 이 때문에, 내구성이 좋은 탄성 지지체(16)로 되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서, 탄성 지지체(16)는 변형부(80)뿐만 아니라, 장착 부재측 피고정부(92) 및 가동자측 피고정부(94)를 포함하는 모두가 일체로 형성되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서, 장착 부재측 피고정부(92)의 Y 방향 한쪽 단부 및 Y 방향 다른 쪽 단부는 종단(80E)보다 Y 방향 외측에 위치한다. 즉, 장착 부재측 피고정부(92)의 Y 방향 길이가 종단(80E)의 Y 방향 길이보다 길고, Y 방향 양측으로 연장되어 있다. 이 때문에, 장착 부재(12)에 대한 탄성 지지체(16)의 고정 영역을 확대할 수 있고, 탄성 지지체(16)의 고정이 안정된다.

또한, 본 실시 형태에서, 액추에이터(S1)는 한 쌍의 입벽부(41)(「지지체 고정부」)가 X 방향 내측으로 쓰러지는 것을 방지하는 저벽부(42)(「쓰러짐 방지부」)를 구비한다. 이 때문에, 액추에이터(S1)의 내구성이 향상된다.

특히, 본 실시 형태에서, 도 4에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(40)의 저벽부(42)는 입벽부(41)(「지지체 고정부」)에 대하여 X 방향 내측에 배치되고, 탄성 지지체(16) 변형부(80)와 평면에서 보아 일부 겹치는 위치까지 형성되면서도 입벽부(41)보다 낮게 형성되어 있다. 이 때문에, 액추에이터(S1)의 내구성이 향상되는 동시에, 저벽부(42)와 탄성 지지체(16)의 간섭을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 변형부(80)의 Y 방향 한쪽 단부와 Y 방향 다른 쪽 단부가, 함께, X 방향으로 직선 형상으로 연장되는 직선 가장자리부(80Y1, 80Y2)로 되어 있다. 그리고, 직선 가장자리부(80Y1, 80Y2)는 Y 방향 접속부(81)(Y 방향 한쪽 접속부(81P)와 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)를 각각 단지 Y 방향 접속부(81)라고 하는 경우가 있음)와, 이 Y 방향 접속부(81)로부터 분기된 2개의 암부(82A, 82B(또는 82C, 82D))의 일부를 구성하고 있다. 환언하면, 직선 가장자리부(80Y1, 80Y2)는 X 방향 한쪽의 암부(82A(또는 82C))로부터 Y 방향 접속부(81)를 넘어 X 방향 다른 쪽의 암부(82B(또는 82D))까지 X 방향으로 연장되어 있다. 이 때문에, 액추에이터의 전체 공간에서 탄성 지지체(16)를 효율적으로 배치할 수 있고, 소형임에도 불구하고 내구성이 뛰어난 액추에이터(S1)라고 할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서, 변형부(80)의 X 방향 치수(즉, X 방향 한쪽의 종단(80E)으로부터 X 방향 다른 쪽의 종단(80E)까지의 치수) X1에 대한 변형부(80)의 Y 방향의 치수 Y1의 비(X1/Y1)는 1.0 내지 1.5배(상세하게는 1.1배 내지 1.3배)로 되어 있다. 그리고, 변형부(80)에 대하여 X 방향 외측에서 탄성 지지체(16)가 장착 부재(12)에 고정되어 있다. 그 결과, 액추에이터(S1)는 평면에서 보아 X 방향으로 긴 형상으로 되어 있다.

또한, 본 실시 형태의 액추에이터(S1)는 외측 프레임(20)의 형상이나 내측 프레임(40)의 형상에 의해 전체적으로 직육면체의 형상으로 이루어져 있다. 직육면체 형상의 액추에이터(S1)는, 예를 들면, 원통 형상의 액추에이터와 비교하여 설치 공간 낭비가 발생하기 어렵고, 효율적으로 액추에이터(S1) 및 다른 부품을 배치할 수 있다.

다음에, 탄성 지지체(16)의 구조와 그 효과에 대하여 설명한다.

도 22는, 「완충재 없음」의 경우와 「완충재 있음」의 경우에 대하여, 액추에이터(S1)에 부여한 진동의 주파수(Frequency)와, 액추에이터(S1)의 진동에 의해 부착 대상물에 발생한 가속도(Acceleration)의 관계를 시뮬레이션한 결과를 나타내는 그래프이다. 여기서, 「완충재 있음」의 경우란, 상기 실시 형태와 같이, 2개의 판 스프링재(16S) 사이에 완충재(16L)(구체적으로는 접착 테이프)가 끼워진 구조(「완충재 있음」)의 경우를 의미하고, 「완충재 없음」이란, 금속제(예컨대, 스테인리스제)의 판 스프링재(16S)만으로 탄성 지지체가 구성된 경우를 의미한다. 다만, 「완충재 없음」은 정확하게는 「완충재 있음」의 경우의 판 스프링재(16S)를 2개 조합한 것과 동일 스프링 정수로 되도록 판 두께를 조정한 한개의 판 스프링재(16S)만으로 탄성 지지체를 구성한 경우이다.

도 22에 나타내는 바와 같이, 탄성 지지체를 한 쌍의 판 스프링재(16S) 사이에 완충재(16L)가 배치된 구조로 하는 것에 의해, 공진 시의 가속도 레벨을 억제할 수 있음을 알 수 있다.

도 23, 도 24는 한 쌍의 판 스프링재(16S) 사이에 완충재(16L)가 배치된 구조의 탄성 지지체로 하는 경우에, 온도 조건을 변경하여 시뮬레이션한 결과를 나타내는 그래프이다. 도 23은 완충재(16L)로서의 접착 테이프에 아크릴계 접착제 양면 테이프(구체적으로는 폴리올레핀계 발포체층의 양면에 아크릴계 점착제층을 갖는 3층 구조의 양면 테이프)를 사용한 경우, 도 24는 완충재(16L)로서의 접착 테이프에 실리콘계 점착제 양면 테이프(구체적으로는, 실리콘 고무층의 양면에 실리콘 점착제층을 갖는 3층 구조의 양면 테이프)를 이용한 경우의 결과를 나타낸다.

이들 도면에 나타내는 바와 같이, 아크릴계 점착제 양면 테이프를 사용한 경우는, 그 온도 의존성이 높기 때문에, 탄성 지지체의 진동 특성도 온도 의존성이 현저해진다. 한편, 실리콘계 점착제 양면 테이프를 사용한 경우에는, 그 온도 의존성이 낮기 때문에, 탄성 지지체의 진동 특성이 온도에 의존하지 않는다. 이 때문에, 완충재(16L)에 실리콘계의 부재를 이용하는 것에 의해, 환경 온도에 지배되지 않고 특성을 유지할 수 있는 탄성 지지체(16)라고 할 수 있다.

(디스플레이(100))

도 11은 제 1 실시 형태의 액추에이터(S1)를 구비하는 디스플레이(100)를 나타내고 있다.

디스플레이(100)는 액정 패널 등의 표시부(102)를 구비한다. 표시부(102)는 터치 패널로 구성된다. 표시부(102)의 뒷면(102B)에 액추에이터(S1)가 고정된다. 구체적으로는, 액추에이터(S1)의 접착 시트(66)에 의해 액추에이터(S1)의 장착 부재(12)가 표시부(102)의 뒷면(102B)에 장착된다. 또한, 표시부(102)에는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 복수(도면에서는 2개)의 액추에이터(S1)가 장착되어도 좋다.

이와 같은 디스플레이(100)에서는 터치 패널인 표시부(102)의 표면(102A)에 접촉하는 사용자의 손가락에 대하여, 액추에이터(S1)의 제어에 의한 다양한 촉감을 부여할 수 있다. 특히, 본 실시 형태에서, 디스플레이(100)가 구비하는 액추에이터(S1)가 소형화되어 있으므로, 디스플레이(100)가 구비하는 다른 구성(다른 장치, 배선 등)의 배치가 용이하다.

[제 2 실시 형태]

다음에, 도 12 내지 도 16을 사용하여 본 발명의 제 2 실시 형태에 관한 액추에이터(S2)에 대해 설명한다.

제 2 실시 형태의 액추에이터(S2)가 제 1 실시 형태의 액추에이터(S1)와 주로 상이한 점은 탄성 지지체(16) 외에 추가 탄성 지지체(18)를 더 구비하는 점이다. 다른 실시 형태와 마찬가지의 구조 및 기능을 갖는 구성에 대해서는 도면에 동일 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.

액추에이터(S2)는 추가 탄성 지지체(18)를 구비한다. 추가 탄성 지지체(18)는 판 두께 방향을 상하 방향을 향하게 한 평판 형상의 탄성체이다. 추가 탄성 지지체(18)는 탄성 지지체(16)에 대하여 아래 쪽에 마련된다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 추가 탄성 지지체(18)의 가동자측 피고정부(194)(도 15 참조)가 요크(72)의 수하부(72S)의 하단에 고정되고, 추가 탄성 지지체(18)의 장착 부재측 피고정부(92)가 입벽부(141)의 상하 방향 중간 위치에 고정된다.

추가 탄성 지지체(18)의 평면도를 도 15에 나타낸다.

추가 탄성 지지체(18)의 평면 형상은 탄성 지지체(16)의 평면 형상(도 9 참조)과 대체로 동일하지만, 가동자측 피고정부(194)에서는 크게 다르다. 구체적으로는 추가 탄성 지지체(18)의 가동자측 피고정부(194)에는 탄성 지지체(16)의 가동자측 피고정부(94)에 형성된 기준 구멍(94K)보다 큰 관통공(194A)이 형성되어 있다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 이 관통공(194A)의 내측에 코일(30)이 배치된다.

제 2 실시 형태의 내측 프레임(140)의 입벽부(41)는 그의 상하 방향의 중간 위치에서 추가 탄성 지지체(18)를 고정하기 위한 추가 고정부(41K)를 갖는다. 구체적으로, 내측 프레임(140)은 제 1 실시 형태와 달리 상부 재료(40U)와 하부 재료(40L)로 구성되어 있다. 추가 탄성 지지체(18)는 상부 재료(40U)와 하부 재료(40L)에 끼워진 상태로 고정된다. 도 16에 나타내는 바와 같이, 하부 재료(40L)의 상면(40L1)에는 복수(본 실시 형태에서는 3개)의 핀(45)이 Y 방향에 나란하게 마련된다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 상부 재료(40U)의 하면에는 복수의 핀(45)에 대응하는 오목부(46)가 형성된다. 복수의 핀(45)이 추가 탄성 지지체(18)의 장착 부재측 피고정부(92)의 관통공(92A)에 삽입됨과 동시에 상부 재료(40U)의 오목부(46)에 삽입된다.

하부 재료(40L)는 입벽부(41)의 일부를 구성하는 부분과, 저벽부(42)의 일부를 구성하는 부분을 포함하여 구성된다. 또한, 상부 재료(40U)도 입벽부(41)의 일부를 구성하는 부분과, 저벽부(42)의 일부를 구성하는 부분을 포함하여 구성된다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 내측 프레임(140)의 저벽부(42)는 입벽부(41)(「지지체 고정부」)에 대하여 X 방향 내측에 배치되어 있지만, 제 1 실시 형태(도 4 참조)와 달리 탄성 지지체(16)의 변형부(80)와 평면에서 보아 겹치는 위치까지 형성되지 않는다. 추가 탄성 지지체(18)의 암부(82A, 82B, 82C, 82D)와 저벽부(42)가 간섭하지 않도록 하기 위함이다.

추가 탄성 지지체(18)는 탄성 지지체(16)와 달리 완충재(16L)를 구비하지 않는다. 구체적으로는, 추가 탄성 지지체(18)는 판 스프링재(18S)만의 1층 구조로 되어 있다.

<작용 효과>

다음에, 제 2 실시 형태의 작용 효과에 대하여 설명한다.

본 실시 형태에서는 탄성 지지체(탄성 지지체(16) 및 추가 탄성 지지체(18))의 변형부(80)가 변형되는 것에 의해, 가동자(14)는 장착 부재(12)에 대하여 소정의 변위 방향(±Z 방향)으로 상대 변위한다.

그리고, 변형부(80)의 종단(80E)(변형부(80)에서의 장착 부재측 피고정부(92) 쪽 단부)는 가동자측 피고정부(94, 194)에 대하여 X 방향 한쪽의 영역 및 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향 다른 쪽의 영역(이하, 「X 방향 외측 영역」)에 위치하고, 가동자측 피고정부(94)와 X 방향에서 겹치는 영역(이하, 「X 방향 내측 영역」)에 위치하지 않는다.

이 때문에, 본 실시 형태에 있어서도, 액추에이터(S2)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 액추에이터(S2)가 추가 탄성 지지체(18)를 구비하므로, 가동자(14)의 변위(진동 등)가 더욱 안정된다.

또한, 본 실시 형태에서는 탄성 지지체(16)가 완충재(16L)를 포함한 구조로 됨과 동시에, 추가 탄성 지지체(18)가 완충재(16L)를 포함하지 않는 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 완충재(16L)를 포함한 탄성 지지체(16)에 의해 양호한 진동 특성을 얻을 수 있다. 또한, 추가 탄성 지지체(18)도 완충재(16L)를 포함한 구성으로 이루어진 양태와 비교하여, 탄성 지지체(16)가 고정되는 내측 프레임(140)의 상부 재료(40U)의 위치나 자세가 안정되고, 그 결과, 가동자(14)의 변위(진동)이 안정된다.

단, 추가 탄성 지지체(18)를 탄성 지지체(16)와 마찬가지로, 완충재(16L)를 끼운 구조로 변경하는 것에 의해 제진 성능을 향상시킬 수 있다.

(탄성 지지체의 변형예)

또한, 상기 실시 형태에서, 「탄성 지지체」로서 도 9에 나타내는 탄성 지지체(16)를 설명했지만, 본 발명의 「탄성 지지체」는 이것으로 한정되지 않는다. 이하, 구체적으로 설명한다.

상기 실시 형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, Y 방향 한쪽 측부(81P)가 시단(80S)을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부(82A)와 제 2 암부(82B)의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부(81P)이며, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 시단(80S)을 한개 가짐과 동시에 제 3 암부(82C)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)인 예를 설명하였지만, 본 발명의 「탄성 지지체」는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 17에 나타내는 탄성 지지체(116)로 되어도 좋다.

이 탄성 지지체(116)의 변형부(180)는 Y 방향 한쪽 측부(81P)가 2개로 분리되어 있으며, 그 결과, Y 방향 한쪽 측부(81P)는 2개의 시단(80S)을 갖는다. 또한, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)도 2개로 분리되어 있으며, 그 결과, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)도 2개의 시단(80S)을 갖는다. 이 때문에, Y 방향 한쪽 측부(81P)는 Y 방향 한쪽 접속부(81P)(도 9 참조)로 되어 있지 않고, Y 방향 다른 쪽 측부(81M)는 Y 방향 다른 쪽 접속부(81M)(도 9 참조)로 되어 있지 않다.

상기 실시 형태에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, X 방향 한쪽 측부(83P)가 종단(80E)을 한개 가짐과 동시에 제 1 암부(82A)와 제 3 암부(82C)의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부(83P)이며, X 방향 다른 쪽 측부(83M)는 종단(80E)를 한개 가짐과 동시에 제 2 암부(82B)와 제 4 암부(82D)의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)인 예를 설명했지만, 본 발명의 「탄성 지지체」는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 18에 나타내는 탄성 지지체(216)로 되어도 좋다.

이 탄성 지지체(216)의 변형부(280)는 X 방향 한쪽 측부(83P)가 2개로 분리되어 있으며, 그 결과, X 방향 한쪽 측부(83P)는 2개의 종단(80E)을 갖는다. 또한, X 방향 다른 쪽 측부(83M)도 2개로 분리되어 있고, 그 결과, X 방향 다른 쪽 측부(83M)도 2개의 종단(80E)을 갖는다. 이 때문에, X 방향 한쪽 측부(83P)는 X 방향 한쪽 접속부(83P)(도 9 참조)로 되어 있지 않고, X 방향 다른 쪽 측부(83M)는 X 방향 다른 쪽 접속부(83M)(도 9 참조)로 되어 있지 않다.

상기 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 장착 부재측 피고정부(92)의 Y 방향 길이가 종단(80E)의 Y 방향 길이보다 Y 방향 양측으로 연장되는 예를 설명했지만, 본 발명의 「장착 부재측 피고정부」는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 19에 나타내는 탄성 지지체(316)가 갖는 장착 부재측 피고정부(192)라도 좋다.

이 탄성 지지체(316)의 장착 부재측 피고정부(192)는 경계부(80E)와 Y 방향의 위치가 일치하는 본체부(92H)만으로 구성되어 있고, 본체부(92H)에 대하여 Y 방향 외측에 위치하는 연장부(92E)(도 9 참조)를 구비하지 않는다.

상기 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 4개의 암부(82A, 82B, 82C, 82D)의 각각이 그의 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향한 되돌림부(84)를 포함하여 구성된 예를 설명하였지만, 본 발명의 「암부」는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 20에 나타내는 탄성 지지체(416)를 갖는 암부(482A, 482B, 482C, 482D)라도 좋다.

탄성 지지체(416)의 변형부(480)의 암부(482A, 482B, 482C, 482D)는 그 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향하는 되돌림부(84)를 구비하지 않는다.

이상, 각 암부(82A, 82B, 82C, 82D)가 각각 한개의 암으로 구성되어 있는 예를 설명하였지만, 본 발명의 「암부」는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도시는 생략하지만, 2개 이상의 암으로 각 암부(82A, 82B, 82C, 82D)가 구성되어 있어도 좋다.

[보충 설명]

또한, 상기 실시 형태에서는, 「코일」이 평면에서 보아 원형의 코일(30)인 예를 설명했지만, 본 발명의 「코일」은 이것으로 한정되지 않고, 평면에서 보아 사각형이나 기타 다각형 형상이더라도 좋고, 이들 이외의 형상이더라도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 한쪽 내측 프레임(40)과 다른 쪽 내측 프레임(40)이 별체인 예를 설명했지만, 한쪽 내측 프레임(40)과 다른 쪽 내측 프레임(40)이 일체로 되어도 좋다. 구체적으로, 한쪽 내측 프레임(40)의 저벽부(42)와 다른 쪽 내측 프레임(40)의 저벽부(42)가 X 방향 내측으로 연장하여 접속되어 있어도 좋다. X 방향에 대향하는 각 저벽부(42)를 접속하여, 각 내측 프레임(40)을 일체화하는 것에 의해, 조립시의 프레임의 취급성이 향상되고, 또한 쓰러짐 방지 기능을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서, 외측 프레임(20)이 금속제의 판재로 제조되고, 수지제의 내측 프레임(40)과는 별체로 형성되는 예를 설명하였지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 외측 프레임(20)은 수지제로 이루어져도 좋다. 또한, 이 경우, 외측 프레임(20)과 내측 프레임(40)을 수지 성형에 의해 일체로 형성하여도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서, 디스플레이(100)의 표시부(102)에 액추에이터(S1)을 장착하는 예를 설명했지만, 액추에이터(S1)를 장착하는 부분이나 장치는 특별히 한정되지 않는다.

일본 출원인 특허 출원 제2019-047331호의 개시는 그 전체 내용이 참조로서 본 명세서에 포함된다.

S1, S2 액추에이터
12 장착 부재
14 가동자
16, 116, 216, 316, 416 탄성 지지체
20 외측 프레임
21 저판부(코일 고정부)
30 코일
40 내측 프레임
41 입벽부(지지체 고정부)
42 저벽부(쓰러짐 방지부)
74 자석
80, 180, 280, 480 변형부
80S 시단
80E 종단
81P Y 방향 한쪽 접속부(Y 방향 한쪽 측부)
81M Y 방향 다른 쪽 접속부(Y 방향 다른 쪽 측부)
82A, 482A 제 1 암부
82B, 482B 제 2 암부
82C, 482C 제 3 암부
82D, 482D 제 4 암부
83P X 방향 한쪽 접속부(X 방향 한쪽 측부)
83M X 방향 다른 쪽 접속부(X 방향 다른 쪽 측부)
84 되돌림부
92, 192 장착 부재측 피고정부
92H 본체부
92E 연장부
94, 194 가동자측 피고정부
100 디스플레이

Claims (11)

1. 삭제
2. 코일을 포함하여 구성되는 장착 부재와,
   자석을 포함하여 구성되고, 상기 장착 부재에 대하여 소정의 변위 방향으로 상대 변위하는 가동자와,
   상기 장착 부재에 고정되는 장착 부재측 피고정부, 상기 가동자에 고정되는 가동자측 피고정부 및 상기 장착 부재측 피고정부와 상기 가동자측 피고정부 사이에 위치하는 변형부를 갖는 탄성 지지체
   를 구비하는 액추에이터로서,
   상기 변위 방향을 ±Z 방향으로 하고, ±Z 방향에 직교하는 평면 내의 방향 중 서로 수직인 방향을 X 방향 및 Y 방향으로 하고,
   상기 변형부에서 상기 가동자측 피고정부 쪽의 단부를 시단으로 하고, 상기 변형부에서 상기 장착 부재측 피고정부 쪽의 단부를 종단으로 했을 때,
   상기 변형부의 상기 종단은, 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향 한쪽의 영역 및 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향 다른 쪽의 영역에만 위치하고,
   상기 변형부는,
   상기 시단을 갖고, 상기 가동자측 피고정부에 대하여 Y 방향의 한쪽에 형성된 Y 방향 한쪽 측부와,
   상기 시단을 갖고, 상기 가동자측 피고정부에 대하여 Y 방향의 다른 쪽에 형성된 Y 방향 다른 쪽 측부와,
   상기 종단을 갖고, 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 한쪽에 형성된 X 방향 한쪽 측부와,
   상기 종단을 갖고, 상기 가동자측 피고정부에 대하여 X 방향의 다른 쪽에 형성된 X 방향 다른 쪽 측부와,
   상기 Y 방향 한쪽 측부와 상기 X 방향 한쪽 측부를 연결하는 제 1 암부와,
   상기 Y 방향 한쪽 측부와 상기 X 방향 다른 쪽 측부를 연결하는 제 2 암부와,
   상기 Y 방향 다른 쪽 측부와 상기 X 방향 한쪽 측부를 연결하는 제 3 암부와,
   상기 Y 방향 다른 쪽 측부와 상기 X 방향 다른 쪽 측부를 연결하는 제 4 암부
   를 포함하여 구성되는 액추에이터.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 Y 방향 한쪽 측부는, 상기 시단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 1 암부와 상기 제 2 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부이며,
   상기 Y 방향 다른 쪽 측부는, 상기 시단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 3 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부인,
   액추에이터.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 X 방향 한쪽 측부는, 상기 종단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 1 암부와 상기 제 3 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부이며,
   상기 X 방향 다른 쪽 측부는, 상기 종단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 2 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부인,
   액추에이터.
5. 제 2 항에 있어서,
   상기 Y 방향 한쪽 측부는, 상기 시단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 1 암부와 상기 제 2 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 한쪽 접속부이며,
   상기 Y 방향 다른 쪽 측부는, 상기 시단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 3 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 Y 방향 다른 쪽 접속부이며,
   상기 X 방향 한쪽 측부는, 상기 종단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 1 암부와 상기 제 3 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 한쪽 접속부이며,
   상기 X 방향 다른 쪽 측부는, 상기 종단을 한개 가짐과 동시에, 상기 제 2 암부와 상기 제 4 암부의 양쪽에 접속된 X 방향 다른 쪽 접속부인,
   액추에이터.
6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 4개의 암부의 각각을 상기 시단 측으로부터 상기 종단 측을 향해 신장하는 부분이라고 파악했을 때,
   상기 4개의 암부의 각각은, 그 신장 방향이 Y 방향 내측과 X 방향 내측을 향하는 되돌림부를 포함하여 구성되어 있는,
   액추에이터.
7. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 장착 부재측 피고정부의 Y 방향 한쪽 단부 및 Y 방향 다른 쪽 단부는, 상기 종단보다 Y 방향 외측에 위치하는,
   액추에이터.
8. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 장착 부재는,
   상기 코일이 고정되는 코일 고정부와,
   상기 탄성 지지체가 고정되는 지지체 고정부를 포함하여 구성되고,
   상기 코일 고정부는, ±Z 방향을 판 두께 방향으로 하는 평판 형상 부분이며,
   상기 코일은, 상기 코일 고정부의 Z 방향의 한쪽에 고정되고,
   상기 지지체 고정부가 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 마련되는 것에 의해, 상기 탄성 지지체가 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 배치되고,
   상기 가동자는, 상기 코일 고정부에 대하여 Z 방향의 한쪽에 배치되고, 또한, 상기 탄성 지지체의 Z 방향의 다른 쪽에 고정되어 있는,
   액추에이터.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 지지체 고정부는, 상기 가동자에 대하여 X 방향의 한쪽과 X 방향의 다른 쪽에 한 쌍이 마련되고,
   상기 액추에이터는, 상기 한 쌍의 지지체 고정부가 X 방향 내측으로 쓰러지는 것을 방지하는 쓰러짐 방지부를 더 구비하는,
   액추에이터.
10. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성 지지체는, 한 쌍의 판 스프링재 사이에 완충재가 배치된 구조인,
    액추에이터.
11. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 액추에이터를 구비하는 디스플레이.