JP7417443B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本開示は、アクチュエータに関する。

特許文献１には、筒状ケースと、マグネット体と、中央部にマグネット体が取り付けられると共に筒状ケースの内周面に連結された板ばねと、を備える振動発生装置が開示されている。

特許第３８５１１０９号公報

本開示の目的は、取付部材と可動子と弾性支持体とを備えるアクチュエータにおいて、静音性を損なうことなく低コストで安定した振動特性が得られることである。

第１の態様に係るアクチュエータは、コイルを含んで構成される取付部材と、マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間の部分である変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、前記弾性支持体は、基準板バネと、前記基準板バネの反転形状とされた反転板バネと、を備え、前記基準板バネは、基準アームを有し、前記反転板バネは、反転アームを有し、前記変形部は、前記基準アームと前記反転アームとが重なることで形成された重複部と、前記基準アーム又は前記反転アームの何れかで形成された非重複部と、を有し、前記重複部には、前記基準板バネと前記反転板バネとの間に緩衝材が配置される。

なお、反転形状とは、表裏を反転させた場合に同一形状となる形状をいう。

上記態様では、アクチュエータは、取付部材と、可動子と、弾性支持体と、を備える。弾性支持体の変形部が変形することで、取付部材に対する可動子の変位が許容される。
弾性支持体の重複部には、基準板バネと反転板バネとの間に緩衝材が配置され、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造であるため、緩衝材により、制振性能が高められて可動子の共振が抑制されると共に、基準板バネと反転板バネとの接触音の発生が防止される。
また、弾性支持体の変形部が非重複部を有するので、弾性支持体の変形部が非重複部を有しない態様と比較して、接触音の発生を防止するための緩衝材の必要量を低下させることができる。
以上より、上記態様によれば、静音性を損なうことなく低コストで安定した振動特性を得ることができる。

第２の態様に係るアクチュエータは、第１の態様において、前記変位方向をＺ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向とし、前記可動子の重心を通るＸ方向に延びる軸をＸ軸とし、前記可動子の重心を通るＹ方向に延びる軸をＹ軸としたとき、Ｚ方向から見た前記弾性支持体の形状は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称である。

上記態様では、Ｚ方向から見た弾性支持体の形状は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称である。
このため、可動子の変位（±Ｚ方向の振動）が安定する。

第３の態様に係るアクチュエータは、第１又は第２の態様において、前記取付部材側被固定部は、前記可動子よりもＸ方向一方側に位置するＸ方向一方側部と、前記可動子よりもＸ方向他方側に位置するＸ方向他方側部と、を有し、前記基準アームは、前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、前記反転アームは、前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有する。

上記態様では、基準板バネ及び反転板バネの各々が、取付部材側被固定部のＸ方向一方側部とＸ方向他方側部の両方と繋がっている。

第４の態様に係るアクチュエータは、第３の態様において、前記可動子側被固定部は、前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がり、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がる。

上記態様は、後述の第１実施形態と第２実施形態とのうち、第１実施形態に当たる。

第５の態様に係るアクチュエータは、第４の態様において、前記重複部は、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成された第一始端側重複部と、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成された第二始端側重複部と、を含んで構成される。

上記態様では、弾性支持体の変形部の始端側の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

第６の態様に係るアクチュエータは、第３の態様において、前記可動子側被固定部は、前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がり、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がる。

上記態様は、後述の第１実施形態と第２実施形態とのうち、第２実施形態に当たる。

第７の態様に係るアクチュエータは、第４又は第６の態様において、前記重複部は、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成されたＸ方向一方終端側重複部と、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成されたＸ方向他方終端側重複部と、を含んで構成される。

上記態様では、弾性支持体の変形部の終端側の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

第８の態様に係るアクチュエータは、第４の態様において、前記重複部は、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成された第一始端側重複部と、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成された第二始端側重複部と、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成されたＸ方向一方終端側重複部と、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成されたＸ方向他方終端側重複部と、を含んで構成される。

上記態様では、重複部は、始端側重複部と終端側重複部との両方を含んで構成される。
このため、弾性支持体の変形部の始端側と終端側の２か所の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

第９の態様に係るアクチュエータは、第１～第８の何れかの態様において、前記基準アームと前記反転アームとが交差する。

上記態様では、基準アームと反転アームとが交差するので、交差しない態様と比較して、アームの長さを長くしやすい。

第１０の態様に係るアクチュエータは、第７又は第８の態様において、前記Ｘ方向一方終端側重複部では、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが交差し、前記Ｘ方向他方終端側重複部では、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが交差する。

上記態様では、基準アームのＸ方向一方アームと反転アームのＸ方向一方アームとが交差し、基準アームのＸ方向他方アームと反転アームのＸ方向他方アームとが交差する。
このため、交差しない態様と比較して、アームの長さを長くしやすい。

本開示によれば、取付部材と可動子と弾性支持体とを備えるアクチュエータにおいて、静音性を損なうことなく低コストで安定した振動特性が得られる。

第一実施形態のアクチュエータの斜視図である。 第一実施形態のアクチュエータの平面図である。 第一実施形態のアクチュエータの断面図（図２の３－３線断面図）である。 第一実施形態のアクチュエータの分解斜視図である。 第一実施形態の弾性支持体の分解斜視図である。 第一実施形態の板バネ（基準板バネ）の平面図である。 第一実施形態の弾性支持体の平面図である。 第二実施形態の板バネ（基準板バネ）の平面図である。 第二実施形態の弾性支持体の平面図である。 従来形状と第一実施形態の形状とのシミュレーション結果である。

以下の説明では、各図に示す＋Ｚ方向を上方向といい、－Ｚ方向を下方向ということがある。但し、これはアクチュエータの基準とした方向概念であり、アクチュエータの取付姿勢を限定するものではない。また、各構成の配置関係について説明するときは、弾性支持体３０が自由状態（各図に示された状態）のときの配置関係を意味する。また、以下の説明において、Ｚ方向に平行な軸であって、可動子２０の重心を通る軸を可動子２０の重心軸ＡＸという。そして、Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向という。Ｘ方向において可動子２０の重心軸ＡＸに近づく方向をＸ方向内側、離れる方向をＸ方向外側といい、Ｙ方向において可動子２０の重心軸ＡＸに近づく方向をＹ方向内側、離れる方向をＹ方向外側という。また、＋Ｘ方向をＸ方向一方側、－Ｘ方向をＸ方向他方側、＋Ｙ方向をＹ方向一方側、－Ｙ方向をＹ方向他方側、＋Ｚ方向をＺ方向一方側、－Ｚ方向をＺ方向他方側という。また、各図においては、図面を見易くする関係から、符号を省略している場合がある。

〔第１実施形態〕
以下、図１～図７を用い、本開示の第１実施形態に係るアクチュエータＳ１について説明する。

図１は、第１実施形態のアクチュエータＳ１の斜視図であり、図４は、分解斜視図である。

図１～図４に示すように、アクチュエータＳ１は、取付対象物に取り付けられる取付部材１０と、取付部材１０に対して所定の変位方向（±Ｚ方向）に相対変位する可動子２０と、取付部材１０に対して可動子２０を弾性的に支持する弾性支持体３０と、を備える。
弾性支持体３０が弾性変形することで、可動子２０が取付部材１０に対して相対変位することが許容される。アクチュエータＳ１は、Ｘ方向を長手方向、Ｙ方向を短手方向とする形状（具体的には略直方体形状）とされる。

取付対象物としては、例えば、タッチパネルとして構成された液晶パネル等の表示装置、各種のコントローラ等が挙げられる。タッチパネルを取付対象物とした場合、アクチュエータＳ１の振動制御によって、タッチパネルに触れる使用者の指に対し、様々な触感を与えることができる。

≪取付部材１０≫
図４に示すように、取付部材１０は、外側フレーム１１と、コイル１３と、クッション部材１２と、内側フレーム１５と、ターミナル１４と、カバー１６と、から構成される。

（外側フレーム１１）
外側フレーム１１は、１枚の金属製の板材から製造される。外側フレーム１１は、底板部１１Ａと、底板部１１ＡのＸ方向両側に形成された一対の第１縦板部１１Ｂと、底板部１１ＡのＹ方向両側に形成された一対の第２縦板部１１Ｃと、一対の第１縦板部１１Ｂの上側に形成された一対の被取付部１１Ｄと、を備える。

底板部１１Ａは、中央に円形の貫通孔を有する。第１縦板部１１Ｂは、中央下部に長方形状の貫通孔を有する。第２縦板部１１ＣのＺ方向寸法は、第１縦板部１１ＢのＺ方向寸法よりも小さい。被取付部１１Ｄは、第１縦板部１１Ｂに対してＸ方向外側に形成されている。被取付部１１Ｄは、アクチュエータＳ１を他部材（取付対象物）に取り付けるために用いられる。
なお、アクチュエータＳ１の他の部材（取付対象物）への取付けは、外側フレーム１１の底板部１１Ａの下面に接着される両面が接着面とされる接着シート（図示省略）により行われてもよい。

（コイル１３）
コイル１３は、電線が巻き回されることで構成される。コイル１３は、外側フレーム１１の底板部１１Ａの上面に固定される。外側フレーム１１の底板部１１Ａが、コイル１３が固定されるコイル固定部として機能する。

（クッション部材１２）
クッション部材１２は、ゴムなどの弾性部材で形成される。クッション部材１２は、外側フレーム１１の底板部１１Ａの上面に接着等で固定される。クッション部材１２は、可動子２０が過剰に振動したとき等、下方向に過度に変位した可動子２０が当接可能な位置に配置され、衝撃を吸収する。具体的には、クッション部材１２は、ヨーク２１の垂下部２１Ｂの下方に配置される。クッション部材１２は、ヨーク２１の垂下部２１Ｂと同様に、平面視で円形とされる。

（内側フレーム１５）
内側フレーム１５は樹脂で形成されており、外側フレーム１１の底板部１１Ａの上面に固定される。内側フレーム１５は、Ｘ方向一方側に配置された一方側内側フレーム１５と、Ｘ方向他方側に配置された他方側内側フレーム１５と、から構成される。一方側内側フレーム１５及び他方側内側フレーム１５は、互いに別体とされ、また、互いに略同一の構造とされる。以下、単に内側フレーム１５と言うときは、一方側内側フレーム１５及び他方側内側フレーム１５の両方を指す。

内側フレーム１５は、弾性支持体３０が固定される立壁部１５Ａと、立壁部１５ＡのＹ方向両端と接続された一対の低壁部１５Ｂと、を備える。

立壁部１５Ａは、法線方向を上方向に向けた平面である上面１５Ｃを有する。立壁部１５Ａの上面１５Ｃからは、複数（本実施形態では３つ）の円柱状のピン１５Ｄが上方へ向けて突出している。複数のピン１５Ｄは、Ｙ方向に並んで配置される。

低壁部１５Ｂは、立壁部１５Ａよりも上下方向の高さが低く形成され、Ｙ方向に延在する１つの立壁部１５Ａに対してＹ方向両端に一対形成される。低壁部１５Ｂは、立壁部１５ＡのＸ方向内側に形成される。低壁部１５Ｂは、立壁部１５ＡがＸ方向内側へ倒れるのを防止する倒れ防止部として機能する。

内側フレーム１５のＸ方向外側面には、Ｘ方向内側へ窪んだ窪部１５Ｅが形成される。また、内側フレーム１５には、コイル１３の配線（図示省略）を外部に引き出すための配線通過部１５Ｆが形成される。

（ターミナル１４）
ターミナル１４は、一対の内側フレーム１５のうち、片方（Ｘ方向他方側）の内側フレーム１５の窪部１５Ｅに配置される。

（カバー１６）
カバー１６は、内側フレーム１５の立壁部１５Ａの上面１５Ｃに弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０を固定するための部材である。カバー１６は一対設けられ、一対のカバー１６は、互いに同一の構造である。カバー１６には、複数（本実施形態では３つ）の貫通孔１６ＡがＹ方向に並んで形成される。複数の貫通孔１６Ａには、内側フレーム１５の立壁部１５Ａの複数のピン１５Ｄがそれぞれ挿入される。

≪可動子２０≫
可動子２０は、ヨーク２１と、マグネット２２と、ポールピース２３と、を有する。

ヨーク２１は、軟磁性体で形成される。ヨーク２１は、壁厚方向を上下方向に向けた天壁部２１Ａと、天壁部２１Ａの外側周縁から下方向に延びる垂下部２１Ｂと、から構成される。天壁部２１Ａは、平面視で円形であり、中心に貫通孔を有する。垂下部２１Ｂの壁厚方向は、天壁部２１Ａの中心軸（可動子２０の重心軸ＡＸと一致する。）に直交する方向を向く。

天壁部２１Ａは、上方向を法線方向とした上平面２１Ａ１を有し、垂下部２１Ｂは、可動子２０の重心軸ＡＸに垂直な方向を法線方向とした外側面２１Ｂ１と有する。上平面２１Ａ１と外側面２１Ｂ１との間には、上平面２１Ａ１と外側面２１Ｂ１とを繋ぐ湾曲面２１Ｃ１が形成される。上平面２１Ａ１は、弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０に対し、接着等により固定される。

マグネット２２は、ヨーク２１の天壁部２１Ａの下面に固定される。マグネット２２の形状は円柱形状であり、中心に貫通孔を有する。

ポールピース２３は、軟磁性体で形成される。ポールピース２３は、マグネット２２の下面に固定される。ポールピース２３の形状は円柱形状であり、中心に貫通孔を有する。

可動子２０は、ヨーク２１、マグネット２２及びポールピース２３により、磁気回路を形成する。図３に示すように、マグネット２２及びポールピース２３と、ヨーク２１の垂下部２１Ｂとの間には、空間が形成される。この空間にコイル１３が配置される。

ヨーク２１の天壁部２１Ａ、マグネット２２及びポールピース２３に形成された貫通孔は、弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０の貫通孔１５３と共に、それぞれの部材の位置決めに用いられる。

≪弾性支持体３０≫
図３に示すように、弾性支持体３０は、平板状とされ、自由状態では、弾性支持体３０の全体が上下方向に直交する同一平面上に位置する。

図５に示すように、弾性支持体３０は、基準板バネ３１Ａと、反転板バネ３１Ｂと、緩衝材３２と、スペーサ３３と、から構成される。弾性支持体３０は、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂとの間に、緩衝材３２及びスペーサ３３が挟まれた構造とされる。

基準板バネ３１Ａ及び反転板バネ３１Ｂは、共に、金属製とされ、例えばステンレス製である。
緩衝材３２は、板バネ３１Ａ，３１Ｂよりも低い弾性率を有する部材であり、例えば、一対の板バネ３１Ａ，３１Ｂ間に配置された両面接着テープである。この両面接着テープは、例えば、シリコーンゴムの層の両面にシリコーン系粘着剤の層を有する３層構造の両面接着テープである。緩衝材３２は、板バネ３１Ａ，３１Ｂの変形に追従して変形し、板バネ３１Ａ，３１Ｂを介して可動子２０の振動を吸収する。
スペーサ３３の材料や弾性率は、特に限定されない。なお、スペーサ３３は、板バネ３１と同様の弾性率を有していてもよいし、緩衝材３２と同じテープをスペーサ３３として用いてもよい。

反転板バネ３１Ｂは、基準板バネ３１Ａと同様に形成されたものであり、基準板バネ３１Ａと同一の材料で形成され、同一の形状とされる。但し、反転板バネ３１Ｂは、基準板バネ１３Ａの表裏を反転させて用いられる。
すなわち、同一形状の板バネ３１が２枚製造され、そのうち他方（反転板バネ３１Ｂ）を表裏反転させて互いに重ね合わせることで、弾性支持体３０が構成される。このとき、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂとが重なる部分には、緩衝材３２及びスペーサ３３が配置される。なお、本実施形態では、反転板バネ３１Ｂは、基準板バネ３１Ａと同一の部材をＸ軸周りに反転させたものとして説明する。このときのＸ軸を「反転軸」という。
以下、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂとを特に区別しないときは、単に板バネ３１という。

（板バネ３１の取付部材側被固定部４０、可動子側被固定部５０及び変形部６０）
図６に示すように、板バネ３１は、取付部材側被固定部４０と、可動子側被固定部５０と、変形部６０と、を有する。板バネ３１は、Ｘ軸とＹ軸とが交差する原点（Ｚ軸）について点対称の形状とされる。

板バネ３１の取付部材側被固定部４０は、Ｘ方向一方側部４１と、Ｘ方向他方側部４２と、から構成される。Ｘ方向一方側部４１とＸ方向他方側部４２とは、それぞれ、Ｙ方向を長手方向とする長方形状とされ、Ｙ方向に並ぶ複数（本実施形態では３つ）の貫通孔４３を有する。

板バネ３１の可動子側被固定部５０は、円形とされる。可動子側被固定部５０は、取付部材側被固定部４０のＸ方向一方側部４１とＸ方向他方側部４２との間に位置する。可動子側被固定部５０は、中央に貫通孔５３を有する。

板バネ３１の変形部６０は、Ｘ方向一方アーム６１と、Ｘ方向他方アーム６２と、を有する。Ｘ方向一方アーム６１は、可動子側被固定部５０と取付部材側被固定部４０のＸ方向一方側部４１とを繋ぎ、Ｘ方向他方アーム６２は、可動子側被固定部５０と取付部材側被固定部４０のＸ方向他方側部４２とを繋ぐ。また、Ｘ方向一方アーム６１は、可動子側被固定部５０のＹ方向一方側の部分（Ｙ方向一方側部５１）から延出され、Ｘ方向他方アーム６２は、可動子側被固定部５０のＹ方向他方側の部分（Ｙ方向他方側部５２）から延出される。なお、本実施形態では、基準板バネ３１Ａの各アーム６１，６２が基準アーム６１Ａ，６２Ａに相当し、反転板バネ３１Ｂの各アーム６１，６２が反転アーム６１Ｂ，６２Ｂに相当する。

板バネ３１の変形部６０を構成する各アーム６１，６２の始端部分（可動子側被固定部５０側部分）は、Ｙ軸と重なるように形成される。

Ｘ方向一方アーム６１及びＸ方向他方アーム６２は、いずれも、Ｘ軸を跨ぐように伸長している。
すなわち、Ｘ方向一方アーム６１は、可動子側被固定部５０のＹ方向一方側部５１から延出されると共に取付部材側被固定部４０のＹ方向他方側の部分に繋がっており、Ｘ方向他方アーム６２は、可動子側被固定部５０のＹ方向他方側部５２から延出されると共に取付部材側被固定部４０のＹ方向一方側の部分に繋がっている。

（弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０、可動子側被固定部１５０及び変形部１６０）
弾性支持体３０は、一部において取付部材１０に固定され、他の一部において可動子２０に固定される。取付部材１０に固定される部分と、可動子２０に固定される部分との間の部分（「変形部１６０」）が、可動子２０が変位（振動）する際に変形する部分となる。
すなわち、弾性支持体３０は、取付部材１０に固定される取付部材側被固定部１４０と、可動子２０に固定される可動子側被固定部１５０と、取付部材側被固定部１４０と可動子側被固定部１５０との間を繋ぐ変形部１６０と、から構成される。

（弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０）
図７に示すように、弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０は、Ｘ方向一方側部１４１と、Ｘ方向他方側部１４２と、を有する。
弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０は、基準板バネ３１Ａの取付部材側被固定部４０と、反転板バネ３１Ｂの取付部材側被固定部４０と、スペーサ３３と、から構成される。板バネ３１の取付部材側被固定部４０の形状は、反転軸であるＸ軸について対称であるため、基準板バネ３１Ａの取付部材側被固定部４０と、反転板バネ３１Ｂの取付部材側被固定部４０とは、全体が重なる。

取付部材側被固定部１４０には、複数（本実施形態では３つ）の貫通孔１４３が形成される。取付部材側被固定部１４０の貫通孔１４３には、内側フレーム１５の立壁部１５Ａの複数のピン１５Ｄがそれぞれ挿入される。

（弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０）
弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０は、基準板バネ３１Ａの可動子側被固定部５０と、反転板バネ３１Ｂの可動子側被固定部５０と、スペーサ３３と、から構成される。
板バネ３１の可動子側被固定部５０の形状は、反転軸であるＸ軸について対称であるため、基準板バネ３１Ａの可動子側被固定部５０と、反転板バネ３１Ｂの可動子側被固定部５０とは、全体が重なる。

弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０は、円形とされ、中心に円形の貫通孔１５３を有する。図３に示すように、可動子側被固定部１５０の下面が、可動子２０のヨーク２１の天壁部２１Ａの上平面２１Ａ１に接着等で固定される。可動子側被固定部１５０の下面は、基準板バネ３１Ａの可動子側被固定部５０の下面である。

（弾性支持体３０の変形部１６０）
弾性支持体３０の変形部１６０は、基準板バネ３１Ａの変形部６０と、反転板バネ３１Ｂの変形部６０と、緩衝材３２と、から構成される。

板バネ３１の変形部６０は、反転軸であるＸ軸について対称な形状を有しないため、基準板バネ３１Ａの変形部６０と反転板バネ３１Ｂの変形部６０との全体が重なることはない。
そのため、弾性支持体３０の変形部１６０は、基準板バネ３１Ａの変形部６０と反転板バネ３１Ｂの変形部６０とが重なる部分である重複部８と、基準板バネ３１Ａの変形部６０又は反転板バネ３１Ｂの変形部６０の何れかで構成された非重複部９と、を有する。

板バネ３１の変形部６０の形状は、Ｘ軸とＹ軸とが交差する原点（Ｚ軸）について点対称であるため、基準板バネ３１Ａの変形部６０と反転板バネ３１Ｂの変形部６０とで形成される弾性支持体３０の変形部１６０は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称となる。

図３に示すように、重複部８では、基準板バネ３１Ａの変形部６０と、反転板バネ３１Ｂの変形部６０との間に両面接着テープ等の緩衝材３２が介在している。他方、非重複部９には、緩衝材３２が設けられない。

重複部８としては、始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２と、終端側重複部８Ｔ１、８Ｔ２と、が形成される。

図７に示すように、始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２は、変形部１６０の始端側（可動子側被固定部１５０側）に形成される。始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２としては、Ｙ方向一方側のＹ方向一方始端側重複部８Ｓ１と、Ｙ方向他方側のＹ方向他方始端側重複部８Ｓ２と、が形成される。
Ｙ方向一方始端側重複部８Ｓ１は、基準板バネ３１ＡのＸ方向一方アーム６１Ａの始端側の部分と、反転板バネ３１ＢのＸ方向他方アーム６２Ｂの始端側の部分とが重なることで形成される。
Ｙ方向他方始端側重複部８Ｓ２は、基準板バネ３１ＡのＸ方向他方アーム６２Ａの始端側の部分と、反転板バネ３１ＢのＸ方向一方アーム６１Ｂの始端側の部分とが重なることで形成される。

始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２は、可動子側被固定部１５０と隣接するように形成される。このため、可動子側被固定部１５０に設けられるスペーサ３３として、始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２に設けられる緩衝材３２と同じ緩衝材を用いる場合は、可動子側被固定部１５０に設けられる緩衝材と、始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２に設けられる緩衝材３２とが一体であってもよい。

Ｙ方向一方始端側重複部８Ｓ１からは、Ｘ方向の一方側と他方側へ向けて、変形部１６０が分枝している。Ｘ方向一方側へ向けて分岐しているのは、基準板バネ３１ＡのＸ方向一方アーム６１Ａであり、Ｘ方向他方側へ向けて分岐しているのは、反転板バネ３１ＢのＸ方向他方アーム６２Ｂであり、それぞれ非重複部９（始端側非重複部９Ｓ）となっている。
Ｙ方向他方始端側重複部８Ｓ２からは、Ｘ方向の一方側と他方側へ向けて、変形部１６０が分枝している。Ｘ方向一方側へ向けて分岐しているのは、反転板バネ３１ＢのＸ方向一方アーム６１Ｂであり、Ｘ方向他方側へ向けて分岐しているのは、基準板バネ３１ＡのＸ方向他方アーム６２Ａであり、それぞれ非重複部９（始端側非重複部９Ｓ）となっている。

基準板バネ３１ＡのＸ方向一方アーム６１Ａと、反転板バネ３１ＢのＸ方向一方アーム６１Ｂとは、共に、Ｘ方向一方側へ向かって伸びており、取付部材側被固定部１４０のＸ方向一方側部１４１に繋がる。
基準板バネ３１ＡのＸ方向他方アーム６２Ａと、反転板バネ３１ＢのＸ方向他方アーム６２Ｂとは、共に、Ｘ方向他方側へ向かって伸びており、取付部材側被固定部１４０のＸ方向他方側部１４２に繋がる。

基準板バネ３１ＡのＸ方向一方アーム６１Ａと、反転板バネ３１ＢのＸ方向一方アーム６１Ｂとは、反転軸であるＸ軸と重なる位置で交差している。
基準板バネ３１ＡのＸ方向他方アーム６２Ａと、反転板バネ３１ＢのＸ方向他方アーム６２Ｂとは、反転軸であるＸ軸と重なる位置で交差している。
交差している部分は、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂが重なった重複部８である終端側重複部８Ｔ１、８Ｔ２となっている。

弾性支持体３０の変形部１６０は、終端側非重複部９Ｔを有する。終端側非重複部９Ｔは、終端側重複部８Ｔ１、８Ｔ２よりも終端側に形成される。

始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２では、Ｙ方向一方側とＹ方向他方側のうち同じ側から延出されたアーム６１Ａ，６２Ｂ（又はアーム６１Ｂ，６２Ａ）同士が重なる。
終端側重複部８Ｔ１、８Ｔ２では、Ｙ方向一方側と他方側のうち異なる側を始端部とするものの、Ｘ方向一方側とＸ方向他方側のうち同じ側へ向かうアーム６１Ａ，６１Ｂ（又はアーム６２Ａ，６２Ｂ）同士が重なる。

＜動作＞
以上のように構成されたアクチュエータＳ１は、可動子２０が弾性支持体３０に支持され、コイル１３に通電していない状態では図３に示す原点位置にある。可動子２０に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。アクチュエータＳ１においては、コイル１３が外側フレーム１１に固定され、マグネット２２等により可動子２０が構成されているので、コイル１３に通電することにより、可動子２０にコイル１３から発生する力の反力としての推力が発生する。そして、コイル１３に交流を通電させることにより、可動子２０が重心軸ＡＸに沿って上下方向に振幅し、振動する。

＜作用効果＞
次に、本実施形態の作用効果について説明する。

本実施形態では、アクチュエータＳ１は、取付部材１０と、可動子２０と、弾性支持体３０と、を備える。弾性支持体３０の変形部が弾性変形することで、取付部材１０に対する可動子２０の変位が許容される。
更に、弾性支持体３０は、基準板バネ３１Ａと、基準板バネ３１Ａの反転形状とされた反転板バネ３１Ｂと、を備える。図３又は図７に示すように、弾性支持体３０の変形部１６０は、基準板バネ３１Ａの基準アーム６１Ａ，６２Ａと反転板バネ３１Ｂの反転アーム６１Ｂ，６２Ｂとが重なることで形成される重複部８と、基準アーム６１Ａ，６２Ａ又は反転アーム６１Ｂ，６２Ｂの何れかで形成される非重複部９と、を有する。そして、重複部８には、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂとの間に緩衝材３２が配置される。
このため、緩衝材３２により、制振性能が高められて可動子２０の共振を抑制できるので、良好な振動特性が得られると共に、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂとの接触を回避できるので接触音の発生が防止される。また、板バネ３１Ａ，３１Ｂの間に緩衝材３２を配置しているので、各板バネ３１Ａ，３２Ｂから緩衝材３２が剥がれることがない。したがって、緩衝材３２による制振性能を安定して維持でき、可動子２０の駆動を入力信号に対して円滑に追従させることができる。
また、弾性支持体３０の変形部１６０が非重複部９を有するので、弾性支持体３０の変形部１６０が非重複部９を有しない態様と比較して、接触音の発生を防止するための緩衝材３２の必要量を低下させることができる。

また、本実施形態では、図７に示すように、Ｚ方向から見た弾性支持体３０の形状は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称である。
このため、可動子２０の振幅時におけるＸ方向及びＹ方向への移動が抑制され、可動子２０の変位（±Ｚ方向の振動）が安定する。

また、本実施形態では、基準板バネ３１Ａ及び反転板バネ３１Ｂの各々が、弾性支持体３０の取付部材側被固定部１４０のＸ方向一方側部１４１とＸ方向他方側部１４２の両方と繋がっている。
また、本実施形態では、基準板バネ３１Ａと反転板バネ３１Ｂの各々が、弾性支持体３０の可動子側被固定部１５０のＹ方向一方側部１５１とＹ方向他方側部１５２に繋がっている。
これらにより、本実施形態では、各板バネ３１Ａ，３１Ｂの各アームは、可動子側被固定部１５０のＹ方向一方側部１５１又はＹ方向他方側部１５２から延出され、取付部材側被固定部１４０のＸ方向一方側部１４１又はＸ方向他方側部１４２に繋がる。そして、可動子２０と取付部材１０（内側フレーム１５）との間で、可動子側被固定部１５０と取付部材側被固定部１４０との間の空間を有効に利用して各アームの長さが比較的長く形成される。その結果、弾性支持体３０の振幅時の応力集中が緩和され、耐久性が向上する。

また、本実施形態では、重複部８は、基準アームのＸ方向一方アーム６１Ａと反転アームのＸ方向他方アーム６２Ｂとが重なることで形成されたＹ方向一方始端側重複部（第一始端側重複部に相当する。）８Ｓ１と、基準アームのＸ方向他方アーム６２Ａと反転アームのＸ方向一方アーム６１Ｂとが重なることで形成されたＹ方向他方始端側重複部（第二始端側重複部に相当する。）８Ｓ２と、を含んで構成される。
このため、弾性支持体３０の変形部１６０の始端側の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

また、本実施形態では、重複部８は、基準アームのＸ方向一方アーム６１Ａと、反転アームのＸ方向一方アーム６１Ｂとが重なることで形成された終端側重複部８Ｔ１（Ｘ方向一方終端側重複部に相当する。）と、基準アームのＸ方向他方アーム６２Ａと、反転アームのＸ方向他方アーム６２Ｂとが重なることで形成された終端側重複部８Ｔ２（Ｘ方向他方終端側重複部に相当する。）と、を含んで構成される。
このため、弾性支持体３０の変形部１６０の終端側の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

特に、本実施形態では、重複部８は、始端側重複部８Ｓ１，８Ｓ２と終端側重複部８Ｔ１、８Ｔ２との両方を含んで構成される。
このため、弾性支持体３０の変形部１６０の始端側と終端側の２か所の、板バネ－緩衝材－板バネで構成される３層構造により制振性能が向上する。

また、本実施形態では、基準アーム６１Ａ，６２Ａと反転アーム６１Ｂ，６２Ｂとが交差するので、交差しない態様と比較して、アームの長さを長くできる。具体的には、基準アーム６１ＡはＹ方向一方側の領域に始端を有するとともに、Ｙ方向他方側の領域に終端を有しており、Ｙ軸を跨いで長さが長く形成されている。
特に、本実施形態では、基準アームのＸ方向一方アーム６１Ａと反転アームのＸ方向一方アーム６１Ｂとが交差し、基準アームのＸ方向他方アーム６２Ａと反転アームのＸ方向他方アーム６２Ｂとが交差する。
また、このように本実施形態では、各アームが長く形成できる。このため、変位に対する機械スチフネスの変動量を小さく抑えられ、振幅安定性が良くなる。また、各アームの長さの調整幅が広がり、Ｆ０（最低共振周波数）を調整できる。さらに、アームの長さを長くすることで、振幅時の応力集中が緩和され、耐久性が向上する。
なお、アクチュエータの小型化に伴って相対的に各部品を小さく形成することは難しい。また、アクチュエータの小型化により弾性支持体のアームが短くなると、Ｆ０が上昇する。そこで、弾性支持体の各板バネのアームを細くしたり、板厚を薄くしたり、軟らかい材料で形成したりすることでＦ０を調整することが考えられるが、耐久性等を考慮すると難しい。また、アクチュエータの小型化に伴い可動子が軽量化されると、Ｆ０が上昇する。このため、アクチュエータを小型化すると、要求されるＦ０に調整することがより難しくなる。この点、本実施形態では、各アームの長さを長く形成できるので、アクチュエータを小型化する際に有利である。

（周波数特性の対称性について）
アームの長さを長くできることは、アクチュエータＳ１の入力電圧を変化させたときの共振周波数の変化を小さくするために有利である。入力電圧を変化させたときの共振周波数の変化が小さいと、入力電圧を変化させた際に、アクチュエータの振動態様を円滑に制御できる。これは例えば、特定の触感を強度を変えて呈示する際に、質感そのものへの影響が小さくなることを意味するため、実用上有利になる。また、入力周波数を変化させた際のジャンピング現象の発生を防止できる。ジャンピング現象とは、共振周波数に近い周波数の信号を入力した際に、振幅の大きさが一定せず、突然不連続に変化するなどし、動作が不安定になる現象である。

図１０は、比較形状と本実施形態の形状とを用いて行ったシミュレーション結果を示すグラフである。比較形状の弾性支持体は、本実施形態の弾性支持体と同様に、一対の板バネの重なる重複部に緩衝材を配置して構成した。比較形状の弾性支持体を構成する各板バネは、４つのアームを配置することにより、Ｘ軸及びＹ軸に対称な形状に構成した。このため、比較形状の弾性支持体においては、一方の板バネの各アームと他方の板バネの各アームとの全体が完全に重ねられ、非重複部を有しない形状とされる。なお、比較形状と本実施形態の形状とは、機械スチフネス（板バネの硬さ）が同等になるように構成した。図１０に示されるように、比較形状では、入力電圧の変化に対する共振周波数の変化量が大きい（１３０～１４５Ｈｚ、破線の傾きが大きい）のに対し、本実施形態の形状では、入力電圧の変化量に対する共振周波数の変化量が小さく（１３０～１３５Ｈｚ、破線の傾きが小さい）ことが確認できる。このように、比較形状に対し、本実施形態の形状では、周波数特性の対称性が向上した。本実施形態の形状では、比較形状に比べてアームを長くとれることで、板バネの線形性が向上するため、すなわち変位に対する機械スチフネスの変動幅を小さく抑えられる。

〔第２実施形態〕
次に、図８、図９を用いて、本開示の第２実施形態に係るアクチュエータについて説明する。

第２実施形態に係るアクチュエータのうち、第１実施形態に係るアクチュエータＳ１と異なる部分は、弾性支持体１３０のみである（図９参照）。第２実施形態の弾性支持体１３０は、２枚の板バネ１３１（図８）を含んで構成される。板バネ１３１の形状は（基準板バネ１３１Ａ及び反転板バネ１３１Ｂ）は、Ｘ軸について非対称であり、Ｙ軸について対称である。

第１実施形態では、図６又は図７に示すように、板バネ３１のＸ方向一方アーム６１とＸ方向他方アーム６２との始端が、可動子側被固定部１５０のＹ方向一方側部１５１又はＹ方向他方側部１５２のうち、互いに異なる方に繋がるのに対し、第２実施形態では、図９に示すように、板バネ１３１のＸ方向一方アーム６１とＸ方向他方アーム６２とが、弾性支持体１３０の可動子側被固定部１５０のＹ方向一方側部１５１又はＹ方向他方側部１５２のうち、同じ方に繋がる。

＜作用効果＞
次に、第２実施形態の作用効果について説明する。

本実施形態では、第１実施形態と同様に、弾性支持体１３０は、基準板バネ１３１Ａと、基準板バネ１３１Ａの反転形状とされた反転板バネ１３１Ｂと、を備える。弾性支持体１３０の変形部２６０は、基準板バネ１３１Ａの基準アーム６１Ａ，６２Ａと反転板バネ１３１Ｂの反転アーム６１Ｂ，６２Ｂとが重なることで形成される重複部８と、基準アーム６１Ａ，６２Ａ又は反転アーム６１Ｂ，６２Ｂの何れかで形成される非重複部９と、を有する。そして、重複部８には、基準板バネ１３１Ａと反転板バネ１３１Ｂとの間に緩衝材（図省略、図５参照）が配置される。
このため、緩衝材により、制振性能が高められると共に、基準板バネ１３１Ａと反転板バネ１３１Ｂとの接触音の発生が防止される。
また、弾性支持体１３０の変形部２６０が非重複部９を有するので、弾性支持体１３０の変形部２６０が非重複部９を有しない態様と比較して、緩衝材の必要量を低下させることができる。

また、本実施形態では、第１実施形態と同様に、Ｚ方向から見た弾性支持体１３０の形状は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称である。
このため、可動子２０の変位（±Ｚ方向の振動）が安定する。

また、本実施形態では、第１実施形態と同様に、基準板バネ１３１Ａ及び反転板バネ１３１Ｂの各々が、弾性支持体１３０の取付部材側被固定部１４０のＸ方向一方側部１４１とＸ方向他方側部１４２の両方と繋がっている。

〔補足説明〕
なお、上記実施形態では、「コイル」が平面視で円形のコイル１３である例を説明したが、本開示の「コイル」はこれに限定されず、平面視で矩形やその他の多角形状であってもよいし、これら以外の形状であってもよい。

また、上記実施形態では、一方側内側フレーム１５と他方側内側フレーム１５とが別体である例を説明したが、一方側内側フレーム１５と他方側内側フレーム１５とが一体とされてもよい。具体的には、一方側内側フレーム１５の低壁部１５Ｂと他方側内側フレーム１５の低壁部１５ＢとがＸ方向内側に延ばされて接続されていてもよい。Ｘ方向に対向する各低壁部１５Ｂを接続して、各内側フレーム１５を一体化することで、組み立て時のフレームの取り扱い性が向上し、さらに、倒れ防止機能を向上できる。

また、上記実施形態では、外側フレーム１１が、金属製の板材から製造され、樹脂製の内側フレーム１５とは別体として形成される例を説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、外側フレーム１１は、樹脂製とされてもよい。更にこの場合、外側フレーム１１と内側フレーム１５とを樹脂成形により一体に形成してもよい。

また、上記実施形態では、弾性支持体３０，１３０の取付部材側被固定部１４０及び可動子側被固定部１５０（被固定部１４０，１５０）にはスペーサ３３が設けられたが、スペーサ３３は省略してもよい。
また、被固定部１４０，１５０と変形部１６０，２６０との境界部分において、基準板バネ３１Ａ，１３１Ａと反転板バネ３１Ｂ，１３１Ｂのうち一方又は両方に段差が形成されてもよい。この段差は、被固定部１４０，１５０における基準板バネ３１Ａ，１３１Ａと反転板バネ３１Ｂ，１３１Ｂとの間隔を狭めるための段差である。このような段差を形成することは、被固定部１４０，１５０におけるスペーサ３３を省略した場合に好適である。

また、上記実施形態では、非重複部９には緩衝材３２が一切設けられないが、本開示の非重複部はこれに限定されない。

また、上記実施形態では、取付部材側被固定部１４０のＸ方向一方側部１４１と、Ｘ方向他方側部１４２とは、変形部１６０を介してのみ接続されているが、本開示の「取付部材側被固定部のＸ方向一方側部」「取付部材側被固定部ののＸ方向他方側部」は、これに限定されず、変形部を介さずに接続されてもよい。
また、上記実施形態では、板バネ３１，１３１の可動子側被固定部５０のＹ方向一方側部５１と、可動子側被固定部５０のＹ方向他方側部５２とが一体に形成されているが、Ｙ方向一方側部５１とＹ方向他方側部５２とを別体とし、板バネ３１，１３１が２つの部品で構成されてもよい。

上記実施形態では、基準板バネ３１Ａの取付部材側被固定部４０と、反転板バネ３１Ｂの取付部材側被固定部４０とが、全体で重なるが。本開示の取付部材側被固定部はこれに限定されない。
上記実施形態では、基準板バネ３１Ａの可動子側被固定部５０と、反転板バネ３１Ｂの可動子側被固定部５０とが、全体で重なるが、本開示の可動子側被固定部はこれに限定されない。

Ｓ１ アクチュエータ
１０ 取付部材
１３ コイル
２０ 可動子
２２ マグネット
３０，１３０ 弾性支持体
３１，１３１ 板バネ
３１Ａ，１３１Ａ 基準板バネ
３１Ｂ，１３１Ｂ 反転板バネ
３２ 緩衝材
３３ スペーサ
６１ Ｘ方向一方アーム
６１Ａ，６２Ａ 基準アーム
６１Ａ 基準アームのＸ方向一方アーム
６１Ｂ，６２Ｂ 反転アーム
６１Ｂ 反転アームのＸ方向一方アーム
６２ Ｘ方向他方アーム
６２Ａ 基準アームのＸ方向他方アーム
６２Ｂ 反転アームのＸ方向他方アーム
１４０ 取付部材側被固定部
１４１ Ｘ方向一方側部（取付部材側被固定部）
１４２ Ｘ方向他方側部（取付部材側被固定部）
１５０ 可動子側被固定部
１５１ Ｙ方向一方側部（可動子側被固定部）
１５２ Ｙ方向他方側部（可動子側被固定部）
１６０，２６０ 弾性支持体の変形部
８ 重複部
８Ｓ１ Ｙ方向一方始端側重複部（第一始端側重複部）
８Ｓ２ Ｙ方向他方始端側重複部（第二始端側重複部）
８Ｔ 終端側重複部
８Ｔ１ Ｘ方向一方終端側重複部
８Ｔ２ Ｘ方向他方終端側重複部
９ 非重複部
９Ｓ 始端側非重複部
９Ｔ 終端側非重複部

Claims (12)

1. コイルを含んで構成される取付部材と、
   マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、
   前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間の部分である変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、
   前記弾性支持体は、基準板バネと、前記基準板バネの反転形状とされた反転板バネと、を備え、
   前記基準板バネは、基準アームを有し、前記反転板バネは、反転アームを有し、
   前記変形部は、
   前記基準アームと前記反転アームとが重なることで形成された重複部と、
   前記基準アーム又は前記反転アームの何れかで形成された非重複部と、を有し、
   前記重複部には、前記基準板バネと前記反転板バネとの間に緩衝材が配置され、
   前記可動子は、ヨークを有し、
   前記ヨークは、壁厚方向を上下方向に向けた天壁部と、前記天壁部の外側周縁から下方向に延びる垂下部と、を有し、
   前記弾性支持体の前記可動子側被固定部の下面は、前記天壁部の上平面に固定される、
   アクチュエータ。
2. 前記変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向とし、
   前記可動子の重心を通るＸ方向に延びる軸をＸ軸とし、前記可動子の重心を通るＹ方向に延びる軸をＹ軸としたとき、
   Ｚ方向から見た前記弾性支持体の形状は、Ｘ軸とＹ軸の両方について対称である、
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記取付部材側被固定部は、
   前記可動子よりもＸ方向一方側に位置するＸ方向一方側部と、
   前記可動子よりもＸ方向他方側に位置するＸ方向他方側部と、を有し、
   前記基準アームは、
   前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
   前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、
   前記反転アームは、
   前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
   前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有する、
   請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記可動子側被固定部は、
   前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、
   前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、
   前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がり、
   前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がる、
   請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記重複部は、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成された第一始端側重複部と、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成された第二始端側重複部と、を含んで構成される、
   請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 前記可動子側被固定部は、
   前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、
   前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がり、
   前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、
   前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がる、
   請求項３に記載のアクチュエータ。
7. 前記重複部は、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成されたＸ方向一方終端側重複部と、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成されたＸ方向他方終端側重複部と、を含んで構成される、
   請求項４又は請求項６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
8. 前記重複部は、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成された第一始端側重複部と、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成された第二始端側重複部と、
   前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成されたＸ方向一方終端側重複部と、
   前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成されたＸ方向他方終端側重複部と、を含んで構成される、
   請求項４に記載のアクチュエータ。
9. 前記基準アームと前記反転アームとが交差する、
   請求項１～請求項８の何れか一項に記載のアクチュエータ。
10. 前記Ｘ方向一方終端側重複部では、前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが交差し、
    前記Ｘ方向他方終端側重複部では、前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが交差する、
    請求項７又は請求項８に記載のアクチュエータ。
11. コイルを含んで構成される取付部材と、
    マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、
    前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間の部分である変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、
    前記弾性支持体は、基準板バネと、前記基準板バネの反転形状とされた反転板バネと、を備え、
    前記基準板バネは、基準アームを有し、前記反転板バネは、反転アームを有し、
    前記変形部は、
    前記基準アームと前記反転アームとが重なることで形成された重複部と、
    前記基準アーム又は前記反転アームの何れかで形成された非重複部と、を有し、
    前記重複部には、前記基準板バネと前記反転板バネとの間に緩衝材が配置され、
    前記取付部材側被固定部は、
    前記可動子よりもＸ方向一方側に位置するＸ方向一方側部と、
    前記可動子よりもＸ方向他方側に位置するＸ方向他方側部と、を有し、
    前記基準アームは、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、
    前記反転アームは、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、
    前記可動子側被固定部は、
    前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、
    前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、
    前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、
    前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、
    前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がり、
    前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がり、
    前記重複部は、
    前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームとが重なることで形成された第一始端側重複部と、
    前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームと、前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームとが重なることで形成された第二始端側重複部と、を含んで構成される、
    アクチュエータ。
12. コイルを含んで構成される取付部材と、
    マグネットを含んで構成され、前記取付部材に対して所定の変位方向に相対変位する可動子と、
    前記取付部材に固定される取付部材側被固定部、前記可動子に固定される可動子側被固定部、及び、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部との間の部分である変形部を有する弾性支持体と、を備えるアクチュエータであって、
    前記弾性支持体は、基準板バネと、前記基準板バネの反転形状とされた反転板バネと、を備え、
    前記基準板バネは、基準アームを有し、前記反転板バネは、反転アームを有し、
    前記変形部は、
    前記基準アームと前記反転アームとが重なることで形成された重複部と、
    前記基準アーム又は前記反転アームの何れかで形成された非重複部と、を有し、
    前記重複部には、前記基準板バネと前記反転板バネとの間に緩衝材が配置され、
    前記取付部材側被固定部は、
    前記可動子よりもＸ方向一方側に位置するＸ方向一方側部と、
    前記可動子よりもＸ方向他方側に位置するＸ方向他方側部と、を有し、
    前記基準アームは、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、
    前記反転アームは、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向一方側部とを繋ぐＸ方向一方アームと、
    前記可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部の前記Ｘ方向他方側部とを繋ぐＸ方向他方アームと、を有し、
    前記可動子側被固定部は、
    前記可動子の重心よりもＹ方向一方側に位置するＹ方向一方側部と、
    前記可動子の重心よりもＹ方向他方側に位置するＹ方向他方側部と、を有し、
    前記基準アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの片方と繋がり、
    前記基準アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記片方と繋がり、
    前記反転アームの前記Ｘ方向一方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちのもう片方と繋がり、
    前記反転アームの前記Ｘ方向他方アームは、前記可動子側被固定部の前記Ｙ方向一方側部又は前記Ｙ方向他方側部のうちの前記もう片方と繋がる、
    アクチュエータ。