KR102632324B1 - 멀티레이어 탈거필름 구조를 포함하는 다중 레이어 정전척 - Google Patents

멀티레이어 탈거필름 구조를 포함하는 다중 레이어 정전척 Download PDF

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Abstract

멀티레이어 탈거필름 구조를 포함하는 다중 레이어 정전척이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 다중 레이어 정전척은, ESC바디부의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부; 상기 ESC기능부의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부; 및 상기 멀티레이어부의 각각의 유전층 사이에 각각 장착되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 해당 유전층 사이를 분리하는 구조의 탈거필름부;를 포함하는 것을 구성의 요지로 한다.
본 발명에 따르면, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.

Description

멀티레이어 탈거필름 구조를 포함하는 다중 레이어 정전척{Multi-layer electrostatic chuck with multi-layer stripping film structure}
본 발명은 다중 레이어 정전척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척에 관한 것이다.
정전척은 정전기의 힘인 정전력을 이용하여, 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널용 글래스 등의 피흡착체를 고정시켜주는 것인데, 이러한 정전척은 반도체 웨이퍼를 수평으로 고정시키거나, 디스플레이 패널용 글래스를 수평으로 유지시키기 위해 주로 사용된다.
이러한 정전척의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
일반적으로 상기 정전척은 도 1에 도시된 바와 같이 상기 정전척의 하부를 구성하는 베이스 부재(10)와, 상기 베이스 부재(10) 상에 배치되어 정전기를 유도하는 정전기 유도층(20) 및 상기 베이스 부재(10)에 삽입되는 전극 포트(30)로 구성된다.
상기 정전기 유도층(20)은 상기 베이스 부재(10)의 테두리에 댐(40)을 설치하고, 상기 댐(40)에 의해 형성되는 공간인 상기 베이스 부재(10)의 상부에 용융 수지를 붓고 경화시킨 후 표면을 연마하는 공정을 거쳐 형성되는데, 상기와 같이 형성되는 상기 정전기 유도층(20)은 상기 베이스 부재(10)와 일체형으로 형성됨으로 인해 상기 피흡착체의 안착 등 임의적인 외부 충격에 의해 손상될 경우, 수리가 어려워 상기 정전척을 새로 제작해야 하는 단점이 있었다.(도 2 참조)
따라서, 종래 기술에 따른 문제점을 해결할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.
한국등록특허공보 제10-2451733호 (등록일자: 2022년09월30일)
본 발명의 목적은, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시 이를 신속히 리페어 할 수 있고, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 다중 레이어 정전척은, ESC바디부의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부; 상기 ESC기능부의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부; 및 상기 멀티레이어부의 각각의 유전층 사이에 각각 장착되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 해당 유전층 사이를 분리하는 구조의 탈거필름부;를 포함하는 구성일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 멀티레이어부는, 상기 ESC기능부의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제1레이어; 상기 제1레이어의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제2레이어; 및 상기 제2레이어의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제3레이어;를 포함하는 구성일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탈거필름부는, 상기 제1레이어와 제2레이어 사이에 장착되고, 제1레이어의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어와 제2레이어 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제1탈거필름부; 및 상기 제2레이어와 제3레이어 사이에 장착되고, 제2레이어의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어와 제3레이어 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제2탈거필름부;를 포함하는 구성일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1탈거필름부는, 상기 제1레이어의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부; 상기 필름본체부의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부; 및 상기 필름본체부의 일측에 장착되고, 제3레이어의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부 내부로 전달하는 구조의 제1주입노즐;을 포함하는 구성일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2탈거필름부는, 상기 제2레이어의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부; 상기 필름본체부의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부; 및 상기 필름본체부의 일측에 장착되고, 제3레이어의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부 내부로 전달하는 구조의 제2주입노즐;을 포함하는 구성일 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 다중 레이어 정전척에 따르면, 특정 구조의 ESC바디부, ESC기능부 및 멀티레이어부를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 정전척을 나타내는 모식도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 정전척 리페어 방법을 나타내는 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3의 A부분 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시된 다중 레이어 정전척을 리페어하는 모습을 나타내는 사진이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척의 정전력 시험 결과를 나타내는 표이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7의 B부분 확대도이다.
도 9는 도 8에 도시된 탈거필름의 제2주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제2레이어와 제3레이어를 서로 분리함으로써, 제3레이어를 제2레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도이다.
도 10은 도 8에 도시된 탈거필름의 제1주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제1레이어와 제2레이어를 서로 분리함으로써, 제2레이어를 제1레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 본 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 3에는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 4에는 도 3의 A부분 확대도가 도시되어 있으며, 도 5에는 도 3에 도시된 다중 레이어 정전척을 리페어하는 모습을 나타내는 사진이 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)은 특정 구조의 ESC바디부(110), ESC기능부(120) 및 멀티레이어부(130)를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)를 구성하는 각 구성에 대해 상세히 설명한다.
본 실시예에 따른 ESC바디부(110)는 소정 두께를 가지는 블럭구조이고, 알루미늄합금 소재로 구성된다.
본 실시예에 따른 ESC기능부(120)는 상기 ESC바디부(110)의 상부면에 탑재되는 구성으로서, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조이다.
본 실시예에 따른 멀티레이어부(130)는 ESC기능부(120)의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 ESC기능부(120)는 특정 구조의 하부절연층(121), 상부절연층(122) 및 패턴층(123)을 포함하는 구성일 수 있다.
구체적으로, ESC기능부(120)의 하부절연층(121)은 ESC바디부(110)의 상부면에 적층되는 구조이다. 상부유전층(122)은 하부절연층(121)의 상부면에 적층되는 구조이다. 또한, 패턴층(123)은 하부절연층(121)과 상부유저층 사이에 배치되는 구성으로서, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전력을 발생하는 구조이다.
본 실시예에 따른 멀티레이어부(130)는 특정 구조의 제1레이어(131), 제2레이어(132) 및 제3레이어(133)를 포함하는 구성일 수 있다.
구체적으로, 제1레이어(131)는 상부유전층(122)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되는 구성으로서 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 제2레이어(132)는 제1레이어(131)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 또한, 제3레이어(133)는 제2레이어(132)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 경우에 따라서, 제3레이어(133)의 상부면에 다수의 레이어를 더 추가할 수 있다.
이러한 구성을 포함하는 본 실시예에 따르면, 도 5 도시된 바와 같이, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.
한편, 도 6에는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척의 정전력 시험 결과를 나타내는 표가 도시되어 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제1레이어(131), 제2레이어(132) 및 제3레이어(133) 적층 상태에서도 정전력에 의해 척킹포스(Chucking force) 값이 일정 수준을 유지하는 것을 확인할 수 있다.
도 7에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 8에는 도 7의 B부분 확대도가 도시되어 있다. 또한, 도 9에는 도 8에 도시된 탈거필름의 제2주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제2레이어와 제3레이어를 서로 분리함으로써, 제3레이어를 제2레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도가 도시되어 있고, 도 10에는 도 8에 도시된 탈거필름의 제1주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제1레이어와 제2레이어를 서로 분리함으로써, 제2레이어를 제1레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도가 도시되어 있다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)의 멀티레이어부(130)는 특정 구조의 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 포함하는 구성일 수 있다.
구체적으로, 본 실시예에 따른 제1탈거필름부(141)는 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 사이에 장착되는 구성으로서, 제1레이어(131)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조이다.
제1탈거필름부(141)는 특정 구조의 필름본체부(140a), 내부팽창부(140b) 및 제1주입노즐(140c)을 포함하는 구성일 수 있다. 필름본체부(140a)는 제1레이어(131)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어(131)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성한다. 내부팽창부(140b)는 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조이다. 제1주입노즐(140c)은 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조이다.
본 실시예에 따른 제2탈거필름부(142)는 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 사이에 장착되고, 제2레이어(132)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조이다.
제2탈거필름부(142)는 특정 구조의 필름본체부(140a), 내부팽창부(140b) 및 제2주입노즐(140d)을 포함하는 구성일 수 있다. 필름본체부(140a)는 제2레이어(132)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어(132)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성한다. 내부팽창부(140b)는 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조이다. 또한, 제2주입노즐(140d)은 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐(140c)과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 다중 레이어 정전척에 따르면, 특정 구조의 ESC바디부(110), ESC기능부(120), 멀티레이어부(130), 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 이용하여 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 손쉽고 정확하며 안정적으로 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.
이상의 본 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
즉, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.
100: 다중 레이어 정전척
110: ESC바디부
120: ESC기능부
121: 하부절연층
122: 상부유전층
123: 패턴층
130: 멀티레이어부
131: 제1레이어
132: 제2레이어
133: 제3레이어
141: 제1탈거필름부
142: 제2탈거필름부
140a: 필름본체부
140b: 내부팽창부
140c: 제1주입노즐
140d: 제2주입노즐

Claims (5)

  1. ESC바디부(110)의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부(120);
    상기 ESC기능부(120)의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부(130); 및
    상기 멀티레이어부(130)의 각각의 유전층 사이에 각각 장착되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 해당 유전층 사이를 분리하는 구조의 탈거필름부(140);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 멀티레이어부(130)는,
    상기 ESC기능부(120)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부(120)의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제1레이어(131);
    상기 제1레이어(131)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부(120)의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제2레이어(132); 및
    상기 제2레이어(132)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, ESC기능부(120)의 상부면과 동일한 구조의 유전층 구조인 제3레이어(133);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 탈거필름부(140)는,
    상기 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 사이에 장착되고, 제1레이어(131)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제1탈거필름부(141); 및
    상기 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 사이에 장착되고, 제2레이어(132)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제2탈거필름부(142);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1탈거필름부(141)는,
    상기 제1레이어(131)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어(131)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부(140a);
    상기 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부(140b); 및
    상기 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조의 제1주입노즐(140c);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2탈거필름부(142)는,
    상기 제2레이어(132)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어(132)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부(140a);
    상기 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부(140b); 및
    상기 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐(140c)과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조의 제2주입노즐(140d);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
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