KR102623714B1 - Manufacturing method of glass plate - Google Patents

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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

유리판의 제조 방법(1)은 유리판을 가공하는 가공 공정(S2)과, 가공 공정(S2)에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정(S3)과, 세정 공정(S3)에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정(S4)을 구비한다. 검사 공정(S4)은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)과, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정(S4b)을 갖는다. 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 상기 유리판은 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당된다.The manufacturing method (1) of a glass plate includes a processing step (S2) of processing a glass plate, a cleaning step (S3) of cleaning the glass plate processed in the processing step (S2), and the glass plate cleaned in the cleaning step (S3). An inspection process (S4) for detecting defects is provided. The inspection process (S4) has a defect coordinate specification process (S4a) that specifies the coordinates of the defect, and a defect content specification process (S4b) that specifies the content of the defect at the coordinates specified in the defect coordinate specification process (S4a). The number of lines in the defect content specification process (S4b) is greater than the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a), and the glass plate that has passed through the lines in the defect coordinate specification process (S4a) is connected to the line in the defect content specification process (S4b). is assigned.

Figure R1020187002366
Figure R1020187002366

Description

유리판의 제조 방법Manufacturing method of glass plate

본 발명은 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a glass plate including an inspection process for detecting defects in the glass plate.

예를 들면, 액정 디스플레이용 유리 기판 등의 유리판의 제조 방법에는 유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비하는 것이다(예를 들면, 특허문헌 1참조). 검사 공정에서 검출되는 유리판의 결함에는, 예를 들면 유리 파티클, 크랙, 이물, 오염, 가공 불량 등이 포함된다.For example, a method of manufacturing a glass plate such as a glass substrate for a liquid crystal display includes a processing step of processing a glass plate, a cleaning step of cleaning the glass plate processed in the processing step, and removing defects of the glass plate cleaned in the cleaning step. An inspection process for inspection is provided (for example, see Patent Document 1). Defects of the glass plate detected in the inspection process include, for example, glass particles, cracks, foreign matter, contamination, and processing defects.

(특허문헌 1) 일본 특허 공개 2015-141096호 공보(Patent Document 1) Japanese Patent Publication No. 2015-141096

그런데, 검사 공정에는 결함의 유무뿐만 아니라, 결함의 내용까지 특정하는 것이 요구되는 경우가 있다. 그러나, 단순하게, 결함의 내용까지 특정하려고 하면, 검사 공정에 필요한 시간이 길어진다는 문제가 있었다.However, in the inspection process, there are cases where it is required to specify not only the presence or absence of a defect but also the content of the defect. However, if you simply try to specify the details of the defect, there is a problem that the time required for the inspection process increases.

본 발명은 상기 사정을 감안하여, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것을 기술적 과제로 한다.In view of the above-described circumstances, the present invention makes it a technical problem to specify the contents of defects while suppressing the inspection time in an inspection process for detecting defects in a glass plate.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본원 발명자는 예의검토를 거듭한 결과, 다음과 같은 지견을 얻었다. 즉, 검사 공정에서 결함의 내용까지 특정하는 경우, 검사 공정을 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 이 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정으로 분할할 수 있다. 그 경우, 일반적으로 결함 좌표 특정 공정보다 결함 내용 특정 공정 쪽이 시간을 필요로 한다. 따라서, 결함 좌표 특정 공정의 라인수와 결함 내용 특정 공정의 라인수가 같은 경우, 결함 좌표 특정 공정을 완료한 유리판이 결함 내용 특정 공정을 기다려야 하는 사태가 발생한다.In order to solve the above problems, the inventor of the present application obtained the following knowledge as a result of repeated careful examination. In other words, when the content of a defect is specified in the inspection process, the inspection process is divided into a defect coordinate specification process that specifies the coordinates of the defect, and a defect content specification process that specifies the content of the defect at the coordinates specified in this defect coordinate specification process. can do. In that case, the defect content specification process generally requires more time than the defect coordinate specification process. Therefore, when the number of lines in the defect coordinate specification process and the number of lines in the defect content specification process are the same, a situation occurs where the glass plate that has completed the defect coordinate specification process has to wait for the defect content specification process.

이 지견에 의거하여 창안된 본 발명의 유리판의 제조 방법은 유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법으로서, 상기 검사 공정은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 상기 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정을 갖고, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 상기 유리판이 상기 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당되는 것을 특징으로 한다.The method for manufacturing a glass plate of the present invention created based on this knowledge includes a processing step of processing a glass plate, a cleaning step of cleaning the glass plate processed in the processing step, and inspection of defects in the glass plate cleaned in the cleaning step. A method of manufacturing a glass plate including an inspection process, wherein the inspection process includes a defect coordinate specification process for specifying the coordinates of a defect, and a defect content specification process for specifying the contents of a defect at the coordinates specified in the defect coordinate specification process. , the number of lines in the defect content specification process is greater than the number of lines in the defect coordinate specification process, and the glass plate that has passed through the lines in the defect coordinate specification process is assigned to the line in the defect content specification process.

이 구성에 의하면, 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당된다. 그 때문에, 결함 좌표 특정 공정을 완료한 유리판이 결함 내용 특정 공정을 기다려야 하는 사태를 회피할 수 있다. 이에 따라, 검사 공정 전체에 필요한 시간을 결함 좌표 특정 공정의 라인수와 결함 내용 특정 공정의 라인수가 같은 경우보다 짧게 할 수 있다. 즉, 본 발명의 유리판의 제조 방법에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것이 가능하다.According to this configuration, the number of lines in the defect content specification process is greater than the number of lines in the defect coordinate specification process, and the glass plate that passes the line in the defect coordinate specification process is assigned to the line in the defect content specification process. Therefore, it is possible to avoid a situation where the glass plate that has completed the defect coordinate specification process has to wait for the defect content specification process. Accordingly, the time required for the entire inspection process can be made shorter than when the number of lines in the defect coordinate specific process and the number of lines in the defect content specific process are the same. That is, according to the manufacturing method of the glass plate of this invention, it is possible to specify the content of a defect while suppressing the inspection time in the inspection process of detecting a defect of a glass plate.

상기 구성에 있어서, 상기 결함 좌표 특정 공정에는 상기 유리판을 반송방향의 직각방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 상기 직각방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 반송하면서 결함의 좌표를 특정하는 것이 바람직하다.In the above configuration, the defect coordinate specification process includes supporting the glass plate in a non-contact manner by floating it in the middle in a direction perpendicular to the conveyance direction, and specifying the coordinates of the defect while conveying the glass plate in a state of contact support at both ends in the perpendicular direction. It is desirable.

이 구성이면, 유리판을 반송하면서 결함의 좌표를 특정하므로, 결함 좌표 특정 공정에 필요한 시간을 보다 짧게 할 수 있다. 또한, 유리판을 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지한 상태에서 반송하므로, 유리판에 결함이 새롭게 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 유리판을 부상시킨 상태에서 반송하므로, 유리판에 자중에 의한 휨 등의 변형이 생기기 어려워 정밀도 좋게 결함의 좌표를 특정할 수 있다.With this configuration, the coordinates of defects are specified while transporting the glass plate, so the time required for the defect coordinate specification process can be shortened. In addition, since the glass plate is transported in a non-contact supported state by floating in the middle portion, it is possible to suppress the formation of new defects in the glass plate. In addition, since the glass plate is transported in a floating state, deformation such as bending due to its own weight is unlikely to occur in the glass plate, and the coordinates of defects can be specified with high precision.

상기 구성에 있어서, 상기 결함 내용 특정 공정에는 상기 유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정하는 것이 바람직하다.In the above configuration, in the defect content specifying process, it is preferable to specify the defect content while the glass plate is supported and fixed in surface contact.

유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태이므로, 유리판의 위치가 안정하기 때문에, 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표에 보다 정확하게 조준이나 초점을 맞추어 촬상할 수 있다.Since the glass plate is supported and fixed in surface contact, the position of the glass plate is stable, and images can be captured by aiming or focusing more accurately on the coordinates specified in the defect coordinate specification process.

상기 구성에 있어서, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 1~3개 많은 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable that the number of lines in the defect content specification process is 1 to 3 more than the number of lines in the defect coordinate specification process.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정할 수 있다.As described above, according to the present invention, in the inspection process for detecting defects in a glass plate, the contents of the defect can be specified while suppressing the inspection time.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.
도 2a는 결함 좌표 특정 공정을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2b는 결함 좌표 특정 공정을 나타내는 개략 측면도이다.
도 3a는 결함 내용 특정 공정을 나타내는 개략 평면도이다.
도 3b는 결함 내용 특정 공정을 나타내는 개략 정면도이다.1 is a schematic diagram showing a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention.
Figure 2a is a schematic plan view showing a defect coordinate specification process.
Figure 2b is a schematic side view showing the defect coordinate specification process.
3A is a schematic plan view showing a defect content specification process.
3B is a schematic front view showing the defect content specification process.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면에 의거하여 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described based on the drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법을 도시한 개략도이다. 이 유리판의 제조 방법(이하, 간단히 제조 방법(1)으로 기재함)은 유리판에 대하여, 예를 들면 단면 가공 등의 가공을 행하는 것이다. 제조 방법(1)으로 제조되는 유리판은 그 크기가, 예를 들면 300×300mm~3500×3500mm이고, 그 판 두께가, 예를 들면 0.1~1.1mm이다.1 is a schematic diagram showing a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. This method of manufacturing a glass plate (hereinafter simply described as manufacturing method (1)) involves processing a glass plate, for example, cross-section processing. The size of the glass plate manufactured by manufacturing method (1) is, for example, 300 x 300 mm to 3500 x 3500 mm, and the plate thickness is, for example, 0.1 to 1.1 mm.

이 제조 방법(1)은 유리판을 투입하는 투입 공정(S1)과, 투입 공정(S1)에서 투입된 상기 유리판을 가공하는 가공 공정(S2)과, 가공 공정(S2)에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정(S3)과, 세정 공정(S3)에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정(S4)과, 검사 공정(S4)에서 결함을 검사된 상기 유리판을 곤포하는 곤포 공정(S5)을 구비한다.This manufacturing method (1) includes an input process (S1) for inserting a glass plate, a processing process (S2) for processing the glass plate introduced in the input process (S1), and a cleaning process for the glass plate processed in the processing step (S2). A cleaning process (S3), an inspection process (S4) for inspecting defects in the glass plate cleaned in the cleaning process (S3), and a packaging process (S5) for packaging the glass plate inspected for defects in the inspection process (S4). Equipped with

검사 공정(S4)은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)과, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정(S4b)을 갖는다. 그리고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인의 수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인의 수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당되도록 구성되어 있다.The inspection process (S4) has a defect coordinate specification process (S4a) that specifies the coordinates of the defect, and a defect content specification process (S4b) that specifies the content of the defect at the coordinates specified in the defect coordinate specification process (S4a). In addition, the number of lines in the defect content specification process (S4b) is greater than the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a), and the glass sheet that has passed through the lines in the defect coordinate specification process (S4a) is processed in the defect content specification process (S4b). It is configured to be assigned to the line.

도시예에서는 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 포함하는 1개의 라인이 분기되어 결함 내용 특정 공정(S4b)을 포함하는 3개의 라인으로 되어 있다. 즉, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수는 1개이고, 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수는 3개이고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 2개 많다.In the illustrated example, one line including the defect coordinate specification process (S4a) is branched into three lines including the defect content specification process (S4b). That is, the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a) is 1, and the number of lines in the defect content specification process (S4b) is 3, and the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a) is 3. There are two more numbers.

다음에, 제조 방법(1)의 공정에 대해서 순서에 따라 설명한다.Next, the steps of manufacturing method (1) will be explained in order.

최초에, 투입 공정(S1)에서, 유리판을 투입한다. 다음에, 가공 공정(S2)에서, 투입 공정(S1)에서 투입된 유리판에 대하여, 예를 들면 단면 가공(모따기 가공 등) 등의 가공을 행한다. 그리고, 세정 공정(S3)에서, 가공 공정(S2)에서 가공된 유리판을, 예를 들면 고압수나 롤 브러쉬에 의해 세정한다.First, a glass plate is thrown in in the throwing process (S1). Next, in the processing step (S2), processing such as cross-section processing (chamfering processing, etc.) is performed on the glass plate charged in the charging step (S1). Then, in the cleaning step (S3), the glass plate processed in the processing step (S2) is cleaned, for example, with high-pressure water or a roll brush.

세정 공정(S3)에서 결함 좌표 특정 공정(S4a)까지의 제 1 반송로(R1)에서는 도 2a 및 도 2b에 나타내는 반송 기구(2)에 의해 자동으로 유리판(3)은 반송된다.In the first conveyance path R1 from the cleaning step S3 to the defect coordinate specification step S4a, the glass plate 3 is automatically conveyed by the conveyance mechanism 2 shown in FIGS. 2A and 2B.

반송 기구(2)는, 예를 들면 에어의 분출에 의해 유리판(3)을 부상시킨 상태로 하는 에어 플로트 등의 부상부(2a)와, 접촉하여 유리판(3)을 전송하는, 예를 들면 롤러 등의 전송부(2b)를 갖는다. 반송 기구(2)는 유리판(3)을 반송방향으로 직각한 방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 반송방향으로 직각한 방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 반송한다. 유리판(3)은 부상부(2a)에 의해 부상부(2a)에 대하여 부상한 상태에서, 전송부(2b)에 의해 견인력을 부여하여 반송된다. 이 반송 중에는 유리판(3)은 수평 상태에서 하부로부터 연직 상방을 향하는 에어의 압력을 유리판(3)의 자중을 상쇄하도록 작용시킴으로써 보다 자연스러운 형상(평판 형상)을 유지한다.The conveyance mechanism 2 is, for example, a roller that transfers the glass plate 3 by contacting a floating portion 2a such as an air float that levitates the glass plate 3 by blowing air. It has a transmission unit 2b, etc. The conveyance mechanism 2 transports the glass plate 3 in a state where it is supported non-contactly by floating in the middle portion in a direction perpendicular to the conveyance direction and supported in contact at both ends in a direction perpendicular to the conveyance direction. The glass plate 3 is conveyed by applying a traction force to it by the transfer unit 2b while floating on the floating unit 2a. During this transportation, the glass plate 3 maintains a more natural shape (flat shape) by applying air pressure directed vertically upward from the bottom in a horizontal state to offset the self-weight of the glass plate 3.

다음에, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서, 유리판(3)의 결함의 수를 카운트함과 아울러, 결함의 좌표를 특정한다.Next, in the defect coordinate specification process S4a, the number of defects in the glass plate 3 is counted and the coordinates of the defects are specified.

도 2a 및 도 2b에 나타내는 바와 같이, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서는 제 1 반송로(R1)로부터 계속되고, 반송 기구(2)에 의해 유리판(3)을 반송하면서 유리판(3)의 결함의 수의 카운트와 결함의 좌표의 특정을 행한다. 이 때, 유리판(3)은 부상부(2a)에 대하여 부상한 상태로 전송부(2b)에 전송되어 반송되고 있다.As shown in FIG. 2A and FIG. 2B , in the defect coordinate specification process S4a, it continues from the 1st conveyance path R1, and while conveying the glass plate 3 by the conveyance mechanism 2, defects of the glass plate 3 are identified. Count the number and identify the coordinates of the defect. At this time, the glass plate 3 is transferred and conveyed to the transfer unit 2b in a floating state with respect to the floating unit 2a.

결함 좌표 특정 공정(S4a)에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)에 의해 유리판(3)의 결함을 검출하고 결함의 수를 자동으로 카운트함과 아울러, 결함의 좌표를 자동으로 특정한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 도 2b에 나타내는 바와 같이, 광원(4a)과, 광원(4a)에 대하여 유리판(3)의 반송로를 통해서 대향 배치된, 예를 들면 카메라 등의 촬상부(4b)를 갖는다. 광원(4a)은 유리판(3)의 반송방향으로 직각한 방향을 따른 폭이 넓은 영역을 비춘다. 촬상부(4b)는 유리판(3)의 반송방향으로 직각한 방향을 따른 폭이 넓은 영역을 촬상한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 촬상부(4b)가 고정된 상태에서, 유리판(3)이 반송로를 통과함으로써 유리판(3)의 전역을 촬상한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이다.In the defect coordinate specification process S4a, defects in the glass plate 3 are detected by the coordinate specification inspection device 4, the number of defects is automatically counted, and the coordinates of the defect are automatically specified. As shown in FIG. 2B, the inspection device 4 for specifying coordinates includes a light source 4a and an imaging unit (e.g., a camera) arranged to face the light source 4a through the conveyance path of the glass plate 3. It has 4b). The light source 4a illuminates a wide area along a direction perpendicular to the transport direction of the glass plate 3. The imaging unit 4b images a wide area along a direction perpendicular to the conveyance direction of the glass plate 3. The inspection device 4 for specifying coordinates images the entire area of the glass plate 3 as the glass plate 3 passes through the conveyance path while the imaging unit 4b is fixed. The inspection device 4 for specifying coordinates is a type that captures images with light transmitted through the glass plate 3.

결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 결함 내용 특정 공정(S4b)까지의 제 2 반송로(R2)에서는 유리판(3)은 자동으로, 예를 들면 롤러 컨베이어에 의해 접촉되면서 반송(접촉 반송)된다. 제 2 반송로(R2)에서, 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)이 결함 내용 특정 공정(S4b)에 자동으로 할당될 수 있다.In the second conveyance path R2 from the defect coordinate specification process S4a to the defect content specification process S4b, the glass plate 3 is automatically conveyed (contact conveyance) while being brought into contact with, for example, a roller conveyor. In the second conveyance path R2, the glass plate 3 that has completed the defect coordinate specification process S4a can be automatically assigned to the defect content specification process S4b.

다음에, 결함 내용 특정 공정(S4b)에서, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표에 의거하여 그 좌표의 결함의 내용을 특정한다.Next, in the defect content specification step S4b, the content of the defect at that coordinate is specified based on the coordinates specified in the defect coordinate specification step S4a.

도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 결함 내용 특정 공정(S4b)에서는 지지 부재(5)에 의해 유리판(3)을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정한다. 결함 내용 특정 공정(S4b)에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)로부터 전달된 결함의 좌표 데이터에 의거하여 내용 특정용 검사 장치(6)에 의해 유리판(3)의 결함을 촬상하고, 결함의 내용을 특정한다.As shown in FIGS. 3A and 3B , in the defect content specification step S4b, the defect content is specified while the glass plate 3 is supported and fixed by the support member 5 in surface contact. In the defect content specification process S4b, the defect in the glass plate 3 is imaged by the content specification inspection device 6 based on the coordinate data of the defect transmitted from the coordinate specification inspection device 4, and the contents of the defect are captured. Be specific.

내용 특정용 검사 장치(6)는, 예를 들면 현미경 등의 촬상부(6a)와, 촬상부(6a)를 지지하여 이동시키기 위한, 예를 들면 갠트리 등의 이동 기구(6b)를 갖는다. 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)이 지지 부재(5) 상에 고정된 상태에서, 촬상부(6a)가 이동함으로써 유리판(3)의 결함을 촬상한다. 지지 부재(5)는 광을 투과하지 않고, 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이다. 또한, 지지 부재(5)는 위치 결정 전에는 에어를 분출하여 유리판(3)을 부상시키고 있지만, 위치 결정 후에는 유리판(3)을 흡착하도록 구성되어 있다.The content-specific inspection device 6 has an imaging unit 6a, such as a microscope, and a moving mechanism 6b, such as a gantry, for supporting and moving the imaging unit 6a. The content-specific inspection device 6 captures images of defects in the glass plate 3 by moving the imaging unit 6a while the glass plate 3 is fixed on the support member 5. The support member 5 does not transmit light, and the content specification inspection device 6 is a type that captures images with light reflected by the glass plate 3. In addition, the support member 5 blows out air to levitate the glass plate 3 before positioning, but is configured to adsorb the glass plate 3 after positioning.

결함의 내용의 특정은 촬상된 화상을 보고 사람이 판단해도 좋고, 촬상된 화상 데이터를 자동으로 처리하여 자동으로 판단하도록 해도 좋다.The specification of the contents of the defect may be determined by a person by looking at the captured image, or may be determined automatically by automatically processing the captured image data.

결함 내용 특정 공정(S4b)을 나오고 나서 곤포 공정(S5)에 들어갈 때까지의 제 3 반송로(R3)에서는 유리판은 자동으로, 예를 들면 롤러 컨베이어에 의해 접촉 반송된다.In the third conveyance path R3 from defect content identification process S4b to packaging process S5, the glass plate is automatically conveyed by contact, for example, by a roller conveyor.

결함 내용 특정 공정(S4b) 후, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 검사 결과(결함의 수)와 결함 내용 특정 공정(S4b)의 검사 결과(결함의 내용)에 근거하여, 검사를 실시한 유리판(3)이 양품인지 여부의 판정을 도시하지 않은 판정부에서 행한다.After the defect content specification process (S4b), the glass plate (3) was inspected based on the inspection results (number of defects) of the defect coordinate specification process (S4a) and the inspection results (contents of defects) of the defect content specification process (S4b). ) is determined by a decision unit (not shown) as to whether it is a good product.

판정부에 의한 판정 결과에서, 양품으로 판정된 유리판(3)이 곤포 공정(S5)에서 양품으로서 곤포되어 출시된다. 한편, 불량품으로 판정된 유리판(3)은 불량품으로서 곤포된다.The glass plate 3 determined to be a good product according to the determination result by the judgment unit is packed and released as a good product in the packaging process (S5). On the other hand, the glass plate 3 determined to be a defective product is packed as a defective product.

이상과 같이 구성된 본 실시형태의 제조 방법(1)에 의하면, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당된다. 그 때문에, 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)이 결함 내용 특정 공정(S4b)을 기다려야 하는 사태를 회피할 수 있다. 이에 따라, 검사 공정(S4) 전체에 필요한 시간을 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수와 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수가 같은 경우보다 짧게 할 수 있다. 즉, 본 실시예의 유리판의 제조 방법(1)에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것이 가능하다.According to the manufacturing method (1) of the present embodiment configured as described above, the number of lines in the defect content specification process (S4b) is greater than the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a), and the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a) is greater. The glass plate that has passed is assigned to the line of the defect content specification process (S4b). Therefore, it is possible to avoid a situation where the glass plate 3, which has completed the defect coordinate specification process S4a, has to wait for the defect content specification process S4b. Accordingly, the time required for the entire inspection process (S4) can be made shorter than when the number of lines in the defect coordinate specification process (S4a) and the number of lines in the defect content specification process (S4b) are the same. That is, according to the glass plate manufacturing method (1) of this embodiment, in the inspection process for detecting a defect in a glass plate, it is possible to specify the contents of the defect while suppressing the inspection time.

환언하면, 제조 방법(1)에서는 검사 공정(S4)을 위치 정보와 결함의 유무만을 특정(단시간)하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)(단시간)과, 결함 내용을 특정(장시간)하는 결함 내용 특정 공정(S4b)으로 분할하고 있다. 그리고, 검사 공정(S4)에 있어서의 장시간을 필요한 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인을 복선화한 레이아웃 구성하고 있다. 이에 따라, 검사 공정(S4)의 처리 능력을 향상시킬 수 있다.In other words, in the manufacturing method (1), the inspection process (S4) is divided into the defect coordinate specification process (S4a) (short time), which specifies only the location information and the presence or absence of defects (short time), and the defect content specification process (long time), which specifies the defect content (long time). It is divided into steps (S4b). In addition, a layout is configured in which the lines of the defect content specification process (S4b), which require a long time in the inspection process (S4), are double-tracked. Accordingly, the processing capability of the inspection process (S4) can be improved.

또한, 세정 공정(S3)으로부터 나와 결함 좌표 특정 공정(S4a)까지의 사이는 유리판(3)의 이면을 비접촉으로 반송하므로, 유리판(3)의 표면에 결함이 새롭게 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 세정 공정(S3)으로부터 나와 결함 내용 특정 공정(S4b)까지의 사이는 유리판(3)의 핸들링이나, 반송방향 전환을 위한 상하좌우의 유리판(3)의 이동이나 유리판(3)의 자세 변경은 극력 행하지 않도록 한다. 그 때문에, 유리판(3)에 새로운 결함이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이들의 상승 효과에 의해, 제조 방법(1)에 있어서 불필요한 결함이 생기기 어렵기 때문에, 양품률이 향상된다.In addition, since the back surface of the glass plate 3 is conveyed non-contactly between the cleaning step (S3) and the defect coordinate specification step (S4a), it is possible to suppress the formation of new defects on the surface of the glass plate 3. In addition, between the cleaning process (S3) and the defect content specification process (S4b), handling of the glass plate 3, movement of the glass plate 3 up, down, left, and right to change the conveyance direction, and changing the posture of the glass plate 3 Avoid doing this as much as possible. Therefore, it is possible to suppress new defects from occurring in the glass plate 3. Due to these synergistic effects, unnecessary defects are less likely to occur in the manufacturing method (1), thereby improving the yield.

또한, 반송 기구(2)에 의한 반송에서, 유리판(3)의 자중에 해당하는 에어압을 가함으로써 유리판(3)의 자중에 의한 휨이나 변형을 억제할 수 있다. 그 결과, 반송 기구(2)에 의한 반송 중에 실시하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 검사의 신뢰성이 향상된다.In addition, when conveying by the conveyance mechanism 2, bending and deformation due to the self-weight of the glass plate 3 can be suppressed by applying air pressure corresponding to the self-weight of the glass plate 3. As a result, the reliability of the inspection of the defect coordinate specification process (S4a) performed during conveyance by the conveyance mechanism 2 is improved.

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)의 결함 내용 특정 공정(S4b)으로의 할당은 제 2 반송로(R2)에 있어서 자동으로 행해지고 있었지만, 사람의 손이나 대차에 의해 행해져도 좋다. 또한, 상기 실시형태에서는 라인 내의 제 1 반송로(R1)나 제 3 반송로(R3)에서는 자동으로 유리판(3)이 반송되고 있지만, 사람의 손이나 대차에 의해 유리판(3)이 반송되어도 좋다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible within the scope of the technical idea. For example, in the above embodiment, assignment of the glass plate 3 that has completed the defect coordinate specification process S4a to the defect content specification process S4b was performed automatically in the second conveyance path R2, but was not performed by a human. It may be done by hand or with a bogie. In addition, in the above-mentioned embodiment, the glass plate 3 is automatically conveyed in the first conveyance path R1 and the third conveyance path R3 in the line, but the glass plate 3 may be conveyed by human hands or a cart. .

또한, 상기 실시형태에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)는 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이지만, 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이어도 좋다. 또한, 상기 실시형태에서는 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이지만, 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이어도 좋다.In addition, in the above embodiment, the inspection device 4 for specifying coordinates is of a type that captures images with light transmitted through the glass plate 3, but may be of a type that captures images with light reflected by the glass plate 3. In addition, in the above embodiment, the content specification inspection device 6 is a type that captures images with light reflected on the glass plate 3, but may be a type that captures images with light transmitted through the glass plate 3.

1 제조 방법 2 반송 기구
3 유리판 4 좌표 특정용 검사 장치
5 지지 부재 6 내용 특정용 검사 장치
S1 투입 공정 S2 가공 공정
S3 세정 공정 S4 검사 공정
S4a 결함 좌표 특정 공정 S4b 결함 내용 특정 공정
S5 곤포 공정1 Manufacturing method 2 Transport mechanism
3 Glass plate 4 Inspection device for specifying coordinates
5 Support member 6 Inspection device for content specification
S1 input process S2 processing process
S3 cleaning process S4 inspection process
S4a Defect coordinate specific process S4b Defect content specific process
S5 packaging process

Claims (4)

유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법으로서,
상기 검사 공정은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 상기 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정을 갖고,
상기 세정 공정과 상기 결함 좌표 특정 공정 사이의 제 1 반송로 및 상기 결함 좌표 특정 공정에서는, 상기 유리판을 반송 방향의 직각 방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 상기 직각 방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 상기 유리판을 반송하고,
상기 결함 좌표 특정 공정과 상기 결함 내용 특정 공정 사이의 제 2 반송로에서는, 상기 유리판을 접촉 반송하고,
상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고,
상기 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 상기 유리판이 상기 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당되는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.A method of manufacturing a glass plate comprising a processing step of processing a glass plate, a cleaning step of cleaning the glass plate processed in the processing step, and an inspection step of inspecting defects of the glass plate cleaned in the cleaning step,
The inspection process has a defect coordinate specification process for specifying the coordinates of a defect, and a defect content specification process for specifying the contents of a defect at the coordinates specified in the defect coordinate specification process,
In the first conveyance path between the cleaning process and the defect coordinate specification process and the defect coordinate specification process, the glass plate is supported non-contactly by floating in the middle in a direction perpendicular to the conveyance direction, and is contacted at both ends in the direction perpendicular to the conveyance direction. Transporting the glass plate in a supported state,
In a second conveyance path between the defect coordinate specification process and the defect content specification process, the glass plate is conveyed by contact,
The number of lines in the defect content specific process is greater than the number of lines in the defect coordinate specific process,
A method of manufacturing a glass plate, wherein the glass plate that has passed the defect coordinate specification process line is assigned to the defect content specification process line. 제 1 항에 있어서,
상기 결함 내용 특정 공정에서는 상기 유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.According to claim 1,
In the defect content specification process, the defect content is specified while the glass sheet is supported and fixed in surface contact. 제 1 항에 있어서,
상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 1~3개 많은 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.According to claim 1,
A method of manufacturing a glass plate, wherein the number of lines in the defect content specific process is 1 to 3 more than the number of lines in the defect coordinate specific process. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 공정에서 결함이 검사된 상기 유리판을 곤포하는 곤포 공정을 더 갖고,
상기 검사 공정과 상기 곤포 공정 사이의 제 3 반송로에서는, 상기 유리판을 접촉 반송하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.The method according to any one of claims 1 to 3,
It further has a packaging process of packaging the glass plate inspected for defects in the inspection process,
A method for producing a glass plate, characterized in that the glass plate is conveyed by contact in a third conveyance path between the inspection process and the packaging process.
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