KR102617976B1 - 프로브 핀 코킹장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 핀 코킹장치가 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치는 프로브 핀을 다수의 측방향에서 가압하는 가압핀이 전방에 각각 고정되어 있고, 후방에 회전 가능한 회전 롤러가 구비되어 있는 복수개의 핀압착부; 상기 복수개의 핀압착부가 상기 프로브 핀이 고정되는 안착부의 원주 방향으로 상호 이격 설치되어 상기 안착부에 대해 슬라이드 이동 가능한 플레이트부; 상기 복수개의 핀압착부를 상기 안착부에 대해 양측 방향에서 가압하도록 양측 단부에 경사면이 형성되어 있는 복수개의 가압부; 및 상기 복수개의 가압부가 상기 안착부에 대해 전진 가능하게 구동력을 제공하는 실린더 부재가 구비되어 있는 실린더부; 를 포함한다.

Description

프로브 핀 코킹장치 {CAULKING APPARATUS FOR PROBE PIN}
본 발명은 프로브 핀 코킹장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브 핀 제조 공정에서 코킹 공정의 정밀도를 향상시킬 수 있는 프로브 핀 코킹장치에 관한 것이다.
일련의 웨이퍼 제조(wafer fabrication) 공정이 완료되어 웨이퍼 안에 수많은 반도체 칩들이 형성된 후에는 웨이퍼를 개별 반도체 칩들로 분할하여 패키지 조립(package assembly) 공정을 진행한다.
특히 패키지 조립 공정 전에 웨이퍼 상태에서 마지막으로 이루어지는 공정이 전기적 검사(electrical die sorting; EDS) 공정이다. 이때, 검사 대상인 반도체 칩과 검사 장비를 전기적으로 연결하는 매개물로 사용되는 것이 프로브 카드(probe card)이다.
프로브 카드는 이러한 패드들과 물리적으로 접촉하여 전기적 신호를 입출력할 수 있는 프로브 핀(probe pin)을 구비한다. 반도체 칩은 패드와 접촉하고 있는 프로브 핀을 통해 검사 장비로부터 소정의 신호를 입력받아 동작을 수행한 후, 그 처리 결과를 다시 프로브 핀을 통해 검사 장비로 출력한다.
이러한 검사 공정은 신속하고 효율적인 검사를 위하여 반도체 칩의 여러 패드들에 여러 개의 프로브 핀들을 동시에 접촉하여 수행된다.
일반적인 프로브 핀은 원통형의 배럴, 배럴의 상부에 삽입되는 상부 플런저, 배럴의 하부에 삽입되는 하부 플런저, 배럴의 중앙에서 상부 플런저와 하부 플런저 사이에 개재되는 탄성체인 스프링으로 구성되어 있다. 검사용 전기 신호는 소자의 단자로부터 상부 플런저를 통해 하부에서 접촉하는 배럴로 전달되고, 배럴을 통과하여 하부 플런저로 전달되어 테스트 보드로 전달된다.
대한민국 등록특허공보 제10-2013174호에는 프로브 핀 코킹장치가 개시되어 있다.
종래기술은 프로브 핀의 코킹 공정에서 프로브 핀의 외측의 다수 위치를 코킹(Caulking)하기 위해 툴 구동유닛과 핀 지지용 구동유닛을 이용하였으나 다른 기능을 갖는 구동유닛이 동시에 제어되기 어려운 단점이 있다. 이에 따라, 프로브 핀이 기울어지거나 오차가 발생되기 쉬워 정확도와 효율성이 저하되며 프로브 핀 형상이 변형되며 효율도 저하되는 문제가 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2017-0133897호
본 발명의 일 실시 예는 상기 종래 기술의 문제점을 극복하기 위하여 프로브 핀을 제조하는 공정에서 프로브 핀의 다수의 측방향에서 동시에 가압할 수 있는 프로브 핀 코킹장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 프로브 핀을 다수의 측방향에서 가압하는 가압핀이 전방에 각각 고정되어 있고, 후방에 회전 가능한 회전 롤러가 구비되어 있는 복수개의 핀압착부; 상기 복수개의 핀압착부가 상기 프로브 핀이 고정되는 안착부의 원주 방향으로 상호 이격 설치되어 상기 안착부에 대해 슬라이드 이동 가능한 플레이트부; 상기 복수개의 핀압착부를 상기 안착부에 대해 양측 방향에서 가압하도록 양측 단부에 경사면이 형성되어 있는 복수개의 가압부; 및 상기 복수개의 가압부가 상기 안착부에 대해 전진 가능하게 구동력을 제공하는 실린더 부재가 구비되어 있는 실린더부; 를 포함하고, 상기 실린더부의 상기 실린더 부재가 상기 복수개의 가압부를 양측 방향에서 상기 안착부를 향해 가압하여 상기 복수개의 핀압착부의 회전 롤러가 상기 복수개의 가압부의 경사면에 대해 회전되어 상기 핀압착부가 상기 안착부를 향해 전진하고, 상기 복수개의 핀압착부의 가압핀이 상기 프로브 핀을 다수의 측방향에서 동시에 가압한다.
상기 핀압착부에는 상기 가압핀의 전방의 돌출 거리를 조절하는 미세 간격 조절 장치가 구비되어 있다.
상기 복수개의 핀압착부는 상기 가압핀에 대해 다수의 측방향에서 가압한다.
상기 플레이트부에는 일단부가 고정되어 있고 타단부가 상기 핀압착부에 고정되어 상기 핀압착부가 전진 후에 후진되도록 탄성력을 제공하는 탄성 스프링이 설치되어 있다.
상기 안착부에는 상기 프로브 핀이 고정되어 진공을 형성하는 진공 형성 장치가 연결되어 있다.
상기 안착부에는 상기 프로브 핀의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함한다.
상기 가압부의 하부에는 상기 플레이트부의 하방으로 연장부가 돌출 형성되어 있고, 상기 실린더부는 상기 연장부를 가압하여 상기 가압부가 상기 핀압착부를 가압하여 상기 핀압착부가 상기 가압핀을 향해 전진된다.
상기 프로브 핀 코킹장치는 상기 안착부의 상방에서 상기 프로브 핀을 고정하여 공급하는 핀 고정 지그를 더 포함한다.
상기 프로브 핀 코킹장치는 상기 프로브 핀의 가압 공정 후에 배출하는 배출 가이드부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 프로브 핀 코킹장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 프로브 핀에 대해 다수의 측방향에서 동시에 가압하여 정밀도를 향상시킬 수 있다.
둘째, 프로브 핀 가공 공정시의 오차와 오작동을 방지하여 가공 효율성을 향상시킬 수 있다.
셋째, 프로브 핀의 공급과 회수를 자동화하여 공장 자동화를 가속화 할 수 있다.
도 1 (a) 및 도 1 (b)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치의 상측에서 바라본 사시도 및 하측에서 바라본 사시도를 각각 나타내는 도면이다.
도 2 (a) 내지 도 2 (c)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치의 정면도, 평면도 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다.
도 3 (a) 및 도 3 (b)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 상측에서 바라본 사시도 및 하측에서 바라본 사시도를 각각 나타내는 도면이다.
도 4 (a) 내지 도 4 (d)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 정면도, 평면도, 저면도 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다.
도 5 (a) 및 도 5 (b)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 가압부와 실린더부의 상측에서 바라본 사시도 및 하측에서 바라본 사시도를 각각 나타내는 도면이다.
도 6 (a) 내지 도 6 (e)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 정면도, 평면도, 저면도, 좌측면도 및 우측면도를 각각 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀 고정 지그를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 배출 가이드부를 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 높이 조절부를 나타내는 사시도이다.
이하 설명하는 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로 이에 의해 본 발명이 한정되지는 않는다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시 예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 연결되어 있거나 접속되어 있다고 언급될 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 한다.
도 1 (a) 및 도 1 (b), 도 2 (a) 내지 도 2 (c)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치의 상측 사시도, 하측 사시도, 정면도, 평면도 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다.
상기 도면들을 함께 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)는 복수개의 핀압착부(100), 플레이트부(200), 복수개의 가압부(300) 및 실린더부(400)를 포함하여 구성되어 있다.
본 발명에 따르면, 복수개의 핀압착부(100)는 직육면체 형상으로 프로브 핀(1)을 측방향에서 가압하여 고정하는 가압핀(110)이 전방에 각각 고정되어 있고, 후방에 회전 가능한 회전 롤러(120)가 구비되어 있다. 여기서, 전방은 가압핀(110)이 프로브 핀(1)을 향해 전진하는 방향이고, 후방은 가압핀(110)이 프로브 핀(1)에 대해 후퇴하는 방향이다.
회전 롤러(120)는 핀압착부(100)의 후방에 회전축이 지면에 대해 수직 방향을 향하도록 결합되어 핀압착부(100)의 후면이 롤링 가능하게 한다.
플레이트부(200)는 판상형의 플레이트 부재가 바람직하다.
플레이트부(200)는 복수개의 핀압착부(100)가 프로브 핀(1)이 고정되는 안착부(210)의 원주 방향으로 안착부(210)에 대해 슬라이드 이동 가능하게 등간격을 이루며 상호 이격 설치되어 있다.
플레이트부(200)에는 핀압착부(100)에 탄성을 제공하는 복수개의 탄성 스프링(220)이 상호 이격 설치되어 있다.
하나의 탄성 스프링(220)은 일단부가 플레이트부(200)에 고정되어 있고 타단부가 핀압착부(100)에 고정되어 하나의 핀압착부(100)가 안착부(210)에 대해 전진 후에 후진되도록 탄성력을 제공한다. 복수개의 탄성 스프링(220)은 각각의 핀압착부(100)에 결합되어 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)는 베이스 플레이트(230)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
베이스 플레이트(230)의 상부에는 플레이트부(200)가 설치되고, 베이스 플레이트(230)의 하부에는 실린더부(400)가 설치될 수 있다.
베이스 플레이트(230)의 하면 모서리 부위에는 지면에 대해 지지하는 다리부재가 각각 결합될 수 있다.
복수개의 가압부(300)는 복수개의 핀압착부(100)가 두 개씩 분류되어 안착부(210)에 대해 양측 방향에서 가압하도록 가압부(300)의 전방 양측 단부에 경사면(310)이 형성되어 있다. 즉, 복수개의 가압부(300)는 서로 마주하며 대향하는 방향에서 이동하게 된다.
실린더부(400)는 구동력을 제공하는 실린더 부재(410)가 구비되어 있어 실린더 부재(410)가 복수개의 가압부(300)가 안착부(210)에 대해 전진 가능하게 구동력을 제공한다. 실린더 부재(410)가 작동하여 구동력을 제공하면 실린더부(400)가 플레이트부(200)에 대해 이동하게 된다.
실린더부(400)는 복수개의 가압부(300)를 양측 방향에서 안착부(210)를 향해 가압하여 복수개의 핀압착부(100)의 회전 롤러(120)가 복수개의 가압부(300)의 경사면(310)에 대해 회전되어 핀압착부(100)가 안착부(210)를 향해 전진하게 된다.
복수개의 핀압착부(100)의 가압핀(110)이 프로브 핀(1)을 다수의 측방향에서 등간격으로 동시에 가압하게 된다. 여기서, 가압핀(110)의 가압은 코킹(Caulking)을 지칭하며 프로브 핀(1)의 다른 공정에 이용될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 프로브 핀 코킹장치(1000)는 안착부(210)의 상방에서 프로브 핀(1)을 고정하여 공급하는 핀 고정 지그(600)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
핀 고정 지그(600)는 동일한 위치에서 프로브 핀(1)이 지면에 대해 수직 상태를 이루며 동일한 위치의 안착부(210)에 공급되게 하여 가공 정밀도가 향상되게 한다.
도 3 (a) 및 도 3 (b)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 상측 사시도 및 하측 사시도를 각각 나타내는 도면이고, 도 4 (a) 내지 도 4 (d)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 정면도, 평면도, 저면도 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)에서 핀압착부(100)에는 가압핀(110)의 전방의 돌출 거리를 조절하는 미세 간격 조절 장치(130)가 구비되어 있다.
핀압착부(100)의 상측 후방, 즉 가압핀(110)이 위치하는 부위의 반대 부위에 미세 간격 조절 장치(130)가 결합되어 있다.
미세 간격 조절 장치(130)는 볼트부재가 구비되어 볼트를 회전시킴에 따라 가압핀(110)의 전방의 돌출 거리가 신축된다. 이에 따라, 미세 간격 조절 장치(130)는 가압핀(110)이 안착부(210)에 안착되는 프로브 핀(1)에 대해 미세 전진 또는 후진 하도록 미세 조절하게 된다.
복수개의 핀압착부(100)는 가압핀(110)에 대해 측방향에서 등간격으로 가압하게 된다.
또한, 안착부(210)의 일측에는 프로브 핀(1)이 고정되어 진공을 형성하는 진공 형성 장치(500)가 연결되어 있다.
진공 형성 장치(500)는 프로브 핀(1)이 안착부(210)에 안착되면 진공을 형성하여 프로브 핀(1)이 진공 상태에서 지면에 대해 수직 방향을 향하게 된다. 이에 따라, 프로브 핀(1)은 지면에 대해 수직 방향을 향하여 복수개의 핀압착부(100)가 측방향에서 정위치에 가압하게 된다.
도 5 (a) 및 도 5 (b)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 가압부와 실린더부의 상측 사시도 및 하측 사시도를 각각 나타내는 도면이고, 도 6 (a) 내지 도 6 (e)는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀압착부의 정면도, 평면도, 저면도, 좌측면도 및 우측면도를 각각 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6을 도 1 내지 도 4와 함께 참조하면, 가압부(300)의 하부에는 플레이트부(200)의 하방으로 연장부(320)가 돌출 형성되어 있고, 연장부(320)에는 회전 가능한 롤러부재가 결합되어 있다.
실린더부(400)는 실린더 부재(410)에 의해 발생되는 구동력이 전달되게 한다.
실린더부(400)는 실린더 부재(410)에서 발생되는 동력을 전달할 수 있는 구조로 형성되어 플레이트부(200)에 대해 이동하게 된다.
실린더부(400)에는 가압 돌출부(420)가 상호 대향하며 일측 방향으로 돌출 형성되어 있다. 즉, 가압 돌출부(420)는 실린더 플레이트(410)의 길이 방향에 대해 경사진 상태의 경사면이 형성되어 일방향으로 돌출되어 있는 구조이다.
이에 따라, 실린더부(400)의 실린더 부재(410)가 동력을 발생시키게 되고, 실린더부(400)를 통해 동력을 전달하되, 가압 돌출부(420)가 가압부(300)의 하부를 향해 돌출 형성되어 있는 연장부(320)를 가압하여 가압부(300)가 핀압착부(100)를 동시에 가압하게 됨으로써 핀압착부(100)가 가압핀(110)을 향해 전진하게 된다.
실린더부(400)는 하나의 예를 들어 실린더 부재(410)가 결합되어 있는 실린더 몸체 및 이동부가 실린더 몸체에 결합되어 실린더 부재(410)가 작동됨으로써 가압 돌출부(420)가 실린더 몸체로부터 수평 방향으로 전후진 이동 가능하게 결합되어 있는 것이 바람직하다.
실린더부(400)는 실린더 부재(410)에서 발생되는 동력을 가압 돌출부(420)에 전달하여 가압 돌출부(420)가 가압부(300)의 하부에 돌출 형성되어 있는 연장부(320)를 가압하는 구조이면 특정한 구조에 한정되지 않는다.
이에 따라, 복수개의 가압부(300)가 가압핀(110)의 양측 방향에서 전후진되고, 대향하는 복수개의 가압부(300)에 의해 4방향의 핀압착부(100)가 가압핀(110)에 대해 전진되며, 프로브 핀(1)의 가공 후에는 탄성 스프링(220)에 의해 핀압착부(100)가 각각 후진된다.
도 7은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 핀 고정 지그를 나타내는 사시도이다.
도 7을 도 1 내지 도 6과 함께 참조하면, 핀 고정 지그(600)는 플레이트부(200)의 일측에 결합되어 있다. 핀 고정 지그(600)는 안착부(210)의 상방에서 프로브 핀(1)을 고정하여 정해진 위치에서 공급하게 된다.
도 8은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 배출 가이드부를 나타내는 사시도이다.
도 8을 도 1 내지 도 6과 함께 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)는 프로브 핀(1)의 가압 공정 후에 배출하는 배출 가이드부(700)를 더 포함하여 구성되어 있다. 또한, 프로브 핀(1)이 배출되도록 프로브 핀(1)에 에어가 공급되게 에어를 발생시키는 에어 공급부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따르면 프로브 핀(1)은 가압 공정 후에 에어가 공급되게 하여 배출 가이드부(700)를 통해 회수된다.
도 9는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치에서 높이 조절부를 나타내는 사시도이다.
도 9를 도 1 내지 도 6과 함께 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)의 안착부(210)의 하부에는 프로브 핀(1)의 높이를 조절하는 높이 조절부(800)를 더 포함하여 구성되어 있다.
이에 따라, 프로브 핀(1)의 높이를 조절하여 핀압착부(100)에 의한 수평 방향에서의 가압 부위가 조절될 수 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)는 제어부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
제어부는 연산을 수행하는 마이크로컨트롤러 및 데이터를 저장하는 메모리와 같은 저장 장치를 포함하여 구성되어 있다.
또한, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)는 작동 전원을 공급하는 전원부를 더 포함하여 구성되어 있다.
도 1 내지 도 9를 함께 참조하여 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 프로브 핀 코킹장치(1000)의 작동 관계를 설명하면, 프로브 핀(1)이 핀 고정 지그(600)에 의해 플레이트부(200)의 안착부(210)에 안착된다. 프로브 핀(1)이 안착부(210)에 안착되면 수직 방향을 향하게 된다. 높이 조절부(800)는 프로브 핀(1)의 크기 또는 규격에 따라 안착부(210)에서의 돌출 높이를 조절하게 된다. 이에 추가하여, 진공 형성 장치(500)가 진공을 형성하여 프로브 핀(1)이 수직 방향을 향하도록 하는 것이 바람직하다.
실린더부(400)는 복수개의 가압부(300)가 안착부(210)에 대해 전진 가능하게 구동력을 제공하도록 하부에 돌출 형성되어 있는 롤러부재가 결합되어 있는 연장부(320)를 가압하게 된다.
이어서, 복수개의 가압부(300)에는 양측 단부에 경사면(310)이 각각 형성되어 있되, 프로브 핀(1)이 안착되어 있는 안착부(210)에 대해 마주하며 각각 이동하게 된다. 이때, 복수개의 핀압착부(100)는 후방에 회전 롤러(120)가 결합되어 있다.
이에 따라, 가압부(300)의 양측 단부에 형성되어 있는 경사면(310)이 핀압착부(100)를 가압하며 핀압착부(100)의 후방에 결합되어 있는 회전 롤러(120)에 대해 회전하게 된다. 그리고, 회전 롤러(120)가 회전하게 되며 핀압착부(100)는 플레이트부(200)의 위에서 안착부(210)에 대해 슬라이드 이동 가능하여 프로브 핀(1)을 향해 전진하게 된다.
프로브 핀(1)은 복수개의 핀압착부(100)의 가압핀(110)이 다수의 측방향에서 가압하여 코킹 공정을 수행하게 된다.
그리고, 탄성 스프링(220)에 의해 핀압착부(100)가 프로브 핀(1)으로부터 각각 후진되고, 프로브 핀(1)은 가압 공정 후에 배출 가이드부(700)를 통해 배출된다.
따라서, 본 발명에 따른 프로브 핀 코킹장치는 프로브 핀에 대해 다수의 측방향에서 동시에 가압하여 정밀도를 향상시킬 수 있고, 오차나 오작동을 방지하여 가공 효율성을 향상시킬 수 있으며 공급과 회수를 자동화하여 공장 자동화를 가속화 할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 여러 가지 실시 가능한 예 중에서 당 업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 제시된 실시 예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시 예가 가능함을 밝혀둔다.
1: 프로브 핀
100: 핀압착부
110: 가압핀
120: 회전 롤러
130: 미세 간격 조절 장치
200: 플레이트부
210: 안착부
220: 탄성 스프링
230: 베이스 플레이트
300: 가압부
310: 경사면
320: 연장부
400: 실린더부
410: 실린더 부재
420: 가압 돌출부
500: 진공 형성 장치
600: 핀 고정 지그
700: 배출 가이드부
800: 높이 조절부
1000: 프로브 핀 코킹장치

Claims (9)

  1. 프로브 핀을 다수의 측방향에서 가압하는 가압핀이 전방에 각각 고정되어 있고, 후방에 회전 가능한 회전 롤러가 구비되어 있는 복수개의 핀압착부;
    상기 복수개의 핀압착부가 상기 프로브 핀이 고정되는 안착부의 원주 방향으로 상호 이격 설치되어 상기 안착부에 대해 슬라이드 이동 가능한 플레이트부;
    상기 복수개의 핀압착부를 상기 안착부에 대해 양측 방향에서 가압하도록 양측 단부에 경사면이 형성되어 있는 복수개의 가압부; 및
    상기 복수개의 가압부가 상기 안착부에 대해 전진 가능하게 구동력을 제공하는 실린더 부재가 구비되어 있는 실린더부; 를 포함하고,
    상기 실린더부의 상기 실린더 부재가 상기 복수개의 가압부를 양측 방향에서 상기 안착부를 향해 동시에 가압하여 상기 복수개의 핀압착부의 회전 롤러가 상기 복수개의 가압부의 경사면에 대해 회전되어 상기 핀압착부가 상기 안착부를 향해 전진하고, 상기 복수개의 핀압착부의 가압핀이 상기 프로브 핀을 다수의 측방향에서 동시에 가압하는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 핀압착부에는 상기 가압핀의 전방의 돌출 거리를 조절하는 미세 간격 조절 장치가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 핀압착부는 상기 가압핀에 대해 다수의 측방향에서 가압하는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 플레이트부에는 일단부가 고정되어 있고 타단부가 상기 핀압착부에 고정되어 상기 핀압착부가 전진 후에 후진되도록 탄성력을 제공하는 탄성 스프링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 안착부에는 상기 프로브 핀이 고정되어 진공을 형성하는 진공 형성 장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 안착부에는 상기 프로브 핀의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압부의 하부에는 상기 플레이트부의 하방으로 연장부가 돌출 형성되어 있고, 상기 실린더부는 상기 연장부를 가압하여 상기 가압부가 상기 핀압착부를 가압하여 상기 핀압착부가 상기 가압핀을 향해 전진되는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 핀 코킹장치는 상기 안착부의 상방에서 상기 프로브 핀을 고정하여 상기 안착부에 공급하는 핀 고정 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 핀 코킹장치는 상기 프로브 핀의 가압 공정 후에 배출하는 배출 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    프로브 핀 코킹장치.
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