KR102592344B1 - 프로브 핀 자동 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고정 디스크에 방사상으로 접점부와 각종 단자부를 배치하고, 회전디스크에는 각 접점부 및 단자부와 대응되는 핀구멍을 천공한 뒤 프로브 핀들이 상기 핀구멍으로 끼워져서 접점부 및 단자부에 순차적으로 닿게 함으로써, 상기 접점부에서 프리로드(preload)가 시행되고, 각 단자부에서는 핀의 길이, 저항 및 하중이 측정되어 생산되는 모든 프로브 핀을 자동으로 빠르게 검사할 수 있는 프로브 핀 자동 검사장치에 관한 것이다
이를 위하여 본 발명은 간헐적으로 회전되는 회전디스크와 상기 회전디스크에 접하는 고정디스크가 구비되고; 상기 회전디스크는 프로브 핀이 꼽히는 핀구멍이 방사상으로 다수개 형성되며; 상기 고정디스크는 상기 회전디스크와 접하는 면에 각 상기 핀구멍들과 대응되게 방사상으로 다수의 접점부와 다수의 단자부들이 구비되고; 상기 프로브 핀이 상기 접점부에 놓이면 프로브 핀을 눌러 예압을 가하는 프리로드 수단이 구비되며; 상기 프로브 핀이 상기 단자부들에 놓이면 상기 프로브 핀을 눌러 길이와 저항 및 하중을 측정하는 마이크로미터가 구비된 특징이 있다.

Description

프로브 핀 자동 검사장치{Probe pin automatic inspection device}
본 발명은 프로브 핀 자동 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고정 디스크에 방사상으로 접점부와 각종 단자부를 배치하고, 회전디스크에는 각 접점부 및 단자부와 대응되는 핀구멍을 천공한 뒤 프로브 핀들이 상기 핀구멍에 자동으로 끼워져서 접점부 및 단자부에 순차적으로 닿게 함으로써, 상기 접점부에서 프리로드(preload)가 시행되고, 각 단자부에서는 핀의 길이, 저항 및 하중이 측정되어 생산되는 모든 프로브 핀을 자동으로 검사할 수 있는 프로브 핀 자동 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 프로브 핀은 반도체 웨이퍼, LCD 모듈 및 반도체 패키지 등의 검사장비를 비롯하여 각종 소켓, 핸드폰의 배터리 연결부 등에 널리 사용된다. 프로브 핀은 검사장치에 접촉되는 상부플런저와 검사대상물에 접촉되는 하부텀플런저를 스프링으로 연결하여 상기 하부플런저가 탄성적으로 승강되면서 검사대상물과 접촉되도록 한 것이다.
종래 공개특허 제10-2016-0109587호는 상부플런저에 해당되는 제1접촉핀을 원통형으로 제작하고, 하부플런저에 해당되는 제2접촉핀을 원기둥 형태로 제작하여 제2접촉핀이 제1접촉핀 내부로 승강되며 회로적으로 접촉되도록 한 것이다.
종래 특허 제2001349호는 상부플런저와 하부플런저를 동일 형태의 판재 형태로 제작하고 이들을 스프링으로 감싸 연결한 특징을 갖는다. 이처럼 제작하면 금형이 간단하므로 생산성이 향상된다. 종래 특허 제1525120호는 상부플런저와 하부플런저를 동일 형태의 판재로 제작한 것이고, 종래 특허 제1330995호는 상부플런저와 하부플런저를 판재 형태로 제작하여 제작하여 넓은 접촉면을 갖는 특징을 갖는다.
종래 특허 제1785605호는 상부플런저와 하부플런저가 판재로 구성되고, 하부플런저는 상부플런저가 끼워지는 슬릿홈이 형성되며, 이 슬릿홈으로 상부플런저와 스프링이 끼워지도록 하여서 결속력을 높인 특징을 갖는다. 종래 특허 제1865375호는 상부플런저에 해당되는 제1플런저와 하부플런저에 해당되는 제2플런저를 동일 형태의 판재로 제작하고, 이들 플런저에 제1스페이스와 제2스페이스의 절개홈을 만들어서 이들 플런저들이 절개홈을 통하여 교차 결합되도록 한 특징을 갖는다. 따라서 플런저가 서로 교차 결합되면 절개홈에 의해 양분된 각 플런저들의 레그가 포개져 회로적으로 접촉되는 방식이다.
상기 종래의 특허들은 프로브 핀의 다양한 형태를 나타낸 것으로서, 이처럼 생산된 프로브 핀은 마이크로 단위로 크기가 매우 작으며, 또한 수만개씩 생산되기 때문에 이들 프로브 핀의 불량 유무를 전부 검사할 수 없으므로 일부 선별하여 수작업으로 핀의 길이, 저항 및 하중을 검사하였다. 따라서 불량품이 완성품에 섞여서 반도체 검사장비에 사용될 경우 검사 정확도가 떨어져 신뢰성이 저하되는 문제점이 발생되었다.
본 발명은 종래의 문제점을 감안하여 개발한 것으로서, 본 발명의 목적은 고정 디스크에 방사상으로 접점부와 각종 단자부를 배치하고, 회전디스크에는 각 접점부 및 단자부와 대응되는 핀구멍을 천공한 뒤 프로브 핀들이 상기 핀구멍으로 끼워져서 접점부 및 단자부에 순차적으로 닿게 함으로써, 상기 접점부에서 프리로드(preload)가 시행되고, 각 단자부에서는 핀의 길이, 저항 및 하중이 측정되어 생산되는 모든 프로브 핀을 자동으로 빠르게 검사할 수 있는 프로브 핀 자동 검사장치를 제공함에 있다.
이를 위하여 본 발명은 간헐적으로 회전되는 회전디스크와 상기 회전디스크에 접하는 고정디스크가 구비되고; 상기 회전디스크는 프로브 핀이 꼽히는 핀구멍이 방사상으로 다수개 형성되며; 상기 고정디스크는 상기 회전디스크와 접하는 면에 각 상기 핀구멍들과 대응되게 방사상으로 다수의 접점부와 다수의 단자부들이 구비되고; 상기 프로브 핀이 상기 접점부에 놓이면 프로브 핀을 눌러 예압을 가하는 프리로드 수단이 구비되며; 상기 프로브 핀이 상기 단자부들에 놓이면 상기 프로브 핀을 눌러 길이와 저항 및 하중을 측정하는 마이크로미터가 구비된 특징이 있다.
본 발명에 따르면 프로브 핀은 마이크로 단위로 크기가 매우 작기 때문에 생산되는 모든 제품을 수작업으로 검사하는데 한계가 있었다. 그러나 본 발명 한 실시예는 프로브 핀들이 금형에서 동일 형태로 반복 생산되는 점을 감안하여 피더(자동공급기)에 무작위로 투입하면 최종적으로 일렬로 배출되는 점에 착안하여 프로브 핀을 자동으로 검사할 수 있는 검사장치를 개발하였다.
본 발명 한 실시예는 피더에서 슈터를 통하여 일렬로 배출되는 프로브 핀들이 회전디스크에 방사상으로 천공된 핀구멍에 순차적으로 끼워지도록 하고, 상기 회전디스크와 대응되는 고정디스크에는 각 핀구멍과 일대일 대응되는 다수의 접점부, 길이를 측정할 수 있는 단자부 및 저항과 하중을 측정할 수 있는 단자부들을 형성하였다. 따라서 회전디스크가 간헐적으로 움직이는 동안 프로브 핀들은 접점부에서 예비적으로 눌려져서 내장된 스프링이 자리잡을 수 있도록 해주며, 또한 각 단자부에서 길이와 저항 및 하중이 측정되어서 정상 또는 불량이 판정된다.
따라서 다량으로 생산되는 마이크로 단위의 소형 프로프 핀을 전수 검사할 수 있으므로 불량제품을 빠르게 선별할 수 있으므로 수요처에 납품되는 프로브 핀의 신뢰성이 향상되는 등의 이점이 있다.
도 1은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 평면도
도 2는 본 발명 한 실시예의 검사장치의 슈터 사시도
도 3은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 슈터와 디스크의 일부 평단면도
도 4는 본 발명 한 실시예의 검사장치의 디스크 분리 사시도
도 5는 본 발명 한 실시예의 검사장치의 디스크 정면도
도 6은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 디스크 일부 단면도
도 7은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 프리로드 수단의 사시도
도 8은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 단자부 측정수단의 측면도
도 1 내지 도 8에서 본 발명 한 실시예의 검사장치는 원통 내부에 나선형의 이동트랙(61)이 구비된 피더(60)가 진동발생기를 통하여 일정한 진폭으로 움직이게 구비된다. 그리고 이동트랙(61)의 끝단에는 프로브 핀(P)을 간헐적으로 배출시키는 슈터(50)가 구비된다. 따라서 원통에 무작위로 담긴 프로브 핀(P)들은 이동트랙(61)을 따라 움직이면서 슈터(50)에 일렬로 공급된다. 상기 슈터(50)는 프로브 핀(P)이 지나가는 가이드홈(51)이 일직선으로 형성되며, 가이드홈(51)에는 진공펌프와 연결된 진공홀(52)이 다수 형성되어서 프로브 핀(P)이 간헐적으로 배출되게 제어한다.
그리고 상기 슈터(50)의 끝단에는 고정디스크(20)와 밀착되는 회전디스크(10)가 근접되게 구비된다. 상기 고정디스크(20)는 중앙의 관통구멍으로 회전축(13)이 헐겁게 끼워져서 상기 회전디스크(10)의 중심과 연결되는데, 상기 회전축(13)은 스태핑모터를 통하여 상기 회전디스크(10)를 간헐적으로 회전시킨다. 상기 고정디스크(20)는 상기 회전디스크(10)와 접하는 면에 방사상으로 다수의 접점부(21)와 단자부들이 동일 원호상에 등간격으로 떨어져 구비된다.
상기 접점부(21)는 프로브 핀(P)이 예비적으로 눌려지는 동안 프로브 핀의 끝단을 받쳐주는 역할을 하며, 상기 단자부들은 프로브 핀이 규정보다 크게 형성된 것을 검사하는 대단자부(22), 규정보다 작게 형성된 것을 검사하는 소단자부(23), 저항을 측정하는 저항단자부(24) 및 스프링에 가해지는 하중을 측정하는 하중단자부(25)로 구성되며, 각 단자부들은 길이, 저항 및 하중을 측정하는 수단들과 회로적으로 연결된다.
상기 회전디스크(10)는 상기 고정디스크(20)와 접하는 면에 상기 각 접점부(21) 및 단자부들과 대응되는 핀구멍(11)들이 방사상으로 천공되어서 프로브 핀(P)이 해당 핀구멍(11)으로 꼽힌다. 그리고 상기 회전디스크(10)는 각 상기 핀구멍(11)들 마다 상기 고정디스크(20)의 대향면과 접하는 흡입실(12)이 장방향으로 형성되고, 상기 고정디스크(20)에는 상기 접점부(21) 및 단자부들 안쪽에 상기 각 흡입실(12)과 통하는 흡입통로(26)가 원호상으로 형성된다. 그리고 상기 흡입통로(26)의 한쪽에는 진공발생기와 통하는 흡입구멍(27)이 천공된다. 따라서 상기 회전디스크(10)가 고정디스크(20)와 접한 상태에서 간헐적으로 회전되는 동안 각 상기 흡입실(12)은 원호상의 흡입통로(26)에 연속으로 접하게 되므로 진공발생기의 흡입력이 흡입구멍(27)과 흡입통로(26)를 따라 각 흡입실(12)로 전달되며, 각 상기 핀구멍(11)에 꼽힌 프로브 핀(P)들이 회전디스크(10)에서 벗어나지 않고 회전디스크(10)를 따라 간헐적으로 회전된다.
그리고 상기 고정디스크(20)에는 하중단자부(25)와 연이어서 선별배출구멍(20b) 및 폐기배출구멍(20c)이 서로 떨어져 구비되며, 이들 배출구멍(20b)(20c)들은 검사를 마친 프로브 핀(P)을 에어노즐로 배출하기 위한 것이므로 흡입통로(26)의 끝단은 회전디스크(10)의 흡입실(12)에서 벗어나게 구성하여서 흡입실(12)에 흡입력이 발샐되지 않도록 해준다. 그리고 진동을 통하여 프로브 핀을 일렬로 자동 공급하는 자동공급기의 슈터(50)는 고정디스크(20)의 투입지점(20a)과 대응되며, 투입지점(20a)과 제일 앞쪽의 접점부(21) 사이에는 투입감지센서(S1)가 구비되고, 폐기배출구멍(20c)과 슈터(50) 사이에는 배출감지센서(S2)가 구비되어서 프로브 핀(P)의 배출 또는 투입이 정상으로 이뤄지는지 감지하고, 배출 또는 투입이 않되면 회전디스크(10)의 작동을 중지시키는 신호를 제어부로 보낸다. 또한 상기 회전디스크(10)에는 상기 선별배출구멍(20b), 폐기배출구멍(20c) 및 투입지점(20a)과 대응되는 핀구멍(11)이 천공되어서 프로브 핀(P)이 회전디스크(10)에 최초 투입되거나 또는 검사가 완료되면 배출되도록 해준다.
도 7은 본 발명 한 실시예의 프리로드 수단의 사시도 로써, 수직으로 세워진 브래킷(32)에 상기 고정디스크(20)의 각 접점부(21)와 대응되는 다수의 누름핀(30)이 스프링(31)을 통하여 복원력을 갖도록 원호상으로 배치되고, 상기 브래킷(32)은 왕복대(36) 위쪽에 놓인 마이크로미터(33) 및 가이드블록(34)을 통하여 거리가 미세조정되고, 복귀스프링(35)으로 당겨져서 마이크로미터(33)와 항상 접하게 된다. 그리고 상기 왕복대(36)는 실린더로 작동되는 로드(37)와 연결되어서 상기 누름핀(30)들이 회전디스크(10)에 꼽힌 프로브 핀(P)들을 눌러주면, 고정디스크(20)의 접점부(21)에 강제로 닿아서 프로브 핀(P)들에 내장된 스프링에 예압이 걸리는 프리로드가 시행된다.
도 8은 본 발명 한 실시예의 검사장치의 단자부 측정수단의 측면도 로써, 각 상기 단자부(22)(23)(24)(25)들과 일대일 대응되는 지점마다 마이크로미터(40)의 스핀들(41)이 일직선상에 놓여서 프로브 핀(P)의 선단과 스핀들(41)이 접하게 되며, 마이크로미터(40)의 프레임(42)은 가이드블록(43)을 통하여 기판(44)에 놓이고, 상기 프레임(42)의 한쪽은 로드(46)를 통하여 실린더(47)와 연결되고, 반대쪽은 스프링(45)을 통하여 기판(44)과 연결된다. 따라서 실린더(47)를 통하여 로드(46)가 전진되면 프레임(42)이 함께 움직이면서 스핀들(41)이 회전디스크(10)의 핀구멍(11)에 꼽힌 프로브 핀(P)의 선단을 눌러주게 되고, 이때 프로브 핀(P)의 끝단은 해당 단자부(22)(23)(24)(25)와 접하면서 전기적인 신호를 발생시킨다. 그리고 로드(46)가 후진되면 스프링(45)을 통하여 프레임(42)이 원위치 되므로 스핀들(41)이 프로브 핀(P) 선단에서 떨어진다.
이처럼 구성된 본 발명 한 실시예의 자동 검사장치는 프로브 핀(P)의 종류 및 길이가 다양하기 때문에 프리로드 수단의 마이크로미터(33)를 미세하게 조정하여 누름핀(30)들이 프로브 핀(P)의 선단에서 떨어진 거리를 조정할 필요가 있다. 또한 마이크로미터(40)를 이용하여 스핀들(41)의 돌출량을 미세하게 조정하여 프로브 핀(P)의 선단에서 떨어진 거리를 조정할 필요가 있다.
이러한 본 발명 한 실시예의 검사과정은 다음과 같다. 먼저 원통형으로 구성되어서 진동을 통하여 제품을 일렬로 자동 공급하는 피더(60)에 프로브 핀(P)을 무작위로 투입하면 피더(60)에서 프로브 핀(P)들이 나선형의 이동트랙(61)을 따라 일렬로 정렬되어 슈터(50)로 공급된다. 상기 슈터(50)는 피더(60)에서 공급되는 프로브 핀(P)을 회전디스크(10)에 수직으로 안내하는 가이드홈(51)이 형성되는데, 상기 가이드홈(51)은 상기 고정디스크(20)의 투입지점(20a)과 일치된다.
상기 회전디스크(10)는 고정디스크(20)에 형성된 투입지점(20a), 접점부(21), 단자부(22)(23)(24)(25) 및 배출구멍(20b)(20c)들과 일대일 대응되는 핀구멍(11)이 천공되어 있으므로 상기 슈터(50)의 가이드홈(51)과 고정디스크(20)의 투입지점(20a) 사이에 놓인 회전디스크(10)의 어느 한 핀구멍(11)으로 프로브 핀(P)이 끼워진다. 상기 회전축(13)은 간헐적으로 회전되기 때문에 상기 슈터(50)는 상기 회전디스크(10)가 회전되는 진공홀(52)에 진공압이 걸리면 진공홀(52)을 지나는 프로브 핀(P)이 순간적으로 가이드홈(51)에 고정된다. 따라서 회전디스크(10)가 회전되는 동안 프브로 핀(P)이 회전디스크(10)의 면에 접촉되지 않으므로 핀 마모가 발생되지 않으며 또한 회전디스크(10)가 정지되면 진공홀(52)에 걸리는 진공압이 해제되므로 프로브 핀(P)은 회전디스크(10)의 핀구멍(11)으로 투입된다.
따라서 상기 회전축(13)을 통하여 회전디스크(10)가 간헐적으로 회전되면 투입지점(30a)과 대응되는 핀구멍(11) 마다 프로브 핀(P)이 꼽힌다. 그리고 프리로드 수단의 브래킷(32)이 로드(37)를 통하여 왕복되면서 누름핀(30)들이 접점부(21) 쪽으로 왕복되고, 또한 실린더(47)를 통하여 마이크로미터(40)의 프레임(42)이 왕복되면서 스핀들(41)이 각 단자부(22)(23)(24)(25) 쪽으로 왕복된다.
따라서 상기 회전축(13)이 간헐적으로 회전되는 과정에서 상기 프로브 핀(P)들이 접점부(21)와 대응되는 동안 누름핀(30)들에 의해 눌려지면서 접점부(21)와 닿게 되는데, 상기 접점부(21)는 전기적 신호를 측정하는 신호선이 없는 것으로서 단지 마찰을 줄이기 위한 금속재질로 구성되어서 프로브 핀(P)의 신축에 따른 내장된 스프링에 예압을 걸어서 스프링이 자리잡을 수 있도록 해주는 역할을 한다.
또한 상기 회전축(13)이 간헐적으로 회전되는 과정에서 상기 프로브 핀(P)들이 단자부(22)(23)(24)(25)와 대응되면 스핀들(41)이 이를 눌러주기 때문에 대단자부(22)에서 프로브 핀(P)이 규정보다 크게 형성되었는지를 검사하고, 소단자부(23)에서 규정보다 작게 형성되었는지를 검사하며, 저항단자부(24) 및 하중단자부(25)에서 저항 및 하중을 측정하여 불량 및 폐기품을 선별한다.
또한 상기 회전디스크(10)가 간헐적으로 회전되는 각 핀구멍(11)의 흡입실(12)은 흡입통로(26)와 연속으로 통하게 되므로 흡입구멍(27)으로 진공압이 걸리면 핀구멍(11)에 꼽힌 프로브 핀(P)들이 고정디스크(20) 쪽으로 당겨져서 검사하는 동안 핀구멍(11)에서 빠지지 않는다. 그리고 측정이 완료되면 상기 선별배출구멍(20b)에서 에어노즐에 의해 프로브 핀(P)이 양품 또는 불량품으로 분리 배출되는데, 이때 회전판(미도시)은 양품상자 또는 불량품상자 쪽으로 회전되어서 배출되는 프로브 핀(P)을 선별한다. 그리고 선별배출구멍(20b)에는 흡입통로(26)가 연결되지 않으므로 프로브 핀의 배출에 지장을 주지 않는다.
또한 선별되지 않는 폐기대상 프로브 핀은 폐기배출구멍(20c)에서 에어노즐에 의해 배출 제거면서 한 공정이 끝나게 되며, 위의 과정을 연속 반복하면서 프로브 핀을 자동으로 연속 검사할 수 있다.
10 : 회전디스크 11 : 핀구멍
12 : 흡입실 20 : 고정디스크
21 : 접점부 22 : 대단자부
23 : 소단자부 24 : 저항단자부
25 : 하중단자부 26 : 흡입통로
27 : 흡입구멍 30 : 누름핀
31 : 스프링 32 : 브래킷
33: 마이크로미터 40 : 마이크로미터
41 : 스핀들 50 : 슈터
51 : 가이드홈 52 : 진공홀
60 : 피더 61 : 이동트랙

Claims (6)

  1. 간헐적으로 회전되는 회전디스크와 상기 회전디스크에 접하는 고정디스크가 구비되고; 상기 회전디스크는 프로브 핀이 꼽히는 핀구멍이 방사상으로 다수개 형성되며; 상기 고정디스크는 상기 회전디스크와 접하는 면에 각 상기 핀구멍들과 대응되게 방사상으로 다수의 접점부와 다수의 단자부들이 구비되고; 상기 프로브 핀이 상기 접점부에 놓이면 프로브 핀을 눌러 예압을 가하는 프리로드 수단이 구비되며; 상기 프로브 핀이 상기 단자부들에 놓이면 상기 프로브 핀을 눌러 길이와 저항 및 하중을 측정하는 마이크로미터가 구비되는 프로브 핀 자동 검사장치에 있어서,
    상기 단자부들은 프로브 핀이 규정보다 크게 형성된 것을 검사하는 대단자부, 규정보다 작게 형성된 것을 검사하는 소단자부, 저항을 측정하는 저항단자부 및 스프링에 가해지는 하중을 측정하는 하중단자부로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀 자동 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전디스크는 각 상기 핀구멍들 마다 상기 고정디스크의 대향면과 접하는 흡입실이 장방향으로 형성되고;
    상기 고정디스크에는 상기 접점부 및 단자부들 안쪽에 각 상기 흡입실과 통하는 흡입통로가 원호상으로 형성되며;
    상기 흡입통로의 한쪽에는 진공발생기와 통하는 흡입구멍이 천공되어서 진공압에 의해 상기 프로브 핀들이 회전디스크에 고정되어서 간헐적으로 회전되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 핀 자동 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 프리로드 수단은
    브래킷에 상기 고정디스크의 각 접점부와 대응되는 다수의 누름핀이 구비되고;
    상기 브래킷은 왕복대 위쪽에 놓인 마이크로미터 및 가이드블록을 통하여 거리가 미세조정되고, 복귀스프링으로 당겨져서 마이크로미터와 항상 접하게 구비되며;
    상기 왕복대는 실린더로 작동되는 로드와 연결되어서 상기 누름핀들이 상기 프로브 핀을 눌러주도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 핀 자동 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    각 상기 단자부들과 일대일 대응되는 지점마다 마이크로미터의 스핀들이 일직선상에 놓여서 프로브 핀의 선단과 스핀들이 접하게 되고;
    상기 마이크로미터의 프레임은 가이드블록을 통하여 기판에 놓이며;
    상기 프레임의 한쪽은 로드를 통하여 실린더와 연결되고, 반대쪽은 스프링을 통하여 기판과 연결되어서 상기 스핀들이 프로브 핀의 선단을 눌러주도록 하고, 상기 마이크로미터에서 스핀들과 프로브 핀의 거리가 미세 조정되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 핀 자동 검사장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 핀이 무작위로 담기면 나선형 이동트랙을 따라 상부로 이동되도록 하는 피더가 구비되고;
    상기 이동트랙의 끝단에 상기 회전디스크와 근접되게 결합되는 슈터는 상기 회전디스크의 핀구멍과 일직선으로 통하여서 상기 프로브 핀이 상기 핀구멍으로 투입되게 안내하는 가이드홈이 구비되며;
    상기 가이드홈에는 상기 프로브 핀을 진공압으로 잡아주는 진공홀이 형성되어서 상기 회전디스크가 회전되는 동안 상기 프로브 핀이 정지되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 핀 자동 검사장치.
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