KR102609110B1 - 위치 센서를 갖는 진공 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 밸브 마개(4)를 갖고 밸브 마개(4)에 커플링되고 적어도 하나의 조정 요소(5)를 갖는 구동 유닛(7)을 갖는 진공 밸브(1)에 관한 것이다. 진공 밸브(1)는, 제로 위치, 특히 진공 밸브(1)의 개방 위치(O) 또는 폐쇄 위치(G)에 대한 밸브 마개(4)의 위치 및/또는 적어도 하나의 조정 요소(5)의 위치가 측정될 수 있도록 위치 센서(10, 10'), 특히 이동 또는 거리 센서를 추가로 갖는다.

Description

위치 센서를 갖는 진공 밸브

본 발명은 적어도 하나의 위치 센서를 갖는 진공 밸브 및 위치 측정을 사용하여 진공 밸브를 제어하기 위한 방법에 관한 것이다.

밸브 하우징에 형성된 개구를 통해 이어지는 유로(flow path)의 체적 또는 질량 흐름을 조절하기 위한 및/또는 본질적으로 가스-기밀 폐쇄를 위한 진공 밸브는 일반적으로 다양한 실시예에서 종래 기술로부터 알려져 있고 특히 오염 입자 없이 가능한 한 보호된 분위기에서 이루어져야 하는 IC, 반도체 또는 기판 생산 영역에서의 진공 챔버 시스템에서 사용된다. 이러한 진공 챔버 시스템은 특히 프로세싱되거나 생산될 반도체 요소 또는 기판을 수용하기 위해 제공되고 이를 통해 반도체 요소 또는 다른 기판이 진공 챔버로 그리고 진공 챔버로부터 안내될 수 있는 적어도 하나의 진공 챔버 개구를 갖는 적어도 하나의 배기 가능한 진공 챔버 및 진공 챔버를 배기시키기 위한 적어도 하나의 진공 펌프를 포함한다. 예를 들어, 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판을 위한 생산 플랜트에서, 고감도 반도체 또는 액정 요소는 프로세스 진공 챔버 내에 위치된 부품이 각각 프로세싱 디바이스에 의해 프로세싱되는 몇몇 프로세스 진공 챔버를 순차적으로 통과한다. 프로세스 진공 챔버 내에서의 머시닝 프로세스 동안 및 챔버로부터 챔버로의 이송 동안, 고감도 반도체 요소 또는 기판은 언제나 보호된 분위기 - 특히 공기가 없는 환경에 있어야 한다.

이를 위해, 주변 밸브는 가스 입구 또는 출구를 개방 및 폐쇄하는 데 사용되고, 트랜스퍼 밸브는 부품을 삽입하고 제거하기 위한 진공 챔버의 트랜스퍼 개구를 개방 및 폐쇄하는 데 사용된다.

반도체 부품이 통과하는 진공 밸브는 설명되는 응용 영역 및 관련 치수로 인해 진공 트랜스퍼 밸브, 주로 직사각형 개구 단면으로 인해 직사각형 밸브 및 또한 정상 동작 모드로 인해 슬라이드 밸브, 직사각형 슬라이더 또는 트랜스퍼 슬라이드 밸브로 칭해진다.

주변 밸브는 특히 진공 챔버와 진공 펌프 또는 다른 진공 챔버 사이의 가스 흐름을 제어하거나 조절하는 데 사용된다. 예를 들어, 주변 밸브는 프로세스 진공 챔버 또는 트랜스퍼 챔버와 진공 펌프, 대기 또는 다른 프로세스 진공 챔버 사이의 파이프 시스템 내에 위치된다. 펌프 밸브로도 알려진 이러한 밸브의 개구 단면은 일반적으로 진공 트랜스퍼 밸브의 개구 단면보다 작다. 주변 밸브는 개구를 완전히 개방 및 폐쇄하는 데 사용될 뿐만 아니라 완전 개방 위치와 가스-기밀 폐쇄 위치 사이의 개구 단면을 연속적으로 조정함으로써 흐름을 제어 또는 조절하는 데 사용되기 때문에 응용에 따라 제어 밸브라고도 칭해진다. 가스 흐름을 제어 또는 조절하기 위한 가능한 주변 밸브는 펜듈럼(pendulum) 밸브이다.

통상적인 펜듈럼 밸브에서, US 6,089,537(Olmsted)로부터 알려진 바와 같이, 제1 단계는 통상적으로 둥근 밸브 플레이트를 개구를 해제하는 위치, 개방 위치로부터 또한 통상적으로 둥근 개구를 통해 개구를 덮는 중간 위치로 회전시키는 것이다. 슬라이드 밸브의 경우에, 예를 들어, US 6,416,037(Geiser) 또는 US 6,056,266(Blecha)에 설명된 바와 같이, 밸브 플레이트뿐만 아니라 개구는 통상적으로 직사각형이며 이러한 제1 단계에서 개구를 해제하는 위치로부터 개구를 덮는 중간 위치로 선형으로 푸시된다. 이러한 중간 위치에서, 펜듈럼 또는 슬라이드 밸브의 밸브 플레이트는 개구를 둘러싸는 밸브 시트(seat)로부터 거리를 두고 그리고 이에 대향하여 위치된다. 제2 단계에서, 밸브 플레이트와 밸브 시트 사이의 거리가 감소되어 밸브 플레이트와 밸브 시트가 서로에 대해 균등하게 가압되어 밸브 마개가 폐쇄 위치에 도달되고 개구는 본질적으로 가스-기밀하게 폐쇄된다. 이러한 제2 이동은 바람직하게는 밸브 시트에 실질적으로 수직인 방향으로 발생한다.

조정 이동의 각각의 종단 위치, 즉, 개방 위치 및 폐쇄 위치 (및 적어도 2개의 상이한 조정 방향으로 2개의 조합된 부분 이동으로 이루어진 조정 이동이 제공되는 경우, 또한 중간 위치)가 검출되고 및/또는 이 경우 기계식 종단 위치 스위치를 사용하여 유지된다. 정확한 폐쇄를 위해 좁은 공차 한계가 이러한 목적으로 유리하지 않게 유지되어야 한다.

시일링(sealing)은, 개구를 둘러싸는 밸브 시트 상에 가압되는 밸브 플레이트의 마개 측에 배열된 시일링 링을 통해, 또는 이에 대해 밸브 플레이트의 마개 측이 가압되는 밸브 시트 상의 시일링 링을 통해 발생할 수 있다. 2단계로 발생하는 폐쇄 절차로 인해, 밸브 플레이트와 밸브 시트 사이의 시일링 링은, 제2 단계에서 밸브 플레이트의 이동이 본질적으로 밸브 시트 상에 수직으로 선형으로 발생하기 때문에, 시일링 링을 파괴할만한 전단력을 거의 받지 않는다.

다양한 종래 기술의 시일링 디바이스는 예를 들어, US 6,629,682 B2(Duelli)로부터 알려져 있다. 진공 밸브에서 시일링 링 및 시일에 대한 적절한 재료는 예를 들어, FKM으로도 알려진 플루오로 고무, 특히 상표명 "Viton"으로 알려진 플루오로 엘라스토머 및 축약하여 FFKM인 퍼플루오로 고무이다.

종래 기술로부터, 상이한 구동 시스템이 예를 들어, 펜듈럼 밸브의 경우 US 6,089,537(Olmsted) 및 슬라이드 밸브의 경우 US 6,416,037(Geiser)로부터, 펜듈럼 밸브의 밸브 플레이트의 회전 이동 및 개구와 평행한 슬라이드 밸브의 밸브 플레이트의 병진 이동과 개구에 수직인 실질적으로 병진 이동을 달성하는 것으로 알려져 있다.

전체 압력 범위 내에서 필요한 가스 기밀성이 보장되고 과도한 압력 부하에 의해 야기되는, 시일링 매체, 특히 O-링 형태의 시일링 링에 대한 손상이 회피되는 방식으로 밸브 플레이트가 밸브 시트에 대해 가압되어야 한다. 이를 보장하기 위해, 공지된 밸브는 2개의 밸브 플레이트 측 사이에 존재하는 압력차에 따라 조절되는 밸브 플레이트의 압력 조절을 제공한다. 특히 큰 압력 변동 또는 부분 진공으로부터 과압(overpressure)으로 또는 그 반대로의 변경의 경우, 시일링 링의 전체 주위를 따라 균일한 힘 분포가 언제나 보장될 수는 없다. 일반적으로, 밸브에 가해지는 압력으로 인한 지지력으로부터 시일링 링을 커플링 해제하는 것이 목적이다. 예를 들어, US 6,629,682(Duelli)에서, 시일링 매체를 갖는 진공 밸브가 제안되며, 이는 시일링 링과 인접한 지지 링으로 구성되어, 시일링 링은 본질적으로 지지력이 없다.

아마도 과압과 부분 진공 모두에 필요한 가스 기밀성을 달성하기 위해, 일부 공지된 펜듈럼 밸브 또는 슬라이드 밸브는 제2 이동 단계에 추가로 또는 대안적으로 밸브 플레이트에 수직으로 변위될 수 있고 개구를 둘러싸며 밸브 플레이트 상에 가압되어 가스-기밀 방식으로 밸브를 폐쇄하는 밸브 링을 제공한다. 밸브 플레이트에 대해 능동적으로 변위될 수 있는 밸브 링을 갖는 이러한 밸브는 예를 들어, DE 1 264 191 B1, DE 34 47 008 C2, US 3,145,969(von Zweck) 및 DE 77 31 993 U로부터 알려져 있다. US 5,577,707(Brida)는 개구를 갖는 밸브 하우징 및 개구를 통한 흐름을 제어하기 위해 개구에 걸쳐 평행하게 스위블링(swivelling)하는 밸브 플레이트를 갖는 펜듈럼 밸브를 설명한다. 개구를 둘러싸는 밸브 링은 몇몇 스프링 및 압축된 공기 실린더에 의해 밸브 플레이트 방향으로 수직으로 능동적으로 이동될 수 있다. 이러한 펜듈럼 밸브의 가능한 추가 개발이 US 2005/0067603 A1(Lucas 등)에 제안되어 있다.

앞서 언급된 밸브는 무엇보다도 진공 챔버에서 고감도 반도체 요소의 생산에 사용되기 때문에, 이러한 프로세스 챔버에 대해 대응하는 시일링 효과가 또한 신뢰성 있게 보장되어야 한다. 이를 위해, 특히 압축 동안 시일링 재료 또는 시일링 재료와 접촉하는 시일링 표면의 상태가 특히 중요하다. 진공 밸브의 서비스 수명 동안, 시일링 재료 또는 시일링 표면의 마모가 통상적으로 발생할 수 있다.

또한, 예를 들어, 마모 또는 노화의 외관으로 인해 또는 기계적 충격 등과 같은 외부 간섭 영향으로 인해, 밸브의 구동 시스템 및/또는 기계적으로 이동하는 구성 요소는 결함에 취약하여, 일반적으로 진공 밸브의 시일링 작용 또는 기능 또는 신뢰성의 손상이 발생할 수 있다. 지금까지는 종래 기술에서 이러한 결함을 조기에 및/또는 사전에 인식할 수 있는 옵션이 없었다.

따라서, 밸브 및/또는 시일의 품질을 충분히 높은 레벨로 일관되게 유지하기 위해, 밸브의 부품, 예를 들어, 시일, 구동 부품 또는 밸브 전체를 빈번하게 교체 또는 복구함으로써, 밸브의 유지 보수가 통상적으로 특정 시간 간격으로 이루어진다. 이러한 유지 보수 사이클은 이 경우에 통상적으로 특정 기간에 예측되는 개방 및 폐쇄 사이클의 수에 기초하여 크기가 결정된다. 따라서, 유지 보수는 통상적으로 누출 또는 다른 고장의 발생을 가능한 한 사전에 방지할 수 있도록 하기 위해 예방 조치로서 이루어진다.

이러한 유지 보수 요건은 시일링 재료 또는 밸브 플레이트에만 제한되지 않고, 예를 들어, 밸브 플레이트에 대응하는 진공 밸브의 일부를 형성하는 밸브 시트까지 확장된다. 밸브 시트 측면 상의 시일링 표면의 구조, 예를 들어, 밸브 시트에 매립된 홈이 또한 기계적 응력에 의해 영향을 받는다. 따라서, 밸브 동작으로 인한 홈의 구조적 변화가 또한 시일을 손상시킬 수 있다. 적절한 유지 보수 간격이 또한 통상적으로 이 목적으로 규정된다.

이러한 밸브 유지 보수의 단점은 그 예방 조치적 특성이다. 유지 보수의 영향을 받는 부품은 통상적으로 정기 또는 실제 수명이 만료하기 전에 갱신 또는 교체되며, 이는 상승된 비용 지출을 의미한다. 각각의 이러한 유지 보수 단계는 통상적으로 생산 프로세스에 대한 특정 다운타임(downtime) 및 증가된 기술 및 재정적 노력을 의미한다. 요컨대, 이는 필요한 것보다 짧고 필요할 수 있는 것보다도 더 빈번한 간격의 생산 중단을 의미한다.

따라서, 본 발명은 최적의 동작을 허용하는 개선된 진공 밸브를 제공하는 목적에 기초한다.

본 발명의 다른 목적은 최적화된 밸브 유지 보수를 가능하게 하여 개선, 즉, 가능한 프로세스 정지의 단축을 가능하게 하는 개선된 진공 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 개별 밸브 부품의 서비스 수명을 연장시킬 수 있는 개선된 진공 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 개별 구성 요소에 대한 및/또는 생산에 대한 덜 엄격한 공차 요건을 두는 개선된 진공 밸브를 제공하는 것이다.

이들 목적은 독립 청구항의 특징적인 특징의 실현에 의해 해결된다. 대안적이거나 유리한 방식으로 본 발명을 추가로 발전시키는 특징은 종속 특허 청구항에서 찾을 수 있다.

본 발명의 기본 사상은 진공 밸브에 위치 센서를 장착하고, 밸브의 적어도 하나의 기계적으로 이동된 부품의 위치의 바람직하게는 점진적인 결정 또는 모니터링이 가능하게 되는 방식으로 밸브 및 센서 배열을 설계하는 것이다.

따라서, 본 발명의 주제는 체적 또는 질량 흐름의 조절 및/또는 유로의 가스-기밀 차단을 위한 진공 밸브, 바람직하게는 진공 슬라이드 밸브, 펜듈럼(pendulum) 밸브 또는 모노 밸브이며, 이는 개구 축을 규정하는 밸브 개구 및 밸브 개구를 둘러싸는 제1 시일링 표면을 갖는 밸브 시트를 갖는다. 밸브 시트는 이 경우에 진공 밸브의 필수 구성 요소 또는 구조적 구성 요소일 수 있고 특히 밸브 하우징의 일부를 구현할 수 있다. 대안적으로, 밸브 시트는 프로세스 챔버, 예를 들어, 진공 챔버의 개구에 의해 형성될 수 있고, 밸브 시트와 관련하여 이동 가능한 밸브 마개와 협업하여 본 발명의 의미에서 진공 밸브를 형성할 수 있다.

또한, 진공 밸브는 체적 또는 질량 흐름을 조절하기 위한 및/또는 유로를 차단하기 위한, 밸브 마개, 특히 밸브 플레이트를 포함하고, 밸브 마개는 제1 시일링 표면에 대응하는 제2 시일링 표면을 갖고, 그 가변 위치가 밸브 마개의 각각의 위치 및 정렬에 의해 결정된다. 또한, 진공 밸브는 밸브 마개에 커플링되는 구동 유닛을 가지며, 구동 유닛은 적어도 하나의 이동 가능한 조정 요소, 예를 들어, 조정 아암(arm)을 포함하고, 여기서 구동 유닛은 조정 이동을 실행하도록 설계되어, 밸브 마개는 밸브 마개와 밸브 시트가 서로에 대해 접촉하지 않고 제공되는 개방 위치로부터 개구 축에 대한 축 방향 시일링 접촉이 특히 시일을 통해 제1 시일링 표면과 제2 시일링 표면 사이에 존재하고, 이에 의해 밸브 개구가 가스-기밀 방식으로 폐쇄되는 폐쇄 위치로, 그리고 다시 반대로 조정 가능하다.

특히, 2개의 시일링 표면 중 하나 또는 둘 모두는 시일링 재료로 이루어진 시일을 갖는다. 시일링 재료는, 예를 들어, 중합체-기반 재료(예를 들어, 엘라스토머, 특히 플루오로 엘라스토머)일 수 있으며, 이는 시일링 표면 상에 가황되거나 밸브 마개 또는 밸브 시트의 홈에 O-링으로서 제공된다. 따라서, 시일링 표면은 본 발명의 범위에서, 바람직하게는 시일링 재료로 이루어진 시일이 밸브 개구(폐쇄 위치)를 폐쇄하기 위해 압축된 형태로 제공되는 표면인 것으로 고려된다.

구동 유닛은 전기 모터(스테퍼(stepper) 모터)로서 또는 복수의 모터의 조합으로 또는 공압식 구동기로서 설계될 수 있다. 특히, 구동 유닛은 적어도 두 방향(본질적으로 서로 직교)으로 밸브 마개의 이동을 제공한다.

본 발명에 따르면, 진공 밸브는 적어도 하나의 위치 센서를 가지며, 여기서 위치 센서는 널(null) 위치, 특히 개방 위치 또는 폐쇄 위치에 대하여 밸브 마개 및/또는 적어도 하나의 조정 요소, 특히 조정 아암의 위치가 바람직하게는 점진적으로 측정될 수 있도록 진공 밸브에 설계 및 배열된다.

위치 센서는 위치-변환 요소를 포함하는 바람직하게는 변위 센서이다. 대안적으로, 센서는 거리 센서로서 설계된다. 복수의 센서의 경우, 양쪽 유형이 또한 사용될 수 있다. 위치 센서는 바람직하게는 절대 위치 센서로서 설계되므로, 위치는 예를 들어, 룰러 상의 고유 위치 코드, 재료 측정 또는 센서의 스케일에 의해 널 위치에 접근하지 않고도 결정될 수 있다.

센서는 조정 이동의 적어도 일부의 시간 곡선이 결정될 수 있도록 진공 밸브에 설계 및 배열되는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 위치가 특정 시간 범위에 걸쳐 순차적으로 결정되어, 예를 들어, 조정 이동 또는 조정 요소 및/또는 밸브 마개의 적어도 하나의 속도가 조정 이동의 적어도 이러한 하나의 시간 범위 동안 이로부터 결정될 수 있거나 도출될 수 있다. 또한, 가속도가 위치 측정으로부터 또한 추가로 결정될 수 있다.

옵션으로서, 조정 이동은 적어도 본질적인 선형 이동을 포함하고, 위치 센서는 선형 이동의 적어도 일부 또는 전체를 획득하도록 설계 및 배열되며, 여기서 위치 센서는 바람직하게는 선형 인코더이다.

대안적으로 또는 추가적으로, 조정 이동은 적어도 본질적으로 회전 이동을 포함하며, 위치 센서는 회전 이동의 적어도 일부 또는 전체를 획득하도록 설계 및 배열되며, 여기서 위치 센서는 바람직하게는 각도 인코더이다.

위치 센서는 선택적으로 유도성, 광학, 자기, 자기 변형성, 전위차 및/또는 용량성 위치 센서이다. 추가적인 옵션으로서, 위치 센서는 진공 영역 외부에 배열되며, 이는 진공 밸브에 의해 규정되고 외부 환경으로부터 분리된다. 따라서, 이 경우에 센서 배열은 예를 들어, 센서 자체가 진공 영역으로 이동될 필요가 없으며, 그에 따라 비교적 더 적은 구축 비용이 보장될 수 있도록 설계될 수 있는 것이 유리하다.

일부 실시예에서, 위치 센서는 하나의 위치 센서에 의해 서로에 대해 본질적으로 직교하는 적어도 2개의 조정 방향에 대하여 위치 측정이 수행될 수 있도록 진공 밸브에 설계 및 배열되며, 즉, 단일 위치 센서가 복수의 축 또는 방향에 대하여 위치를 결정할 수 있다. 이는 예를 들어, 센서의 타겟이 순차적으로, 예를 들어, 우선 제1 조정 방향을 따른 조정 시에 그리고 그 후 제2 조정 방향을 따른 조정시에, 또는 동시에, 예를 들어, 2D 위치 센서로서의 설계에 의해 복수의 룰러(ruler)로부터 수신되도록 이루어진다. 대안적으로, 진공 밸브는 적어도 2개의 위치 센서를 가지며, 이들은 진공 밸브에서 제1 조정 방향에 대한 위치가 제1 위치 센서에 의해 측정될 수 있고 제2 조정 방향에 대한 위치가 제2 위치 센서에 의해 측정될 수 있도록 설계 및 배열되며, 특히 여기서 양쪽 조정 방향은 본질적으로 서로에 대해 직교한다.

일 실시예에서, 진공 밸브는 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밸브 마개를 조정하기 위해 사전 규정된 제어 값을 사용하여 구동 유닛을 작동시키기 위한 모니터링 및 제어 유닛을 가지며, 여기서 구동 유닛, 밸브 마개 및 센서는 제어 값이 센서의 측정 신호에 기초하여 설정되도록, 특히 측정 신호가 사전 규정된 설정 값에 지속적으로 대응하도록 설계되고 상호 작용한다.

이 경우, 진공 밸브, 센서 배열 및 모니터링 및 제어 유닛은 예를 들어, 센서가 예를 들어, 특정 신호의 준비 및 송신을 위해 모니터링 및 제어 유닛과 통상의 유선 또는 무선 접속을 통해 일방 또는 양방 통신하도록 선택적으로 구성된다.

진공 밸브는 또한 예를 들어, 특히 모니터링 및 제어 유닛 또는 센서 배열에 의해 제공되는 획득된 측정 신호가 프로세싱 유닛에 의해 프로세싱될 수 있고 상태 정보의 항목이 획득된 측정 신호에 기초하여 생성될 수 있도록 설계된 프로세싱 유닛을 가질 수 있다. 그 후, 획득된 측정 신호는 예를 들어, 모니터링 및 제어 유닛에 의한 밸브 조절을 위해 평가될 수 있는 상태 정보의 항목 또는 사용자 정보로서의 제공을 위해 추가로 프로세싱 및 제공될 수 있다.

상태 정보의 항목은 예를 들어, 획득된 위치 측정 신호에 대한 실제-설정점 비교에 기초하여, 예를 들어, 구동 유닛의 기준 (설정) 위치에 대해 획득되고 예상되는 위치에 기초하여, 예를 들어, 밸브 마개 및/또는 조정 요소의 기계적 및/또는 구조적 완전성과 관련하여 정보의 항목을 제공할 수 있다.

또한, 상태 정보의 항목에 기초하여, 특정 공차 값에 대한 획득된 위치 센서 측정 신호의 관계를 특정하는 출력 신호가 제공될 수 있다. 따라서, 특히 진공 밸브에 의해 제어되는 프로세스에 관한 평가, 예를 들어, 필요한 시일링 작용이 달성되는지 또는 예를 들어, 조정 요소 또는 시일링 표면에 대한 가능한 손상이 인식될 수 있는지의 평가가 이루어질 수 있다. 예를 들어, (예를 들어, 조정 속도 또는 종단 위치에 기초하여) 프로세스가 요구된 공차 내에서 실행되는지 또는 이러한 공차 아래로의 원하지 않는 하락 또는 초과가 예상되는지 예를 들어, 시각적 또는 음향적 신호에 의해 사용자에게 표시될 수 있다.

또한, 본 발명은 진공 밸브, 특히 진공 슬라이드 밸브, 펜듈럼 밸브 또는 모노 밸브를 제어하기 위한 방법을 포함하고, 진공 밸브는 체적 또는 질량 흐름을 조절하고 및/또는 유로의 가스-기밀 차단을 위해 설계된다. 제어되는 진공 밸브는, 이 경우 개구 축을 규정하는 밸브 개구 및 밸브 개구 주위를 둘러싸는 제1 시일링 표면을 갖는 밸브 시트, 체적 또는 질량 흐름을 조절하기 위한 및/또는 유로를 차단하기 위한, 밸브 마개, 특히 밸브 플레이트로서, 제1 시일링 표면에 대응하는 제2 시일링 표면을 갖고, 그 가변 위치는 밸브 마개의 각각의 위치 및 정렬에 의해 결정되는, 밸브 마개, 적어도 하나의 이동 가능 조정 요소를 포함하고 밸브 마개에 커플링되는 구동 유닛을 포함하고, 여기서 구동 유닛은 조정 이동을 실행하도록 설계되어, 밸브 마개는 밸브 마개와 밸브 시트가 서로에 대해 접촉하지 않고 제공되는 개방 위치로부터 개구 축에 대한 축 방향 시일링 접촉이 특히 시일을 통해 제1 시일링 표면과 제2 시일링 표면 사이에 존재하고, 따라서 밸브 개구가 가스-기밀 방식으로 폐쇄되는 폐쇄 위치로, 그리고 반대로 조정 가능하다.

본 발명에 따르면, 본 발명의 범위에서, 널(null) 위치, 특히 개방 위치 또는 폐쇄 위치에 대한 밸브 마개 및/또는 적어도 하나의 조정 요소의 특히 절대 위치가 특히 점진적으로 측정된다.

본 방법의 일 개선에서, 본 방법의 범위에서, 특히 밸브 마개 또는 밸브 요소의 기계적 및/또는 구조적 완전성과 관련하여, 진공 밸브의 상태 정보의 항목이 위치 측정에 기초하여 확인되고, 바람직하게는 상태 정보의 항목은 획득된 측정 신호에 대한 실제-설정점 비교에 의해 확인되고 및/또는 사전 규정된 공차 값에 대한 상태 정보의 항목의 비교에 기초하여, 출력 신호가 진공 밸브에 의해 제어되는 프로세스의 평가와 관련하여 제공된다.

밸브 마개 및/또는 적어도 하나의 조정 요소의 조정 속도는 위치 측정에 기초하여 본 방법의 범위에서 개방 위치로부터 폐쇄 위치로 및/또는 그 반대로의 조정 이동의 적어도 일부 및/또는 조정 이동의 구간에 대해 선택적으로 결정된다. 이러한 정보의 항목은 이 경우 분석을 위한 다이어그램 형태로 사용자에게 출력될 수 있고 및/또는 자동으로 분석될 수 있다.

추가 옵션으로서, 밸브 마개 및/또는 적어도 하나의 조정 요소의 종단 위치, 특히 개방 위치 및/또는 폐쇄 위치의 검출 및/또는 조정 이동의 범위에서의 서로에 대한 시일링 표면의 가능한 충격 및/또는 서로에 대한 시일링 표면의 가능한 접착이 위치 측정에 기초하여 본 방법의 범위에서 이루어진다.

본 발명의 주제는 또한 머신-판독 가능 캐리어, 특히 본 발명에 따른 진공 밸브의 제어 및 프로세싱 유닛, 또는 전자파에 의해 구현된 컴퓨터 데이터 신호에 저장되는, 본 발명에 따른 방법을 수행하기 위한 프로그램 코드를 갖는 컴퓨터 프로그램 제품이다.

따라서, 본 발명은 조정 이동 또는 시퀀스가 모니터링 또는 점검될 수 있고 가능하게 평가될 수 있도록 밸브 마개 및/또는 조정 요소의 지속적인 또는 연속적인 위치 측정을 가능하게 하는 진공 밸브를 유리하게 제공한다. 또한, 위치 측정은 진공 밸브 및/또는 그 구성 요소 중 개별의 것, 예를 들어, 구동 유닛의, 시일의 또는 조정 요소의 자동적이고 지속적인 상태 검증을 가능하게 하며, 여기서 상태 정보의 항목은 이동 부품을 통해 직접 확인 또는 도출될 수 있을 뿐만 아니라, 오히려 고정식 부품을 통해 간접적으로 확인 또는 도출될 수도 있다. 이 경우, 장래의 결함을 나타내는 결함 또는 불규칙성은 단지 조기에 또는 모두 인식될 수 있고 및/또는 결함의 부족이 확립되므로 불필요한 유지 보수가 회피될 수 있다. 점검은 이 경우 정상 프로세스 시퀀스 동안 유리하게 이루어질 수 있으므로, 중단될 필요가 없다.

본 발명에 따른 진공 밸브는 도면에 개략적으로 나타낸 실시예에 의해 아래에서 더욱 상세하게 설명된다. 동일한 요소는 도면에서 동일한 참조 번호로 표시되어 있다. 원칙적으로, 설명된 실시예는 스케일대로가 아니며 제한적인 것으로 이해되어서는 안된다.

도면은 이하를 상세하게 나타낸다:
도 1a 및 도 1b는 모노 밸브(monovalve)로서 본 발명에 따른 진공 밸브의 가능한 제1 실시예를 나타낸다.
도 2는 모노 밸브로서 본 발명에 따른 진공 밸브의 가능한 제2 실시예를 나타낸다.
도 3은 트랜스퍼 밸브로서 본 발명에 따른 진공 밸브의 가능한 추가 실시예를 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 펜듈럼 밸브로서 진공 밸브의 본 발명에 따른 추가 실시예의 개략도를 나타낸다.
도 5는 트랜스퍼 밸브로서 진공 밸브의 본 발명에 따른 추가 실시예의 개략도를 나타낸다.
도 6은 트랜스퍼 밸브로서 진공 밸브의 본 발명에 따른 추가 실시예의 개략도를 나타낸다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 진공 밸브(1)의 제1 실시예를 개략적으로 나타낸다. 이 예에서, 밸브(1)는 소위 모노 밸브로 구현되었으며 개방 위치(O)(도 1a)와 폐쇄 위치(G)(도 1b)에서 단면으로 도시된다.

선형 이동에 의해 유로의 가스-기밀 폐쇄를 위한 밸브(1)는 유로에 대한 개구(2)를 포함하는 밸브 하우징(24)을 가지며, 여기서 개구(2)는 유로를 따라 기하학적 개구 축(H)을 갖는다. 개구(2)는 도면에서 밸브(1)의 좌측에 위치된 제1 가스 영역(L) 및/또는 격벽(미도시)과 그 우측 상의 제2 가스 영역(R)을 접속시킨다. 이러한 격벽은 예를 들어, 진공 챔버의 챔버 벽에 의해 형성된다.

마개 요소(4)는 예시적인 조정 아암에서 이동 가능 위치 결정 요소(5)를 갖는 구동 유닛(7)에 의해 폐쇄 방향 및 다시 역으로 개방 방향으로 개구(2)를 해제하는 개방 위치(O)로부터 개구(2) 위에서 선형으로 푸시(push)되는 폐쇄 위치(G)로 마개 요소 평면(22)에서 개구 축(H)에 횡방향으로 연장되는 기하 조정 축(V)을 따라 선형으로 변위 가능하다.

예를 들어, 굴곡된 제1 시일링 표면(3)은 제1 평면(20a)에서 제1 섹션(21a)을 따라 그리고 제2 평면(20b)에서 제2 섹션(21b)을 따라 밸브 하우징(24)의 개구(2)를 둘러싼다. 제1 평면(20a) 및 제2 평면(20b)은 서로 이격되고, 서로 평행하게 연장되고, 마개 요소 평면(22)에 평행하게 연장된다. 따라서, 제1 섹션(21a) 및 대향하는 제2 섹션(21b)은 서로에 대해 조정 축(V)에 대해 횡방향으로 그리고 개구 축(H)의 방향으로 기하학적 오프셋을 갖는다. 개구(2)는 조정 축(V)을 따라 연장되는 영역에서 2개의 대향 섹션(21a, 21b) 사이에 배열된다.

마개 요소(4)는 제1 섹션 및 제2 섹션(21a, 21b)에 대응하는 섹션을 따라 연장되고 제1 시일링 표면(3)에 대응하는 제2 시일링 표면(6)을 갖는다.

모노 밸브, 즉, 단일 선형 이동에 의해 폐쇄 가능한 진공 밸브는 예를 들어, 비교적 복잡하게 구성된 구동기를 필요로 하는 2개의 이동에 의해 폐쇄 가능한 트랜스퍼 밸브에 비해 예를 들어, 비교적 단순한 폐쇄 메커니즘의 이점을 갖는다. 마개 요소는 또한 하나의 단편으로 형성될 수 있으므로, 높은 가속력을 받을 수 있어, 이 밸브는 또한 신속하고 긴급한 마개용으로 사용될 수 있다. 폐쇄 및 시일링은 단일 선형 이동에 의해 이루어질 수 있으므로, 밸브(1)의 매우 신속한 폐쇄 및 개방이 가능하다.

특히, 모노 밸브의 하나의 이점은, 예를 들어, 폐쇄 동안의 프로파일 때문에 시일(3, 6)이 시일(3, 6)의 종방향 연장과 관련하여 횡방향으로 횡방향 부하를 받지 않는다는 것이다. 한편, 시일(3, 6)은 개구 축(H)에 대한 횡방향 연장으로 인해, 특히 마개 요소(4), 그 구동기 및 그 장착기의 견고한 구성을 필요로 하는 큰 차동 압력의 경우에, 마개 요소(4)에 작용할 수 있는 개구 축(H)을 따라 마개 요소(4) 상에서 발생하는 힘을 거의 흡수할 수 없다.

본 발명에 따르면, 도 1a 및 도 1b에 도시된 진공 밸브(1)는 이 예에서 위치-변환 요소(타겟)(8) 및 그 검출을 위한 센서 표면(9)(룰러(ruler))을 갖는 변위 센서(10)를 포함한다. 변위 센서(10)는 예를 들어 (비접촉식) 유도성 변위 센서, 예를 들어, 변위 가능 코어를 갖는 차동 변압기, 펄스 유도 선형 위치 센서, PLCD 변위 센서(영구 선형 비접촉 변위 센서), 광전자 변위 센서, 전위차 변위 센서, 자기 변형 변위 센서, 용량성 변위 센서 또는 자기 변위 센서로서 설계된다. 센서(10)에 따라, 룰러(9)는 능동적이고 위치-변환 요소(8)는 수동적이거나 그 반대이며, 즉, (전기 또는 전자) 측정 신호 및/또는 분석 신호는 룰러(9) 또는 요소(8)에 의해 각각 생성되거나 탭핑(tapping)된다.

이 예에서, 타겟(8)은 조정 요소(4) 상에 또는 그 내부에 고정되므로, 조정 축(V)을 따라 이와 함께 이동한다. 센서 표면(9)은 적어도 전체 조정 거리에 걸쳐 조정 방향(V)으로 연장되고, 따라서 타겟(8) 및 그에 따른 조정 요소(4)의 위치가 조정 요소(4)의 가능한 전체 선형 이동에 걸쳐 측정 가능하다. 이 경우, 위치가 시작 위치 또는 널 위치와 관련하여 확인되며, 이는 바람직하게는 개방 위치(O) 또는 폐쇄 위치(G) 중 어느 하나이다. 변위 센서(10)는 이 경우 절대 인코더인 것이 바람직하다. 대안적으로, 증분 변위 센서가 사용된다.

따라서, 조정 요소(4)의 실제 위치는 유리하게 위치 센서(10)에 의해 결정될 수 있다. 이 경우 위치 측정은 하나 또는 몇몇 위치, 바람직하게는 예를 들어, 종단 위치 검출의 의미에서 종단 위치(즉, 개방 위치(O) 및/또는 폐쇄 위치(G))의 결정으로 제한될 수 있다. 그러나, 지속적이거나 연속적인 위치 결정이 바람직하게 이루어지므로, 조정 요소 (4)의 위치는 점진적으로 알려지고, 특히 시간 곡선이 알려진다.

본 발명에 따른 센서 배열에 의해, 예를 들어, 밸브의 폐쇄 능력은 프로세스 시퀀스 동안 그에 따라 점검될 수 있고, 이에 따라 접촉 압력이 조절될 수 있으며, 누출-기밀의 고장이 가능하게 예측될 수 있다. 특히, 예를 들어, 압축은 전기 구동 유닛(7)을 사용하여 개별적으로 설정될 수 있다. 공압식 구동기(7)를 사용하여, 밸브가 폐쇄되어 있는지 여부를 적어도 센서 배열을 사용하여 점검할 수 있다.

연대기적 이동 곡선의 지식은 선택적으로 그로부터 마개 요소(4)의 선형 이동의 속도를 결정하는 데 사용된다. 이는 유리하게 개선된 종단 위치 결정에 사용될 수 있으며, 이에 의해 진공 밸브의 공차가 덜 중요해진다. 따라서 폐쇄 또는 개방 절차에 대한 정확한 구간이 또한 확인될 수 있으며, 이에 의해, 예를 들어, 최적화 또는 결함 인식이 가능해진다. 일반적으로, 예를 들어, 위치 센서(10) 및/또는 진공 밸브(1)가 접속되는 외부 데이터 프로세싱 시스템에 의해 수행되는 시간-변위 곡선의 분석은 밸브(1)의 상태에 대한 추론을 가능하게 한다. 따라서, 동작 사이클 과정에서의 불규칙성 또는 변화가 인식될 수 있고, 따라서 예를 들어, 이동 구성 요소 또는 시일링 표면(3, 6)의 상태를 결론지을 수 있다. 예를 들어, 폐쇄 위치(G)에서 2개의 시일링 표면(3, 6)이 서로 접착되면, 조정 요소(4)의 위치는 접착력으로 인해 특정 시간 길이 동안 일정하게 유지되기 때문에, 신속한 개방 이동 및 짧은 반동이 후속하여, 조정 요소(5)를 통해 구동 유닛(7)에 의해 구동되지만, 그에 따라 이동 시퀀스에서 인식될 수 있다.

도 2는 도 1a 및 도 1b에 따른 실시예의 대안을 나타낸다. 이 예에서, 진공 밸브(1)는 거리 센서로서 설계된 위치 센서(10)를 갖는다. 거리 센서(10)는, 예를 들어, 광전자 거리 센서 또는 초음파 센서이고, 조정 요소(4) 및/또는 수직 축(V)의 방향으로 방출기에 의해 대응하는 측정 신호(13), 예를 들어, 레이저 광을 방출하며, 따라서 신호(13)는 조정 요소(4)(본 예에서는 후방면)에 입사되고, 그로부터 적어도 부분적으로 반사되고, 센서(10)의 검출기에 의해 다시 수신된다. 이 경우, 센서(10)와 조정 요소(4) 사이의 거리 및 그에 따른 조정 요소(4)의 위치는 신호 런타임(펄스 런타임 방법) 및/또는 위상차 측정, 위상 또는 주파수 런타임 방법의 결정에 의해, 및/또는 피조(Fizeau) 원리에 따라 결정된다. 추가 옵션으로서, 위치 결정은 삼각 측량에 의해 이루어진다.

거리 및/또는 위치 측정을 개선하기 위해, 이 예에서, 진공 밸브(1)는 조정 요소 상에 배열된 반사기(14)를 가지며, 이는 측정 신호(13)를 센서(10)를 향해 반사하여 수신된 측정 신호(13)의 신호 레벨을 향상시키도록 설계된다.

도시된 배열에 대안적으로, 센서(10)는 이동 부분, 즉, 여기서 마개(4) 상에 배열되고, 밸브(1)의 정점(static point)을 향해 측정 방사선(13)을 방출한다(즉, 도면으로부터 반전된 배열).

도 3은 상이한 마개 위치에서 도시된, 이 예에서 트랜스퍼 밸브로서 설계된, 본 발명에 따른 진공 밸브(1)의 추가 실시예를 나타낸다.

도시된 트랜스퍼 밸브는 특수한 형태의 슬라이드 밸브이다. 진공 밸브는 직사각형의 판형 마개 요소(4)(예를 들어, 밸브 플레이트)를 가지며, 이는 개구(2)의 가스-기밀 폐쇄를 위한 시일링 표면(6)을 갖는다. 개구(2)는 마개 요소(4)에 대응하는 단면을 가지며, 벽(12)에 형성된다. 개구(2)는 밸브 시트에 의해 둘러싸이며, 이는 차례로 또한 마개 요소(4)의 시일링 표면(6)에 대응하는 시일링 표면(3)을 제공한다. 마개 요소(4)의 시일링 표면(6)은 마개 요소(4)의 주위를 둘러싸고 시일링 재료(시일)를 갖는다. 폐쇄 위치에서, 시일링 표면(6, 3)은 서로에 대해 가압되고 시일링 재료는 동시에 압축된다.

개구(2)는 벽(12)의 좌측에 위치된 제1 가스 영역(L)과 벽(12)의 우측의 제2 가스 영역(R)을 접속시킨다. 벽(12)은 예를 들어, 진공 챔버의 챔버 벽에 의해 형성된다. 그 후, 진공 밸브(1)는 챔버 벽(12)과 마개 요소(4)의 상호 작용에 의해 형성된다.

마개 요소(4)는 예를 들어, 여기에서 로드-형상이고 기하학적 조정 축(V)을 따라 연장되는 조정 아암(5) 상에 배열된다. 조정 아암(5)은 구동 유닛(7)에 기계적으로 커플링되며, 이에 의해 폐쇄 요소(4)는 중간 위치(Z)(도 3의 (b))를 통해 개방 위치(O)(도 3의 (a))와 폐쇄 위치(G)(도 3의 (c)) 사이에서 구동 유닛(7)에 의해 조정 아암(5)을 조정함으로써 벽(12)의 좌측 상의 제1 가스 영역(L)에서 조정 가능하다.

개방 위치(O)에서, 마개 요소(4)는 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 개구(2)의 투사 영역 외부에 위치되고 이를 완전히 해제시킨다.

조정 아암(5)을 제1, "수직" 조정 축(V)에 평행하고 벽(12)에 평행한 축 방향으로 조정함으로써, 마개 요소(4)는 개방 위치(O)로부터 중간 위치(Z)로 구동 유닛(7)에 의해 조정될 수 있다.

이러한 중간 위치(Z)(도 3의 (b))에서, 마개 요소(4)의 시일링 표면(6)은 개구(2)와 중첩되고, 개구(2)를 둘러싸는 밸브 시트의 시일링 표면(3)에 대향하여 이격된 위치에 위치된다.

조정 아암(5)을 제2 "수평" 조정 축(H)의 방향으로(제1 조정 축(V)에 횡방향으로), 즉, 예를 들어, 벽(12) 및 밸브 시트에 수직으로 조정함으로써, 마개 요소(4)는 중간 위치(Z)로부터 폐쇄 위치(G)로 조정될 수 있다(도 3의 (c)).

폐쇄 위치(G)에서, 마개 요소(4)는 가스-기밀 방식으로 개구(2)를 폐쇄하고, 가스-기밀 방식으로 제1 가스 영역(L)을 제2 가스 영역(R)으로부터 분리한다.

따라서, 진공 밸브의 개방 및 폐쇄는 마개 요소(4) 및 조정 아암(5)의 서로에 대해 수직인 두 방향(H, V)으로 L-형 이동에 의해 구동 유닛(7)에 의해 이루어진다. 따라서, 도시된 트랜스퍼 밸브는 또한 L-형 밸브로 칭해진다.

나타낸 바와 같은 트랜스퍼 밸브(1)는 통상적으로 프로세스 체적(진공 챔버)을 시일링하기 위해 그리고 체적을 로딩 및 언로딩하기 위해 제공된다. 이러한 사용의 경우 개방 위치(O)와 폐쇄 위치(G) 사이의 빈번한 변경이 일반적이다. 따라서, 시일링 표면(6, 3) 및 기계적으로 이동되는 구성 요소, 예를 들어, 조정 아암(5) 또는 구동 유닛(7)의 다른 부품의 증가된 마모의 외관이 발생할 수 있다.

이러한 마모의 외관을 조기에 결정하기 위해, 무엇보다도 본 발명에 따른 진공 밸브(1)는 예에서 2-축 변위 센서로서 설계된 위치 센서(10)를 갖는다. 도 1a 및 도 1b의 예에 따른 실시예와 반대로, 위치는 조정 요소(5)에 부착된 타겟(8)에 의해 양쪽 조정 방향(V, H)으로 결정된다. 이를 위해, 진공 밸브(1)는 개방 위치(O)와 중간 위치(Z) 사이의 "수직" 이동의 위치 결정을 위한 제1 "수직" 룰러(9v) 및 중간 위치(Z)와 폐쇄 위치(G) 사이의 "수평" 이동의 위치 결정을 위한 제2 "수평" 룰러(9h)를 갖는다. 조정 요소(5) 및 제1 룰러(9v) 상에 배열된 타겟(8)에 의해, 순차적인 이동 시퀀스 개방 위치(O) - 중간 위치(Z) - 폐쇄 위치(G)(또는 그 반대)에 따른 순차적인 시퀀스에서, 조정 요소(5)의 위치는 그에 따라 제1 "수직" 조정 방향(V)으로 측정되고, 타겟(8)과 제2 룰러(9h)에 의해, 위치가 제2 "수평" 조정 방향(H)으로 측정된다.

이 예에서, 밸브(1) 및/또는 위치 센서(10)는 제어 및/또는 분석 유닛(11)을 추가로 가지며, 이를 사용하여 위치 측정이 제어되고 및/또는 위치 데이터가 기록 또는 분석되므로, 예를 들어, 외부 컴퓨터가 (실질적으로) 생략될 수 있고, 예를 들어, 밸브(1)의 밸브-내부 모니터링 또는 상태 모니터링이 단독으로 이루어진다.

도시된 순차적으로 배열된 2개의 선형 룰러(9v, 9h)에 대안적으로, 단일의 2D 센서 표면이 사용되며(미도시), 이는 예를 들어 광학적으로 스캐닝되고, 따라서 양쪽 축 또는 방향(V 및 H)으로의 조정 요소(5)의 위치의 동시 결정이 가능해진다.

추가 대안으로서, 2개의 조정 방향(V, H) 또는 2개의 조정 이동(Bv, Bh)에 대한 위치 결정은 단일 위치 센서(10)에 의해 이루어지는 것이 아니라, 오히려 밸브(1)는 각각의 조정 방향(V, H) 또는 조정 이동(Bv, Bh)에 대해 하나의 위치 센서(10)를 가지며, 따라서 2개의 위치 센서(10)를 포함한다.

도 4a 및 도 4b는 펜듈럼 밸브(1) 형태의 본 발명에 따른 밸브의 추가의 가능한 실시예를 개략적으로 나타낸다. 유로의 본질적인 가스-기밀 차단을 위한 밸브(1)는 개구(2)를 갖는 밸브 하우징을 갖는다. 개구(2)는 여기서 예를 들어, 원형 단면을 갖는다. 개구(2)는 밸브 시트에 의해 둘러싸인다. 이 밸브 시트는 밸브 플레이트(4)의 방향으로 축 방향으로 향하고 개구 축(H)에 횡방향으로 연장되는 (제1) 시일링 표면(3)에 의해 형성되고, 원형 링의 형상을 가지며 밸브 하우징에 형성된다. 밸브 플레이트(4)는 회전 축(R)을 주위로 피벗 가능하고 개구 축(H)에 실질적으로 평행하게 조정 가능하다. 밸브 플레이트(4)(밸브 마개)의 폐쇄 위치(G)(도 4b)에서, 개구(2)는 제2 시일링 표면(6)을 갖는 밸브 플레이트(4)에 의해 가스-기밀하게 폐쇄된다. 밸브 플레이트(4)의 개방 위치(O)가 도 4a에 도시된다.

밸브 플레이트(4)는 플레이트 상에 횡방향으로 배열되고 개구 축(H)에 수직으로 연장되는 아암(5)을 통해 구동 유닛(7)에 접속된다. 이 아암(5)은 밸브 플레이트(4)의 폐쇄 위치(G)에, 개구 축(H)을 따라 기하학적으로 투사된 개구(2)의 개구 단면 외부에 위치된다.

구동기(7)는 모터 및 대응하는 기어링의 사용에 의해 설계되어, 펜듈럼 밸브에서 통상적인 밸브 플레이트(4)가 개구 축(H)에 횡방향으로, 그리고 개구(2)의 단면에 걸쳐 본질적으로 평행하게, 그리고 개구 축(H)에 수직으로 개방 위치(O)와 중간 위치 사이의 피벗 축(R) 주위의 피벗 이동(Br)의 형태로 구동기(7)의 횡방향 이동(x)에 의해 피벗 가능하며, 개구 축(5)에 평행하게 발생하는 구동기(7)의 종방향 이동(Bv)에 의해 선형으로 변위 가능하다. 개방 위치(O)에서, 밸브 플레이트(4)는 개구(2)에 횡방향으로 인접하게 배열된 드웰(dwell) 섹션에 위치되고, 따라서 개구(2) 및 유로가 해제된다. 중간 위치에서, 밸브 플레이트(4)는 개구(2) 위에 이격되어 위치되고 개구(2)의 개구 단면을 덮는다. 폐쇄 위치에서, 개구(2)는 가스-기밀하게 폐쇄되고 밸브 마개(4)(밸브 플레이트)의 시일링 표면(6)과 밸브 시트의 시일링 표면(3) 사이에 가스-기밀 접촉이 존재한다는 점에서 유로는 차단된다.

밸브(1)의 자동화되고 조절된 개방 및 폐쇄를 가능하게 하기 위해, 밸브(1)는 예를 들어, 전자 조절 및 제어 유닛(미도시)을 제공하며, 이는 밸브 플레이트(4)가 프로세스 체적의 가스-기밀 종단을 위해 또는 이러한 체적의 내부 압력의 조절을 위해 그에 따라 조정 가능하도록 설계되고 구동기(7)에 접속된다.

본 예시적인 실시예에서, 구동기(7)는 전기 모터로서 설계되며, 여기서 기어링은 구동기(78)의 구동이 횡방향 이동(Br) 또는 종방향 이동(Bv) 중 어느 하나를 야기하도록 스위칭 가능하다. 기어링을 포함하는 구동기는 조절기에 의해 전자적으로 활성화된다. 특히 슬롯형 링크 시프트 유닛을 갖는 이러한 기어링은 종래 기술로부터 알려져 있다. 또한, 회전 이동(Br) 및 선형 이동(Bv)을 야기하기 위해 복수의 구동기를 사용하는 것이 또한 가능하며, 여기서 제어기는 구동기의 활성화를 가정한다.

설명된 펜듈럼 밸브(1)를 사용한 유속의 정확한 조절 및/또는 설정은 횡방향 이동(Br)에 의해 개방 위치(O)와 중간 위치 사이에서 밸브 플레이트(4)의 피벗 조정에 의해서 가능할 뿐만 아니라, 무엇보다도 종방향 이동(Bv)에 의해 중간 위치와 폐쇄 위치 사이에서 개구 축(H 및/또는 R)을 따라 밸브 플레이트(4)를 선형 조정함으로써 가능하다. 설명되는 펜듈럼 밸브는 정확한 조절 작업에 사용될 수 있다.

밸브 플레이트(4) 및 또한 밸브 시트 모두는 각각 시일링 표면 - 제1 및 제2 시일링 표면(3, 6)을 갖는다. 제1 시일링 표면(3)은 또한 시일(23)을 갖는다. 이러한 시일(23)은 예를 들어, 밸브 시트 상에 가황에 의해 중합체로서 가황될 수 있다. 대안적으로, 시일(23)은 예를 들어, 밸브 시트의 홈에 O-링으로서 구현될 수 있다. 시일링 재료는 또한 밸브 시트 상에 접착식으로 본딩되어 시일(23)을 구현할 수 있다. 대안적인 실시예에서, 시일(23)은 밸브 플레이트(4)의 측, 특히 제2 시일링 표면(6) 상에 배열될 수 있다. 이들 실시예의 조합이 또한 고려될 수 있다. 이러한 시일(23)은 물론, 예에서 설명된 밸브(1)에 제한되지 않고, 오히려 추가로 설명되는 밸브 실시예에도 적용될 수 있다.

밸브 플레이트(4)는, 예를 들어, 조절 변수 및 출력 제어 신호에 기초하여 가변적으로 설정된다. 예를 들어, 밸브(1)에 접속된 프로세스 체적에서 현재의 압력 상태에 대한 정보의 항목이 입력 신호로서 수신된다. 또한, 추가적인 입력 변수, 예를 들어, 체적으로의 질량 유입이 조절기에 제공될 수 있다. 이들 변수에 기초하여 그리고 체적에 대해 설정 또는 달성되어야 하는 사전 규정된 설정점 압력에 기초하여, 밸브(1)의 조절된 설정은 조절 사이클 시간에 걸쳐 이루어지며, 따라서 체적으로부터의 대량 유출이 밸브(1)에 의해 시간의 경과에 따라 조절될 수 있다. 이를 위하여, 밸브(1) 뒤에 진공 펌프가 제공되며, 즉, 밸브(1)가 프로세스 챔버와 펌프 사이에 배열된다. 따라서 원하는 압력 곡선이 변조될 수 있다.

밸브 개구(2)에 대한 각각의 개구 단면은 밸브 마개(4)의 설정에 의해 설정되며, 따라서 프로세스 체적으로부터 단위 시간 당 배출될 수 있는 가능한 가스량이 설정된다. 밸브 마개(4)는 이러한 목적을 위해, 특히 가장 가능한 층류의 매체 흐름을 달성하기 위해 원형으로부터 벗어난 형상을 가질 수 있다.

개구 단면을 설정하기 위해, 밸브 플레이트(4)는 개방 위치(O)로부터 중간 위치로 구동기(7)의 횡방향 이동(Br)에 의해, 그리고 중간 위치로부터 폐쇄 위치로 구동기(7)의 종방향 이동(Bv)에 의해 조절 및 제어 유닛에 의해 조절 가능하다. 유로를 완전히 개방하기 위해, 밸브 플레이트(4)는 폐쇄 위치(G)로부터 중간 위치로 구동기(7)의 종방향 이동(Bv)에 의해 그리고 중간 위치로부터 개방 위치(O)로 이로부터 구동기(7)의 회전 이동(Br)에 의해 제어기에 의해 조정 가능하다.

밸브 시트 상에의 밸브 시트(4)의 가압은, 필요한 가스-기밀성이 전체 압력 범위 내에서 보장되고 과도하게 큰 압력 변형으로 인한 밸브(1) 또는 보다 정확하게 시일링 표면(3, 6) 또는 시일(들)(23)에 대한 손상이 회피되도록 이루어져야 한다. 이를 보장하기 위해, 알려진 밸브 플레이트는 2개의 밸브 플레이트 측 사이에 존재하는 압력 차의 함수로서 조절된 밸브 플레이트(4)의 접촉 압력 조절을 제공한다.

본 발명에 따르면, 밸브(1)는 예에서 선형 인코더(10) 및 각도 인코더(10')로서 설계된 2개의 위치 센서(10 및 10')를 갖는다.

선형 위치 센서(10)는 아암(5) 상의 선형 이동 방향(Bv)을 따라 아암(5) 상에서 연장되고 따라서 예를 들어, 구동 유닛(7)의 밸브 하우징과 관련하여, 밸브(1)의 정지 부분과 관련하여 공급 방향(Bv)으로 이동 가능한 스케일(9)을 갖는다. 각각의 상대 위치는 판독 헤드(8)에 의해 선형 인코더에 의해 확인되며, 판독 헤드(8)는 이를 위하여 위치 코드를 갖는 스케일(9)을 스캐닝한다. 스케일(9) 및/또는 판독 헤드는 이 경우에 적어도 부분적으로 "와이드(wide)"로 형성되어, 선형 위치는 또한 아암(5)의 상이한 회전 위치에서 측정될 수 있다. 따라서, 스케일(9)은 개방 위치(O)와 또한 폐쇄 위치(G)에서 모두 그 일부가 검출기(8)에 대향되는 아암(5) 주위로 예를 들어, 충분히 멀리 연장되고, 스케일(9)은 검출기(8)의 "시야" 외부로 피벗될 수 없다.

위치 코드는 바람직하게는 절대 위치 코드이다. 대안적으로, 위치 코드는 증분 코드이다. 절대 위치 센서(10, 10')에서, 위치는, 스케일(9)이 제어 및 분석 유닛에 의해 정확하게 하나의 위치와 연관될 수 있는 전체 측정 거리에 걸쳐 고유한 코드 워드로 이루어진 절대 위치 코드를 갖는다는 점에서, (이전에 규정된 널 위치와 관련되는) 스케일(9)에 대한 판독 헤드(8)의 모든 상대 위치와 직접 연관될 수 있다. 대조적으로, 위치의 증분 결정을 갖는 위치 인코더(10, 10')에서, 스캐닝 신호는 고유하지 않고 오히려 전체 측정 범위에 걸쳐 복수회 반복된다. 증분이 대응하는 거리는 인코더의 제어 및 분석 유닛에 저장된다. 따라서, 스케일(9)과 판독 헤드(8)의 상대 이동 동안 커버되는 거리가 절약될 수 있고, 상대 위치는 증분을 카운트함으로써 결정될 수 있다. 이러한 상대 위치를 절대적인 방식으로 위치 결정하기 위해, 상대 이동의 경우, 절대 기준점으로서 규정된 널 위치로부터 진행된다. 이러한 널 위치 또는 널 포인트는, 예를 들어, 스케일(9) 상에 (또는 고정 스케일(9)의 경우 판독 헤드(8) 상의) 판독 헤드(8)에 의해 검출되는 위치 기준 마커에 의해 규정된다. 트랜슬레이션(translation) 위치 또는 이에 대한 각도의 증분 결정을 갖는 센서(10, 10')는 따라서 측정 시스템의 재시작의 이벤트에서 각각의 시간에 널 또는 기준 위치로부터 진행해야 한다는 불리점을 갖는다. 대조적으로, 절대 선형 또는 각도 인코더는 서로에 대해 트랜슬레이팅되거나 회전될 수 있는 부품의 각각의 상대 위치에 대해 고유한 차별화 가능한 스캐닝 신호를 생성한다. 고유한 선형 위치 및/또는 고유한 각도는 따라서 각각의 상대 위치와 직접, 즉, 기준 또는 시작 위치에 접근하지 않고 연관될 수 있다.

각도 인코더로서 설계된 제2 위치 센서(10')는 또한 절대 또는 증분 각도 코딩을 갖는 스케일(9')을 가지며, 이는 판독 헤드(8')에 의해 스캐닝되므로, 아암(5) 및 그에 따른 밸브 플레이트(4)의 각도 위치에 대한 정보의 항목을 얻을 수 있다. 이 예에서, 스케일(9')은 아암(5) 주위로 적어도 부분적으로 연장되고(적어도 회전 이동(Br)의 주위가 이에 의해 덮이기에 충분함), 따라서 고정 검출기(8') 또는 밸브(1)의 전체 고정 부분에 대해 아암(5)과 회전 가능하다.

제1 및 제2 위치 센서(10, 10')에 의해, 밸브(1)의 이동 가능 부분, 특히 밸브 플레이트(4)의 위치, 따라서 특히 가스-기밀성 및/또는 가스-기밀 폐쇄 기능의 요구되는 신뢰성에 관한 진공 밸브(1)의 상태가 그에 따라 지속적인 방식으로 유리하게 모니터링 및 평가될 수 있다.

도시된 펜듈럼 밸브(1)에 대안적으로, 본 발명에 따른 진공 밸브(1)는 다른 진공 밸브 유형, 예를 들어, 플랩(flap) 밸브, 슬라이드 밸브 또는 소위 버터플라이(butterfly) 제어 밸브를 사용하여 구현될 수 있다. 또한 펜듈럼 밸브도 사용할 수 있으며, 그 마개는 한 방향으로만 조정될 수 있다.

도 5는 폐쇄 위치(G)(도 5의 (a)) 및 개방 위치(O)(도 5의 (b))에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 트랜스퍼 밸브에서 추가의 가능한 위치 센서 배열을 개략적으로 나타낸다. 나타낸 도면에서, 밸브 시트(3)는 진공 밸브(1)의 하우징(24) 상에 형성된다. 그러나, 후술하는 설명은 실시예들에 본질적으로 유사하게 적용될 수 있다는 것이 본 기술 분야의 통상의 기술자에게 명백하며, 여기서 밸브 시트는 프로세스 챔버, 즉, 챔버 하우징에 의해 제공된다.

또한, 여기서는 단지 개략적으로 틸트(tilt) 기구로서 도시된 밸브 기구는 제한적인 것으로 이해되어서는 안된다는 것이 명백하며, 본 기술 분야의 통상의 기술자는 유사한 방식으로 본 발명에 따른 센서 배열을 예를 들어, 임의의 L-모션 구동기로 전환할 수 있으며, 예를 들어, L-모션 구동기는 서로 수직인 밸브 플레이트의 2개의 선형 조정 방향을 갖는다.

조정 아암(5)의 모니터링된 안내를 위해, 진공 밸브(1)는 여기서 예를 들어, 안내 구성 요소(15)를 가지며, 여기서 구동 유닛(7)과 안내 구성 요소(15)는 여기서 예를 들어, 구동 유닛(7)과 또한 안내 구성 요소(15) 모두가 각각 밸브 하우징(24)에 제자리에 접속된다는 점에서 각각 서로에 대해 고정된 배열로 되어 있다. 조정 아암(5)은 또한 밸브 마개(4) 및 구동 유닛(7)에 기계적으로 커플링되며, 여기서 구동 유닛(7)에 의해 밸브 아암(5)을 조정함으로써, 밸브 마개(4)는 밸브 시트에 본질적으로 평행하게, 특히 도 3에 설명되는 바와 같이 L-모션 이동으로 개방 위치(O)와 폐쇄 위치(G) 사이에서 조정 가능하다.

본 발명에 따르면, 가이드 구성 요소는 위치 센서(10)를 갖는다. 이 경우에 위치 센서(10)는 아암(5) 및/또는 밸브 플레이트(4)의 이동의 "수직" 성분(V)과 또한 그 "수평" 성분(H) 모두가 측정될 수 있도록 설계된다. 위치 센서(10)는 이러한 목적을 위한 회전 인코더를 가지며, 예를 들어, 회전 인코더는 사전에 회전 이동으로 변환된다는 점에서 아암(5)의 틸트 위치(즉, "수평" 성분) 및 또한 그 선형 트랜슬레이션 모두를 결정하는 데 사용된다. 도면에 대해 대안적으로, 2개의 별개의 위치 센서가 사용되고 및/또는 위치 센서 또는 센서들이 예를 들어, 구동기(7) 상에서, 밸브의 다른 지점에 배열된다.

도 6은 도 5와 유사하게, 본 발명에 따른 진공 밸브(1)의 추가의 가능한 실시예를 나타낸다. 도 5에 따른 실시예와 대조적으로, 밸브 마개(4) 및/또는 조정 요소(5)의 위치를 측정하기 위한 위치 센서(10)는 여기서 조명 수단(16), 예를 들어, 조정 아암(5)의 후방 단부를 조명하기 위한 LED 및 조정 아암(5)으로부터 반사된 조명 방사를 획득하기 위한 카메라 시스템(17)을 갖는 시스템으로서 설계된다. 카메라 시스템(17)은 예를 들어, 위치-감지 검출기를 가지며, 따라서 조정 아암(5)의 위치는 입사 위치로부터 검출기 상으로 반사된 방사로부터 결론지을 수 있다. 대안적으로, 예를 들어, 획득된 방사에 의한 이미지의 생성 및 이미지 분석이 수행되어, 그로부터 위치가 결정될 수 있다. 카메라-기반 위치 결정은 원칙적으로 종래 기술로부터 알려져 있다. 이미징 위치 결정을 개선하기 위해 광학적으로 획득될 수 있는 패턴의 사용이 또한 알려져 있다. 따라서, 나타낸 바와 같이, 조정 요소(5)의 후방 단부는 이러한 광학 패턴(18)을 갖는다. 조정 요소(5)의 "수평" 위치는 카메라 이미지에서의 패턴(18)의 위치로부터 결론지을 수 있으며, "수직" 위치(카메라에 대한 거리)는 (저장된 기준 변수와의 비교에서) 이미지 패턴의 이미징된 크기로부터 또는 그 일부로부터 결론지을 수 있다.

이에 따라 도시된 도면은 가능한 예시적인 실시예를 단지 개략적으로 나타낸다는 것이 명백하다. 다양한 접근들은 상호간에 및 종래 기술의 방법 및 디바이스와 조합될 수 있다.

Claims (16)

1. 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 유로의 가스-기밀 차단을 위한 진공 밸브(1)로서,
   · 개구 축(H)을 규정하는 밸브 개구(2) 및 상기 밸브 개구(2) 주위를 둘러싸는 제1 시일링(sealing) 표면(3)을 갖는 밸브 시트(seat),
   · 상기 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 상기 유로의 차단을 위한 밸브 마개(4)로서, 상기 제1 시일링 표면(3)에 대응하는 제2 시일링 표면(6)을 갖고, 상기 제2 시일링 표면(6)의 가변 위치는 상기 밸브 마개(4)의 각각의 위치 및 정렬에 의해 결정되는, 밸브 마개,
   · 상기 밸브 마개(4)에 커플링되는 구동 유닛(7)으로서, 적어도 하나의 이동 가능 조정 요소(5)를 포함하고, 상기 구동 유닛(7)은, 상기 밸브 마개(4)가
   o 상기 밸브 마개(4)와 상기 밸브 시트가 서로에 대해 접촉하지 않고 제공되는 개방 위치(O)로부터
   o 상기 개구 축(H)에 대한 축 방향 시일링 접촉이 상기 제1 시일링 표면(3)과 상기 제2 시일링 표면(6) 사이에 존재하고, 이에 의해 상기 밸브 개구(2)가 가스-기밀 방식으로 폐쇄되는 폐쇄 위치(G)로, 그리고 다시 반대로 조정 가능하도록 조정 이동(Bv, Bh, Br)을 실행하도록 설계되는, 구동 유닛을 포함하고,
   상기 진공 밸브(1)는 적어도 하나의 위치 센서(10, 10')를 더 포함하며, 상기 위치 센서(10, 10')는 상기 밸브 마개(4) 또는 상기 적어도 하나의 조정 요소(5)의 위치가 개방 위치(O) 또는 폐쇄 위치(G)에 대해 측정될 수 있도록 상기 진공 밸브(1)에서 설계 및 배열되며,
   상기 위치 센서(10, 10')는, 하나의 위치 센서(10, 10')에 의해 위치 측정이 본질적으로 서로 직교하는 적어도 2개의 조정 방향에 대해 수행될 수 있도록 상기 진공 밸브(1)에 설계 및 배열되거나,
   상기 진공 밸브(1)는 제1 조정 방향에 대한 위치가 제1 위치 센서(10, 10')에 의해 측정될 수 있고, 제2 조정 방향에 대한 위치가 제2 위치 센서(10, 10')에 의해 측정될 수 있도록 상기 진공 밸브(1)에 설계 및 배열되는 적어도 2개의 위치 센서(10, 10')를 갖고, 상기 제1 조정 방향과 상기 제2 조정 방향은 본질적으로 서로에 대해 직교하는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
2. 제1항에 있어서,
   상기 위치 센서(10, 10')는 상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)의 적어도 일부의 시간 곡선이 결정될 수 있도록 상기 진공 밸브(1)에 설계 및 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 위치 센서(10, 10')는 변위 센서 또는 거리 센서 또는 절대 위치 센서(10, 10')로서 설계되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)은 적어도 본질적으로 선형 조정 이동(Bv, Bh)을 포함하고, 상기 위치 센서(10)는 상기 선형 조정 이동(Bv, Bh)의 적어도 일부를 획득하도록 설계 및 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)은 적어도 본질적으로 회전 조정 이동(Br)을 포함하고, 상기 위치 센서(10')는 상기 회전 조정 이동(Br)의 적어도 일부를 획득하도록 설계 및 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 위치 센서(10, 10')는,
   · 유도성, 광학, 자기, 자기 변형성, 전위차 또는 용량성 위치 센서(10, 10')이거나,
   · 규정된 방식으로 상기 진공 밸브(1)에 의해 외부 환경으로부터 분리된 진공 범위 외부에 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 밸브 시트는 상기 진공 밸브(1)에 구조적으로 접속된 상기 진공 밸브의 일부에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 진공 밸브(1)는 획득된 위치 센서 측정 신호가 프로세싱 유닛(11)에 의해 프로세싱될 수 있고 상기 진공 밸브(1)의 상태 정보의 항목이 상기 획득된 측정 신호에 기초하여 확인되도록 설계되는 상기 프로세싱 유닛(11)을 갖는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
9. 제8항에 있어서,
   상기 상태 정보의 항목은 상기 밸브 마개(4) 또는 상기 조정 요소(5)의 기계적 또는 구조적 완전성과 관련하여 제공되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
10. 제8항에 있어서,
    사전 규정된 공차 값들에 대한 상기 상태 정보의 항목의 비교에 기초하여, 출력 신호가 상기 진공 밸브(1)에 의해 제어되는 프로세스의 평가와 관련하여 제공되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
11. 진공 밸브(1)를 제어하기 위한 방법으로서, 상기 진공 밸브(1)는 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 유로의 가스-기밀 차단을 위해 설계되고, 상기 진공 밸브(1)는,
    · 개구 축(H)을 규정하는 밸브 개구(2) 및 상기 밸브 개구(2) 주위를 둘러싸는 제1 시일링 표면(3)을 갖는 밸브 시트,
    · 상기 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 상기 유로의 차단을 위한 밸브 마개(4)로서, 상기 제1 시일링 표면(3)에 대응하는 제2 시일링 표면(6)을 갖고, 상기 제2 시일링 표면(6)의 가변 위치는 상기 밸브 마개(4)의 각각의 위치 및 정렬에 의해 결정되는, 밸브 마개,
    · 상기 밸브 마개(4)에 커플링되는 구동 유닛(7)으로서, 적어도 하나의 이동 가능 조정 요소(5)를 포함하고, 상기 구동 유닛(7)은 조정 이동(Bv, Bh, Br)을 실행하도록 설계되어, 상기 밸브 마개(4)는,
    o 상기 밸브 마개(4)와 상기 밸브 시트가 서로에 대해 접촉하지 않고 제공되는 개방 위치(O)로부터
    o 상기 개구 축(H)에 대한 축 방향 시일링 접촉이 상기 제1 시일링 표면(3)과 상기 제2 시일링 표면(6) 사이에 존재하고, 이에 의해 상기 밸브 개구(2)가 가스-기밀 방식으로 폐쇄되는 폐쇄 위치(G)로, 그리고 다시 반대로 조정될 수 있는, 구동 유닛을 포함하고,
    상기 진공 밸브는 상기 밸브 마개의 위치를 측정할 수 있는 적어도 하나의 위치 센서를 포함하고, 상기 방법의 범위에서,
    위치 측정은,
    본질적으로 서로 직교하는 적어도 두 개의 조정 방향에 대해, 그리고
    개방 위치(O) 또는 폐쇄 위치(G)에 대한 상기 밸브 마개(4) 또는 상기 적어도 하나의 조정 요소(5)의 위치에 대해 수행되며,
    상기 진공 밸브는 상기 진공 밸브를 모니터링하기 위해 검출된 위치를 이용하는 프로세싱 및 제어 유닛을 포함하는, 방법.
12. 제11항에 있어서,
    상기 방법의 범위에서, 상기 진공 밸브(1)의 상태 정보의 항목이 상기 위치 측정에 기초하여 확인되고,
    · 상기 상태 정보의 항목은 상기 위치 측정에 의해 획득된 신호에 대한 실제-설정점 비교에 의해 확인되거나,
    · 사전 규정된 공차 값들에 대한 상기 상태 정보의 항목의 비교에 기초하여, 출력 신호가 상기 진공 밸브(1)에 의해 제어되는 프로세스의 평가와 관련하여 제공되는 것을 특징으로 하는, 방법.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 방법의 범위에서, 상기 위치 측정에 기초하여,
    · 상기 밸브 마개(4) 또는 상기 적어도 하나의 조정 요소(5)의 조정 속도는 상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)의 적어도 일부에 대해 결정되거나,
    · 상기 개방 위치(O)로부터 상기 폐쇄 위치(G)로 또는 그 반대로의 상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)의 구간이 결정되는 것을 특징으로 하는, 방법.
14. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 방법의 범위에서, 상기 위치 측정에 기초하여,
    · 상기 밸브 마개(4) 또는 상기 적어도 하나의 조정 요소(5)의 종단 위치 또는
    · 상기 조정 이동(Bv, Bh, Br)의 범위에서 서로에 대한 상기 시일링 표면들(3, 6)의 가능한 충격 또는
    · 서로에 대한 상기 시일링 표면들(3, 6)의 가능한 접착의 검출이 수행되는 것을 특징으로 하는, 방법.
15. 제11항에 따른 방법을 수행하기 위한 프로그램 코드를 갖는, 진공 밸브의 제어 및 프로세싱 유닛에 저장된 컴퓨터 프로그램.
16. 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 유로의 가스-기밀 차단을 위한, 진공 슬라이드 밸브, 펜듈럼(pendulum) 밸브 또는 모노 밸브(monovalve)를 포함하는 진공 밸브로서,
    · 개구 축(H)을 규정하는 밸브 개구 및 상기 밸브 개구 주위를 둘러싸는 제1 시일링(sealing) 표면을 갖는 밸브 시트(seat),
    · 상기 체적 또는 질량 흐름의 조절 또는 상기 유로의 가스-기밀 차단을 위한 밸브 마개로서, 상기 제1 시일링 표면에 대응하는 제2 시일링 표면을 갖고, 상기 제2 시일링 표면의 가변 위치는 상기 밸브 마개의 각각의 위치 및 정렬에 의해 결정되는, 밸브 마개,
    · 상기 밸브 마개에 커플링되는 구동 유닛으로서, 적어도 하나의 이동 가능 조정 요소를 포함하고, 상기 구동 유닛은, 상기 밸브 마개가
    o 상기 밸브 마개와 상기 밸브 시트가 서로에 대해 접촉하지 않고 제공되는 개방 위치(O)로부터
    o 상기 개구 축(H)에 대한 축 방향 시일링 접촉이 시일을 통해 상기 제1 시일링 표면과 상기 제2 시일링 표면 사이에 존재하고, 이에 의해 상기 밸브 개구가 가스-기밀 방식으로 폐쇄되는 폐쇄 위치(G)로, 그리고 다시 반대로 조정 가능하도록 조정 이동(Bv, Bh, Br)을 실행하도록 설계되는, 구동 유닛을 포함하고,
    상기 진공 밸브는 적어도 하나의 위치 센서를 더 포함하며, 상기 위치 센서는 지속적인 방식으로 상기 밸브 마개 또는 상기 적어도 하나의 조정 요소의 위치가 널(null) 위치, 개방 위치 또는 폐쇄 위치에 대해 측정될 수 있도록 상기 진공 밸브에서 설계 및 배열되며,
    상기 진공 밸브는 획득된 위치 센서 측정 신호를 프로세싱하는 프로세싱 유닛을 가지고, 상기 진공 밸브의 상태 정보의 항목이 상기 획득된 측정 신호에 기초하여 확인되며,
    사전 규정된 공차 값들에 대한 상기 상태 정보의 항목의 비교에 기초하여, 출력 신호가 상기 진공 밸브에 의해 제어되는 프로세스의 평가와 관련하여 제공되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.

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