KR102573024B1 - 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법 - Google Patents

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박성균
황성욱
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Abstract

본 발명은 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그래핀 산화물 첨가를 통해 파괴 인성 및 내마모성을 향상시킨 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 알루미나 70 내지 80 중량부와, 지르코니아 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부를 포함하는 복합 재료로 이루어진 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다. 상기 복합 재료는 다결정 구조이며, 결정립 경계(Bridged Grain Boundaries)들은 상기 그래핀 산화물에 의해서 브릿지될 수 있다.

Description

와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법{Capillary for Wire Bonding and Method for Manufacturing the Same}
본 발명은 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그래핀 산화물 첨가를 통해 파괴 인성 및 내마모성을 향상시킨 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조방법에 관한 것이다.
와이어 본딩은 전자 부품 제조 과정에서 사용되는 기술로, 칩과 칩, 칩과 패키지, 패키지와 PCB 등의 부품을 연결하는 방법의 하나이다.
와이어 본딩은 작은 지름의 금속 와이어를 사용하여 부품 간의 전기적인 연결을 만들어내는 과정이다. 와이어는 일반적으로 알루미늄 또는 금으로 만들어진다.
도 1에 도시된 바와 같이, 와이어 본딩용 캐필러리는 와이어 본딩 공정 중에 와이어를 안내하는 역할을 한다.
종래의 와이어 본딩용 캐필러리는 주로 마모에 의한 불량이 문제가 되었다. 도 2는 종래의 와이어 본딩용 캐필러리가 마모된 상태를 나타낸 사진이다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 한국등록특허 제10-0932636호에는 내마모성을 향상시키기 위한 방법으로, 알루미나 복합체로 이루어진 캐필러리가 개시되어 있다. 이 특허에서는 알루미나 분말, 지르코니아 분말, 산화크롬 분말을 바인더와 혼합하여 슬러리를 제조한 후 이를 사출성형하고, 디바인딩 공정과 소결 공정을 거쳐서 캐필러리를 제조하는 방법이 개시되어 있다.
또한, 한국등록특허 제10-0400263호에는 알루미나와 지르코니아-이트리아 혼합 분말을 성형한 후 열처리하여 캐필러리를 제조하는 방법이 개시되어 있다.
마모에 의한 불량 이외에, 마이크로 팁을 갖는 캐필러리는 절삭 저항과 충격에 의한 부러짐 불량이 문제가 된다. 도 3은 종래의 와이어 본딩용 캐필러리가 부러진 상태를 나타낸 사진이다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 본 출원인에 의해서 출원된, 한국등록특허 제10-2218685호에는, 알루미나와 지르코니아 각각의 입경 및 비율을 최적화하여 강도와 파괴 인성을 높이고, DLC 코팅을 통해 내마모성을 향상시킨 와이어 본딩용 캐필러리 및 그 제조 방법이 개시되어 있다.
하지만, 반도체의 고집적화, 고용량화가 계속 진행됨에 따라서, 와이어 본딩용 캐필러리 팁에 대해서도 추가적인 미세화가 요구되고 있다. 미세화에 따라서 캐필러리를 가공하는 과정에서 깨짐 현상이 발생하는 불량률이 높아지고 있다. 또한, 미세화에 의해서 와이어 본딩 시에 캐필러리에 기존에 비해서 높은 압력이 가해지기 때문에 캐필러리의 수명이 단축되는 문제도 있다.
한국등록특허 제10-0932636호 한국등록특허 제10-2218685호 한국등록특허 제10-0791221호 한국등록특허 제10-1027794호
본 발명은 상술한 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 파괴 인성 및 내마모성이 향상된 캐필러리 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 알루미나 70 내지 80 중량부와, 지르코니아 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부를 포함하는 복합 재료로 이루어진 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 복합 재료는 다결정 구조이며, 결정립 경계(Bridged Grain Boundaries)들은 상기 그래핀 산화물에 의해서 브릿지된 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 복합재료는 이트륨-알루미늄-가넷(YAG, Yttrium-Aluminum-Garnet, Y3Al5O12) 0.1 내지 1 중량부를 더 포함하는 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 알루미나의 평균 입경은 0.1 내지 0.5㎛인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 지르코니아의 평균 입경은 0.03 내지 0.3㎛인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 지르코니아는 부분 안정화된 지르코니아인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 결정립의 평균 크기는 0.5 내지 0.8㎛인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 복합 재료의 경도는 2050 내지 2150 HV인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 상기 복합 재료의 파괴 인성은 4 내지 6MPam1 /2이고, 굽힘 강도는 650 내지 730MPa인 와이어 본딩용 캐필러리를 제공한다.
또한, 본 발명은 알루미나 분말과, 지르코니아 분말과, 그래핀 산화물 분말과, 바인더를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계로서, 상기 슬러리는 알루미나 70 내지 80 중량부와, 지르코니아 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부를 포함하는 슬러리 제조 단계와; 상기 슬러리를 압축하여 성형하는 가압 성형 단계와; 상기 가압 성형 단계에서 제조된 성형물을 600 내지 800℃에서 1 내지 3시간 동안 가열하여, 바인더를 제거하는 탈바인더 단계와; 상기 탈바인더 단계를 거친 성형물을 1200 내지 1500℃에서 1 내지 5시간 동안 가열하는 제1 열처리 단계와; 상기 제1 열처리 단계를 거친 성형물을 1300 내지 1500℃ 및 1000 내지 1500kgf/㎠ 조건에서 정수압 성형하는 열간 정수압 성형 단계와; 상기 열간 정수압 성형 단계를 거친 성형물을 1100 내지 1300℃에서 5 내지 10시간 동안 가열하는 제2 열처리 단계를 포함하는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 탈바인더 단계는, 질소 가스, 수증기 및 산소 가스가 혼합된 혼합 가스 분위기에서 진행되는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 혼합 가스는, 질소 가스를 물이 채워져 있는 항온조에 통과시켜, 수증기를 포함하는 질소 가스를 얻은 후에, 수증기를 포함하는 질소 가스에 산소 가스를 혼합하여 얻는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 항온조의 온도는 30 내지 50℃이며, 상기 혼합 가스의 산소 농도는 20 내지 50ppm인 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 슬러리는 이트륨-알루미늄-가넷 0.1 내지 1 중량부를 더 포함하는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리는 그래핀 산화물에 의해서 브릿지된 결정립 경계(Bridged Grain Boundaries)들을 포함하는 다결정 구조의 복합 재료로 이루어진다.
따라서 본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리는, 크랙 브릿징(Crack Bridging) 현상을 통해서 크랙의 전파가 감소하여, 종래의 캐필러리에 비해서 파괴 인성 및 내마모성이 향상된다.
그 결과로 절삭 저항 및 와이어 본딩 공정 수행 시의 충격에 의한 캐필러리의 부러짐이 감소하고, 캐필러리의 사용 수명도 연장된다는 장점이 있다.
도 1은 와이어 본딩 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 종래의 와이어 본딩용 캐필러리가 마모된 상태를 나타낸 사진이다.
도 3은 종래의 와이어 본딩용 캐필러리가 부러진 상태를 나타낸 사진이다.
도 4는 본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 크랙 전파 메커니즘을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법의 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명의 일실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태들로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.
본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리는 알루미나(Al2O3) 70 내지 80 중량부와, 지르로니아(ZrO2) 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부를 포함하는 복합 재료로 이루어진다.
알루미나의 함량은 70 내지 80 중량부인 것이 바람직하다. 알루미나의 함량이 상기 범위 미만이면, 캐필러리의 경도가 낮아진다는 단점이 있다. 알루미나의 함량이 상기 범위를 초과하면 캐필러리의 굽힘 강도와 파괴 인성이 낮아진다는 단점이 있다.
알루미나의 평균 입경은 0.1 내지 0.5㎛인 것이 바람직하다. 평균 입경이 상기 범위 미만이면 캐필러리 성형에 많은 압력이 요구되며 가압 성형시 변형 전 형태로 되돌아오려는 스프링 백 현상으로 인해 깨짐이 발생될 수 있다. 반대로 평균 입경이 상기 범위를 초과하면 성형밀도를 떨어뜨려 최종 소결 후 물성 값이 저하될 수 있다.
지르코니아의 함량은 20 내지 30 중량부인 것이 바람직하다. 지르코니아의 함량이 상기 범위 미만이면, 캐필러리의 강도가 낮아질 뿐만 아니라 제품의 가공성도 저하되어 미세 정밀가공이 용이하지 않다는 단점이 있다. 지르코니아의 함량이 상기 범위를 초과하면 캐필러리의 내마모성이 저하되어 수명이 단축된다는 단점이 있다.
지르코니아의 평균 입경은 0.03 내지 0.3㎛인 것이 바람직하다. 평균 입경이 상기 범위 미만이면 습식 볼 밀링시 분산이 어려워 균일한 혼합물을 제조할 수 없고, 반대로 평균 입경이 상기 범위를 초과하면 소결시 완전 치밀화를 위해 지나치게 높은 온도가 요구되는 단점이 있다.
지르코니아는 부분 안정화 지르코니아(PSZ, Partially Stabilized Zirconia)일 수 있다. 부분 안정화 지르코니아는 CaO, MgO, Y2O3와 같은 첨가물을 첨가하여 안정화한 지르코니아이다.
그래핀 산화물의 함량은 1 내지 3 중량부인 것이 바람직하다. 그래핀 산화물의 함량이 상기 범위 미만이면, 크랙의 전파 감소 효과가 떨어지고, 반대로 함량이 상기 범위를 초과하면 굽힘 강도와 경도가 떨어진다.
복합 재료는 이트륨-알루미늄-가넷(YAG, Yttrium-Aluminum-Garnet, Y3Al5O12) 0.1 내지 1 중량부를 더 포함할 수 있다. 이트륨-알루미늄-가넷의 추가는 캐필러리의 경도 및 내마모성을 증가시켜, 캐필러리의 사용 수명을 늘릴 수 있다. 또한, 내열성을 향상시켜, 캐필러리의 열화를 방지하고, 사용 수명을 늘릴 수 있다. 또한, 열전도도를 높여 공정 진행 속도를 증가시켜, 생산성을 향상시킬 수 있다.
이트륨-알루미늄-가넷의 함량이 상기 범위 미만이면, 상술한 효과를 충분히 발휘하기 어려우며, 반대로 함량이 상기 범위를 초과하면 소결성이 떨어진다.
복합 재료는 다결정 구조이다. 복합 재료는 그래핀 산화물에 의해서 브릿지된 결정립 경계(Bridged Grain Boundaries)들을 포함한다. 그래핀 산화물에 의해서 브릿지된 결정립 경계들은 크랙 브릿징(Crack Bridging) 현상을 통해서 크랙의 전파를 감소시킨다.
도 4는 본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 크랙 전파 메커니즘을 설명하기 위한 도면이다.
도 4의 (a)는 종래의 세라믹 캐필러리의 크랙 전파 메커니즘을 나타내며, (b)는 본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 크랙 전파 메커니즘을 나타낸다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 와이어 본딩용 캐필러리는 결정립 경계 브리지에 의해서 크랙의 전파가 일부 차단된다. 따라서 종래의 캐필러리에 비해서 파괴 인성 및 내마모성이 향상될 수 있다.
복합재료의 결정립의 평균 크기는 0.5 내지 0.8㎛인 것이 바람직하다.
이러한 복합 재료의 경도는 2050 내지 2150 HV일 수 있다. 그리고 복합 재료의 파괴 인성은 4 내지 6MPam1 / 2 일 수 있으며, 꺾임 강도는 650 내지 730MPa일 수 있다.
이하에서는 상술한 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법을 설명한다. 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법의 순서도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법은 슬러리 제조 단계(S1)로 시작된다.
본 단계에는 알루미나 분말과, 지르코니아 분말과, 그래핀 산화물 분말과, 바인더를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계이다. 이때, 슬러리에는 알루미나 70 내지 80 중량부와, 지르코니아 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부가 포함될 수 있다. 필요한 경우에는 슬러리에 이트륨-알루미늄-가넷 0.1 내지 1 중량부가 더 포함될 수 있다. 바인더는 레진과 용제로 이루어질 수 있으며, 이후의 탈바인더 공정에서 거의 대부분 제거된다.
알루미나 분말과, 지르코니아 분말과, 그래핀 산화물 분말과, 바인더를 볼 밀 등의 혼합 장치를 이용하여 혼합한 후에 기포를 제거하는 방법으로 슬러리를 제조할 수 있다. 이트륨-알루미늄-가넷이 포함되는 경우에는 이트륨-알루미늄-가넷 분말도 함께 혼합한다.
다음, 슬러리를 압축하여 성형하는 가압 성형 단계(S2)가 진행된다.
본 단계는 가압 성형기를 통해서 진행될 수 있다. 본 단계를 통해 적절한 성형 밀도의 성형물을 얻을 수 있다.
다음, 가압 성형 단계에서 제조된 성형물을 600 내지 800℃에서 1 내지 3시간 동안 가열하여, 바인더를 제거하는 탈바인더 단계(S3)가 진행된다.
바인더가 잔류하면, 이후의 소결 공정에서 환원 분위기를 형성하는 등 악영향을 미칠 수 있기 때문에 최대한 제거하는 것이 바람직하다.
본 단계는 배치 타입 열처리로나 연속식 열처리로에서 진행될 수 있다. 탈바인더 단계에서 사용되는 분위기 가스로는 질소 가스, 수증기 및 산소 가스가 혼합된 혼합 가스를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 혼합 가스는, 질소 가스를 물이 채워져 있는 항온조에 통과시켜, 수증기를 포함하는 질소 가스를 얻은 후에, 수증기를 포함하는 질소 가스를 산소 가스와 혼합하는 방법으로 얻을 수 있다. 수증기는 바인더가 분해되면서 생기는 잔류 카본을 제거하는데 유리하다. 잔류 카본은 이후의 소결 과정에서 세라믹 내의 산소와 결합하여 세라믹을 환원시켜서, 캐필러리의 밀도를 떨어뜨리고, 캐필러리의 기계적 물성에도 악영향을 미칠 수 있다. 항온조의 온도는 30~50℃ 정도일 수 있다. 항온조의 온도가 높을수록 항온조를 통과하는 질소 가스에 포함되는 수증기 함량이 높아진다. 산소 농도는 10~50ppm정도일 수 있다.
또한, 질소와 산소의 혼합가스를 분위기 가스로 사용할 수도 있다. 질소 대신에 다른 불활성 가스를 사용할 수도 있다.
다음, 탈바인더 단계를 거친 성형물을 1200 내지 1500℃에서 1 내지 5시간 동안 가열하는 제1 열처리 단계(S4)가 진행된다.
본 단계도 배치 타입 열처리로나 연속식 열처리로에서 진행될 수 있다. 본 단계에서는 질소와 산소의 혼합가스를 분위기 가스로 사용할 수 있다.
다음, 제1 열처리 단계를 거친 성형물을 1300 내지 1500℃ 및 1000 내지 1500kgf/㎠ 조건에서 정수압 성형하는 열간 정수압 성형(HIP, Hot Isostatic Pressing) 단계(S5)가 진행된다.
본 단계를 통해 성형물의 조직이 치밀해지고, 성형물 내의 기공이 제거된다.
다음, 열간 정수압 성형 단계를 거친 성형물을 1100 내지 1300℃에서 5 내지 10시간 동안 가열하는 제2 열처리 단계(S6)가 진행된다.
본 단계도 배치 타입 열처리로나 연속식 열처리로에서 진행될 수 있다. 본 단계에서도 질소와 산소의 혼합가스를 분위기 가스로 사용할 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예들에 대하여 설명한다.
[실시예 1]
평균 입경 0.4㎛의 알루미나(TAIMEI, 일본) 70g, 평균 입경 0.2㎛의 지르코니아(TOSOH, 일본) 30g, 평균 크기 60㎛, 평균 두께 2㎚의 그래핀 산화물 2g과 바인더를 볼 밀을 이용하여 혼합하여 슬러리를 제조하였다. 슬러리를 가압성형기를 이용하여 1ton의 압력으로 10초 동안 캐필러리 형태로 가압성형하였다. 성형물을 700℃에서 2시간 동안 가열하여 성형물 내의 바인더를 제거하였다. 탈 바인더 단계에서는 40℃의 항온조를 통과한 질소에 30ppm의 산소를 혼합한 혼합 가스를 분위기 가스로 사용하였다. 그리고 1400℃에서 3시간 동안 제1 열처리한 후, 1300℃ 및 1200kgf/㎠에서 열간 정수압 성형하였다. 이를 다시 1200℃에서 8시간 동안 제2 열처리한 후 공랭하여, 와이어 본딩용 캐필러리를 제작하였다.
본 실시예의 캐필러리의 굽힘 강도는 670MPa, 파괴 인성은 5.2MPam1 /2, 경도는 2100HV로 측정되었다.
[실시예 2]
평균 입경 0.4㎛의 알루미나(Baikowski, 프랑스) 75g, 평균 입경 0.3㎛의 지르코니아(TOSOH, 일본) 25g, 평균 크기 60㎛, 평균 두께 2㎚의 그래핀 산화물 1.5g, 이트륨-알루미늄-가넷 0.5g과 바인더를 볼 밀을 이용하여 혼합하여 슬러리를 제조하였다. 슬러리를 가압성형기를 이용하여 1ton의 압력으로 10초 동안 캐필러리 형태로 가압성형하였다. 성형물을 700℃에서 2시간 동안 가열하여 성형물 내의 바인더를 제거하였다. 탈 바인더 단계에서는 40℃의 항온조를 통과한 질소에 30ppm의 산소를 혼합한 혼합 가스를 분위기 가스로 사용하였다. 그리고 1400℃에서 3시간 동안 제1 열처리한 후, 1300℃ 및 1200kgf/㎠에서 열간 정수압 성형하였다. 이를 다시 1200℃에서 8시간 동안 제2 열처리한 후 공랭하여, 와이어 본딩용 캐필러리를 제작하였다.
본 실시예의 캐필러리의 굽힘 강도는 710MPa, 파괴 인성은 5.5MPam1 /2, 경도는 2100HV로 측정되었다.
[비교예 1]
실시예 1과 동일한 공정을 거치되, 알루미나 90g 및 지르코니아 10g, 그래핀 산화물 2g을 사용하였다. 본 비교예로 제작한 캐필러리의 굽힘 강도는 510MPa, 파괴 인성은 3.6MPam1 /2, 경도는 2000HV로 측정되어, 굽힘 강도, 파괴 인성이 실시예 1에 비해서 매우 감소하였다.
[비교예 2]
실시예 1과 동일한 공정을 거치되, 알루미나 10g 및 지르코니아 90g, 그래핀 산화물 2g을 사용하였다. 본 비교예로 제작한 캐필러리의 굽힘 강도는 1370MPa, 파괴 인성은 4.3MPam1 /2, 경도는 1000HV로 측정되어, 경도가 실시예 1에 비해서 매우 감소하였다.
[비교예 3]
실시예 1과 동일한 공정을 거치되, 알루미나 70g 및 지르코니아 30g, 그래핀 산화물 10g을 사용하였다. 본 비교예로 제작한 캐필러리의 굽힘 강도는 480MPa, 파괴 인성은 5.0MPam1 /2, 경도는 1800HV로 측정되어, 굽힘 강도와 경도가 실시예 1에 비해서 매우 감소하였다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.

Claims (14)

  1. 알루미나 70 내지 80 중량부와,
    지르코니아 20 내지 30 중량부와,
    그래핀 산화물 1 내지 3 중량부와,
    이트륨-알루미늄-가넷(YAG, Yttrium-Aluminum-Garnet, Y3Al5O12) 0.1 내지 1 중량부를 포함하는 복합 재료로 이루어진 와이어 본딩용 캐필러리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복합 재료는 다결정 구조이며, 결정립 경계(Bridged Grain Boundaries)들은 상기 그래핀 산화물에 의해서 브릿지된 와이어 본딩용 캐필러리.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 알루미나의 평균 입경은 0.1 내지 0.5㎛인 와이어 본딩용 캐필러리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지르코니아의 평균 입경은 0.03 내지 0.3㎛인 와이어 본딩용 캐필러리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 지르코니아는 부분 안정화된 지르코니아인 와이어 본딩용 캐필러리.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 결정립의 평균 크기는 0.5 내지 0.8㎛인 와이어 본딩용 캐필러리.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 복합 재료의 경도는 2050 내지 2150 HV인 와이어 본딩용 캐필러리.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 복합 재료의 파괴 인성은 4 내지 6MPam1 /2이고,
    굽힘 강도는 650 내지 730MPa인 와이어 본딩용 캐필러리.
  10. 알루미나 분말과, 지르코니아 분말과, 그래핀 산화물 분말과, 바인더를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계로서, 상기 슬러리는 알루미나 70 내지 80 중량부와, 지르코니아 20 내지 30 중량부와, 그래핀 산화물 1 내지 3 중량부와, 이트륨-알루미늄-가넷(YAG, Yttrium-Aluminum-Garnet, Y3Al5O12) 0.1 내지 1 중량부를 포함하는 슬러리 제조 단계와,
    상기 슬러리를 압축하여 성형하는 가압 성형 단계와,
    상기 가압 성형 단계에서 제조된 성형물을 600 내지 800℃에서 1 내지 3시간 동안 가열하여, 바인더를 제거하는 탈바인더 단계와,
    상기 탈바인더 단계를 거친 성형물을 1200 내지 1500℃에서 1 내지 5시간 동안 가열하는 제1 열처리 단계와,
    상기 제1 열처리 단계를 거친 성형물을 1300 내지 1500℃ 및 1000 내지 1500kgf/㎠ 조건에서 정수압 성형하는 열간 정수압 성형 단계와,
    상기 열간 정수압 성형 단계를 거친 성형물을 1100 내지 1300℃에서 5 내지 10시간 동안 가열하는 제2 열처리 단계를 포함하는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 탈바인더 단계는,
    질소 가스, 수증기 및 산소 가스가 혼합된 혼합 가스 분위기에서 진행되는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 혼합 가스는, 질소 가스를 물이 채워져 있는 항온조에 통과시켜, 수증기를 포함하는 질소 가스를 얻은 후에, 수증기를 포함하는 질소 가스에 산소 가스를 혼합하여 얻는 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 항온조의 온도는 30 내지 50℃이며, 상기 혼합 가스의 산소 농도는 20 내지 50ppm인 와이어 본딩용 캐필러리의 제조방법.
  14. 삭제
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