KR102562873B1 - Method of evaluating tape characteristic and expansion apparatus - Google Patents

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요시히로 가와구치
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 것.
(해결 수단) 테이프 특성의 평가 방법은, 유지 유닛으로 테이프를 유지하는 유지 스텝 (ST2) 과, 모터를 구동하여 테이프를 확장시키는 확장 스텝 (ST3) 과, 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 제어 유닛에 의해 모터의 출력 토크를 측정하고 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝 (ST4) 을 포함한다. 평가 스텝 (ST4) 에 있어서, 모터의 출력 토크의 변화로부터 테이프가 항복점에 이르는 확장 유닛의 이동량을 산출한다.(Task) To be able to measure the characteristics of a tape under the condition of expanding the actual tape.
(Solution Means) A tape characteristic evaluation method includes a holding step (ST2) of holding the tape with a holding unit, an extension step (ST3) of extending the tape by driving a motor, and a control unit during execution of the extension step (ST3). and an evaluation step (ST4) of measuring the output torque of the motor and evaluating the stretchability of the tape. In evaluation step ST4, the amount of movement of the extension unit at which the tape reaches the yield point is calculated from the change in output torque of the motor.

Description

테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치{METHOD OF EVALUATING TAPE CHARACTERISTIC AND EXPANSION APPARATUS}Tape characteristic evaluation method and expansion device

본 발명은, 테이프 특성을 평가하는 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tape property evaluation method and an expansion device for evaluating tape properties.

테이프에 첩착 (貼着) 된 피가공물을 절단 라인을 따라 복수의 칩으로 분할하는 장치로서, 테이프를 확장시키는 확장 장치가 사용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 및 특허문헌 2 참조).As an apparatus for dividing a workpiece adhered to a tape into a plurality of chips along a cutting line, an expansion apparatus for expanding a tape is used (eg, see Patent Literature 1 and Patent Literature 2).

일본 공개특허공보 2002-334852호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-334852 일본 공개특허공보 2014-143297호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-143297

특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 다이싱 테이프나 BG (Back Grind) 테이프 등에 첩착된 웨이퍼 등의 피가공물을 가공할 때에는, 테이프의 특성에 따라 가공 품질이 상이한 경우가 있다. 예를 들어 내부에 개질층이 형성된 웨이퍼에 첩착된 테이프를 확장시켜 칩으로 분할하는 경우, 칩화되는 분할률은, 테이프 특성인 신축성에 따라 상이하다. 이 때문에, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 테이프마다 확장의 강도나 양을 최적화할 필요가 있다. 이 때문에, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 종래, 테이프를 제조하는 제조사가 개시한 특성이나, 전용의 테이프 인장 측정 전용 기계를 사용하여 측정한 특성을 사용하고 있다.The expanding device described in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 may have different processing quality depending on the characteristics of the tape when processing a workpiece such as a wafer adhered to a dicing tape or a BG (Back Grind) tape. For example, when a tape adhered to a wafer having a modified layer formed therein is expanded and divided into chips, the rate of division into chips differs depending on elasticity, which is a characteristic of the tape. For this reason, in the expansion devices described in Patent Document 1 and Patent Document 2, it is necessary to optimize the strength and amount of expansion for each tape. For this reason, the expansion devices described in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 conventionally use characteristics disclosed by manufacturers who manufacture tapes or characteristics measured using a dedicated tape tension measuring machine.

그러나, 테이프의 제법상, 흐름 방향과 수직 방향에서 테이프 특성인 신축성이 상이한 경우가 많고, 테이프를 인장하는 방향에 따라 신축성이 달라지는 것과, 실제의 테이프 확장의 조건하에서는 흐름 방향과 수직 방향의 신축성이 혼재되어 있는 흐름 방향과 수직 방향 사이의 45 도 방향으로도 테이프를 인장함으로써, 통상의 인장 측정 전용 기계로는, 테이프 확장시의 조건하에서의 신축성을 측정하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 실제로 테이프를 확장시키는 조건하에서 테이프 특정을 측정할 것이 요망되고 있다.However, due to the manufacturing method of the tape, the stretchability, which is the characteristic of the tape, is often different in the flow direction and the perpendicular direction, and the elasticity varies depending on the direction in which the tape is stretched. By stretching the tape also in the direction of 45 degrees between the flow direction and the vertical direction, which are mixed, it is difficult to measure the stretchability under the condition of tape expansion with a conventional machine dedicated to measuring tension. For that reason, it is desired to measure the tape characteristics under the condition of actually expanding the tape.

본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and its object is to provide a method for evaluating tape properties and an expansion device capable of measuring the properties of a tape under conditions in which an actual tape is expanded.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 테이프 특성의 평가 방법으로서, 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과, 모터를 구동하여 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 제어 수단에 의해 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems and achieve the object, a tape property evaluation method of the present invention is a tape property evaluation method comprising: a holding step for holding the tape by means of a holding means; and expanding the tape by driving a motor. It is characterized by including an extension step and an evaluation step of evaluating the elasticity of the tape by measuring a torque value applied to the motor by the control means during the execution of the extension step.

상기 테이프 특성의 평가 방법에 있어서, 그 확장 스텝에 있어서는, 제 1 방향과 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향뿐만 아니라, 제 1 방향과 제 2 방향 사이의 경사 방향도 포함한 전방위로 테이프를 확장시켜도 된다.In the tape property evaluation method, in the expansion step, the tape is expanded in all directions including not only the first direction and the second direction orthogonal to the first direction, but also the oblique direction between the first direction and the second direction. do.

상기 테이프 특성의 평가 방법에 있어서, 그 평가 스텝에 있어서, 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출해도 된다.In the evaluation method of the tape characteristics described above, in the evaluation step, a value according to an amount of expansion of the tape to a yield point may be calculated from a change in the torque value.

또, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과, 그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과, 그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서, 테이프를 그 환상 프레임의 개구에서 지지하는 프레임 장착 스텝과, 그 유지 수단에 의해 그 환상 프레임을 유지하는 유지 스텝과, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the method for evaluating tape characteristics of the present invention includes holding means for holding an annular frame, extension means having an outer diameter smaller than that of the tape supported in the opening of the annular frame, and relative movement of the extension means and the holding means. A method of evaluating a tape by means of a moving means having a motor and an extension device having control means for controlling the motor, comprising: a frame mounting step for supporting the tape at an opening of the annular frame; A holding step for holding the annular frame, an extension step for extending the tape by driving the motor and moving the extension means by a certain amount, and measuring the torque value applied to the motor by the control means during the execution of the extension step It is characterized by including an evaluation step of evaluating the elasticity of the tape.

또, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과, 그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서, 그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the method for evaluating tape characteristics of the present invention comprises first holding means and second holding means, which are disposed to face each other with an object extending in a first direction interposed therebetween and hold the object, respectively; In a second direction orthogonal to the first direction, the third holding means and the fourth holding means, the first holding means, and the fourth holding means are arranged to face each other with the object therebetween and respectively hold the object. 2 motors for enabling movement of the holding means in directions opposite to each other in the first direction, and enabling movement of the third holding means and the fourth holding means in directions opposite to each other in the second direction; A method of evaluating a tape by means of an extension device having moving means having a moving means and a control means controlling the motor, comprising holding steps for holding the tape by the first to fourth holding means, and driving the motor to , an extension step of expanding the tape by moving the first holding means and the second holding means by a certain amount in directions apart from each other and moving the third holding means and the fourth holding means by a certain amount in directions apart from each other; , an evaluation step of evaluating the elasticity of the tape by measuring a torque value applied to the motor by the control means during execution of the extension step.

본 발명의 확장 장치는, 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과, 그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과, 그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서, 그 제어 수단은, 그 유지 수단에 환상 프레임을 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와, 그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여, 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 한다.An expansion device of the present invention includes a holding means for holding an annular frame, an extension means having an outer diameter smaller than that of a tape supported in an opening of the annular frame, and moving means having a motor for moving the extension means and the holding means relative to each other. and a control means for controlling the motor, wherein the control means expands the tape by driving the motor to move the expansion means by a certain amount while holding the annular frame in the holding means. and an evaluation unit that evaluates elasticity of the tape by measuring a torque value applied to the motor during expansion of the tape of the expansion unit.

본 발명의 확장 장치는, 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과, 그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서, 그 제어 수단은, 그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와, 그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The expansion device of the present invention comprises a first holding means and a second holding means, each of which is arranged to face each other with an object extending in a first direction interposed therebetween, and hold the object, respectively, and orthogonal to the first direction. 3rd holding means, 4th holding means, 1st holding means, and 2nd holding means, respectively, arranged to face each other with the object interposed therebetween in a second direction to hold the object, respectively. Moving means having a motor capable of moving in directions opposite to each other in the first direction and enabling movement of the third holding means and the fourth holding means in directions opposite to each other in the second direction; An extension device provided with control means for controlling the motor, the control means driving the motor in a state where the tape is held by the first to fourth holding means, and holding the first holding means and the second holding means. 2 an extension part which expands the tape by moving the holding means by a certain amount in directions apart from each other and moving the third holding means and the fourth holding means by a certain amount in directions apart from each other; It is characterized in that it comprises an evaluation unit that evaluates the elasticity of the tape by measuring the torque value applied to the motor.

상기 확장 장치에 있어서, 그 평가부가 평가한 테이프의 신축성에 기초하여, 그 테이프의 항복점을 산출하는 산출부를 구비해도 된다.[0028] The expansion device may include a calculator that calculates the yield point of the tape based on the stretchability of the tape evaluated by the evaluation unit.

본 발명은, 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 효과를 발휘한다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention exhibits an effect of being able to measure tape characteristics under the condition of expanding an actual tape.

도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프가 첩착된 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치를 구비하는 레이저 가공 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 도 3 에 나타낸 레이저 가공 장치를 구성하는 확장 장치가 측정한 테이프 특성인 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 6 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 프레임 장착 스텝 후의 테이프 등을 나타내는 사시도이다.
도 7 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다.
도 8 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다.
도 9 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 11 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 12 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 13 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법이 실시되는 확장 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 14 는, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 15 는, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다.
도 16 은, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다.1 is a perspective view showing a tape as an evaluation target of a method for evaluating tape characteristics and an expansion device according to Embodiment 1;
Fig. 2 is a perspective view showing an example of a workpiece to which a tape is attached, which is an evaluation target of the tape characteristic evaluation method and expansion device according to Embodiment 1;
Fig. 3 is a perspective view showing a main part of a laser processing device including an expansion device according to Embodiment 1;
Fig. 4 is a diagram showing an example of stretchability of a tape, which is a tape characteristic measured by an expanding device constituting the laser processing apparatus shown in Fig. 3;
5 is a flow chart showing the flow of the evaluation method of tape characteristics according to Embodiment 1;
Fig. 6 is a perspective view showing the tape or the like after the frame mounting step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;
Fig. 7 is a cross-sectional view of a main part of the expansion device showing a holding step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;
FIG. 8 is a cross-sectional view of a main part of the expansion device showing expansion steps of the tape property evaluation method shown in FIG. 5 .
FIG. 9 is a diagram showing an example of stretchability of a tape measured in an evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in FIG. 5 .
Fig. 10 is a diagram showing another example of stretchability of a tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;
Fig. 11 is a diagram showing another example of the stretchability of the tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;
Fig. 12 is a diagram showing another example of the stretchability of the tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;
Fig. 13 is a perspective view showing the configuration of an expansion device in which the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 is implemented.
14 is a flow chart showing the flow of the evaluation method of tape characteristics according to the second embodiment.
Fig. 15 is a plan view of an expansion device schematically illustrating a holding step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 14;
FIG. 16 is a plan view of an expansion device schematically showing an expansion step of the tape characteristic evaluation method shown in FIG. 14;

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대하여, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.The form (embodiment) for carrying out this invention is demonstrated in detail, referring drawings. This invention is not limited by the content described in the following embodiment. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. In addition, the structure described below can be combined suitably. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be performed within a range not departing from the gist of the present invention.

〔실시형태 1〕[Embodiment 1]

본 발명의 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프가 첩착된 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.A tape characteristic evaluation method and an expansion device according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. 1 is a perspective view showing a tape as an evaluation target of a method for evaluating tape characteristics and an expansion device according to Embodiment 1; Fig. 2 is a perspective view showing an example of a workpiece to which a tape is attached, which is an evaluation target of the tape characteristic evaluation method and expansion device according to Embodiment 1;

실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 1 에 나타내는 테이프 (1) 를 적어도 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 따라 확장시켜, 확장량에 따른 값과, 확장에 저항하여 축소하려고 하는 힘에 따른 값의 관계를 측정하여, 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 도 1 에 나타내는 테이프 (1) 는, 롤 (2) 의 외주면 (3) 에 감겨 있고, 예를 들어, 가열된 수지가 제 1 방향 (11) 을 따라 이동되면서 제 1 방향 (11) 과 제 1 방향 (11) 에 대해 직교하는 제 2 방향 (12) 으로 연신되어, 롤 (2) 의 외주면 (3) 에 감긴다. 또한, 실시형태 1 에서는, 제 1 방향 (11) 은, 소위 흐름 방향 (MD : Machine Direction 방향) 이고, 제 2 방향 (12) 은, 소위 수직 방향 (TD : Transverse Direction 방향) 이다.A tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1 expands a tape 1 shown in FIG. 1 along at least both the first direction 11 and the second direction 12, and determines a value according to the amount of expansion and expansion It is a method of evaluating the elasticity (100) of a tape, which is a tape characteristic, by measuring the relationship between values according to the force to resist and shrink. The tape 1 shown in FIG. 1 is wound around the outer peripheral surface 3 of the roll 2, and, for example, while the heated resin is moved along the first direction 11, the first direction 11 and the first It is stretched in a second direction 12 orthogonal to the direction 11, and wound around the outer peripheral surface 3 of the roll 2. In Embodiment 1, the first direction 11 is a so-called flow direction (MD: Machine Direction direction), and the second direction 12 is a so-called vertical direction (TD: Transverse Direction direction).

실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 제 1 방향 (11) 이 제 2 방향 (12) 보다 확장시키기 쉽다 (신장시키기 쉽다). 또, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 가열되면 수축되는 열수축성을 갖는다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 합성 수지로 구성된 수지층과, 수지층에 적층되고 또한 도 2 에 나타내는 피가공물 (4) 에 첩착 가능한 점착층을 구비하지만, 본 발명에서는, 점착층을 구비하고 있지 않은 소위 시트상 또는 필름상의 것이어도 된다.In Embodiment 1, the tape 1 is easier to expand (extend) in the first direction 11 than in the second direction 12. Further, in Embodiment 1, the tape 1 has heat shrinkability that shrinks when heated. Further, in Embodiment 1, the tape 1 is provided with a resin layer composed of synthetic resin and an adhesive layer laminated on the resin layer and capable of sticking to the workpiece 4 shown in FIG. 2, but in the present invention, A so-called sheet-like or film-like one without an adhesive layer may be used.

실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 롤 (2) 로부터 송출되어, 점착층이 환상 프레임 (5) 및 피가공물 (4) 의 표면 (6) 에 첩착되고, 환상 프레임 (5) 의 외측 가장자리부를 따라 절단되어, 피가공물 (4) 을 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 의 내측에 지지한다. 실시형태 1 에서는, 피가공물 (4) 은, 실리콘, 사파이어, 갈륨비소 또는 SiC (탄화규소) 등을 기판으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼이다. 피가공물 (4) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 서로 교차하는 복수의 직선상의 분할 예정 라인 (8) 으로 구획된 각 영역에 각각 디바이스 (9) 가 형성된 표면 (6) 을 갖는다. 실시형태 1 에 있어서, 피가공물 (4) 은, 표면 (6) 의 뒤쪽의 이면 (10) 측으로부터 투과성을 갖는 파장의 레이저 광선이 분할 예정 라인 (8) 을 따라 조사되어, 내부에 분할 예정 라인 (8) 을 따른 파단 기점이 되는 개질층이 형성된다. 피가공물 (4) 은, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 환상 프레임 (5) 의 외주 방향으로 테이프 (1) 가 확장되어, 개개의 디바이스 (9) 로 분할된다.In Embodiment 1, as shown in FIG. 2, the tape 1 is sent out from the roll 2, and the adhesive layer is adhered to the annular frame 5 and the surface 6 of the workpiece 4, It is cut along the outer edge of the annular frame 5, and supports the workpiece 4 inside the opening 7 of the annular frame 5. In Embodiment 1, the workpiece 4 is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer using silicon, sapphire, gallium arsenide, SiC (silicon carbide), or the like as a substrate. As shown in FIG. 2 , the workpiece 4 has a surface 6 on which devices 9 are formed in respective regions partitioned by a plurality of straight lines to be divided 8 intersecting each other. In Embodiment 1, the workpiece 4 is irradiated with a laser beam having a transmissive wavelength from the back surface 10 side behind the front surface 6 along the planned division line 8, and inside the planned division line A modified layer serving as a break starting point along (8) is formed. The work piece 4 is divided into individual devices 9 by extending the tape 1 in the outer circumferential direction of the annular frame 5 including both the first direction 11 and the second direction 12. do.

또한, 개질층이란, 밀도, 굴절률, 기계적 강도나 그 밖의 물리적 특성이 주위의 그것과는 상이한 상태가 된 영역을 의미하고, 용융 처리 영역, 크랙 영역, 절연 파괴 영역, 굴절률 변화 영역, 및 이들 영역이 혼재된 영역 등을 예시할 수 있다. 이와 같이, 실시형태 1 에 관련된 테이프 (1) 는, 피가공물 (4) 에 첩착된 상태로 확장되어, 개질층을 기점으로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하기 위해 바람직한 것이다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 피가공물 (4) 은, 내부에 파단 기점이 되는 개질층이 형성되지만, 본 발명에서는, 표면 (6) 측으로부터 절삭 가공이 실시되어 파단 기점이 되는 절삭홈이 형성되어도 되고, 표면 (6) 측으로부터 레이저 어블레이션 가공이 실시되어 파단 기점이 되는 레이저 가공 홈이 형성되어도 된다.Further, the modified layer means a region in which the density, refractive index, mechanical strength, and other physical properties are in a state different from those of the surroundings, and includes a molten treated region, a crack region, a dielectric breakdown region, a refractive index change region, and these regions. This mixed region or the like can be exemplified. In this way, the tape 1 according to Embodiment 1 is expanded while being adhered to the workpiece 4, and is preferable for dividing the workpiece 4 into individual devices 9 starting from the modified layer. . Further, in Embodiment 1, the workpiece 4 is formed with a modified layer serving as the fracture starting point inside, but in the present invention, cutting is performed from the surface 6 side to form a cutting groove serving as the fracture starting point. It may be, laser ablation processing is given from the surface 6 side, and the laser processing groove|channel used as the fracture starting point may be formed.

실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 3 에 나타내는 가공 장치인 레이저 가공 장치 (20) 를 구성하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시된다. 다음으로, 도 3 에 나타내는 레이저 가공 장치 (20) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치를 구비하는 레이저 가공 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다. 도 4 는, 도 3 에 나타낸 레이저 가공 장치를 구성하는 확장 장치가 측정한 테이프 특성인 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.The evaluation method of the tape characteristics according to Embodiment 1 is performed by the expansion device 30 constituting the laser processing device 20 which is the processing device shown in FIG. 3 . Next, the laser processing apparatus 20 shown in FIG. 3 is demonstrated based on drawing. Fig. 3 is a perspective view showing a main part of a laser processing device including an expansion device according to Embodiment 1; Fig. 4 is a diagram showing an example of stretchability of a tape, which is a tape characteristic measured by an expanding device constituting the laser processing apparatus shown in Fig. 3;

도 3 에 나타내는 레이저 가공 장치 (20) 는, 테이프 (1) 에 의해 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 의 내측에 지지된 피가공물 (4) 에 분할 예정 라인 (8) 을 따른 개질층을 형성한 후, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 피가공물 (4) 을 유지하는 도시되지 않은 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물 (4) 에 레이저 광선을 조사하는 도시되지 않은 레이저 광선 조사 유닛과, 피가공물 (4) 을 수용하는 카세트 (21) 가 설치되고 또한 카세트 (21) 를 연직 방향을 따라 승강시키는 카세트 엘리베이터 (22) 를 구비한다. 또, 레이저 가공 장치 (20) 는, 카세트 (21) 에 피가공물 (4) 을 꺼내고 넣는 반출입 유닛 (23) 과, 반출입 유닛 (23) 과 척 테이블 사이에서 피가공물 (4) 을 반송하는 도시되지 않은 제 1 반송 유닛과, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 에 첩착된 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 장치 (30) 와, 반출입 유닛 (23) 과 확장 장치 (30) 사이에서 피가공물 (4) 을 반송하는 제 2 반송 유닛 (24) 을 구비한다.The laser processing apparatus 20 shown in FIG. 3 applies a modified layer along a line 8 to be divided to a workpiece 4 supported inside an opening 7 of an annular frame 5 by a tape 1. It is an apparatus that divides the workpiece 4 into individual devices 9 after formation. The laser processing apparatus 20 includes a chuck table (not shown) holding a workpiece 4, a laser beam irradiation unit (not shown) that irradiates a laser beam to the workpiece 4 held on the chuck table, and a workpiece 4. A cassette 21 accommodating (4) is installed, and a cassette elevator 22 for moving the cassette 21 up and down along the vertical direction is provided. In addition, the laser processing device 20 conveys the workpiece 4 between the carry-in/out unit 23, which takes out and puts the workpiece 4 into the cassette 21, and between the carry-out unit 23 and the chuck table (not shown). between the first conveying unit, the expansion device 30 that expands the tape 1 attached to the workpiece 4 on which the modified layer is formed, and the carry-in/out unit 23 and the expansion device 30, the workpiece 4 ) is provided with a second conveying unit 24 for conveying.

레이저 가공 장치 (20) 는, 카세트 (21) 내의 피가공물 (4) 을 반출입 유닛 (23) 이 카세트 (21) 밖으로 반출하고, 제 1 반송 유닛이 카세트 (21) 밖으로 반출된 피가공물 (4) 을 척 테이블로 반송한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 척 테이블이 피가공물 (4) 을 유지한 후, 레이저 광선 조사 유닛이 피가공물 (4) 에 레이저 광선을 조사하여 개질층을 형성한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 제 1 반송 유닛이 척 테이블로부터 반출입 유닛 (23) 으로 반송하고, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 제 2 반송 유닛 (24) 이 반출입 유닛 (23) 으로부터 확장 장치 (30) 로 반송한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 확장 장치 (30) 가 테이프 (1) 를 확장시켜, 개질층을 기점으로 분할 예정 라인 (8) 을 따라 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 개개의 디바이스 (9) 로 분할된 피가공물 (4) 을 제 2 반송 유닛 (24) 및 반출입 유닛 (23) 이 순서대로 확장 장치 (30) 로부터 카세트 (21) 내로 반송한다. 또, 레이저 가공 장치 (20) 는, 확장 장치 (30) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에, 적어도 테이프 (1) 를 냉각시키는 도시되지 않은 냉각 장치를 구비한다. 냉각 장치는, 테이프 (1) 주위의 분위기를 예를 들어 －15 ℃ 에서 0 ℃ 까지의 범위 내로 냉각시킨다.In the laser processing device 20, the carrying-out unit 23 carries the workpiece 4 in the cassette 21 out of the cassette 21, and the first transfer unit carries the workpiece 4 carried out of the cassette 21. is returned to the chuck table. In the laser processing apparatus 20, after the chuck table holds the workpiece 4, the laser beam irradiation unit irradiates the workpiece 4 with a laser beam to form a modified layer. In the laser processing apparatus 20, a first conveyance unit conveys the workpiece 4 having a modified layer formed thereon from a chuck table to a carry-in/out unit 23, and the workpiece 4 having a modified layer formed thereon is transferred to a second conveyance unit ( 24) It is transported from the carry-in/out unit 23 to the expansion device 30. In the laser processing apparatus 20, the expansion apparatus 30 expands the tape 1, and divides the workpiece 4 into individual devices 9 along a line 8 to be divided from the modified layer as a starting point. . The laser processing apparatus 20 transfers the workpiece 4 divided into individual devices 9 into the cassette 21 from the expansion apparatus 30 by the second transfer unit 24 and the carry-in/out unit 23 in this order. send back Further, the laser processing device 20 includes a cooling device (not shown) that cools the tape 1 at least when the expanding device 30 expands the tape 1. The cooling device cools the atmosphere around the tape 1 within a range from -15°C to 0°C, for example.

확장 장치 (30) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 에 첩착된 테이프 (1) 를 확장시켜, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 확장 장치 (30) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단인 유지 유닛 (31) 과, 확장 수단인 확장 유닛 (32) 과, 이동 수단인 이동 유닛 (33) 과, 제어 수단인 제어 유닛 (40) 을 구비한다.The expansion apparatus 30 is an apparatus for dividing the workpiece 4 into individual devices 9 by expanding the tape 1 attached to the workpiece 4 on which the modified layer is formed. As shown in FIG. 3 , the expansion device 30 includes a holding unit 31 as a holding unit, an expansion unit 32 as an expansion unit, a moving unit 33 as a moving unit, and a control unit ( 40) is provided.

유지 유닛 (31) 은, 환상 프레임 (5) 을 유지하는 수단이다. 유지 유닛 (31) 은, 레이저 가공 장치 (20) 의 장치 본체 (25) 에 장착된 원통상의 베이스 (34) 와, 복수의 클램프부 (35) 를 구비한다. 베이스 (34) 는, 내외경이 환상 프레임 (5) 의 내외경과 대략 동일하게 형성되고, 상면 (36) 이 수평 방향과 평행하고 평탄하게 형성되어 있다. 베이스 (34) 는, 상면 (36) 에 환상 프레임 (5) 이 재치 (載置) 된다.The holding unit 31 is means for holding the annular frame 5 . The holding unit 31 includes a cylindrical base 34 attached to the device main body 25 of the laser processing device 20 and a plurality of clamp portions 35 . The base 34 has an inner and outer diameter substantially equal to the inner and outer diameters of the annular frame 5, and an upper surface 36 is formed flat and parallel to the horizontal direction. As for the base 34, the annular frame 5 is mounted on the upper surface 36.

복수의 클램프부 (35) 는, 베이스 (34) 의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되고, 베이스 (34) 의 외주면에 장착되어 있다. 클램프부 (35) 는, 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 재치된 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 와의 사이에 끼워, 환상 프레임 (5) 을 유지한다.The plurality of clamp portions 35 are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the base 34 and are attached to the outer circumferential surface of the base 34 . The clamp portion 35 holds the annular frame 5 mounted on the upper surface 36 of the base 34 by sandwiching the annular frame 5 with the base 34 .

확장 유닛 (32) 은, 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에 지지된 테이프 (1) 보다 작은 외경을 갖는 원통상으로 형성된 수단이다. 확장 유닛 (32) 은, 원통상으로 형성되고, 외경이 베이스 (34) 및 환상 프레임 (5) 의 내경보다 작고, 내경이 테이프 (1) 에 첩착되는 피가공물 (4) 의 외경보다 크게 형성되어 있다. 확장 유닛 (32) 은, 베이스 (34) 의 내주측에 배치되고, 베이스 (34) 와 동축이 되는 위치에 배치되어 있다.The expansion unit 32 is a cylindrically formed means having an outer diameter smaller than that of the tape 1 supported in the opening 7 of the annular frame 5. The expansion unit 32 is formed in a cylindrical shape, the outer diameter is smaller than the inner diameter of the base 34 and the annular frame 5, and the inner diameter is formed larger than the outer diameter of the workpiece 4 to be adhered to the tape 1, there is. The expansion unit 32 is disposed on the inner circumferential side of the base 34 and is disposed coaxially with the base 34 .

이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 과 유지 유닛 (31) 을 연직 방향을 따라 상대 이동시키는 모터 (37) 를 갖는다. 실시형태 1 에 있어서, 이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 이동시켜, 유지 유닛 (31) 의 베이스 (34) 에 대해 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 상대적으로 이동시킨다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상이 되는 위치와, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 보다 상방이 되는 위치에 걸쳐 확장 유닛 (32) 을 연직 방향을 따라 이동시킨다.The moving unit 33 has a motor 37 that relatively moves the extension unit 32 and the holding unit 31 along the vertical direction. In Embodiment 1, the moving unit 33 moves the expansion unit 32 in the vertical direction, and relatively moves the expansion unit 32 in the vertical direction with respect to the base 34 of the holding unit 31. . Further, in Embodiment 1, the moving unit 33 is positioned so that the upper end of the expansion unit 32 is on the same plane as the upper surface 36 of the base 34, and the upper end of the expansion unit 32 is the base ( 34), the expansion unit 32 is moved along the vertical direction over a position above the upper surface 36.

이동 유닛 (33) 은, 모터 (37) 에 의해 축심 둘레로 회전되고, 축심 둘레로 회전됨으로써 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 이동시키는 볼 나사 (38) 와, 확장 유닛 (32) 의 상단의 미리 설정된 기준 위치로부터의 연직 방향의 위치를 검출하는 검출 유닛 (39) 을 구비한다. 검출 유닛 (39) 은, 검출 결과를 제어 유닛 (40) 에 출력한다.The moving unit 33 is rotated around the shaft by the motor 37, and includes a ball screw 38 that moves the expansion unit 32 in the vertical direction by being rotated around the shaft, and an upper end of the expansion unit 32. A detection unit 39 for detecting a position in the vertical direction from a preset reference position is provided. The detection unit 39 outputs the detection result to the control unit 40 .

제어 유닛 (40) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 모터 (37) 에 접속되어 있음과 함께 모터 (37) 를 제어하여, 확장 장치 (30) 에 테이프 (1) 의 확장 동작을 실시하게 하는 것이다. 또, 제어 유닛 (40) 은, 레이저 가공 장치 (20) 의 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물 (4) 에 대한 가공 동작을 레이저 가공 장치 (20) 에 실시하게 하는 것이다. 또한, 제어 유닛 (40) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 레이저 가공 장치 (20) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통하여 레이저 가공 장치 (20) 의 각 구성 요소에 출력한다.The control unit 40 is connected to the motor 37 via the driver 41 and controls the motor 37 to cause the expansion device 30 to expand the tape 1. . In addition, the control unit 40 controls each component of the laser processing device 20, respectively, and causes the laser processing device 20 to perform a processing operation on the workpiece 4. In addition, the control unit 40 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a central processing unit (CPU), a memory unit having a memory such as read only memory (ROM) or random access memory (RAM), and an input/output interface. It is a computer with a device. The arithmetic processing device of the control unit 40 performs arithmetic processing according to a computer program stored in a storage device, and transmits control signals for controlling the laser processing device 20 through the input/output interface device to the laser processing device ( 20) output to each component.

제어 유닛 (40) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (42) 과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛 (43) 이 접속되어 있다. 입력 유닛 (43) 은, 표시 유닛 (42) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다.The control unit 40 connects a display unit 42 constituted by a liquid crystal display device or the like that displays the state of machining operation, images, etc., and an input unit 43 used by an operator to register processing information and the like. has been The input unit 43 is constituted by at least one of a touch panel formed on the display unit 42 and an external input device such as a keyboard.

또, 확장 장치 (30) 는, 테이프 (1) 의 확장 후에, 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 사이를 가열하는 히터 (44) 를 베이스 (34) 의 내주측이고 또한 확장 유닛 (32) 의 외주측에 구비하고 있다.In addition, the expansion device 30, after the expansion of the tape 1, the heater 44 for heating between the workpiece 4 of the tape 1 and the annular frame 5 on the inner circumferential side of the base 34 It is also provided on the outer circumferential side of the expansion unit 32 .

전술한 확장 장치 (30) 는, 주위가 냉각 장치에 의해 냉각되고, 또한 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서, 제 2 반송 유닛 (24) 에 의해 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 개구 (7) 에 지지한 환상 프레임 (5) 이 재치된다. 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 클램프부 (35) 가 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 의 상면 (36) 과의 사이에 끼워, 환상 프레임 (5) 을 유지한다. 이 때, 확장 장치 (30) 의 확장 유닛 (32) 의 상단이 테이프 (1) 에 맞닿아 있다.The expansion device 30 described above is cooled by a cooling device, and the upper end of the expansion unit 32 is located on the same plane as the upper surface 36 of the base 34, the second conveying unit ( 24), an annular frame 5 supporting the workpiece 4 having a modified layer formed on the upper surface 36 of the base 34 by the opening 7 is placed. The control unit 40 of the expansion device 30 holds the annular frame 5 with the clamp portion 35 sandwiching the annular frame 5 with the upper surface 36 of the base 34. At this time, the upper end of the expansion unit 32 of the expansion device 30 is in contact with the tape 1.

확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 모터 (37) 를 구동시켜 확장 유닛 (32) 을 상방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 테이프 (1) 가 확장 유닛 (32) 의 상단에 맞닿아 있기 때문에, 확장 유닛 (32) 의 이동과 함께 테이프 (1) 가 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 사이의 경사 방향인 제 3 방향 (13) (도 2 에 나타낸다) 도 포함한 전방위로 외주 방향을 향해 방사상으로 확장된다. 테이프 (1) 의 확장의 결과, 테이프 (1) 에 방사상으로 인장력이 작용한다. 이와 같이 피가공물 (4) 의 표면 (6) 에 첩착된 테이프 (1) 에 방사상으로 인장력이 작용하면, 피가공물 (4) 은, 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개질층이 형성되어 있기 때문에, 개질층을 기점으로 하여 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개개의 디바이스 (9) 로 분할됨과 함께, 디바이스 (9) 사이가 넓어져, 디바이스 (9) 사이에 간격이 형성된다.The control unit 40 of the expansion device 30 drives the motor 37 to move the expansion unit 32 upward. In doing so, since the tape 1 is in contact with the upper end of the expansion unit 32, the tape 1 moves along with the movement of the expansion unit 32 in both the first direction 11 and the second direction 12. and a third direction 13 (shown in FIG. 2), which is an oblique direction between the first direction 11 and the second direction 12, radially extending toward the outer circumferential direction in all directions. As a result of the expansion of the tape 1, a tensile force acts on the tape 1 radially. In this way, when a tensile force acts radially on the tape 1 attached to the surface 6 of the workpiece 4, the workpiece 4 has a modified layer formed along the line 8 to be divided, While being divided into individual devices 9 along the division line 8 starting from the modified layer as a starting point, the space between the devices 9 is widened and a gap is formed between the devices 9 .

확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 를 확장시킨 후, 히터 (44) 에 의해 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 사이의 가열을 개시하고, 모터 (37) 에 확장 유닛 (32) 을 하강시켜 확장 유닛 (32) 의 상단을 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치시킨다. 이렇게 하여, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 의 사이를 수축시켜, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치된 후에도 디바이스 (9) 간의 간격을 유지한다. 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 의 확장, 가열 후, 클램프부 (35) 의 환상 프레임 (5) 의 유지를 해제하고, 제 2 반송 유닛 (24) 에 의해 베이스 (34) 의 상면 (36) 상의 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에 지지된 피가공물 (4) 을 반출입 유닛 (23) 으로 반송한다.After the tape 1 is expanded, the control unit 40 of the expansion device 30 starts heating between the workpiece 4 and the annular frame 5 of the tape 1 by the heater 44, , lower the extension unit 32 on the motor 37 to place the top of the extension unit 32 on the same plane as the top surface 36 of the base 34. In this way, the control unit 40 of the expansion device 30 contracts between the workpiece 4 of the tape 1 and the annular frame 5 so that the upper end of the expansion unit 32 is at the base 34 Even after being positioned on the same plane as the top surface 36 of the device 9, the spacing between the devices 9 is maintained. After the expansion and heating of the tape 1, the control unit 40 of the expansion device 30 releases the hold of the annular frame 5 of the clamp portion 35, and the second conveyance unit 24 releases the base. The to-be-processed object 4 supported by the opening 7 of the annular frame 5 on the upper surface 36 of 34 is conveyed to the carry-in/out unit 23.

또한, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도가 설정되어 있다. 전술한 확장 장치 (30) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 설정하기 위해, 실제로, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 3 방향 (13) 도 포함한 전방위로 외주 방향으로 방사상으로 확장시켜, 테이프 (1) 의 특성인 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가한다.In addition, the control unit 40 of the expansion device 30 controls the movement speed and distance of the expansion unit 32 when dividing the workpiece 4 into individual devices, and cools the tape 1 of the cooling device. temperature is set. The aforementioned expanding device 30 controls the moving speed and moving distance of the expanding unit 32 when dividing the workpiece 4 into individual devices 9 and the cooling temperature of the tape 1 of the cooling device. In order to set, in practice, the tape 1 is radially extended in the outer circumferential direction in all directions including both the first direction 11 and the second direction 12 and the third direction 13, so that the The elasticity 100 of the tape shown in Fig. 4, which is a characteristic, is measured and evaluated.

도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 은, 환상 프레임 (5) 에 첩착된 테이프 (1) 를 유지하고 나서의 경과 시간에 대한 모터 (37) 에 가해지는 토크값인 모터 (37) 의 출력 토크 및 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다. 도 4 의 가로축은, 경과 시간을 나타내고, 좌측의 세로축은, 정격 토크를 100 ％ 로 하였을 때의 모터 (37) 의 출력 토크를 나타내고, 우측의 세로축은, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다.The elasticity 100 of the tape shown in FIG. 4 is the output torque of the motor 37, which is the torque value applied to the motor 37 for the elapsed time after holding the tape 1 attached to the annular frame 5. and the distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 in the vertical direction. 4 , the horizontal axis represents the elapsed time, the left vertical axis represents the output torque of the motor 37 when the rated torque is 100%, and the right vertical axis represents the vertical direction of the upper end of the expansion unit 32. represents the distance from the reference position.

모터 (37) 의 출력 토크는, 테이프 (1) 의 확장에 저항하여 축소하려고 하는 힘에 따른 값이고, 도 4 중에 실선으로 나타낸다. 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리는, 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이고, 도 4 중에 일점 쇄선으로 나타낸다. 또한, 테이프 (1) 의 확장을 개시하고 나서 모터 (37) 의 출력 토크와 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리가 비례하는 범위는, 테이프 (1) 의 탄성 영역 (101) 이고, 테이프 (1) 의 확장을 개시하고 나서 모터 (37) 의 출력 토크와 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리가 비례하지 않게 되는 범위는, 테이프 (1) 의 소성 영역 (102) 이고, 모터 (37) 의 출력 토크의 탄성 영역 (101) 과 소성 영역 (102) 사이의 경계는, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 이다.The output torque of the motor 37 is a value corresponding to the force that resists expansion of the tape 1 and tries to reduce it, and is indicated by a solid line in FIG. 4 . The distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 in the vertical direction is a value corresponding to the amount of expansion of the tape 1, and is indicated by a dashed-dotted line in FIG. 4 . Further, the range in which the output torque of the motor 37 after starting expansion of the tape 1 and the distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 are proportional is the elastic region 101 of the tape 1, , the range in which the output torque of the motor 37 and the distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 become disproportionate after starting the expansion of the tape 1 is the plastic region 102 of the tape 1 , and the boundary between the elastic region 101 and the plastic region 102 of the output torque of the motor 37 is the yield point 103 of the tape 1.

실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30) 가 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 때에는, 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않고 또한 외주 가장자리가 환상 프레임 (5) 에 첩착된 테이프 (1) 를 준비하고, 이 테이프 (1) 에 첩착된 환상 프레임 (5) 을 유지 유닛 (31) 에 유지하고, 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시킨다.In Embodiment 1, when the stretching device 30 measures the stretchability 100 of the tape shown in FIG. 4, the workpiece 4 is not attached and the outer periphery of the tape is attached to the annular frame 5 (1) is prepared, and an annular frame (5) attached to this tape (1) is held in a holding unit (31), and the tape (1) is separated from the first direction (11) beyond the yield point (103). Radially expands in the outer circumferential direction including both of the two directions (12).

확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 위해, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 확장부 (45) 와, 평가부 (46) 와, 산출부 (47) 를 구비한다.In order to measure and evaluate the elasticity 100 of the tape shown in FIG. 4, the control unit 40 of the expansion device 30, as shown in FIG. and a calculator 47.

확장부 (45) 는, 유지 유닛 (31) 에 환상 프레임 (5) 을 유지한 상태에서, 모터 (37) 를 구동하여 확장 유닛 (32) 을 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 일정량 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시키는 것이다. 확장부 (45) 는, 유지 유닛 (31) 이 테이프 (1) 에 첩착된 환상 프레임 (5) 을 유지한 후에, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정된 이동 속도로 확장 유닛 (32) 을 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 일정량 이동시킨다. 또한, 일정량은, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정되고, 항복점 (103) 을 초과하는 값이다.The expansion unit 45 drives the motor 37 while holding the annular frame 5 on the holding unit 31 so that the expansion unit 32 has an upper end identical to the upper surface 36 of the base 34. The tape 1 is radially expanded in the outer circumferential direction including both the first direction 11 and the second direction 12 by moving a certain amount upward from a state on a flat surface. The expansion unit 45, after the holding unit 31 holds the annular frame 5 attached to the tape 1, moves the expansion unit 32 at a moving speed set from the input unit 43 to the base ( 34) is moved upward by a certain amount in a state located on the same plane as the upper surface 36. In addition, the constant amount is set from the input unit 43 and is a value exceeding the yield point 103.

평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 모터 (37) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하는 것이다. 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 드라이버 (41) 가 모터 (37) 에 인가하는 전압값과 모터 (37) 에 흘리는 전류값의 적어도 일방을 참조하여, 모터 (37) 의 출력 토크를 산출하고, 산출된 모터 (37) 의 출력 토크를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 또, 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 검출 유닛 (39) 의 검출 결과에 기초하여 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리를 산출하고, 산출된 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 이렇게 하여, 평가부 (46) 는, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 산출하고, 기억한다. 또한, 실시형태 1 에 있어서, 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에 설정된 확장 유닛 (32) 의 이동 속도 및 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도와 대응시켜, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다.The evaluation unit 46 measures the output torque of the motor 37 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45, measures the elasticity 100 of the tape, and evaluates it. The evaluation unit 46 refers to at least one of the voltage value applied to the motor 37 by the driver 41 and the current value passed through the motor 37 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45, The output torque of the motor 37 is calculated, and the calculated output torque of the motor 37 is stored in correspondence with the elapsed time. In addition, the evaluation unit 46 calculates the distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 based on the detection result of the detection unit 39 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45, The calculated distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 is stored in correspondence with the elapsed time. In this way, the evaluation unit 46 calculates and stores the stretchability 100 of the tape shown in FIG. 4 as an example. In Embodiment 1, the evaluation unit 46 determines the moving speed of the expansion unit 32 set when the expansion unit 45 expands the tape 1 and the temperature at which the cooling device cools the tape 1. Correspondingly, the elasticity 100 of the tape showing an example in FIG. 4 is stored.

산출부 (47) 는, 평가부 (46) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 산출한다. 실시형태 1 에서는, 산출부 (47) 는, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 산출한다. 또한, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 는, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이다. 산출부 (47) 는, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 에 대응시켜 기억한다.The calculation unit 47 calculates the yield point 103 of the tape 1 based on the elasticity 100 of the tape measured and evaluated by the evaluation unit 46 . In Embodiment 1, the calculation unit 47 calculates the elasticity 100 of the tape shown as an example in FIG. 4, that is, the change in output torque of the motor 37, etc. The movement distance 104 of the extension unit 32 to . In addition, the moving distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 is the distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 ) is a value according to the expansion amount of The calculation unit 47 converts the calculated movement distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 to the elasticity 100 of the tape shown in FIG. 4 as an example. Respond and remember

실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 평가부 (46) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 산출부 (47) 가 산출한 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 표시 유닛 (42) 에 표시하지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40) 에 접속된 외부 출력 장치에 출력해도 된다.In Embodiment 1, the control unit 40 of the expansion device 30 determines the elasticity 100 of the tape measured and evaluated by the evaluation unit 46 and the elasticity 100 of the tape 1 calculated by the calculation unit 47. The movement distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion to the yield point 103 is displayed on the display unit 42, but in the present invention, it may be output to an external output device connected to the control unit 40. do.

또한, 확장부 (45) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다. 평가부 (46) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프의 신축성 (100) 을 기억 장치에 기억함으로써 실현된다. 산출부 (47) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 기억 장치에 기억함으로써 실현된다.Further, the function of the extension unit 45 is realized by the arithmetic processing unit of the control unit 40 performing arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device. The function of the evaluation unit 46 is realized by the arithmetic processing unit of the control unit 40 performing arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device and storing the calculated elasticity 100 of the tape in the storage device. do. The function of the calculation unit 47 is that the calculation processing unit of the control unit 40 performs calculation processing according to the computer program stored in the storage device, and the calculated tape 1 extends from the start to the yield point 103. It is realized by storing the moving distance 104 of the expansion unit 32 to reach the storage device.

다음으로, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법을 설명한다. 도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 도 6 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 프레임 장착 스텝 후의 테이프 등을 나타내는 사시도이다. 도 7 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다. 도 8 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다. 도 9 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 10 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 11 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 12 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.Next, a method for evaluating tape characteristics according to Embodiment 1 will be described. 5 is a flow chart showing the flow of the evaluation method of tape characteristics according to Embodiment 1; Fig. 6 is a perspective view showing the tape or the like after the frame mounting step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5; Fig. 7 is a cross-sectional view of a main part of the expansion device showing a holding step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5; FIG. 8 is a cross-sectional view of a main part of the expansion device showing expansion steps of the tape property evaluation method shown in FIG. 5 . FIG. 9 is a diagram showing an example of stretchability of a tape measured in an evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in FIG. 5 . Fig. 10 is a diagram showing another example of stretchability of the tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5; Fig. 11 is a diagram showing another example of the stretchability of the tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5; Fig. 12 is a diagram showing another example of the stretchability of the tape measured in the evaluation step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 5;

실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 1 에 관련된 레이저 가공 장치 (20) 의 확장 장치 (30) 에 의해 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 프레임 장착 스텝 (ST1) 과, 유지 스텝 (ST2) 과, 확장 스텝 (ST3) 과, 평가 스텝 (ST4) 을 포함한다.A method for evaluating tape characteristics according to Embodiment 1 is a method for evaluating stretchability 100 of a tape, which is a tape characteristic, by means of the expansion device 30 of the laser processing apparatus 20 according to Embodiment 1. As shown in Fig. 5, the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1 includes a frame mounting step (ST1), a maintenance step (ST2), an extension step (ST3), and an evaluation step (ST4).

프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 테이프 (1) 를 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에서 지지하는 스텝이다. 프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 주지된 마운트 장치 등이 롤 (2) 로부터 송출된 테이프 (1) 를 환상 프레임 (5) 에 첩착하고, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (1) 가 개구 (7) 를 막도록, 환상 프레임 (5) 의 외측 가장자리부를 따라 테이프 (1) 를 절단한다. 그리고, 프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 외측 가장자리부가 환상 프레임 (5) 에 첩착되고, 또한 개구 (7) 를 막은 테이프 (1) 를 레이저 가공 장치 (20) 의 카세트 (21) 내에 수용하고, 유지 스텝 (ST2) 으로 진행된다.The frame attaching step ST1 is a step in which the tape 1 is supported at the opening 7 of the annular frame 5. In the frame mounting step ST1, a well-known mount device or the like adheres the tape 1 sent out from the roll 2 to the annular frame 5, and as shown in FIG. ), cut the tape 1 along the outer edge of the annular frame 5. Then, as shown in FIG. 6 , in the frame attaching step ST1, the tape 1 having the outer edge attached to the annular frame 5 and closing the opening 7 is placed in the cassette of the laser processing device 20 ( 21), and proceeds to the maintenance step (ST2).

유지 스텝 (ST2) 은, 유지 유닛 (31) 으로 테이프 (1) 를 유지하는 스텝이다. 실시형태 1 에서는, 유지 스텝 (ST2) 에서는, 레이저 가공 장치 (20) 의 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 제어 유닛 (40) 이 카세트 (21) 내의 환상 프레임 (5) 에 외측 가장자리부가 첩착된 테이프 (1) 를 취출하여, 확장 장치 (30) 의 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 환상 프레임 (5) 을 재치한다. 유지 스텝 (ST2) 에서는, 제어 유닛 (40) 이, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 유지 유닛 (31) 의 클램프부 (35) 에 의해 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 에 유지하고, 확장 스텝 (ST3) 및 평가 스텝 (ST4) 으로 진행된다.The holding step (ST2) is a step of holding the tape 1 by the holding unit 31. In Embodiment 1, in the maintenance step ST2, the operator of the laser processing apparatus 20 operates the input unit 43, and the control unit 40 attaches the outer edge to the annular frame 5 in the cassette 21. The attached tape 1 is taken out, and the annular frame 5 is placed on the upper surface 36 of the base 34 of the expansion device 30 . In the holding step ST2, as shown in FIG. 7 , the control unit 40 holds the annular frame 5 on the base 34 by the clamp portion 35 of the holding unit 31, and the extension step (ST3) and evaluation step (ST4).

확장 스텝 (ST3) 은, 모터 (37) 를 구동하여, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 사이의 경사 방향인 제 3 방향 (13) (도 2 에 나타낸다) 도 포함한 전방위로 테이프 (1) 를 방사상으로 확장시키는 스텝이다. 확장 스텝 (ST3) 에서는, 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 때의 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (전술한 일정량의 상당), 및 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 설정한다. 확장 스텝 (ST3) 에서는, 오퍼레이터의 온도, 이동 거리 및 이동 속도의 설정이 완료되면, 제어 유닛 (40) 의 확장부 (45) 가, 모터 (37) 를 구동하여, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 확장 유닛 (32) 을 설정된 이동 속도로, 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 설정된 일정량인 이동 거리 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시킨다.The extension step ST3 drives the motor 37 to move the first direction 11 and the second direction 12 and the first direction 11 and the second direction 12 in the inclination direction. This step is to radially expand the tape 1 in all directions including the three directions 13 (shown in Fig. 2). In the expansion step ST3, the operator operates the input unit 43 to measure and evaluate the elasticity 100 of the tape, the temperature at which the cooling device cools the tape 1, and the movement of the expansion unit 32 The distance (corresponding to the above-mentioned constant amount) and the moving speed of the expansion unit 32 are set. In the expansion step ST3, when the setting of the temperature, movement distance, and movement speed of the operator is completed, the expansion unit 45 of the control unit 40 drives the motor 37, as shown in FIG. 8, By moving the extension unit 32 at a set moving speed, moving the tape 1 in the first direction ( 11) and radially expands in the outer circumferential direction including both the second direction 12.

평가 스텝 (ST4) 은, 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 제어 유닛 (40) 에 의해 모터 (37) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 스텝이다. 평가 스텝 (ST4) 에서는, 제어 유닛 (40) 의 평가부 (46) 가, 일정 시간마다 모터 (37) 의 출력 토크와, 확장 유닛 (32) 의 기준 위치로부터의 거리를 산출하여, 경과 시간과 대응시켜, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 에 나타내는 테이프의 신축성 (100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 으로서 기억한다.The evaluation step ST4 is a step for evaluating the elasticity 100 of the tape by measuring the output torque of the motor 37 by the control unit 40 during the implementation of the extension step ST3. In the evaluation step ST4, the evaluation unit 46 of the control unit 40 calculates the output torque of the motor 37 and the distance from the reference position of the expansion unit 32 at regular intervals, and calculates the elapsed time and Correspondingly, it is stored as elasticity 100-1, 100-2, 100-3, 100-4 of the tapes shown in Figs. 9, 10, 11 and 12.

또한, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 의 가로축은, 경과 시간을 나타내고, 세로축의 영보다 하측은, 정격 토크를 100 ％ 로 하였을 때의 모터 (37) 의 출력 토크를 나타내고, 세로축의 영보다 상측은, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다. 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 는, 모터 (37) 의 출력 토크를 실선으로 나타내고, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 일점 쇄선으로 나타낸다. 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 에 나타내는 테이프의 신축성 (100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 은 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 과 대응하는 부분에 동일 부호를 붙인다.9, 10, 11 and 12, the horizontal axis represents the elapsed time, the vertical axis below zero represents the output torque of the motor 37 when the rated torque is 100%, and the vertical axis Above zero indicates the distance from the reference position of the upper end of the expansion unit 32 in the vertical direction. 9, 10, 11 and 12 show the output torque of the motor 37 with a solid line, and the distance from the reference position in the vertical direction of the upper end of the extension unit 32 with a dashed-dotted line. The stretch points 100-1, 100-2, 100-3, and 100-4 of the tape shown in FIGS. 9, 10, 11, and 12 are the same as the stretch points 100 of the tape shown in FIG. put a sign

도 9 및 도 10 은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 0 ℃ 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-1, 100-2) 을 나타내고, 도 11 및 도 12 는, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 －15 ℃ 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-3, 100-4) 을 나타내고 있다. 도 9 및 도 11 은, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 0.5 ㎜/sec 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-1, 100-3) 을 나타내고, 도 10 및 도 12 는, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 1.0 ㎜/sec 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-2, 100-4) 을 나타내고 있다.9 and 10 show the elasticity of the tape 100-1 and 100-2 when the temperature at which the cooling device cools the tape 1 is 0°C, and FIGS. 11 and 12 show the cooling device The elasticity (100-3, 100-4) of the tape when the temperature at which the tape 1 is cooled is set to -15°C is shown. 9 and 11 show the elasticity of the tapes 100-1 and 100-3 when the moving speed of the expansion unit 32 is 0.5 mm/sec, and FIGS. 10 and 12 show the expansion unit 32 ) shows the elasticity (100-2, 100-4) of the tape when the moving speed is 1.0 mm/sec.

평가 스텝 (ST4) 에서는, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서 확장 유닛 (32) 의 일정량의 이동이 완료되고, 테이프의 신축성 (100) 의 측정이 완료되면, 제어 유닛 (40) 의 산출부 (47) 가 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 산출하고, 기억함과 함께, 제어 유닛 (40) 이, 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 표시 유닛 (42) 에 표시한다. 테이프 특성의 평가 방법은, 평가 스텝 (ST4) 에 있어서, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 의 산출, 기억 등이 완료되면 종료한다.In the evaluation step ST4, when the movement of the extension unit 32 by a certain amount is completed in the extension step ST3 and the measurement of the elasticity 100 of the tape is completed, the calculation unit 47 of the control unit 40 Calculate the moving distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 from the elasticity 100 of the tape, that is, the change in output torque of the motor 37, etc. Along with storage, the control unit 40 measures and evaluates the elasticity 100 of the tape and the moving distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 is displayed on the display unit 42. In the tape characteristic evaluation method, in the evaluation step (ST4), when the calculation and storage of the moving distance 104 of the expansion unit 32 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 are completed, quit

실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 모터 (37) 의 출력 토크 등을 측정하기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 용이하게 측정하고, 평가할 수 있다.Since the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1 measures the output torque of the motor 37 or the like during the expansion step ST3 of expanding the tape 1, the elasticity 100 of the tape can be easily measured. and can be evaluated.

또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시키기 때문에, 일 방향만 확장시켜 테이프 특성을 측정하는 종래의 방법보다 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때에 실제의 테이프 (1) 를 확장시키는 조건하에서의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.Further, in the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1, in the expansion step (ST3), the tape 1 is radially radially in the outer circumferential direction including both the first direction 11 and the second direction 12. Since it expands, the elasticity of the tape under the condition of expanding the actual tape 1 when dividing the workpiece 4 into individual devices 9 is more ) can be measured and evaluated.

또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 확장시키기 때문에, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 파악할 수 있고, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 테이프 (1) 의 확장량에 대응하는 확장 유닛 (32) 의 이동 거리를 항복점 (103) 에 이르지 않는 값으로 설정하기 쉬워진다. 그 결과, 테이프 특성의 평가 방법은, 환상 프레임 (5) 과 피가공물 (4) 사이의 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 의 잉여 부분이 확장 후에 가열되어 수축될 때에 피가공물 (4) 에 첩착된 부분의 테이프 (1) 도 끌려 인장되어 디바이스 (9) 사이의 간격이 벌어져, 개개로 분할된 디바이스 (9) 끼리가 접촉하는 것을 억제할 수 있다.Further, in the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1, since the tape 1 is expanded beyond the yield point 103 in the expansion step (ST3), the yield point 103 of the tape 1 can be grasped. , it becomes easy to set the moving distance of the expansion unit 32 corresponding to the expansion amount of the tape 1 when dividing the workpiece 4 into individual devices 9 to a value that does not reach the yield point 103. . As a result, the evaluation method of the tape properties is such that when the excess portion of the tape 1 to which the workpiece 4 is not adhered between the annular frame 5 and the workpiece 4 is heated and contracted after expansion, the workpiece Tape 1 at the portion adhered to (4) is also pulled and stretched to widen the gap between devices 9, and contact between the individually divided devices 9 can be suppressed.

또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시되기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 수 있다.Further, since the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 1 is performed by the expansion device 30 that divides the workpiece 4 into individual devices 9, the workpiece 4 is divided into individual devices ( 9) The elasticity 100 of the tape can be measured in a state close to the dividing condition.

또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도에 대응하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 측정한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 및 이동 속도 및 냉각 온도를 설정할 수 있다.Further, in the tape property evaluation method according to Embodiment 1, since the elasticity 100 of the tape is measured in response to the temperature at which the cooling device cools the tape 1 and the moving speed of the expansion unit 32, Expansion when actually dividing the workpiece 4 into individual devices 9 based on the elasticity 100 of the tape measured in a state close to the condition of dividing the workpiece 4 into individual devices 9 The moving distance and moving speed of the unit 32 and the cooling temperature can be set.

또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시되기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하는 전용의 장치를 사용하지 않고, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.In addition, since the evaluation method of the tape properties according to Embodiment 1 is performed by the expansion device 30 that divides the workpiece 4 into individual devices 9, it is dedicated to measuring the elasticity 100 of the tape. The elasticity 100 of the tape can be measured and evaluated without using the device of

또한, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치 (30) 는, 레이저 가공 장치 (20) 를 구성하고 있지만, 본 발명에서는, 레이저 가공 장치 (20) 와 별체로 형성되어도 된다.Further, the expansion device 30 according to Embodiment 1 constitutes the laser processing device 20, but in the present invention, it may be formed separately from the laser processing device 20.

〔실시형태 2〕[Embodiment 2]

본 발명의 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 13 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법이 실시되는 확장 장치의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 14 는, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 도 15 는, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다. 도 16 은, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다. 또한, 도 13, 도 14, 도 15 및 도 16 은, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.A method for evaluating tape characteristics and an expanding device according to Embodiment 2 of the present invention will be described based on the drawings. Fig. 13 is a perspective view showing the configuration of an expansion device in which the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 is implemented. 14 is a flow chart showing the flow of the evaluation method of tape characteristics according to the second embodiment. Fig. 15 is a plan view of an expansion device schematically illustrating a holding step of the tape characteristic evaluation method shown in Fig. 14; FIG. 16 is a plan view of an expansion device schematically showing an expansion step of the tape characteristic evaluation method shown in FIG. 14; In addition, in FIGS. 13, 14, 15, and 16, the same reference numerals are given to the same parts as in the first embodiment, and explanations are omitted.

실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 이 첩착된 대상물인 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 으로 확장시켜, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 확장 장치 (30-2) 는, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 고정 기대 (50) 와, 고정 기대 (50) 의 중앙에 형성된 유지 테이블 (51) 과, 제 1 유지 수단인 제 1 유지 유닛 (31-1) 과, 제 2 유지 수단인 제 2 유지 유닛 (31-2) 과, 제 3 유지 수단인 제 3 유지 유닛 (31-3) 과, 제 4 유지 수단인 제 4 유지 유닛 (31-4) 과, 이동 수단인 제 1 이동 유닛 (33-1) 과, 이동 수단인 제 2 이동 유닛 (33-2) 과, 이동 수단인 제 3 이동 유닛 (33-3) 과, 이동 수단인 제 4 이동 유닛 (33-4) 과, 제어 수단인 제어 유닛 (40-2) 을 구비한다.The expansion device 30-2 according to Embodiment 2 expands a tape 1, which is an object to which a workpiece 4 having a modified layer is attached, in a first direction 11 and a second direction 12, It is an apparatus which divides a workpiece 4 into individual devices 9. As shown in FIG. 13 , the expansion device 30-2 includes a fixed base 50, a holding table 51 formed in the center of the fixed base 50, and a first holding unit 31 as first holding means. -1), a second holding unit (31-2) as second holding means, a third holding unit (31-3) as third holding means, and a fourth holding unit (31-4 as fourth holding means) ), the first moving unit 33-1 as moving means, the second moving unit 33-2 as moving means, the third moving unit 33-3 as moving means, and the fourth moving unit as moving means A moving unit 33-4 and a control unit 40-2 serving as control means are provided.

유지 테이블 (51) 은, 원판상으로 상면 (52) 이 수평 방향을 따라 평탄하게 형성되고, 상면 (52) 에 테이프 (1) 가 재치된다. 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 은, 제 1 방향 (11) 에 있어서 확장되는 테이프 (1) 가 재치되는 유지 테이블 (51) 을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되어 있다. 즉, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 은, 제 1 방향 (11) 을 따라 서로 대향하고, 서로 간에 유지 테이블 (51) 을 위치시키고 있다.The holding table 51 is shaped like a disk, and the upper surface 52 is formed flat along the horizontal direction, and the tape 1 is placed on the upper surface 52 . The first holding unit 31-1 and the second holding unit 31-2 face each other with the holding table 51 on which the tape 1 extending in the first direction 11 is placed therebetween, batch is formed. That is, the 1st holding unit 31-1 and the 2nd holding unit 31-2 oppose each other along the 1st direction 11, and are positioning the holding table 51 between each other.

제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 제 2 방향 (12) 에 있어서 확장되는 테이프 (1) 가 재치되는 유지 테이블 (51) 을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되어 있다. 즉, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 제 2 방향 (12) 을 따라 서로 대향하고, 서로 간에 유지 테이블 (51) 을 위치시키고 있다.The third holding unit 31-3 and the fourth holding unit 31-4 face each other with the holding table 51 on which the tape 1 extending in the second direction 12 is placed therebetween. batch is formed. That is, the 3rd holding unit 31-3 and the 4th holding unit 31-4 oppose each other along the 2nd direction 12, and are positioning the holding table 51 between each other.

제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 각각 테이프 (1) 를 사이에 두고 유지한다. 제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 서로 구성이 대략 동등하기 때문에, 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명한다.The 1st holding unit 31-1, the 2nd holding unit 31-2, the 3rd holding unit 31-3, and the 4th holding unit 31-4 each sandwich the tape 1, and keep Since the 1st holding unit 31-1, the 2nd holding unit 31-2, the 3rd holding unit 31-3, and the 4th holding unit 31-4 are mutually substantially equal in structure, they are the same The parts are described with the same reference numerals.

제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 고정 기대 (50) 상에 형성된 기둥상의 이동 기대 (53) 에 연직 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된 1 쌍의 협지 부재 (54) 와, 1 쌍의 협지 부재 (54) 를 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구 (55) 를 구비한다. 1 쌍의 협지 부재 (54) 는, 서로 연직 방향으로 간격을 두고 배치되고, 이동 기구 (55) 에 의해 서로 가까워져 서로 간에 테이프 (1) 를 끼워 유지한다. 이동 기구 (55) 는, 이동 기대 (53) 에 형성되어 있다. 또, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 1 쌍의 협지 부재 (54) 및 이동 기구 (55) 를 형성한 이동 기대 (53) 는, 고정 기대 (50) 에 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되어 있다.The first holding unit 31-1, the second holding unit 31-2, the third holding unit 31-3, and the fourth holding unit 31-4 are pillars formed on the fixed base 50. A pair of gripping members 54 formed so as to be freely movable in the vertical direction on the moving base 53 of the bed, and a moving mechanism 55 for moving the pair of gripping members 54 in a direction of moving closer to each other and in a direction moving away from each other to provide A pair of clamping members 54 are disposed at intervals in the vertical direction from each other, come close to each other by the moving mechanism 55, and hold the tape 1 therebetween. The moving mechanism 55 is formed on the moving base 53 . In addition, the moving base 53 formed with the pair of gripping members 54 and the moving mechanism 55 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 is a fixed base ( 50) is formed so as to be freely movable in the first direction (11) or the second direction (12).

제 1 이동 유닛 (33-1) 과 제 2 이동 유닛 (33-2) 은, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 제 1 방향 (11) 에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 제 1 이동 유닛 (33-1) 은, 제 1 유지 유닛 (31-1) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 1 방향 (11) 으로 이동시킨다. 실시형태 1 에 있어서, 제 2 이동 유닛 (33-2) 은, 제 2 유지 유닛 (31-2) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 1 방향 (11) 으로 이동시킨다.The first moving unit 33-1 and the second moving unit 33-2 mutually rotate the first holding unit 31-1 and the second holding unit 31-2 in the first direction 11. It is to make it possible to move in the opposite direction. In Embodiment 1, the first moving unit 33-1 moves the moving base 53 on which the first holding unit 31-1 is formed relative to the fixed base 50 in the first direction 11. . In Embodiment 1, the second moving unit 33-2 moves the moving base 53 on which the second holding unit 31-2 is formed relative to the fixed base 50 in the first direction 11. .

제 3 이동 유닛 (33-3) 과 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 제 2 방향 (12) 에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 제 3 이동 유닛 (33-3) 은, 제 3 유지 유닛 (31-3) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 2 방향 (12) 으로 이동시킨다. 실시형태 1 에 있어서, 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 제 4 유지 유닛 (31-4) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 2 방향 (12) 으로 이동시킨다.The third moving unit 33-3 and the fourth moving unit 33-4 move the third holding unit 31-3 and the fourth holding unit 31-4 to each other in the second direction 12. It is to make it possible to move in the opposite direction. In Embodiment 1, the third moving unit 33-3 moves the moving base 53 on which the third holding unit 31-3 is formed relative to the fixed base 50 in the second direction 12 . In Embodiment 1, the fourth moving unit 33-4 moves the moving base 53 on which the fourth holding unit 31-4 is formed relative to the fixed base 50 in the second direction 12 .

제 1 이동 유닛 (33-1), 제 2 이동 유닛 (33-2), 제 3 이동 유닛 (33-3) 및 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 서로 구성이 대략 동등하기 때문에, 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명한다.The first moving unit 33-1, the second moving unit 33-2, the third moving unit 33-3, and the fourth moving unit 33-4 are substantially equal in structure to each other, so they are the same. The parts are described with the same reference numerals.

제 1 이동 유닛 (33-1), 제 2 이동 유닛 (33-2), 제 3 이동 유닛 (33-3) 및 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 제어 유닛 (40-2) 에 접속되고, 또한 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이동 가능하게 하는 모터 (37-2) 와, 모터 (37-2) 에 의해 축심 둘레로 회전되어 이동 기대 (53) 를 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이동시키는 볼 나사 (38-2) 와, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 미리 설정된 기준 위치로부터의 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 의 위치를 검출하는 검출 유닛 (39-2) 을 갖는다. 검출 유닛 (39-2) 은, 검출 결과를 제어 유닛 (40-2) 에 출력한다. 또, 확장 장치 (30-2) 는, 테이프 (1) 를 냉각시키는 도시되지 않은 냉각 장치를 구비한다.The 1st moving unit 33-1, the 2nd moving unit 33-2, the 3rd moving unit 33-3, and the 4th moving unit 33-4 are control units via the driver 41 A motor connected to 40-2 and enabling movement of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 in the first direction 11 or the second direction 12 ( 37-2) and a ball screw 38-2 that is rotated around the shaft by the motor 37-2 to move the moving base 53 in the first direction 11 or the second direction 12, Detecting the position of the holding member 54 of the holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 in the first direction 11 or the second direction 12 from a preset reference position It has a detection unit 39-2. The detection unit 39-2 outputs the detection result to the control unit 40-2. Further, the expansion device 30-2 includes a cooling device (not shown) that cools the tape 1.

제어 유닛 (40-2) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 모터 (37-2) 에 접속되어 있음과 함께 모터 (37-2) 를 제어하여, 확장 장치 (30-2) 에 테이프 (1) 의 확장 동작을 실시하게 하는 것이다. 또, 제어 유닛 (40-2) 은, 확장 장치 (30-2) 의 각 구성 요소를 각각 제어하는 것이다. 또한, 제어 유닛 (40-2) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 확장 장치 (30-2) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통하여 확장 장치 (30-2) 의 각 구성 요소에 출력한다.The control unit 40-2 is connected to the motor 37-2 via the driver 41 and controls the motor 37-2 so that the tape 1 is attached to the extension device 30-2. It is to perform the expansion operation of. Also, the control unit 40-2 controls each component of the expansion device 30-2, respectively. In addition, the control unit 40-2 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a central processing unit (CPU), a storage unit having a memory such as read only memory (ROM) or random access memory (RAM), A computer with an input/output interface device. The arithmetic processing unit of the control unit 40-2 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device to expand control signals for controlling the expansion unit 30-2 via the input/output interface unit. It outputs to each component of the apparatus 30-2.

제어 유닛 (40-2) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (42) 과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛 (43) 이 접속되어 있다. 입력 유닛 (43) 은, 표시 유닛 (42) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다.The control unit 40-2 includes a display unit 42 constituted by a liquid crystal display device or the like for displaying the state of processing operation, images, etc., and an input unit 43 used by an operator to register processing information and the like. this is connected The input unit 43 is constituted by at least one of a touch panel formed on the display unit 42 and an external input device such as a keyboard.

전술한 확장 장치 (30-2) 는, 주위가 냉각 장치에 의해 냉각된 상태에서, 유지 테이블 (51) 의 상면 (52) 에 개질층이 형성된 피가공물 (4) 이 첩착된 테이프 (1) 가 재치된다. 확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동 기구 (55) 를 제어하여 1 쌍의 협지 부재 (54) 사이에 테이프 (1) 를 끼워 유지한다.In the expansion device 30-2 described above, the tape 1 to which the workpiece 4 on which the modified layer is formed is attached to the upper surface 52 of the holding table 51 in a state where the surrounding area is cooled by the cooling device It is witty. The control unit 40-2 of the expansion device 30-2 controls the moving mechanism 55 of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 to control the pair of gripping members. Tape (1) is held between (54).

확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 모터 (37-2) 를 구동시켜 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 에 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이반되는 방향으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동과 함께 테이프 (1) 가 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장된다. 테이프 (1) 의 확장 결과, 테이프 (1) 에 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 인장력이 작용한다. 이와 같이 피가공물 (4) 이 첩착된 테이프 (1) 에 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 인장력이 작용하면, 피가공물 (4) 은, 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개질층이 형성되어 있기 때문에, 개질층을 기점으로 하여 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개개의 디바이스 (9) 로 분할된다.The control unit 40-2 of the expansion device 30-2 drives the motor 37-2 to move the moving units 33-1, 33-2, 33-3 and 33-4 to the holding unit 31 -1, 31-2, 31-3, 31-4) is moved in a direction opposite to the first direction (11) or the second direction (12). Then, the tape 1 expands in both the first direction 11 and the second direction 12 together with the movement of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4. As a result of the expansion of the tape 1, tensile forces in the first direction 11 and the second direction 12 act on the tape 1. Thus, when tensile forces in the first direction 11 and the second direction 12 act on the tape 1 to which the workpiece 4 is attached, the workpiece 4 is modified along the line 8 to be divided. Since the layer is formed, it is divided into individual devices 9 along the division line 8 starting from the modified layer.

확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 테이프 (1) 를 확장시킨 후, 모터 (37-2) 에 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 확장 전의 위치로 이동시키고, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 테이프 (1) 의 유지를 해제한다.After the control unit 40-2 of the expansion device 30-2 expands the tape 1, the motor 37-2 moves the holding units 31-1, 31-2, 31-3, 31- 4) is moved to the position before expansion, and holding of the tape 1 of the holding units 31-1, 31-2, 31-3 and 31-4 is released.

실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 을 따른 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도가 설정되어 있다. 확장 장치 (30-2) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 을 따른 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 설정하기 위해, 실제로, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시켜, 실시형태 1 과 동일하게 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가한다.The expansion device 30-2 according to Embodiment 2 is a holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 when dividing a workpiece 4 into individual devices 9. The moving speed along the first direction 11 and the second direction 12 of , the moving distance, and the temperature at which the tape 1 of the cooling device is cooled are set. The expansion device 30-2 is used to divide the workpiece 4 into individual devices 9 in the first direction ( 11) and the second direction 12, in order to set the moving speed, the moving distance, and the temperature at which the tape 1 of the cooling device is cooled, in practice, the tape 1 is moved in the first direction 11 and the second direction It is expanded in both directions (12), and the stretchability (100) of the tape in each of the first direction (11) and the second direction (12) is measured and evaluated in the same manner as in Embodiment 1.

실시형태 2 에 있어서, 확장 장치 (30-2) 가 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 때에는, 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 를 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 에 유지하고, 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시킨다.In Embodiment 2, when the extension device 30-2 measures the elasticity 100 of the tape, the tape 1 to which the workpiece 4 is not attached is placed in the holding units 31-1 and 31-2. , 31-3, 31-4), the tape 1 is extended beyond the yield point (103) in both the first direction (11) and the second direction (12).

확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 위해, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 확장부 (45-2) 와, 평가부 (46-2) 와, 산출부 (47-2) 를 구비한다.In order to measure and evaluate the elasticity 100 of the tape, the control unit 40-2 of the extension device 30-2 includes an extension section 45-2 and an evaluation section ( 46-2) and a calculator 47-2.

확장부 (45-2) 는, 제 1 내지 제 4 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 으로 테이프 (1) 를 유지한 상태에서, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 그 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시키는 것이다. 확장부 (45-2) 는, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 이 테이프 (1) 를 유지한 후에, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정된 이동 속도로 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 이 서로 이반되는 방향이고 또한 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 그 제 4 유지 유닛 (31-4) 이 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킨다. 또한, 일정량은, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정되고, 항복점 (103) 을 초과하는 값이다.The extension part 45-2, in a state where the tape 1 is held by the first to fourth holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4, each moving unit 33- The motors 37-2 of 1, 33-2, 33-3, and 33-4 are driven to move the first holding unit 31-1 and the second holding unit 31-2 in directions opposite to each other. While moving by a certain amount, the 3rd holding unit 31-3 and its 4th holding unit 31-4 are moved by a certain amount in opposite directions, and the tape 1 is moved in the first direction 11 and the second direction. It is to expand to both sides of (12). After the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 hold the tape 1, the extension part 45-2 moves at a moving speed set from the input unit 43 to the first In a direction in which the holding unit 31-1 and the second holding unit 31-2 are separated from each other, and in a direction in which the third holding unit 31-3 and the fourth holding unit 31-4 are separated from each other move a certain amount. In addition, the constant amount is set from the input unit 43 and is a value exceeding the yield point 103.

평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하는 것이다. 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 각 드라이버 (41) 가 각 모터 (37-2) 에 인가하는 전압값과 모터 (37-2) 에 흘리는 전류값의 적어도 일방을 참조하여, 각 모터 (37-2) 의 출력 토크를 산출하고, 산출된 각 모터 (37-2) 의 출력 토크를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 또, 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 검출 유닛 (39-2) 의 검출 결과에 기초하여 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하고, 산출된 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 이렇게 하여, 평가부 (46-2) 는, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다. 또한, 실시형태 2 에 있어서, 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에 설정된 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동 속도 및 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도와 대응시켜, 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다.The evaluation unit 46-2 controls the motor 37-2 of each moving unit 33-1, 33-2, 33-3, 33-4 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45-2. ) is measured to measure and evaluate the elasticity (100) of the tape. The evaluation unit 46-2 determines the voltage value applied to each motor 37-2 by each driver 41 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45-2 and the motor 37-2. The output torque of each motor 37-2 is calculated with reference to at least one of the flow current values, and the calculated output torque of each motor 37-2 is stored in correspondence with the elapsed time. Further, the evaluation unit 46-2 evaluates each of the holding units 31-1 and 31-2 based on the detection result of the detection unit 39-2 during expansion of the tape 1 of the expansion unit 45-2. , 31-3, 31-4 calculate the movement distance of the holding member 54, and calculate the holding member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4. The moving distance of is stored in correspondence with the elapsed time. In this way, the evaluation unit 46-2 stores the elasticity 100 of the tape in each of the first direction 11 and the second direction 12 . Further, in Embodiment 2, the evaluation unit 46-2 is configured when the expansion unit 45-2 expands the tape 1, the holding units 31-1, 31-2, 31-3, 31 -4) The elasticity 100 of the tape is stored in correspondence with the moving speed of the cooling device and the temperature at which the tape 1 is cooled.

산출부 (47-2) 는, 평가부 (46-2) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 산출한다. 실시형태 2 에서는, 산출부 (47-2) 는, 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37-2) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 각각의 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출한다. 또한, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리는, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이다. 산출부 (47-2) 는, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 테이프의 신축성 (100) 에 대응시켜 기억한다.The calculation unit 47-2 calculates the yield point 103 of the tape 1 based on the elasticity 100 of the tape measured and evaluated by the evaluation unit 46-2. In Embodiment 2, the calculation unit 47-2 calculates each tape in the first direction 11 and the second direction 12 from the elasticity 100 of the tape, that is, the change in output torque of the motor 37-2, and the like. The movement distance of the gripping member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 from the start of expansion of (1) to the yield point 103 is calculated. In addition, the movement distance of the holding member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 is the tape ( 1) is a value according to the expansion amount of the tape 1 from the start of expansion to the yield point (103). The calculation unit 47-2 is configured to hold the clamping members of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 from the start of expansion of the calculated tape 1 to the yield point 103. The moving distance of (54) is stored corresponding to the elasticity (100) of the tape.

실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 평가부 (46-2) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 산출부 (47-2) 가 산출한 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 표시 유닛 (42) 에 표시하지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40) 에 접속된 외부 출력 장치에 출력해도 된다.In Embodiment 1, the control unit 40-2 of the expansion device 30-2 includes the tape elasticity 100 measured and evaluated by the evaluation unit 46-2 and the calculation unit 47-2. Displays the moving distance of the clamping member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103 calculated by Although displayed in unit 42, in the present invention, you may output to an external output device connected to control unit 40.

또한, 확장부 (45-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다. 평가부 (46-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프의 신축성 (100) 을 기억 장치에 기억함으로써 실현된다. 산출부 (47-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 기억 장치에 기억함으로써 실현된다.In addition, the function of the expansion unit 45-2 is realized by the arithmetic processing unit of the control unit 40-2 performing arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device. The function of the evaluation unit 46-2 is that the arithmetic processing unit of the control unit 40-2 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and calculates the calculated stretchability 100 of the tape in the storage device. It is realized by remembering in The function of the calculation unit 47-2 is that the calculation processing unit of the control unit 40 performs calculation processing according to the computer program stored in the storage device, and the yield point 103 is calculated from the start of expansion of the tape 1. ) is realized by storing the moving distance of the holding member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 to the storage device.

실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 에 의해 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 유지 스텝 (ST2-2) 과, 확장 스텝 (ST3-2) 과, 평가 스텝 (ST4-2) 을 포함한다.A method for evaluating tape characteristics according to Embodiment 2 is a method for evaluating stretchability 100 of a tape, which is a tape characteristic, by means of the expanding device 30-2 according to Embodiment 2. As shown in Fig. 14, the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 includes a maintenance step (ST2-2), an extension step (ST3-2), and an evaluation step (ST4-2).

유지 스텝 (ST2-2) 은, 제 1 내지 제 4 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 으로 테이프 (1) 를 유지하는 스텝이다. 실시형태 2 에서는, 유지 스텝 (ST2) 에서는, 유지 테이블 (51) 의 상면 (52) 에 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 를 재치한다. 유지 스텝 (ST2-2) 에서는, 제어 유닛 (40-2) 이, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 1 쌍의 협지 부재 (54) 사이에 테이프 (1) 를 끼워 유지하고, 확장 스텝 (ST3-2) 및 평가 스텝 (ST4-2) 으로 진행된다.The holding step (ST2-2) is a step of holding the tape 1 by the first to fourth holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4. In Embodiment 2, in holding step ST2, the tape 1 to which the to-be-processed object 4 is not stuck is placed on the upper surface 52 of the holding table 51. In the holding step (ST2-2), the control unit 40-2, as shown in Fig. 15, holds a pair of holding members of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4. Tape 1 is held between (54), and proceeds to expansion step (ST3-2) and evaluation step (ST4-2).

확장 스텝 (ST3-2) 은, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 테이프 (1) 를 확장시키는 스텝이다. 확장 스텝 (ST3-2) 에서는, 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 때의 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 (전술한 일정량의 상당), 및 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 속도를 설정한다. 확장 스텝 (ST3-2) 에서는, 오퍼레이터의 온도, 이동 거리 및 이동 속도의 설정이 완료되면, 제어 유닛 (40-2) 의 확장부 (45-2) 가, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 를 설정된 이동 속도로, 설정된 일정량의 이동 거리 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시킨다.The expansion step ST3-2 drives the motors 37-2 of the respective moving units 33-1, 33-2, 33-3, and 33-4 to drive the first holding unit 31-1 and While moving the 2nd holding unit 31-2 by a fixed amount in mutually apart directions, moving the 3rd holding unit 31-3 and the 4th holding unit 31-4 by a fixed amount in mutually apart directions, This step is to expand the tape 1 in both the first direction 11 and the second direction 12 . In the expansion step (ST3-2), the operator operates the input unit 43 to measure and evaluate the elasticity 100 of the tape, the temperature at which the cooling device cools the tape 1, and each holding unit 31 -1, 31-2, 31-3, 31-4) of the movement distance of the holding member 54 (corresponding to the above-mentioned constant amount), and each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31 -4) The movement speed of the clamping member 54 is set. In the expansion step ST3-2, when the setting of the temperature, movement distance, and movement speed of the operator is completed, the expansion section 45-2 of the control unit 40-2 moves each movement unit 33-1, 33 -2, 33-3, 33-4 motors 37-2 are driven, and as shown in Fig. 16, each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 The clamping member 54 is moved at a set moving speed for a set fixed amount of movement distance, so that the tape 1 is expanded in both the first direction 11 and the second direction 12 .

평가 스텝 (ST4-2) 은, 확장 스텝 (ST3-2) 의 실시 중에 제어 유닛 (40-2) 에 의해, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 의 출력 토크를 측정하고, 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 스텝이다. 평가 스텝 (ST4-2) 에서는, 제어 유닛 (40-2) 의 평가부 (46-2) 가, 일정 시간마다 각 모터 (37-2) 의 출력 토크와, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하여, 경과 시간과 대응시켜, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 으로서, 실시형태 1 과 동일하게 기억한다.In the evaluation step ST4-2, during the execution of the expansion step ST3-2, the control unit 40-2 determines the number of moving units 33-1, 33-2, 33-3, and 33-4. This step measures the output torque of the motor 37-2 and evaluates the elasticity 100 of the tape. In the evaluation step ST4-2, the evaluation unit 46-2 of the control unit 40-2 determines the output torque of each motor 37-2 and each holding unit 31-1, 31 at regular intervals. -2, 31-3, 31-4) calculates the moving distance of the clamping member 54 and correlates it with the elapsed time, and the elasticity of the tape in each of the first direction 11 and the second direction 12 (100 ), stored in the same way as in Embodiment 1.

평가 스텝 (ST4-2) 에서는, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 일정량의 이동이 완료되고, 테이프의 신축성 (100) 의 측정이 완료되면, 제어 유닛 (40-2) 의 산출부 (47-2) 가 측정한 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37-2) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하고, 기억함과 함께, 제어 유닛 (40-2) 이, 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 표시 유닛 (42) 에 표시한다. 테이프 특성의 평가 방법은, 평가 스텝 (ST4-2) 에 있어서, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리의 산출, 기억 등이 완료되면 종료한다.In the evaluation step ST4-2, the movement of the clamping member 54 of each of the holding units 31-1, 31-2, 31-3, and 31-4 by a certain amount is completed in the expansion step ST3-2. and when the measurement of the elasticity 100 of the tape is completed, the elasticity 100 of the tape measured by the calculator 47-2 of the control unit 40-2, that is, the change in output torque of the motor 37-2 Calculate the moving distance of the holding member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 from the start of expansion of the tape 1 from the back to the yield point 103, , along with storing, the control unit 40-2 measures and evaluates the elasticity 100 of the tape and each holding unit 31-1 from the start of expansion of the tape 1 to the yield point 103, The movement distance of the clamping member 54 of 31-2, 31-3, and 31-4 is displayed on the display unit 42. In the tape characteristic evaluation method, in the evaluation step (ST4-2), each holding unit (31-1, 31-2, 31-3, 31 -4) Ends when calculation, storage, etc. of the movement distance of the clamping member 54 are completed.

실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 1 과 동일하게, 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 스텝 (ST3-2) 의 실시 중에 모터 (37-2) 의 출력 토크 등을 측정하기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 용이하게 측정하고, 평가할 수 있다.In the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2, as in Embodiment 1, the output torque of the motor 37-2 or the like is measured during the extension step (ST3-2) of extending the tape 1. , the elasticity (100) of the tape can be easily measured and evaluated.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시키기 때문에, 일 방향만 확장시키는 종래의 방법보다 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때에 실제의 테이프 (1) 를 확장시키는 조건하에서의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.In addition, the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 expands the tape 1 in both the first direction 11 and the second direction 12 in the expansion step (ST3-2). Compared to the conventional method of expanding only the direction, when dividing the workpiece 4 into individual devices 9, the elasticity 100 of the tape under the condition of expanding the actual tape 1 can be measured and evaluated.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 확장시키기 때문에, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 파악할 수 있고, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 테이프 (1) 의 확장량에 대응하는 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 항복점 (103) 에 이르지 않는 값으로 설정하기 쉬워진다. 그 결과, 테이프 특성의 평가 방법은, 개개로 분할된 디바이스 (9) 끼리가 접촉하는 것을 억제할 수 있다.Further, in the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2, since the tape 1 is expanded beyond the yield point (103) in the expansion step (ST3-2), the yield point (103) of the tape (1) can be grasped. and each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 corresponding to the amount of extension of the tape 1 when dividing the workpiece 4 into individual devices 9. It becomes easy to set the movement distance of the clamping member 54 to a value that does not reach the yield point 103. As a result, the tape characteristic evaluation method can suppress contact between the individually divided devices 9.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30-2) 에 의해 실시되기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 수 있다.Further, since the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 is performed by the expansion device 30-2 that divides the workpiece 4 into individual devices 9, the workpiece 4 is divided into individual devices. The elasticity 100 of the tape can be measured in a state close to the condition of dividing into the device 9.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 속도에 대응하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 측정한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 및 이동 속도를 설정할 수 있다.Further, the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 is the temperature at which the cooling device cools the tape 1, the clamping member of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 ( Since the elasticity 100 of the tape is measured corresponding to the moving speed of 54), based on the elasticity 100 of the tape measured in a state close to the condition of dividing the workpiece 4 into individual devices 9 Thus, the movement distance of the holding member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 when actually dividing the workpiece 4 into individual devices 9 and You can set the movement speed.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30-2) 에 의해 실시되기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하는 전용의 장치를 사용하지 않고, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.In addition, since the tape property evaluation method according to Embodiment 2 is performed by the expansion device 30-2 that divides the workpiece 4 into individual devices 9, the elasticity 100 of the tape is measured. It is possible to measure and evaluate the stretchability (100) of the tape without using a dedicated device for measuring.

또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 때문에, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 및 이동 속도를 설정할 수 있다.In addition, since the tape characteristic evaluation method according to Embodiment 2 measures and evaluates the stretchability 100 of the tape in each of the first direction 11 and the second direction 12, the workpiece 4 is actually The movement distance and movement speed of the clamping member 54 of each holding unit 31-1, 31-2, 31-3, 31-4 at the time of division into individual devices 9 can be set.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 실시형태 1 및 실시형태 2 에서는, 제어 유닛 (40, 40-2) 이, 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 에 기초하여 항복점 (103) 을 산출하였지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40, 40-2) 이, 항복점 (103) 을 산출하지 않고, 측정된 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 을 표시 유닛 (42) 에 표시해도 된다. 이 경우, 오퍼레이터가, 항복점 (103) 을 산출하거나, 항복점 (103) 을 산출하지 않고, 테이프 (1) 끼리의 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 의 차 등으로부터 디바이스 (9) 로 분할할 때의 이동 거리, 이동 속도, 및 온도 등을 설정해도 된다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment. In other words, it can be implemented with various modifications within a range that does not deviate from the gist of the present invention. For example, in Embodiment 1 and Embodiment 2, the control units 40 and 40-2 determine the yield point based on the elasticity of the tapes 100, 100-1, 100-2, 100-3 and 100-4. (103) is calculated, but in the present invention, the control unit (40, 40-2) does not calculate the yield point (103), and the measured elasticity of the tape (100, 100-1, 100-2, 100-3 , 100-4) may be displayed on the display unit 42. In this case, the operator calculates the yield point 103 or, without calculating the yield point 103, the elasticity of the tapes 1 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4 ), you may set the movement distance, movement speed, temperature, etc. at the time of division into devices 9 based on the difference of .

1 : 테이프 (대상물)
5 : 환상 프레임
7 : 개구
11 : 제 1 방향
12 : 제 2 방향
13 : 제 3 방향 (경사 방향)
30, 30-2 : 확장 장치
31 : 유지 유닛 (유지 수단)
31-1 : 제 1 유지 유닛 (제 1 유지 수단, 유지 수단)
31-2 : 제 2 유지 유닛 (제 2 유지 수단, 유지 수단)
31-3 : 제 3 유지 유닛 (제 3 유지 수단, 유지 수단)
31-4 : 제 4 유지 유닛 (제 4 유지 수단, 유지 수단)
32 : 확장 유닛 (확장 수단)
33 : 이동 유닛 (이동 수단)
33-1 : 제 1 이동 유닛 (이동 수단)
33-2 : 제 2 이동 유닛 (이동 수단)
33-3 : 제 3 이동 유닛 (이동 수단)
33-4 : 제 4 이동 유닛 (이동 수단)
37, 37-2 : 모터
40, 40-2 : 제어 유닛 (제어 수단)
45, 45-2 : 확장부
46, 46-2 : 평가부
47, 47-2 : 산출부
100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4 : 테이프의 신축성 (테이프 특성)
103 : 항복점
104 : 이동 거리 (항복점에 이르는 확장량에 따른 값)
ST1 : 프레임 장착 스텝
ST2, ST2-2 : 유지 스텝
ST3, ST3-2 : 확장 스텝
ST4, ST4-2 : 평가 스텝1: tape (object)
5 : illusion frame
7: opening
11: 1st direction
12: 2nd direction
13: 3rd direction (oblique direction)
30, 30-2: Expansion device
31: maintenance unit (maintenance means)
31-1: first holding unit (first holding means, holding means)
31-2: second holding unit (second holding means, holding means)
31-3: 3rd holding unit (3rd holding means, holding means)
31-4: 4th holding unit (4th holding means, holding means)
32: expansion unit (expansion means)
33: Mobile Unit (Movement)
33-1: 1st mobile unit (moving means)
33-2: 2nd mobile unit (moving means)
33-3: 3rd mobile unit (means of movement)
33-4: 4th mobile unit (mobile unit)
37, 37-2: motor
40, 40-2: control unit (control means)
45, 45-2: extension part
46, 46-2: evaluation unit
47, 47-2: calculation unit
100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4: elasticity of the tape (tape characteristics)
103: yield point
104: Movement distance (value according to the amount of expansion to the yield point)
ST1: Frame Mounting Step
ST2, ST2-2: Maintenance step
ST3, ST3-2: Expansion step
ST4, ST4-2: Evaluation step

Claims (8)

테이프 특성의 평가 방법으로서,
유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과,
모터를 구동하여 테이프를, 그 테이프의 항복점을 초과하여 확장시키는 확장 스텝과,
그 확장 스텝의 실시 중에 제어 수단에 의해 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 그 테이프의 항복점을 포함하는 테이프의 신축성을 측정하고, 그 테이프의 신축성의 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.As a method for evaluating tape properties,
a holding step for holding the tape by the holding means;
an expansion step for driving a motor to expand the tape beyond the yield point of the tape;
During the execution of the extension step, the torque value applied to the motor by the control means is measured to measure the elasticity of the tape including the yield point of the tape, and from the change in the torque value of the elasticity of the tape to the yield point of the tape An evaluation method for tape characteristics, comprising an evaluation step of calculating a value according to an extension amount. 제 1 항에 있어서,
그 확장 스텝에 있어서는, 제 1 방향과 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향뿐만 아니라, 제 1 방향과 제 2 방향 사이의 경사 방향도 포함한 전방위로 테이프를 확장시키는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.According to claim 1,
In the expansion step, the tape is expanded in all directions including not only the first direction and the second direction orthogonal to the first direction, but also the oblique direction between the first direction and the second direction. . 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과,
그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과,
그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과,
그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서,
테이프를 그 환상 프레임의 개구에서 지지하는 프레임 장착 스텝과,
그 유지 수단에 의해 그 환상 프레임을 유지하는 유지 스텝과,
그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과,
그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 그 테이프의 항복점을 포함하는 테이프의 신축성을 측정하고, 그 테이프의 신축성의 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.holding means for holding the annular frame;
expansion means having an outer diameter smaller than that of the tape supported in the opening of the annular frame;
moving means having a motor for relatively moving the extending means and the holding means;
A method of evaluating a tape by means of an extension device having control means for controlling the motor, comprising:
A frame mounting step for supporting the tape at the opening of the annular frame;
a holding step for holding the annular frame by the holding means;
an expansion step for expanding the tape by driving the motor to move the expansion means by a predetermined amount exceeding the yield point of the tape;
During the execution of the extension step, the torque value applied to the motor by the control means is measured to measure the elasticity of the tape including the yield point of the tape, and from the change in the torque value of the elasticity of the tape, the yield point of the tape is determined. A method for evaluating tape characteristics, comprising an evaluation step of calculating a value according to an amount of expansion reaching . 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과,
그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과,
그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과,
그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서,
그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과,
그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과,
그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 그 테이프의 항복점을 포함하는 테이프의 신축성을 측정하고, 그 테이프의 신축성의 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.first holding means and second holding means for holding the object, respectively, arranged to face each other with the object extending in the first direction interposed therebetween;
third holding means and fourth holding means for holding the object, respectively, disposed to face each other with the object interposed therebetween in a second direction orthogonal to the first direction;
The first holding means and the second holding means are movable in directions opposite to each other in the first direction, and the third holding means and the fourth holding means are separated from each other in the second direction. A moving means having a motor enabling movement in the direction;
A method of evaluating a tape by means of an extension device having control means for controlling the motor, comprising:
a holding step of holding the tape by the first to fourth holding means;
The motor is driven to move the first holding means and the second holding means by a certain amount exceeding the yield point of the tape in the direction apart from each other, and the third holding means and the fourth holding means are separated from each other. an expansion step for expanding the tape by moving a certain amount exceeding the yield point of the tape in the direction;
During the execution of the extension step, the torque value applied to the motor by the control means is measured to measure the elasticity of the tape including the yield point of the tape, and from the change in the torque value of the elasticity of the tape, the yield point of the tape is determined. A method for evaluating tape characteristics, comprising an evaluation step of calculating a value according to an amount of expansion reaching . 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과,
그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과,
그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과,
그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서,
그 제어 수단은,
그 유지 수단에 환상 프레임을 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와,
그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여, 그 테이프의 항복점을 포함하는 테이프의 신축성을 측정하는 평가부와,
그 평가부가 측정한 그 테이프의 신축성의 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.holding means for holding the annular frame;
expansion means having an outer diameter smaller than that of the tape supported in the opening of the annular frame;
moving means having a motor for relatively moving the extending means and the holding means;
An extension device provided with a control means for controlling the motor,
That control means
an extension part which expands the tape by driving the motor to move the expansion means by a certain amount exceeding the yield point of the tape, while the annular frame is held by the holding means;
an evaluation unit measuring the elasticity of the tape including the yield point of the tape by measuring a torque value applied to the motor during expansion of the tape of the expansion unit;
and a calculation unit that calculates a value corresponding to an amount of extension that the tape reaches a yield point from a change in the torque value of elasticity of the tape measured by the evaluation unit. 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과,
그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과,
그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과,
그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서,
그 제어 수단은,
그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 그 테이프의 항복점을 초과하는 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와,
그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여, 그 테이프의 항복점을 포함하는 테이프의 신축성을 측정하는 평가부와,
그 평가부가 측정한 그 테이프의 신축성의 그 토크값의 변화로부터 그 제 1 방향 및 그 제 2 방향 각각의 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.first holding means and second holding means for holding the object, respectively, arranged to face each other with the object extending in the first direction interposed therebetween;
third holding means and fourth holding means for holding the object, respectively, disposed to face each other with the object interposed therebetween in a second direction orthogonal to the first direction;
The first holding means and the second holding means are movable in directions opposite to each other in the first direction, and the third holding means and the fourth holding means are separated from each other in the second direction. A moving means having a motor enabling movement in the direction;
An extension device provided with a control means for controlling the motor,
That control means
In a state where the tape is held by the first to fourth holding means, the motor is driven to move the first holding means and the second holding means in directions opposite to each other by a certain amount exceeding the yield point of the tape. And an extension portion for expanding the tape by moving the third holding means and the fourth holding means in opposite directions to each other by a predetermined amount exceeding the yield point of the tape;
an evaluation unit measuring the elasticity of the tape including the yield point of the tape by measuring a torque value applied to the motor during expansion of the tape of the expansion unit;
and a calculation unit for calculating a value corresponding to the amount of expansion of the tape in the first direction and the second direction, respectively, from the change in the torque value of the stretchability of the tape measured by the evaluation unit. Device. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
그 산출부는, 그 평가부가 평가한 테이프의 신축성에 기초하여, 그 테이프의 항복점을 산출하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.According to claim 5 or 6,
The expansion device characterized in that the calculation unit calculates the yield point of the tape based on the stretchability of the tape evaluated by the evaluation unit. 삭제delete
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