KR102552128B1 - Non-contact transferring device and non-contact suction plate - Google Patents

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기요타카 후지히라
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Abstract

워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며, 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고, 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이, 두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 격자 형상으로 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와, 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 가압 기체 유로에 의해 구획된 격자 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 다공질 패드에 연결되었을 때, 섬 형상 부분은, 연통 구멍이 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고, 반송 방향 상류측에 배치된 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는 비접촉 반송 장치 등이 제공된다.It is to provide a non-contact adsorption device such as a non-contact transport device and a non-contact adsorption plate capable of finely controlling the non-contact adsorption state of a workpiece.
According to the present invention, it is a non-contact conveying device for adsorbing and conveying a thin-plate-like workpiece in a non-contact state, comprising first and second non-contact adsorption discs arranged along the conveyance direction, each of the first and second non-contact adsorption discs. , a rectangular porous pad in which a plurality of suction holes extending through the thickness direction are arranged in a lattice shape, and a rectangular holder connected to the back surface of the porous pad, a pressurized gas flow path in a grid shape on the surface, and a pressurized gas When a plurality of island-like portions arranged in a lattice shape partitioned by passages are formed, provided with communication holes formed corresponding to the suction holes and extending through the island-like portions in the thickness direction, and connected to a porous pad, The island-shaped portion includes a holder whose top surface is in close contact with the back surface of the porous pad in a state in which the communication hole communicates with the suction hole of the porous pad, and the lattice-shaped pressing of the holder of the first non-contact suction disc placed on the upstream side in the conveying direction A non-contact conveying device or the like in which the gas passage terminates in an end width direction passage arranged so that at least a part thereof extends in a direction orthogonal to the conveying direction in a connection area with the second non-contact adsorption disc disposed downstream in the conveying direction. Provided.

Description

비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반{NON-CONTACT TRANSFERRING DEVICE AND NON-CONTACT SUCTION PLATE}Non-contact transfer device and non-contact suction plate {NON-CONTACT TRANSFERRING DEVICE AND NON-CONTACT SUCTION PLATE}

본 발명은 비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 반송하는 비접촉 반송 장치 및 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하는 비접촉 흡착반에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact conveying device and a non-contact adsorption disc, and more particularly, to a non-contact conveying device that conveys a thin plate-like work in a non-contact state and a non-contact adsorption disc that adsorbs a thin-plate-like work in a non-contact state.

반도체 웨이퍼, FPD용 유리 기재 등의 두께가 얇은 워크를 부상시켜 취급하는 비접촉 흡착 장치로서, 인용문헌 1의 부상 스테이지가 알려져 있다. 이 부상 스테이지는, 다공질판의 표면에 있어서, 가압 공기에 의한 워크의 부상과 흡인에 의한 워크의 비접촉 흡착을 동시에 행함으로써, 워크를 다공질판 상에서 부상시켜 반송 등을 하고 있다.As a non-contact adsorption device for floating and handling thin-thick workpieces such as semiconductor wafers and glass substrates for FPDs, the floating stage of Cited Document 1 is known. In this floating stage, on the surface of the porous plate, lifting of the work by pressurized air and non-contact adsorption of the work by suction are performed at the same time, so that the work is lifted on the porous plate and conveyed.

또한, 다른 비접촉 흡착 장치로서, 인용문헌 2의 비접촉 흡착반이 알려져 있다. 이 비접촉 흡착반은, 다공질판의 표면에 있어서, 가압 공기의 분출과, 흡인을 동시에 행하고, 박판 형상 워크를 다공질판 상에서 부상시키면서 보유 지지하는 비접촉 흡착을 실현하고 있다.In addition, as another non-contact adsorption device, the non-contact adsorption board of Cited Document 2 is known. This non-contact adsorption board realizes non-contact adsorption in which pressurized air is ejected and sucked simultaneously on the surface of the porous plate to hold the thin-plate-like workpiece while floating it on the porous plate.

이들 비접촉 흡착 장치 및 비접촉 흡착반은, 박판 형상의 워크를 손상시키는 일 없이 부상시켜 반송 또는 보유 지지 등을 할 수 있으므로, FPD용 유리 기재 등의 박판 형상의 워크를 가공할 때에 유효한 장치이다.These non-contact adsorption devices and non-contact adsorption discs are effective devices when processing thin-plate-like workpieces such as glass substrates for FPDs, since they can be lifted and transported or held without damaging the thin-plate-shaped workpiece.

일본 특허 출원 공개 제2007-27495호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2007-27495 일본 특허 제5512052호Japanese Patent No. 5512052

상기 특허문헌 1에 기재된 부상 스테이지(비접촉 반송 장치)는, LCD용 유리 기판 등의 박판 형상 워크를 반송하는 것이지만, 반송 거리가 짧고, 1매의 다공질판에 의해 형성되어 있다. 이로 인해, 상기한 바와 같은 부상 스테이지를 사용하여, 박판 형상 워크를 긴 거리에 걸쳐 반송하거나, 혹은 치수가 큰 박판 형상 워크를 반송할 때에는, 복수매의 다공질판을 반송 방향으로 연속적으로 배열하여 배치할 필요가 있다.The floating stage (non-contact conveyance device) described in Patent Literature 1 conveys a thin plate-like work such as a glass substrate for LCD, but has a short conveyance distance and is formed of a single porous plate. For this reason, when conveying a thin plate-like work over a long distance using the lifting stage as described above, or when conveying a thin-plate-like work having a large dimension, a plurality of porous plates are continuously arranged in the conveying direction. Needs to be.

그러나, 이러한 구성에서는, 워크가, 상류측의 다공질판으로부터 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 반송 방향으로 나열되어 배치된 2매의 다공질판의 접속 부위에서, 워크의 선단이 하방으로 변위해 버리는 경우가 있었다.However, in this configuration, when the work is transferred from the upstream porous plate to the downstream porous plate, the front end of the work is displaced downward at the junction of the two porous plates arranged side by side in the transport direction. There was a case of abandonment.

이러한 하방 변위에 의해, 워크 자신이 변형되는, 워크가 하류측의 다공질판 상에 원활하게 이송될 수 없는 등의 문제가 발생하는 경우가 있었다. 특히, 두께 0.5㎜ 미만이라 하는 극히 얇은 워크에서는, 이러한 문제가 현저하였다.Due to such downward displacement, problems such as the work itself being deformed and the work being unable to be smoothly transferred onto the porous plate on the downstream side have occurred in some cases. In particular, in the case of an extremely thin workpiece of less than 0.5 mm in thickness, such a problem was remarkable.

또한, 특허문헌 2에 기재된 비접촉 흡착반은, 상술한 바와 같이, LCD용 유리 기판 등의 박판 형상 워크를 다공질판 상에서 부상시키면서 보유 지지하는 것이다.In addition, the non-contact adsorption board described in Patent Literature 2 holds, as described above, floating a thin-plate-shaped work such as a glass substrate for LCD on a porous plate.

그러나, 상술한 비접촉 흡착반은, 다공질판의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 패턴을 변경할 수 없다. 즉, 다공질의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 없다. 이로 인해, 박판 형상 워크를 동일 상태에서 부상시키는 것밖에 할 수 없었다. 구체적으로는, 예를 들어 동일한 박판 형상 워크를, 평판 형상, 볼록 형상 또는 오목 형상과 같이, 다른 형상으로 부상시켜 보유 지지할 수 없었다.However, the above-described non-contact suction disk cannot change the blowing pattern of the pressurized air blown from the surface of the porous plate. That is, the blowing state of the pressurized air blowing from the porous surface cannot be locally changed. For this reason, it was only possible to float the thin-plate-shaped workpiece in the same state. Specifically, for example, the same thin plate-like work could not be raised and held in a different shape, such as a flat plate shape, a convex shape, or a concave shape.

즉, 종래 기술의 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치에서는, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 없었다.That is, in the non-contact adsorption apparatuses, such as a prior art non-contact conveyance device and a non-contact adsorption disc, the non-contact adsorption state of the workpiece could not be precisely controlled.

본 발명은 이러한 점에 비추어 이루어진 것이며, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in light of these points, and an object of the present invention is to provide a non-contact adsorption device such as a non-contact transport device and a non-contact adsorption plate that can precisely control the non-contact adsorption state of a workpiece.

상세하게는, 본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 복수매의 다공질판이 반송 방향으로 연속적으로 배열된 구성을 구비하면서, 워크가 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 워크의 선단부의 하방 변위를 억제할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In detail, the present invention has been made to solve the above problems, and has a structure in which a plurality of porous plates are continuously arranged in the conveying direction, and when the work is transferred to the porous plate on the downstream side, the front end portion of the work It is an object of the present invention to provide a non-contact transport device capable of suppressing downward displacement.

상세하게는, 또한, 본 발명은 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 있는 비접촉 흡착반을 제공하는 것을 목적으로 한다.More specifically, another object of the present invention is to provide a non-contact adsorption plate capable of locally changing the blowing state of pressurized air ejected from the surface of a porous pad.

본 발명에 따르면,According to the present invention,

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며,A non-contact conveying device that adsorbs and conveys a thin plate-shaped workpiece in a non-contact state,

상기 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고,Equipped with first and second non-contact suction disks arranged along the conveying direction;

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이,Each of the first and second non-contact adsorption plates,

두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 격자 형상으로 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,A rectangular porous pad in which a plurality of suction holes penetrating and extending in the thickness direction are arranged in a lattice shape;

상기 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 격자 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,A holder having a rectangular shape connected to the back surface of the porous pad, wherein a lattice-shaped pressurized gas flow path and a plurality of island-shaped portions arranged in a lattice shape partitioned by the pressurized gas flow path are formed on the surface, and the suction hole is A communication hole formed correspondingly and extending through the island-shaped portion in the thickness direction, and when connected to the porous pad, the island-shaped portion is in a state in which the communication hole communicates with the suction hole of the porous pad. In the top surface is provided with a holder in close contact with the back surface of the porous pad,

반송 방향 상류측에 배치된 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치가 제공된다.At least a part of the lattice-shaped pressurized gas flow path of the holder of the first non-contact suction disc placed on the upstream side in the conveying direction, in a connection area with the second non-contact sucking disc disposed on the downstream side in the conveying direction, is in the conveying direction. A non-contact conveying device characterized by terminating in an end widthwise passage arranged so as to extend in an orthogonal direction is provided.

이러한 구성에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있다. 상세하게는, 상류측의 비접촉 흡착반의 가압 기체 유로는, 하류측의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다. 이로 인해, 박판 형상의 워크는, 제1 비접촉 흡착반으로부터 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 때, 제1 비접촉 흡착반의 단부 폭 방향 유로로부터 접속 영역의 다공질 패드의 세공으로 송입되고 접속 영역에서 다공질 패드로부터 분출되는 고압 기체에 의해 상방을 향해 밀어 올려지고, 워크의 높이를 적정하게 제어할 수 있다.According to this configuration, the non-contact adsorption state of the workpiece can be precisely controlled. In detail, the pressurized gas flow path of the upstream non-contact adsorption disc terminates in the end width direction flow path arranged so as to extend in a direction orthogonal to the transport direction in the connection area with the downstream non-contact adsorption disc. For this reason, when the thin-plate-shaped workpiece is transferred from the first non-contact adsorption disc to the second non-contact adsorption disc, it is fed from the end width direction passage of the first non-contact adsorption disc to the pores of the porous pad in the connection area, and the porous pad in the connection area It is pushed upward by the high-pressure gas ejected from it, and the height of the workpiece can be appropriately controlled.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있다.At least a part of the lattice-shaped pressurized gas passages of the holder of the second non-contact suction disc is terminated in an end conveying direction passage arranged so as to extend in the conveying direction in a connection region with the first non-contact sucking disc.

이러한 구성에 따르면, 제2 비접촉 흡착반에서는, 반송 방향 최상류측의 부분에 있어서, 다공질 패드의 표면으로부터 가압 기체의 분출량이, 제1 비접촉 흡착반의 반송 방향 최하류의 부분에 있어서의 가압 기체의 분출량보다 적어지므로, 제2 비접촉 흡착반으로 이송된 워크가 과도하게 상측 방향으로 들어 올려지는 것이 억제된다.According to this configuration, in the second non-contact adsorption disk, in the part on the most upstream side in the conveying direction, the amount of ejection of pressurized gas from the surface of the porous pad is the ejection of the pressurized gas in the most downstream part in the conveying direction of the first non-contact adsorbing disc. Since it is smaller than the amount, excessive lifting of the work transferred to the second non-contact adsorption disc in the upward direction is suppressed.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있다.At least a part of the lattice-shaped pressurized gas passage of the holder of the first non-contact suction disc is terminated in an end conveying direction passage arranged so as to extend in the conveying direction in a connection area with the second non-contact sucking disc.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반에서는, 반송 방향 최하류측의 부분에 있어서, 다공질 패드의 표면으로부터 가압 기체의 분출량이, 제2 비접촉 흡착반의 반송 방향 최상류의 부분에 있어서의 가압 기체의 분출량보다 적어지므로, 제2 비접촉 흡착반으로 이송되는 워크의 선단이 과도하게 상측 방향으로 들어 올려지는 것이 억제된다.According to this configuration, in the first non-contact adsorption disk, the amount of ejection of pressurized gas from the surface of the porous pad in the most downstream part in the conveying direction is the ejection amount of pressurized gas in the most upstream part of the second non-contact adsorbing disc in the conveying direction. Since the amount is less than the amount, excessive lifting of the tip of the workpiece transferred to the second non-contact adsorption disk in the upward direction is suppressed.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다.At least a part of the lattice-shaped pressurized gas passages of the holder of the second non-contact suction disc is terminated in an end width direction passage arranged so as to extend orthogonally to the transport direction in a connection region with the first non-contact suction disc. .

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다.At least a part of the lattice-shaped pressurized gas passages of the holder of the first non-contact suction disc is terminated in an end width direction flow passage arranged so as to extend orthogonally to the transport direction in a connection area with the second non-contact suction disc. .

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 교대로 배치된, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되는 부분과, 개방된 직사각형 부분에서 종단되는 부분을 구비하고,The lattice-shaped pressurized gas passages of the holders of the first and second non-contact adsorption discs have alternately disposed portions terminating in closed rectangular portions and portions terminating in open rectangular portions,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반은, 한쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 개방된 직사각형 부분이 다른 쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다.The first and second non-contact adsorption discs are arranged so that the open rectangular portion of the pressurized gas flow path of one non-contact adsorption disc is aligned with the closed rectangular portion of the pressurized gas flow path of the other non-contact adsorption disc along the conveying direction. there is.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있다.The holder of the first non-contact suction disk has an independent pressurized gas passage separated from the pressurized gas passage.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있다.The independent pressurized gas passage of the first non-contact adsorption disk is formed on the side edge side of the terminal end of the pressurized gas passage in the connection area with the second non-contact adsorption disk.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 유량, 압력 등을, 가압 기체 유로에 공급하는 가압 기체의 유량, 압력과는 다른 값으로 하는 것이 가능해지므로, 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 다공질 패드로부터 분출되는 가압 기체의 유량 등을 독자적으로 제어하는 것이 가능해진다.According to this configuration, it is possible to set the flow rate and pressure of the pressurized air supplied to the independent pressurized gas passage to a different value from the flow rate and pressure of the pressurized gas supplied to the pressurized gas passage, so that it is connected to the second non-contact suction disk. In the region, it becomes possible to independently control the flow rate of the pressurized gas ejected from the porous pad.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있다.The holder of the second non-contact suction disk has an independent pressurized gas passage separated from the pressurized gas passage.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제2 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있다.An independent pressurized gas passage of the second non-contact adsorption disk is formed on a side edge side of a terminal portion of the pressurized gas passage in a connection region with the first non-contact adsorption disk.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 유량, 압력 등을, 가압 기체 유로에 공급하는 가압 기체의 유량, 압력과는 다른 값으로 하는 것이 가능해지므로, 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 다공질 패드로부터 분출되는 가압 기체의 유량 등을 독자적으로 제어하는 것이 가능해진다.According to this configuration, it is possible to set the flow rate and pressure of the pressurized air supplied to the independent pressurized gas passage to a different value from the flow rate and pressure of the pressurized gas supplied to the pressurized gas passage, so that it is connected to the first non-contact suction disk. In the region, it becomes possible to independently control the flow rate of the pressurized gas ejected from the porous pad.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있다.The porous pad has independent suction holes that are in a different suction state from the suction holes.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 독립 흡인 구멍이, 한쪽의 비접촉 흡착반의 다른 쪽의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 배치되어 있다.The said independent suction hole is arrange|positioned in the connection area|region of one non-contact adsorption disk with the other non-contact adsorption disk.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 서로 접촉하여 배치되어 있다.The first and second non-contact suction disks are disposed in contact with each other.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 이격하여 배치되어 있다.The first and second non-contact suction disks are spaced apart from each other.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반으로부터 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 때, 워크는, 선단이 상방을 향해 밀어 올려지고, 그 후, 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 사이에 형성된 간극에서 자중에 의해 하방으로 가압되므로, 높이 위치가 유지된 상태에서 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 수 있다.According to this configuration, when being transferred from the first non-contact adsorption disc to the second non-contact adsorption disc, the workpiece is pushed upward with its front end, and then, in the gap formed between the first and second non-contact adsorption discs, its own weight. Since it is pressed downward by , it can be transferred to the second non-contact adsorption disk in a state where the height position is maintained.

본 발명의 다른 형태에 따르면,According to another aspect of the present invention,

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하는 비접촉 흡착반이며,It is a non-contact adsorption plate that adsorbs a thin plate-shaped workpiece in a non-contact state,

두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,A rectangular porous pad in which a plurality of suction holes extending through and extending in the thickness direction are disposed;

상기 다공질 패드의 이면에 연결된 홀더이며, 표면에, 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 정렬하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,It is a holder connected to the back surface of the porous pad, and a pressurized gas passage and a plurality of island-shaped portions partitioned by the pressurized gas passage are formed on the surface, and are formed aligned with the suction hole, and the island-shaped portions are formed in the thickness direction. When connected to the porous pad, the island-shaped portion is in close contact with the back surface of the porous pad in a state where the communication hole communicates with the suction hole of the porous pad. having a holder,

상기 홀더에는, 또한, 상기 표면에, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착반이 제공된다.The holder is further provided with a non-contact suction disc characterized in that an independent pressurized gas passage separated from the pressurized gas passage is formed on the surface.

이러한 구성에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있다. 상세하게는, 가압 기체 유로 내의 공급하는 가압 공기의 압력, 및/또는 유량과, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 압력, 및/또는 유량을, 독립적으로 할 수 있다. 이로 인해, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 유량 분포를 변경하는 것이 가능해진다. 이 유량 분포의 변경에 의해, 동일 형상의 박판 워크를 평판 형상으로 보유 지지하거나, 볼록 형상 또는 오목 형상으로 보유 지지하는 것이 가능해진다.According to this configuration, the non-contact adsorption state of the workpiece can be precisely controlled. Specifically, the pressure and/or flow rate of pressurized air supplied in the pressurized gas passage and the pressure and/or flow rate of pressurized air supplied to the independent pressurized gas passage can be made independent. This makes it possible to change the distribution of the flow rate of the pressurized air ejected from the surface of the porous pad. By changing the flow rate distribution, it becomes possible to hold the thin plate work of the same shape in a flat shape or hold it in a convex shape or a concave shape.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 독립 가압 기체 유로가, 상기 비접촉 흡착반의 테두리부에 인접하여 배치되어 있다.The independent pressurized gas passage is disposed adjacent to the edge portion of the non-contact adsorption disc.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있다.The porous pad has independent suction holes that are in a different suction state from the suction holes.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

상기 독립 가압 기체 유로가 복수 형성되고,A plurality of independent pressurized gas passages are formed,

각 독립 가압 기체 유로가 서로 분리되어 있다.Each independent pressurized gas flow path is isolated from each other.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면, 상기 비접촉 흡착반을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치가 제공된다.According to another preferred aspect of the present invention, there is provided a non-contact transport device characterized by being provided with the non-contact suction disk.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,According to another preferred aspect of the present invention,

인접하여 배치된 상기 비접촉 흡착반은, 상기 테두리부끼리가 인접하도록 배치되어 있다.The said non-contact adsorption disks arrange|positioned adjacently are arrange|positioned so that the said edge parts may adjoin.

이러한 구성에 따르면,According to this configuration,

비접촉 흡착반끼리가 접속되는 영역의 근방에서, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 양을, 다른 영역과는 독립적으로 제어할 수 있으므로, 반송 중의 워크가, 한쪽의 비접촉 흡착반으로부터 이것에 인접하는 다른 쪽의 비접촉 흡착반으로 이송될 때에 발생하는, 높이의 변동 등을 억제할 수 있다.In the vicinity of the area where the non-contact adsorption discs are connected, the amount of pressurized air ejected from the surface of the porous pad can be controlled independently of the other areas, so that the work being conveyed is adjacent to it from one non-contact adsorption disc. It is possible to suppress fluctuations in height, etc., which occur when transporting to the other non-contact suction disk.

본 발명에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a non-contact adsorption device such as a non-contact transport device and a non-contact adsorption disc that can precisely control the non-contact adsorption state of a workpiece.

또한, 본 발명에 따르면, 복수매의 다공질판이 반송 방향으로 연속적으로 배열된 구성을 구비하면서, 워크가 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 워크의 선단부의 하방 변위를 억제할 수 있는 비접촉 반송 장치가 제공된다.Further, according to the present invention, a non-contact conveying apparatus having a structure in which a plurality of porous plates are continuously arranged in the conveying direction and capable of suppressing downward displacement of the front end of the work when the work is transferred to the porous plate on the downstream side. is provided.

또한, 본 발명에 따르면, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 있는 비접촉 흡착반을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a non-contact adsorption plate capable of locally changing the blowing state of pressurized air ejected from the surface of a porous pad.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 분해 사시도.
도 2는 도 1의 비접촉 흡착반에 의한 워크(W)의 흡착 고정(비접촉 흡착)의 상태를 설명하기 위한 모식적인 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 4는 제1 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 6은 제2 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 7은 본 발명의 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 8은 제3 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 9는 본 발명의 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 10은 제4 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 11은 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치예를 나타내는 도면.
도 12는 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 배치예를 나타내는 도면.
도 13은 비접촉 반송 장치의 다른 구성예를 나타내는 도면.
도 14는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반 및 그 배치를 도시하는 도면.
도 15는 제5 실시 형태의 비접촉 흡착반의 구조를 설명하는 모식적인 단면도.
도 16은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 변형예를 나타내는 도면.
도 17은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 18은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 19는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 20은 본 발명의 다른 비접촉 흡착반을 도시하는 평면도.
도 21은 본 발명의 다른 비접촉 흡착반을 도시하는 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an exploded perspective view of a non-contact suction disk used in a non-contact transport device of a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining a state of suction fixation (non-contact suction) of the workpiece W by the non-contact suction disk of Fig. 1;
Fig. 3 is a view showing the arrangement of non-contact adsorption discs in the non-contact transport device of the first embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs in a non-contact transport device of a modification of the first embodiment.
Fig. 5 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs in the non-contact transport device of the second embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a view showing the arrangement of non-contact adsorption discs in a non-contact transport device of a modification of the second embodiment.
Fig. 7 is a view showing the arrangement of non-contact adsorption discs in the non-contact transport device of the third embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs in a non-contact transport device of a modification of the third embodiment.
Fig. 9 is a view showing the arrangement of non-contact adsorption discs in the non-contact transport device of the fourth embodiment of the present invention.
Fig. 10 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs in a non-contact transport device of a modification of the fourth embodiment.
Fig. 11 is a view showing an example of arrangement of a non-contact suction disk in a non-contact transport device.
Fig. 12 is a view showing another arrangement example of a non-contact suction disk in a non-contact transport device.
Fig. 13 is a diagram showing another configuration example of a non-contact conveying device;
Fig. 14 is a diagram showing a non-contact adsorption disk and its arrangement in a non-contact transport device according to a fifth embodiment of the present invention.
Fig. 15 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of a non-contact adsorption board according to a fifth embodiment.
Fig. 16 is a diagram showing a modified example of a non-contact adsorption disk in the non-contact conveyance device of the fifth embodiment of the present invention.
Fig. 17 is a view showing another modified example of the non-contact adsorption disk in the non-contact conveyance device of the fifth embodiment of the present invention.
Fig. 18 is a view showing another modified example of the non-contact adsorption disk in the non-contact transport device of the fifth embodiment of the present invention.
Fig. 19 is a view showing another modified example of the non-contact adsorption disk in the non-contact transport device of the fifth embodiment of the present invention.
Fig. 20 is a plan view showing another non-contact suction disk of the present invention.
Fig. 21 is a plan view showing another non-contact suction disk of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 구성을 설명한다. 도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 분해 사시도이며, 도 2는 도 1의 비접촉 흡착반에 의한 워크(W)의 흡착 고정(비접촉 흡착)의 상태를 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.Hereinafter, the configuration of the non-contact adsorption plate used in the non-contact transport device of the preferred embodiment of the present invention will be described. 1 is an exploded perspective view of a non-contact adsorption disc used in a non-contact transport device of a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanation of a state of adsorption and fixation (non-contact adsorption) of a workpiece W by the non-contact adsorption disc of FIG. 1 This is a typical cross-section for

본 발명의 바람직한 실시 형태에서 사용되는 비접촉 흡착반은, 국제 공개 WO2013/129599호 공보에 기재되어 있는 비접촉 흡착반에 유사한 기본 구성을 갖고, 반도체 웨이퍼, FPD용 유리 기재 등의 박판 형상의 워크, 특히 두께 0.3 내지 0.4㎜ 정도의 액정 디스플레이용 유리판 등의 박판 형상의 워크를 비접촉 흡착하는 데 적합하다. 또한, 두께 0.1㎜ 정도의 유리판, 두께 0.05㎜의 필름 등의 극히 얇은 워크를 비접촉 흡착하는 데에도 적합하다.The non-contact adsorption board used in the preferred embodiment of the present invention has a basic configuration similar to that of the non-contact adsorption board described in International Publication No. WO2013/129599, and works in the form of thin plates such as semiconductor wafers and glass substrates for FPDs, particularly It is suitable for non-contact adsorption of thin-plate-shaped work such as a glass plate for a liquid crystal display having a thickness of about 0.3 to 0.4 mm. It is also suitable for non-contact adsorption of extremely thin works such as a glass plate with a thickness of about 0.1 mm and a film with a thickness of 0.05 mm.

비접촉 흡착반(1)은, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 표면에 워크의 비접촉 흡착 영역을 구비한 직사각 형상의 다공질 패드(2)와, 다공질 패드(2)를 하측(이면측)으로부터 보유 지지하는 직사각 형상의 패드 홀더(4)와, 홀더(4)의 이면측에 연결되는 직사각 형상의 베이스(6)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, the non-contact adsorption plate 1 holds a rectangular porous pad 2 having a workpiece non-contact adsorption area on its surface, and the porous pad 2 from the lower side (rear side). A rectangular pad holder 4 for support and a rectangular base 6 connected to the back side of the holder 4 are provided.

다공질 패드(2)는, 통기성의 다공질 카본으로 형성되어 있다. 다공질 패드(2)의 재료는, 통기성의 다공질 카본에 한정되는 것이 아니라, 다른 통기성의 다공질 재료, 예를 들어 다공성 SiC·다공성 알루미나 등을 사용할 수도 있다.The porous pad 2 is formed of air permeable porous carbon. The material of the porous pad 2 is not limited to porous carbon with air permeability, but other porous materials with air permeability, such as porous SiC or porous alumina, can also be used.

다공질 패드(2)의 투과량은, 0.4∼2Nml/min/㎟ 정도가 바람직하다[다공질 패드(2)의 두께가 5㎜, 압력 0.1㎫일 때].The permeation amount of the porous pad 2 is preferably about 0.4 to 2 Nml/min/mm 2 (when the thickness of the porous pad 2 is 5 mm and the pressure is 0.1 MPa).

다공질 패드(2)에는, 복수의 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 흡인 구멍(8)은, 다공질 패드(2)의 대략 전면에 걸쳐, 격자 형상으로 배열, 즉, 바둑판의 눈의 중앙에 배치된 상태로 배열되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡인 구멍(8)의 간격은 25㎜ 정도로 설정되어 있다.A plurality of suction holes 8 are formed in the porous pad 2 . As shown in FIG. 1 , the suction holes 8 are arranged in a lattice shape over substantially the entire surface of the porous pad 2, that is, arranged in a state of being arranged at the center of the eyes of the checkerboard. In this embodiment, the space|interval of the suction hole 8 is set to about 25 mm.

흡인 구멍(8)은, 각 다공질 패드(2)를 두께 방향으로 관통하여 연장되도록 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡인 구멍(8)은, 다공질 패드(2)의 표면측이 직경 0.6㎜ 정도의 소직경부(8a)로 되고, 다공질 패드(2)의 이면측이 직경 4㎜ 정도의 대직경부로 되어 있다. 소직경부(8a)와 대직경부(8b)는, 다공질 패드(2)의 표면을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼부에 의해 연결되어 있다.The suction hole 8 is formed so as to extend through each porous pad 2 in the thickness direction. In this embodiment, the suction hole 8 has a small diameter portion 8a having a diameter of about 0.6 mm on the surface side of the porous pad 2 and a large diameter portion 8a having a diameter of about 4 mm on the back side of the porous pad 2 is made up of The small-diameter portion 8a and the large-diameter portion 8b are connected by a tapered portion tapering toward the surface of the porous pad 2 .

이러한 구성에 의해, 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)가 감압 흡인되면, 다공질 패드의 표면측에 개구된, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)로부터의 공기가 흡인되고, 흡인 구멍(8)이 형성되어 있는 다공질 패드(2)의 표면 영역이, 워크의 비접촉 흡착 고정을 행하는 비접촉 흡착 고정 영역으로 된다.With this configuration, when the large-diameter portion 8b of the suction hole 8 is sucked under reduced pressure, air from the small-diameter portion 8a of the suction hole 8 opened on the surface side of the porous pad is sucked, and the suction hole The surface region of the porous pad 2 in which (8) is formed becomes a non-contact suction fixing region for non-contact suction fixing of a workpiece.

상술한 바와 같이, 패드 홀더(4)는, 다공질 패드(2)를 하측(이면측)으로부터 보유 지지하는 직사각 형상의 부재이며, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 형성되어 있다. 패드 홀더(4)를 CFRP·PEEK 등의 수지로 형성해도 된다.As described above, the pad holder 4 is a rectangular member holding the porous pad 2 from the lower side (rear side), and is formed of, for example, a metal material such as aluminum alloy. You may form the pad holder 4 with resin, such as CFRP PEEK.

패드 홀더(4)의 상면에는, 외주연에 벽 형상의 기립부(12)가 형성되어 있다. 기립부(12)는, 내부 치수가, 다공질 패드(2)의 외부 치수보다 약간 크고, 높이가 다공질 패드(2)의 두께보다 약간 낮아지도록 구성되어 있다.On the upper surface of the pad holder 4, a wall-shaped standing portion 12 is formed on the outer periphery. The upright portion 12 is configured such that the inner dimension is slightly larger than the outer dimension of the porous pad 2 and the height is slightly lower than the thickness of the porous pad 2 .

따라서, 다공질 패드(2)는, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간(오목부)에 배치되면, 다공질 패드(2)의 상면(2a)이, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 정상면보다 약간 상방에 배치된 상태로 된다.Therefore, when the porous pad 2 is disposed in the space (concave portion) inside the standing portion 12 of the pad holder 4, the upper surface 2a of the porous pad 2 is It is in the state of being arrange|positioned slightly above the top surface of the standing part 12.

또한, 본 발명은 기립부(12)를 구비하지 않는 구성이어도 된다.In addition, the present invention may be configured without the erecting portion 12.

또한, 패드 홀더(4)의 상면(오목부의 저면)의 내측 영역에는, 격자 형상(바둑판의 눈 형상)으로 단면 직사각형의 홈(가압 기체 유로)(14)이 형성되고, 홈(14)에 의해 구획된 부분은, 정방 격자 형상으로 배열된 횡단면이 대략 정사각형의 섬 형상의 돌기부(16)로 되어 있다. 섬 형상의 돌기부(16)는, 격자 형상(바둑판의 눈 형상)으로 배치된 홈(14)과 함께, 바둑판의 눈 형상 구조를 구성하고 있다. 각 돌기부(16)의 정상면은 평탄하며, 중앙에, 패드 홀더(4)를 두께 방향으로 관통하는 연통 구멍(18)이 형성되어 있다.Further, grooves (pressurized gas passages) 14 having a rectangular cross section are formed in a lattice shape (shaped like an eye of a checkerboard) in the inner region of the upper surface (bottom surface of the concave portion) of the pad holder 4, and the grooves 14 The partitioned portion consists of protrusions 16 arranged in a square lattice shape and shaped like islands with substantially square cross sections. The island-shaped protrusions 16, together with the grooves 14 arranged in a lattice shape (shaped like eyes of a checkerboard) constitute a structure of eyes of a checkerboard. The top surface of each protrusion 16 is flat, and a communication hole 18 penetrating the pad holder 4 in the thickness direction is formed in the center.

또한, 홈(14)에 의해 구성되는 가압 기체 유로는, 일체적으로 연통되고, 전체적으로 1개의 유로로서 기능한다.Further, the pressurized gas flow passages constituted by the grooves 14 are integrally communicated with each other and function as one flow passage as a whole.

또한, 본 발명에 있어서 격자의 형태는, 상기 예의 정방 격자에 한정되지 않는다. 또한, 섬 형상의 돌기부의 횡단면 형상은, 돌기부(16)와 같은 대략 정사각형에 한정되지 않고, 다른 직사각형, 삼각형, 다각형, 원형 등이어도 된다.In the present invention, the shape of the lattice is not limited to the square lattice in the above example. In addition, the cross-sectional shape of the island-shaped protrusion is not limited to a substantially square shape like the protrusion 16, but other rectangles, triangles, polygons, circles, and the like may be used.

다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)는, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내에 배치된 상태에서, 접착제 등에 의해 접합되어 고정되어 있다. 기립부(12)를 구비하지 않는 구성에서는, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)가 적층된 상태에서 접착제 등에 의해 접합되어 고정된다.The porous pad 2 and the pad holder 4 are bonded and fixed with an adhesive or the like in a state where the porous pad 2 is disposed in a space inside the standing portion 12 of the pad holder 4 . In the configuration without the standing portion 12, the porous pad 2 and the pad holder 4 are bonded and fixed with an adhesive or the like in a laminated state.

돌기부(16)는, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내에 배치되었을 때, 정상면이 다공질 패드(2)의 이면의 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)의 개구 단부의 주위의 영역에, 기밀 상태로 접촉하도록 구성되어 있다.The protruding portion 16, when the porous pad 2 is placed in the space inside the standing portion 12 of the pad holder 4, the top surface is the large diameter portion of the suction hole 8 on the back surface of the porous pad 2 It is configured to contact the area around the opening end of (8b) in an airtight state.

이 결과, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 접착제로 고정되면, 다공질 패드(2)의 이면과 패드 홀더(4)의 상면 사이에, 격자 형상으로 배치된 홈(14)과 이 홈(14)을 덮는 다공질 패드(2)에 의해 구획된 폐쇄 공간(가압 기체 유로)이 형성된다.As a result, when the porous pad 2 is fixed to the space inside the standing portion 12 of the pad holder 4 with an adhesive, a lattice shape is formed between the back surface of the porous pad 2 and the upper surface of the pad holder 4. A closed space (pressurized gas flow path) partitioned by the grooves 14 disposed in , and the porous pad 2 covering the grooves 14 is formed.

연통 구멍(18)은, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)와 대략 동일한 직경을 갖고, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내의 소정 위치에 수용되었을 때, 다공질 패드(2)에 형성된 각 흡인 구멍(8)과 두께 방향으로 정렬되도록 구성되어 있다.The communication hole 18 has approximately the same diameter as the large diameter portion 8b of the suction hole 8 of the porous pad 2, and the porous pad 2 is positioned inside the standing portion 12 of the pad holder 4. It is configured to align with each suction hole 8 formed in the porous pad 2 in the thickness direction when accommodated in a predetermined position in the space of .

이 결과, 다공질 패드(2)가, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 수용되면, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)과 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)이 유체 연통된다.As a result, when the porous pad 2 is accommodated in the space inside the standing portion 12 of the pad holder 4, the suction hole 8 of the porous pad 2 and the communication hole of the pad holder 4 ( 18) are in fluid communication.

패드 홀더(4)에는, 홈(14)에 의해 형성된 가압 기체 유로의 전체와 외부 공간을 연통시키고, 이 가압 기체 유로에 가압 공기를 도입하기 위한 가압 공기 입구(20)가 형성되어 있다.The pad holder 4 is formed with a pressurized air inlet 20 for introducing pressurized air into the pressurized gas passage, which communicates the entirety of the pressurized gas passage formed by the groove 14 with an external space.

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)를, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 수용하고 접착 고정한 상태에서, 가압 공기 입구(20)로부터 가압 공기를 도입하면, 도입된 가압 공기는, 가압 기체 유로의 전체에 공급되고, 가압 공기는, 가압 기체 유로의 상면을 구성하는 다공질 패드(2)의 세공에 침입하고, 다공질 패드(2)를 투과하여, 또한 다공질 패드(2)의 표면 전체로부터 분출되게 된다.With this configuration, when pressurized air is introduced from the pressurized air inlet 20 in a state where the porous pad 2 is accommodated in the space inside the standing portion 12 of the pad holder 4 and bonded and fixed, the introduced The pressurized air is supplied to the entire pressurized gas passage, and the pressurized air penetrates into the pores of the porous pad 2 constituting the upper surface of the pressurized gas passage, passes through the porous pad 2, and furthermore the porous pad 2 ) will be ejected from the entire surface of the

이때, 격자 형상의 홈(14)(가압 기체 유로)이 하방에 배치되어 있는 다공질 패드(2)의 표면 부분에서는, 홈(14)(가압 기체 유로)이 하방에 배치되어 있지 않은 부분보다 많은 양의 가압 공기가, 혹은 높은 압력의 가압 공기가 분출된다.At this time, the surface portion of the porous pad 2 in which the lattice-shaped grooves 14 (pressurized gas passages) are disposed below has a larger amount than the portion where the grooves 14 (pressurized gas passages) are not disposed below. of pressurized air or high-pressure pressurized air is ejected.

베이스(6)는, 홀더(4)의 이면측에 연결되는 직사각 형상의 부재이며, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 형성되어 있다. 베이스(6)도, CFRP·PEEK 등의 수지로 형성할 수 있다.The base 6 is a rectangular member connected to the back side of the holder 4, and is formed of, for example, a metal material such as aluminum alloy. The base 6 can also be made of resin such as CFRP/PEEK.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 베이스(6)는, 패드 홀더(4)와 대략 동일 치수를 갖고, 평탄한 상면에 단면 직사각형의 베이스 홈(22)이 격자 형상으로 형성되어 있다. 따라서, 패드 홀더(4)의 평탄한 이면과 베이스(6)의 상면이 접합되면, 격자 형상의 베이스 홈(22)과 이것을 덮는 패드 홀더(4)의 이면에 의해, 격자 형상의 폐쇄 공간이 형성되게 된다.As shown in Fig. 1, the base 6 has substantially the same dimensions as the pad holder 4, and base grooves 22 having a rectangular cross section are formed in a lattice shape on a flat upper surface. Therefore, when the flat back surface of the pad holder 4 and the upper surface of the base 6 are joined, a lattice-shaped closed space is formed by the lattice-shaped base groove 22 and the back surface of the pad holder 4 covering it. do.

베이스 홈(22)은, 패드 홀더(4)와 베이스(6)가 접합되었을 때, 격자 형상의 베이스 홈(22)의 교점이 패드 홀더(4)에 형성된 연통 구멍(18)과 두께 방향으로 정렬되도록 배치되어 있다.When the pad holder 4 and the base 6 are joined, the intersection of the grid-shaped base grooves 22 is aligned with the communication hole 18 formed in the pad holder 4 in the thickness direction. are arranged so that

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)가 연결되면, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)이, 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)을 통해, 베이스(6)와 패드 홀더(4) 사이에 형성된 격자 형상의 폐쇄 공간의 교점에 연통되게 된다.With this configuration, when the porous pad 2, the pad holder 4, and the base 6 are connected, the suction hole 8 of the porous pad 2 passes through the communication hole 18 of the pad holder 4. Through this, it communicates with the intersection of the lattice-shaped closed space formed between the base 6 and the pad holder 4.

또한, 베이스(6)의 외주에는, 베이스 홈(22)을 베이스(6)의 외부의 진공원과 연통시키기 위한 관통 구멍인 진공 구멍(24)이 형성되어 있다.Further, a vacuum hole 24 as a through hole for communicating the base groove 22 with a vacuum source outside the base 6 is formed on the outer periphery of the base 6 .

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결한 상태에서, 진공 구멍(24)으로부터 진공 흡인을 행하면, 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)을 통해, 다공질 패드(2)의 각 흡인 구멍(8)으로부터 흡인이 행해지고, 다공질 패드(2) 상의 워크를 다공질 패드(2)를 향해 흡인할 수 있다.With this structure, when vacuum suction is performed from the vacuum hole 24 in a state where the porous pad 2, the pad holder 4, and the base 6 are connected, the communication hole 18 of the pad holder 4 is removed. Through this, suction is performed from each suction hole 8 of the porous pad 2, and the workpiece on the porous pad 2 can be suctioned toward the porous pad 2.

또한, 각 흡인 구멍(8)은, 격자 형상의 폐쇄 공간에 연통되므로, 각 흡인 구멍의 흡인 상태는 동일해진다.Moreover, since each suction hole 8 communicates with the lattice-shaped closed space, the suction state of each suction hole becomes the same.

패드 홀더(4)와 베이스(6)는, 나사, 볼트 등의 연결구에 의해 연결되어 있다. 베이스(6)의 상면의 외주를 따라 홈을 형성하고, 이 홈 내에 O링을 배치함으로써, 베이스(6)의 격자 형상의 베이스 홈(22)이 폐쇄 상태로 되도록 하여, 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결할 수 있다. 또한, 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 접착제로 연결하는 구성이어도 된다.The pad holder 4 and the base 6 are connected by connectors such as screws and bolts. A groove is formed along the outer circumference of the upper surface of the base 6, and an O-ring is placed in the groove so that the lattice-shaped base groove 22 of the base 6 is closed, and the pad holder 4 and The base 6 can be connected. In addition, a structure in which the pad holder 4 and the base 6 are connected with an adhesive may be used.

이러한 구성을 갖는 비접촉 흡착반은, 사용 시에는, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결한 상태에서, 가압 공기 입구(20)로부터 가압 공기를 홈(14)과 다공질 패드(2)에 의해 형성된 가압 기체 유로에 도입하고, 또한 베이스(6)의 진공 구멍으로부터 진공 흡인을 행함으로써, 다공질 패드(2) 상에서 워크를 부상시킨 상태에서 흡착하는 워크의 비접촉 흡착을 행할 수 있다.When in use, the non-contact adsorption disc having such a configuration supplies pressurized air from the pressurized air inlet 20 to the groove 14 and the groove 14 in a state where the porous pad 2, the pad holder 4, and the base 6 are connected. It is introduced into the pressurized gas passage formed by the porous pad 2 and vacuum suction is performed from the vacuum hole of the base 6 to perform non-contact adsorption of the work to be adsorbed while the work is floating on the porous pad 2. can

다음으로, 도 2를 따라, 비접촉 흡착에 대해 상세하게 설명한다.Next, referring to Fig. 2, the non-contact adsorption will be described in detail.

상술한 바와 같이, 사용 시에, 패드 홀더(4)의 홈(14)과 다공질 패드(2)에 의해 형성된 또한 가압 기체 유로 외부의 압축 공기원으로부터 가압 공기를 도입하면, 가압 공기는, 다공질 패드(2)의 세공을 통해 다공질 패드(2) 내에 침입하고, 도 2에 화살표 P로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 표면(2a)으로부터 분출된다. 도 2에 화살표 P로 나타내는 바와 같이 분출되는 가압 공기에 의해, 워크(W)는 패드(2)의 표면(흡착면)(2a)으로부터 부상한다.As described above, when pressurized air is introduced from a compressed air source outside the pressurized gas passage formed by the groove 14 of the pad holder 4 and the porous pad 2 during use, the pressurized air is It penetrates into the porous pad 2 through the pores of (2) and is blown out from the surface 2a of the porous pad 2 as indicated by the arrow P in FIG. 2 . As indicated by the arrow P in FIG. 2 , the workpiece W is lifted from the surface (adsorption surface) 2a of the pad 2 by the blown pressurized air.

한편, 가압 공기의 도입과 동시에 행해지는 베이스(6)의 진공 구멍(24)으로부터의 진공 흡인에 의해, 패드의 표면(흡착면) 상에 부상하고 있는 워크(W)는, 다공질 패드(2)의 각 흡인 구멍(8)으로부터, 화살표 V로 나타내는 바와 같이 흡인된다. 이 결과, 워크(W)는, 가압 공기에 의한 부력과 진공 흡인에 의한 흡인력이 균형이 잡힌 흡착면(2a)으로부터 상방으로 소정 거리 G만큼 이격된 위치에서, 비접촉 흡착 고정되게 된다.On the other hand, by vacuum suction from the vacuum hole 24 of the base 6 performed simultaneously with the introduction of pressurized air, the workpiece W floating on the surface of the pad (adsorption surface) is moved by the porous pad 2 From each suction hole 8 of , it is sucked as indicated by the arrow V. As a result, the work W is fixed by non-contact suction at a position spaced upward by a predetermined distance G from the adsorption surface 2a where the buoyancy force by pressurized air and the suction force by vacuum suction are balanced.

흡인 구멍(8)의 간격은, 예를 들어 25 내지 8㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 간격을 좁게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 간격을, 20㎜로부터 12㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.The space|interval of the suction hole 8 can be changed suitably in the range of 25-8 mm, for example. The narrower the interval, the higher the adsorption precision. For example, if the interval is changed from 20 mm to 12 mm, the accuracy is increased by 1.5.

또한, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)의 직경은, 예를 들어 0.8 내지 0.1㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 직경을 작게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 직경을 0.6㎜로부터 0.3㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.In addition, the diameter of the small-diameter part 8a of the suction hole 8 can be changed suitably within the range of 0.8-0.1 mm, for example. The smaller the diameter, the higher the adsorption precision. For example, if the diameter is changed from 0.6 mm to 0.3 mm, the accuracy is increased by 1.5 times.

또한, 단면 직사각형의 홈(가압 기체 유로)(14)의 폭은, 예를 들어 8.0 내지 1.0㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 폭을 작게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 폭을 4.0㎜로부터 2.0㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.In addition, the width of the cross-sectional rectangular groove (pressurized gas passage) 14 can be appropriately changed within the range of 8.0 to 1.0 mm, for example. The smaller the width, the higher the adsorption precision. For example, if the width is changed from 4.0 mm to 2.0 mm, the precision increases by 1.5.

흡인 구멍(8)의 간격, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)의 직경, 및 가압 기체 유로(14)의 폭을, 상기한 작은 값으로 변경함으로써, 두께 0.1㎜의 유리(워크)의 흡착 유지하였을 때의 소정 거리 G의 편차가 1/3 내지 1/4 정도로 되고, 흡착 정밀도가 높아졌다. 또한, 두께 0.05㎜의 필름에서는, 흡착 유지하였을 때의 소정 거리 G의 편차가 1/4 내지 1/5 정도로 되었다.By changing the interval between the suction holes 8, the diameter of the small-diameter portion 8a of the suction holes 8, and the width of the pressurized gas passage 14 to the small values described above, a glass (work) having a thickness of 0.1 mm can be obtained. The deviation of the predetermined distance G during adsorption and holding became about 1/3 to 1/4, and the adsorption precision was improved. In addition, in the case of a film having a thickness of 0.05 mm, the deviation of the predetermined distance G during adsorption and holding was about 1/4 to 1/5.

이러한 구성의 비접촉 흡착반을 사용하여 본 발명의 비접촉 반송 장치를 구성하는 경우에는, 부상시킨 워크(W)를, 흡착면(2a)을 따라 이동시키는 로봇 핸드 등이 부가된다.In the case of configuring the non-contact transport device of the present invention using the non-contact suction disc having such a structure, a robot hand or the like that moves the lifted workpiece W along the suction surface 2a is added.

다음으로, 본 발명의 바람직한 형태의 비접촉 반송 장치에 대해 설명한다.Next, a non-contact conveying device of a preferred embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 비접촉 반송 장치에서는, 비접촉 흡착반(1)과 같은 기본 구성을 갖는 비접촉 흡착반을 워크 반송 방향으로 배열함으로써 반송 경로를 형성하고, 이 반송 경로 상에서 박판 형상의 워크를 부상 흡착시키고, 로봇 핸드 등의 이송 수단으로, 워크를 반송 경로를 따라 반송한다.In the non-contact transport device of the present invention, a transport path is formed by arranging non-contact suction disks having the same basic configuration as the non-contact suction disk 1 in the work transport direction, and a thin plate-shaped work is lifted and adsorbed on this transport route, and the robot The workpiece is conveyed along the conveyance path by means of conveyance such as a hand.

도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치(30)에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 3의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 3 is a diagram showing the arrangement of non-contact suction disks in the non-contact transport device 30 of the first embodiment of the present invention. In addition, the direction indicated by the arrow A in FIG. 3 is the work transport direction.

도 3에 도시된 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치(30)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(32)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(34)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.In the non-contact transport device 30 of the first embodiment shown in FIG. 3, the first non-contact suction disk 32 on the upstream side of the transport direction and the second non-contact suction disk 34 on the downstream side of the transport direction are arranged in the transport direction. are arranged in contact with each other.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이(이하, 다른 실시 형태의 도면에 있어서도 마찬가지), 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.The first and second non-contact adsorption discs 32 and 34 have the same configuration as the non-contact adsorption disc 1 described above, and suction holes 8 are formed in a square lattice shape in the uppermost porous pad 2. has been Further, as indicated by the dotted lines on the porous pad 2 (the same applies to the drawings of other embodiments hereinafter), a lattice-shaped pressurized gas passage 14 is formed in the pad holder below the porous pad 2, there is.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 가압 기체 유로(14)는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)이 서로 대향하는 변을 따라(즉, 반송 방향에 직교하는 방향인 폭 방향으로) 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(36)에서 종단되어 있다.In this embodiment, the pressurized gas passage 14 of the 1st and 2nd non-contact adsorption disks 32 and 34 is the contact part (connection area) where the 1st and 2nd non-contact adsorption disks 32 and 34 contact each other. , wherein the first and second non-contact adsorption discs 32 and 34 terminate in end width direction passages 36 arranged to extend along opposite sides (that is, in the width direction, which is a direction orthogonal to the conveying direction), there is.

또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 각각에 있어서, 가장 접촉부에 가까운 측에 형성된 흡인 구멍(8, 8)간의 거리 d1이, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)에 있어서의 흡인 구멍간의 거리 d2보다 길게 설정되어 있다.Further, in each of the first and second non-contact adsorption discs 32 and 34, the distance d1 between the suction holes 8 and 8 formed on the side closest to the contact portion is the first and second non-contact adsorption discs 32, It is set longer than the distance d2 between suction holes in 34).

이러한 구성에 따르면, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 접속부에 있어서의 흡인 구멍(8)의 간격은, 다른 부분에 있어서의 간격보다 크게 되어 있고, 또한 격자 형상의 가압 기체 유로(14)는, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 유로(36)에서 종단되어 있으므로, 제1 비접촉 반송 장치(32)로부터 제2 비접촉 반송 장치(34)로 이송될 때, 워크, 특히 워크 선단은, 크게 부상하게 된다.According to this configuration, the interval between the suction holes 8 at the connecting portion of the first and second non-contact adsorption discs 32 and 34 is larger than the interval at other portions, and the lattice-shaped pressurized gas passage 14 terminates in the end channel 36 arranged so as to extend in the width direction, so when being transferred from the first non-contact conveying device 32 to the second non-contact conveying device 34, the workpiece, particularly the workpiece tip, , will be greatly injured.

도 4는 제1 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(30')에 있어서의 비접촉 흡착반(32', 34')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 4에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 4 is a diagram showing the arrangement of non-contact suction disks 32' and 34' in the non-contact transport device 30' of a modification of the first embodiment. In addition, also in FIG. 4, the direction indicated by the arrow A is the work conveyance direction.

도 4에 도시된 비접촉 반송 장치(30')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(32')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(34')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(30)와 동일한 구성을 구비하고 있다.In the non-contact conveyance device 30' shown in Fig. 4, the first non-contact adsorption disc 32' on the upstream side of the conveyance direction and the second non-contact adsorption disc 34' on the downstream side of the conveyance direction are arranged in a predetermined direction along the conveyance direction. It is provided with the same structure as the non-contact conveyance device 30 except that it is arranged spaced apart by the distance.

또한, 본 명세서에서는, 반송 방향으로 소정 거리 이격하여 배열된 상태도 「접속」에 포함한다.In addition, in this specification, "connection" also includes a state in which they are arranged apart from each other by a predetermined distance in the conveying direction.

이러한 구성에 있어서도, 제1 비접촉 반송 장치(32')로부터 제2 비접촉 반송 장치(34')로 이송될 때, 워크, 특히 워크 선단은, 크게 부상하게 된다. 이로 인해, 제1 비접촉 반송 장치(32')와 제2 비접촉 반송 장치(34')의 경계의 간극 또는 간극의 하방에 센서 등의 기기를 배치하는 구성 등에 유효하다.Also in this configuration, when being transferred from the first non-contact conveying device 32' to the second non-contact conveying device 34', the workpiece, particularly the tip of the workpiece, rises greatly. For this reason, it is effective for the configuration etc. in which apparatuses, such as a sensor, are arrange|positioned in the gap of the boundary between the 1st non-contact conveyance apparatus 32' and the 2nd non-contact conveyance apparatus 34', or below a gap.

도 5는 본 발명의 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반(40)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 5의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 5 is a diagram showing the arrangement of the non-contact suction disc 40 in the non-contact conveyance device of the second embodiment of the present invention. In addition, the direction indicated by the arrow A in FIG. 5 is the work transport direction.

도 5에 도시된 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치(40)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(42)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(44)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.In the non-contact transport device 40 of the second embodiment shown in FIG. 5, the first non-contact suction disk 42 on the upstream side of the transport direction and the second non-contact suction disk 44 on the downstream side of the transport direction are arranged in the transport direction. are arranged in contact with each other.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.The first and second non-contact adsorption discs 42 and 44 have the same configuration as the non-contact adsorption disc 1 described above, and suction holes 8 are formed in a square lattice shape in the uppermost porous pad 2. has been Further, as indicated by dotted lines on the porous pad 2, a pressurized gas passage 14 having a lattice shape is formed in the pad holder below the porous pad 2.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)의 가압 기체 유로(14)는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(46)에서 종단되어 있다.In this embodiment, the pressurized gas passage 14 of the 1st and 2nd non-contact adsorption disks 42 and 44 is a contact part (connection area) where the 1st and 2nd non-contact adsorption disks 42 and 44 contact each other. , which terminates in an end width direction passage 46 arranged to extend in the width direction.

또한, 본 실시 형태에서는, 단부 유로(46)의 폭은, 4㎜ 정도로, 가압 기체 유로(14)의 다른 부분보다 좁게 설정되어 있다.In this embodiment, the width of the end passage 46 is set narrower than that of other parts of the pressurized gas passage 14, about 4 mm.

도 6은 제2 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(40')에 있어서의 비접촉 흡착반(42', 44')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 6에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 6 is a diagram showing the arrangement of non-contact suction disks 42' and 44' in the non-contact transport device 40' of a modification of the second embodiment. In addition, also in FIG. 6, the direction indicated by the arrow A is the work conveyance direction.

도 6에 도시된 비접촉 반송 장치(40')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(42')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(44')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(40)와 동일한 구성을 구비하고 있다.In the non-contact transport device 40' shown in Fig. 6, the first non-contact suction disk 42' on the upstream side of the transport direction and the second non-contact suction disk 44' on the downstream side of the transport direction are arranged in a predetermined direction along the transport direction. It is provided with the same structure as the non-contact conveyance device 40 except that it is arranged spaced apart by the distance.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반(42')으로부터 제2 비접촉 흡착반(44')으로 이송될 때, 워크는, 선단이 상방을 향해 밀어 올려지고, 그 후, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42', 44')의 사이에 형성된 간극에서 자중에 의해 하방으로 가압되므로, 높이 위치가 유지된 채로 제2 비접촉 흡착반(44')으로 이송될 수 있다.According to this configuration, when being transferred from the first non-contact suction disk 42' to the second non-contact suction disk 44', the workpiece is pushed upward with its front end, and then the first and second non-contact suction disks 44'. Since it is pressed downward by its own weight in the gap formed between the suction disks 42' and 44', it can be transferred to the second non-contact suction disk 44' while maintaining its height position.

도 7은 본 발명의 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반(50)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 7의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 7 is a diagram showing the arrangement of the non-contact suction disk 50 in the non-contact conveyance device of the third embodiment of the present invention. In addition, the direction indicated by the arrow A in FIG. 7 is the work transport direction.

도 7에 도시된 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치(50)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(52)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(54)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.In the non-contact transport device 50 of the third embodiment shown in FIG. 7, the first non-contact suction disk 52 on the upstream side of the transport direction and the second non-contact suction disk 54 on the downstream side of the transport direction are arranged in the transport direction. are arranged in contact with each other.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.The first and second non-contact adsorption discs 52 and 54 have the same structure as the non-contact adsorption disc 1 described above, and suction holes 8 are formed in a square lattice shape in the uppermost porous pad 2. has been Further, as indicated by dotted lines on the porous pad 2, a pressurized gas passage 14 having a lattice shape is formed in the pad holder below the porous pad 2.

본 실시 형태에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(52)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(56)에서 종단되어 있다. In this embodiment, the lattice-shaped pressurized gas passage of the holder of the first non-contact adsorption disc 52 on the upstream side in the conveying direction is a contact portion (connection area) where the first and second non-contact adsorption discs 52 and 54 come into contact with each other. ), it ends at the end width direction passage 56 arranged so as to extend in the width direction.

또한, 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(54)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(58)에서 종단되어 있다.In addition, the lattice-shaped pressurized gas passage of the holder of the second non-contact adsorption disc 54 on the downstream side in the conveying direction is a contact portion (connection area) where the first and second non-contact adsorption discs 52 and 54 come into contact with each other. , the end extending in the conveying direction terminates in the conveying direction passage 58.

또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)에서는, 도 7의 상태에서 접촉 배치되었을 때, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)의 각각에 있어서, 접촉부에 가장 가까운 측에 형성된 흡인 구멍(8, 8)간의 거리 d3이, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54) 내에서 인접하는 흡인 구멍간의 거리와 동등해지도록 설정되어 있다.Further, in the first and second non-contact adsorption disks 52 and 54, when placed in contact with each other in the state shown in Fig. 7, the side closest to the contact portion in each of the first and second non-contact suction disks 52 and 54 The distance d3 between the suction holes 8 and 8 formed in is set so as to be equal to the distance between the adjacent suction holes within the first and second non-contact suction discs 52 and 54.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반(52)으로부터 제2 비접촉 흡착반(54)에 걸쳐, 흡인 구멍(8)이 대략 등피치로 형성되고, 또한 흡인 구멍(8)과 폭 방향의 가압 기체 유로가 교대로 배치되게 되므로, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(52)으로부터 제2 비접촉 흡착반(54)으로 이송될 수 있다.According to this configuration, the suction holes 8 are formed at substantially equal pitches from the first non-contact suction disk 52 to the second non-contact suction disk 54, and the suction holes 8 and the pressurized gas passage in the width direction are formed. Since are arranged alternately, the work can be transferred from the first non-contact suction disk 52 to the second non-contact suction disk 54 in a state where the height position is maintained.

도 8은 제3 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(50')에 있어서의 비접촉 흡착반(52', 54')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 7에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 8 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs 52' and 54' in a non-contact transport device 50' of a modification of the third embodiment. In addition, also in FIG. 7, the direction indicated by the arrow A is the work conveyance direction.

도 8에 도시된 비접촉 반송 장치(50')는, 제1 비접촉 흡착반(52')과 제2 비접촉 흡착반(54')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 도 7의 비접촉 반송 장치(50)와 동일한 구성을 구비하고 있다.In the non-contact transport device 50' shown in Fig. 8, except that the first non-contact suction disk 52' and the second non-contact suction disk 54' are arranged apart from each other by a predetermined distance along the transport direction. and has the same configuration as the non-contact transport device 50 of FIG. 7 .

도 9는 본 발명의 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치(60)에 있어서의 비접촉 흡착반(62, 64)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 9의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 9 is a diagram showing the arrangement of the non-contact suction disks 62 and 64 in the non-contact transport device 60 of the fourth embodiment of the present invention. In addition, the direction indicated by the arrow A in FIG. 9 is the work transport direction.

도 9에 도시된 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치(60)에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)과 제2 비접촉 흡착반(64)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.In the non-contact conveyance device 60 of the fourth embodiment shown in FIG. 9 , the first non-contact adsorption disc 62 and the second non-contact adsorption disc 64 are arranged in a contact state along the conveyance direction.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.The first and second non-contact adsorption discs 62 and 64 have the same structure as the non-contact adsorption disc 1 described above, and suction holes 8 are formed in a square lattice shape in the uppermost porous pad 2. has been Further, as indicated by dotted lines on the porous pad 2, a pressurized gas passage 14 having a lattice shape is formed in the pad holder below the porous pad 2.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)에 있어서, 흡인 구멍 및 폭 방향의 가압 기체 통로가, 폭 방향(즉, 반송 방향에 직교하는 방향)의 한쪽의 측(도 9 하측)과 다른 쪽의 측(도 9 상측)에서, 반송 방향으로 반 피치 어긋나 배치되어 있다.In this embodiment, in the first and second non-contact adsorption discs 62 and 64, the suction hole and the pressurized gas passage in the width direction are formed on one side of the width direction (ie, the direction orthogonal to the conveyance direction) (Fig. 9 lower side) and the other side (upper side in FIG. 9 ), they are displaced by half pitch in the transport direction.

그리고, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에 있어서는, 폭 방향으로 연장되는 단부 폭 방향 유로(66)에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에 있어서는, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(68)에서 종단되어 있다.Further, in the present embodiment, the lattice-shaped pressurized gas flow path of the holder of the first non-contact adsorption disc 62 has an end width direction flow path extending in the width direction on one side in the width direction (lower side in FIG. 9 ) ( 66), and on the other side of the width direction (upper side in Fig. 9), it terminates at an end conveyance direction passage 68 extending in the conveyance direction.

즉, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에서는, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에서는, 반송 방향 하류측을 향해 개방된 직사각형 부분에서 종단되어 있다.That is, in the present embodiment, the lattice-shaped pressurized gas passages of the holder of the first non-contact suction disk 62 end at a closed rectangular portion on one side in the width direction (lower side in Fig. 9), and in the width direction On the other side (upper side in Fig. 9), it terminates in a rectangular portion open toward the downstream side in the transport direction.

이 결과, 제1 비접촉 흡착반(62)에서는, 가압 기체 유로가 지그재그 형상으로 배치되어 있게 된다.As a result, in the 1st non-contact adsorption board 62, the pressurized gas flow path is arrange|positioned in a zigzag shape.

또한, 본 실시 형태에서는, 제2 비접촉 흡착반(64)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에 있어서는, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(68)에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에 있어서는, 폭 방향으로 연장되는 단부 폭 방향 유로(66)에서 종단되어 있다.Further, in the present embodiment, the lattice-shaped pressurized gas flow path of the holder of the second non-contact suction disk 64 has an end conveyance direction flow path extending in the conveyance direction on one side in the width direction (lower side in FIG. 9 ) ( 68), and on the other side in the width direction (upper side in Fig. 9), an end portion extending in the width direction terminates in the width direction flow path 66.

즉, 본 실시 형태에서는, 제2 비접촉 흡착반(64)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 상측)에서는, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 하측)에서는, 반송 방향 상류측을 향해 개방된 직사각형 부분에서 종단되어 있다.That is, in the present embodiment, the lattice-shaped pressurized gas passages of the holder of the second non-contact suction disc 64 end at a closed rectangular portion on one side in the width direction (upper side in Fig. 9), and in the width direction On the other side (lower side in FIG. 9 ), it terminates in a rectangular portion opened toward the upstream side in the conveying direction.

이 결과, 제2 비접촉 흡착반(64)에서도, 가압 기체 유로가 지그재그 형상으로 배치되어 있게 된다.As a result, also in the second non-contact suction disk 64, the pressurized gas passages are arranged in a zigzag shape.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)과 제2 비접촉 흡착반(64)이, 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 지그재그 형상으로 배치되어 있는 가압 기체 유로가 상대적으로 상보적 배치로 되도록 배열되어 있다.In addition, in this embodiment, the pressurized gas passages in which the first non-contact adsorption disk 62 and the second non-contact adsorption disk 64 are arranged in a zigzag shape, as shown in Fig. 9, are relatively complementary. are arranged so that

즉, 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62)의 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분이, 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64)의 가압 기체 유로의 반송 방향 상류측을 향해 개방된 직사각형 부분에, 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다. 그리고, 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62)의 가압 기체 유로의 반송 방향 하류측을 향해 개방된 직사각형 부분이, 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64)의 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에, 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다.That is, the closed rectangular portion of the pressurized gas flow path of the first non-contact adsorption disc 62 on the upstream side is the rectangular portion open toward the upstream side of the pressurized gas flow path of the second non-contact adsorption disc 64 on the downstream side in the conveying direction. , they are arranged so as to be aligned along the conveying direction. Then, the rectangular portion opened toward the downstream side in the transport direction of the pressurized gas flow path of the first non-contact adsorption disc 62 on the upstream side is the closed rectangular portion of the pressurized gas flow path of the second non-contact adsorption disc 64 on the downstream side. , they are arranged so as to be aligned along the conveying direction.

이러한 구성에 따르면, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)의 접속부에 있어서도, 흡인 구멍과 폭 방향의 가압 기체 유로가 등피치로 배치되므로, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(62)으로부터 제2 비접촉 흡착반(64)으로 이송될 수 있다.According to this structure, also in the connection part of the 1st and 2nd non-contact adsorption discs 62 and 64, since the suction hole and the pressurized gas flow path in the width direction are arrange|positioned at equal pitch, the workpiece|work is maintained in the height position, and the 1st It can be transferred from the non-contact suction disk 62 to the second non-contact suction disk 64.

도 10은 제4 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(60')에 있어서의 비접촉 흡착반(62', 64')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 10에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 10 is a diagram showing the arrangement of non-contact adsorption discs 62' and 64' in a non-contact transport device 60' of a modification of the fourth embodiment. In addition, also in FIG. 10, the direction indicated by the arrow A is the work conveyance direction.

도 10에 도시된 비접촉 반송 장치(60')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(60)와 동일한 구성을 구비하고 있다.In the non-contact transport device 60' shown in Fig. 10, the first non-contact suction disk 62' on the upstream side of the transport direction and the second non-contact suction disk 64' on the downstream side of the transport direction are arranged in a predetermined direction along the transport direction. It has the same structure as the non-contact conveyance device 60 except that it is arranged spaced apart by the distance.

이러한 구성에 있어서도, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62', 64')의 접속부에 있어서, 흡인 구멍과 폭 방향의 가압 기체 유로를 등피치로 배치할 수 있고, 이에 의해, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(62')으로부터 제2 비접촉 흡착반(64')으로 이송될 수 있다.Also in this configuration, in the connecting portion of the first and second non-contact adsorption discs 62' and 64', the suction hole and the pressurized gas passage in the width direction can be arranged at an equal pitch, whereby the workpiece is positioned at a height. It can be transferred from the first non-contact adsorption disc 62' to the second non-contact adsorption disc 64' in a maintained state.

도 11 및 도 12는 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.11 and 12 are diagrams showing other arrangement examples of non-contact suction disks in the non-contact conveyance device.

도 11의 비접촉 반송 장치(70)에서는, 비접촉 흡착반을 긴 변이 워크의 반송 방향을 따르도록 배향시키고, 8행 2열로 배열하고 있다. 이 구성에서는, 비접촉 흡착반의 열의 사이는 이격되고, 반송 방향에 있어서의 가압 기체 유로의 관계는 도 4의 형태와 마찬가지의 배치로 되어 있다.In the non-contact conveyance device 70 of FIG. 11, the long sides of the non-contact suction discs are oriented along the conveyance direction of the workpiece, and are arranged in 8 rows and 2 columns. In this configuration, the rows of non-contact adsorption disks are spaced apart, and the relationship between the pressurized gas passages in the transport direction is the same arrangement as that of FIG. 4 .

도 12의 비접촉 반송 장치(80)에서는, 비접촉 흡착반을 짧은 변이 워크의 반송 방향을 따르도록 배향시키고, 2행 4열로 배열하고 있다. 이 구성에서는, 비접촉 흡착반의 열의 사이는 이격되고, 가압 기체 유로의 배치는 도 4의 형태와 마찬가지의 배치로 되어 있다.In the non-contact conveying device 80 of FIG. 12, the non-contact adsorption disks are oriented so that their short sides follow the conveying direction of the workpiece, and are arranged in 2 rows and 4 columns. In this configuration, the rows of non-contact adsorption disks are spaced apart, and the arrangement of the pressurized gas passages is the same as that of Fig. 4 .

도 11 및 도 12에 도시된 비접촉 반송 장치(70, 80)는, 비접촉 흡착반의 상하류에 배치된 복수기의 부상 장치(90)를 구비하고 있다. 이 부상 장치(90)는, 예를 들어 다공질판으로부터 분출되는 가압 공기로 워크를 부상시키는 방식의 것이다.The non-contact conveyance devices 70 and 80 shown in Figs. 11 and 12 are provided with a plurality of floatation devices 90 arranged upstream and downstream of the non-contact suction disk. This floating device 90 is of a system that lifts a workpiece with pressurized air blown out from a porous plate, for example.

비접촉 반송 장치(70, 80)에서는, 각 비접촉 흡착반은, 복수개의 바 상에 뗏목 형상으로 연결 고정, 또는 대형의 기판 상에 고정되거나 하여 소정 상태로 배열되어 있다.In the non-contact transport devices 70 and 80, each non-contact adsorption disc is connected and fixed on a plurality of bars in a raft shape or fixed on a large substrate, and is arranged in a predetermined state.

이들 비접촉 반송 장치(70, 80)에서는, 어느 비접촉 흡착반의 폭 방향 측방에 접촉 상태로 배치되는 다른 비접촉 흡착반은, 어느 비접촉 흡착반측에 위치하는 측부 테두리부(측방측의 접촉 영역)에서, 가압 기체 유로가, 비접촉 흡착반의 길이 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)에서 종단되어 있다. 이 구성을, 도 13을 예로 설명한다.In these non-contact conveyance devices 70 and 80, the other non-contact adsorption discs disposed in a contact state on the widthwise side of a certain non-contact adsorption disc are pressurized at the side edge portion (contact area on the side side) located on the side of a certain non-contact adsorption disc. The gas flow path terminates in a groove (width direction groove) extending in a direction (W direction) orthogonal to the longitudinal direction of the non-contact suction disk. This configuration will be described as an example in FIG. 13 .

도 13에 도시되어 있는 구성은, 도 10의 비접촉 반송 장치(60')를 구성하는 각 비접촉 흡착반(62', 64')의 측방에, 각각, 제1 및 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")이 접촉 상태로 배치된 구성을 구비하고 있다.In the configuration shown in FIG. 13, the first and second additional non-contact suction disks ( 62" and 64") are arranged in a contact state.

비접촉 흡착반(62', 64')에 접촉 배치된 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")에서는, 일측의 접촉 영역, 즉, 비접촉 흡착반(62', 64')과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)(66")에서 종단되어 있다.In the first additional non-contact adsorption disks 62" and 64" disposed in contact with the non-contact adsorption disks 62' and 64', the contact region on one side, that is, the contact with the non-contact adsorption disks 62' and 64' In the region, a pressurized fluid groove (pressurized gas passage) 14 terminates in a groove (width direction groove) 66" extending in a direction (W direction) orthogonal to the transport direction.

또한, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 타측의 접촉 영역, 즉, 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향으로 연장되는 홈(68")에서 종단되어 있다.Further, in the contact area of the other side of the first additional non-contact suction discs 62" or 64", that is, the contact area with the second additional non-contact suction discs 62" or 64", the pressurized fluid groove (pressurized fluid) The gas flow path) 14 terminates in a groove 68" extending in the conveying direction.

또한, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 다른 쪽의 측에 접촉 배치된 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")에서는, 일측의 접촉 영역, 즉, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)(66")에서 종단되어 있다.Further, in the second additional non-contact suction disks 62" and 64" disposed in contact with the other side of the first additional non-contact suction disks 62" and 64", the contact area on one side, that is, the first In the contact area with the additional non-contact adsorption discs 62" and 64", a pressurized fluid groove (pressurized gas flow path) 14 extends in a direction (W direction) orthogonal to the transport direction (width direction groove). ) (66").

또한, 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 타측에 있어서, 가압 유체 홈(14)은, 반송 방향으로 연장되는 홈(68")에서 종단되어 있다.Further, on the other side of the second additional non-contact suction disks 62" and 64", the pressurized fluid groove 14 terminates in a groove 68" extending in the conveying direction.

이 구성에서는, 인접하는 비접촉 흡착반간에 있어서의, 흡인 구멍(8)의 폭 방향(W 방향) 간격 d4가, 동일 비접촉 흡착반 내에 있어서의 흡인 구멍(8)의 폭 방향(W 방향) 간격 d5와 거의 동등해지도록 설정되어 있다.In this configuration, the width direction (W direction) interval d4 of the suction holes 8 between adjacent non-contact suction disks is the width direction (W direction) interval d5 of the suction holes 8 in the same non-contact suction disk. is set to be almost equal to

즉, 비접촉 흡착반(62')의 제1 추가의 비접촉 흡착반(62")측의 흡인 구멍(8)과, 비접촉 흡착반(62')에 접촉 배치된 제1 추가의 비접촉 흡착반(62")의 비접촉 흡착반(62')측의 흡인 구멍(8) 사이의, 폭 방향(W 방향) 간격 d4가, 각 비접촉 흡착반(62', 62") 내에 있어서의 흡인 구멍(8)간의 폭 방향(W 방향) 간격 d5와 거의 동등해지도록 구성되어 있다.That is, the suction hole 8 on the side of the first additional non-contact suction disk 62" of the non-contact suction disk 62' and the first additional non-contact suction disk 62 placed in contact with the non-contact suction disk 62'. The interval d4 in the width direction (W direction) between the suction holes 8 on the side of the non-contact suction disks 62' of ") is between the suction holes 8 in the respective non-contact suction disks 62' and 62". It is comprised so that it may become substantially equal to the width direction (W direction) spacing d5.

또한, 서로 동등한 상기 d4, d5는, 비접촉 흡착반 내의 인접하는 흡인 구멍(8)의 길이 방향 간격 d6과도 동등해지도록 구성되어 있다.In addition, said d4 and d5 which are equal to each other are comprised so that it may become equal also to the distance d6 of the longitudinal direction of the suction hole 8 adjoining in a non-contact suction disc|board.

다음으로, 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에 대해 설명한다.Next, the non-contact conveyance device 90 of the fifth embodiment of the present invention will be described.

도 14는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에 있어서의 비접촉 흡착반(92, 94)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 14의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.Fig. 14 is a diagram showing the arrangement of the non-contact suction disks 92 and 94 in the non-contact transport device 90 of the fifth embodiment of the present invention. In addition, the direction indicated by the arrow A in FIG. 14 is the work transport direction.

도 14에 도시된 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에서는, 제1 비접촉 흡착반(92)과 제2 비접촉 흡착반(94)이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격한 상태로 배열되어 있다.In the non-contact conveyance device 90 of the fifth embodiment shown in FIG. 14, the first non-contact adsorption disc 92 and the second non-contact adsorption disc 94 are arranged apart from each other by a predetermined distance along the conveyance direction. there is.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 기본 구성을 구비하고 있다. 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더(4)에는, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다. 또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지로, 다공질 패드에 형성된 복수의 흡인 구멍(8)을 구비하고 있다.The 1st and 2nd non-contact adsorption disks 92 and 94 are equipped with the same basic structure as the non-contact adsorption disk 1 mentioned above. In the pad holder 4 below the porous pad 2, a pressurized gas passage 14 having a lattice shape is formed on the porous pad 2 as indicated by a dotted line. Further, the first and second non-contact adsorption disks 92 and 94 are provided with a plurality of suction holes 8 formed in porous pads, similarly to the non-contact suction disk 1 described above.

상술한 비접촉 흡착반(1)과의 차이점은, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)이, 가압 기체 유로(14)에 더하여, 이 가압 기체 유로(14)와 분리된 독립 가압 기체 유로(96)를 구비하고 있는 점, 및 흡인 구멍(8)과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍(98)을 구비하고 있는 점이다.The difference from the above-mentioned non-contact adsorption disk 1 is that the first and second non-contact adsorption disks 92 and 94 are independent pressurized gas separated from the pressurized gas passage 14 in addition to the pressurized gas passage 14. It is a point provided with the flow path 96, and a point provided with the independent suction hole 98 which becomes a suction state different from the suction hole 8.

이하, 이 점에 대해, 상세하게 설명한다.Hereinafter, this point is demonstrated in detail.

상술한 바와 같이, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 독립 가압 기체 유로(96)가, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측의 테두리부에 있어서, 반송 방향 A에 직교하여 연장되도록 형성되어 있다. 상세하게는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에 있어서, 각 독립 가압 기체 유로(96)는, 다른 비접촉 흡착반(94, 92)과의 접속 영역에 있어서, 가압 기체 유로(14)의 종단부의 단부(선단)측에 형성되어 있다.As described above, in the first and second non-contact adsorption disks 92 and 94 used in the non-contact transport device of the fifth embodiment, the independent pressurized gas passage 96 is attached to the other non-contact suction disks 94 and 92. ) and the edge portion on the side connected to, it is formed so as to extend orthogonally to the transport direction A. In detail, in the first and second non-contact adsorption disks 92 and 94, each independent pressurized gas passage 96 has a pressurized gas passage ( It is formed on the end (front end) side of the terminal part of 14).

각 독립 가압 기체 유로(96)는, 도 15에 도시되는 바와 같이, 패드 홀더(4)에 홈(14)과는 분리된, 즉, 가압 기체 유로(14)와는 연통되지 않는 상태로 형성된 독립 급기 홈(96)에 의해 구성되어 있다[도 15는 비접촉 흡착반(92)에 대해서는, 독립 급기 홈(96)을 명확하게 나타내기 위해 다른 구성은 생략하고 있음]. 이 결과, 독립 가압 기체 유로(96)에는, 가압 기체 유로(14)와는 다른 유량, 압력의 가압 유체를 공급할 수 있다.As shown in FIG. 15 , each independent pressurized gas passage 96 is separated from the groove 14 in the pad holder 4, that is, an independent air supply formed in a state not communicating with the pressurized gas passage 14. It is constituted by the grooves 96 (in Fig. 15, other components of the non-contact adsorption plate 92 are omitted in order to clearly show the independent air supply grooves 96). As a result, it is possible to supply a pressurized fluid at a flow rate and pressure different from that of the pressurized gas passage 14 to the independent pressurized gas passage 96 .

또한, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측에 배열된 흡기 구멍이, 다른 흡인 구멍(8)과는 상이한 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍(98)으로서 구성되어 있다. 상세하게는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에 있어서, 가장 다른 비접촉 흡착반(94, 92)측(선단측)에 위치하는 흡인 구멍이, 독립 흡인 구멍(98)으로서 구성되어 있다.Further, in the first and second non-contact adsorption discs 92 and 94 used in the non-contact conveyance device of the fifth embodiment, the intake holes arranged on the side connected to the other non-contact adsorption discs 94 and 92 are It is constituted as an independent suction hole 98 that is in a different suction state from the other suction holes 8 . In detail, in the first and second non-contact adsorption disks 92 and 94, the suction holes located on the most different non-contact suction disks 94 and 92 side (front end side) are configured as independent suction holes 98. has been

각 독립 흡인 구멍(98)은, 도 15에 도시되는 바와 같이, 각 흡인 구멍(8)이 연통되는 베이스(6)의 베이스(22)와는 상이한 흡인 홈(100)에 연통되어 있다[도 15는 비접촉 흡착반(94)에 대해서는, 독립 흡인 구멍(98), 흡인 홈(100)을 명확하게 나타내기 위해 다른 구성은 생략하고 있음]. 이 결과, 독립 흡인 구멍(98)은, 다른 흡인 구멍(8)과는 상이한 흡인 상태로 할 수 있다.As shown in Fig. 15, each independent suction hole 98 communicates with a suction groove 100 different from the base 22 of the base 6 with which each suction hole 8 communicates (Fig. 15 shows Regarding the non-contact adsorption plate 94, other configurations are omitted to clearly show the independent suction holes 98 and the suction grooves 100]. As a result, the independent suction hole 98 can be in a suction state different from that of the other suction holes 8 .

이러한 구성에 따르면, 반송 방향으로 직렬 배치된 2매의 비접촉 흡착반(92, 94)의 접속 영역에서는, 다른 영역과 상이한 흡인 상태를 실현하는 것이 가능해진다. 이로 인해, 가압 기체 유로(14) 및 독립 가압 기체 유로(96)에의 가압 기체 공급 상태, 또한 흡인 구멍(8) 및 독립 흡인 구멍(98)으로부터 흡인 상태를 적절히 조정함으로써, 2매의 비접촉 흡착반(92, 94) 사이에서의 박판 형상 워크의 이송 등을 원활하게 행하는 것이 가능해진다.According to this configuration, in the connection area of the two sheets of non-contact adsorption discs 92 and 94 arranged in series in the transport direction, it becomes possible to realize a different suction state from the other areas. For this reason, by appropriately adjusting the state of supplying pressurized gas to the pressurized gas passage 14 and the independent pressurized gas passage 96 and the state of suction from the suction hole 8 and the independent suction hole 98, the two non-contact suction discs It becomes possible to smoothly transfer the thin-plate-shaped workpiece between (92, 94).

또한, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 독립 가압 기체 유로(96)가, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측의 테두리부에 있어서, 반송 방향 A에 직교하여 연장되도록 형성되어 있었다. 그러나, 본 발명의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로(96)의 구성은, 이것에 한정되는 것은 아니다.In addition, in the non-contact adsorption discs 92 and 94 used in the non-contact conveyance device of the fifth embodiment, the independent pressurized gas passage 96 is connected to the edge portion of the other non-contact adsorption discs 94 and 92. , it was formed so as to extend orthogonally to the transport direction A. However, the configuration of the independent pressurized gas flow path 96 of the non-contact adsorption disk used in the non-contact transport device of the present invention is not limited to this.

예를 들어, 도 16에 도시되어 있는 바와 같이, 비접촉 흡착반의 주연 전체에 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(102)가 형성된 구성, 도 17에 도시되어 있는 바와 같이 비접촉 흡착반의 양 측부 테두리를 따라 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(104)가 형성된 구성이어도 된다.For example, as shown in FIG. 16, an independent pressurized gas passage 102 is formed so as to extend along the entire periphery of the non-contact adsorption disc, and as shown in FIG. 17, it extends along both side edges of the non-contact adsorption disc. A structure in which an independent pressurized gas passage 104 is formed may be used as much as possible.

도 17의 구성에서는, 워크의 양 측부 테두리에 있어서의 부력을 독립적으로 제어할 수 있다. 이로 인해, 워크의 양 측부 테두리의 부력을 상대적으로 작게 혹은 크게 함으로써, 워크를 반송 방향에 직교하는 방향으로 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 하여, 비접촉 상태로 흡착 유지할 수 있다.In the configuration shown in Fig. 17, the buoyancy at both side edges of the workpiece can be independently controlled. Therefore, by making the buoyancy of both side edges of the workpiece relatively small or large, the workpiece can be made into a convex or concave shape in a direction orthogonal to the transport direction, and can be adsorbed and held in a non-contact state.

또한, 도 18에 도시되어 있는 바와 같이, 비접촉 흡착반의 폭 방향 중앙을 길이 방향으로 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(106)가 형성된 구성, 도 19에 도시되어 있는 바와 같이 비접촉 흡착반의 선단측 영역의 폭 방향 중앙에 직사각 형상의 독립 가압 기체 유로(108)가 형성된 구성이어도 된다.In addition, as shown in FIG. 18, an independent pressurized gas passage 106 is formed so as to extend in the longitudinal direction from the center of the width direction of the non-contact adsorption disc, and as shown in FIG. 19, the front area of the non-contact adsorption disc A structure in which a rectangular independent pressurized gas passage 108 is formed at the center in the width direction may be used.

도 18의 구성에서는, 워크의 폭 방향 중앙부에 있어서의 부력을 독립적으로 제어할 수 있다. 이로 인해, 워크의 폭 방향 중앙부에 있어서의 부력을, 상대적으로 크게 혹은 작게 함으로써, 워크를 반송 방향에 직교하는 방향으로 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 하여, 비접촉 상태로 흡착 유지할 수 있다.18, the buoyancy at the central part in the width direction of the workpiece can be independently controlled. For this reason, by making the buoyancy force in the center part of the width direction of the workpiece relatively large or small, the workpiece can be adsorbed and held in a non-contact state in a convex shape or a concave shape in a direction orthogonal to the transport direction.

또한, 도 17에 도시되는 구성과 도 18에 도시되는 구성을 조합하여, 비접촉 흡착반의 양 측부 테두리를 따라 연장되는 독립 가압 기체 유로와, 폭 방향 중앙을 길이 방향으로 연장되는 독립 가압 기체 유로를 구비한 비접촉 흡착반이어도 된다.In addition, by combining the configuration shown in FIG. 17 and the configuration shown in FIG. 18, an independent pressurized gas passage extending along both side edges of the non-contact adsorption disc and an independent pressurized gas passage extending longitudinally from the center in the width direction are provided. It may be a single non-contact adsorption plate.

이들 독립 가압 기체 유로(102, 104, 106, 108)도, 독립 가압 기체 유로(100)와 마찬가지로, 패드 홀더(4)에 홈(14)과는 분리된, 즉, 가압 기체 유로(14)와는 연통되지 않는 상태로 형성된 독립 급기 홈에 의해 구성되어 있다.Like the independent pressurized gas passage 100, these independent pressurized gas passages 102, 104, 106, 108 are also separated from the groove 14 in the pad holder 4, that is, separate from the pressurized gas passage 14. It is composed of independent air supply grooves formed in a non-communicating state.

또한, 도 16 내지 도 19에 나타내는 실시 형태에서는, 독립 가압 기체 유로의 주위에 배치된 흡인 구멍을 독립 흡인 구멍으로 하는 것이 바람직하다.In the embodiments shown in FIGS. 16 to 19 , it is preferable to make the suction holes disposed around the independent pressurized gas passages as independent suction holes.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로, 독립 흡인 구멍이 형성된 영역에서는, 다른 영역과 상이한 흡인 상태를 실현하는 것이 가능해진다.According to this configuration, in the region where the independent pressurized gas flow path and the independent suction hole are formed, it is possible to realize a suction state different from that in other regions.

상기 본 발명의 각 실시 형태 및 그 변형예의 비접촉 반송 장치에서 사용된 비접촉 흡착반을, 비접촉 상태로 워크를 보유 지지하기 위한 비접촉 흡착반으로서, 단독으로 사용하는 것도 가능하다.It is also possible to use the non-contact adsorption disc used in the non-contact conveyance device of each embodiment of the present invention and its modification independently as a non-contact adsorption disc for holding a workpiece in a non-contact state.

다음으로, 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반에 대해 설명한다.Next, the non-contact adsorption board of another form of this invention is demonstrated.

도 20은 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반(120)을 도시하는 개략적인 평면도이다. 도 20에 도시된 비접촉 흡착반(120)은, 외형이 원형이지만, 상기 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 기본 구성을 구비하고, 다공질 패드(122)와, 패드 홀더와, 베이스(6)를 구비하고 있다. 비접촉 흡착반(120)도, 상기한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지로 박판 형상의 워크를 비접촉 흡착하지만, 박판 형상의 워크 흡착 유지 장치로서 단독으로 사용되는 것이다.Fig. 20 is a schematic plan view showing a non-contact adsorption plate 120 of another form of the present invention. The non-contact adsorption disc 120 shown in FIG. 20 has a circular appearance, but has the same basic configuration as the non-contact adsorption disc 1, and includes a porous pad 122, a pad holder, and a base 6. are equipped The non-contact adsorption disc 120 also non-contact adsorbs a thin-plate-shaped workpiece similarly to the non-contact adsorption disc 1 described above, but is used alone as a thin-plate-shaped workpiece adsorption-holding device.

비접촉 흡착반(120)에 있어서도, 다공질 패드(122)에는, 비접촉 흡착반(1)의 흡인 구멍(8)과 마찬가지의 흡인 구멍(124)이 형성되어 있다. 또한, 비접촉 흡착반(1)의 가압 기체 유로(14)와 마찬가지의 가압 기체 유로(126)가 형성되어 있다. 또한, 비접촉 흡착반(120)에 있어서는, 다공질 패드 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 가압 기체 유로(126)는, 환상 및 방사상 부분으로부터 일체적으로 구성되어 있다.Also in the non-contact adsorption disc 120, a suction hole 124 similar to the suction hole 8 of the non-contact adsorption disc 1 is formed in the porous pad 122. Also, a pressurized gas passage 126 similar to the pressurized gas passage 14 of the non-contact adsorption disc 1 is formed. In addition, in the non-contact adsorption board 120, as indicated by the dotted line on the porous pad, the pressurized gas passage 126 is integrally formed from annular and radial portions.

비접촉 흡착반(120)에서는, 패드 홀더의 주연부에, 가압 기체 유로(126)로부터 분리한 환상의 독립 가압 기체 유로(128)가 형성되어 있다. 독립 가압 기체 유로(128)는, 제5 실시 형태의 독립 가압 기체 유로(96)와 마찬가지로, 가압 기체 유로(126)와 연통되지 않고, 가압 기체 유로(126)에 공급되는 가압 기체와는 다른 유량, 압력 등의 가압 기체를 공급할 수 있도록 구성되어 있다.In the non-contact suction disk 120, an annular independent pressurized gas passage 128 separated from the pressurized gas passage 126 is formed at the periphery of the pad holder. Like the independent pressurized gas passage 96 of the fifth embodiment, the independent pressurized gas passage 128 does not communicate with the pressurized gas passage 126, and the flow rate is different from that of the pressurized gas supplied to the pressurized gas passage 126. , It is configured to supply pressurized gas such as pressure.

이 결과, 비접촉 흡착반(120)으로 원형의 워크를 흡착 유지하는 경우, 워크의 외측 테두리부만 흡인을 상대적으로 강화하거나, 약화시켜, 워크를, 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 비접촉으로 흡착 유지하는 것 등이 가능해진다.As a result, when a circular workpiece is adsorbed and held by the non-contact suction disk 120, suction is relatively strengthened or weakened only at the outer edge of the workpiece, and the workpiece is adsorbed and held in a convex or concave shape in a non-contact manner. etc. is possible.

비접촉 흡착반(120)에서는, 흡인 구멍(124)은, 모두 동일한 흡인 상태로 되지만, 상기 제5 실시 형태와 같이, 일부의 흡인 구멍을, 독립 흡인 구멍으로 한 구성이어도 된다.In the non-contact adsorption plate 120, all of the suction holes 124 are in the same suction state, but a structure in which some of the suction holes are independent suction holes may be used as in the fifth embodiment.

도 21은 상기 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반(120)의 변형예의 비접촉 흡착반(130)을 도시하는 도면이다.Fig. 21 is a diagram showing a non-contact suction disk 130 of a modified example of the non-contact suction disk 120 of another form of the present invention.

도 21에 도시된 비접촉 흡착반(130)은, 비접촉 흡착반(120)에서는, 일체적으로 구성되어 있었던 가압 기체 유로(126)를, 중심부의 제1 가압 기체 유로(132)와, 직경 방향 중간부의 제2 가압 기체 유로(134)로 분리하고, 각각에, 다른 유량, 압력의 가압 기체를 공급 가능하게 한 점에서, 비접촉 흡착반(120)과 다르다.In the non-contact adsorption disk 130 shown in FIG. 21, the pressurized gas flow path 126 integrally formed is integrated with the first pressurized gas flow path 132 at the center and the middle in the radial direction. It is different from the non-contact adsorption plate 120 in that it is separated by the negative second pressurized gas passage 134, and pressurized gas of different flow rate and pressure can be supplied to each.

즉, 비접촉 흡착반(120)에서는, 중앙부의 제1 가압 기체 유로(132)와, 직경 방향 중간부의 제2 가압 기체 유로(134)와, 직경 방향 외측부의 독립 가압 기체 유로(128)의 3 계통의 가압 기체 유로가, 각각, 독립적으로 형성되어 있다.That is, in the non-contact adsorption disk 120, three systems are provided: the first pressurized gas passage 132 at the center, the second pressurized gas passage 134 at the middle in the radial direction, and the independent pressurized gas passage 128 at the outer side in the radial direction. The pressurized gas passages of are formed independently of each other.

또한, 흡인 구멍도, 중심부의 제1 흡인 구멍(136)과, 직경 방향 중간부의 제2 흡인 구멍(138)과, 직경 방향 외측부의 제3 흡인 구멍(140)을, 각각, 독립된 흡인 상태로 되도록 구성되어 있다.In addition, the suction holes also include the first suction hole 136 in the central part, the second suction hole 138 in the middle part in the radial direction, and the third suction hole 140 in the outer part in the radial direction so that they are in an independent suction state. Consists of.

이러한 구성에 따르면, 각 가압 기체 유로에의 가압 기체 공급 상태와, 각 흡인 구멍으로부터 흡인 상태를 적절히 조정함으로써, 워크의 흡착 유지 상태를 최적화할 수 있다.According to this configuration, the adsorption holding state of the workpiece can be optimized by appropriately adjusting the pressurized gas supply state to each pressurized gas passage and the suction state from each suction hole.

본 발명의 상기 실시 형태에 한정되는 일 없이, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변경, 변형이 가능하다.Various changes and modifications are possible within the scope of the technical idea described in the claims, without being limited to the said embodiment of this invention.

또한, 상기 실시 형태에서는, 가압 유체로서 가압 공기를 사용하고 있었지만, 가압 공기 대신에, 가압한 다른 유체, 예를 들어 물, 오일, 질소 가스, 아르곤 가스 등을 사용해도 된다.In the above embodiment, pressurized air is used as the pressurized fluid, but other pressurized fluids such as water, oil, nitrogen gas, argon gas, etc. may be used instead of the pressurized air.

1 : 비접촉 흡착반
8 : 흡인 구멍
14 : 가압 기체 유로
30 : 비접촉 반송 장치
32 : 제1 비접촉 흡착반
34 : 제2 비접촉 흡착반
36 : 단부 폭 방향 유로
58 : 단부 반송 방향 유로1: non-contact adsorption board
8: suction hole
14: pressurized gas passage
30: non-contact transfer device
32: first non-contact adsorption board
34: second non-contact adsorption board
36: end width direction passage
58: end conveyance flow path

Claims (20)

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며,
상기 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고,
상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이,
두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 지그재그 형상으로 배열된 직사각 형상의 다공질 패드와,
상기 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 지그재그 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,
상기 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 반송 방향 유로와, 상기 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로를 구비하고, 상기 단부 폭 방향 유로가, 상기 반송 방향 유로를 사이에 두고 인접하는 영역에 있어서 반송 방향으로 반 피치 어긋나게 배치되어 있는 가압 기체 유로이며,
반송 방향 상류측에 배치된 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 단부 폭 방향 유로에서 종단되고,
상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 교대로 배치된, 상기 단부 폭 방향 유로로 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되는 부분과, 상기 반송 방향으로 개방된 직사각형 부분에서 종단되는 부분을, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 접속 영역에 구비하고,
상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반은 한 쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 개방된 직사각형 부분이 다른 쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 비접촉 반송 장치.A non-contact conveying device that adsorbs and conveys a thin plate-shaped workpiece in a non-contact state,
Equipped with first and second non-contact suction disks arranged along the conveying direction;
Each of the first and second non-contact adsorption plates,
A rectangular porous pad in which a plurality of suction holes extending through the thickness direction are arranged in a zigzag shape;
It is a rectangular holder connected to the back surface of the porous pad, on the surface of which a lattice-shaped pressurized gas passage and a plurality of island-shaped portions arranged in a zigzag shape partitioned by the pressurized gas passage are formed, and the suction hole A communication hole formed correspondingly and extending through the island-shaped portion in the thickness direction, and when connected to the porous pad, the island-shaped portion is in a state in which the communication hole communicates with the suction hole of the porous pad. In the top surface is provided with a holder in close contact with the back surface of the porous pad,
The lattice-shaped pressurized gas passages include conveyance direction passages arranged to extend in the conveyance direction and end width direction passages arranged to extend in a direction orthogonal to the conveyance direction, the end width direction passages comprising: A pressurized gas flow path disposed with a half-pitch shift in the transfer direction in an adjacent region with the transfer direction flow path interposed therebetween,
At least a part of the lattice-shaped pressurized gas passage of the holder of the first non-contact adsorption disc disposed on the upstream side in the conveying direction, in a connection area with the second non-contact adsorber disposed on the downstream side in the conveying direction, is terminated in the euro,
The lattice-shaped pressurized gas flow passages of the holders of the first and second non-contact suction disks are alternately disposed and terminate in rectangular portions closed to the end width direction passages and terminated in rectangular portions open in the conveying direction. A portion to be provided in the connection area of the first and second non-contact suction discs,
The first and second non-contact adsorption discs are arranged so that the open rectangular portion of the pressurized gas flow path of one non-contact adsorption disc is aligned with the closed rectangular portion of the pressurized gas flow path of the other non-contact adsorption disc along the conveying direction. A non-contact conveying device characterized in that there is. 제1항에 있어서, 상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태가 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있는, 비접촉 반송 장치.The non-contact conveyance device according to claim 1, wherein the porous pad has independent suction holes that are in a suction state different from those of the suction holes. 제2항에 있어서, 상기 독립 흡인 구멍이, 한쪽의 비접촉 흡착반의 다른 쪽의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.The non-contact transport device according to claim 2, wherein the independent suction hole is disposed in a region where one non-contact suction disk is connected to the other non-contact suction disk. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 서로 접촉하여 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.The non-contact transport device according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second non-contact suction disks are disposed in contact with each other. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 이격하여 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.The non-contact transport device according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second non-contact suction disks are spaced apart from each other. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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