KR102533895B1

KR102533895B1 - 짧은 스트로크 선형 모터

Info

Publication number: KR102533895B1
Application number: KR1020160048243A
Authority: KR
Inventors: 안드레-라파엘 다 콩세이차오 로사
Original assignee: 에텔 쏘시에떼 아노님
Priority date: 2015-05-12
Filing date: 2016-04-20
Publication date: 2023-05-18
Also published as: EP3093965A1; IL245216A0; CN106160399B; JP6684642B2; IL245216B; JP2016214067A; US10581309B2; US20160336843A1; CN106160399A; EP3093965B1; KR20160133360A

Abstract

코일 브레이스(1.1)와, 그 내에 위치된 코일(1.2)을 갖는 1차 섹션(1)뿐만 아니라, 상기 1차 섹션(1)에 대해 이동가능하며 상기 코일 브레이스(1.1)의 양측부 상에 배치된 자석(2.2)을 갖는 자석 홀더(2.1)를 구비한 2차 섹션(2)을 포함하는, 짧은 스트로크를 위한 선형 모터. 상기 코일 브레이스(1.1)가 2개의 자석 홀더(2.1)들 사이에서 이동가능한 방식으로 스페이서(2.3)는 자석 홀더를 서로 분리한다. 이를 위해, 상기 스페이서(2.3)는 상기 1차 섹션(1) 내의 개구(1.3)를 통해 안내된다.

Description

짧은 스트로크 선형 모터{SHORT-STROKE LINEAR MOTOR}

본 발명은 짧은 스트로크 선형 모터에 관한 것이다. 예를 들면, 제한된 작동 범위를 갖는 이와 같은 선형 모터는 바람직하지 못한 진동에 대한 능동적 댐핑을 위해 이용된다.

위치설정 장치의 도움으로 물체에 대한 고정밀 위치설정을 위해서는, 예컨대 진동 격리형 플랫폼(vibration-isolated platforms)을 이용하는 반도체 기술에 공지되어 있는데, 그 이유는 외부로부터 제공되거나 또는 위치설정 동안에 여기되는 플랫폼의 진동이 위치설정의 정확도를 상당히 감소시키기 때문이다.

플랫폼은 수동적 진동 댐핑(passive vibration damping)을 갖는 거대한 화강석일 수 있으며, 이는 예컨대 스프링 또는 공압 댐퍼의 도움으로 구현될 수 있다. 특정 요건을 위해, 플랫폼의 진동이 능동적으로 댐핑될 수 있는 시스템이 또한 공지되어 있다. 이를 위해, 한편으로 바람직하지 못한 진동을 검출할 수 있는 센서가 요구되고, 다른 한편으로 이러한 진동에 대응할 수 있는 액추에이터가 요구된다. 이러한 액추에이터는 플랫폼과 기초부 사이에 위치된다.

유럽특허 2075484 A1호는 능동적 진동 격리 문제에 대한 양호한 소개를 제공한다. 출원번호 EP14168384.7호의 미공개 유럽특허출원은 적적한 센서에 대한 예를 제공한다.

비철(non-ferrous) 선형 모터는 액추에이터로서 제공한다. 이러한 선형 모터에서, 평탄한 코일을 갖는 1차 섹션은 1차 섹션의 양측부 상의 자석 홀더 상에 배치된 자석을 갖는 2차 섹션의 에어 갭 내로 주행한다. 반대하는 극성을 갖고 서로 면하는 자석으로 인해, 자석들 사이의 에어 갭 내에는 높은 전계 강도가 성취된다. 이는 에어 갭 내에 위치된 1차 섹션의 코일이 철 코어 없이 실시될 수 있게 함으로써, 1차 섹션 상에는 인력(attractive forces)이 작용하지 않는다. 자석 홀더는 2차 섹션에 의해 방해되지 않는 선형 모터의 종방향 또는 작동방향으로 1차 섹션이 이동할 수 있는 방식으로 상호연결된다. 이는 U자형 요크에 의해 종종 성취되며, 상기 요크의 2개의 림(limbs)의 내측부 상에는 자석이 배치된다. 또한, 1차 섹션의 양측부 상의 자석 홀더를 서로에 대해 결합하는 것이 공지되어 있다. 이러한 선형 모터는 예컨대 EP 1758231 A1호에 기술되어 있다.

마지막으로, EP 0916038 B1호는 능동적 진동 격리를 위해 이용되는 선형 모터를 기술한다. 본 특허의 도 2는 평면형 코일 브레이스와, 그 내에 배치된 평탄형 코일을 갖는 1차 섹션뿐만 아니라, 1차 섹션에 대해 이동가능하며 코일 브레이스의 양측부 상에 위치된 자석을 갖는 자석 홀더를 구비한 2차 섹션을 도시한다. 도시된 3개의 평탄형 코일의 중간에서만 힘을 발생시키도록 이용되며, 댐핑되는 진동을 측정하는데 2개의 외측 코일이 이용된다. U자형 요크는 2개의 자석 홀더를 분리하여 1차 섹션을 수용한다.

본 발명의 목적은 능동적 진동 댐핑의 영역에서 매우 특수한 적용을 위해 구조적으로 설계된 특히 콤팩트한 짧은 스트로크 선형 모터를 제공하는 것이다.

본 목적은 청구항 1에 따른 장치에 의해 성취된다. 또한, 이러한 장치에 관한 유리한 세부사항은 청구항 1에 종속하는 청구항으로부터 유도된다.

짧은 스트로크를 위한 선형 모터로서, 코일 브레이스(coil brace)와, 그 내에 위치된 코일을 갖는 1차 섹션뿐만 아니라, 상기 1차 섹션에 대해 이동가능하며 상기 코일 브레이스의 양측부 상에 배치된 자석을 갖는 자석 홀더를 구비한 2차 섹션을 포함하는, 짧은 스트로크를 위한 선형 모터가 개시된다. 상기 코일 브레이스가 2개의 자석 홀더들 사이에서 이동가능한 방식으로 스페이서는 자석 홀더를 서로 분리한다. 이를 위해, 상기 스페이서는 개구를 통해 상기 1차 섹션 내에서 안내된다.

상기 자석 홀더들 사이에서 스페이서로서 이용되는 구조체가 상기 1차 섹션 내의 개구를 통해 안내된다면, 상기 2차 섹션이 상기 1차 섹션 둘레에서 래핑할 필요가 없음을 알게 되었다. 이에 따라, 상기 선형 모터의 특히 콤팩트한 사이즈가 그 성능을 감소시키지 않고서 달성된다. 달리 말하면, 본 발명은 소정의 용적 내에서 많은 모터 파워 출력을 수용하는 것을 가능하게 한다. 이로써, 상기 선형 모터의 작동 범위에 대한 구속은 능동적 진동 격리를 위한 시스템에서 특정 적용에서 문제되지 않는다.

특히 능동적 진동 격리의 영역에서, 보다 콤팩트한 타입의 구성은 추가적인 이점인바, 기초부와 플랫폼 사이의 액추에이터의 치수 감소를 위해 스프링 장착형 플랫폼에서 관찰할 수 있는 바와 같이 역진자(inverse pendulum)의 진동 경향을 감소시킨다.

도면에 도시된 예시적인 실시예를 기초하여 본 발명의 또 다른 이점 및 세부사항이 설명된다.

도 1은 짧은 스트로크 선형 모터의 제1 예시적인 실시예를 도시한 도면,
도 2는 선형 모터에 대한 또 다른 도면,
도 3은 선형 모터에 대한 제1 단면도,
도 4는 선형 모터에 대한 제2 단면도,
도 5는 짧은 스트로크 선형 모터의 변형된 1차 섹션에 대한 제2 예시적인 실시예를 도시한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 선형 모터의 도움으로 능동적 진동 댐핑된 플랫폼에 대한 개략도.

도 1 및 2는 본 발명에 따른 짧은 스트로크 선형 모터에 대한 제1 예시적인 실시예를 도시한다. 선형 모터의 1차 섹션(1)과 2차 섹션(2)은 2가지의 상이한 관찰 방향으로 도시된다. 도 3 및 4는 선형 모터를 통한 단면도를 도시한다.

1차 섹션(1)은 코일 브레이스(1.1)인 중앙의 평면 영역을 갖는다. 평면 영역은 X-Y 평면에서 연장되며, 선형 모터는 Y-방향으로의 구동부를 나타낸다. 코일 브레이스(1.1) 내에 배치된 평탄형 코일(1.2)은 도 3의 단면도에서만 보일 수 있는데, 그 이유는 평탄형 코일(1.2)이 포팅 화합물(1.1.1)(예컨대, 에폭시 수지)을 이용하여 코일 브레이스(1.1) 내에 포팅되고, 커버로 보호되기 때문이다. 포팅 화합물(potting compound)(1.1.1)은 코일(1.2) 내에서 발전하는 열을 분산시키는 동시에, 언급된 코일(1.2), 코일 브레이스(1.1) 및 커버의 상이한 팽창계수를 보상한다.

여기서, 용어 "평탄형 코일(flat coils)"은 그 직경보다 (현저하게) 작은 축방향 길이를 갖는 코일을 지칭한다. 통상적으로 이와 같은 코일 내에는, 다수의 와이어 권선이 반경방향으로 나란하게 권취되지만, 하나만의 또는 몇 개의 와이어 층은 축방향으로 서로에 대해 권취된다.

코일 브레이스(1.1)는 견고한 프레임(1.4)에 결합되고(또는 양자의 요소가 원피스로 균등하게 형성됨), 프레임(1.4)에 의해 둘러싸인다. 프레임(1.4)은 1차 섹션(1)을 적용에 보유하도록 이용되는 장착 보어(1.7)를 갖는 장착면(1.5.1, 1.5.2)을 구비한다. 2개의 상이하게 배향된 장착면(1.5.1, 1.5.2)이 각각 유용하기 때문에, 상이한 작동방향을 취급할 수 있도록 상이한 장착 위치가 선택될 수 있다. 프레임(1.4)과 평탄형 영역(1.1)은 비강자성 재료, 예컨대 알루미늄으로 제조된다. 프레임(1.4) 내에는, 서플라이 리드(supply lead)(1.9)가 주행하는 절결부가 제공되며, 이를 거쳐 코일(1.2)이 전류를 공급받는다.

2차 섹션(2)은 강자성 플레이트로 형성되며 코일 브레이스(1.1)의 양측부 상에 배치되는 2개의 평면형 자석 홀더(2.1)를 갖는다. 도 1에서는 1차 섹션(1)의 외측에 위치된 상측 자석 홀더(2.1)를 볼 수 있고, 도 2에서는, 프레임(1.4) 내에 배치된 하측 자석 홀더(2.1)를 볼 수 있다. 프레임(1.4)은 코일 브레이스(1.1)보다 Z-방향으로 상당히 넓음으로써, 하측 자석 홀더(2.1)는 프레임(1.4)을 지나 Z-방향으로 돌출하지 않는다.

양자의 자석 홀더(2.1)는 코일 브레이스(1.1)에 면하는 측부 상에 자석(2.2)을 지탱한다. 통상적인 방식에서, 자석(2.2)은 자석 홀더(2.1) 상에 교번 극성(alternating polarity)에 의해 작동방향(Y)으로 위치되는 한편, 각 경우에 상이한 자석 극(N, S)은 코일 브레이스(1.1)의 양측부 상에 서로 대향하게 놓인다. 코일(1.2)과 자석(2.2)의 배치는 도 3에서 잘 알 수 있으며, 이는 선형 모터의 영역을 통한 단면도를 도시한다.

선형 모터가 비철 모터로서 구현되기 때문에, 자석(2.2)은 1차 섹션(1) 상에 인력을 가하지 않는다. 그러나, 2개의 자석 홀더(2.1)는 상호 인력을 가한다. 2개의 자석 홀더(2.1)를 이격되게 유지하기 위해 그리고 1차 섹션(1)이 2차 섹션(2)에 대해 이동할 수 있는 자석(2.2)들 사이의 에어 갭을 제공하기 위해, 각각의 경우에 스크류(2.3.1)의 도움으로 양자의 자석 홀더(2.1)에 4개의 스페이서(2.3)가 결합된다. 이러한 스크류(2.3.1)를 수용하기 위한 보어(2.4)는 도 2 및 4에서 알 수 있으며, 이는 명확성을 위해 스크류(2.3.1)를 도시하지 않는다.

도 4는 스페이서(2.3)의 영역을 통한 단면도를 도시한다. 이러한 타입의 통상적인 선형 모터의 경우와는 달리, 스페이서(2.3)는 1차 섹션(1)을 지나 측방향으로 안내되는 것이 아니라, 1차 섹션(1) 내의 개구(1.3)를 통해 주행한다. 확실하게, 이는 선형 모터의 가능한 운동 범위를 X-방향에 수직인 작동방향(Y)으로 상당히 제한한다. 그러나, 선형 모터가 진동의 능동적 댐핑에 대한 매우 작은 이동(excursions)을 허용해야만 하기 때문에, 이는 단점이 없다. 한편, 스페이서(2.3)의 이러한 배치는 당해 기술에서의 통상적인 바와 같이 1차 섹션(1)을 감싸는 구조 없이 이루어지는 선형 모터의 특히 콤팩트한 설계를 허용하기 때문에 이점을 제공한다. 더욱이, 개구(1.3)와 스페이서(2.3)는 X-방향 및 Y-방향으로 리미트 스톱(limit stops)을 형성하여, 외부로부터 부여되는 힘이 너무 큰 경우에 필요하다면, 이동하는 질량부들 사이의 너무 큰 상대 시프트를 방지한다. 1차 섹션(1) 내의 개구(1.3)와 2차 섹션(2)의 스페이서(2.3) 양자가 원형 단면을 갖는다면, 2개의 직경 간의 차이는 X-방향 및 Y-방향으로 유용한 운동 범위를 결정한다. Z-방향에서, 자석(2.2)들 사이의 에어 갭은 2차 섹션(2)에 대한 1차 섹션(1) 또는 코일 브레이스(1.1)의 운동 자유도를 제한한다.

자석(2.2)의 자기장을 방해하지 않기 위해, 선형 모터의 콤팩트한 구성으로 인해 자석(2.2)에 특히 근접하게 위치된 스페이서(2.3)는 비자성 금속, 예컨대 고급강(high-grade steel)으로 제조된다. 하나의 자석 홀더(2.1)로부터 다른 홀더로의 자기장에 대한 결과적으로 결함 있는 리턴 경로(resultant missing return path)로 인해, 각각의 경우에 교번 극성으로 나란하게 배치된 짝수 개의 자석을 제공함으로써 자석 홀더(2.1)로부터 이격된 거리에서 자기장이 없어지는 것이 자석 홀더(2.1) 각각에 대해 바람직하다. 이러한 맥락에서, 2개의 자석(2.2)의 대면하는 극이 상이함으로써, 전계 강도(field strength)의 높은 변조가 2차 섹션(2)의 에어 갭 내에 발생한다. 이에 따라, 1차 섹션(1) 내의 코일(1.2)을 여기함으로써 특히 높은 힘이 달성될 수 있다.

설치 상태에서, 1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이의 상대 위치는 특정 적용에 의해 정의된다. 그러나, 선형 모터가 설치되어 있지 않은 한, 운반 로크(transport lock)(3)가 유용할 수 있으며, 그 형태는 도 4에서 가장 잘 알 수 있다. 운반 로크는 상측 자석 홀더(2.1) 내의 보어(2.5)를 통해 안내되는 스크류(3)를 구비한다. 그 단부에서, 스크류(3)는 1차 섹션(1)의 보어(1.8) 내의 대응하는 쓰레드 내에 나사 결합되는 쓰레드를 갖는다. 스크류(3)의 직경 및 자석 홀더(2.1) 내의 보어(2.5)의 직경은 서로 대응한다. 그 결과, 1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이의 X-Y 방향으로의 상대 위치는 고정되는데, 그 이유는 2개의 자석 홀더(2.1)가 스페이서(2.3)를 통해 서로에 견고하게 결합되기 때문이다.

1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이의 상대 위치는, 스크류(3)를 조일 때, 스크류(3)를 통해 푸시되는 슬리브(3.1)가 1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이에서 클램핑되는 것으로 인해 Z-방향으로 고정된다. 운반 로크(3)가 제거되면, 슬리브(3.1)는 1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이의 갭 외부로 취해질 수도 있다.

1차 섹션(1)과 2차 섹션(2) 사이의 상대 위치는 도 1에 도시한 2개의 스크류(3)에 의해 6가지의 모든 자유도로 결정된다.

스페이서(2.3)의 서로에 대한 정확한 정렬을 성취하기 위해, 스페이서(2.3)는 상측 자석 홀더(2.1) 내의 보어(2.4)의 정합면에 대응하는 가이드면(2.7)을 갖는다. 비용을 이유로, 각각의 스페이서(2.3) 상에는 하나만의 가이드면(2.7)이 제공되며, 이를 위해 스페이서(2.3)의 서로에 대한 정렬은 미리 고정된다. 2개의 자석 홀더(2.1)는 운반 로크(3)를 위한 보어(2.5)에 관한 장착 장치의 도움으로 X-Y 방향으로 서로에 대해 정렬된다.

도 5는 본 발명의 또 다른 예시적인 실시예를 도시한다. 여기에 도입된 조치는 전체적으로 유용할 뿐만 아니라, 각각의 경우에 제1 예시적인 실시예와 별개로 유용하게 조합될 수도 있다.

언급한 바와 같이, 1차 섹션(1)은, 예컨대 밀링 공정을 이용하여 비강자성 재료로 제조된다. 이와 같이 하여, 알루미늄 또는 구리와 같은 전도성 재료는 코일(1.2) 내에 발생하는 열을 제거하는 양호한 열전도성으로 인해 선호된다. 그러나, 코일(1.2) 내의 전류를 변경함으로 인해, 선형 모터의 동적 성능을 약화시키는 와전류가 코일(1.2) 내에 발생된다. 이와 같은 와전류를 회피하거나 또는 적어도 감소시키기 위해, 본 예시적인 실시예에서는, 1차 섹션(1)의 프레임(1.4) 내에 중단부(interruption)(1.4.1)가 제공된다.

특히 견고한 프레임(1.4)은 히트 싱크로서 이용되는 매우 큰 강철 바디에 통상적으로 결합되는 큰 영역의 장착면(1.5.1, 1.5.2)으로, 코일(1.2) 내에 발생된 열을 전도하는데 매우 적합하다. 코일(1.2)로부터 프레임(1.4)으로의 열 운반을 촉진하기 위해, 코일(1.2)은 양호한 열전도성을 갖는 수지(1.1.1)를 갖는 코일 브레이스(1.1) 내에 통상적으로 포팅될 뿐만 아니라, 본 예시적인 실시예에서, 평면형 코일(1.2)의 양측부 상의 탄소섬유 플레이트(1.6)로 덮인다. 이러한 탄소섬유 플레이트(1.6)는 알루미늄, 구리 또는 철로 제조된 커버와는 뚜렷한 대조로, 전기적으로 중립적(와전류가 없음)이고 자기적으로 중립적(우세한 자기장으로 인한 힘이 없음)인 방식으로 거동한다. 그러나, 탄소섬유 플레이트(1.6)는 코일(1.2)로부터의 폐열을 프레임(1.4)으로 잘 전도하고, 또한 양호한 기계적 보호를 제공한다.

지금까지의 예시적인 실시예에서, 1차 섹션(1)은 각각의 자석 홀더(2.1) 상에 단일의 코일(1.2)과 2개의 자석(2.2)을 가진다. 선형 모터의 유용한 파워를 증대시키기 위해, 모터의 연장부는 추가적인 코일(1.2)과 자석(2.2)을 설치하도록 Y-방향으로 증가될 수 있다. 이와 같이 하여, 코일(1.2)의 개수는 각각의 경우에 (자석 홀더(2.1) 당) 각 경우에서 2개만큼 자석(2.2)의 개수, 1개까지 증가될 수 있다.

도 6에서, 선형 모터는 상이한 위치와, 그에 따른 상이한 방향으로의 진동 댐핑을 위해 설치될 수 있음을 개략적으로 나타낸다. 도 6은 각각의 자석 홀더(2.1)(그리고 그에 따른 1차 섹션(1) 내의 3개의 평탄형 코일(1.2) 상에 6개의 자석(2.2)을 갖는 이와 같은 2개의 선형 모터를 도시하며, 이는 Y-방향 및 Z-방향으로 진동을 댐핑하는데 이용된다. 양자는 위치설정 장치를 위한 플랫폼으로서 이용되는 화강석(4)과 베이스(5) 사이에 위치된다. 본 문맥에서, 1차 섹션(1)은 각 경우에 베이스(5)에 직접 결합되며(도 6에서의 화살표는 스크류 연결을 나타냄), 상이한 장착면(1.5.1, 1.5.2) 각각이 각 예에 이용된다. 이에 따라, 1차 섹션(1)의 폐열은 베이스(5)를 향해 분산됨으로써, 위치설정 장치를 위한 지지체로서의 화강석(4)이 냉각 유지된다. 2차 섹션(2)은 정합형 기계적 계면부(4.1)를 통해 각각의 경우에 화강석(4)에 결합된다. 장착을 위해 요구되는 1차 섹션(1)의 장착 보어(1.7)와, 2차 섹션(2)의 자석 홀더(2.1) 내의 장착 보어(2.6)는 이전 도면에서 잘 알 수 있다.

비용을 감소시키기 위해, 양자의 자석 홀더(2.1)는, 예컨대 장착 보어(2.6)와 같은 개별적인 상세사항이 2가지의 위치 중 하나에서도 반드시 필요하지 않더라도 완전히 동일하게 제조된다.

Claims

선형 모터에 있어서,
코일 브레이스(1.1)와, 그 내에 위치된 적어도 하나의 코일(1.2)을 갖는 1차 섹션(1)뿐만 아니라, 상기 1차 섹션(1)에 대해 이동가능하며 상기 코일 브레이스(1.1)의 양측부 상에 배치된 자석(2.2)을 갖는 자석 홀더(2.1)를 구비한 2차 섹션(2)을 포함하고, 상기 자석 홀더는 상기 코일 브레이스(1.1)가 2개의 자석 홀더(2.1)들 사이에서 이동가능한 방식으로 스페이서(2.3)에 의해 서로 분리되고,
상기 스페이서(2.3)는 상기 1차 섹션(1) 내의 개구(1.3)를 통해 안내되고,
상기 개구(1.3)는 상기 2차 섹션(2)에 대한 상기 1차 섹션(1)의 이동성을 2가지의 공간방향(X, Y)에서 제한하고,
상기 개구(1.3) 및 상기 스페이서(2.3)는 상기 2가지의 공간방향(X, Y)에서 리미트 스톱을 형성하는,
선형 모터.
삭제
제1항에 있어서,
상기 자석 홀더(2.1) 또는 상기 자석 홀더(2.1) 상에 배치된 상기 자석(2.2)의 이격거리는 상기 2차 섹션(2)에 대한 상기 1차 섹션(1)의 이동성을 제3 공간방향(Z)에서 제한하는,
선형 모터.
제1항에 있어서,
상기 스페이서(2.3)는 비강자성 재료, 또는 고급강(high-grade steel)으로 제조되는,
선형 모터.
제4항에 있어서,
상기 자석 홀더(2.1) 각각에는 짝수 개의 자석(2.2)이 배치되는,
선형 모터.
제1항에 있어서,
상기 1차 섹션(1)은 상기 코일 브레이스(1.1)의 둘레에서 래핑(wrap)하는 프레임(1.4)을 갖는,
선형 모터.
제6항에 있어서,
상기 프레임(1.4)은 상이한 배향(X-Z, X-Y)의 2개의 장착면(1.5.1, 1.5.2)을 가지며, 각각의 장착면은 상기 1차 섹션(1)을 적용시 고정하도록 이용되는 장착 보어(1.7)를 구비하는,
선형 모터.
제6항에 있어서,
상기 프레임(1.4)은 전도성 재료로 제조되며 하나의 위치(1.4.1)에서 중단(interrupt)되는,
선형 모터.
제6항에 있어서,
상기 적어도 하나의 코일(1.2)은 상기 코일 브레이스(1.1) 내의 개구 내에 배치되는,
선형 모터.
제9항에 있어서,
상기 적어도 하나의 코일(1.2)은 포팅 화합물(potting compound)(1.1.1)로 포팅되거나, 또는 상기 적어도 하나의 코일(1.2)은 탄소섬유 플레이트(1.6)로 덮인,
선형 모터.
제10항에 있어서,
상기 적어도 하나의 코일(1.2)은 상기 포팅 화합물(1.1.1) 및 상기 탄소섬유 플레이트(1.6) 중 하나 또는 그 양자에 의해 상기 프레임(1.4)에 열적으로 경계를 이루는,
선형 모터.
제1항에 있어서,
상기 1차 섹션(1)과 상기 2차 섹션(2) 상에는, 상기 1차 섹션(1)과 상기 2차 섹션(2)이 서로에 대해 소정 위치에 고정될 수 있는 운반 로크(3)를 위한 장치(1.8, 2.5)가 제공되는,
선형 모터.
제1항에 있어서,
상기 선형 모터는 비철 선형 모터(non-ferrous linear motor)의 형태를 취하는,
선형 모터.
위치설정 장치를 위한 진동 격리형 플랫폼(vibration-isolated platforms, 4)에 있어서,
제1항 및 제3항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 선형 모터가 진동에 대한 능동적 댐핑을 위해 플랫폼(4)과 베이스(5) 사이에 배치되고, 상기 1차 섹션(1)은 상기 베이스(5)에 결합되고, 상기 2차 섹션(2)은 상기 플랫폼(4)에 결합되는,
진동 격리형 플랫폼.