KR102528691B1 - 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 - Google Patents
하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102528691B1 KR102528691B1 KR1020220021851A KR20220021851A KR102528691B1 KR 102528691 B1 KR102528691 B1 KR 102528691B1 KR 1020220021851 A KR1020220021851 A KR 1020220021851A KR 20220021851 A KR20220021851 A KR 20220021851A KR 102528691 B1 KR102528691 B1 KR 102528691B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- alloy
- iron
- melting
- vacuum induction
- electron beam
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 title 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 43
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 38
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 37
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 31
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 25
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000010313 vacuum arc remelting Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
- C22B9/16—Remelting metals
- C22B9/20—Arc remelting
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B9/00—General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
- C22B9/04—Refining by applying a vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/02—Making non-ferrous alloys by melting
- C22C1/03—Making non-ferrous alloys by melting using master alloys
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/08—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing nickel
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
본 발명은, 파인메탈 마스크의 소재가 되는 고청정 인바 합금을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 일 구현예는, 철, 니켈 원소재를 준비하는 단계; 철, 니켈 원소재를 진공 유도 용해(vacuum induction metling)하여 진공 유도 용해된 합금을 제공하는 단계; 진공 유도 용해된 합금을 전자빔 냉간 노상 용해(electron beam cold hearth melting)하여 전자빔 용해된 합금을 제공하는 단계; 및 전자빔 용해된 합금을 진공 아크 재용해(vacuum arc remelting)하는 단계를 포함하는 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금에 관한 것이다.
파인메탈 마스크(Fine Metal Mask)는 미세한 구멍이 뚫린 금속판으로서, OLED 디스플레이 제조공정 중 픽셀 증착 단계에서 활용된다. 여기서 증착 단계는 이미지의 최소 단위인 픽셀의 구성 요소 RGB 서브 픽셀을 기판에 새기는 공정이다. 진공 상태에서 특정 물질을 기판에 입히는 작업인데, 여기서 파인메탈 마스크는 3개의 서브 픽셀이 서로 섞이지 않고 정확한 위치에 증착될 수 있도록 하는 가이드 라인 역할을 한다.
디스플레이의 높은 화질을 위해서는 균일하고 미세한 구멍이 다수 형성된 파인메탈 마스크가 필요하며, 이 때 구멍을 형성하는 기술도 중요하지만, 파인메탈 마스크의 소재가 되는 금속판 자체가 불순물이나 개재물이 최소로 함유되어야 미세한 구멍을 균일하게 다수 형성하는 것이 가능하다.
따라서, 파인메탈 마스크의 소재가 되는 고청정 인바 합금(철-니켈 합금)에 대한 필요성이 대두되고 있다.
본 발명은, 파인메탈 마스크의 소재가 되는 고청정 인바 합금을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 구현예는, 철, 니켈 원소재를 준비하는 단계; 철, 니켈 원소재를 진공 유도 용해(vacuum induction metling)하여 진공 유도 용해된 합금을 제공하는 단계; 진공 유도 용해된 합금을 전자빔 냉간 노상 용해(electron beam cold hearth melting)하여 전자빔 용해된 합금을 제공하는 단계; 및 전자빔 용해된 합금을 진공 아크 재용해(vacuum arc remelting)하는 단계를 포함하는 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법을 제공한다.
상기 진공 유도 용해는 10-2~400torr에서 진행되고, 진공 유도 용해된 합금의 성분은 ASTM 기준에 따라 중량%로 Ni : 35~38%, C : 0.10% 이하, Mn : 0.06% 이하, P : 0.025% 이하, S : 0.025% 이하, Si : 0.35% 이하, Cr : 0.50% 이하, Mo : 0.50% 이하, Co : 1.0% 이하와 나머지는 철 및 불순물이고, 상기 진공 유도 용해된 합금은 슬라브 형태일 수 있다.
상기 전자빔 냉간 노상 용해는 10-3 torr 이하의 고진공 조건에서 진행되며 슬라브 형태의 진공 유도 용해된 철-니켈 합금을 주조하는 것일 수 있다.
상기 진공 아크 재용해는 2kg/min~10kg/min의 용해 속도로 진행될 수 있다.
본 발명의 일 구현예는, 상기 제조 방법에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금으로서, 합금 내 2㎛ 이상 개재물의 개수가 1.0~3.0개/mm2인 고청정 철-니켈 합금을 제공할 수 있다.
본 발명의 제조 방법에 의하면, 개재물의 개수(2㎛ 이상)가 감소된 고청정 철-니켈 합금을 제공할 수 있다.
도 1에는, 본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법을 나타낸 플로우 차트를 나타낸다.
도 2에는, 본 발명의 실시예 및 비교예의 합금 내 개재물 촬영 사진을 나타낸다.
도 2에는, 본 발명의 실시예 및 비교예의 합금 내 개재물 촬영 사진을 나타낸다.
이하에서는 본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법을 나타낸 플로우 차트이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법은 합금의 용해를 위해 전해 철, 전해 니켈 원소재를 준비하는 단계를 포함한다.
상기 철-니켈 합금은 64중량%의 철 및 36중량%의 니켈을 포함하는 합금으로서, 바람직하게는 ASTM F1684 규격에 해당하는 아래 표 1의 조성의 철-니켈 합금이다. 상기 철-니켈 합금의 형태는 특별히 제한되지 않으나, 예를 들면 잉곳이다.
본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법은 철, 니켈 원소재를 진공 유도 용해(vacuum induction metling)하여 진공 유도 용해된 합금을 제공하는 단계를 포함한다.
진공 유도 용해는 통상의 기술자에게 알려진 바와 같은 통상적인 방식으로 수행되어 안정적인 재용해 작업을 허용하는 충분한 구조적 완전성을 가지는 용해물을 생성할 수 있다. 진공 유도 용해는 상기 진공 유도 용해는 10-2~400torr 에서 진행되며, 대안적으로 부분 불활성 기체 분위기 하에서 수행된다. 본 단계에서는 실시간 성분 분석을 통한 성분 함량 제어와 진공 제어를 통한 불순물 제어에 중점을 두고 있다. 진공을 이용하여 개재물 생성 원인인 산소의 유입 방지와 제거를 도모하고, 탈산제의 첨가를 통해 추가적으로 산소 함량을 제어한다.
본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법은 진공 유도 용해된 합금을 전자빔 냉간 노상 용해(electron beam cold hearth melting)하여 전자빔 용해된 합금을 제공하는 단계를 포함한다.
상기 전자빔 냉간 노상 용해는 10-3 이하의 고진공 조건에서 진행된다. 본 단계에서 전자빔 냉간 노상 용해는, 합금 내 산소 함량의 감소를 주요 목적으로 한다. 상기 진공 유도 용해 단계를 진행하게 되면, 고진공에서 가속된 전자 빔이 소재 표면에 조사되고, 이 때 발생한 열에 의해 용해가 진행된다. 특히 본 단계의 진공도는 10-3 torr 이하의 고진공으로, 다른 두 공정에 비해 고진공에서 이루어진다. 이와 같은 고진공은 개재물 증발을 통한 개재물 내 산소 함량 제거와 합금 내 가스 제거를 통한 용존 산소 제거가 일어날 수 있도록 한다.
본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법은 전자빔 용해된 합금을 진공 아크 재용해(vacuum arc remelting)하는 단계를 포함한다.
상기 진공 아크 재용해 단계는 2kg/min~10kg/min의 용해 속도로 진행된다. 본 단계는 대류 효과를 통한 개재물 제거를 주요 목적으로 한다. VAR의 용해 속도를 2kg/min 이상으로 설정하여 용탕의 깊이를 증가시키면, 이로 인해 발생하는 용탕 내 대류가 내부 개재물들을 소재의 바깥쪽으로 밀어내게 되어 개재물 감소 효과를 발생시킨다.
본 발명의 일 구현예에 의한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법에 의해 제조된 철-니켈 합금은 청정도가 우수하다. 청정도의 기준은 제조된 철-니켈 합금 내 개재물의 크기 또는 개수와 관련이 있다. 상기 개재물은 공정 중 발생하거나 혼입되는 산화물이다. 본 발명의 일 구현예에 의해 제조된 철-니켈 합금은 합금 내 2㎛ 이상의 크기를 가진 개재물의 개수가 1.0개/mm2~3.0개/mm2이다.
이하, 실시예를 들어 본 발명에 대해 더욱 상세히 설명할 것이나, 하기의 실시예에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
합금의 용해를 위해 철, 니켈 원소재를 준비한다. 철, 니켈 원소재는 100torr에서 진공 유도 용해(vacuum induction metling)를 진행하여 진공 유도 용해된 합금을 제조하였다. 이는 ASTM F1684에 제시된 Invar36 합금의 성분 함량에 맞도록 용해되어야한다. 상기 진공 유도 용해된 합금을 10-3torr 이하의 고진공에서 전자빔 냉간 노상 용해(electron beam cold hearth melting)하여 전자빔 용해된 합금을 제조하였다. 상기 전자빔 용해된 합금을 8kg/min의 용해 속도로 진공 아크 재용해(vacuum arc remelting)하여 철-니켈 합금을 제조하였다.
실시예 2
실시예 1에 있어서 진공 유도 용해된 합금을 5.0 X 10-4 torr의 고진공에서 진행한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 철-니켈 합금을 제조하였다.
실시예 3
실시예 1에 있어서 진공 유도 용해된 합금을 10-4 torr의 고진공에서 진행한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 철-니켈 합금을 제조하였다.
비교예 1
실시예 1과 동일한 철, 니켈 원소재를 준비하여 진공 유도 용해하고, 전자빔 냉간 노상 용해 및 진공 아크 재용해는 진행하지 않았다.
비교예 2
실시예 1과 동일한 철, 니켈 원소재를 준비하여 진공 유도 용해하고, 전자빔 냉간 노상 용해는 수행하지 않은 상태로 진공 아크 재용해를 진행하였다.
실험예
상기 실시예 및 비교예에서 제조된 철-니켈 합금 내 존재하는 개재물의 개수를 평가하였으며, 그 결과를 아래 표 2에 나타내며, 합금 내 개재물을 촬영한 사진을 도 2에 나타낸다. 평가 방법은 합금의 임의의 20개 지점을 SEM 촬영하여 단위 면적당 촬영된 개재물의 개수를 측정하였다. 도 2에 나타낸 사진은 합금의 20개 지점을 임의로 채택하여 촬영한 사진 중 하나이며, 아래 표 2에 나타낸 개수는 20개 지점의 평균값이다.
표 2에 나타낸 바와 같이, 진공 유도 용해만을 수행한 비교예 1의 철-니켈 합금은 개재물의 개수가 14.4개/mm2이고, 전자빔 냉간 노상 용해를 수행하지 않은 비교예 2의 철-니켈 합금은 개재물의 개수가 5.95개/mm2인 반면에, 실시예 3의 철-니켈 합금은 개재물의 개수가 1.5개/mm2에 불과하다. 따라서, 본 발명의 철-니켈 합금은 청정도가 매우 우수한 것을 알 수 있다. 또한, 표 2의 실시예 1~3은 본 발명의 공정 과정(VIM-EBCHM-VAR)을 적용할 때, 진공도에 따른 개재물 개수 변화를 나타낸다. 전자빔 용해를 사용하는 일반적인 진공도 범위에서, 전자빔 용해를 적용하지 않는 경우보다 개재물이 감소하는 것을 확인할 수 있으며, 진공도가 높을수록 개재물이 감소하는 것 또한 확인할 수 있다.
Claims (5)
- 철, 니켈 원소재를 준비하는 단계;
철, 니켈 원소재를 진공 유도 용해(vacuum induction metling)하여 진공 유도 용해된 합금을 제공하는 단계;
진공 유도 용해된 합금을 전자빔 냉간 노상 용해(electron beam cold hearth melting)하여 전자빔 용해된 합금을 제공하는 단계; 및
전자빔 용해된 합금을 진공 아크 재용해(vacuum arc remelting)하는 단계를 포함하고,
상기 전자빔 냉간 노상 용해는 10-4 torr 이하의 고진공 조건에서 진행되며 슬라브 형태의 진공 유도 용해된 철-니켈 합금을 주조하며,
상기 진공 아크 재용해는 2kg/min~10kg/min의 용해 속도로 진행되고,
합금 내 2㎛ 이상 개재물의 개수가 1.0~1.5개/mm2이며,
상기 진공 유도 용해는 10-2~400torr에서 진행되고,
진공 유도 용해된 합금의 성분은 ASTM 기준에 따라 중량%로 Ni : 35~38%, C : 0.10% 이하, Mn : 0.06% 이하, P : 0.025% 이하, S : 0.025% 이하, Si : 0.35% 이하, Cr : 0.50% 이하, Mo : 0.50% 이하, Co : 1.0% 이하와 나머지는 철 및 불순물이고, 상기 진공 유도 용해된 합금은 슬라브 형태인 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220021851A KR102528691B1 (ko) | 2022-02-21 | 2022-02-21 | 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220021851A KR102528691B1 (ko) | 2022-02-21 | 2022-02-21 | 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102528691B1 true KR102528691B1 (ko) | 2023-05-04 |
Family
ID=86379497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220021851A KR102528691B1 (ko) | 2022-02-21 | 2022-02-21 | 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102528691B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102594273B1 (ko) * | 2023-06-05 | 2023-10-26 | (주)한국진공야금 | 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007197793A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Daido Steel Co Ltd | 高強度快削性Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法 |
| JP2011021228A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Kobe Steel Ltd | 超高純度合金鋳塊の製造方法 |
-
2022
- 2022-02-21 KR KR1020220021851A patent/KR102528691B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007197793A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Daido Steel Co Ltd | 高強度快削性Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法 |
| JP2011021228A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Kobe Steel Ltd | 超高純度合金鋳塊の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102594273B1 (ko) * | 2023-06-05 | 2023-10-26 | (주)한국진공야금 | 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7033664B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用１ｘｘｘ系陰極箔の製造方法 | |
| JP4837805B2 (ja) | 磁性材スパッタリングターゲット | |
| WO2012005098A1 (ja) | Ｃｕ－Ｇａ合金およびＣｕ－Ｇａ合金スパッタリングターゲット | |
| JP4653388B2 (ja) | イットリウム改良非晶質合金 | |
| EP3514249B1 (en) | Metal mask material and method for manufacturing same | |
| KR102528691B1 (ko) | 하이브리드 용해를 통한 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 | |
| US20110036534A1 (en) | Process for producing lithium-containing alloy material | |
| US20170283906A1 (en) | METHOD FOR DEOXIDIZING Ti-Al ALLOY | |
| KR102594273B1 (ko) | 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 고청정 철-니켈 합금 | |
| JPH1060636A (ja) | Ａｌ系スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 | |
| CN1219905C (zh) | 铜基大块非晶合金 | |
| JP2989060B2 (ja) | 低酸素Ｔｉ−Ａｌ系合金およびその製造方法 | |
| JP3426426B2 (ja) | 電子銃部品用Ｆｅ−Ｎｉ合金並びに電子銃プレス打ち抜き部品 | |
| JP2989053B2 (ja) | 低酸素Ｔｉ−Ａｌ系合金の製造方法および低酸素Ｔｉ−Ａｌ系合金 | |
| KR102655452B1 (ko) | 파인 메탈 마스크용 고청정 철-니켈 합금의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 철-니켈 합금 | |
| CN110484742B (zh) | 一种电子束熔炼高纯化制备Fe-W中间合金的方法 | |
| JP4059118B2 (ja) | エッチング穿孔性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金冷延板用素材の製造方法 | |
| JP6339625B2 (ja) | スパッタリングターゲット | |
| JPH02108450A (ja) | チタンまたはチタン基合金の鋳造法 | |
| JP2018145518A (ja) | Ｃｕ−Ｎｉ合金スパッタリングターゲット | |
| JP4224880B2 (ja) | Ｃｏ−Ｎｉ合金スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
| JP2013185238A (ja) | スパッタリングターゲット | |
| JP3073734B1 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ系合金素材の製造方法 | |
| JPH04190959A (ja) | 水素吸蔵合金の製造方法 | |
| JPH1161392A (ja) | Ｒｕ薄膜形成用スパッタリングターゲットの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GRNT | Written decision to grant |