KR102519797B1 - Deposition apparatus and deposition - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 기판에 증착 공정을 수행하는 증착 유닛, 상기 기판을 이송하는 캐리어와 상기 캐리어를 이송하는 이송 부재를 포함하는 이송 유닛, 상기 증착 유닛과 인접 배치되고 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 유닛을 포함하고, 상기 이송 부재는, 상기 캐리어를 상기 증착 유닛에서 상기 메인터넌스 유닛으로 이송하기 위해 상기 증착 유닛과 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 메인터넌스 이송 부재를 포함한다.A deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a deposition unit for performing a deposition process on a substrate, a transport unit including a carrier for transporting the substrate and a transport member for transporting the carrier, and disposed adjacent to the deposition unit and adjacent to the carrier. and a maintenance unit performing maintenance, wherein the transfer member includes a maintenance transfer member disposed between the deposition unit and the maintenance unit to transfer the carrier from the deposition unit to the maintenance unit.
Description
본 발명은 증착 장치 및 증착 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus and a deposition method.
최근 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응속도를 가지는 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED)가 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다. Recently, an organic light emitting diode display (OLED) having low power consumption, high luminance, and high response speed is drawing attention as a next-generation flat panel display device.
일반적으로 유기발광 표시장치는 스스로 빛을 내는 자발광형 유기발광소자를 포함하며, 별도의 광원을 필요로 하지 않아 경량화 및 박형으로 제작될 수 있다. In general, an organic light emitting display device includes a self-emitting organic light emitting device that emits light by itself, and can be made lightweight and thin because it does not require a separate light source.
이러한 유기발광소자에 유기물 박막을 형성하는 증착 장치로써, 주로 진공 열 증착 장치(Thermal evaporation apparatus)가 사용된다. As a deposition apparatus for forming an organic thin film on such an organic light emitting device, a vacuum thermal evaporation apparatus is mainly used.
진공 열 증착 장치는 고진공 상태에서 증착을 진행하는 다수의 진공챔버로 이루어진다. 증착 장치의 진공챔버 내부에는 기판이 캐리어(carrier)에 고정되어 도가니의 상측에서 이동되면서 기판에 유기물 증착이 이루어진다. The vacuum thermal evaporation apparatus consists of a plurality of vacuum chambers in which deposition is performed in a high vacuum state. Inside the vacuum chamber of the deposition apparatus, the organic material is deposited on the substrate while the substrate is fixed to a carrier and moved from the upper side of the crucible.
이러한, 캐리어는 증착 장치 외부로 캐리어를 취출하여 작업자가 수동적으로 방착 부재를 교체하거나 정전척의 파티클(particle)을 제거하는 등의 메인터넌스(maintenance)를 진행하였다.The carrier was taken out of the deposition apparatus, and maintenance was performed, such as a worker manually replacing the anti-stick member or removing particles from the electrostatic chuck.
그러나, 최근 기술의 발전에 의해 기판의 사이즈가 증가함에 따라, 기판을 이송하는 캐리어 또한 대형화 및 고하중화되었다. However, as the size of the substrate has increased due to the recent technological development, the carrier for transporting the substrate has also become larger and heavier.
이에 따라, 증착 공정라인에서 대형화된 캐리어의 유지보수를 진행하기 위해 증착 장치 외부로 고하중의 캐리어를 취출하는 것은 작업자의 안전문제 및 작업의 비효율성을 발생시킨다.Accordingly, taking out a carrier with a heavy load from the deposition apparatus to perform maintenance of the large-sized carrier in the deposition process line causes safety problems for workers and inefficiency of work.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 증착 장치 내부에 메인터넌스 유닛(maintenance unit)을 배치함으로써, 대형화된 캐리어의 유지보수를 프로세스(process) 내에서 진행하는 증착 장치 및 증착 방법을 제공하는 것이다.An object to be solved by the present invention is to provide a deposition apparatus and a deposition method for performing maintenance of an enlarged carrier within a process by arranging a maintenance unit inside the deposition apparatus.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The tasks of the present invention are not limited to the technical tasks mentioned above, and other technical tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 기판에 증착 공정을 수행하는 증착 유닛, 상기 기판을 이송하는 캐리어와 상기 캐리어를 이송하는 이송 부재를 포함하는 이송 유닛, 상기 증착 유닛과 인접 배치되고 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 유닛을 포함하고, 상기 이송 부재는, 상기 캐리어를 상기 증착 유닛에서 상기 메인터넌스 유닛으로 이송하기 위해 상기 증착 유닛과 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 메인터넌스 이송 부재를 포함할 수 있다.A deposition apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a deposition unit for performing a deposition process on a substrate, a transport unit including a carrier for transporting the substrate and a transport member for transporting the carrier, the deposition unit and a maintenance unit disposed adjacent to and performing maintenance of the carrier, wherein the transfer member is disposed between the deposition unit and the maintenance unit to transfer the carrier from the deposition unit to the maintenance unit. can include
상기 증착 유닛은, 증착 챔버, 상기 증착 챔버 내에 배치되고 상기 기판에 증착 물질을 제공하는 증착 어셈블리, 상기 증착 챔버의 하측에 배치되고 상기 메인터넌스 유닛과 연결된 반송 챔버. 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 일측에 배치된 기판 공급 챔버, 및 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 타측에 배치된 기판 회수 챔버를 포함할 수 있다.The deposition unit may include: a deposition chamber; a deposition assembly disposed in the deposition chamber and providing a deposition material to the substrate; a transfer chamber disposed below the deposition chamber and connected to the maintenance unit; It may include a substrate supply chamber disposed on one side of the deposition chamber and the transfer chamber, and a substrate recovery chamber disposed on the other side of the deposition chamber and the transfer chamber.
상기 이송 부재는, 상기 증착 챔버 내에 배치된 제1 이송 부재, 상기 반송 챔버 내에 배치된 제2 이송 부재를 더 포함하고, 상기 메인터넌스 이송 부재는 상기 제2 이송 부재에서 분지되어 상기 반송 챔버와 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치될 수 있다.The transfer member may further include a first transfer member disposed in the deposition chamber and a second transfer member disposed in the transfer chamber, wherein the maintenance transfer member is branched from the second transfer member to maintain the transfer chamber and the maintenance transfer member. Can be placed between units.
상기 캐리어는, 본체부, 상기 본체부의 일면 상에 배치되어 상기 기판을 상기 본체부에 고정시키는 정전척, 상기 본체부의 일면 상에 배치되고 상기 본체부에 방착 부재를 결합시키는 적어도 하나의 제1 결합 부재 및 상기 본체부의 외측에 배치되고 상기 이송 부재를 따라 상기 본체부를 이동시키는 캠 팔로워를 포함할 수 있다.The carrier includes a main body, an electrostatic chuck disposed on one surface of the main body to fix the substrate to the main body, and at least one first coupling disposed on one surface of the main body and coupled to the anti-catch member to the main body. It may include a member and a cam follower disposed outside the main body and moving the main body along the transfer member.
상기 이송 부재는, 상기 캠 팔로워의 표면을 지지하는 적어도 하나의 지지면, 및 상기 캠 팔로워의 측면을 가이드하는 가이드면을 포함할 수 있다.The transfer member may include at least one support surface supporting a surface of the cam follower and a guide surface guiding a side surface of the cam follower.
상기 메인터넌스 유닛은, 상기 캐리어의 보수를 수행하는 캐리어 메인터넌스부 및, 상기 캐리어에 결합되는 방착 부재를 교체하는 방착 부재 메인터넌스부를 포함할 수 있다.The maintenance unit may include a carrier maintenance unit that performs maintenance on the carrier and an anti-chat material maintenance unit that replaces the anti-chat material coupled to the carrier.
상기 캐리어 메인터넌스부는, 상기 캐리어가 적재되어 고정되는 캐리어 스토커, 상기 캐리어 스토커의 양측 측벽에 배치되며 상기 캐리어에 부착된 파티클을 제거하는 파티클 제거부, 및 상기 캐리어에 윤활유를 공급하는 주유부를 포함할 수 있다.The carrier maintenance unit may include a carrier stocker in which the carrier is loaded and fixed, a particle removal unit disposed on both side walls of the carrier stocker and removing particles attached to the carrier, and an oiling unit for supplying lubricant to the carrier. there is.
상기 캐리어 스토커는, 상기 파티클 제거부가 출입 가능하도록 상기 측벽에 형성되는 중공을 더 포함할 수 있다.The carrier stocker may further include a hollow formed in the sidewall so that the particle removal unit can enter and exit.
상기 캐리어 스토커는, 상기 캐리어가 복수개 적층되도록 다층으로 형성될 수 있다.The carrier stocker may be formed in multiple layers such that a plurality of carriers are stacked.
상기 방착 부재 메인터넌스부는, 여분의 상기 방착 부재가 다층으로 적층되는 방착 부재 스토커 및 상기 캐리어로부터 상기 방착 부재의 교체를 수행하는 방착 부재 교체부를 포함하며, 상기 방착 부재 교체부는 상기 캐리어 스토커와 상기 방착 부재 스토커 사이에 배치될 수 있다. The anti-navigation member maintenance unit includes a anti-navigation member stocker in which the surplus anti-navigation members are stacked in multiple layers, and a anti-navigation member replacement unit for replacing the anti-navigation member from the carrier, wherein the anti-navigation member replacement unit includes the carrier stocker and the anti-navigation member. Can be placed between stalkers.
상기 캐리어의 보수 여부를 확인하는 제어부, 를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛에 각각 연결되며, 상기 메인터넌스 유닛이 상기 캐리어의 보수를 수행하도록 상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛의 구동을 각각 제어할 수 있다.The deposition unit further includes a control unit that checks whether the carrier is being repaired, wherein the control unit is connected to the deposition unit, the transfer unit, and the maintenance unit, respectively, so that the maintenance unit performs maintenance on the carrier; Driving of the transfer unit and the maintenance unit may be respectively controlled.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 기판에 증착 공정을 수행하는 공정 챔버를 포함하는 증착 유닛, 상기 기판을 이송하는 캐리어를 포함하는 이송 유닛, 상기 공정 챔버 일측에 배치되며, 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 챔버를 포함하는 메인터넌스 유닛, 상기 공정 챔버와 상기 메인터넌스 챔버 사이에 배치된 전환 챔버, 및 상기 공정 챔버 및 상기 전환 챔버와 연결된 제1 연결부 및 상기 전환 챔버 및 상기 메인터넌스 챔버와 연결된 제2 연결부를 포함할 수 있다.A deposition apparatus according to another embodiment of the present invention for achieving the above object is a deposition unit including a process chamber for performing a deposition process on a substrate, a transfer unit including a carrier for transferring the substrate, disposed on one side of the process chamber and a maintenance unit including a maintenance chamber for performing maintenance of the carrier, a transition chamber disposed between the process chamber and the maintenance chamber, and a first connection unit connected to the process chamber and the transition chamber, and the transition chamber and the transition chamber. A second connection portion connected to the maintenance chamber may be included.
상기 공정 챔버는 진공 챔버로 구성되며, 상기 메인터넌스 챔버는 상압 챔버로 구성될 수 있다.The process chamber may be configured as a vacuum chamber, and the maintenance chamber may be configured as a normal pressure chamber.
상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는, 상기 전환 챔버를 진공상태 또는 상압 상태로 전환하는 게이트 밸브를 포함할 수 있다.The first connection part and the second connection part may include a gate valve that converts the conversion chamber into a vacuum state or normal pressure state.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 증착 방법은 기판 공급 챔버로 투입된 기판과 캐리어를 결합하는 단계, 상기 캐리어를 상기 기판 공급 챔버에서 증착 챔버로 이송하는 단계, 상기 기판이 결합된 상기 캐리어를 제1 이송 부재를 따라 상기 증착 챔버에서 상기 기판 회수 챔버로 이송시키면서 상기 캐리어에 결합된 상기 기판에 증착 공정을 수행하는 단계, 증착 공정이 수행된 상기 기판을 상기 캐리어로부터 분리하고 상기 기판 회수 챔버 외부로 반출하는 단계, 상기 기판이 분리된 상기 캐리어를 상기 증착 챔버로부터 반송 챔버로 이송하는 단계, 상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계, 및 상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어의 보수가 수행되어야 하는지 판단하는 단계, 상기 캐리어 중 보수가 필요한 제1 캐리어를 상기 제2 이송 부재에서 분지된 메인터넌스 이송 부재를 따라 메인터넌스 유닛으로 이송하는 단계, 상기 메인터넌스 유닛으로 이송된 상기 제1캐리어를 보수하는 단계, 및 보수된 상기 제1캐리어를 상기 메인터넌스 이송 부재를 따라 상기 반송 챔버로 회송하는 단계를 포함할 수 있다. A deposition method of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes combining a substrate and a carrier loaded into a substrate supply chamber, transferring the carrier from the substrate supply chamber to a deposition chamber, and removing the carrier to which the substrate is coupled. performing a deposition process on the substrate coupled to the carrier while transferring it from the deposition chamber to the substrate recovery chamber along a first transport member; separating the substrate on which the deposition process has been performed from the carrier and leaving the substrate recovery chamber outside; transporting the carrier from which the substrate is separated from the deposition chamber to a transport chamber, transporting the carrier transferred to the transport chamber to the substrate supply chamber along a second transport member, and Determining whether maintenance is to be performed on the carrier transferred to the transport chamber, transferring a first carrier requiring maintenance among the carriers to a maintenance unit along a maintenance transfer member branched from the second transfer member, the maintenance unit The method may include repairing the first carrier transported to and returning the repaired first carrier to the transfer chamber along the maintenance transfer member.
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 보수가 필요한 상기 제1캐리어 및 상기 제1 캐리어 이외의 제2 캐리어로 구분하는 단계, 및 상기 제2 캐리어를 상기 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.Classifying the carrier transferred to the transfer chamber into the first carrier requiring maintenance and a second carrier other than the first carrier, and transferring the second carrier to the substrate supply chamber along the second transfer member. It may further include steps to do.
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 보수가 필요한 상기 제1캐리어 및 상기 제1 캐리어 이외의 제2 캐리어로 구분하는 단계, 및 상기 반송 챔버로 회송된 보수된 상기 제1 캐리어를 상기 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.Classifying the carrier transferred to the transfer chamber into the first carrier requiring repair and a second carrier other than the first carrier, and the repaired first carrier returned to the transfer chamber as the second transfer member. A step of transferring the substrate to the substrate supply chamber may be further included.
상기 캐리어의 보수를 수행하는 단계는, 상기 메인터넌스 유닛으로 이송된 상기 제1 캐리어를 고정하는 단계, 방착 부재 교체부를 이용하여 상기 제1 캐리어의 방착 부재를 교체하는 단계, 상기 제1캐리어의 정전척에 기체를 분사하여 파티클을 제거하고, 제1캐리어의 캠 팔로워에 그리스를 주유하는 단계 를 더 포함할 수 있다.The repairing of the carrier may include fixing the first carrier transferred to the maintenance unit, replacing the anti-attachment member of the first carrier using an anti-attachment member replacement unit, and electrostatic chuck of the first carrier. The method may further include spraying gas to remove particles and lubricating grease to the cam follower of the first carrier.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 실시예에 따른 증착 장치는 증착 장치 내에 메인터넌스 유닛을 배치함으로써, 작업자의 안전을 개선할 수 있다. A deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may improve worker safety by arranging a maintenance unit in the deposition apparatus.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 증착 장치 및 증착 방법은 증착 작업의 Loss를 최소화 할 수 있다.In addition, the deposition apparatus and method according to the embodiment of the present invention can minimize the loss of the deposition operation.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 증착 장치 및 증착 방법은 캐리어의 메인터넌스 시간을 최소화할 수 있다. In addition, the deposition apparatus and the deposition method according to the embodiment of the present invention can minimize the maintenance time of the carrier.
본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.Effects according to the embodiments of the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more diverse effects are included in the present specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면 배치도이다.
도 2는 도 1의 증착 장치의 개략적인 단면 배치도이다.
도 3은 도 1의 증착 유닛의 A-A?단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 부재의 부분 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 부재의 부분 사시도이다.
도 6는 도 2에 도시된 메인터넌스 유닛을 확대 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 블록도이다
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법의 순서도이다.
도 9 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 공정의 공정 단계별 단면도들이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 유닛의 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 유닛의 단면도이다.1 is a plan layout view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional arrangement view of the deposition apparatus of FIG. 1 .
FIG. 3 is an AA-sectional view of the deposition unit of FIG. 1 .
4 is a partial perspective view of a transfer member according to an embodiment of the present invention.
5 is a partial perspective view of a transfer member according to another embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the maintenance unit shown in FIG. 2 .
7 is a block diagram of a control unit according to an embodiment of the present invention;
8 is a flow chart of a deposition method according to an embodiment of the present invention.
9 to 12 are process-step cross-sectional views of a maintenance process of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
13 is a cross-sectional view of a maintenance unit of a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view of a maintenance unit of a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the holder of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.When an element or layer is referred to as “on” another element or layer, it includes all cases where another element or layer is directly on top of another element or another layer or other element intervenes therebetween. Like reference numbers designate like elements throughout the specification.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first element mentioned below may also be the second element within the technical spirit of the present invention.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
먼저, 본 발명의 실시예들에 따른 증착 장치의 구성을 설명한다. First, a configuration of a deposition apparatus according to embodiments of the present invention will be described.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면 배치도, 도 2는 도 1의 증착 장치의 개략적인 단면 배치도로서, 보다 구체적으로 XZ평면 상에 도 1의 증착 장치를 투영한 개략적인 단면 배치도, 도 3은 도 1의 증착 유닛의 A-A? 단면도이다. 1 is a plane arrangement view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional arrangement view of the deposition apparatus of FIG. 1, more specifically, a schematic cross-sectional view of the deposition apparatus of FIG. 1 projected onto an XZ plane. A layout view, FIG. 3 is the A-A? of the deposition unit of FIG. it is a cross section
도 1 내지 도 3을 참조하면, 증착 장치(1000)는 증착 유닛(100), 메인터넌스 유닛(200), 및 이송 유닛(300)을 포함한다. Referring to FIGS. 1 to 3 , the
증착 장치(1000)에서 증착 공정이 이루어지는 기판(S)은 유기발광 표시 장치와 같은 표시 장치용 기판일 수 있다. 기판(S)은 복수의 표시 장치를 형성하기 위한 복수의 기판 영역이 정의되는 마더 글라스(mother glass) 기판일 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 하나의 표시 장치용 개별 기판이 기판(S)으로 사용될 수도 있다.The substrate S on which the deposition process is performed in the
기판(S)에 증착이 되는 물질은 유기 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전하 주입층, 전하 수송층 등과 같이 유기발광 표시 장치의 유기발광소자에 적용되는 유기물일 수 있다. 그러나, 이에 제한되지 않고, 기판(S)에 증착이 되는 물질은 층간 절연막이나, 평탄화막, 컬러 필터 등에 사용되는 유기물일 수도 있다. A material deposited on the substrate S may be an organic material applied to an organic light emitting device of an organic light emitting display device, such as an organic light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, a charge injection layer, or a charge transport layer. However, it is not limited thereto, and the material deposited on the substrate S may be an interlayer insulating film, a planarization film, or an organic material used for a color filter.
증착 유닛(100)은 공정 챔버(110), 및 공정 챔버(110) 내부에 배치되고 기판(S)에 증착 물질을 제공하는 적어도 하나의 증착 어셈블리(130)를 포함한다. The
공정 챔버(110)는 증착부, 반송부, 기판 공급부, 및 기판 회수부를 포함할 수 있다. 증착부, 반송부, 기판 공급부, 및 기판 회수부는 각각 별도의 챔버로 이루어질 수도 있지만, 하나의 챔버를 복수의 영역으로 분할한 후, 분할된 각 영역 내에 배치될 수도 있다. 예를 들어, 증착부와 반송부의 경우, 하나의 챔버를 1층과 2층으로 구별한 후, 1층에 반송부를 배치하고, 2층에 증착부를 배치할 수도 있다. 이하의 실시예에서는 증착부, 반송부, 기판 공급부, 및 기판 회수부가 각각 별도의 챔버로 이루어진 경우를 예로 하여 설명한다. The
공정 챔버(110)는 증착 공정이 이루어지는 증착 챔버(111), 증착 챔버(111)의 하측에 배치된 반송 챔버(112), 및 증착 챔버(111)와 반송 챔버(112)의 일측(도면 기준 좌측)에 배치된 기판 공급 챔버(113) 및 증착 챔버(111)와 반송 챔버(112)의 타측(도면 기준 우측)에 배치된 기판 회수 챔버(114)를 포함할 수 있다. The
증착 챔버(111)는 증착 공정이 이루어지는 챔버이다. 증착 챔버(111)는 진공 챔버일 수 있다. 증착 챔버(111)는 제1 방향(X)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. The
적어도 하나의 증착 어셈블리(130)는 증착 챔버(111) 내에 배치된다. 도면에서는 복수의 증착 어셈블리(130)가 제1 방향(X)을 따라 일정한 간격을 두고 배치된 경우가 예시되어 있지만, 증착 어셈블리(130)의 배치는 다양하게 변경될 수도 있다.At least one
증착 어셈블리(130)는 기판(S) 측으로 증착 물질을 배출하여 증착 어셈블리(130)와 마주보는 기판(S)의 일면 상에 박막을 증착시키는 역할을 한다. 증착 어셈블리(130)는 기판(S)의 하측에 배치될 수 있다. 증착 어셈블리(130)는 증착 물질을 수용하는 도가니(131), 도가니(131)의 외측에 배치되며 도가니(131)를 가열하여 증착 물질을 기화시키는 히터 및 기화된 증착 물질을 배출하는 적어도 하나의 노즐(135)을 포함할 수 있다. 노즐(135)은 기판(S)을 향하도록 도가니(131)의 상측에 배치될 수 있다. The
반송 챔버(112)는 증착 공정이 완료된 후 기판(S)이 분리된 캐리어(310)를 증착 챔버(111)의 투입구 또는 기판 공급 챔버(113) 측으로 반송하는 역할을 한다. 반송 챔버(112)는 증착 챔버(111)의 하측에 배치될 수 있다. 반송 챔버(112)는 증착 챔버(111)와 마찬가지로 제1 방향(X)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 반송 챔버(112)는 증착 챔버(111)와 중첩하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 반송 챔버(112)가 1층에 위치하고, 증착 챔버(111)는 반송 챔버(112) 상에 배치되어 2층을 구성할 수 있다.The
기판 공급 챔버(113)는 증착 챔버(111)와 반송 챔버(112)의 일측에 배치된다. 기판 공급 챔버(113)에는 기판(S)이 외부로부터 투입된다. 기판 공급 챔버(113)에 투입된 기판(S)은 기판 공급 챔버(113) 내에서 캐리어(310)에 고정된다. The
기판 공급 챔버(113)는 제1 승강기(331)를 포함할 수 있다. 캐리어(310)는 1층의 반송 챔버(112)에서 기판 공급 챔버(113) 내로 투입되며, 제1 승강기(331)는 투입된 캐리어(310)를 상승시킬 수 있으며, 상승된 캐리어(310)는 2층의 증착 챔버(111)로 투입될 수 있다. 그리고 캐리어(310)는 기판 공급 챔버(113)에 투입된 기판(S)을 고정하고 증착 챔버(111) 측으로 이동할 수 있으며, 이후 증착 챔버(111) 내에서 증착 공정이 진행된다. The
기판 회수 챔버(114)는 증착 챔버(111)와 반송 챔버(112)의 타측에 배치된다. 증착 챔버(111)에서 증착 공정이 완료된 기판(S)은 캐리어(310)와 함께 기판 회수 챔버(114) 내로 이동하며, 기판 회수 챔버(114) 내에서 기판(S)은 캐리어(310)와 분리되어 기판 회수 챔버(114) 외부로 반출된다. The
기판 회수 챔버(114)는 제2 승강기(333)를 포함할 수 있다. 제2 승강기(333)는 기판(S)이 분리된 캐리어(310)를 하강시킬 수 있으며, 하강된 캐리어(310)는 1층의 반송 챔버(112) 내로 투입될 수 있다. 그리고 반송 챔버(112)로 투입된 캐리어(310)는 기판 공급 챔버(113)측으로 반송될 수 있다. 증착 챔버(111), 반송 챔버(112), 기판 공급 챔버(113) 및 기판 회수 챔버(114)가 별도의 챔버로 구성되는 경우, 각 챔버들 사이에는 연결부(400)가 배치된다.The
구체적으로, 연결부(400)는 기판 공급 챔버(113)와 증착 챔버(111) 사이, 증착 챔버(111)와 기판 회수 챔버(114) 사이, 반송 챔버(112)와 기판 회수 챔버(114) 사이, 반송 챔버(112)와 기판 공급 챔버(113) 사이에 배치될 수 있다.Specifically, the
연결부(400)는 개폐 연결부(401) 및 게이트 연결부(402)를 포함한다.The
개폐 연결부(401)는 반송 챔버(112), 기판 공급 챔버(113), 기판 회수 챔버(114)가 모두 증착 챔버(111)와 마찬가지로 진공 챔버일 경우, 각 챔버들 사이에 배치되어 각 챔버를 개폐하는 역할을 한다. 개폐 연결부(401)는 개폐 셔터일 수 있다. When the
게이트 연결부(402)는 각 챔버들이 서로 다른 분위기를 가지는 경우, 예를 들어, 증착 챔버(111)가 진공을 유지하지만 인접한 기판 회수 챔버(114)가 상압(또는 대기압)을 유지하는 경우, 증착 챔버(111)를 진공상태로 유지하고 기판 회수 챔버(114)를 상압상태로 유지시켜주는 역할을 한다. 게이트 연결부(402)는 게이트 밸브를 포함하는 개폐 셔터일 수 있다.The
이송 유닛(300)은 기판(S)을 이동시키는 역할을 하며, 기판(S)을 고정하는 캐리어(310) 및 캐리어(310)를 이동시키는 이송 부재(350)를 포함한다. The
캐리어(310)는 본체부(311), 본체부(311)의 일측면 상에 배치된 정전척(317) 및 본체부(311)의 폭 방향(본체부의 이동방향과 평행한 방향) 외측에 배치된 캠 팔로워(313)를 포함할 수 있다. The
본체부(311)는 기판(S)의 하중을 지지하는 것으로서, 다양한 형상 및 구조로 형성될 수 있다. 본체부(311)는 기판(S)의 하중을 견딜 수 있도록 구성되며, 예를 들어, 철이나 SUS 등과 같이 강성을 갖는 금속으로 구성될 수 있다. The
정전척(317)은 본체부(311)의 일면의 중앙부에 위치할 수 있으며, 정전기력을 이용하여 기판(S)을 고정하는 역할을 한다. 정전척(317)은 세라믹으로 구성된 본체 및 그 내부에 매립된 전극을 포함할 수 있다. 정전척(317)은 전체가 일체형으로 형성되는 원장 정전척(mother Electro Static Chuck)이 적용될 수 있다. 정전척(317)이 원장 정전척인 경우 고정 대상인 기판(S)에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다. The
캠 팔로워(313)는 본체부(311)의 측부에 설치된다. 캠 팔로워(313)는 본체부(311)의 측부에 복수개가 배치될 수 있다. The
캠 팔로워(313)는 베어링의 일종으로 본체부(311)를 이송하는 바퀴역할을 할 수 있다. 캠 팔로워(313)는 후술할 이송 부재(350)를 따라 이동되도록 롤러의 형태로 형성될 수 있다. The
캠 팔로워(313)는 내측에 니들 롤러를 더 포함할 수 있다. 상기 니들 롤러는 캠 팔로워(313)를 구동하기 위한 롤러로서, 캐리어(310)가 이동됨에 따라 편마모가 진행될 수 있다. 이러한 편마모는 후술하는 메인터넌스 유닛(200)에서 캠 팔로워(313)에 그리스(grease)와 같은 윤활유를 공급함으로써 감소시킬 수 있다. The
복수의 캠 팔로워(313)는 각각 크기가 상이할 수 있다. 각 캠 팔로워(313)의 크기가 상이하면, 증착 공정 중에 이송 부재(350)가 손상을 입어 장애물이 형성된 경우라도 상기 장애물을 넘어가기에 용이하다. The plurality of
캐리어(310)는 후술할 방착부재(B)를 본체부(311)에 결합시키는 제1 결합 부재(315a)를 더 포함할 수 있다. 제1 결합 부재(315a)는 정전척(317)이 결합되는 본체부(311) 일면의 양측 테두리에 복수개가 구비될 수 있다. 그러나, 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 결합 부재(315a)의 그 수는 다양하게 변형 가능하다. The
도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 결합 부재(315a)는 본체부(311)의 일면에 결합되어 본체부(311)의 일면 보다 부분적으로 돌출될 수 있다. As exemplarily shown in FIG. 3 , the
제1 결합 부재(315a)와 결합되는 제2 결합 부재(315b)는 후술할 방착 부재(B)에 구비될 수 있다. 제2 결합 부재(315b)는 본체부(311)의 일면보다 부분적으로 돌출되는 제1 결합 부재(315a)의 형태와 대응되도록 형성된다. 즉, 제2 결합 부재(315b)는 방착 부재(B)의 일면에 제1 결합 부재(315a)의 형상과 대응되는 인입홈의 형태로 형성될 수 있다. The
따라서, 제1 결합 부재(315a)와 제2 결합 부재(315b)가 결합되면, 본체부(311)의 일면과 방착 부재(B)의 표면은 서로 직접 접촉할 수 있으며, 상호 밀착될 수 있다. 제1 결합 부재(315a) 및 제2 결합 부재(315b)로는 데이텀 클램프가 적용될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.Therefore, when the
다시, 도 1 및 도 2를 참조하면, 이송 부재(350)는 증착 유닛(100) 내에 배치된 메인 이송 부재(351, 352) 및 메인 이송 부재(351, 352)에서 분지되고 증착 유닛(100)과 메인터넌스 유닛(200) 사이에 배치된 메인터넌스 이송 부재(353)을 포함한다. 메인 이송 부재(351, 352)는 증착 챔버(111)에 배치된 제1 이송 부재(351), 반송 챔버(112)에 배치된 제2 이송 부재(352)를 포함한다. 제1 이송 부재(351), 제2 이송 부재(352) 및 메인터넌스 이송 부재(353)는 위치와 기능에 차이가 있을 뿐, 그 구조와 형상은 실질적으로 동일할 수 있다. Referring again to FIGS. 1 and 2 , the
제1 이송 부재(351)는 기판(S)이 고정된 캐리어(310)를 기판 공급 챔버(113)로부터 증착 챔버(111)를 거쳐 기판 회수 챔버(114) 측으로 이송하는 기능을 한다. The
제2 이송 부재(352)는 기판(S)이 분리된 캐리어(310)를 기판 회수 챔버(114)로부터 반송 챔버(112)를 거쳐 기판 공급 챔버(113) 측으로 이송하는 기능을 한다.The
메인터넌스 이송 부재(353)는 캐리어(310)의 보수가 필요한 경우 캐리어(310)를 반송 챔버(112)로부터 메인터넌스 유닛(200) 측으로 이송시키고, 메인터넌스 유닛(200)으로부터 보수가 완료된 캐리어(310)를 다시 반송 챔버(112) 측으로 회송시키는 기능을 한다. The
메인터넌스 이송 부재(353)는 반송 챔버(112) 내에서 제2 이송 부재(352)로부터 분지할 수 있다. 반송 챔버(112) 내에서 반송 챔버(112)의 제2 이송 부재(352)를 이동하던 캐리어(310)가 제2 이송 부재(352)를 계속 따라서 이동할지, 아니면 메인터넌스 이송 부재(353)로 이동할지는 후술하는 제어부(600)가 결정할 수 있다.The
이송 부재(350)의 다양한 구조에 대해 더욱 상세히 설명하기 위해 도 4 및 도 5가 참조된다. Reference is made to FIGS. 4 and 5 for a more detailed description of the various structures of the
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 부재의 부분 사시도이다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 부재의 부분 사시도이다. 4 is a partial perspective view of a transfer member according to an embodiment of the present invention. 5 is a partial perspective view of a transfer member according to another embodiment of the present invention.
도 4는 이송 부재(350)가 바닥면(350a)과 측벽(350b)으로 이루어진 경우를 예시한다. 바닥면(350a)은 캠 팔로워(313)의 표면을 지지하는 지지면이고, 측벽(350b)은 캠 팔로워(313)의 측면을 가이드하는 가이드면이다. 4 illustrates a case in which the conveying
도 5는 이송 부재(350_1)가 바닥면(350a)과 측벽(350b) 이외에 상부 커버(350c)를 더 포함하는 경우를 예시한다. 바닥면(350a)과 상부 커버(350c)는 캠 팔로워(313)의 표면을 상측 및 하측에서 지지하는 지지면이고, 측벽(350c)은 상술한 바와 같이 캠 팔로워(313)의 측면을 가이드하는 가이드면이다.5 illustrates a case in which the transfer member 350_1 further includes an
또한, 바닥면(350a)과 상부 커버(350c)는 도면에 도시되어 있지 않지만, 적어도 하나의 홈이 더 형성될 수 있다. 상기 홈에는 캠 팔로워(313)가 안착되어 캐리어(310)의 정밀한 이동이 가능할 수 있다.Also, although not shown in the drawings, at least one groove may be further formed on the
여기서, 이송 부재(350)는 하나의 평판을 절곡하거나, 복수의 평판을 나사 결합하여 바닥면(350a)과 측벽(350b) 및 상부 덮개(350c)를 형성할 수 있다.Here, the conveying
이송 부재(350)는 캐리어(310)를 이송하는 이송 레일일 수 있다.The conveying
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 캐리어(310)는 제2 이송 부재(352)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이동되어 메인터넌스 유닛(200)으로 이송될 수 있다.Referring back to FIGS. 1 and 2 , the
도 2에서는 메인터넌스 유닛(200)이 증착 유닛(100)의 하측으로 배치된 것처럼 표현이 되었으나, 이는 도 2 상에 증착 유닛(100), 메인터넌스 유닛(200) 및 전환 챔버(500)의 구성을 구체적으로 도시하기 위한 것이다. 따라서, 도 2에 도시된 메인터넌스 유닛(200)은 증착 유닛(100)의 반송 챔버(112)와 동일한 평면상에 배치된다. 즉, 메인터넌스 유닛(200)은 XY평면상에서 동일한 Y선 상에 배치될 수 있다.In FIG. 2 , the
메인터넌스 유닛(200)은 이송된 캐리어(310)의 보수를 수행하는 역할을 한다. 메인터넌스 유닛(200)은 공정 챔버(110)와 인접 배치될 수 있다. 메인터넌스 유닛(200)에 대한 더욱 상세한 설명을 위해 도 6이 참조된다. The
도 6은 도 2에 도시된 메인터넌스 유닛을 확대 도시한 단면도이다. 도 6을 참조하면, 메인터넌스 유닛(200)은 캐리어 메인터넌스부(230) 및 방착 부재 메인터넌스부(250)를 포함한다. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the maintenance unit shown in FIG. 2 . Referring to FIG. 6 , the
캐리어 메인터넌스부(230)는 캐리어 메인터넌스 챔버(213), 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 내에 각각 배치된 캐리어 스토커(231, 237), 파티클 제거부(233) 및 주유부(235)를 포함한다. The
캐리어 메인터넌스 챔버(213)는 이송된 캐리어(310)의 보수가 이루어지는 챔버이다. 캐리어 메인터넌스 챔버(213)는 상압 챔버일 수 있다. 캐리어 메인터넌스 챔버(213)는 반송 챔버(112)에 인접 배치될 수 있다. 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 내부에는 캐리어 스토커(231, 237)가 배치된다.The
캐리어 스토커(231, 237)에는 메인터넌스 이송 부재(353)로부터 이송된 캐리어(310)가 적재된다. 캐리어 스토커(231, 237)는 선반형 격자 프레임일 수 있다. 캐리어 스토커(231, 237)는 지지판(237) 및 적어도 하나의 측벽(231)을 포함한다. 지지판(237) 및 측벽(231)에 의해 정의된 공간 내에는 캐리어(310)가 수납될 수 있다. 지지판(237)은 이송된 캐리어(310)의 하측에 배치되며, 캐리어(310)의 일면을 지지할 수 있다. The
한편, 캐리어 메인터넌스부(230)은 지지판(237)의 일면에 일정 간격 이격되어 배치되는 고정 부재(236)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the
고정 부재(236)는 캐리어 스토커(231, 237)로 이송된 캐리어(310)를 고정하고, 캐리어 스토커(231, 237) 외측으로 캐리어(310)가 이탈되는 것을 방지하는 기능을 한다. 고정 부재(236)는 판형으로 이루어질 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어(310)의 일면 또는 캐리어(310)의 정전척(317)과 대응하는 형상의 홈을 포함할 수 있다. 그리고 캐리어(310)의 정전척(317)이 상기 홈 내에 삽입될 수 있으며, 이에 따라 캐리어(310)는 고정부재(236)에 고정될 수 있다. 다만, 고정 부재(236)의 형태는 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 고정 부재(236)는 스토퍼와 같은 막대형일 수도 있다.The fixing
캐리어 스토커(231, 237)의 측벽(231)은 메인터넌스 이송 부재(353)와 연결될 수 있으며, 측벽(231)은 메인터넌스 이송 부재(353)로부터 캐리어(310)를 전달 받아, 캐리어 스토커(231, 237)의 내측으로 이동시킬 수 있다. 다만, 캐리어(310)의 이동 방법은 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 캐리어 스토커(231, 237)와 메인터넌스 이송 부재(353) 사이에 로봇암이 배치되어, 로봇암이 캐리어(310)를 메인턴너스 이송 부재(353)로부터 캐리어 스토커(231, 237)의 내측으로 이동시킬 수도 있다.
한편, 캐리어 메인터넌스부(230)은 측벽(231)과 결합되는 보강 리브(234)를 더 포함할 수 있다. 보강 리브(234)는 캐리어(310)가 적재되는 캐리어 스토커(231, 237)의 측벽(231)에 강성을 높여주는 기능을 한다.Meanwhile, the
캐리어 메인터넌스부(230)는 측벽(231)에 형성되는 중공(232)을 더 포함할 수 있다. 후술할 파티클 제거부(233) 및 방착 부재 교체부(353)는 중공(232)에 삽입될 수 있으며, 또한 중공(232)에서 분리될 수도 있다.The
파티클 제거부(233)는 캐리어(310)의 정전척(317)에 부착된 파티클을 제거하는 역할을 한다. 파티클 제거부(233)는 캐리어 스토커(231, 237)의 양측 측벽(231)에 복수개가 연결될 수 있다. 파티클 제거부(233)는 중공(232)과 인접하게 배치되며, 후술할 제어부(600)의 결정에 따라 중공(232)을 통해, 캐리어 스토커(231, 237)의 내외측으로 이동할 수 있다. 이를 위해, 파티클 제거부(233)는 별도의 이동 부재를 통해 측벽(231)과 연결될 수 있으며, 예시적으로 상기 이동 부재는 슬라이딩 레일일 수 있다. 다만, 파티클 제거부(233)와 측벽(231)의 연결은 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 파티클 제거부(233)는 측벽(231)의 일측에 연결된 로봇암에 의해서 캐리어 스토커(231, 237)의 내외측으로 출입될 수 있다. 또한, 파티클 제거부(233)는 다양한 각도로 각도조절이 가능할 수 있다. 파티클 제거부(233)는 에어 노즐일 수 있다.The
주유부(235)는 본체부(311)를 이송하는 캠 팔로워(313)에 구성된 니들 롤러에 그리스와 같은 윤활유를 공급하는 역할을 한다. 주유부(235)는 캐리어 스토커(231, 237)의 측벽(231)의 일측에 복수개가 배치될 수 있다. 주유부(235)는 제어부(600)의 결정에 따라 도면을 기준으로 좌우방향으로 이동할 수 있으며, 캐리어(310)의 캠 팔로워(313)에 인접 배치될 수 있다. 이를 위해, 주유부(235)는 별도의 이동부재를 통해 캐리어 스토커(231, 237)의 측벽(231)과 연결될 수 있으며, 상기 이동부재는 예시적으로 슬라이딩 레일일 수 있다. 다만, 주유부(235)와 측벽(231)의 연결은 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 주유부(235)는 측벽(231)의 일측에 연결된 로봇암에 의해서 캠 팔로워(233)에 인접 배치될 수도 있다.The
도 1 및 도 6을 참조하면, 캐리어 메인터넌스 챔버(213)는 앞서 설명한 바와 같이 상압 챔버일 수 있다. 따라서, 반송 챔버(112)가 진공 챔버로 구성되는 경우, 반송 챔버(112)와 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 사이에는 전환 챔버(500)가 배치될 수 있다. 전환 챔버(500)는 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 이송된 캐리어(310)가 캐리어 메인터넌스 챔버(213)로 이송되기 전, 분위기를 전환하기 위해 잠시 대기하는 챔버, 즉 버퍼 챔버일 수 있다. 예컨대, 진공 상태인 반송 챔버(112)에서 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 캐리어(310)가 전환 챔버(500)로 이동하는 경우, 전환 챔버(500)의 내부 상태는 진공 상태가 될 수 있다. 이후 전환 챔버(500)와 반송 챔버(112) 사이의 게이트 연결부 (또는 제1 연결부)(402)가 열릴 수 있으며, 캐리어(310)가 전환 챔버(500)의 내부로 진입할 수 있다. 이에 따라 반송 챔버(112)의 진공 상태는 유지될 수 있다. 캐리어(310)가 전환 챔버(500) 내부로 진입한 후, 전환 챔버(500)와 반송 챔버(112) 사이의 제1 연결부(402) 는 닫힐 수 있으며, 전환 챔버(500)의 내부는 상압 상태로 변경될 수 있다. 이후 전환 챔버(500)와 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 사이의 게이트 연결부(또는 제2 연결부)(402)는 열릴 수 있으며, 전환 챔버(500) 내의 캐리어(310)는 캐리어 메인터넌스 챔버(213)로 이동할 수 있다. 이에 따라 캐리어 메인터넌스 챔버(213)의 상압 상태는 유지될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 6 , the
상술한 바와 같이, 반송 챔버(112)와 전환 챔버(500) 사이 및 전환 챔버(500)와 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 사이에는 분위기를 유지시켜주는 게이트 연결부(402)가 각각 배치될 수 있다. As described above, a
전환 챔버(500)와 연결되지 않는 캐리어 메인터넌스 챔버(213)의 타측으로는 방착 부재 메인터넌스부(250)가 배치된다.An anti-attachment
방착 부재 메인터넌스부(250)는 방착 부재(B)의 보수를 수행하는 역할을 한다. 방착 부재 메인터넌스부(250)는 방착 부재 메인터넌스 챔버(215), 방착 부재 메인터넌스 챔버(215) 내에 배치되는 방착 부재 스토커(251) 및 방착 부재 메인터넌스 챔버(215)와 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 사이에 배치되는 방착 부재 교체부(253)를 포함한다.The anti-attachment
방착 부재 메인터넌스 챔버(215)는 캐리어 메인터넌스 챔버(213)와 동일하게 상압 챔버일 수 있다. 방착 부재 메인터넌스 챔버(215) 내부 중앙에는 방착 부재 스토커(251)가 배치된다.The anti-chatting
방착 부재 스토커(251)는 교체를 진행할 여분의 방착 부재(B)를 적재하여 보관하는 역할을 한다. 방착 부재 스토커(251)는 다층의 선반형으로 형성될 수 있다. The
방착 부재(B)는 증착 공정 진행 시, 증착 물질이 캐리어(310)에 증착되는 것을 방지하는 역할을 한다. 방착 부재(B)는 넓은 철판일 수 있다. 방착 부재(B)는 상술한 제2 결합 부재(도 3의 315b)를 포함할 수 있다. 캐리어(310)에 결합된 방착 부재(B)는 방착 부재 교체부(253)에 의해서 교체될 수 있다.The anti-attachment member (B) serves to prevent the deposition material from being deposited on the
방착 부재 교체부(253)는 캐리어 메인터넌스 챔버(213)와 방착 부재 메인터넌스 챔버(215) 사이에 배치될 수 있다. 방착 부재 교체부(253)는 방착 부재 메인터넌스 챔버(215) 내부에 방착 부재 스토커(251)와 함께 배치될 수도 있지만, 도 6에 도시된 바와 같이 방착 부재 메인터넌스 챔버(215)의 외부에 배치될 수도 있다. 방착 부재 교체부(253)는 후술할 제어부(600)의 결정에 의해 소모된 방착 부재(B)를 캐리어(310)로부터 제거하고, 소모된 방착 부재(B)가 제거된 캐리어(310)에 새로운 방착 부재(B)를 결합시키는 역할을 한다. 방착 부재 교체부(253)는 방착 부재 스토커(251)에 적재된 방착 부재(B)를 캐리어(310) 일면에 형성된 제1 결합 부재(315a)에 결합시키는 로봇암일 수 있다.The anti-attachment
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 개략적인 블록도이다.7 is a schematic block diagram of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(600)를 더 포함할 수 있으며, 제어부(600)는 증착 유닛(100), 메인터넌스 유닛(200), 이송 유닛(300) 및 연결부(400)의 구동을 제어할 수 있다.It may further include a
구체적으로, 제어부(600)는 캐리어(310)의 보수 여부를 확인할 수 있으며, 증착 유닛(100) 및 메인터넌스 유닛(200) 내에서 캐리어(310)가 이동될 수 있도록 이송 유닛(300)의 구동을 제어한다.Specifically, the
예시적으로, 제어부(600)는 캐리어(310)의 보수가 수행되어야 하는지 판단할 수 있다. 제2 이송 부재(352)와 메인터넌스 이송 부재(353)의 분지 영역에는 제2 이송 부재(352)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이송 방향을 전환하는 전환장치 또는, 제2 이송 부재(352) 상의 캐리어(310)를 메인터넌스 이송 부재(353)로 이동시키는 로봇암이 구비될 수 있다. 전환 장치 및 로봇암은 제어부(600)의 결정에 따라 스위칭되어 동작될 수 있다. 증착 장치(1000)를 순환하는 캐리어(310) 중 보수가 필요한 캐리어(310)(또는 제1 캐리어)는, 제어부(600)의 제어에 의해 전환 장치 또는 로봇암에 의해 제2 이송 부재(352)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이송될 수 있으며, 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 전환 챔버(500)를 거쳐 캐리어 메인터넌스 챔버(213)로 이송된다.Illustratively, the
한편, 증착 장치(1000)를 순환하는 캐리어(310) 중 보수가 필요하지 않은 캐리어(또는 제2 캐리어)(310)는, 제어부(600)의 제어에 의해 제2 이송 부재(352)를 따라 다음 단계의 기판 공급 챔버(113)로 계속해서 이송될 수 있다. 즉, 상기 제2 캐리어(310)는 이송 동작의 중단 없이 제2 이송 부재(352)를 따라, 기판 공급 챔버(113)로 계속해서 이송된다.Meanwhile, among
또한, 제어부(600)는 각 챔버 사이에 배치되는 연결부(400)에 연결될 수 있으며, 각 챔버 사이를 연결하는 연결부(400)의 동작을 제어할 수 있다.In addition, the
다만, 제어부(600)의 동작은 상술한 바에 제한되는 것은 아니다. 캐리어(310)의 상태여부와 무관하게, 캐리어(310)는 제어부(600)의 제어에 의해 기 설정된 주기별로 제2 이송 부재(352)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이송될 수도 있다. 예시적으로 한 캐리어(310)가 제2 이송 부재(352)를 기 설정된 횟수(예시적으로 5회) 이동하는 경우, 해당 캐리어(310)는 제어부(600)의 제어에 의해 제2 이송 부재(352)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이송될 수도 있다.However, the operation of the
제어부(600)는 캐리어(310)의 보수를 수행하는 메인터넌스 유닛(200)의 구동을 제어할 수 있다.The
보수가 완료된 캐리어(310)는 제어부(600)의 제어에 의해 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 반송 챔버(112)로 회송될 수 있다. 여기서, 보수가 완료된 캐리어(310)는 전환 챔버(500) 내에서 대기 상태로 있다가 반송 챔버(112) 내로 회송될 수 있다. 따라서, 공정 챔버(110)내에서 순환되고 있던 복수의 캐리어(310)들은 이송 동작이 중단되지 않고 계속해서 다음 단계로 이송될 수 있다.The
다음으로, 본 발명의 일 실시예예 따른 증착 방법을 증착 장치(1000)의 동작과 함께 설명한다. Next, a deposition method according to an embodiment of the present invention will be described together with the operation of the
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법을 나타낸 순서도이다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법은 기판 공급 챔버로 투입된 기판과 캐리어를 결합하는 단계(S11), 캐리어를 기판 공급 챔버에서 증착 챔버로 이송하는 단계(S12), 기판이 결합된 캐리어를 제1 이송 부재를 따라 증착 챔버에서 기판 회수 챔버로 이송시키면서 캐리어에 결합된 기판에 증착 공정을 수행하는 단계(S13), 증착 공정이 수행된 기판을 캐리어로부터 분리하고 기판 회수 챔버 외부로 반출하는 단계(S14), 기판이 분리된 캐리어를 증착 챔버로부터 반송 챔버로 이송하는 단계(S15), 반송 챔버로 이송된 캐리어를 제2 이송 부재를 따라 기판 공급 챔버로 이송하는 단계(S16), 캐리어의 보수가 수행되어야 하는지 판단하는 단계(S17)을 포함하며, 캐리어를 제2 이송 부재를 따라 기판 공급 챔버로 이송하는 단계(S18), 캐리어를 제2 이송 부재에서 분지된 메인터넌스 이송 부재를 따라 메인터넌스 유닛으로 이송하는 단계(S19), 메인터넌스 유닛으로 이송된 캐리어를 보수하는 단계(S20)를 더 포함할 수 있다. 8 is a flowchart illustrating a deposition method according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 8 , the deposition method according to an embodiment of the present invention includes combining a substrate and a carrier loaded into a substrate supply chamber (S11), transferring the carrier from the substrate supply chamber to a deposition chamber (S12), and including a substrate Performing a deposition process on the substrate coupled to the carrier while transferring the combined carrier from the deposition chamber to the substrate recovery chamber along the first transfer member (S13), separating the substrate on which the deposition process has been performed from the carrier and the substrate recovery chamber Transferring the carrier to the outside (S14), transferring the carrier from the deposition chamber to the transfer chamber (S15), transferring the carrier transferred to the transfer chamber to the substrate supply chamber along the second transfer member (S16). ), determining whether maintenance of the carrier is to be performed (S17), transferring the carrier to the substrate supply chamber along the second transfer member (S18), and carrying the carrier to the maintenance transfer member branched from the second transfer member. A step of transferring the carrier to the maintenance unit (S19) and a step of repairing the carrier transferred to the maintenance unit (S20) may be further included.
이하 도 9 내지 도 12를 더 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법을 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a deposition method according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 9 to 12 .
도 9 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 공정의 공정 단계별 단면도들이다.9 to 12 are process-step cross-sectional views of a maintenance process of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2, 도 8 내지 도 12를 참조하면, S11 및 S12 단계는 다음과 같이 진행될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 8 to 12 , steps S11 and S12 may proceed as follows.
기판 공급 챔버(113)로 투입된 미증착 기판(S)을 정전척(317)이 형성된 캐리어(310)의 일면에 장착한다. 이어서, 기판(S)이 장착된 캐리어(310)의 일측을 제1 이송 부재(351)에 연결한다. 이때, 캐리어(310)는 제1 이송 부재(351)의 진행방향을 따라 이송될 수 있다.The undeposited substrate S introduced into the
이어서, 제1 이송 부재(351)에 연결된 캐리어(310)를 기판 공급 챔버(113)에서 증착 챔버(111)로 이송한다. Next, the
S13 및 S14 단계는 다음과 같이 진행될 수 있다.Steps S13 and S14 may proceed as follows.
증착 챔버(111)로 이송된 캐리어(310)를 제1 이송 부재(351)의 진행방향을 따라 증착 어셈블리(130)의 상부를 이동시키면서, 캐리어(310)에 장착된 기판(S)에 증착 물질을 증착시킨다.While the
이어서, 증착 공정이 완료된 기판(S)을 장착한 캐리어(310)를 증착 챔버(111)에서 기판 회수 챔버(114)로 이송한다. 이어서, 증착 공정이 완료된 기판(S)을 캐리어(310)로부터 분리하여 기판 회수 챔버(114) 외부로 반출시킨다. Next, the
S15 내지 S17 단계는 다음과 같이 진행될 수 있다.Steps S15 to S17 may proceed as follows.
기판(S)이 분리된 캐리어(310)를 제2 승강기(333)를 이용하여 2층의 증착 챔버(111)에서 1층의 반송 챔버(112)로 하강시킨다.The
이어서, 반송 챔버(112)로 투입된 캐리어(310)의 일측을 제2 이송 부재(352)에 연결시킨다. 이어서, 제2 이송 부재(352)와 연결된 캐리어(310)를 제2 이송 부재(352)의 진행방향을 따라 기판 공급 챔버(113) 측으로 반송한다. Subsequently, one side of the
이어서, 제2 이송 부재(352)를 따라 이송되는 캐리어(310)의 보수가 수행되어야 하는지 판단하여, 보수가 필요한 제1 캐리어와 제1 캐리어 이외의 제2 캐리어로 구분한다.Subsequently, it is determined whether the
S19 단계는 다음과 같이 진행될 수 있다.Step S19 may proceed as follows.
제1 캐리어가 전환 챔버(500)로 이송되기 전에 반송 챔버(112)와 전환 챔버(500) 사이의 제1 연결부(402)는 전환 챔버(500)의 내부를 진공 상태로 전환한다. 이어서, 전환 챔버(500)의 내부가 진공 상태로 전환되면, 전환 챔버(500)와 반송 챔버(112) 사이의 제1 연결부(402)를 개방한다. 이어서, 제1 캐리어(310)를 전환 챔버(500)의 내부로 이송시킨다. 이어서, 제1 캐리어(310)를 전환 챔버(500) 내부로 이송시킨 후, 전환 챔버(500)와 반송 챔버(112) 사이의 제1 연결부(402)를 폐쇄시킨다. 이후, 전환 챔버(500)와 메인터넌스 챔버(213) 사이의 제2 연결부(402)는 전환 챔버(500)의 내부를 상압 상태로 전환시킨다. 이어서, 전환 챔버(500)의 내부가 상압 상태로 전환되면 전환 챔버(500)와 캐리어 메인터넌스 챔버(213) 사이의 제2 연결부(402)를 개방한다. 이어서, 제1 캐리어(310)를 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 전환 챔버(500) 내에서 캐리어 메인터넌스 챔버(213)로 이송시킨다.Before the first carrier is transferred to the
이어서, 제1 캐리어(310)가 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라 캐리어 스토커(231, 237)로 진입하면, 메인터넌스 이송 부재(353)의 동작을 정지한다. Subsequently, when the
S20 단계는 다음과 같이 진행될 수 있다. Step S20 may proceed as follows.
먼저, 메인터넌스 유닛(200)으로 이송된 제1 캐리어를 고정하는 단계가 진행된다. 구체적으로, 상기 단계는, 메인터넌스 유닛(200)으로 이송된 제1 캐리어를 고정 부재(236)를 이용하여 캐리어 스토커(231, 237)의 지지판(237)에 고정한다.First, a step of fixing the first carrier transferred to the
다음으로, 방착 부재 교체부(253)를 이용하여 제1 캐리어의 방착 부재(B)를 교체하는 단계가 진행된다. 구체적으로, 상기 단계는 방착 부재 교체부(253)를 이용하여 캐리어(310)로부터 소모된 방착 부재(B)를 분리시킨다. 이어서, 방착 부재 교체부(253)를 이용하여 방착 부재 스토커(251)에 적재된 방착 부재(B)를 소모된 방착 부재(B)가 교체된 캐리어(310)의 일면으로 이동시킨다. 이어서, 방착 부재 교체부(253)는 캐리어(310)의 일면에 방착 부재(B)를 개재하여 결합시킨다.Next, a step of replacing the attachment prevention member B of the first carrier by using the attachment prevention
다음으로, 제1 캐리어의 정전척(317)에 기체를 분사하여 파티클을 제거하고, 제1 캐리어의 캠 팔로워(313)에 윤활유를 공급하는 단계가 진행된다. 구체적으로, 상기 단계는 파티클이 위치하는 영역에 파티클 제거부(233)를 인접하게 배치하고, 기체를 분사하여 파티클을 제거한다. 이때, 파티클 제거부(233)는 정확한 위치에 기체를 분사하도록 분사 노즐의 각도를 조절할 수 있다.Next, a step of spraying gas to the
이어서, 일정 분사 시간, 예를 들어, 5초 내지 30초가 지나면, 파티클 제거부(233)의 동작을 정지한다. Then, after a predetermined injection time, for example, 5 to 30 seconds, the operation of the
이어서, 캠 팔로워(313)의 주유 위치에 주유부(235)를 위치시킨다. 주유 위치에 위치된 주유부(235)가 캠 팔로워(313)에 그리스와 같은 윤활류를 주유한다. 이어서, 일정 주유량이 도래되면, 주유부(235)의 동작을 정지한다. Then, the
이어서, 보수가 완료된 제1 캐리어를 캐리어 스토커(231, 237)로부터 분리하여 메인터넌스 이송 부재(353)로 회송시킨다. 이어서, 캐리어(310)를 메인터넌스 이송 부재(353)를 따라, 전환 챔버(도1의 500)로 이송시킨다. 이때, 제1 캐리어는 공정 챔버(110) 내에서 순환되던 원래의 자리로 회송될 수 있도록 전환 챔버(500) 내에서 대기할 수 있다.Next, the first carrier for which repair is completed is separated from the
이어서, 일정 시간이 지나 제1 캐리어가 배치되어 있었던 원래의 자리가 돌아오게 되면, 제1 캐리어를 메인터넌스 이송 부재(353)로부터 제2 이송 부재(352)로 회송시킨다. Subsequently, when the original position where the first carrier was placed returns after a certain period of time, the first carrier is returned from the
이어서, 제1 캐리어를 제2 이송 부재(352)의 진행방향을 따라 기판 공급 챔버(113)로 이송한다. 기판 공급 챔버(113)로 이송된 캐리어(310)는, 상술한 캐리어(310)의 순환 단계에 따라 공정 챔버(110) 내에서 순환될 수 있다.Subsequently, the first carrier is transferred to the
S18 단계는 보다 구체적으로 다음과 같이 진행될 수 있다.Step S18 may more specifically proceed as follows.
제2 캐리어는 제2 이송 부재(352)를 따라 기판 공급 챔버(113)로 이송한 뒤, 제1 승강기(331)를 통해 1층의 반송 챔버(112)로부터 2층의 증착 챔버(111)로 상승시킨다. 그 뒤 상기와 같은 동작을 반복함으로써, 공정 챔버(110) 내에서 캐리어(310)를 순환시킨다.The second carrier is transferred to the
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치에 대해 설명한다. Hereinafter, a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention will be described.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 유닛의 단면도이다.13 is a cross-sectional view of a maintenance unit of a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 유닛(200_1)은 캐리어 메인터넌스부(230_1)와 방착 부재 메인터넌스부(250_1)가 하나의 메인터넌스 챔버(210) 내에 함께 배치되는 점이 도 1의 실시예와 상이한 점이다. Referring to FIG. 13 , in the maintenance unit 200_1 of the deposition apparatus according to the present embodiment, the carrier maintenance unit 230_1 and the anti-attachment member maintenance unit 250_1 are disposed together in one
구체적으로 설명하면, 메인터넌스 챔버(210)는 진공 챔버일 수 있다. 따라서, 반송 챔버(112)가 진공 챔버로 구성되는 경우, 반송 챔버(112)와 메인터넌스 챔버(210)의 일측이 직접적으로 연결될 수 있다. 반송 챔버(112)와 메인턴넌스 챔버(210)가 직접적으로 연결되는 경우에는, 도 1의 실시예와 같이, 전환 챔버(도 1의 500)의 구성이 필요치 않는다. 따라서, 본 실시예는 전환 챔버(도 1의 500)의 구성이 제외되었으므로, 도 1의 실시예보다 메인터넌스 시간을 축소할 수 있다.Specifically, the
또한, 메인터넌스 챔버(210) 내부에는 캐리어 메인터넌스부(230_1) 및 방착부재 메인터넌스부(250_1)가 각각 배치된다. 따라서, 본 실시예는 도 1의 실시예와 같이, 캐리어 메인터넌스 챔버(도 1의 213) 및 방착 부재 메인터넌스 챔버(도 1의 215)의 구성이 필요치 않는다. 따라서, 본 실시예는 캐리어 메인터넌스 챔버(도 1의 213) 및 방착 부재 메인터넌스 챔버(도 1의 215)의 구성이 제외되었으므로, 도 1의 실시예보다 메인터넌스 시간을 축소할 수 있다.In addition, a carrier maintenance unit 230_1 and an anti-attachment member maintenance unit 250_1 are respectively disposed inside the
즉, 본 실시예에 따른 메인터넌스 유닛(200_1)은 도 1의 실시예보다 메인터넌스 공정시간을 축소시킬 수 있는 장점이 있다.That is, the maintenance unit 200_1 according to the present embodiment has the advantage of reducing the maintenance process time compared to the embodiment of FIG. 1 .
이하, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치에 대해 설명한다. Hereinafter, a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention will be described.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 메인터넌스 유닛의 단면도이다. 14 is a cross-sectional view of a maintenance unit of a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 메인터넌스 유닛(200_2)은 지지판(237a, 237b), 파티클 제거부(233a, 233b), 중공(232a, 232b), 주유부(235a, 235b) 및 고정 부재(236a, 236b)가 캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)에 복수개가 배치되는 점이 도 1 내지 도 6의 설명에서 상술한 실시예와 상이한 점이다.Referring to FIG. 14, the maintenance unit 200_2 according to the present embodiment includes
구체적으로 설명하면, 캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)에는 복수의 지지판(237a, 237b)이 일정 간격 이격되게 배치된다. 따라서, 캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)의 내부에는 복수의 수납 공간이 형성된다. 캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)의 복수의 수납 공간으로는 복수의 제1 캐리어가 제3 방향(Z)을 따라 각각 적층될 수 있다.In detail, the carrier stockers 231_1, 237a, and 237b have a plurality of
캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)는 메인터넌스 이송 부재(353)와 인접 배치된다. 캐리어 스토커(231_1, 237a, 237b)와 메인터넌스 이송 부재(353) 사이에는 로봇암이 배치될 수 있다. 로봇암은 제1 캐리어를 메인턴너스 이송 부재(353)에서 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)로 이동시키거나, 보수가 완료된 제1 캐리어를 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)에서 메인터넌스 이송 부재(353)로 이동시키는 기능을 한다.The carrier stockers 231_1, 237a, and 237b are disposed adjacent to the
한편, 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)의 양측 측벽(231)에는 복수의 파티클 제거부(233a, 233b), 중공(232a, 232b), 주유부(235a, 235b) 및 고정 부재(236a, 236b)가 배치된다. 복수의 파티클 제거부(233a, 233b), 중공(232a, 232b), 주유부(235a, 235b) 및 고정 부재(236a, 236b)는 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)의 복수의 수납 공간에 각각 대응되도록 배치될 수 있다. 따라서, 복수의 파티클 제거부(233a, 233b), 중공(232a, 232b), 주유부(235a, 235b) 및 고정 부재(236a, 236b)는 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)에 적층되는 복수의 제1 캐리어의 보수를 각각 수행할 수 있다.On the other hand, on both
즉, 본 실시예의 메인터넌스 유닛(200_2)은 캐리어 스토커(231_1, 327a, 327b)에 복수의 제1 캐리어가 적층되고, 적층된 복수의 제1 캐리어는 동시에 보수가 수행할 수 있다.That is, in the maintenance unit 200_2 of this embodiment, a plurality of first carriers are stacked on the carrier stockers 231_1, 327a, and 327b, and maintenance can be performed on the stacked plurality of first carriers at the same time.
상술한 구성을 제외하고는 도 1 내지 도 6의 설명에서 상술한 실시예와 실질적으로 동일한 바, 구체적인 설명은 생략한다. Except for the above configuration, the bar is substantially the same as the above-described embodiment in the description of FIGS. 1 to 6, and thus a detailed description thereof will be omitted.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting.
1000: 증착 장치 S: 기판
B: 방착 부재
100: 증착 유닛 110: 공정 챔버
111: 증착 챔버 112: 반송 챔버
113: 기판 공급 챔버 114: 기판 회송 챔버
130: 증착 어셈블리 200, 200_1, 200_2: 메인터넌스 유닛
210: 메인터넌스 챔버 213: 캐리어 메인터넌스 챔버
215: 방착 부재 메인터넌스 챔버
230, 230_1, 230_2: 캐리어 메인터넌스부
231: 캐리어 스토커 233: 파티클 제거부
235: 주유부
250, 250_1, 250_2: 방착 부재 메인터넌스부
251: 방착 부재 스토커 253: 방착 부재 교체부
300: 이송 유닛 310: 캐리어
311: 본체부 313: 캠 팔로워
315: 결합부 315a: 제1 결합부
315b: 제2 결합부 317: 정전척
350: 이송 부재 400: 연결부
401: 개폐 연결부 402: 게이트 연결부
500: 전환 챔버1000: deposition device S: substrate
B: Anti-seize member
100: deposition unit 110: process chamber
111: deposition chamber 112: transfer chamber
113: substrate supply chamber 114: substrate return chamber
130:
210: maintenance chamber 213: carrier maintenance chamber
215: anti-friction member maintenance chamber
230, 230_1, 230_2: carrier maintenance unit
231: carrier stocker 233: particle removal unit
235: gas lady
250, 250_1, 250_2: Anti-stick member maintenance unit
251: anti-blocking member stalker 253: anti-blocking member replacement unit
300: transfer unit 310: carrier
311: body part 313: cam follower
315: coupling
315b: second coupling part 317: electrostatic chuck
350: transfer member 400: connection
401: opening and closing connection part 402: gate connection part
500: conversion chamber
Claims (18)
상기 기판을 이송하는 캐리어와 상기 캐리어를 이송하는 이송 부재를 포함하는 이송 유닛; 및
상기 증착 유닛과 인접 배치되고 상기 캐리어의 보수를 수행하는 메인터넌스 유닛을 포함하되,
상기 이송 부재는,
상기 캐리어를 상기 증착 유닛에서 상기 메인터넌스 유닛으로 이송하기 위해 상기 증착 유닛과 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 메인터넌스 이송 부재를 포함하고,
상기 메인터넌스 유닛은:
상기 캐리어의 보수를 수행하는 캐리어 메인터넌스부; 및
상기 캐리어에 결합되는 방착 부재를 교체하는 방착 부재 메인터넌스부를 포함하며,
상기 캐리어 메인터넌스부는:
상기 캐리어가 적재되어 고정되는 캐리어 스토커;
상기 캐리어 스토커의 양측 측벽에 배치되며 상기 캐리어에 부착된 파티클을 제거하는 파티클 제거부; 및
상기 캐리어에 윤활유를 공급하는 주유부를 포함하는 증착 장치.a deposition unit that performs a deposition process on a substrate;
a transfer unit including a carrier for transferring the substrate and a transfer member for transferring the carrier; and
A maintenance unit disposed adjacent to the deposition unit and performing maintenance of the carrier,
The conveying member,
a maintenance transfer member disposed between the deposition unit and the maintenance unit to transfer the carrier from the deposition unit to the maintenance unit;
The maintenance unit:
a carrier maintenance unit performing maintenance of the carrier; and
And an anti-chacking member maintenance unit for replacing the anti-chacking member coupled to the carrier,
The carrier maintenance unit:
a carrier stocker in which the carrier is loaded and fixed;
Particle removal units disposed on both side walls of the carrier stocker and removing particles attached to the carrier; and
A deposition apparatus including an oil lubricating unit supplying lubricating oil to the carrier.
상기 증착 유닛은,
증착 챔버, 상기 증착 챔버 내에 배치되고 상기 기판에 증착 물질을 제공하는 증착 어셈블리, 상기 증착 챔버의 하측에 배치되고 상기 메인터넌스 유닛과 연결된 반송 챔버. 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 일측에 배치된 기판 공급 챔버, 및 상기 증착 챔버와 상기 반송 챔버의 타측에 배치된 기판 회수 챔버를 포함하는 증착 장치.According to claim 1,
The deposition unit,
A deposition chamber, a deposition assembly disposed in the deposition chamber and providing a deposition material to the substrate, and a transfer chamber disposed below the deposition chamber and connected to the maintenance unit. A deposition apparatus including a substrate supply chamber disposed on one side of the deposition chamber and the transfer chamber, and a substrate recovery chamber disposed on the other side of the deposition chamber and the transfer chamber.
상기 이송 부재는,
상기 증착 챔버 내에 배치된 제1 이송 부재, 상기 반송 챔버 내에 배치된 제2 이송 부재를 더 포함하고,
상기 메인터넌스 이송 부재는 상기 제2 이송 부재에서 분지되어 상기 반송 챔버와 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 증착 장치.According to claim 2,
The conveying member,
further comprising a first transfer member disposed within the deposition chamber and a second transfer member disposed within the transfer chamber;
The deposition apparatus of claim 1 , wherein the maintenance transfer member is branched from the second transfer member and disposed between the transfer chamber and the maintenance unit.
상기 캐리어는,
본체부, 상기 본체부의 일면 상에 배치되어 상기 기판을 상기 본체부에 고정시키는 정전척, 상기 본체부의 일면 상에 배치되고 상기 본체부에 방착 부재를 결합시키는 적어도 하나의 제1 결합 부재 및
상기 본체부의 외측에 배치되고 상기 이송 부재를 따라 상기 본체부를 이동시키는 캠 팔로워를 포함하는 증착 장치.According to claim 1,
the carrier,
A body portion, an electrostatic chuck disposed on one surface of the body portion to fix the substrate to the body portion, at least one first coupling member disposed on one surface of the body portion and coupling an anti-seize member to the body portion; and
and a cam follower disposed outside the main body and moving the main body along the transfer member.
상기 이송 부재는,
상기 캠 팔로워의 표면을 지지하는 적어도 하나의 지지면, 및 상기 캠 팔로워의 측면을 가이드하는 가이드면을 포함하는 증착 장치.According to claim 4,
The conveying member,
A deposition apparatus comprising at least one support surface supporting a surface of the cam follower and a guide surface guiding a side surface of the cam follower.
상기 캐리어 스토커는,
상기 파티클 제거부가 출입 가능하도록 상기 측벽에 형성되는 중공을 더 포함하는 증착 장치.According to claim 1,
The carrier stocker,
The deposition apparatus further comprises a hollow formed in the sidewall to allow the particle removal unit to enter and exit.
상기 캐리어 스토커는,
상기 캐리어가 복수개 적층되도록 다층으로 형성되는 증착 장치.According to claim 1,
The carrier stocker,
A deposition apparatus formed in multiple layers such that a plurality of carriers are stacked.
상기 방착 부재 메인터넌스부는,
여분의 상기 방착 부재가 다층으로 적층되는 방착 부재 스토커 및
상기 캐리어로부터 상기 방착 부재의 교체를 수행하는 방착 부재 교체부를 포함하며,
상기 방착 부재 교체부는 상기 캐리어 스토커와 상기 방착 부재 스토커 사이에 배치되는 증착 장치.According to claim 1,
The anti-stick member maintenance unit,
An anti-navigation member stocker in which the surplus anti-navigation member is laminated in multiple layers; and
And an anti-chacking member replacement unit for replacing the anti-chacking member from the carrier,
The deposition apparatus of claim 1 , wherein the anti-chacking member replacement unit is disposed between the carrier stocker and the chak-prevention member stocker.
상기 캐리어의 보수 여부를 확인하는 제어부; 를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛에 각각 연결되며,
상기 메인터넌스 유닛이 상기 캐리어의 보수를 수행하도록 상기 증착 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 메인터넌스 유닛의 구동을 각각 제어하는 증착 장치.According to claim 1,
a control unit for checking whether the carrier is repaired; Including more,
The control unit,
connected to the deposition unit, the transfer unit, and the maintenance unit, respectively;
A deposition apparatus that controls driving of the deposition unit, the transfer unit, and the maintenance unit, respectively, so that the maintenance unit performs maintenance on the carrier.
상기 기판을 이송하는 캐리어를 포함하는 이송 유닛;
상기 공정 챔버 일측에 배치되며, 상기 캐리어의 보수를 수행하는 캐리어 메인터넌스부 및 상기 캐리어에 결합되는 방착 부재를 교체하는 방착 부재 메인터넌스부를 포함하는 메인터넌스 유닛;
상기 공정 챔버와 상기 메인터넌스 유닛 사이에 배치된 전환 챔버; 및
상기 공정 챔버 및 상기 전환 챔버와 연결된 제1 연결부 및 상기 전환 챔버 및 상기 메인터넌스 유닛과 연결된 제2 연결부를 포함하되,
상기 캐리어 메인터넌스부는:
상기 캐리어가 적재되어 고정되는 캐리어 스토커;
상기 캐리어 스토커의 양측 측벽에 배치되며 상기 캐리어에 부착된 파티클을 제거하는 파티클 제거부; 및
상기 캐리어에 윤활유를 공급하는 주유부를 포함하는 증착 장치.a deposition unit including a process chamber for performing a deposition process on a substrate;
a transport unit including a carrier transporting the substrate;
a maintenance unit disposed on one side of the process chamber and including a carrier maintenance unit for performing maintenance on the carrier and a maintenance unit for replacing the anti-chattle member coupled to the carrier;
a transition chamber disposed between the process chamber and the maintenance unit; and
A first connection part connected to the process chamber and the conversion chamber and a second connection part connected to the conversion chamber and the maintenance unit,
The carrier maintenance unit:
a carrier stocker in which the carrier is loaded and fixed;
Particle removal units disposed on both side walls of the carrier stocker and removing particles attached to the carrier; and
A deposition apparatus including an oil lubricating unit supplying lubricating oil to the carrier.
상기 공정 챔버는 진공 챔버로 구성되며,
상기 메인터넌스 유닛은 상압 챔버로 구성되는 증착 장치.According to claim 12,
The process chamber is composed of a vacuum chamber,
The deposition apparatus of claim 1 , wherein the maintenance unit is constituted by a normal pressure chamber.
상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는,
상기 전환 챔버를 진공상태 또는 상압 상태로 전환하는 게이트 밸브를 포함하는 증착 장치.According to claim 12,
The first connection part and the second connection part,
and a gate valve for converting the conversion chamber into a vacuum state or normal pressure state.
상기 캐리어를 상기 기판 공급 챔버에서 증착 챔버로 이송하는 단계;
상기 기판이 결합된 상기 캐리어를 제1 이송 부재를 따라 상기 증착 챔버에서 기판 회수 챔버로 이송시키면서 상기 캐리어에 결합된 상기 기판에 증착 공정을 수행하는 단계;
증착 공정이 수행된 상기 기판을 상기 캐리어로부터 분리하고 상기 기판 회수 챔버 외부로 반출하는 단계;
상기 기판이 분리된 상기 캐리어를 상기 증착 챔버로부터 반송 챔버로 이송하는 단계;
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계; 및
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어의 보수가 수행되어야 하는지 판단하는 단계
상기 캐리어 중 보수가 필요한 제1 캐리어를 상기 제2 이송 부재에서 분지된 메인터넌스 이송 부재를 따라 메인터넌스 유닛으로 이송하는 단계;
상기 메인터넌스 유닛으로 이송된 상기 제1 캐리어를 보수하는 단계; 및
보수된 상기 제1캐리어를 상기 메인터넌스 이송 부재를 따라 상기 반송 챔버로 회송하는 단계; 를 포함하되,
상기 제1 캐리어를 보수하는 단계는:
상기 메인터넌스 유닛으로 이송된 상기 제1 캐리어를 고정하는 단계;
방착 부재 교체부를 이용하여 상기 제1 캐리어의 방착 부재를 교체하는 단계; 및
상기 제1 캐리어의 정전척에 기체를 분사하여 파티클을 제거하고, 상기 제1 캐리어의 캠 팔로워에 그리스를 주유하는 단계를 더 포함하는 증착 방법.combining the substrate introduced into the substrate supply chamber and the carrier;
transferring the carrier from the substrate supply chamber to a deposition chamber;
performing a deposition process on the substrate coupled to the carrier while transferring the carrier coupled to the substrate from the deposition chamber to a substrate recovery chamber along a first transfer member;
separating the substrate on which the deposition process has been performed from the carrier and carrying it out of the substrate recovery chamber;
transferring the carrier from which the substrate is separated from the deposition chamber to a transfer chamber;
transferring the carrier transferred to the transfer chamber to the substrate supply chamber along a second transfer member; and
Determining whether maintenance of the carrier transported to the transfer chamber is to be performed
transferring a first carrier requiring maintenance among the carriers to a maintenance unit along a maintenance transfer member branched from the second transfer member;
repairing the first carrier transported to the maintenance unit; and
returning the repaired first carrier to the transfer chamber along the maintenance transfer member; Including,
Repairing the first carrier comprises:
fixing the first carrier transported to the maintenance unit;
replacing the attachment prevention member of the first carrier using a attachment prevention member replacement unit; and
and spraying gas to the electrostatic chuck of the first carrier to remove particles and lubricating grease to a cam follower of the first carrier.
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 보수가 필요한 상기 제1 캐리어 및 상기 제1 캐리어 이외의 제2 캐리어로 구분하는 단계; 및
상기 제2 캐리어를 상기 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계; 를 더 포함하는 증착 방법.According to claim 15,
classifying the carrier transferred to the transport chamber into the first carrier requiring repair and a second carrier other than the first carrier; and
transferring the second carrier to the substrate supply chamber along the second transfer member; Deposition method further comprising a.
상기 반송 챔버로 이송된 상기 캐리어를 보수가 필요한 상기 제1 캐리어 및 상기 제1 캐리어 이외의 제2 캐리어로 구분하는 단계; 및
상기 반송 챔버로 회송된 보수된 상기 제1 캐리어를 상기 제2 이송 부재를 따라 상기 기판 공급 챔버로 이송하는 단계를 더 포함하는 증착 방법.
According to claim 15,
classifying the carrier transferred to the transport chamber into the first carrier requiring repair and a second carrier other than the first carrier; and
and transferring the repaired first carrier returned to the transfer chamber to the substrate supply chamber along the second transfer member.
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