KR102518783B1 - 적응적 변형이 가능한 빔 제어기, 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법 - Google Patents

적응적 변형이 가능한 빔 제어기, 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법 Download PDF

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Abstract

내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는 차폐부, 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는 빔 관통부를 포함하는, 빔 제어기가 제공된다.

Description

적응적 변형이 가능한 빔 제어기, 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법 {Beam controller capable of adaptive deformation, a test apparatus for semiconductor device using the same, and a test method for semiconductor device using the same}
본 발명은 빔 제어기에 관련된 것으로, 보다 구체적으로는, 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하면서도, 테스트 빔으로부터 2차 입자를 미-발생시키는, 적응적 변형이 가능한 빔 제어기, 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법에 관련된 것이다.
종래에는 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하는 빔 제어 장치가 개발되어 있다. 예를 들어, 대한민국 공개특허공보 10-2001-0039642에는, 적어도 하나의 광 통로를 갖는 부품의 광 검출 장치로서, 상기 광 통로를 통해 상기 부품쪽으로 향해진 제 1 터미널부를 갖는 광 컨베이어 수단을 포함하며, 상기 제 1 터미널부는 상기 부품쪽으로부터 모든 각도에 걸쳐서 도달하는 광을 수집하는 구형 캡으로 형성되며, 상기 광 컨베이어 수단은 광 변환기의 감응요소와 대면하고 또한 실질적으로 접촉하는 표면을 갖는 제 2 터미널부를 갖는 광 통로를 갖는 부품의 광 검출 장치가 개시되어 있다.
한편, 상술된 바와 같은 종래의 빔 제어 장치는, 대부분 금속 소재로 이루어질 수 있다.
이는 금속 소재가 가지는 소재적 특성 때문일 수 있다. 보다 구체적으로, 금속 소재는, 기계적 강도가 높기 때문에, 상술된 바와 같은 빔 제어 장치로 제조함에 있어서 가공이 용이할 수 있다. 또한, 금속 소재로 상술된 바와 같은 빔 제어 장치가 제조되면, 제조된 빔 제어 장치의 내마모성, 내열성 등이 우수하기 때문일 수 있다.
하지만, 상술된 바와 같은 금속 소재로 제조된 종래의 빔 제어 장치는, 테스트 빔이 예를 들어, 방사선인 경우에, 방사선이 특정 방향으로 조사되도록 제어할 수는 있으나, 조사되는 방사선이 금속 소재와 반응하여 2차 입자가 발생될 수 있다.
따라서, 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하면서도, 테스트 빔으로부터 2차 입자를 미-발생시키는 빔 제어기가 필요한 실정이다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하는, 빔 제어기를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 테스트 빔으로부터 2차 입자를 미-발생시키는, 빔 제어기를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 보관성 및 휴대성이 우수한, 빔 제어기를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 빔 제어기를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 빔 제어기는, 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는 차폐부, 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는 빔 관통부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 휴대 시에, 상기 빔 관통부는, 상기 차폐부로부터 분리되고, 빔 제어 시에, 상기 빔 관통부는, 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 상기 차폐부 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합된 상기 빔 관통부는, 상기 테스트 빔의 축 방향을 따라 길이 연장될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 빔 제어기는, 상기 통로 바디에 관통된 테스트 빔의 에너지를 감쇠시키는, 디그레이더를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 차폐 물질은, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질로 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 차폐 물질은, 파라핀을 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 빔 제어기를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 빔 제어기는, 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는 차폐부, 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는 빔 관통부를 포함하되, 휴대 시에, 상기 빔 관통부는, 상기 차폐부로부터 분리되고, 빔 제어 시에, 상기 빔 관통부는, 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 상기 차폐부 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합된 상기 빔 관통부는, 상기 테스트 빔의 축 방향을 따라 길이 연장되고, 상기 제1 및 제2 차폐 물질은, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는 차폐부, 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는 빔 관통부를 포함하는, 빔 제어기가 제공될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 테스트 빔은 상기 통로에 관통되어, 상기 빔 관통부에서 제공하는 통로를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제1 및 제2 차폐 물질과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있다.
나아가, 본 발명에 의하면, 상기 빔 관통부가 상기 차폐부에 끼움 결합되면, 상기 테스트 빔은, 이중 차폐되어 상기 빔 관통부에서 제공하는 통로를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제1 및 제2 차폐 물질과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있음은 물론이다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 빔 관통부는, 휴대 시에, 상기 차폐부로부터 분리될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 빔 제어기는, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 빔 제어기를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 게재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
종래에는 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하는 빔 제어 장치가 개발되어 있다.
한편, 상술된 바와 같은 종래의 빔 제어 장치는, 대부분 금속 소재로 이루어질 수 있다.
이는 금속 소재가 가지는 소재적 특성 때문일 수 있다. 보다 구체적으로, 금속 소재는, 기계적 강도가 높기 때문에, 상술된 바와 같은 빔 제어 장치로 제조함에 있어서 가공이 용이할 수 있다. 또한, 금속 소재로 상술된 바와 같은 빔 제어 장치가 제조되면, 제조된 빔 제어 장치의 내마모성, 내열성 등이 우수하기 때문일 수 있다.
하지만, 상술된 바와 같은 금속 소재로 제조된 종래의 빔 제어 장치는, 테스트 빔이 예를 들어, 방사선인 경우에, 방사선이 특정 방향으로 조사되도록 제어할 수는 있으나, 조사되는 방사선이 금속 소재와 반응하여 2차 입자가 발생될 수 있다.
이에, 본 발명에서는, 특정 방향으로 테스트 빔이 조사되도록 테스트 빔을 제어하면서도, 테스트 빔으로부터 2차 입자를 미-발생시키는 빔 제어기를 제공한다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 빔 제어기가 설명된다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 빔 제어기를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 상기 빔 제어기(100)는, 차폐부(10) 및 빔 관통부(20) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
이하, 각 구성이 설명된다.
차폐부(10)
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 차폐부(10)에는, 후술되는 빔 관통부(20)가 끼움 결합될 수 있다.
이를 위해, 상기 차폐부(10)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 내부를 관통하는 중공(hl)이 형성될 수 있다.
보다 구체적으로, 도 3을 참조하면, 상기 차폐부(10)는, 상기 중공(hl)이 형성된 차폐 바디(11)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 차폐 바디(11)는, 금속 물질로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 차폐 바디(11)의 가공이 용이할 수 있으며, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 차폐 바디(11)는, 스틸(steel)로 이루어질 수 있다. 하지만, 상기 차폐 바디(11)는, 상술된 스틸에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 가공이 용이하되, 보관성 및 휴대성이 우수한 금속 물질이면 제한되지 않는다.
한편, 도 3을 참조하면, 상기 차폐부(10)는, 상기 중공(hl)을 둘러싸며, 상기 중공(hl)과 상기 차폐 바디(11)의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질(12)을 포함할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 차폐부(10)의 중공(hl)에 후술되는 빔 관통부(20)가 도 2에 도시된 바와 같이, 끼움 결합되는 경우, 테스트 빔은, 상기 빔 관통부(20)에 관통되어, 상기 빔 관통부(20)에서 제공하는 통로(pt, 도 4 참조)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제1 차폐 물질(12)과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있다. 한편, 여기에서 테스트 빔이라 함은, 도 5를 참조하면, 테스트 빔 소스(ry)로부터 조사되는 방사선을 포함하는 개념으로 이해될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 차폐 물질(12)은, 비금속 물질로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 제1 차폐 물질(12)은, 상기 테스트 빔과 비-반응할 수 있고, 따라서, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자가 미-발생될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 차폐 물질(12)은, 파라핀을 포함할 수 있다. 하지만, 상기 제1 차폐 물질(12)은, 상술된 파라핀에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질이면 제한되지 않는다.
빔 관통부(20)
상기 빔 관통부(20)는, 상기 테스트 빔이 관통되어 특정 방향으로 조사되도록 제어하되, 상기 특정 방향 외의 방향으로 상기 테스트 빔을 차폐시킬 수 있다.
이를 위해, 도 4를 참조하면, 상기 빔 관통부(20)는, 통로 바디(21) 및 제2 차폐 물질(22) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 통로 바디(21) 내부에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 테스트 빔이 관통되는 통로(pt)가 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 통로 바디(21)는, 금속 물질로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 통로 바디(21)의 가공이 용이할 수 있으며, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 통로 바디(21)는, 스틸(steel)로 이루어질 수 있다. 하지만, 상기 통로 바디(21)는, 상술된 스틸에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 가공이 용이하되, 보관성 및 휴대성이 우수한 금속 물질이면 제한되지 않는다.
한편, 도 4를 참조하면, 상기 제2 차폐 물질(22)은, 상기 통로(pt)와 상기 통로 바디(21)의 내벽 사이에 채워질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 테스트 빔은 상기 통로(pt)에 관통되어, 상기 빔 관통부(20)에서 제공하는 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제2 차폐 물질(22)과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있다.
이를 위해, 상기 빔 관통부(20)에 포함된 상기 제2 차폐 물질(22)도, 비금속 물질로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 제2 차폐 물질(22)은, 상기 테스트 빔과 비-반응할 수 있고, 따라서, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자가 미-발생될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 차폐 물질(22)은, 파라핀을 포함할 수 있다. 하지만, 상기 제2 차폐 물질(22)은, 상술된 파라핀에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질이면 제한되지 않는다.
한편, 앞서 설명된 바와 같이, 상기 빔 관통부(20)는, 상기 차폐부(10)에 끼움 결합되는 바(도 2 참조), 상기 테스트 빔은, 상기 빔 관통부(20)에서 제공하는 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 특정 방향 외의 방향으로 이중 차폐될 수 있다.
보다 구체적으로, 앞서 설명된 바와 같이, 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 차폐부(10)와 상기 빔 관통부(20)는, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)을 포함하는 바, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 빔 관통부(20)가 상기 차폐부(10)에 끼움 결합되면, 상기 테스트 빔은, 상기 빔 관통부(20)에서 제공하는 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 차폐부(10)와 상기 빔 관통부(20)의 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)에 의하여, 상기 특정 방향 외의 방향으로 이중 차폐될 수 있는 것이다.
나아가, 상기 빔 관통부(20)가 상기 차폐부(10)에 끼움 결합되면, 상기 테스트 빔은, 상술된 바와 같이 이중 차폐되어 상기 빔 관통부에서 제공하는 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있음은 물론이다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 빔 관통부(20)는, 휴대 시에 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 차폐부(10)로부터 분리될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 빔 제어기(100)는, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있다.
보다 구체적으로 예를 들어, 도 1에 도시된 상기 빔 관통부(20)의 A-A' 횡단면 길이 보다 상기 빔 관통부(20)의 B-B' 횡단면 길이가 긴 경우를 상정해 보기로 한다. 이 경우, 상기 빔 관통부(20)가 상기 차폐부(10)의 중공(hl)에 끼움 결합되면, 상기 빔 관통부(20)는, 상기 차폐부(10)로부터 소정 길이 돌출될 수 있다.
이에 따라, 상기 빔 제어기(100)의 보관 및 휴대 관점에 있어서, 상술된 바와 같은 돌출에 의하여 보관 및/또는 휴대가 용이하지 않거나 불편할 수 있음은 자명할 수 있다.
하지만, 본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 빔 관통부(20)는, 상기 차폐부(10)로부터 분리될 수 있기 때문에, 상술된 바와 같이, 상기 빔 관통부(20)의 A-A' 횡단면 길이 보다 상기 빔 관통부(20)의 B-B' 횡단면 길이가 긴 경우에도, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있는 것이다.
한편, 상기 빔 관통부(20)는, 빔 제어 시에 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 차폐부(10)의 중공(hl)에 끼움 결합될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 앞서 설명된 바와 같이, 상기 테스트 빔은, 상기 빔 관통부(20)에서 제공하는 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 조사되되, 상기 테스트 빔은, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)과 비-반응하여 2차 입자가 미-발생될 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 빔 제어기(100)는, 상기 테스트 빔의 축(ax, 도 5 참조) 방향을 따라 길이 연장될 수 있다.
이를 위해, 도 5를 참조하면, 상기 빔 제어기(100)는, 복수(100a~100c)로 마련되되, 상기 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 나란히 배치될 수 있다. 도 5에서 상기 빔 제어기(100)는, 복수(100a~100c) 즉, 3 개(제1 빔 제어기(100a), 제2 빔 제어기(100b), 및 제3 빔 제어기(100c))인 것으로 도시되었으나, 복수의 빔 제어기(100a~100c)는 3 개에 한정되는 것은 아니며, 상기 테스트 빔의 선량 및/또는 에너지에 따라 1개, 2개, 3개 내지 n 개일 수 있음은 물론이다. 이하에서, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 3 개인 것을 상정하기로 한다.
이때, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c) 각각에 포함된 복수의 상기 차폐부(10)의 중공(hl)에는, 각각 복수의 상기 빔 관통부(20)가 끼움 결합될 수 있음은 물론이다.
따라서, 본 발명에 의하면, 상기 복수의 빔 관통부(20)에서 제공하는 상기 통로(pt)는 길이 연장될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 길이 연장된 통로(pt)를 관통하는 상기 테스트 빔의 선량 손실이 최소화될 수 있다. 여기에서 선량이라 함은, 단위 시간 동안 주어진 면적에 조사되는 입자의 개수, 또는 주어진 시간 동안 단위 면적에 조사되는 입자의 개수를 포함하는 의미로 해석될 수 있으며, 선속(flux)을 포함하는 의미로 해석될 수 있다.
한편, 도 6을 참조하면, 상기 빔 제어기(100)는, 디그레이더(30)를 더 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 디그레이더(30)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 빔 관통부(20)의 통로(pt)에서 상기 테스트 빔이 인출되는 상기 차폐부(10)의 일 측에 마련될 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 상기 빔 관통부(20)의 통로(pt)에 관통된 상기 테스트 빔의 에너지가 감쇠되도록 제어될 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 예에 따른 빔 제어기(100)가 설명되었다.
이하, 본 발명의 변형 예가 설명된다.
이하 설명되는 본 발명의 변형 예에서, 앞서 설명된 실시 예의 설명과 중복되는 설명은 생략될 수도 있다. 하지만, 이하에서 중복되는 설명이 생략된다고 하여서, 이를 배제하는 것은 아니며, 이하에서 중복되는 설명은 앞선 실시 예의 설명을 참고하기로 한다.
본 발명의 제1 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 도 5를 참조하여 앞서 설명된 본 발명의 실시 예에서와 동일하게, 상기 빔 제어기(100)가 복수(100a~100c)로 마련되는 경우, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c) 각각에 포함된 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)이 상이할 수 있다.
이는, 본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 상기 테스트 빔 소스(ry)로부터 조사되는 테스트 빔의 차폐 효과가 상승되도록 고려된 것이다.
보다 구체적으로, 도 5를 참조하면, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c) 중에서, 상기 테스트 빔을 조사하는 상기 테스트 빔 소스(ry)에 가장 인접한 제1 빔 제어기(100a)는, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)로 중금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)은, 납을 포함할 수 있다. 하지만, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)은, 상술된 납에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 중금속 물질이면 제한되지 않는다.
이에 따라, 본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 상기 테스트 빔 소스(ry)에 가장 인접한 제1 빔 제어기(100a)가 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)로 중금속 물질을 포함하기 때문에, 상기 테스트 빔 소스(ry)로부터 조사되는 테스트 빔의 차폐 효과가 상승될 수 있다.
한편, 상술된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)로 중금속 물질을 포함하는 경우, 상기 중금속 물질은 상기 테스트 빔과 반응하기 때문에, 2차 입자가 발생될 수 있다.
따라서, 본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 상술된 바와 같은 2차 입자 발생을 최소화하기 위한 방법을 제공한다.
보다 구체적으로, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c) 중에서, 상기 제1 빔 제어기(100a)와 함께 상기 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 나란히 배치된, 상기 제1 빔 제어기(100a) 외의 나머지 제2 및 제3 빔 제어기(100a~100c)는, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)로 비금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)은, 파라핀, 물, 및 겔 등을 포함하거나, 이 중에서 적어도 둘 이상의 조합을 포함할 수 있다. 하지만, 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)은, 상술된 파라핀, 물, 및 겔에 한정되는 것은 아니며, 상술된 바와 같이, 상기 비금속 물질이면 제한되지 않는다
이에 따라, 본 발명의 제1 변형 예에 따르면, 상기 제2 및 제3 빔 제어기(100a~100c)가 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)로 비금속 물질을 포함하기 때문에, 상기 테스트 빔 소스(ry)으로부터 2차 입자 발생이 최소화될 수 있다.
본 발명의 제2 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제2 변형 예에 따르면, 도 5를 참조하여 앞서 설명된 본 발명의 실시 예에서와 동일하게, 상기 빔 제어기(100)가 복수(100a~100c)로 마련되는 경우, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c) 각각에 포함된 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)의 두께가 상이할 수 있다.
이는, 본 발명의 제2 변형 예에 따르면, 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT: device under test)가 장착되는 테스트 보드(UUT: unit under test)를 상기 2차 입자로부터 보호하도록 고려된 것이다.
보다 구체적으로, 도 5를 참조하여, 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100b)는, 상기 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 나란히 배치되되, 상기 테스트 빔 소스(ry)에서 가장 먼 측 즉, 상기 제3 빔 제어기(100c)에서 상기 테스트 빔이 인출되는 측에, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 장착된 테스트 보드(UUT)가 배치되는 것을 상정해보기로 한다.
이 경우, 본 발명의 제2 변형 예에 따르면, 상기 테스트 보드(UUT)에 가장 인접한 제3 빔 제어기(100c)에 포함된 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)의 두께가 가장 두꺼울 수 있다.
또는, 본 발명의 제2 변형 예에 따르면, 상기 제3 빔 제어기(100c), 상기 제2 빔 제어기(100b), 및 상기 제1 빔 제어기(100a) 순으로 상기 제1 및 제2 차폐 물질(12, 22)의 두께가 두꺼울 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제2 변형 예에 따르면, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 장착된 테스트 보드(UUT)는, 상기 2차 입자로부터 손상이 최소화되도록 보호될 수 있다.
본 발명의 제3 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 도 5를 참조하여 앞서 설명된 본 발명의 실시 예에서와 동일하게, 상기 빔 제어기(100)가 복수(100a~100c)로 마련되는 경우, 상기 복수의 빔 제어기(100a~100c)에서 복수의 상기 차폐부(10)의 중공(hl) 직경이 상이할 수 있다.
이를 위해, 본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 상기 차폐부(10)와 상기 빔 관통부(20)를 끼움 결합시키기 위한 결합부(미 도시)를 더 포함할 수 있다.
이는, 본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 상기 빔 제어기(100)의 보관성 및 휴대성을 고려한 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명의 제3 변형 예에서, 하나의 상기 빔 관통부(20)에 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100c)가 끼움 결합되되, 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100c) 중에서 적어도 어느 하나의 차폐부(10)의 중공(hl) 직경은, 상기 하나의 빔 관통부(20)의 직경과 동일하고, 나머지 적어도 하나의 차폐부(10)의 중공(hl) 직경은, 상기 하나의 빔 관통부(20)의 직경보다 큰 것을 상정해보기로 한다.
이 경우, 본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 상기 하나의 빔 관통부(20) 직경보다 큰 중공(hl) 직경을 가지는 차폐부(10)의 상기 큰 중공(hl)과, 상기 하나의 빔 관통부(20) 사이에 상기 결합부(미 도시)가 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 결합부(미 도시)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 큰 중공(hl)이 원형이고, 상기 하나의 빔 관통부(20)가 원기둥 형상인 경우, 도넛 형상으로 마련될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 상기 빔 제어 시에, 상기 하나의 빔 관통부(20)의 직경과 동일한 중공(hl) 직경을 가지는 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100c) 중에서 적어도 어느 하나의 차폐부(10)는, 상기 하나의 빔 관통부(20)와 직접 끼움 결합되되, 상기 하나의 빔 관통부(20)의 직경보다 큰 중공(hl) 직경을 가지는 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100c) 중에서 적어도 어느 하나의 차폐부(10)는, 상기 결합부(미 도시)를 사이에 두고 상기 하나의 빔 관통부(20)와 끼움 결합될 수 있다.
한편, 휴대 시에는, 상기 제1 내지 제3 빔 제어기(100a~100c)의 차폐부(10)와 상기 하나의 빔 관통부(20)를 분리하여 보관할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제3 변형 예에 따르면, 상기 빔 제어 시에는, 상기 하나의 빔 관통부(20)로 중공(hl) 직경이 상이한 복수의 상기 차폐부(10)를 끼움 결합하여 사용할 수 있고, 휴대 시에는, 상기 하나의 빔 관통부(20)와 상기 복수의 차폐부(10)를 분리하여 보관할 수 있기 때문에, 보관성 및 휴대성이 우수할 수 있다.
본 발명의 제4 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제4 변형 예에 따르면, 도 4를 참조하여 앞서 설명된 본 발명의 실시 예에서, 상기 빔 관통부(20)의 상기 제2 차폐 물질(22)의 두께가 상기 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 변형될 수 있다.
이는, 본 발명의 제4 변형 예에 따르면, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 장착된 테스트 보드(UUT)에 상기 테스트 빔이 집속되도록 고려된 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명의 제4 변형 예에서, 상기 빔 관통부(20)의 상기 제2 차폐 물질(22)의 두께는, 상기 테스트 빔 소스(ry)에 인접한 측 즉, 상기 테스트 빔의 인입 측보다 상기 테스트 보드(UUT)에 인접한 측, 즉, 상기 테스트 빔의 인출 측에서 두꺼울 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 차폐 물질(22)은, 상기 인입 측보다 상기 인출 측이 두껍도록, 상기 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 경사를 가질 수 있다
이에 따라, 본 발명의 제4 변형 예에 따르면, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 장착된 테스트 보드(UUT)에 상기 테스트 빔이 집속될 수 있다.
본 발명의 제5 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제5 변형 예에 따르면, 상기 차폐부(10)의 중공(hl) 및 상기 빔 관통부(20)의 단면은, 원형 또는 다각형으로 형성될 수 있다.
이는, 본 발명의 제5 변형 예에 따르면, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 상기 테스트 보드(UUT)에 장착되는 배열을 고려한 것이다.
즉, 다시 말해, 본 발명의 제5 변형 예에 따르면, 상기 차폐부(10)의 중공(hl) 및 상기 빔 관통부(20)의 단면은, 상기 테스트 보드(UUT)에 장착된 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)의 배열에 대응되도록 형성될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제5 변형 예에 따르면, 상기 테스트 보드(UUT)에 장착된 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)의 배열에 따라 상기 테스트 빔을 집속시킬 수 있다.
본 발명의 제6 변형 예에 따른 빔 제어기
본 발명의 제6 변형 예에 따르면, 상기 빔 제어기(100)가 하나로 마련되는 경우, 또는 도 5를 참조하여 설명된 바와 같이 상기 빔 제어기(100)가 복수(100a~100c)로 마련되는 경우에, 상기 빔 제어기(100, 100a~100c)는 상기 테스트 빔 소스(ry)로부터 조사되는 테스트 빔의 축(ax) 방향을 따라 고정 배치될 수 있다.
한편, 이때 상기 테스트 빔 소스(ry)는 미-이동되는 상태로 고정된 것을 상정한 것이다. 이에 따라, 상기 테스트 빔도, 상기 고정된 테스트 빔 소스(ry)에 의하여 미-이동되는 상태로 고정 조사될 수 있으며, 상기 테스트 빔의 축(ax)도 미-이동되는 상태로 고정될 수 있음은 물론이다.
이에 따라, 상기 테스트 빔 소스(ry)로부터 고정 조사된 테스트 빔은, 상기 고정 배치된 상기 빔 제어기(100, 100a~100c)의 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 고정 조사될 수 있음은 물론이다.
한편, 본 발명의 제6 변형 예에서, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)가 장착된 상기 테스트 보드(UUT)는, 상기 고정 조사되는 테스트 빔의 축(ax)을 향하여 이동될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제6 변형 예에 따르면, 상기 테스트 빔은, 상기 고정 배치된 상기 빔 제어기(100, 100a~100c)의 통로(pt)를 따라 특정 방향으로 고정 조사되기 때문에, 상기 테스트 보드(UUT)가 상기 테스트 빔의 축(ax)을 향하여 이동하면서, 상기 장착된 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)에 균일하게 테스트 빔이 조사될 수 있다. 여기에서 상기 테스트 빔이 균일하게 조사되는 것은, 상기 적어도 하나 이상의 피시험 반도체 소자(DUT)에 도달되는 선량이 균일함을 의미할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, 상기 피시험 반도체 소자(DUT)의 검사에 있어서 신뢰성이 향상될 수 있음은 물론이다.
이상, 상술된 본 발명의 제1 내지 제6 변형 예는, 서로 조합되거나 앞서 설명된 실시 예와 조합될 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 제1 내지 제6 변형 예 중에서 적어도 둘 이상은 조합될 수 있다. 또는 다른 예를 들어, 앞서 설명된 실시 예와, 상기 제1 내지 제6 변형 예 중에서 적어도 하나 이상이 조합될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10: 차폐부
11: 차폐 바디
12: 제1 차폐 물질
20: 빔 관통부
21: 통로 바디
22: 제2 차폐 물질
30: 디그레이더
100: 빔 제어기

Claims (6)

  1. 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는, 차폐부; 및
    상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는, 빔 관통부;를 포함하되,
    상기 제1 및 제2 차폐 물질은,
    상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질로 이루어진, 빔 제어기.
  2. 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는, 차폐부; 및
    상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는, 빔 관통부;를 포함하되,
    상기 제1 및 제2 차폐 물질은,
    파라핀을 포함하는, 빔 제어기.
  3. 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는, 차폐부; 및
    상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는, 빔 관통부;를 하나의 단위로 포함하는 유닛을 복수로 포함하되,
    상기 복수의 유닛은, 상기 테스트 빔의 축 방향을 따라 나란히 배치되되 상기 테스트 빔에 인접하도록 순차적으로 배치된 제1 유닛 및 제2 유닛을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 유닛은 서로 상이한 상기 제1 및 제2 차폐 물질을 포함하되,
    상기 제1 유닛의 상기 제1 및 제2 차폐 물질은, 중금속으로 이루어지고,
    상기 제2 유닛의 상기 제1 및 제2 차폐 물질은, 상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질로 이루어진, 빔 제어기.
  4. 제1 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    휴대 시에,
    상기 빔 관통부는, 상기 차폐부로부터 분리되고,
    빔 제어 시에,
    상기 빔 관통부는, 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되,
    상기 차폐부 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합된 상기 빔 관통부는, 상기 테스트 빔의 축 방향을 따라 길이 연장되는, 빔 제어기.
  5. 제1 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통로 바디에 관통된 테스트 빔의 에너지를 감쇠시키는, 디그레이더를 더 포함하는, 빔 제어기.
  6. 내부를 관통하는 중공이 형성된 차폐 바디, 및 상기 중공을 둘러싸며, 상기 중공과 상기 차폐 바디의 내벽 사이에 채워진 제1 차폐 물질을 포함하는, 차폐부; 및
    상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되, 내부에 테스트 빔이 관통되는 통로가 형성된 통로 바디, 및 상기 통로를 둘러싸며, 상기 통로와 상기 통로 바디의 내벽 사이에 채워진 제2 차폐 물질을 포함하는, 빔 관통부;를 포함하되,
    휴대 시에,
    상기 빔 관통부는, 상기 차폐부로부터 분리되고,
    빔 제어 시에,
    상기 빔 관통부는, 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합되되,
    상기 차폐부 및 상기 차폐부의 중공에 끼움 결합된 상기 빔 관통부는, 상기 테스트 빔의 축 방향을 따라 길이 연장되고,
    상기 제1 및 제2 차폐 물질은,
    상기 테스트 빔으로부터, 2차 입자를 미-발생시키는 비금속 물질로 이루어진, 빔 제어기.
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