KR100469320B1 - 전력반도체 특성 개선을 위한 전자빔 조사 제어방법 - Google Patents
전력반도체 특성 개선을 위한 전자빔 조사 제어방법 Download PDFInfo
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Abstract
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- 전력반도체의 특성을 개선시키기 위해 고에너지, 고출력을 갖는 전자빔가속기에서 방출되는 전자빔을 조사하고 그 흡수선량을 측정 및 평가하는 방법에 있어서,(a) 전력반도체 제조용 웨이퍼 또는 이 웨이퍼와 기하학적으로 동일하고 방사선에 대해 등가의 특성을 갖는 더미 웨이퍼를 배열하고, 그 위에 차폐필터를 구비한 선량계를 배치하는 단계와;(b) 전자빔을 상기 웨이퍼에 여러 번 나누어 조사하는 단계와;(c) 상기 선량계를 인출하여 흡수선량 및 그 분포를 측정하고 평가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사 제어방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 (a)단계는 다수의 웨이퍼를 적층하고, 각 웨이퍼에 대한 위치별 선량분포와 층별로 위치한 웨이퍼의 동일 축상의 위치에서의 선량분포를 측정하기 위해 웨이퍼에 다수의 선량계를 배치하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사 제어방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 (c)단계는 조사가 완료된 후 선량계를 인출하고 측정장치를 이용하여 선량계 위치별로 흡수선량을 측정하는 단계와;차폐필터의 특성을 입력값으로 받아 차폐필터에서 흡수한 흡수선량을 함께 계산하여 전체 흡수선량 및 선량분포를 산출하는 단계와;요구되는 기준선량과 비교하여 조사품질의 적합성을 평가하는 단계를 포함하는 전자빔 조사제어방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 선량계는 1kGy ~ 100kGy 측정범위를 갖는 방사선가공용 선량계이고, 상기 차폐필터는 수백 kGy 이상의 선량을 선량계 측정범위 이내로 감쇄시킬 수 있는 성능을 갖되 선량계에 입사되는 방사선을 누설없이 감쇄시킬 수 있도록 선량계와 기하학적으로 동일하면서 웨이퍼와 간섭이 없도록 두께가 얇은 필터인 것을 특징으로 하는 전자빔 조사 제어방법.
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CN114280461A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-05 | 天津金鹏源辐照技术有限公司 | 一种换位辐照实验方法 |
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2004
- 2004-04-02 KR KR10-2004-0022805A patent/KR100469320B1/ko active IP Right Grant
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