KR102489705B1

KR102489705B1 - 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

Info

Publication number: KR102489705B1
Application number: KR1020217007888A
Authority: KR
Inventors: 다카히로 야마구치
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2018-09-21
Filing date: 2019-08-20
Publication date: 2023-01-17
Also published as: JP2020047884A; CN112753094A; KR102541675B1; TWI722550B; WO2020059385A1; KR20230014863A; JP7132054B2; KR20210046033A; TW202023690A

Abstract

기판 처리 장치 (100) 는, 송액 배관 (41) 과, 공급 배관 (43) 과, 복귀 배관 (44) 과, 조정 밸브 (47) 와, 제어부 (3) 를 구비한다. 제어부 (3) 는, 조정 밸브 (47) 의 개도를 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환 가능하다. 제 1 개도는, 송액 배관 (41) 에 의해 안내된 약액의 전부 또는 일부가 공급 배관 (43) 에 공급되는 개도를 나타낸다. 제 2 개도는, 공급 배관 (43) 내의 약액의 전부 또는 일부가, 복귀 배관 (44) 에 공급되는 개도를 나타낸다.

Description

기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법

본 발명은, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.

반도체 장치, 및 액정 표시 장치와 같은 기판을 포함하는 장치의 제조 공정에서는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치가 사용되고 있었다. 기판은, 예를 들어, 반도체 웨이퍼, 또는 액정 표시 장치용 유리 기판이다.

특허문헌 1 에는, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽식의 기판 처리 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 1 에 기재된 기판 처리 장치는, 스핀 척과, 처리액 공급 장치를 구비한다. 스핀 척은, 기판을 회전시킨다. 처리액 공급 장치는, 스핀 척에 유지되어 있는 기판에 처리액을 공급한다. 처리액 공급 장치는, 노즐과, 공급 배관과, 밸브를 포함한다. 노즐은, 기판을 향하여 처리액을 토출한다. 공급 배관은, 노즐에 처리액을 공급한다. 밸브는, 공급 배관에 형성된다. 처리액은, 노즐로부터 토출됨으로써, 기판에 공급된다. 밸브는, 밸브체와 밸브 시트를 갖는다. 밸브체가 밸브 시트에 접촉함으로써 밸브가 폐쇄되고, 밸브체가 밸브 시트로부터 떨어짐으로써 밸브가 개방된다.

일본 공개특허공보 2009-222189호

그러나, 밸브가 폐쇄된 후, 밸브와 노즐 사이에 처리액이 남아 있는 경우가 있었다. 이 경우, 기판 처리 장치가 기판의 처리를 실시하고 있지 않은 상태에서, 밸브와 노즐 사이에 존재하는 처리액이 노즐로부터 늘어져 떨어지는 경우가 있었다.

본 발명은, 기판 처리 장치가 기판의 처리를 실시하고 있지 않은 상태에서, 노즐로부터 처리액이 늘어져 떨어지는 것을 억제할 수 있는 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법을 제공한다.

본 발명의 제 1 국면에 의하면, 기판 처리 장치는, 노즐로부터 기판에 처리액을 공급함으로써 상기 기판을 처리한다. 기판 처리 장치는, 송액 배관과, 공급 배관과, 복귀 배관과, 조정 밸브와, 제어부를 구비한다. 송액 배관은, 상기 처리액을 안내한다. 공급 배관은, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 노즐에 안내한다. 복귀 배관은, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 공급 배관과는 상이한 경로를 따라 안내한다. 조정 밸브는, 상기 복귀 배관에 형성된다. 제어부는, 상기 조정 밸브를 제어한다. 상기 제어부는, 상기 조정 밸브의 개도를 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환 가능하다. 상기 제 1 개도는, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액의 전부 또는 일부가 상기 공급 배관에 공급되는 개도를 나타낸다. 상기 제 2 개도는, 상기 공급 배관 내의 처리액의 전부 또는 일부가, 상기 복귀 배관에 공급되는 개도를 나타낸다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리액의 유로는, 분기부와, 제 1 유로와, 제 2 유로와, 제 3 유로를 갖는다. 분기부는, 상기 송액 배관, 상기 공급 배관, 및 상기 복귀 배관의 분기점이다. 제 1 유로는, 상기 분기부에 대하여 상기 송액 배관측에 위치한다. 제 2 유로는, 상기 분기부에 대하여 상기 공급 배관측에 위치한다. 제 3 유로는, 상기 분기부에 대하여 상기 복귀 배관측에 위치한다. 제 1 각도가 제 2 각도보다 크다. 상기 제 1 각도는, 상기 분기부로부터 상기 제 1 유로를 향하는 제 1 방향과, 상기 분기부로부터 제 3 유로를 향하는 제 3 방향이 이루는 각도를 나타낸다. 상기 제 2 각도는, 상기 제 1 방향과, 상기 분기부로부터 상기 제 2 유로를 향하는 제 2 방향이 이루는 각도를 나타낸다.

본 발명의 기판 처리 장치는, 스로틀부를 추가로 구비한다. 스로틀부는, 상기 제 1 유로에 형성된다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제 3 유로의 상류부의 직경은, 상기 제 1 유로 중 상기 스로틀부의 하류에 위치하는 부분의 직경 이상의 크기를 갖는다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제 1 개도는, 상기 조정 밸브의 개도가 소정 개도보다 작은 것을 나타낸다. 상기 제 2 개도는, 상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상의 크기인 것을 나타낸다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상인 경우에 있어서, 상기 조정 밸브의 개도가 일정한 값으로 고정되면, 상기 공급 배관 내의 상기 처리액의 체류 단부 위치가 일정한 위치로 유지된다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상의 일정한 값으로 고정된 경우, 상기 조정 밸브의 고정된 개도가 클수록, 상기 체류 단부 위치가 높은 위치에서 유지된다.

본 발명의 기판 처리 장치는, 순환 배관을 추가로 구비한다. 순환 배관에는, 상기 처리액이 순환한다. 상기 순환 배관을 흐르는 상기 처리액이 상기 송액 배관에 공급된다.

본 발명의 기판 처리 장치에 있어서, 상기 복귀 배관에 의해 안내된 상기 처리액이, 상기 순환 배관에 공급된다.

본 발명의 제 2 국면에 의하면, 기판 처리 방법은, 노즐로부터 기판에 처리액을 공급함으로써 상기 기판을 처리하는 방법이다. 기판 처리 방법은, 상기 처리액의 유로에 형성된 조정 밸브의 개도를, 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환시키는 공정을 구비한다. 상기 처리액의 유로는, 송액 배관과, 공급 배관과, 복귀 배관에 의해 형성된다. 송액 배관은, 상기 처리액을 안내한다. 공급 배관은, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 노즐에 안내한다. 복귀 배관은, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 공급 배관과는 상이한 경로를 따라 안내한다. 상기 조정 밸브는, 상기 복귀 배관에 형성된다. 상기 제 1 개도는, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액의 전부 또는 일부가 상기 공급 배관에 공급되는 개도를 나타낸다. 상기 제 2 개도는, 상기 공급 배관 내의 처리액의 전부 또는 일부가, 상기 복귀 배관에 공급되는 개도를 나타낸다.

본 발명의 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법에 의하면, 기판 처리 장치가 기판의 처리를 실시하고 있지 않은 상태에서, 노즐로부터 처리액이 늘어져 떨어지는 것을 억제할 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 처리 유닛의 구성을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 3 은, 기판 처리 장치에 의해 실행되는 기판에 대한 처리의 일례를 나타내는 플로도이다.
도 4 는, 약액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5 는, 공급 기구의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 6 은, 개재 장착 부재의 절단 단면도 (端面圖) 이다.
도 7 은, 약액의 압력을 나타내는 모식도이다.
도 8 은, 약액 노즐로부터 약액이 토출되고 있는 상태를 나타내는 모식도이다.
도 9 는, 조정 밸브의 개도와 약액 노즐로부터의 약액의 토출량의 관계를 나타내는 제 1 그래프이다.
도 10 은, 약액 노즐로부터의 약액의 토출이 정지되어 있는 상태를 나타내는 모식도이다.
도 11 은, 조정 밸브의 개도와 약액의 체류 단부 위치의 관계를 나타내는 제 2 그래프이다.
도 12 는, 공급 기구의 변형예를 나타내는 도면이다.

본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 도면 중, 동일 또는 상당 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙여 설명을 반복하지 않는다.

도 1 을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (100) 에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 발명의 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (100) 의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치 (100) 는, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식의 장치이다.

기판 (W) 은, 예를 들어, 실리콘 웨이퍼, 수지 기판, 또는, 유리·석영 기판이다. 본 실시형태에서는, 기판 (W) 으로서, 원판상의 반도체 기판이 예시되어 있다. 그러나, 기판 (W) 의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 기판 (W) 은, 예를 들어, 사각형상으로 형성되어 있어도 된다.

기판 처리 장치 (100) 는, 복수의 로드 포트 (LP) 와, 복수의 처리 유닛 (1) 과, 기억부 (2) 와, 제어부 (3) 를 구비한다.

로드 포트 (LP) 는, 기판 (W) 을 수용한 캐리어 (C) 를 유지한다. 처리 유닛 (1) 은, 로드 포트 (LP) 로부터 반송된 기판 (W) 을 처리 유체로 처리한다. 처리 유체는, 예를 들어, 처리액, 또는 처리 가스를 나타낸다.

기억부 (2) 는, ROM (Read Only Memory), 및 RAM (Random Access Memory) 과 같은 주기억 장치 (예를 들어, 반도체 메모리) 를 포함하고, 보조 기억 장치 (예를 들어, 하드 디스크 드라이브) 를 추가로 포함해도 된다. 주기억 장치 및/또는 보조 기억 장치는, 제어부 (3) 에 의해 실행되는 다양한 컴퓨터 프로그램을 기억한다.

제어부 (3) 는, CPU (Central Processing Unit) 및 MPU (Micro Processing Unit) 와 같은 프로세서를 포함한다. 제어부 (3) 는, 기판 처리 장치 (100) 의 각 요소를 제어한다.

기판 처리 장치 (100) 는, 반송 로봇을 추가로 구비한다. 반송 로봇은, 로드 포트 (LP) 와 처리 유닛 (1) 사이에서 기판 (W) 을 반송한다. 반송 로봇은, 인덱서 로봇 (IR) 과, 센터 로봇 (CR) 을 포함한다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 로드 포트 (LP) 와 센터 로봇 (CR) 사이에서 기판 (W) 을 반송한다. 센터 로봇 (CR) 은, 인덱서 로봇 (IR) 과 처리 유닛 (1) 사이에서 기판 (W) 을 반송한다. 인덱서 로봇 (IR), 및 센터 로봇 (CR) 의 각각은, 기판 (W) 을 지지하는 핸드를 포함한다.

기판 처리 장치 (100) 는, 복수의 유체 박스 (4) 와, 약액 캐비닛 (5) 을 추가로 구비한다. 복수의 유체 박스 (4) 와 처리 유닛 (1) 은, 기판 처리 장치 (100) 의 케이싱 (100a) 의 내부에 배치되어 있다. 약액 캐비닛 (5) 은, 기판 처리 장치 (100) 의 케이싱 (100a) 의 외부에 배치되어 있다. 약액 캐비닛 (5) 은, 기판 처리 장치 (100) 의 측방에 배치되어 있어도 된다. 또, 약액 캐비닛 (5) 은, 기판 처리 장치 (100) 가 설치되는 클린룸의 아래 (지하) 에 배치되어 있어도 된다.

복수의 처리 유닛 (1) 은, 상하로 적층된 탑 (U) 을 구성한다. 탑 (U) 은 복수 형성된다. 복수의 탑 (U) 은, 평면에서 봤을 때에 센터 로봇 (CR) 을 둘러싸도록 배치된다.

본 실시형태에서는, 탑 (U) 에는, 3 개의 처리 유닛 (1) 이 적층된다. 또, 탑 (U) 은 4 개 형성된다. 또한, 탑 (U) 을 구성하는 처리 유닛 (1) 의 개수는 특별히 한정되지 않는다. 또, 탑 (U) 의 개수도 특별히 한정되지 않는다.

복수의 유체 박스 (4) 는, 각각 복수의 탑 (U) 과 대응한다. 약액 캐비닛 (5) 내의 약액은, 유체 박스 (4) 를 통하여, 유체 박스 (4) 와 대응하는 탑 (U) 에 공급된다. 그 결과, 탑 (U) 에 포함되는 모든 처리 유닛 (1) 에 대하여 약액이 공급된다.

도 2 를 참조하여, 처리 유닛 (1) 에 대해 설명한다. 도 2 는, 처리 유닛 (1) 의 구성을 모식적으로 나타내는 측면도이다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 처리 유닛 (1) 은, 챔버 (6) 와, 스핀 척 (10) 과, 컵 (14) 을 포함한다.

챔버 (6) 는, 격벽 (8) 과, 셔터 (9) 와, FFU (7) (팬·필터·유닛) 를 포함한다. 격벽 (8) 은, 중공의 형상을 갖는다. 격벽 (8) 에는 반송구가 형성된다. 셔터 (9) 는, 반송구를 개폐한다. FFU (7) 는, 클린 에어의 다운 플로를 챔버 (6) 내에 형성한다. 클린 에어는, 필터에 의해 여과된 공기이다.

센터 로봇 (CR) 은, 반송구를 통하여 챔버 (6) 에 기판 (W) 을 반입하고, 반송구를 통하여 챔버 (6) 로부터 기판 (W) 을 반출한다.

스핀 척 (10) 은, 챔버 (6) 내에 배치된다. 스핀 척 (10) 은, 기판 (W) 을 수평하게 유지하면서, 회전축 (A1) 둘레로 회전시킨다. 회전축 (A1) 은, 기판 (W) 의 중앙부를 통과하는 연직의 축이다.

스핀 척 (10) 은, 복수의 척 핀 (11) 과, 스핀 베이스 (12) 와, 스핀 모터 (13) 와, 컵 (14) 과, 컵 승강 유닛 (15) 을 포함한다.

스핀 베이스 (12) 는, 원판상의 부재이다. 복수의 척 핀 (11) 은, 스핀 베이스 (12) 상에서 기판 (W) 을 수평한 자세로 유지한다. 스핀 모터 (13) 는, 복수의 척 핀 (11) 을 회전시킴으로써, 회전축 (A1) 둘레로 기판 (W) 을 회전시킨다.

본 실시형태의 스핀 척 (10) 은, 복수의 척 핀 (11) 을 기판 (W) 의 외주면에 접촉시키는 협지식의 척이다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 스핀 척 (10) 은, 배큠식의 척이어도 된다. 배큠식의 척은, 비디바이스 형성면인 기판 (W) 의 이면 (하면) 을 스핀 베이스 (12) 의 상면에 흡착시킴으로써, 기판 (W) 을 수평하게 유지한다.

컵 (14) 은, 기판 (W) 으로부터 배출된 처리액을 받아낸다. 컵 (14) 은, 경사부 (14a) 와, 안내부 (14b) 와, 액 받이부 (14c) 를 포함한다. 경사부 (14a) 는, 회전 축선 (A1) 을 향하여 비스듬히 위로 연장되는 통상 (筒狀) 의 부재이다. 경사부 (14a) 는, 기판 (W) 및 스핀 베이스 (12) 보다 큰 내경을 갖는 원환상의 상단을 포함한다. 경사부 (14a) 의 상단은, 컵 (14) 의 상단에 상당한다. 컵 (14) 의 상단은, 평면에서 봤을 때에 기판 (W) 및 스핀 베이스 (12) 를 둘러싸고 있다. 안내부 (14b) 는, 경사부 (14a) 의 하단부 (외단부) 로부터 하방으로 연장되는 원통상의 부재이다. 액 받이부 (14c) 는, 안내부 (14b) 의 하부에 위치하고, 상향으로 뚫린 환상의 홈을 형성한다.

컵 승강 유닛 (15) 은, 상승 위치와 하강 위치 사이에서 컵 (14) 을 승강시킨다. 컵 (14) 이 상승 위치에 위치할 때, 컵 (14) 의 상단이, 스핀 척 (10) 보다 상방에 위치한다. 컵 (14) 이 하강 위치에 위치할 때, 컵 (14) 의 상단이, 스핀 척 (10) 보다 하방에 위치한다.

기판 (W) 에 처리액이 공급될 때, 컵 (14) 은 상승 위치에 위치한다. 기판 (W) 으로부터 외측으로 비산된 처리액은, 경사부 (14a) 에 의해 받아내어진 후, 안내부 (14b) 를 통하여 액 받이부 (14c) 내에 모아진다.

처리 유닛 (1) 은, 린스액 노즐 (16) 과, 린스액 배관 (17) 과, 린스액 밸브 (18) 를 추가로 포함한다. 린스액 노즐 (16) 은, 스핀 척 (10) 에 유지되어 있는 기판 (W) 을 향하여 린스액을 토출한다. 린스액 노즐 (16) 은, 린스액 배관 (17) 에 접속되어 있다. 린스액 배관 (17) 에는, 린스액 밸브 (18) 가 개재 장착되어 있다.

린스액 밸브 (18) 가 개방되면, 린스액 배관 (17) 으로부터 린스액 노즐 (16) 에 린스액이 공급된다. 그리고, 린스액이 린스액 노즐 (16) 로부터 토출된다. 린스액은, 예를 들어, 순수 (탈이온수 : Deionized Water) 이다. 린스액은, 순수에 한정되지 않고, 탄산수, 전해 이온수, 수소수, 오존수, 및/또는, 희석 농도의 염산수여도 된다. 희석 농도는, 예를 들어, 10 ppm 이상, 100 ppm 이하의 농도이다.

처리 유닛 (1) 은, 약액 노즐 (21) 과, 노즐 이동 유닛 (22) 을 추가로 포함한다. 약액 노즐 (21) 은, 스핀 척 (10) 에 유지되어 있는 기판 (W) 을 향하여 약액을 토출한다. 노즐 이동 유닛 (22) 은, 처리 위치와 퇴피 위치 사이에서 약액 노즐 (21) 을 이동시킨다. 처리 위치는, 약액 노즐 (21) 이 기판 (W) 을 향하여 약액을 토출하는 위치를 나타낸다. 퇴피 위치는, 약액 노즐 (21) 이 기판 (W) 으로부터 이간된 위치를 나타낸다. 노즐 이동 유닛 (22) 은, 예를 들어, 요동 축선 (A2) 둘레로 약액 노즐 (21) 을 선회시킴으로써 약액 노즐 (21) 을 이동시킨다. 요동 축선 (A2) 은, 컵 (14) 의 주변에 위치하는 연직의 축이다.

기판 처리 장치 (100) 는, 약액 공급 장치 (30) 를 추가로 구비한다. 약액 공급 장치 (30) 는, 처리 유닛 (1) 의 약액 노즐 (21) 에 약액을 공급한다. 약액 노즐 (21) 에 공급되는 약액은, 예를 들어, 이소프로필알코올 (isopropyl alcohol : IPA) 을 포함한다.

약액은, 본 발명의 처리액의 일례이다. 약액 노즐 (21) 은, 본 발명의 노즐의 일례이다.

도 3 을 참조하여, 기판 처리 장치 (100) 에 의해 실행되는 기판 (W) 에 대한 처리의 일례에 대해 설명한다. 도 3 은, 기판 처리 장치 (100) 에 의해 실행되는 기판 (W) 에 대한 처리의 일례를 나타내는 플로도이다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 스텝 S1 에 있어서, 제어부 (3) 는, 기판 (W) 을 챔버 (6) 내에 반송하는 반송 처리를 실시한다. 이하에서는, 반송 처리의 순서에 대해 설명한다.

먼저, 약액 노즐 (21) 이 기판 (W) 의 상방으로부터 퇴피하고 있는 상태에서, 센터 로봇 (CR) 이 기판 (W) 을 핸드로 지지하면서, 핸드를 챔버 (6) 내에 진입시킨다. 그리고, 센터 로봇 (CR) 은, 핸드로 지지되어 있는 기판 (W) 을 스핀 척 (10) 상에 놓는다. 그 결과, 기판 (W) 이 스핀 척 (10) 상에 반송된다.

기판 (W) 이 스핀 척 (10) 상에 반송되면, 척 핀 (11) 이 기판 (W) 을 파지한다. 그리고, 스핀 모터 (13) 가 척 핀 (11) 을 회전시킨다. 그 결과, 기판 (W) 이 회전한다. 기판 (W) 이 회전하면, 처리가 스텝 S2 로 이행한다.

스텝 S2 에 있어서, 제어부 (3) 는, 기판 (W) 에 대하여 약액을 공급하는 약액 공급 처리를 실시한다. 이하에서는, 약액 공급 처리의 순서에 대해 설명한다.

먼저, 노즐 이동 유닛 (22) 이, 약액 노즐 (21) 을 처리 위치로 이동시킨다. 그리고, 컵 승강 유닛 (15) 이, 컵 (14) 을 상승 위치까지 상승시킨다. 그리고, 약액 공급 장치 (30) 가 약액 노즐 (21) 에 대한 약액의 공급을 개시한다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 이 기판 (W) 을 향하여 약액을 토출한다.

약액 노즐 (21) 이 약액을 토출하고 있을 때, 노즐 이동 유닛 (22) 은, 약액 노즐 (21) 을 중앙 처리 위치와 외주 처리 위치 사이에서 이동시켜도 된다. 중앙 처리 위치는, 약액 노즐 (21) 로부터 토출된 약액이 기판 (W) 의 상면 중앙부에 착액하는 위치를 나타낸다. 외주 처리 위치는, 약액 노즐 (21) 로부터 토출된 약액이 기판 (W) 의 상면 외주부에 착액하는 위치를 나타낸다. 또, 약액 노즐 (21) 이 약액을 토출하고 있을 때, 노즐 이동 유닛 (22) 은, 약액의 착액 위치가 기판 (W) 의 상면 중앙부에 위치하도록 약액 노즐 (21) 을 정지 (靜止) 시켜도 된다.

약액 노즐 (21) 로부터 토출된 약액은, 기판 (W) 의 상면에 착액된 후, 회전 중인 기판 (W) 의 상면을 따르면서, 기판 (W) 의 외측을 향하여 흐른다. 그 결과, 약액의 액막이, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮도록 형성된다.

특히, 노즐 이동 유닛 (22) 이 약액 노즐 (21) 을 중앙 처리 위치와 외주 처리 위치 사이에서 이동시키는 경우에는, 기판 (W) 의 상면 전역이 약액의 착액 위치에서 주사된다. 따라서, 약액을 기판 (W) 의 상면 전역에 균일하게 공급하는 것이 가능하다.

약액 노즐 (21) 에 대한 약액의 공급이 개시되고 나서 소정 시간이 경과하면, 약액 노즐 (21) 에 대한 약액의 공급이 정지된다. 그리고, 노즐 이동 유닛 (22) 이 약액 노즐 (21) 을 퇴피 위치로 이동시킨다. 약액 노즐 (21) 이 퇴피 위치에 도달하면, 처리가 스텝 S3 으로 이행한다.

스텝 S3 에 있어서, 제어부 (3) 는, 기판 (W) 에 대하여 린스액의 일례인 순수를 공급하는 린스액 공급 처리를 실시한다. 이하에서는, 린스액 공급 처리의 순서에 대해 설명한다.

먼저, 린스액 밸브 (18) 가 개방되어, 린스액 노즐 (16) 이 순수의 토출을 개시한다. 기판 (W) 의 상면에 착액된 순수는, 회전 중인 기판 (W) 의 상면을 따르면서, 기판 (W) 의 외측을 향하여 흐른다. 기판 (W) 상의 약액은, 린스액 노즐 (16) 로부터 토출된 순수에 의해 씻어내어진다. 그 결과, 순수의 액막이 기판 (W) 의 상면 전역에 형성된다.

린스액 밸브 (18) 가 개방되고 나서 소정 시간이 경과하면, 린스액 밸브 (18) 가 폐쇄되어, 기판 (W) 에 대한 순수의 토출이 정지된다. 기판 (W) 에 대한 순수의 토출이 정지되면, 처리가 스텝 S4 로 이행한다.

스텝 S4 에 있어서, 제어부 (3) 는, 기판 (W) 의 회전에 의해 기판 (W) 을 건조시키는 건조 처리를 실시한다. 이하에서는, 건조 처리의 순서에 대해 설명한다.

먼저, 스핀 모터 (13) 가 기판 (W) 을, 약액 공급 처리시의 기판 (W) 의 회전 속도, 및 린스액 공급 처리시의 기판 (W) 의 회전 속도보다 큰 회전 속도 (예를 들어, 수천 rpm) 로 고속 회전시킨다. 그 결과, 기판 (W) 으로부터 액체가 제거되므로, 기판 (W) 이 건조된다.

기판 (W) 의 고속 회전이 개시되고 나서 소정 시간이 경과하면, 스핀 모터 (13) 가 기판 (W) 의 회전을 정지시킨다. 기판 (W) 의 회전이 정지되면, 처리가 스텝 S5 로 이행한다.

스텝 S5 에 있어서, 제어부 (3) 는, 기판 (W) 을 챔버 (6) 로부터 반출하는 반출 처리를 실시한다. 이하에서는, 반출 처리의 순서에 대해 설명한다.

먼저, 컵 승강 유닛 (15) 이, 컵 (14) 을 하측 위치까지 하강시킨다. 그리고, 센터 로봇 (CR) 이, 핸드를 챔버 (6) 내에 진입시킨다. 그리고, 복수의 척 핀 (11) 이 기판 (W) 의 파지를 해제한다.

복수의 척 핀 (11) 이 기판 (W) 의 파지를 해제한 후, 센터 로봇 (CR) 은, 스핀 척 (10) 상의 기판 (W) 을 핸드로 지지한다. 그리고, 센터 로봇 (CR) 은, 핸드로 기판 (W) 을 지지하면서, 핸드를 챔버 (6) 의 내부로부터 퇴피시킨다. 그 결과, 처리 완료된 기판 (W) 이 챔버 (6) 로부터 반출된다.

처리 완료된 기판 (W) 이 챔버 (6) 로부터 반출되면, 스텝 S5 에 나타내는 반출 처리가 종료된다.

스텝 S1 내지 스텝 S5 에 나타내는 처리가 반복됨으로써, 기판 처리 장치 (100) 에 반송된 복수의 기판 (W) 이 1 장씩 처리된다.

다음으로, 도 4 를 참조하여, 약액 공급 장치 (30) 에 대해 설명한다. 도 4 는, 약액 공급 장치 (30) 의 구성을 나타내는 모식도이다.

약액 공급 장치 (30) 는, 복수 형성된다. 복수의 약액 공급 장치 (30) 는, 각각 복수의 탑 (U) (도 1 참조) 과 대응한다. 약액 공급 장치 (30) 는, 대응하는 탑 (U) 을 구성하는 모든 처리 유닛 (1) 에 대하여 약액을 공급한다.

본 실시형태에서는, 1 개의 탑 (U) 은, 3 개의 처리 유닛 (1) 으로 구성된다. 따라서, 1 개의 약액 공급 장치 (30) 가, 3 개의 처리 유닛 (1) 에 약액을 공급한다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 약액 공급 장치 (30) 는, 공급 탱크 (31) 와, 순환 배관 (32) 과, 순환 펌프 (33) 와, 순환 필터 (34) 와, 순환 히터 (35) 를 포함한다.

공급 탱크 (31) 는, 약액을 저류한다. 순환 배관 (32) 은, 관상의 부재이다. 순환 배관 (32) 내에는, 약액이 순환하는 순환로가 형성된다. 순환 배관 (32) 은, 상류측 단부 (32a) 와, 하류측 단부 (32b) 를 갖는다. 순환 배관 (32) 은, 공급 탱크 (31) 에 연통된다. 구체적으로는, 순환 배관 (32) 의 상류측 단부 (32a) 와 하류측 단부 (32b) 가 공급 탱크 (31) 에 연통된다.

순환 펌프 (33) 는, 공급 탱크 (31) 내의 약액을 순환 배관 (32) 에 이송한다. 순환 펌프 (33) 가 작동하면, 공급 탱크 (31) 내의 약액이 순환 배관 (32) 의 상류측 단부 (32a) 에 이송된다. 상류측 단부 (32a) 에 이송된 약액은, 순환 배관 (32) 내에서 반송되어, 하류측 단부 (32b) 로부터 공급 탱크 (31) 에 배출된다. 순환 펌프 (33) 가 계속해서 작동함으로써, 상류측 단부 (32a) 로부터 하류측 단부 (32b) 를 향하여, 순환 배관 (32) 내에 약액이 계속해서 흐른다. 그 결과, 약액이 순환 배관 (32) 을 순환한다.

순환 필터 (34) 는, 순환 배관 (32) 을 순환하는 약액으로부터, 파티클과 같은 이물질을 제거한다. 순환 히터 (35) 는, 약액을 가열함으로써, 약액의 온도를 조정한다. 순환 히터 (35) 는, 약액의 온도를, 예를 들어, 실온보다 높은 일정한 온도 (예를 들어, 60 ℃) 로 유지한다. 순환 배관 (32) 을 순환하는 약액의 온도는, 순환 히터 (35) 에 의해 일정한 온도로 유지된다.

순환 펌프 (33), 순환 필터 (34), 및 순환 히터 (35) 는, 순환 배관 (32) 에 설치된다.

공급 탱크 (31), 순환 펌프 (33), 순환 필터 (34), 및 순환 히터 (35) 는, 약액 캐비닛 (5) 내에 설치된다.

순환 펌프 (33) 대신에, 가압 장치를 형성해도 된다. 가압 장치는, 공급 탱크 (31) 내의 기압을 상승시킴으로써, 공급 탱크 (31) 내의 약액을 순환 배관 (32) 에 송출한다.

약액 공급 장치 (30) 는, 복수의 공급 기구 (40) 를 추가로 구비한다. 본 실시형태에서는, 3 개의 공급 기구 (40) 가 형성된다.

복수의 공급 기구 (40) 의 각각은, 순환 배관 (32) 에 연통된다. 복수의 공급 기구 (40) 의 각각에는, 순환 배관 (32) 을 순환하는 약액이 공급된다.

복수의 공급 기구 (40) 는, 복수의 처리 유닛 (1) 과 대응한다. 공급 기구 (40) 는, 대응하는 처리 유닛 (1) 에 약액을 공급한다. 처리 유닛 (1) 에 공급된 약액은, 약액 노즐 (21) 로부터 토출된다.

약액 공급 장치 (30) 는, 회수 탱크 (51) 와, 회수 배관 (52) 과, 회수 펌프 (53) 와, 회수 필터 (54) 를 추가로 갖는다.

회수 탱크 (51) 는, 복수의 공급 기구 (40) 의 각각과 연통된다. 회수 탱크 (51) 는, 약액 노즐 (21) 로부터 토출되지 않고 복수의 공급 기구 (40) 의 각각을 통과한 약액을 수용한다.

회수 배관 (52) 은, 관상의 부재이다. 회수 배관 (52) 은, 회수 탱크 (51) 내의 약액을 공급 탱크 (31) 에 안내한다. 회수 배관 (52) 은, 상류측 단부 (52a) 와, 하류측 단부 (52b) 를 포함한다. 상류측 단부 (52a) 는, 회수 탱크 (51) 에 연통된다. 하류측 단부 (52b) 는, 공급 탱크 (31) 에 연통된다.

회수 펌프 (53) 는, 회수 배관 (52) 에 설치된다. 회수 펌프 (53) 는, 회수 배관 (52) 을 통하여, 회수 탱크 (51) 내의 약액을 공급 탱크 (31) 에 압송한다. 회수 필터 (54) 는, 회수 배관 (52) 에 설치된다. 회수 필터 (54) 는, 회수 배관 (52) 을 흐르는 약액으로부터 이물질을 제거한다.

다음으로, 도 5 를 참조하여, 공급 기구 (40) 에 대해 설명한다. 도 5 는, 공급 기구 (40) 의 구성을 나타내는 모식도이다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 공급 기구 (40) 는, 송액 배관 (41) 과, 분기부 (42) 와, 공급 배관 (43) 과, 복귀 배관 (44) 을 갖는다. 송액 배관 (41), 공급 배관 (43), 및 복귀 배관 (44) 은, 분기부 (42) 를 통하여 서로 연통된다.

송액 배관 (41) 은, 관상의 부재이다. 송액 배관 (41) 은, 순환 배관 (32) 을 순환하는 약액을 순환 배관 (32) 의 외부로 안내한다. 송액 배관 (41) 은, 상류측 단부 (41a) 와, 하류측 단부 (41b) 를 포함한다. 상류측 단부 (41a) 는, 순환 배관 (32) 에 연통된다.

공급 배관 (43) 은, 관상의 부재이다. 공급 배관 (43) 은, 송액 배관 (41) 에 의해 안내된 약액을 약액 노즐 (21) 에 안내한다. 공급 배관 (43) 은, 상류측 단부 (43a) 와, 하류측 단부 (43b) 를 포함한다. 상류측 단부 (43a) 는, 분기부 (42) 를 통하여 송액 배관 (41) 의 하류측 단부 (41b) 와 연통된다. 하류측 단부 (43b) 는, 약액 노즐 (21) 에 연통된다.

복귀 배관 (44) 은, 관상의 부재이다. 복귀 배관 (44) 은, 송액 배관 (41) 에 의해 안내된 처리액을 공급 배관 (43) 과는 상이한 경로를 따라 안내한다. 본 실시형태에서는, 복귀 배관 (44) 은, 약액을 회수 탱크 (51) 에 안내한다. 복귀 배관 (44) 은, 상류측 단부 (44a) 와, 하류측 단부 (44b) 를 포함한다. 상류측 단부 (44a) 는, 분기부 (42) 를 통하여 송액 배관 (41) 의 하류측 단부 (41b), 및 공급 배관 (43) 의 상류측 단부 (43a) 의 각각과 연통된다. 하류측 단부 (44b) 는, 회수 탱크 (51) 에 연통된다.

공급 기구 (40) 는, 유량계 (45) 와, 개재 장착 부재 (46) 와, 조정 밸브 (47) 를 추가로 갖는다.

유량계 (45) 는, 송액 배관 (41) 을 흐르는 약액의 유량을 검출한다. 유량계 (45) 는, 송액 배관 (41) 에 설치된다. 약액의 유량은, 상세하게는, 송액 배관 (41) 내의 소정 위치를 흐르는 단위 시간당의 약액의 양을 나타낸다.

개재 장착 부재 (46) 는, 분기부 (42) 에 배치된다. 개재 장착 부재 (46) 는, 중공의 부재이다. 개재 장착 부재 (46) 는, 송액 배관 (41) 과 공급 배관 (43) 과 복귀 배관 (44) 사이에 개재 장착된다. 송액 배관 (41), 공급 배관 (43), 및 복귀 배관 (44) 은, 개재 장착 부재 (46) 를 통하여 서로 연통된다.

조정 밸브 (47) 는, 복귀 배관 (44) 에 설치된다. 조정 밸브 (47) 는, 개도를 변경 가능하다. 개도는, 조정 밸브 (47) 가 개방되어 있는 정도를 나타낸다. 조정 밸브 (47) 의 개도가 작아질수록, 조정 밸브 (47) 가 개방되어 있는 정도가 작아진다.

조정 밸브 (47) 는, 모터와 같은 구동원을 포함하고, 구동원의 동력에 의해 개도를 변경한다. 도 1 에 나타내는 제어부 (3) 는, 구동원을 조작함으로써, 조정 밸브 (47) 의 개도를 제어한다.

다음으로, 도 4 및 도 5 를 참조하여, 약액 공급 장치 (30) 내의 약액의 흐름에 대해 설명한다.

도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 순환 배관 (32) 을 순환하는 약액은, 순환 배관 (32) 으로부터 송액 배관 (41) 에 유입되면, 송액 배관 (41) 에 의해 분기부 (42) 에 안내된다. 분기부 (42) 로부터 공급 배관 (43) 에 공급된 약액은, 약액 노즐 (21) 로부터 토출된다. 분기부 (42) 로부터 복귀 배관 (44) 에 공급된 약액은, 복귀 배관 (44) 으로부터 회수 탱크 (51) 에 배출된다. 회수 탱크 (51) 에 배출된 약액은, 회수 배관 (52) 을 통하여 공급 탱크 (31) 에 공급된다. 공급 탱크 (31) 에 공급된 약액은, 순환 배관 (32) 을 순환한다.

다음으로, 도 6 을 참조하여, 개재 장착 부재 (46) 에 대해 설명한다. 도 6 은, 개재 장착 부재 (46) 의 절단 단면도이다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 개재 장착 부재 (46) 는, 제 1 부재 (46a) 와, 제 2 부재 (46b) 와, 제 3 부재 (46c) 를 갖는다. 제 1 부재 (46a), 제 2 부재 (46b), 및 제 3 부재 (46c) 는, 중공의 부재이고, 서로 연통된다. 제 1 부재 (46a), 제 2 부재 (46b), 및 제 3 부재 (46c) 가 서로 연통되는 공소 (空所) 가, 분기부 (42) 를 구성한다.

제 1 부재 (46a), 및 제 3 부재 (46c) 는, 분기부 (42) 로부터 서로 반대 방향으로 돌출된다. 제 2 부재 (46b) 는, 분기부 (42) 로부터, 제 1 부재 (46a), 및 제 3 부재 (46c) 의 각각에 대하여 수직의 방향으로 돌출된다.

제 1 부재 (46a) 는, 제 1 개구부 (4A) 를 갖는다. 제 1 개구부 (4A) 는, 제 1 부재 (46a) 의 내부와 외부를 연통시킨다. 제 1 개구부 (4A) 에는, 송액 배관 (41) 의 하류측 단부 (41b) 가 연결된다.

제 2 부재 (46b) 는, 제 2 개구부 (4B) 를 갖는다. 제 2 개구부 (4B) 는, 제 2 부재 (46b) 의 내부와 외부를 연통시킨다. 제 2 개구부 (4B) 에는, 공급 배관 (43) 의 상류측 단부 (43a) 가 연결된다.

제 3 부재 (46c) 는, 제 3 개구부 (4C) 를 갖는다. 제 3 개구부 (4C) 는, 제 3 부재 (46c) 의 내부와 외부를 연통시킨다. 제 3 개구부 (4C) 에는, 복귀 배관 (44) 의 상류측 단부 (44a) 가 연결된다.

송액 배관 (41) 을 흐르는 약액은, 제 1 개구부 (4A) 를 통하여 개재 장착 부재 (46) 의 내부에 공급된다. 개재 장착 부재 (46) 의 내부의 약액은, 제 2 개구부 (4B) 를 통하여 공급 배관 (43) 에 공급된다. 개재 장착 부재 (46) 의 내부의 약액은, 제 3 개구부 (4C) 를 통하여 복귀 배관 (44) 에 공급된다.

약액의 유로는, 분기부 (42) 와, 제 1 유로 (R1) 와, 제 2 유로 (R2) 와, 제 3 유로 (R3) 를 갖는다. 분기부 (42) 는, 송액 배관 (41), 공급 배관 (43), 및 복귀 배관 (44) 의 분기점이다. 제 1 유로 (R1) 는, 분기부 (42) 에 대하여 송액 배관 (41) 측에 위치하는 약액의 유로를 나타낸다. 제 1 유로 (R1) 는, 분기부 (42) 와 송액 배관 (41) 의 상류측 단부 (41a) (도 5 참조) 사이에 위치한다. 제 2 유로 (R2) 는, 분기부 (42) 에 대하여 공급 배관 (43) 측에 위치하는 약액의 유로를 나타낸다. 제 2 유로 (R2) 는, 분기부 (42) 와 공급 배관 (43) 의 하류측 단부 (43b) 사이에 위치한다. 제 3 유로 (R3) 는, 분기부 (42) 에 대하여 복귀 배관 (44) 측에 위치하는 약액의 유로를 나타낸다. 제 3 유로 (R3) 는, 분기부 (42) 와 복귀 배관 (44) 의 하류측 단부 (44b) 사이에 위치한다.

공급 기구 (40) 는, 스로틀부 (46d) 를 추가로 갖는다. 스로틀부 (46d) 는, 제 1 유로 (R1) 에 배치된다. 스로틀부 (46d) 는, 제 1 유로 (R1) 의 유로 면적을 좁히는 오리피스로서 기능한다. 유로 면적은, 약액이 흐르는 방향에 대하여 수직의 약액의 유로의 단면의 면적이다.

본 실시형태에서는, 스로틀부 (46d) 는, 개재 장착 부재 (46) 의 제 1 부재 (46a) 에 형성된다. 스로틀부 (46d) 는, 분기부 (42) 와 대향한다. 스로틀부 (46d) 는 분기부 (42) 를 향하여 약액을 분출한다. 본 실시형태에서는, 스로틀부 (46d) 는, 분기부 (42) 의 근방에 위치한다. 따라서, 약액은, 스로틀부 (46d) 로부터 분출된 직후에 분기부 (42) 에 유입된다.

도 6 은, 제 1 방향 (Q1) 과, 제 2 방향 (Q2) 과, 제 3 방향 (Q3) 을 나타낸다.

제 1 방향 (Q1) 은, 분기부 (42) 로부터 제 1 유로 (R1) 를 향하는 방향을 나타낸다. 제 2 방향 (Q2) 은, 분기부 (42) 로부터 제 2 유로 (R2) 를 향하는 방향을 나타낸다. 제 3 방향 (Q3) 은, 분기부 (42) 로부터 제 3 유로 (R3) 를 향하는 방향을 나타낸다.

도 6 은, 제 1 각도 (θ1) 와, 제 2 각도 (θ2) 를 추가로 나타낸다. 제 1 각도 (θ1) 는, 제 1 방향 (Q1) 과 제 3 방향 (Q3) 이 이루는 각도를 나타낸다. 제 1 각도 (θ1) 는, 상세하게는, 제 1 방향 (Q1) 과 제 3 방향 (Q3) 이 이루는 각도 중, 작은 쪽의 각도를 나타낸다. 제 2 각도 (θ2) 는, 제 1 방향 (Q1) 과 제 2 방향 (Q2) 이 이루는 각도를 나타낸다. 제 2 각도 (θ2) 는, 상세하게는, 제 1 방향 (Q1) 과 제 2 방향 (Q2) 이 이루는 각도 중, 작은 쪽의 각도를 나타낸다.

제 1 각도 (θ1) 는, 제 2 각도 (θ2) 보다 크다 (제 1 각도 (θ1) ＞ 제 2 각도 (θ2)). 즉, 제 3 유로 (R3) 의 쪽이 제 2 유로 (R2) 보다 제 1 유로 (R1) 에 대하여 굴곡되어 있지 않다. 따라서, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 흐르는 약액은, 주로 제 3 유로 (R3) 에 안내된다. 바꿔 말하면, 스로틀부 (46d) 는, 제 3 유로 (R3) 를 향하여 약액을 분출한다.

본 실시형태에서는, 제 1 각도 (θ1) 는 각도 180 도이고, 제 2 각도 (θ2) 는 각도 90 도이다.

도 7 을 참조하여, 약액의 압력에 대해 설명한다. 도 7 은, 약액의 압력을 나타내는 모식도이다.

도 7 은, 제 1 압력 (P1) 과, 제 2 압력 (P2) 과, 제 3 압력 (P3) 을 나타낸다. 제 1 압력 (P1) 은, 제 1 유로 (R1) 중 스로틀부 (46d) 보다 상류의 영역에 위치하는 약액의 압력을 나타낸다. 제 2 압력 (P2) 은, 분기부 (42) 에 위치하는 약액의 압력을 나타낸다. 제 3 압력 (P3) 은, 제 2 유로 (R2) 에 위치하는 약액의 압력을 나타낸다.

도 7 은, 제 1 이동 방향 (X1) 과, 제 1 이동 속도 (V1) 를 추가로 나타낸다. 제 1 이동 방향 (X1) 은, 제 1 유로 (R1) 내에 있어서 스로틀부 (46d) 의 상류를 흐르고 있는 약액의 이동 방향을 나타낸다. 제 1 이동 속도 (V1) 는, 제 1 유로 (R1) 내에 있어서 스로틀부 (46d) 의 상류를 흐르고 있는 약액의 이동 속도를 나타낸다.

도 7 은, 제 2 이동 방향 (X2) 과, 제 2 이동 속도 (V2) 를 추가로 나타낸다. 제 2 이동 방향 (X2) 은, 약액이 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 유입될 때의 약액의 이동 방향을 나타낸다. 제 2 이동 방향 (X2) 은, 도 6 에 나타내는 제 1 방향 (Q1) 의 반대 방향이다. 제 2 이동 속도 (V2) 는, 약액이 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 유입될 때의 약액의 이동 속도를 나타낸다.

본 실시형태에서는, 스로틀부 (46d) 로부터 분출된 약액은, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 유입될 때, 제 2 이동 방향 (X2) 을 향하면서 제 2 이동 속도 (V2) 로 이동하고 있다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 스로틀부 (46d) 의 유로 면적은, 스로틀부 (46d) 의 상류의 유로 면적보다 작다. 따라서, 베르누이의 정리에 의해, 스로틀부 (46d) 에서는, 스로틀부 (46d) 의 상류에 비해, 약액의 이동 속도가 증가함과 함께, 약액의 압력이 감소한다. 그 결과, 스로틀부 (46d) 에서 가속됨과 함께 감압된 약액이, 스로틀부 (46d) 로부터 분출된다.

스로틀부 (46d) 에서 가속됨과 함께 감압된 약액이 스로틀부 (46d) 로부터 분출되므로, 제 2 이동 속도 (V2) 가 제 1 이동 속도 (V1) 보다 커진다 (제 2 이동 속도 (V2) ＞ 제 1 이동 속도 (V1)). 또, 제 2 압력 (P2) 이 제 1 압력 (P1) 보다 작아진다 (제 2 압력 (P2) ＜ 제 1 압력 (P1)).

도 5 에 나타내는 조정 밸브 (47) 의 개도가 변경됨으로써, 제 2 압력 (P2) 이 변경된다. 조정 밸브 (47) 의 개도가 작아질수록, 제 3 유로 (R3) 중 조정 밸브 (47) 가 위치하는 장소의 유로 면적이 작아진다. 그 결과, 조정 밸브 (47) 를 통과하는 단위 시간당의 약액의 양이 적어지므로, 제 2 압력 (P2) 이 커진다.

또한, 조정 밸브 (47) 의 개도의 변경은, 도 1 에 나타내는 제어부 (3) 에 의해 실시된다.

도 7 은, 제 1 직경 (D1) 과, 제 2 직경 (D2) 과, 제 3 직경 (D3) 과, 제 4 직경 (D4) 과, 제 5 직경 (D5) 을 나타낸다. 제 1 직경 (D1) 은, 제 1 유로 (R1) 중 스로틀부 (46d) 의 상류에 위치하는 부분의 직경을 나타낸다. 제 2 직경 (D2) 은, 스로틀부 (46d) 의 직경을 나타낸다. 제 3 직경 (D3) 은, 제 1 유로 (R1) 중 스로틀부 (46d) 의 하류에 위치하는 부분의 직경을 나타낸다. 제 4 직경 (D4) 은, 제 3 유로 (R3) 의 상류부의 직경을 나타낸다. 제 3 유로 (R3) 의 상류부는, 제 3 유로 (R3) 중 분기부 (42) 의 근방을 나타낸다. 제 5 직경 (D5) 은, 제 2 유로 (R2) 의 상류부의 직경을 나타낸다. 제 2 유로 (R2) 의 상류부는, 제 2 유로 (R2) 중 분기부 (42) 의 근방을 나타낸다.

제 1 직경 (D1) 은, 제 2 직경 (D2) 보다 크다 (제 1 직경 (D1) ＞ 제 2 직경 (D2)). 제 3 직경 (D3) 은, 제 2 직경 (D2) 보다 크다 (제 3 직경 (D3) ＞ 제 2 직경 (D2)). 제 4 직경 (D4) 은, 제 3 직경 (D3) 이상의 크기를 갖는다 (제 4 직경 (D4) ≥ 제 3 직경 (D3)). 제 4 직경 (D4) 은, 제 5 직경 (D5) 이상의 크기를 갖는다 (제 4 직경 (D4) ≥ 제 5 직경 (D5)). 또한, 제 4 직경 (D4) 과 제 5 직경 (D5) 의 대소 관계는 특별히 한정되지 않는다. 제 4 직경 (D4) 이 제 5 직경 (D5) 보다 작아도 된다.

다음으로, 도 7 내지 도 9 를 참조하여, 조정 밸브 (47) 의 개도와 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량의 관계에 대해 설명한다. 도 8 은, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되고 있는 상태를 나타내는 모식도이다.

도 9 는, 조정 밸브 (47) 의 개도와 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량의 관계를 나타내는 제 1 그래프 (G1) 이다. 제 1 그래프 (G1) 에 있어서, 횡축은, 조정 밸브 (47) 의 개도를 나타낸다. 제 1 그래프 (G1) 에 있어서, 종축은, 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량을 나타낸다. 약액의 토출량은, 상세하게는, 단위 시간당의 약액의 토출량을 나타낸다.

도 7 내지 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 가, 조정 밸브 (47) 의 개도를 조정하여, 제 2 압력 (P2) 을 제 3 압력 (P3) 보다 크게 함으로써, 제 2 압력 (P2) 과 제 3 압력 (P3) 의 압력차에 의해 (제 2 압력 (P2) ＞ 제 3 압력 (P3)), 흡인력 (F1) 이 발생한다. 흡인력 (F1) 은, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 공급된 약액을 제 2 유로 (R2) 에 흡인하는 힘을 나타낸다. 조정 밸브 (47) 의 개도가 작을수록, 흡인력 (F1) 이 커진다.

본 실시형태에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이 제 1 각도 (θ1) 는, 제 2 각도 (θ2) 보다 크다 (θ1 ＞ θ2). 따라서, 흡인력 (F1) 이 발생하고 있지 않은 상태에서는, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 흐르는 약액은, 주로 제 3 유로 (R3) 에 안내된다. 그러나, 흡인력 (F1) 이 발생함으로써, 분기부 (42) 로부터 제 3 유로 (R3) 에 흐르려고 하는 약액이 제 2 유로 (R2) 에 끌어들여진다. 제 2 유로 (R2) 에 끌어들여진 약액은, 약액 노즐 (21) 에 공급된다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출된다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 최소 개도 (J0) 인 경우, 조정 밸브 (47) 가 폐쇄되지 않고, 개방되어 있다. 이 경우, 조정 밸브 (47) 는, 약간 개방되어 있다. 이 경우, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 공급된 약액은, 주로 제 2 유로 (R2) 를 통하여 약액 노즐 (21) 에 공급된다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출된다. 또, 이 경우, 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량이, 최대 토출량 (H) 이 된다. 또, 이 경우, 회수 탱크 (51) 에는 근소한 양의 약액이 공급되거나, 또는, 회수 탱크 (51) 에 약액이 공급되지 않는다.

또한, 조정 밸브 (47) 의 개도가 최소 개도 (J0) 인 경우, 조정 밸브 (47) 가 폐쇄되어도 된다. 이 경우, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 공급된 약액의 전부가, 제 2 유로 (R2) 를 통하여 약액 노즐 (21) 에 공급된다. 이 경우, 회수 탱크 (51) 에는 약액이 공급되지 않는다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 소정 개도 (J1) 이상인 경우, 제 2 유로 (R2) 에 약액을 끌어들일 수 있을 정도의 흡인력 (F1) 이 발생하지 않는다. 따라서, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 공급된 약액의 전부가, 제 3 유로 (R3) 를 통하여 회수 탱크 (51) 에 공급된다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되지 않는다.

소정 개도 (J1) 는, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되지 않을 때의 조정 밸브 (47) 의 개도의 최소값을 나타낸다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 최소 개도 (J0) 보다 크고, 또한 소정 개도 (J1) 보다 작은 경우, 제 1 유로 (R1) 로부터 분기부 (42) 에 공급된 약액의 일부가 제 2 유로 (R2) 에 흐르고, 분기부 (42) 에 공급된 약액의 다른 일부가 제 3 유로 (R3) 에 흐른다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되면서, 회수 탱크 (51) 에 약액이 공급된다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 최소 개도 (J0) 보다 크고, 또한 소정 개도 (J1) 보다 작은 경우, 조정 밸브 (47) 의 개도가 작아질수록, 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량이 많아진다. 바꿔 말하면, 이 경우, 조정 밸브 (47) 의 개도가 작아질수록, 회수 탱크 (51) 에 공급되는 약액의 양이 적어진다. 따라서, 조정 밸브 (47) 의 개도를 조정함으로써, 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출량을 조정할 수 있다.

다음으로, 도 7, 도 10 및 도 11 을 참조하여, 조정 밸브 (47) 의 개도와 약액의 체류 단부 위치 (Z) 의 관계에 대해 설명한다. 약액의 체류 단부 위치 (Z) 는, 제 2 유로 (R2) 에 체류하고 있는 약액의 약액 노즐 (21) 측의 단부 위치를 나타낸다.

도 10 은, 약액 노즐 (21) 로부터의 약액의 토출이 정지되어 있는 상태를 나타내는 모식도이다. 도 11 은, 조정 밸브 (47) 의 개도와 약액의 체류 단부 위치 (Z) 의 관계를 나타내는 제 2 그래프 (G2) 이다. 제 2 그래프 (G2) 에 있어서, 횡축은 조정 밸브 (47) 의 개도를 나타내고, 종축은 약액의 체류 단부 위치 (Z) 를 나타낸다.

도 7, 도 10 및 도 11 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (3) 가, 조정 밸브 (47) 의 개도를 조정하여, 제 2 압력 (P2) 을 제 3 압력 (P3) 보다 작게 함으로써, 제 2 압력 (P2) 과 제 3 압력 (P3) 의 압력차에 의해 (제 2 압력 (P2) ＜ 제 3 압력 (P3)), 인입력 (F2) 이 발생한다. 인입력 (F2) 은, 제 2 유로 (R2) 내의 약액을 분기부 (42) 에 끌어들이는 힘을 나타낸다. 조정 밸브 (47) 의 개도가 커질수록, 인입력 (F2) 이 커진다.

인입력 (F2) 이 발생함으로써, 석 백이 발생한다. 석 백은, 제 2 유로 (R2) 내의 약액의 전부 또는 일부가 인입력 (F2) 에 의해 분기부 (42) 에 끌어들여지는 것을 나타낸다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되는 것이 정지된다.

석 백에 의해 제 2 유로 (R2) 로부터 분기부 (42) 에 흐른 약액은, 스로틀부 (46d) 로부터 분출되는 약액의 흐름 (X) 에 말려들어감으로써, 제 3 유로 (R3) 에 공급된다 (아스피레이트 효과). 그리고, 제 3 유로 (R3) 에 공급된 약액은, 회수 탱크 (51) 에 공급된다.

본 실시형태에서는, 조정 밸브 (47) 의 개도가 소정 개도 (J1) 이상인 경우, 인입력 (F2) 이 발생한다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되는 것이 정지된다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 소정 개도 (J1) 이상인 경우에 있어서, 조정 밸브 (47) 의 개도가 일정한 값으로 고정되면, 약액의 체류 단부 위치 (Z) 가 일정한 위치로 유지된다. 이 경우, 인입력 (F2) 과 제 2 유로 (R2) 내의 약액의 중량이 균형잡힘으로써, 약액의 체류 단부 위치 (Z) 가 일정한 위치로 유지된다. 그 결과, 제 2 유로 (R2) 내의 약액이 인입력 (F2) 에 의해 지지되므로, 제 2 유로 (R2) 내의 약액이 약액 노즐 (21) 로부터 늘어져 떨어지는 것이 억제된다.

조정 밸브 (47) 의 개도가 소정 개도 (J1) 이상의 일정한 값으로 고정된 경우, 조정 밸브 (47) 의 고정된 개도가 클수록, 체류 단부 위치 (Z) 가 높은 위치에서 유지된다.

체류 단부 위치 (Z) 가 높아질수록, 체류 단부 위치 (Z) 가 분기부 (42) 에 가까워진다. 체류 단부 위치 (Z) 가 낮아질수록, 체류 단부 위치 (Z) 가 약액 노즐 (21) 에 가까워진다.

이상, 도 7 내지 도 11 을 참조하여 설명한 바와 같이, 제어부 (3) 는, 조정 밸브 (47) 의 개도를, 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환 가능하다.

제 1 개도는, 소정 개도 (J1) 보다 작은 개도를 나타낸다. 이 경우, 송액 배관 (41) 에 의해 안내된 약액의 전부 또는 일부가 공급 배관 (43) 에 공급된다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출된다.

제 2 개도는, 소정 개도 (J1) 이상의 개도를 나타낸다. 이 경우, 공급 배관 (43) 내의 약액의 전부 또는 일부가, 아스피레이트 효과에 의해 복귀 배관 (44) 에 공급된다. 또, 이 경우, 공급 배관 (43) 내의 약액에 대하여 인입력 (F2) 이 작용한다. 따라서, 제어부 (3) 는, 조정 밸브 (47) 의 개도를 소정 개도 (J1) 이상의 일정한 값으로 고정시킴으로써, 기판 처리 장치 (100) 가 불사용일 때에도, 공급 배관 (43) 내의 약액에 대하여 인입력 (F2) 을 계속해서 작용시킬 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치 (100) 가 불사용인 상태에서, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 늘어져 떨어지는 것을 억제할 수 있다.

기판 처리 장치 (100) 가 불사용인 상태는, 기판 처리 장치 (100) 가 기판 (W) 의 처리를 실시하고 있지 않은 상태를 나타낸다. 기판 처리 장치 (100) 가 사용되고 있는 상태는, 기판 처리 장치 (100) 가 기판 (W) 의 처리를 실시하고 있는 상태를 나타낸다.

또, 조정 밸브 (47) 의 개도가 제 1 개도일 때, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출된다. 조정 밸브 (47) 의 개도가 제 2 개도일 때, 약액 노즐 (21) 로부터 약액이 토출되지 않는다. 따라서, 약액 노즐 (21) 의 상류에 밸브를 형성하지 않아도, 약액 노즐 (21) 로부터 약액을 토출시킬지의 여부를 제어할 수 있다. 그 결과, 약액 노즐 (21) 의 상류에서의 밸브의 개폐 동작에 의한 파티클이 발생하는 것을 억제할 수 있으므로, 약액 노즐 (21) 로부터 토출된 약액 중의 파티클을 저감시킬 수 있다. 약액 노즐 (21) 의 상류는, 송액 배관 (41), 및 공급 배관 (43) 을 나타낸다.

기판 처리 장치 (100) 가 사용된 후, 불사용의 상태가 된 경우에 있어서, 공급 배관 (43) 내에 약액이 체류하고 있지 않으면, 공급 배관 (43) 내가 차가워짐과 함께 공기에 접함으로써 공급 배관 (43) 내에 결로가 생기는 경우가 있다. 그리고, 공급 배관 (43) 내에 결로가 생긴 후, 기판 처리 장치 (100) 의 사용이 재개되면, 결로에 의해 생긴 물이 불순물로서 약액에 섞이므로, 문제가 발생할 우려가 있다. 그러나, 본 실시형태에서는, 조정 밸브 (47) 의 개도가 소정 개도 (J1) 이상인 경우에 있어서, 조정 밸브 (47) 의 개도가 일정한 값으로 고정되면, 공급 배관 (43) 내의 약액의 체류 단부 위치 (Z) 가 일정한 위치로 유지된다. 따라서, 기판 처리 장치 (100) 가 불사용인 상태에서, 공급 배관 (43) 내에 약액을 체류시킬 수 있다. 그 결과, 공급 배관 (43) 내에 결로가 생기는 것을 억제할 수 있으므로, 기판 처리 장치 (100) 의 사용의 재개 후에 문제가 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또, 기판 처리 장치 (100) 의 불사용시에 공급 배관 (43) 내에 약액을 체류시킴으로써, 기판 처리 장치 (100) 의 사용의 재개 후에 약액 노즐 (21) 로부터 약액을 신속하게 토출할 수 있다. 또, 공급 배관 (43) 내의 약액의 체류 단부 위치 (Z) 를 변경함으로써, 약액 노즐 (21) 로부터 약액의 토출이 개시되는 타이밍을 조정할 수 있다.

이상, 도면 (도 1 ∼ 도 11) 을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였다. 단, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 양태에 있어서 실시하는 것이 가능하다 (예를 들어, (1) ∼ (6)). 또, 상기 실시형태에 개시되어 있는 복수의 구성 요소를 적절히 조합함으로써, 다양한 발명의 형성이 가능하다. 예를 들어, 실시형태에 나타내는 전체 구성 요소로부터 몇 가지의 구성 요소를 삭제해도 된다. 도면은, 이해하기 쉽게 하기 위해, 각각의 구성 요소를 주체로 모식적으로 나타내고 있으며, 도시된 각 구성 요소의 개수 등은, 도면 작성의 형편상 실제와는 상이한 경우도 있다. 또, 상기 실시형태에서 나타내는 각 구성 요소는 일례로서, 특별히 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 효과로부터 실질적으로 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

(1) 도 12 는, 공급 기구 (40) 의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 12 에 나타내는 바와 같이, 공급 기구 (40) 의 변형예는, 유량계 (45) 가 공급 배관 (43) 에 형성되어 있는 점이 본 실시형태의 기판 처리 장치 (100) 와 상이하다.

(2) 본 실시형태에서는, 공급 탱크 (31) 에 약액이 저류된다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 공급 탱크 (31) 에 린스액이 저류되어도 된다. 즉, 도 5 및 도 12 에 있어서, 린스액이 송액 배관 (41), 공급 배관 (43), 및 복귀 배관 (44) 을 흐르고, 약액 노즐 (21) 이 린스액 노즐 (16) 이어도 된다. 이 경우, 린스액은, 본 발명의 처리액의 2 예이다. 또, 린스액 노즐 (16) 은, 본 발명의 노즐의 2 예이다.

또, 본 발명의 처리액은, 약액, 및 린스액에 한정되지 않고, 기판 처리 장치 (100) 에 있어서, 기판 (W) 을 처리하기 위해 사용되는 액체이면 된다.

(3) 도 5 및 도 12 에 나타내는 유량계 (45) 를 형성하지 않아도 기판 처리 장치 (100) 가 기능하는 경우에는, 유량계 (45) 를 형성하지 않아도 된다.

(4) 도 10 에 나타내는 스로틀부 (46d) 를 형성하지 않아도, 아스피레이트 효과를 발생시킬 수 있는 충분히 빠른 약액의 제 2 이동 속도 (V2) (도 7 참조) 를 확보할 수 있는 경우에는, 스로틀부 (46d) 를 형성하지 않아도 된다. 그 결과, 기판 처리 장치 (100) 의 장치 구성을 간소화할 수 있다.

또한, 본 실시형태, 및 본 실시형태의 변형예와 같이 스로틀부 (46d) 를 형성한 경우에는, 제 1 이동 속도 (V1) 가 아스피레이트 효과를 발생시키기에 불충분한 속도여도, 스로틀부 (46d) 에 의해 약액의 제 2 이동 속도 (V2) 를 제 1 이동 속도 (V1) 보다 빠르게 할 수 있다. 따라서, 아스피레이트 효과를 효과적으로 발생시킬 수 있다.

(5) 본 실시형태, 및 본 실시형태의 변형예에 있어서, 송액 배관 (41) 에 제 1 유로 (R1) 를 개폐하는 제 1 개폐 밸브가 형성되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100) 가 불사용일 때에 제 1 개폐 밸브가 폐쇄되고, 기판 처리 장치 (100) 가 사용될 때에 제 1 개폐 밸브가 개방된다. 또, 공급 배관 (43) 에 제 2 유로 (R2) 를 개폐하는 제 2 개폐 밸브가 형성되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100) 가 불사용일 때에 제 2 개폐 밸브가 폐쇄되고, 기판 처리 장치 (100) 가 사용될 때에 제 2 개폐 밸브가 개방된다. 그러나, 본 실시형태, 및 본 실시형태의 변형예와 같이, 제 1 개폐 밸브 및 제 2 개폐 밸브가 형성되지 않는 쪽이, 파티클을 효과적으로 억제할 수 있는 점에서 유리하다.

(6) 도 4, 도 5 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태, 및 본 실시형태의 변형예에서는, 복귀 배관 (44) 으로부터 배출된 약액은, 회수 탱크 (51) 및 회수 배관 (52) 을 통하여 공급 탱크 (31) 에 공급된다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 복귀 배관 (44) 이 회수 탱크 (51) 에 직접 연통되고, 복귀 배관 (44) 으로부터 배출된 약액이 회수 탱크 (51) 에 공급되어도 된다. 또, 복귀 배관 (44) 이 순환 배관 (32) 에 직접 연통되고, 복귀 배관 (44) 으로부터 배출된 약액이 순환 배관 (32) 에 공급되어도 된다. 이 경우, 복귀 배관 (44) 내의 약액의 압력보다 순환 배관 (32) 내의 약액의 압력의 쪽이 낮은 것이, 복귀 배관 (44) 내의 약액을 순환 배관 (32) 에 되돌리기 위한 조건이 된다.

(7) 본 실시형태, 및 본 실시형태의 변형예에 있어서, 처리 유닛 (1) 은, 대향 부재 (23) (도 12 참조) 를 추가로 포함하고 있어도 된다. 대향 부재 (차단판) (23) 는, 기판 (W) 의 상면에 대하여 대향 배치 가능하다. 대향 부재 (23) 중 기판 (W) 의 상면과 대향하는 면의 치수는, 예를 들어, 기판 (W) 의 상면의 치수보다 크다. 약액 노즐 (21) 은, 기판 (W) 의 상면에 대하여 대향 부재 (23) 의 중앙부로부터 간격을 두고 대향한다.

본 발명은, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법의 분야에 이용 가능하다.

3 : 제어부
21 : 약액 노즐 (노즐)
32 : 순환 배관
41 : 송액 배관
42 : 분기부
43 : 공급 배관
44 : 복귀 배관
46d : 스로틀부
47 : 조정 밸브
100 : 기판 처리 장치
D3 : 제 3 직경 (제 3 유로의 상류부의 직경)
D4 : 제 4 직경 (제 1 유로 중 스로틀부의 하류에 위치하는 부분의 직경)
J1 : 소정 개도
Q1 : 제 1 방향
Q2 : 제 2 방향
Q3 : 제 3 방향
R1 : 제 1 유로
R2 : 제 2 유로
R3 : 제 3 유로
W : 기판
Z : 체류 단부 위치
θ1 : 제 1 각도
θ2 : 제 2 각도

Claims

노즐로부터 기판에 처리액을 공급함으로써 상기 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서,
상기 처리액을 안내하는 송액 배관과,
상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 노즐에 안내하는 공급 배관과,
상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 공급 배관과는 상이한 경로를 따라 안내하는 복귀 배관과,
상기 복귀 배관에 형성되는 조정 밸브와,
상기 조정 밸브를 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 조정 밸브의 개도를 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환 가능하고,
상기 제 1 개도는, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액의 전부 또는 일부가 상기 공급 배관에 공급되는 개도를 나타내고,
상기 제 2 개도는, 상기 공급 배관 내의 처리액의 전부 또는 일부가, 상기 복귀 배관에 공급되는 개도를 나타내는, 기판 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 처리액의 유로는,
상기 송액 배관, 상기 공급 배관, 및 상기 복귀 배관의 분기점인 분기부와,
상기 분기부에 대하여 상기 송액 배관측에 위치하는 제 1 유로와,
상기 분기부에 대하여 상기 공급 배관측에 위치하는 제 2 유로와,
상기 분기부에 대하여 상기 복귀 배관측에 위치하는 제 3 유로를 갖고,
제 1 각도가 제 2 각도보다 크고,
상기 제 1 각도는, 상기 분기부로부터 상기 제 1 유로를 향하는 제 1 방향과, 상기 분기부로부터 제 3 유로를 향하는 제 3 방향이 이루는 각도를 나타내고,
상기 제 2 각도는, 상기 제 1 방향과, 상기 분기부로부터 상기 제 2 유로를 향하는 제 2 방향이 이루는 각도를 나타내는, 기판 처리 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 유로에 형성되는 스로틀부를 추가로 구비하는, 기판 처리 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제 3 유로의 상류부의 직경은, 상기 제 1 유로 중 상기 스로틀부의 하류에 위치하는 부분의 직경 이상의 크기를 갖는, 기판 처리 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 개도는, 상기 조정 밸브의 개도가 소정 개도보다 작은 것을 나타내고,
상기 제 2 개도는, 상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상의 크기인 것을 나타내는, 기판 처리 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상인 경우에 있어서, 상기 조정 밸브의 개도가 일정한 값으로 고정되면, 상기 공급 배관 내의 상기 처리액의 체류 단부 위치가 일정한 위치로 유지되는, 기판 처리 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 조정 밸브의 개도가 상기 소정 개도 이상의 일정한 값으로 고정된 경우, 상기 조정 밸브의 고정된 개도가 클수록, 상기 체류 단부 위치가 높은 위치에서 유지되는, 기판 처리 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 처리액이 순환하는 순환 배관을 추가로 구비하고,
상기 순환 배관을 흐르는 상기 처리액이 상기 송액 배관에 공급되는, 기판 처리 장치.
제 8 항에 있어서,
상기 복귀 배관에 의해 안내된 상기 처리액이, 상기 순환 배관에 공급되는, 기판 처리 장치.
노즐로부터 기판에 처리액을 공급함으로써 상기 기판을 처리하는 기판 처리 방법으로서,
상기 처리액의 유로에 형성된 조정 밸브의 개도를, 제 1 개도, 및 제 2 개도 중 어느 개도로 전환시키는 공정을 구비하고,
상기 처리액의 유로는,
상기 처리액을 안내하는 송액 배관과,
상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 노즐에 안내하는 공급 배관과,
상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액을 상기 공급 배관과는 상이한 경로를 따라 안내하는 복귀 배관에 의해 형성되고,
상기 조정 밸브는, 상기 복귀 배관에 형성되고,
상기 제 1 개도는, 상기 송액 배관에 의해 안내된 상기 처리액의 전부 또는 일부가 상기 공급 배관에 공급되는 개도를 나타내고,
상기 제 2 개도는, 상기 공급 배관 내의 처리액의 전부 또는 일부가, 상기 복귀 배관에 공급되는 개도를 나타내는, 기판 처리 방법.