KR102481417B1 - 입자 측정 디바이스 - Google Patents

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KR102481417B1
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김영훈
오수연
이민주
한성필
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

입자 측정 디바이스가 개시된다. 본 발명의 입자 측정 디바이스는, 내부에 액체 시료가 유동하는 셀 중공부를 구비하는 플로우 셀 유닛; 상기 플로우 셀 유닛의 적어도 일부를 수용하는 수용 홀을 구비하는 마운트 유닛; 그리고 상기 마운트 유닛의 뒤에 위치하고, 상기 마운트 유닛에 결합되는 공명 유닛을 포함하고, 상기 마운트 유닛은, 상기 수용 홀이 형성되는 마운트 바디; 그리고 상기 마운트 바디의 외면에서 함몰되어 형성되고 상기 수용 홀에 연통되는 통로 홀을 포함하며, 상기 공명 유닛은, 상기 마운트 바디의 뒤에서 상기 마운트 바디에 결합되는 공명 바디; 그리고 상기 공명 바디에 형성되는 공간이며, 상기 통로 홀에 연통되는 캐비티(cavity)를 포함할 수 있다.

Description

입자 측정 디바이스{DEVICE FOR MEASURING PARTICLES}
본 발명은 입자 측정 디바이스에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 입자에서 발생되는 충격파로 인한 음파를 증폭시키는 입자 측정 디바이스에 관한 것이다.
디스플레이 및 반도체 등 고정밀도가 요구되는 제품의 제조 공정에 사용되는 각종 유무기 화학물질들은 제조 수율 하락을 방지하기 위해 현재보다 높은 고순도 케미칼(chemical)을 요구하고 있으며 고순도 케미칼의 품질을 확인하기 위해 높은 수준의 분석 기술들이 개발되고 새로이 적용되고 있다. 이 중 입자에 대한 분석의 중요도는 점점 증가하고 있으며, 10 나노 수준의 작은 입자도 반도체 제조 공정의 수율 하락 및 고집적화에도 영향을 줄 수 있기 때문에 품질의 관리를 위한 안정적인 분석법의 개발이 요구됨과 더불어 공정과정에서 발생할 수 있는 불량의 원인들까지 해석이 가능하도록 기술의 확장성이 보장되어야 한다.
일반적으로, 물질이 분자 또는 이온 상태로 액체 중에 고르게 분산해 있는 것을 용액이라고 지칭하며, 이러한 용액에 보통의 분자나 이온보다 크고, 지름이 1nm~1000nm 정도의 미립자가 응집되거나, 침전되지 않고 분산되어 있는 상태를 콜로이드 상태라고 하며, 이렇게 콜로이드 상태로 되어 있는 것들을 콜로이드(Colloid)라고 부른다.
용액 중에 존재하는 미세 콜로이드 연구는 분석하고자 하는 물질의 물리 화학적 특성의 정보를 얻거나 분리 분석기의 검출력을 향상시키는데 집중되고 있다. 최근까지의 콜로이드 입자의 분석은 100nm 크기의 한계를 가지며 100nm이하의 콜로이드 입자의 정확한 분석을 위해서는 고농도의 시료가 필요하다는 점에서 기술의 개발이 요구된다.
콜로이드 나노입자를 측정하는 방법으로 광 산란 세기를 이용하여 입자의 크기를 확인하는 광 산란 분석법이 일반적으로 사용되고 있다. 그러나 100 nm 보다 크기가 작은 미세 나노 입자를 측정하는 경우에는 산란광이 발생해도 낮은 농도인 경우 검출할 수 있는 확률이 급격히 낮아져 신뢰성 있는 결과를 얻기 어렵고, 입자의 농도가 수 ppm(parts per million) 이상이여야 하는 한계가 있다. 입자의 크기가 크면 산란 세기가 큰 반면 작을수록 광 산란할 수 있는 면적이 줄어들기 때문에 산란광의 세기가 약해서 측정이 어렵다. 때문에 상대적으로 많은 수의 입자가 산란에 기여할 수 있어야 하므로 ppm 미만의 농도에서는 감도가 많이 떨어진다.
나노 입자에 레이저 빔을 조사하여 레이저 유도 플라즈마(Laser Induced Breakdown)가 발생되면 충격파로 이어질 수 있다. 충격파의 소리 신호를 측정하여 나노 입자를 측정하는 경우, 소리 신호 외에 노이즈가 동시에 측정되기 쉬워서 소리 신호를 증폭시킬 필요성이 있다.
KR 10-2010-0040457 A
본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 입자에서 발생되는 충격파로 인한 소리 신호를 증폭시키는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 소리 신호를 증폭시키는 캐비티(cavity)가 형성된 공명 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 상기 캐비티에 연통된 통로 홀이 형성된 마운트 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 상기 마운트 유닛에 수용되며 상기 입자가 포함된 액체 시료가 유동하는 플로우 셀 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 플로우 셀 유닛이 상하 방향으로 연장된 형상을 형성하여 플로우 셀 유닛에서 유동하는 액체 시료에 발생되는 버블(bubble)이 용이하게 제거되는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 레이저 빔이 입사되는 통로 홀과 상기 캐비티에 연통되는 통로 홀이 각각 형성된 마운트 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 액체 시료가 유동하는 셀 중공부를 구비하는 플로우 셀 유닛; 상기 플로우 셀 유닛의 적어도 일부를 수용하는 수용 홀을 구비하는 마운트 유닛; 그리고 상기 마운트 유닛의 뒤에 위치하고, 상기 마운트 유닛에 결합되는 공명 유닛을 포함하고, 상기 마운트 유닛은, 상기 수용 홀이 형성되는 마운트 바디; 그리고 상기 마운트 바디의 외면에서 함몰되어 형성되고 상기 수용 홀에 연통되는 통로 홀을 포함하며, 상기 공명 유닛은, 상기 마운트 바디의 뒤에서 상기 마운트 바디에 결합되는 공명 바디; 그리고 상기 공명 바디에 형성되는 공간이며, 상기 통로 홀에 연통되는 캐비티(cavity)를 포함하는, 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른(another) 측면에 따르면, 플로우 셀 유닛; 마운트 바디, 상기 마운트 바디에 형성되며 상기 플로우 셀 유닛의 적어도 일부를 수용하는 수용 홀, 그리고 상기 마운트 바디의 외면에서 함몰되어 형성되고 상기 수용 홀에 연통되는 통로 홀을 구비하는, 마운트 유닛; 상기 마운트 바디의 뒤에서 상기 마운트 바디에 결합되는 공명 바디, 그리고 상기 공명 바디에 형성되며 상기 통로 홀에 연통되는 캐비티를 구비하는, 공명 유닛을 포함하고, 상기 캐비티는, 상기 플로우 셀 유닛에서 충격파가 발생하면, 상기 충격파로 인한 소리 신호를 전달받아 증폭시키는, 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 입자 측정 디바이스의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 입자에서 발생되는 충격파로 인한 소리 신호를 증폭시키는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 소리 신호를 증폭시키는 캐비티(cavity)가 형성된 공명 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 상기 캐비티에 연통된 통로 홀이 형성된 마운트 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 상기 마운트 유닛에 수용되며 상기 입자가 포함된 액체 시료가 유동하는 플로우 셀 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 플로우 셀 유닛이 상하 방향으로 연장된 형상을 형성하여 플로우 셀 유닛에서 유동하는 액체 시료에 발생되는 버블(bubble)이 용이하게 제거되는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 레이저 빔이 입사되는 통로 홀과 상기 캐비티에 연통되는 통로 홀이 각각 형성된 마운트 유닛을 포함하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 분석 디바이스를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플로우 셀 유닛을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 플로우 셀 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른 마운트 유닛을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 마운트 유닛을 B1-B2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 4의 마운트 유닛을 C1-C2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 4의 마운트 유닛을 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 공명 유닛을 나타낸 도면이다.
도 9는, 도 8의 공명 유닛을 E1-E2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 10은, 도 8의 공명 유닛을 E1-E2로 자른 단면으로서 곡면을 형성하는 캐비티를 나타낸 도면이다.
도 11은 도 1의 입자 분석 디바이스를 F1-F2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 12는 도 1의 입자 분석 디바이스를 F1-F2로 자른 단면으로서 복수의 캐비티를 나타내는 도면이다.
도 13은 도 1의 입자 분석 디바이스를 G1-G2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 14는, 도 1의 입자 분석 디바이스를 G1-G2로 자른 단면으로서, 입사 홀이 형성된 공명 유닛을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 분석 디바이스(100)를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 입자 분석 디바이스(100)는 플로우 셀 유닛(200)을 포함할 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)은 “수용액 상태의 나노 입자 시료”(이하 액체 시료)를 유동시킬 수 있다. 달리 말하면, 액체 시료는 플로우 셀 유닛(200)에서 유동할 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)은 일 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 플로우 셀 유닛(200)은 상하 방향으로 길쭉하게(elongated) 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 액체 시료는 플로우 셀 유닛(200)의 하단에 유입되어 플로우 셀 유닛(200)에서 상승하여 플로우 셀 유닛(200)의 상단으로 유출될 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)의 길이 방향은 상하 방향일 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)의 길이 방향이 상하 방향인 경우, 액체 시료에서 발생되는 기포(bubble)는 상승하여 플로우 셀 유닛(200)의 외부로 배출될 수 있다.
도 1에 도시되지 않았으나, 플로우 셀 유닛(200)에 레이저 빔(laser beam)이 입사할 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)에 입사되는 레이저 빔의 적어도 일부는 플로우 셀 유닛을 통과하여 액체 시료에 에너지를 전달할 수 있다. 액체 시료가 레이저 빔으로부터 에너지를 전달받으면, 플라즈마(plasma)가 발생할 수 있다. 즉 플로우 셀 유닛(200)에 레이저 빔(laser beam)이 입사하면, 플로우 셀 유닛(200)의 내부에서 “레이저 유도 플라즈마( Breakdown)”가 발생할 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)의 내부에서 발생된 플라즈마는 높은 에너지를 방출할 수 있다. 이로 인하여, 플로우 셀 유닛(200) 내부 플라즈마가 발생된 지점에서 온도는 짧은 순간 섭씨 수천 도(℃)까지 상승하고 플로우 셀 유닛(200) 내부의 압력이 급격하게 증가할 수 있다. 따라서 플로우 셀 유닛(200) 내부에 충격파가 발생할 수 있다.
즉, 플로우 셀 유닛(200)에 레이저 빔(laser beam)이 입사하면, 플로우 셀 유닛(200)의 내부에 플라즈마와 충격파가 발생할 수 있다. 액체 시료의 측정은, 플라즈마에 기인하는 섬광을 측정하는 방법 또는/및 충격파에 기인하는 음파를 측정하는 방법을 이용할 수 있다. 충격파에 기인하는 음파는, “소리 신호”라 칭할 수 있다.
입자 분석 디바이스(100)는 마운트 유닛(300)을 포함할 수 있다. 마운트 유닛(300)은 플로우 셀 유닛(200)을 수용할 수 있다. 복수의 홀(hole)은 마운트 유닛(300)에 형성될 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)은 마운트 유닛(300)의 복수의 홀을 통해 외부에 노출될 수 있다. 레이저 빔은, 마운트 유닛(300)의 복수의 홀 중 어느 하나를 통해 마운트 유닛(300)을 통과하여 플로우 셀 유닛(200)에 입사할 수 있다.
입자 분석 디바이스(100)는 공명 유닛(400)을 포함할 수 있다. 공명 유닛(400)은, 마운트 유닛(300)의 후면에 결합되거나 연결될 수 있다. 음파를 측정하여 액체 시료를 측정하는 경우, 노이즈(noise)가 소리 신호에 섞여서 같이 측정될 수 있다. 노이즈가 소리 신호에 섞여서 같이 측정되는 경우, 액체 시료 측정 오차가 발생할 수 있다. 따라서 소리 신호를 증폭하여 노이즈 대비 소리 신호의 비율(ratio of acoustic signal to noise)을 상승시킬 필요가 있다.
공명 유닛(400)은 소리 신호를 증폭시킬 수 있다. 예를 들어, 공명 유닛(400)은 특정 주파수 대역의 소리를 증폭시킬 수 있다. 특히 공명 유닛(400)은, 공진 주파수(resonance frequency)의 소리 신호를 증폭시킬 수 있다.
측정하고자 하는 나노 입자의 크기에 대응되는 소리 신호의 주파수는, “고유 주파수”라 칭할 수 있다. 예를 들어, 고유 주파수는 상기 특정 주파수 대역에 포함될 수 있다. 예를 들어, 공진 주파수가 고유 주파수에 인접하면, 공명 유닛(400)은 측정하고자 하는 나노 입자에 기인하는 소리 신호를 효과적으로 증폭시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플로우 셀 유닛(200)을 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 플로우 셀 유닛(200)은 플로우 셀 바디(210)를 포함할 수 있다. 플로우 셀 바디(210)는 일 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 플로우 셀 바디(210)는 제1 셀 단부(231)에서 일 방향으로 연장되어 제2 셀 단부(232)에 이어질 수 있다. 셀 단부(230)는, 제1 셀 단부(231)와 제2 셀 단부(232) 중에서 적어도 하나를 의미할 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)은 셀 중공부(220, cell hollow portion)를 포함할 수 있다. 셀 중공부(220)는 플로우 셀 바디(210)의 내부에 형성되는 공간을 의미할 수 있다. 셀 중공부(220)는 셀 단부(232)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 셀 중공부(220)는 셀 단부(232)에서 개방될 수 있다.
도 3은 도 2의 플로우 셀 유닛(200)을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 플로우 셀 바디(210)는, 제1 셀 윈도우(211)를 포함할 수 있다. 제1 셀 윈도우(211)는 플로우 셀 바디(210)의 전면(front face)을 형성할 수 있다.
플로우 셀 바디(210)는, 제2 셀 윈도우(212)를 포함할 수 있다. 제2 셀 윈도우(212)는 플로우 셀 바디(210)의 후면(rear face)을 형성할 수 있다. 제2 셀 윈도우(212)는 제1 셀 윈도우(211)의 후방에 위치할 수 있다. 제2 셀 윈도우(212)는 제1 셀 윈도우(211)와 이격될 수 있다.
플로우 셀 바디(210)는, 제3 셀 윈도우(213)와 제4 셀 윈도우(214)를 포함할 수 있다. 제3 셀 윈도우(213)와 제4 셀 윈도우(214)는, 제1 셀 윈도우(211)와 제2 셀 윈도우(212)를 연결할 수 있다. 제3 셀 윈도우(213)와 제4 셀 윈도우(214)는, 서로 마주할 수 있다.
셀 윈도우(211, 212, 213, 214)는, 제1 셀 윈도우(211), 제2 셀 윈도우(212), 제3 셀 윈도우(213), 그리고 제4셀 윈도우(214) 중에서 적어도 하나를 의미할 수 있다. 셀 윈도우(211, 212, 213, 214)는, 광 투과성 소재를 포함하는 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 셀 윈도우(211, 212, 213, 214)의 적어도 일부는, 쿼츠(quartz)를 포함하는 재료로 형성될 수 있다. 제1 셀 윈도우(211), 제2 셀 윈도우(212), 제3 셀 윈도우(213), 그리고 제4셀 윈도우(214)는, 일체로(as a unibody)로 형성될 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)은 셀 중공부(220)를 포함할 수 있다. 셀 중공부(220)는, 셀 윈도우(211, 212, 213, 214)에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 셀 중공부(220)는, 제1 셀 윈도우(211), 제2 셀 윈도우(212), 제3 셀 윈도우(213), 그리고 제4셀 윈도우(214)에 의해 형성된 공간일 수 있다. 셀 중공부(220)는, 액체 시료의 통로일 수 있다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른 마운트 유닛(300)을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 마운트 유닛(300)은 마운트 바디(310)를 포함할 수 있다. 마운트 바디(310)는 마운트 유닛(300)의 골격을 형성할 수 있다. 마운트 바디(310)는 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)을 수용할 수 있다. 달리 말하면, 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)은 마운트 바디(310)에 수용되거나 결합될 수 있다.
마운트 바디(310)는 제1 마운트 면(311)을 포함할 수 있다. 제1 마운트 면(311)은, 마운트 바디(310)의 전면(front face)을 형성할 수 있다. 마운트 바디(310)는 제4 마운트 면(314)을 포함할 수 있다. 제4 마운트 면(314)은, 제1 마운트 면(311)의 일 변에서 연장되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 제4 마운트 면(314)은 마운트 바디(310)의 좌면(left face)을 형성할 수 있다. 마운트 바디(310)는 제5 마운트 면(315)을 포함할 수 있다. 제5 마운트 면(315)은, 마운트 바디(310)의 상면을 형성할 수 있다.
마운트 유닛(300)은 제1 수용 홀 단부(325)를 포함할 수 있다. 제1 수용 홀 단부(325)는 마운트 바디(310)에 형성될 수 있다. 마운트 유닛(300)은 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)을 수용하는 공간을 포함할 수 있다. 제1 수용 홀 단부(325)는, 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)을 수용하는 공간에 이어질 수 있다. 제1 수용 홀 단부(325)는 제5 마운트 면(315)에 위치할 수 있다.
마운트 유닛(300)은 통로 입구(340)를 포함할 수 있다. 통로 입구(340)는 마운트 바디(310)에 형성될 수 있다. 마운트 유닛(300)은 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)을 수용하는 공간에 연통되는 통로를 포함할 수 있다. 통로 입구(340)는, 상기 통로에 이어질 수 있다.
도 5는 도 4의 마운트 유닛(300)을 B1-B2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 마운트 바디(310)는 제1 마운트 면(311)과 제2 마운트 면(312)을 포함할 수 있다. 제1 마운트 면(311)은, 마운트 바디(310)의 전면(front face)을 형성할 수 있다. 제2 마운트 면(312)은, 마운트 바디(310)의 후면(rear face)을 형성할 수 있다.
마운트 바디(310)는 제3 마운트 면(313)과 제4 마운트 면(314)을 포함할 수 있다. 제3 마운트 면(313)과 제4 마운트 면(314)은, 제1 마운트 면(311)과 제2 마운트 면(312)을 연결할 수 있다. 제3 마운트 면(313)과 제4 마운트 면(314)은, 서로 마주할 수 있다.
마운트 유닛(300)은 수용 홀(320)을 포함할 수 있다. 수용 홀(320)은, 마운트 바디(310)에 형성될 수 있다. 수용 홀(320)은, 예를 들어, 마운트 바디(310)의 내부를 관통하여 형성될 수 있다.
수용 홀(320)은, 플로우 셀 유닛(200, 도 1 참조)이 수용되는 공간일 수 있다. 수용 홀(320)은, 외부에 노출될 수 있다. 수용 홀(320)은, 제1 수용 홀 단부(325, 도 4 참조)에 연결될 수 있다.
마운트 유닛(300)은 통로 홀(330, passage hole)을 포함할 수 있다. 통로 홀(330)은, 마운트 바디(310)에 형성될 수 있다. 통로 홀(330)은, 마운트 바디(310)의 외면(outer surface)에 연결될 수 있다. 통로 홀(330)은 수용 홀(320)에 연통될 수 있다. 도 5에 도시된 점선은, 통로 홀(330)과 수용 홀(320)의 경계를 나타낼 수 있다.
통로 홀(330)은, 제1 통로 홀(331)을 포함할 수 있다. 제1 통로 홀(331)은 제1 마운트 면(311)에 이어질 수 있다. 제1 통로 홀(331)은 제1 마운트 면(311)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제1 통로 홀(331)은 수용 홀(320)에 연통될 수 있다.
통로 홀(330)은, 제2 통로 홀(332)을 포함할 수 있다. 제2 통로 홀(332)은 제2 마운트 면(312)에 이어질 수 있다. 제2 통로 홀(332)은 제2 마운트 면(312)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제2 통로 홀(332)은 수용 홀(320)에 연통될 수 있다. 제2 통로 홀(332)은, “후방 통로 홀(rear side passage hole)”라 칭할 수 있다.
통로 홀(330)은, 제3 통로 홀(333)을 포함할 수 있다. 제3 통로 홀(333)은 제3 마운트 면(313)에 이어질 수 있다. 제3 통로 홀(333)은 제3 마운트 면(313)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제3 통로 홀(333)은 수용 홀(320)에 연통될 수 있다.
통로 홀(330)은, 제4 통로 홀(334)을 포함할 수 있다. 제4 통로 홀(334)은 제4 마운트 면(314)에 이어질 수 있다. 제4 통로 홀(334)은 제4 마운트 면(314)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제4 통로 홀(334)은 수용 홀(320)에 연통될 수 있다.
수용 홀(320)은, 제1 통로 홀(331)과 제2 통로 홀(332)의 사이에 위치할 수 있다. 수용 홀(320)은, 제3 통로 홀(333)과 제4 통로 홀(334)의 사이에 위치할 수 있다.
마운트 유닛(300)은 통로 입구(340)를 포함할 수 있다. 통로 입구(340)는 통로 홀(330)에 연결될 수 있다. 통로 입구(340)는 마운트 바디(310)에 형성될 수 있다. 통로 입구(340)는 통로 홀(330) 중에서 마운트 바디(310)의 외면에 인접한 부분을 의미할 수 있다.
통로 입구(340)는 제1 통로 입구(341)를 포함할 수 있다. 제1 통로 입구(341)는 제1 마운트 면(311)에 위치할 수 있다. 통로 입구(340)는 제2 통로 입구(342)를 포함할 수 있다. 제2 통로 입구(342)는 제2 마운트 면(312)에 위치할 수 있다. 통로 입구(340)는 제3 통로 입구(343)를 포함할 수 있다. 제3 통로 입구(343)는 제3 마운트 면(313)에 위치할 수 있다. 통로 입구(340)는 제4 통로 입구(344)를 포함할 수 있다. 제4 통로 입구(344)는 제4 마운트 면(314)에 위치할 수 있다.
도 6은 도 4의 마운트 유닛(300)을 C1-C2로 자른 단면을 나타낸 도면이다. 도 7은 도 4의 마운트 유닛(300)을 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 마운트 바디(310)는 제6 마운트 면(316)을 포함할 수 있다. 제6 마운트 면(316)은 마운트 바디(310)의 하면을 형성할 수 있다. 마운트 유닛(300) 제2 수용 홀 단부(326)를 포함할 수 있다. 수용 홀(320)은 제2 수용 홀 단부(326)에 이어질 수 있다.
수용 홀(320)은, 제1 수용 홀 단부(325)에서 연장되어 제2 수용 홀 단부(326)로 이어질 수 있다. 수용 홀(320)이 연장된 방향은, 상하 방향일 수 있다. 도 6 및 도 7에 도시된 점선은, 수용 홀(320)과 통로 홀(330)의 경계를 나타낼 수 있다.
도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 공명 유닛(400)을 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 공명 유닛(400)은 공명 바디(410)를 포함할 수 있다. 공명 바디(410)는 공명 유닛(400)의 골격을 형성할 수 있다. 공명 바디(410)는 제1 공명 바디 면(411)을 포함할 수 있다. 제1 공명 바디 면(411)은, 공명 바디(410)의 전면(front face)을 형성할 수 있다.
공명 유닛(400)은 캐비티(420, cavity)를 포함할 수 있다. 캐비티(420)는, 공명 바디(410)의 일 면에서 함몰되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)는, 제1 공명 바디 면(411)에서 함몰되어 형성될 수 있다.
도 9는, 도 8의 공명 유닛(400)을 E1-E2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 공명 바디(410)는 제2 공명 바디 면(412)을 포함할 수 있다. 제2 공명 바디 면(412)은, 공명 바디(410)의 후면(rear face)을 형성할 수 있다. 제2 공명 바디 면(412)은, 제1 공명 바디 면(411)과 이격될 수 있다.
공명 유닛(400)은 측정 홀(430)을 포함할 수 있다. 측정 홀(430)은, 공명 바디(410)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 측정 홀(430)은, 제2 공명 바디 면(412)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 측정 홀(430)은, 다른 예를 들어, 공명 바디(410)의 상면 또는 측면에서 함몰되어 형성될 수 있다.
측정 홀(430)은 캐비티(420)에 연통될 수 있다. 캐비티(420)의 전방에서 발생된 음파의 적어도 일부는, 캐비티(420)와 측정 홀(430)을 순차적으로 통과하고, 공명 유닛(400)의 외부에 전달될 수 있다.
도 10은, 도 8의 공명 유닛(400)을 E1-E2로 자른 단면으로서 곡면을 형성하는 캐비티(420)를 나타낸 도면이다.
도 10을 참조하면, 캐비티(420)의 단면이 관찰될 수 있다. 캐비티(420)는 곡면을 형성할 수 있다. 달리 말하면, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 곡면일 수 있다.
예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 원뿔의 적어도 일부의 형상일 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 원기둥의 적어도 일부의 형상일 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 반구(half sphere)의 적어도 일부의 형상일 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 파라볼로이드(paraboloid)의 적어도 일부의 형상일 수 있다.
다른 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 평면일 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 직육면체의 적어도 일부의 형상일 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)의 적어도 일부는, 사각뿔의 적어도 일부의 형상일 수 있다.
도 11은 도 1의 입자 분석 디바이스(100)를 F1-F2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 11을 참조하면, 플로우 셀 유닛(200)은 마운트 유닛(300)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 플로우 셀 유닛(200)은 마운트 유닛(300)에 삽입될 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)의 길이 방향은, 상하 방향일 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)은 제1 통로 홀(331)과 제2 통로 홀(332)의 사이에 배치될 수 있다.
마운트 유닛(300)은 공명 유닛(400)에 결합될 수 있다. 마운트 유닛(300)은 공명 유닛(400)의 앞에 위치할 수 있다. 예를 들어, 마운트 유닛(300)의 제2 마운트 면(312, 도 5 참조)은, 공명 유닛(400)의 제1 공명 바디 면(411, 도 8 참조)을 마주할 수 있다.
마운트 유닛(300)의 제2 통로 홀(332)은, 공명 유닛(400)의 캐비티(420)에 연통될 수 있다. 플로우 셀 유닛(200)에서 충격파가 발생하면, 소리 신호가 발생할 수 있다. 소리 신호의 적어도 일부는, 제2 통로 홀(332), 캐비티(420), 그리고 측정 홀(430)을 순차적으로 통과하며, 공명 유닛(400)의 후방으로 진행할 수 있다.
도 12는 도 1의 입자 분석 디바이스(100)를 F1-F2로 자른 단면으로서 복수의 캐비티(420)를 나타내는 도면이다.
도 12를 참조하면, 캐비티(420)는 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 캐비티(420)는 제1 캐비티(421) 및 제2 캐비티(422)를 포함할 수 있다. 제1 캐비티(421)의 크기는, 제2 캐비티(422)의 크기와 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 캐비티(421)의 체적은, 제2 캐비티(422)의 체적 보다 클 수 있다. 예를 들어, 제1 캐비티(421)의 전후 방향 길이는, 제2 캐비티(422)의 전후 방향 길이 보다 클 수 있다. 제2 캐비티(422)는 제1 캐비티(421)와 이격될 수 있다. 제1 캐비티(421)와 제2 캐비티(422)는, 제2 통로 홀(332)에 연통될 수 있다.
제1 캐비티(421)는 제1 주파수 대역의 음파를 증폭시킬 수 있다. 예를 들어 제1 고유 주파수는 제1 주파수 대역에 포함될 수 있다. 제1 고유 주파수는, 측정하고자 하는 나노 입자의 크기가 제1 크기인 경우 충격파에서 발생되는 소리 신호의 주파수일 수 있다.
제2 캐비티(422)는 제2 주파수 대역의 음파를 증폭시킬 수 있다. 예를 들어 제2 고유 주파수는 제2 주파수 대역에 포함될 수 있다. 제2 고유 주파수는, 측정하고자 하는 나노 입자의 크기가 제2 크기인 경우 충격파에서 발생되는 소리 신호의 주파수일 수 있다. 제2 고유 주파수는 제1 고유 주파수와 다를 수 있다.
측정 홀(430)은 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 측정 홀(430)은 제1 측정 홀(431) 및 제2 측정 홀(432)을 포함할 수 있다. 제1 측정 홀(431)은 제2 측정 홀(432)에 이격될 수 있다.
제1 측정 홀(431)은, 제2 공명 바디 면(412, 도 9 참조)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제1 측정 홀(431)은 제1 캐비티(420)에 연통될 수 있다. 제2 측정 홀(432)은, 제2 공명 바디 면(412, 도 9 참조)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제2 측정 홀(432)은 제2 캐비티(420)에 연통될 수 있다.
제1 캐비티(421)와 제2 캐비티(422)는, 플로우 셀 유닛(200)을 따라 배치될 수 있다. 즉 제1 캐비티(421)와 제2 캐비티(422)는, 플로우 셀 유닛(200)의 길이 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 캐비티(422)는, 제1 캐비티(421)의 아래에 위치할 수 있다.
도 13은 도 1의 입자 분석 디바이스(100)를 G1-G2로 자른 단면을 나타낸 도면이다. 도 13에서, 설명의 편의를 위하여 레이저 발생 유닛(11), 레이저 빔(12), 제1 측정 유닛(21), 그리고 제2 측정 유닛(22)이 표시되었다.
도 13을 참조하면, 캐비티(420)의 일부는 마운트 바디(310, 도 5 참조)에 의해 닫혀질 수 있다. 캐비티(420)의 다른 일부는 제2 통로 홀(332)에 연통될 수 있다.
레이저 발생 유닛(11)은 레이저 빔(12)을 생성할 수 있다. 레이저 발생 유닛(11)은 Nd:YAG 레이저를 포함할 수 있다. 레이저 빔(12)은 펄스 레이저 빔일 수 있다. 레이저 빔(12)의 중심 파장은 532nm일 수 있다.
레이저 빔(12)은 마운트 유닛(300)을 향해 진행할 수 있다. 예를 들어, 레이저 빔(12)은 제3 통로 홀(333, 도 5 참조)을 진행할 수 있다. 제3 통로 홀(333, 도 5 참조)은, “레이저 통로 홀(laser passage hole)” 또는 “측방 통로 홀(lateral side passage hole)”이라 칭할 수 있다.
레이저 빔(12)은 플로우 셀 유닛(200)에 입사할 수 있다. 레이저 빔(12)의 초점은, 플로우 셀 유닛(200)의 내부일 수 있다. 달리 말하면, 레이저 빔(12)의 초점은, 플로우 셀 유닛(200)의 셀 중공부(220, 도 3 참조)에 위치할 수 있다.
플로우 셀 유닛(200)에 레이저 빔(12)이 입사하면, 플로우 셀 유닛(200)의 내부에서 충격파가 발생할 수 있다. 충격파는 소리 신호를 발생시키고, 소리 신호는 통로 홀(330, 도 5 참조)을 진행할 수 있다.
제2 통로 홀(332, 도 5 참조)을 통과한 소리 신호는 캐비티(420)에 도달할 수 있다. 고유 주파수를 포함하는 주파수 대역의 소리 신호가 캐비티(420)에서 증폭될 수 있다. 소리 신호는 측정 홀(430)을 진행할 수 있다.
제1 측정 유닛(21)은 측정 홀(430)의 뒤에 위치할 수 있다. 제1 측정 유닛(21)은 측정 홀(430)을 마주할 수 있다. 측정 홀(430)을 통과한 소리 신호의 적어도 일부는 제1 측정 유닛(21)에 입사할 수 있다. 제1 측정 유닛(21)은 소리 신호를 측정할 수 있다. 제1 측정 유닛(21)은, 소리 신호의 주파수(frequency) 별 진폭(amplitude)의 스펙트럼 정보를 획득할 수 있다.
제2 측정 유닛(22)은 제1 통로 홀(331, 도 5 참조)을 마주할 수 있다. 제2 측정 유닛(22)은 제1 통로 홀(331, 도 5 참조)의 앞에 위치할 수 있다. 제2 측정 유닛(22)은, 플로우 셀 유닛(200)의 내부에 발생되는 플라즈마에 기인하는 섬광을 측정할 수 있다. 측정 유닛(20)은, 제1 측정 유닛(21)과 제2 측정 유닛(22) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
도 14는, 도 1의 입자 분석 디바이스(100)를 G1-G2로 자른 단면으로서, 입사 홀이 형성된 공명 유닛을 나타낸 도면이다.
도 14를 참조하면, 공명 유닛(400)은 입사 홀(440)을 포함할 수 있다. 입사 홀(440)은, 공명 바디(410, 도 8 참조)의 제1 마운트 면(311, 도 8 참조)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 입사 홀(440)은 캐비티(420)에 연통될 수 있다.
캐비티(420)는, 입사 홀(440)과 측정 홀(430)을 연결할 수 있다. 캐비티(420)는 공명 바디(410, 도 8 참조)의 내부에 위치할 수 있다. 캐비티(420)의 크기는 입사 홀(440)의 크기 또는 측정 홀(430)의 크기 보다 클 수 있다. 예를 들어, 전후 방향에 수직으로 자른 단면을 기준으로, 캐비티(420)의 단면은 측정 홀(430)의 단면 또는 입사 홀(440)의 단면 보다 클 수 있다.
앞에서 설명된 본 발명의 어떤 실시예 또는 다른 실시예들은 서로 배타적이거나 구별되는 것은 아니다. 앞서 설명된 본 발명의 어떤 실시예들 또는 다른 실시예들은 각각의 구성 또는 기능이 병용되거나 조합될 수 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니 되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
100: 입자 분석 디바이스 200: 플로우 셀 유닛
300: 마운트 유닛 400: 공명 유닛

Claims (20)

  1. 내부에 액체 시료가 유동하는 셀 중공부를 구비하는 플로우 셀 유닛;
    상기 플로우 셀 유닛의 적어도 일부를 수용하는 수용 홀을 구비하는 마운트 유닛; 그리고
    상기 마운트 유닛의 뒤에 위치하고, 상기 마운트 유닛에 결합되는 공명 유닛을 포함하고,
    상기 마운트 유닛은,
    상기 수용 홀이 형성되는 마운트 바디; 그리고
    상기 마운트 바디의 외면에서 함몰되어 형성되고 상기 수용 홀에 연통되는 통로 홀을 포함하며,
    상기 공명 유닛은,
    상기 마운트 바디의 뒤에서 상기 마운트 바디에 결합되는 공명 바디; 그리고
    상기 공명 바디에 형성되는 공간이며, 상기 통로 홀에 연통되는 캐비티(cavity)를 포함하며,
    상기 통로 홀은,
    상기 마운트 바디의 후면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되고, 상기 캐비티에 연통되는, 후방 통로 홀을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공명 유닛은,
    상기 공명 바디의 외면에서 함몰되어 형성되며, 상기 캐비티에 연통되는 측정 홀을 더 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 측정 홀은,
    상기 공명 바디의 후면에 형성되는,
    입자 측정 디바이스.
  4. 제3항에 있어서,
    전후 방향에 수직하게 자른 단면을 기준으로, 상기 측정 홀의 단면의 크기는, 상기 캐비티의 단면의 크기 보다 작은,
    입자 측정 디바이스.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 캐비티는,
    상기 공명 바디의 전면(front face)에서 함몰되어 형성되는,
    입자 측정 디바이스.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 캐비티는,
    상기 공명 바디의 전면에서 함몰되어 형성되는 제1 캐비티; 그리고
    상기 공명 바디의 전면에서 함몰되어 형성되되 상기 제1 캐비티에 이격되는 제2 캐비티를 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 공명 유닛은,
    상기 공명 바디의 외면에서 함몰되어 형성되며, 상기 제1 캐비티에 연통되는 제1 측정 홀; 그리고
    상기 공명 바디의 외면에서 함몰되어 형성되며, 상기 제2 캐비티에 연통되고, 상기 제1 측정 홀에 이격되는 제2 측정 홀을 더 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 캐비티와 상기 제2 캐비티는,
    상기 플로우 셀 유닛의 길이 방향으로 나란하게 배치되는,
    입자 측정 디바이스.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 플로우 셀 유닛은 상하 방향으로 연장된 형상을 형성하고,
    상기 제1 캐비티와 상기 제2 캐비티는 상하 방향으로 배치되는,
    입자 측정 디바이스.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 캐비티는 상기 공명 바디의 내부에 위치하고,
    상기 공명 유닛은,
    상기 공명 바디의 전면(front face)에서 함몰되어 형성되며, 상기 캐비티에 연통되며, 상기 통로 홀에 연통되는, 입사 홀을 더 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  11. 제10항에 있어서,
    전후 방향에 수직하게 자른 단면을 기준으로, 상기 입사 홀의 단면의 크기는, 상기 캐비티의 단면의 크기 보다 작은,
    입자 측정 디바이스.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 마운트 바디는,
    상기 마운트 바디의 전면(front face)을 형성하는 제1 마운트 면; 그리고
    상기 마운트 바디의 후면(rear face)을 형성하고 상기 공명 바디를 마주하는 제2 마운트 면을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 통로 홀은,
    상기 제1 마운트 면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되는, 제1 통로 홀; 그리고
    상기 제2 마운트 면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되고, 상기 캐비티에 연통되는, 제2 통로 홀을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 수용 홀은,
    상기 제1 통로 홀과 상기 제2 통로 홀의 사이에 위치하는,
    입자 측정 디바이스.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 마운트 바디는,
    상기 제1 마운트 면과 상기 제2 마운트 면을 각각 연결하되 서로 마주하는, 제3 마운트 면 및 제4 마운트 면을 더 포함하고,
    상기 통로 홀은,
    상기 제3 마운트 면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되는, 제3 통로 홀; 그리고
    상기 제4 마운트 면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되는, 제4 통로 홀을 더 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 수용 홀은,
    상기 제3 통로 홀과 상기 제4 통로 홀의 사이에 위치하는,
    입자 측정 디바이스.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 통로 홀은,
    상기 마운트 바디의 측면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되는, 측방 통로 홀을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  18. 제17항에 있어서,
    레이저 빔이 상기 측방 통로 홀을 통해 플로우 셀 유닛에 조사되면,
    상기 셀 중공부에 위치하는 상기 액체 시료에서 플라즈마가 발생하고, 상기 플라즈마에 의해 충격파가 형성되며,
    상기 충격파로 인한 소리 신호의 적어도 일부는,
    상기 후방 통로 홀을 통과하며, 상기 캐비티에서 증폭되는,
    입자 측정 디바이스.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 공명 유닛은,
    상기 공명 바디의 후면에서 함몰되어 형성되며 상기 캐비티에 연통되는 측정 홀을 더 포함하고,
    상기 증폭된 소리 신호는,
    상기 측정 홀을 통과하여 상기 공명 유닛의 외부로 진행하는,
    입자 측정 디바이스.
  20. 플로우 셀 유닛;
    마운트 바디, 상기 마운트 바디에 형성되며 상기 플로우 셀 유닛의 적어도 일부를 수용하는 수용 홀, 그리고 상기 마운트 바디의 외면에서 함몰되어 형성되고 상기 수용 홀에 연통되는 통로 홀을 구비하는, 마운트 유닛;
    상기 마운트 바디의 뒤에서 상기 마운트 바디에 결합되는 공명 바디, 그리고 상기 공명 바디에 형성되며 상기 통로 홀에 연통되는 캐비티를 구비하는, 공명 유닛을 포함하고,
    상기 캐비티는,
    상기 플로우 셀 유닛에서 충격파가 발생하면, 상기 충격파로 인한 소리 신호를 전달받아 증폭시키며,
    상기 통로 홀은,
    상기 마운트 바디의 후면에서 함몰되어 형성되며, 상기 수용 홀에 연통되고, 상기 캐비티에 연통되는, 후방 통로 홀을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
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