KR102477944B1 - 유기 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 증착 장치에 관한 것으로, OLED 유기 증착을 진행하기 위해 증착 대상 소재를 반전시켜 증착 공정을 진행함에 있어, 증착 공정이 완료된 기판을 배출함과 동시에 다음 기판이 증착 공정 위해 반전기로 이송되게 하는 구성을 포함한다.
본 발명에 의한 유기 증착 장치는, 유기 증착 작업이 진행되는 챔버, 기판이 안착되어 상기 기판을 지지하는 척, 챔버 내부에 배치되며, 상부 및 하부 척 지지 프레임과, 상부 및 하부 척 지지 프레임에 각각 설치되어 상기 척을 고정하는 상부 및 하부 롤러를 포함하는 하우징, 및 상부 척 지지 프레임, 하부 척 지지프레임, 상부 롤러 및 하부 롤러 중 적어도 어느 하나를 척으로 이동시켜, 척을 상부 및 하부에서 고정시키는 팝업 유닛을 포함한다.
또한, 척의 상부 및 하부에 배치되는 상부 및 하부 팝업 유닛을 구비하여, 상부 및 하부 팝업 유닛 중 적어도 어느 하나에는 지지핀이 설치되고, 지지핀에 대응하는 부위의 척에는 홈이 형성되어, 지지핀이 홈에 끼워지게 배치되어, 척을 견고하게 고정시키는 기술적 구성을 포함한다.

Description

유기 증착 장치{ORGANIC DEPOSITON APPARATUS}
본 발명은 유기 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 챔버 내에서 OLED 유기 증착을 진행함에 있어서 증착 대상 소재를 반전시켜 증착 공정을 진행하기 위한 유기 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 전계 발광소자(organic light emitting diodes, OLED)는 전자(electron)를 주입하는 음극전극, 정공(hole)을 주입하는 양극전극과 이들 두 전극 사이에 개재된 유기 발광층을 포함하여, 유기 발광층 내부로 각각 전자와 정공을 주입시켜, 주입된 전자와 정공이 결합 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 방출하는 소자이다.
유기 전계 발광소자는 별도의 광원을 필요로 하지 않아, 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있으며, 전력 소모가 비교적 적으며, 색감이 뛰어나다는 장점이 있어, 디스플레이 소자로 관심의 대상이 되고 있다.
통상적으로, 유기 전계 발광소자의 유기 발광층은 발광층 등의 복수의 기능층을 포함하며, 이러한 유기 발광층을 형성하는 방법으로는 진공 증착법(Vacuum deposition Method), 스퍼터링(Sputtering), 이온빔 증착법(Ion-beam Deposition), Pulsed-laser 증착법, 분자선 증착법, 화학기상증착법(CVD; chemical vapor deposition), 스핀코팅(Spin coating) 등이 있는데, 진공 증착을 이용하여 기판 상에 유기 발광 물질을 증착하는 것이 대표적인 방법이다.
이러한 진공 증착법을 이용하여 유기 발광층을 형성하는 공정을 진행하기 위해서는, 기판은 선행 공정이 진행된 상태에서 이송되어 온 후, 유기 발광층 증착 공정을 거친 후 다시 후행 공정을 위해 이송되어 나가는 공정을 거치게 된다. 선행 공정 후 이송되어 오는 과정에서 유기 발광층이 형성될 기판이 최대한 영향을 받지 않는 방향으로 위치하게 하여 이송되게 한 후, 유기 발광층이 형성될 기판이 작업을 진행할 방향으로 위치시켜서 증착 공정을 진행하게 된다.
가령, 유기 발광층이 증착될 기판이 챔버 내에서 하부로 위치하게 되는 경우에서, 상기 유기 발광층이 증착될 기판이 하부로 위치한 상태에서 이송되는 경우에 손상될 가능성이 있는 경우에는, 상기 유기 발광층이 증착될 기판이 상부로 향하게 위치한 상태에서 이송이 된 상태에서, 증착 공정 진행을 위해서는 상기 유기 발광층이 증착될 기판이 하부로 향하도록 반전시키는 공정이 필요하게 된다. 이러한 과정을 다시 후행 공정으로 진행되는 경우에서도 동일하게 반전시키는 과정이 필요할 수 있게 된다.
도 1은 종래에, 유기 발광층의 증착 장치에서 유기 발광층이 증착될 기판이 반전되는 예를 보여주고 있다.
도 1a에서는 선행 공정을 거친 후 기판(103)은 척(104)에 의해 상부로 향한 상태에서 제1 게이트(101)을 통해 증착 공정이 진행될 챔버(100) 내에 이송되게 되는데, 상기 기판(103)을 지지하는 척(104)이 상부 및 하부 롤러(105, 106)에 위치하도록 하우징에 이송된다.
도 1b에서는 상부 롤러(105)가 척(104)으로 이동하여 척(104)에 접촉되면서, 기판(103)을 지지하는 척(104)이 상부 롤러(105) 및 하부 롤러(106)에 의해 지지되는 것을 보여준다.
도 1c에서는 증착 공정 진행을 위해 기판(103)을 포함한 하우징이 챔버(100) 내의 하부로 위치하도록 반전되고 있는 것을 보여주고 있다.
도 1d에서는 증착 공정이 완료되고, 후행 공정을 위해 제2 게이트(102)를 통해 배출되고 있는 것을 보여주고 있다.
도 1e에서는 이송되어 온 다음 기판(103)을 안착시키기 위해 다시 반전 작업을 진행하고 있는 것을 보여주고 있다.
챔버(100)의 바닥면으로부터의 제1 게이트(101)과 제2 게이트(102)의 높이는 상이할 수도 있고 동일할 수도 있는데, 제1 게이트(101)과 제2 게이트(102)의 높이가 서로 다른 경우에는 하우징의 위치를 상부 또는 하부로 변경한 후 기판(103)을 포함한 하우징을 반전시킨 후 제1 게이트(101) 또는 제2 게이트(102)의 높이를 맞춘다.
그런데, 이러한 종래기술에서는, 기판(103)을 지지하는 척(104)이 하부 롤러(106)에 의해 지지되고 있는 상태에서 상부 롤러(105)가 하부로 이동하여 척(104)에 접촉되면서 척(104)을 상부 및 하부에서 지지하고 있는 상태에서, 반전 작업이 진행되고, 증착 공정이 완료된 후, 제2 게이트(102)를 통해 기판(103)을 포함한 척(104)이 배출되는 상태에서의 하부에 위치하는 상부 롤러(105)의 수평면이, 반전 전 단계에서 척(104)을 하부에서 지지하고 있던 하부 롤러(106)의 수평면과 서로 다름으로 인해, 다음 작업을 위한 기판(103)을 포함한 척(104)을 이송 받아 지지하기 위해서는, 상부 및 하부 롤러(105, 106)를 포함한 하우징을 다시 반전시켜야 함으로 인해, 이러한 재차 반전으로 인해 작업 시간이 늘어나는 문제점이 있었다.
또한, 이러한 두 차례에 걸친 반전 공정으로 인해, 기판(103)을 포함한 척(104)을 이송 받아 하부에서 지지하는 하부 롤러(106)의 수평면이, 상부 및 하부 롤러(105, 106)를 포함한 하우징의 무게와 반전 회전 속도 등으로 인해 정확히 얼라인 되지 않아서 작업에 지연을 초래하는 등의 문제가 있었다.
본 발명은 전술한 바의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 증착 장치에서 증착 공정을 진행함에 있어, 증착 공정 완료 후 후행 공정을 위해 기판이 배출된 후, 다음 작업용 기판을 안착시키기 위해 재차 반전시키지 않고, 다음 작업용 기판이 안착되게 함으로써, 작업시간을 단축시키고자 함에 있다.
또한, 본 발명은 재차 반전시키지 않음으로 인해, 증착 작업의 효율을 높이고, 안정적인 증착 작업이 가능하게 함에 있다.
본 발명의 목적은 상기의 기재에 제한되지 않으며, 아래의 기재로부터 다른 목적들이 포함될 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 증착 장치는, 유기 증착 작업이 진행되는 챔버, 기판이 안착되어 상기 기판을 지지하는 척, 챔버 내부에 배치되며, 상부 및 하부 척 지지 프레임과, 상부 및 하부 척 지지 프레임에 각각 설치되어 상기 척을 고정하는 상부 및 하부 롤러를 포함하는 하우징, 및 상부 척 지지 프레임, 하부 척 지지프레임, 상부 롤러 및 하부 롤러 중 적어도 어느 하나를 척으로 이동시켜, 척을 상부 및 하부에서 고정시키는 기술적 구성을 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시 예로는, 척의 상부 및 하부에 배치되는 상부 및 하부 팝업 유닛을 구비하여, 상부 및 하부 팝업 유닛 중 적어도 어느 하나에는 지지핀이 설치되고, 지지핀에 대응하는 부위의 척에는 홈이 형성되어, 지지핀이 홈에 끼워지게 배치되어, 척을 견고하게 고정시키는 기술적 구성을 포함하고 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 유기 증착 장치는, 기판이 안착되는 척의 외주부 테두리에 스토퍼가 배치되어, 상부 척 지지 프레임, 하부 척 지지프레임, 상부 롤러 및 하부 롤러 중 적어도 어느 하나가 척으로 이동하는 과정 또는 팝업 유닛이 척에 접촉되는 과정이나, 반전기가 반전 시 흔들림이 발생하는 경우에 이를 방지 또는 완화시키는 기술적 구성을 포함하고 있다.
본 발명에 따른 유기 증착 장치에 의한 증착 공정을 진행함으로 인해, 증착 공정 완료 후 후행 공정을 위해 기판이 배출된 후, 다음 작업용 기판을 안착시키기 위해 재차 반전시키지 않고, 다음 작업용 기판이 안착되게 함으로써, 작업 공정이 줄어 들어, 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
본 발명에 따른 유기 증착 장치는 앞서의 재차 반전시키지 않음으로 인해 작업시간을 크게 단축시키는 효과가 있다.
본 발명에 따른 유기 증착 장치는 기존의 증착 장치의 구성을 가급적 변경시키지 않고, 팝업 유닛의 추가 배치로, 작업 효율을 개선시킬 수 있는 이점이 있다.
한편 그 외의 다양한 효과는 후술될 본 발명의 실시 예에 따른 상세한 설명에서 직접적 또는 암시적으로 개시될 것이다.
도 1은 종래의 유기 발광층 증착 장치에서 유기 발광층이 증착될 기판이 반전되는 예를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 유기 증착 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 팝업 유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 4은 본 발명의 실시 예에 따른 스토퍼 구성을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 하부 척 지지 프레임의 이동으로 척을 고정하는 구성을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 팝업 유닛에 의해 척을 고정하는 구성을 보여주는 도면이다.
이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 단순히 본 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되는 것으로서, 그 자체로 특별히 중요한 의미 또는 역할을 부여하는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 2은 본 발명에 따른 유기 증착 장치를 보여주는 도면이다.
도 2a에서 보여주는 본 발명에 의한 유기 증착 장치는 유기 전계 발광소자의 제작을 위해 기판 상에 유기 발광층을 형성하기 위한 장치로 사용되는 것으로 설명되지만, 이에 한정되지 아니하며, 유기 전계 발광소자 또는 유기 발광층 형성 이외의 다른 제품 또는 부품이나 공정을 위해서도 적용될 수 있다.
도 2a를 참조하면 유기 발광층 증착 공정은 챔버(200)내에서 진행되는데, 유기 발광층 증착의 선행 공정, 가령 플라즈마 처리 공정이 완료된 기판 (203)이 챔버(200)의 일 측면에 형성된 제1 게이트(201)을 통해 챔버(200)의 내부로 이송되게 된다.
기판(203)은 척(204)에 의해 안착, 지지되어 이송 및 유기 발광층 증착 공정이 진행되게 되는데, 척(204)은 기판이 위치하는 부분과 기판이 위치하지 않는 테두리부를 포함하며, 기판(203)은 척(204)의 기판 안착 부위에 위치하여 고정될 수 있으며, 상기 척(204)의 기판이 위치하는 부분은 특정의 형상과 크기 등에 한정되지 아니한다.
척(204)의 테두리부는 서로 마주보는 측면의 테두리에 형성될 수 있으며, 상기 테두리부를 통해 척(204)은 하우징에 고정 또는 지지될 수 있다.
유기 발광층 증착이 완료된 기판(203)은 후행 공정 가령, 봉지 공정의 진행을 위해 챔버(200)에서 배출되며, 이 때 챔버(200)의 다른 일 측면에 형성된 제2 게이트(202)를 통해 배출될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 게이트(201, 202)의 챔버(200)의 바닥면으로부터의 높이는 서로 같을 수 있으며, 서로 다를 수도 있다.
도 2b는 유기 발광층이 증착될 기판(203)이 상부로 향하게 위치한 상태에서 챔버(200) 내부로 이송이 된 상태에서, 유기 발광층의 증착 공정을 진행하기 위해, 기판(203)이 하부로 향하도록 반전시키기 위한 구성을 보여주고 있다.
도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기 증착 장치는 기판(203)이 안착된 척(204)을 소정의 방향으로 반전시키기 위한 반전기, 상기 반전기를 반전시키기 위한 구동력을 제공하는 반전기 구동부(213) 및 상기 반전기 구동부(213)으로부터의 구동력을 상기 반전기에 전달하는 회전축(212)을 포함한다.
반전기가 반전되는 방향은 상부에서 하부로 또는 하부에서 상부로, 좌측에서 우측으로 또는 우측에서 좌측으로 반전될 수 있으며, 특정 방향에 한정되지 아니한다.
반전기는, 척(204)의 상부 및 하부에서 척(204)의 테두리부와 접촉되게 배치되면서 척(204)을 고정하는 상부 및 하부 롤러(207, 208)와, 상기 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 설치되어 척(204)를 지지하는 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206), 상기 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)과 연결되며 상기 반전기를 지지하는 하우징을 포함한다.
상기의 하우징은, 상기 반전기가 상기 반전기 구동부(213)에 의해 회전 가능하도록 구성되는 구성요소를 일컫는 것으로 정의되며, 특정의 형상 또는 구성요소에 한정되지 아니한다.
상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)은, 기판(203)이 안착된 척(204)이 반전기에 안착되면, 척(204)의 테두리부의 상부 및 하부에 위치하도록, 하우징에 설치될 수 있으며, 일 실시 예로서 척(204)의 서로 마주보는 양 측면 테두리부의 상부 및 하부에 각각 위치하도록, 하우징에 설치될 수 있다.
상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)은, 하우징에 고정적으로 설치될 수 있으며, 다른 실시 예로서 상하 또는 좌우로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)이 하우징에 이동 가능하게 설치되는 경우, 구동력을 제공하기 위한 모터를 구비하고, 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)과 하우징 중에서 일측에는 안내 홈이 형성되고 타측에는 상기 안내 홈에 끼워지는 삽입 돌기 또는 레일이 형성되어 상기 삽입 돌기 또는 레일이 상기 안내 홈에 삽입되어, 상기 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 일측은 이동 가능하고 타측은 고정되어 일측이 타측에 가까워지고 멀어지게 이동하거나 또는 양측이 이동 가능하여 양측이 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성될 수 있다.
다른 실시 예에 따른, 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)이 하우징에 이동 가능하게 설치되는 구성은 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)과 하우징 각각에 기어, 톱니 등이 설치되어 모터의 구동력에 상기 기어, 톱니 등의 맞물림으로 상기 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 일측은 이동 가능하고 타측은 고정되어 일측이 타측에 가까워지고 멀어지게 이동하거나 또는 양측이 이동 가능하여 양측이 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성될 수 있다.
상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에는 척(204)의 테두리부와 접촉되면서 척(204)을 상부 및 하부에서 고정시키고, 척(204)을 이송시키기 위한 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 설치된다.
상부 및 하부 롤러(207, 208)를 통한 척(204)의 이송 및/또는 고정을 위해, 상부 척 지지프레임(205), 하부 척 지지 프레임(206) 및 하우징 중의 적어도 일측에는 적어도 하나 이상의 롤러 구동부(210)가 설치되며, 상기 롤러 구동부(210)는 척을 반전기 내로 이송 또는 반전기 밖으로 배출시키기 위한 구동력을 제공과 함께, 척을 고정시키기 위해 상부 및 하부 롤러(207, 208) 중 일측은 이동 가능하고 타측은 고정되어 이동되는 일측이 고정되는 타측에 가까워지거나 멀어지게 이동되게 하거나 또는 양측이 이동 가능하여 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 하는 구동력을 제공할 수 있다.
상기 롤러 구동부(210)는 척(204)의 이송을 위한 롤러 구동부(210)와 척의 고정을 위해 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)의 이동을 위한 롤러 구동부(210)로 구분하여 구비될 수 있으며, 이 경우 롤러 구동부의 구성요소는 서로 다를 수 있다.
가령, 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)의 이동을 위한 롤러 구동부(210)에는 척(204)의 이송을 위한 롤러 구동부(210)에 비해 구동력을 제공하는 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시키기 위한 구성요소가 추가로 포함될 수 있다.
상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)이 척(204)의 서로 마주보는 양 측면 테두리부의 상부 및 하부에 각각 위치하도록 설치되는 경우, 상부 및 하부 롤러(207, 208)도 척(204)의 양 측면과 상하부에 설치되는 각 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 설치될 수 있다.
상부 및 하부 롤러(207, 208)는 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 고정되게 설치될 수 있으며, 상하 또는 좌우로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
상부 및 하부 롤러(207, 208)가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 이동 가능하게 설치되는 실시 예로서는, 상부 및 하부 롤러(207, 208)의 축이 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 대하여 상하 또는 좌우로 이동 가능하게 설치되거나 상부 및 하부 롤러(207, 208)의 몸체가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 대하여 상하 또는 좌우로 이동 가능하게 설치되는 경우를 포함한다.
상기 상부 및 하부 롤러(207, 208)의 몸체가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 대하여 이동 가능하게 설치되는 경우, 상기 상부 및 하부 롤러(207, 208)의 몸체와 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 일측에는 안내 홈이 형성되고 타측에는 상기 안내 홈에 끼워지는 삽입 돌기 또는 레일이 형성되어 상기 삽입 돌기 또는 레일이 상기 안내 홈에 삽입되어, 상기 상부 및 하부 롤러(207, 208) 중 일측은 이동 가능하고 타측은 고정되어 이동되는 일측이 고정되는 타측에 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성되거나 양측이 이동 가능하여 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성될 수 있다.
상기 상부 및 하부 롤러(207, 208)의 몸체와 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 각각에 기어, 톱니 등이 설치되어 모터의 구동력에 상기 기어, 톱니 등의 맞물림으로 상기 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 일측은 이동 가능하고 타측은 고정되어 이동되는 일측이 고정되는 타측에 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성되거나 양측이 이동 가능하여 서로 가까워지거나 멀어지게 이동되도록 구성될 수 있다.
기판(203)이 안착된 척(204)은 반전기에 고정되게 되는데, 척을 반전기에 고정시키기 위한 제1 실시 예로서는,
상부 및 하부 롤러(207, 208)가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 고정되도록 설치된 상태에서, 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 적어도 어느 하나가 하우징에 이동 가능하게 설치되어, 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206)이 모터의 구동력에 의해 하우징에 대하여 상하 또는 좌우로 이동함으로써, 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 척(204)에 접촉되면서 척(204)을 고정시킬 수 있게 된다.
척(204)를 고정하기 위한 제2 실시 예로서는, 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 이동 가능하게 설치되고, 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)은 하우징에 고정되게 설치되어, 롤러 구동부(210)에 의해 상부 및 하부 롤러(207, 208) 중 적어도 어느 하나가 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 대하여 상하 또는 좌우로 이동함으로써, 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 척(204)에 접촉되면서 척(204)을 고정시킬 수 있게 된다.
척(204)를 고정하기 위한 제3 실시 예로서는, 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)가 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206)에 이동 가능하게 설치되고, 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206)도 하우징에 이동 가능하게 설치되어, 상부 및 하부 롤러(207, 208) 중 적어도 어느 하나와 상부 및 하부 척 지지 프레임(205, 206) 중 적어도 어느 하나가 각각 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206)과 하우징에 대하여 상하 또는 좌우로 이동함으로써, 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 척(204)에 접촉되면서 척(204)을 고정시킬 수 있게 되며, 이 때, 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)를 이동 시키기 위한 구동력과 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206)을 이동시키기 위한 구동력은 동일한 모터에 의해 구동될 수 있으며, 서로 다른 모터에 의해 구동될 수 있으며, 구동력도 서로 상이할 수 있다.
도 3은 척(204)을 반전기에 고정시키기 위한 제4 실시 예로서, 팝업 유닛(209)에 의한 구성을 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 하우징에는 팝업 유닛(209)이 설치될 수 있으며, 팝업 유닛(209)은 지지핀(301)와 팝업 유닛 구동부(302)를 포함할 수 있다.
팝업 유닛(209)은, 지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 위치하여, 팝업 유닛 구동부(302)의 구동에 지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 접촉될 수 있도록 하우징에 설치될 수 있다.
지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 접촉되는 실시 예로는 팝업 유닛 구동부(302)의 구동에 의해 지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 접촉되도록 이동하여, 척(204)을 고정시킬 수 있게 된다.
지지핀(301)의 이동을 구동하는 팝업 유닛 구동부(302)의 실시 예로는 구동력을 제공하는 모터(304)와 모터(304)의 구동력을 지지핀(301)에 전달하기 위한 엑추에이터(303), 벨로즈(305)를 포함할 수 있다.
지지핀(301)의 단부에는 돌출부(306)가 구비되고, 돌출부(306)에 대응하는 위치의 척(204)의 테두리부에는 홈이 형성되는 것을 포함하여, 지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 접촉시 상기 돌출부(306)가 테두리부의 홈에 삽입되어, 척(204)를 견고하게 고정시킬 수 있게 된다.
돌출부(306)와 척(204) 테두리부의 홈의 형상은 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 등을 포함하며, 단부가 각각 뾰족한 형상을 가질 수 있으며, 이에 한정되지 아니한다.
팝업 유닛(209)은 복수 개로 구비될 수 있으며, 척(204)의 일 측면 테두리부에 복수 개가 구비될 수 있으며, 척(204)의 서로 마주보는 양 측면 테두리부에 복수 가가 구비될 수 있고, 척(204)의 서로 마주보는 양 측면 테두리부의 상부 및 하부에 각각 복수 개가 구비되어, 하우징에 설치될 수 있다.
상기 팝업 유닛(209)이 척(204)의 적어도 일 측면 테두리부에 복수 개가 위치하도록 구비되는 경우, 상기 복수 개의 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)에 대응하는 척(204)의 복수개의 홈 사이에는 적어도 하나의 미끄럼 방지 패드가 부착될 수 있다.
상기 미끄럼 방지 패드는 척(204)의 테두리부에 형성된 홈에 삽입되는 구성일 수 있으며, 이 때 미끄럼 방지 패드의 높이는 척(204)의 높이보다 높을 수 있으나, 같을 수도 있으며, 미끄럼 방지 패드는 탄성재질을 가질 수 있으며, 금속 재질일 수 있으나, 이에 한정되지 아니한다.
팝업 유닛(209)은 복수 개로 구비되는 경우, 팝업 유닛 구동부(302)의 구동에 의한 지지핀(301)의 이동 길이는 서로 다를 수 있으며, 팝업 유닛 구동부(302)의 구동도 서로 다를 수 있다.
복수 개의 팝업 유닛(209)이 구비되는 경우, 일부의 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)은 팝업 유닛 구동부(302)의 구동에 의해 지지핀(301)이 이동 가능하지만, 나머지 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)은 이동되지 않고 고정되게 팝업 유닛 구동부(302)가 구성될 수 있다.
이 경우, 지지핀(301)이 고정되는 구성의 팝업 유닛 구동부(302)는 하우징에 고정시키기 위한 고정부재로 구성되고, 상기 고정부재에 지지핀(301)이 설치된 구성일 수 있다.
팝업 유닛(209)이 척(204)의 서로 마주보는 양 측면 테두리부의 상부 및 하부에 각각 복수 개가 구비되는 경우, 상부 및 하부 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)이 모두 이동 가능한 구성일 수 있으며, 다른 실시 예로서는 상부 및 하부 팝업 유닛(209) 중 적어도 어느 일측의 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)은 이동 되지 않고 고정되는 구성일 수 있다.
척(204)을 반전기에 고정시키기 위한 상기의 실시 예들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으나, 서로 결합하여 설치될 수 있다.
가령, 상기 제1 내지 제4 실시 예 중에서, 제1 실시 예와 제4 실시 예가 함께 구성될 수 있고, 제2 실시 예와 제4 실시 예가 함께 구성될 수 있으며, 제3 실시 예와 제4 실시 예가 함께 구성될 수 있다.
또한, 상기 제4 실시 예의 경우, 지지핀(301)이 이동되는 경우와 이동되지 않고 고정되는 경우의 각각의 경우와 상기 제1 내지 제3 실시 예와 함께 구성할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 스토퍼 구성 및 스토퍼가 설치되는 것을 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 척(204)이 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)에 의해 이송되는 방향의 전후 측면 부위의 하우징에 척의 유동을 방지하기 위한 스토퍼(211)가 배치될 수 있다.
척(204)를 고정시키기 위해, 상부 및/또는 하부 척 지지 프레임(205, 206), 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208) 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)가 척(204)의 테두리부에 접촉되거나, 팝업 유닛(209)의 지지핀(301)이 척(204)의 테두리부에 접촉되는 과정이나, 반전기가 반전되는 과정에서 척(204)에 안착된 기판(203)에 흔들림이 발생할 수 있으며, 흔들림이 있을 경우, 기판(203)이 고정에 문제가 발생하고, 다시 고정을 해야 하거나 작업을 진행되어야 할 기판이 손상될 수 있어, 증착 작업에 지장을 초래할 수 있다.
스토퍼(211)는 지지대(401)와 스토퍼 구동부(402)를 포함하며, 스토퍼 구동부(402)의 실시례로서는 구동력을 실린더(403)와 탄성력을 갖는 벨로즈(404)를 포함할 수 있으며, 모터에 의해 구동력을 제공할 수도 있다.
지지대(401)은 척(204)에 안착된 기판(203) 또는 척(204)의 테두리부에 배치되어 척(204)의 유동이 없도록 지지하는 역할을 하며, 상기 지지대(401)는 스토퍼 구동부(402)의 구동에 의해 상하로 이동 가능하여, 스토퍼 구동부(402)에 의해 상하 이동되어 기판(203) 또는 척(204)의 테두리부를 지지하거나 지지를 해제할 수 있다.
지지대(401)의 척(204)를 지지하는 부위는 척(204)이 상부 및/또는 하부 롤러(207, 208)에 의해 이송되는 방향의 전후 측면 부위 뿐만 아니라 좌우 측면 부위에 배치될 수도 있으며, 지지대(401)는 상하로 이동하지 않고 고정되어 있고 하우징에 회전 가능하게 설치되어 화전에 의해 기판(203) 또는 척(204)의 테두리부를 지지하거나 지지를 해제하도록 구성할 수 있다.
도 5는 상기 제1 실시 예에서, 하부 척 지지 프레임(206)이 하우징에 이동 가능하게 설치되어, 척(204)를 고정하는 구성을 보여주는 도면이다.
도 5a는, 선행 공정을 거친 후 기판(203)은 척(204)에 의해 상부로 향한 상태에서 제1 게이트(201)을 통해 증착 공정이 진행될 챔버(200) 내에 이송되는 것을 보여준다.
도 5b는 하부 척 지지 프레임(206)이 하우징에 이동 가능하게 설치되어, 하부 척 지지 프레임(206)이 모터의 구동력에 의해 하우징에 대하여 상부로 이동함으로써, 상부 및 하부 롤러(207, 208)가 척(204)에 접촉되면서 척(204)을 고정시키는 예를 보여주고 있다.
도 5c는 증착 공정 위해 반전기가 반전되는 것을 보여주고 있다.
도 5d는 증착 공정이 완료되고, 하부 척 지지 프레임(206)이 모터의 구동력에 의해 원래 위치 즉, 이제는 상부로 이동되는 것을 보여준다.
도 5e는 증착 공정이 완료된 기판을 배출하고 동시에 다음 기판이 증착 공정 위해 이송되어 오고 있는 것을 보여준다.
도 6은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 팝업 유닛에 의해 척을 고정하는 구성을 보여주는 도면이다.
도 6a를 참조하며, 선행 공정을 거친 후 기판(203)은 척(204)에 의해 상부로 향한 상태에서 제1 게이트(201)을 통해 증착 공정이 진행될 챔버(200) 내에 이송되는 것을 보여준다.
도 6b는 척(204)의 상부 및 하부에 위치하는 팝업 유닛(209)이 팝업 유닛 구동부(302)의 구동력에 의해 각각 하부 및 상부로 이동하여 척(204)에 접촉되면서 척(204)을 고정시키는 예를 보여주고 있다.
도 6c는 증착 공정 위해 반전기가 반전되는 것을 보여주고 있다.
도 6d는 증착 공정이 완료되고, 팝업 유닛(209)이 모터의 구동력에 의해 원래 위치로 복귀되는 것을 보여준다.
도 6e는 증착 공정이 완료된 기판을 배출하고 동시에 다음 기판이 증착 공정 위해 이송되어 오고 있는 것을 보여준다.
이상, 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 증착 장치는 유기 발광층 증착 공정 완료된 기판을 배출함과 동시에 다음 작업용 기판의 이송이 가능케 함으로써, 작업효율을 개선시킬 수 있게 된다.
상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
200 : 챔버 201 : 제1 게이트
202 : 제2 게이트 203 : 기판
204 : 척 205 : 상부 척 지지 프레임
206 : 하부 척 지지 프레임 207 : 상부 롤러
208 : 하부 롤러 209 : 팝업 유닛
210 : 롤러 구동부 211 : 스토퍼
212 : 회전축 213 : 반전기 구동부
301 : 지지핀 302 : 팝업 유닛 구동부
401 : 지지대 402 : 스토퍼 구동부

Claims (7)

  1. 챔버 내부에 배치되며, 기판이 안착되는 척을, 상부 및 하부에서 각각 지지하는 제1 및 제2 척 지지 프레임;
    상기 제1 및 제2 척 지지 프레임에 각각 설치되는 제1 및 제2 롤러;
    회전축에 회전력을 공급하는 반전기 구동부;
    지지핀을 포함하고, 상기 척의 상부 및 하부에 각각 배치되며, 제1 동작에 의해, 상기 지지핀을 상기 척 방향으로 이동시켜 상기 척을 고정시키는 제1 및 제2 팝업 유닛;을 포함하고,
    상기 척 고정시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 지지핀이, 상기 척의 상부 및 하부에 접촉하며,
    상기 제2 롤러가 동작하여 제1 척을 상기 챔버 내로 이송하고, 상기 제2 롤러 동작시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 지지핀과 상기 제1 척은 이격되며,
    상기 챔버 내로 상기 제1 척의 이송 이후, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 제1 동작에 의해, 상기 지지핀이 상기 제1 척에 접촉하여 상기 제1 척을 고정하고,
    상기 제1 척의 고정 이후, 상기 반전기 구동부의 동작에 의해, 상기 제1 척을 상기 회전축을 이용하여 반전시키고,
    상기 반전 이후, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 제2 동작에 의해, 상기 제1 척이 상기 제1 롤러에 접촉하고,
    상기 제1 롤러가 동작하여 상기 제1 척을 상기 챔버 외부로 배출하며, 상기 제1 롤러 동작시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 지지핀과 상기 제1 척은 이격되며,
    상기 제1 척의 외부 배출 중 또는 외부 배출 이후, 상기 반전기 구동부의 동작에 의한 상기 회전축의 반전 없이, 상기 제1 롤러가 동작하여, 상기 제1 척에 후속하는 제2 척을 상기 챔버 내로 이송하며, 상기 제1 롤러 동작시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 지지핀과 상기 제1 척은 이격되는 증착 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 척에는 상기 지지핀에 대응하는 부위에 홈이 형성되어,
    상기 제1 및 제2 팝업 유닛 중 적어도 어느 하나에 설치된 상기 지지핀이 상기 척으로 이동하여 상기 홈에 끼워지게 배치되어, 상기 척을 상부 및 하부에서 고정하는 증착 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 팝업 유닛에 설치된 상기 지지핀이 각각 하부 및 상부로 이동하여 상기 척의 대응되는 홈에 끼워지게 배치되는 증착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지핀에는 돌출부가 형성되고,
    상기 척의 홈은 상기 돌출부에 대응하는 형상으로 형성되어, 상기 돌출부가 상기 홈에 끼워지게 배치되어 상기 척을 고정하는 증착 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 내로 상기 제2 척의 이송 이후, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 제1 동작에 의해, 상기 지지핀이 상기 제2 척에 접촉하여 상기 제2 척을 고정하고,
    상기 제2 척의 고정 이후, 상기 반전기 구동부의 동작에 의해, 상기 제2 척을 상기 회전축을 이용하여 반전시키고,
    상기 반전 이후, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 제2 동작에 의해, 상기 제2 척이 상기 제2 롤러에 접촉하고,
    상기 제2 롤러가 동작하여 상기 제2 척을 상기 챔버 외부로 배출하며,
    상기 제2 척의 외부 배출 중 또는 외부 배출 이후, 상기 반전기 구동부의 동작에 의한 상기 회전축의 반전 없이, 상기 제2 롤러가 동작하여, 상기 제2 척에 후속하는 제3 척을 상기 챔버 내로 이송하는 증착 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 척에 안착된 기판 또는 척의 테두리부가 위치하는 하우징에 상기 기판 또는 척의 유동을 방지하기 위한 스토퍼가 배치되는 증착 장치.
  7. 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 기판이 안착된 척을 상부 및 하부에서 각각 지지하는 제1 및 제2 척 지지 프레임;
    상기 제1 및 제2 척 지지 프레임에 각각 설치되는 제1 및 제2 롤러;
    지지핀을 포함하고, 상기 척의 상부 또는 하부에 각각 배치되며, 제1 동작에 의해, 상기 지지핀을 상기 척 방향으로 이동시켜 상기 척을 고정시키는 제1 및 제2 팝업 유닛;을 포함하며,
    상기 지지핀과 대응되는 위치의 상기 척에는 홈이 형성되고,
    상기 지지핀이 상기 홈에 끼워지도록 상기 제1 척 지지 프레임, 제2 척 지지프레임, 제1 롤러 및 제2 롤러 중 적어도 어느 하나를 상기 척으로 이동시켜서, 상기 척을 고정하고정하며,
    상기 척 고정시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 지지핀이, 상기 척의 상부 및 하부에 접촉하며,
    상기 제1 롤러 또는 제2 롤러 동작시, 상기 제1 및 제2 팝업 유닛의 상기 지지핀과 상기 척은 이격되는 증착 장치.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI290016B (en) * 2002-10-14 2007-11-11 Atotech Deutschland Gmbh A process and an apparatus for coating printed circuit boards with laser-structurable, thermally curable solder stop lacquers and electroresists
KR100663665B1 (ko) * 2005-05-23 2007-01-09 주식회사 뉴파워 프라즈마 수직형 다중 기판 처리 시스템 및 그 처리 방법
KR101687303B1 (ko) * 2015-05-14 2016-12-16 주식회사 에스에프에이 기판 증착시스템

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101465989B1 (ko) * 2013-06-27 2014-11-27 주식회사 파워로직스 기판 코팅 장치

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