KR102463218B1 - 기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛 - Google Patents

기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛에 관한 것으로, 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정이 행해지는 기판 처리 장치는, 정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛과; 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징과, 필터 하우징에 공급된 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과, 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를 포함하는 필터 유닛을; 포함하는 것에 의하여, 약액이 공급되는 설비 및 라인을 안정화하는 소요되는 시간을 단축하고 처리 효율을 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛{SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND FILTER UNIT USING THE SAME}
본 발명은 기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 약액이 공급되는 설비 및 라인을 안정화하는 소요되는 시간을 단축하고 처리 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛에 관한 것이다.
최근 들어 반도체의 수율 및 생산성을 높이기 위한 다양한 시도가 이루어지고 있다.
이 중, 패널 레벨 패키지(Panel Level Package ; PLP)는, 반도체 패키지용 PCB(인쇄회로기판)이 없이 저렴한 비용으로 입출력이 많은 고성능 반도체 칩을 패키징(칩과 기기를 잇는 선을 패널에 직접 심는 패키징)하는 기술로서, 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 공정보다도 앞선 기술로 평가되고 있다.
반도체 패키지를 제조하는 공정에서는 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. 피처리 기판의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, 피처리 기판의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.
한편, 기판에 도포되는 약액에 이물질이 함유되면, 기판의 표면에 약액이 균일한 두께로 도포되기 어렵고, 약액과 함께 이물질이 도포됨에 따라 약액 코팅막의 품질이 저하되는 문제점이 있으므로, 약액은 슬릿 노즐을 통해 도포되기 전에 필터에 의해 필터링되어야 한다.
이때, 약액을 필터링하는데 사용되는 필터는, 수명이 다하면 여과 능력이 급격히 저하되므로 주기적으로 교체될 수 있어야 한다. 그런데, 약액의 필터링에 사용되는 필터는, 최초 건성(dry) 상태로 제공되므로, 이를 친수성으로 변환(습식 상태로 변환)시켜 공기층없이 충분한 여과 역할을 할 수 있는 조건으로 만들어 주어야 하며, 이와 같은 작업을 프리-웨팅(pre-wetting)이라고 한다.
그러나, 기존에는 필터를 프리-웨팅하는데 매우 많은 시간이 소요되고, 약액이 이송되는 설비 및 라인을 안정화(설비 및 라인의 내부의 공기층을 제거)하는데 소모되는 약액의 퍼지량(기체가 포함된 약액을 배출시켜 폐기하는 양)이 증가하여 원가가 상승되는 문제점이 있다.
특히, 코팅 공정에서 고점도 약액(예를 들어, 500 cP 이상의 점도를 갖는 약액)을 사용하면 약액의 흘러내림을 방지할 수는 있으나, 약액의 점도가 높아질수록 높은 점도의 특성으로 인하여 필터의 프리-웨팅 효율이 저하되고, 프리-웨팅에 소요되는 시간이 증가하는 문제점이 있다.
또한, 필터가 완벽하게 프리-웨팅되지 않은 상태(필터에 공기층이 남아 있는 상태)에서 약액이 필터를 통과하면, 필터를 통과한 약액에 미세하게 분할된 기체가 포함되는 문제점이 있고, 약액에 포함된 기체가 약액이 이송되는 설비 및 라인에 잔류하게 되어, 약액이 이송되는 설비 및 라인의 안정화에 더욱 많은 시간과 소요되고 약액의 퍼지량이 증가하는 문제점이 있다.
이에 따라, 최근에는 필터의 프리-웨팅 효율을 향상시키고, 약액이 공급되는 설비 및 라인을 안정화하는 소요되는 시간을 단축하기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 약액이 공급되는 설비 및 라인을 안정화하는 소요되는 시간을 단축하고 처리 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치 및 이에 사용되는 필터 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
특히, 본 발명은 약액을 필터링하는 필터 유닛의 프리-웨팅 효율을 향상시키고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 약액의 사용량을 저감시키고, 원가를 낮출 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 고점도 약액의 처리 효율을 높이고, 처리 시간을 단축할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 약액에 포함된 기체의 제거 효율을 높일 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 얼룩의 발생을 방지하고, 약액 코팅막의 품질을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 구조를 간소화하고, 공간활용성 및 설계자유도를 높일 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 약액의 토출량을 균일하게 제어할 수 있으며, 안정성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명은, 정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛과; 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징과, 필터 하우징에 공급된 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과, 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를 포함하는 필터 유닛을; 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 약액이 공급되는 설비 및 라인을 안정화하는 소요되는 시간을 단축하고 처리 효율을 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
특히, 본 발명에 따르면, 약액을 필터링하는 필터 유닛의 프리-웨팅 효율을 향상시키고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 약액의 사용량을 저감시키고, 원가를 낮추는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 고점도 약액의 처리 효율을 높이고, 처리 시간을 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 약액에 포함된 기체의 제거 효율을 높이고, 탈기 시간을 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 얼룩의 발생을 방지하고, 약액 코팅막의 품질을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 구조를 간소화하고, 공간활용성 및 설계자유도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 약액의 토출량을 균일하게 제어할 수 있으며, 안정성 및 신뢰성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛을 설명하기 위한 도면,
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면,
도 4는 약액의 온도 변화에 따른 약액의 점도 변화를 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 회전모듈을 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 진동모듈을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 탈기 유닛을 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 탈기 유닛의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면,
도 9는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 온도조절부를 설명하기 위한 도면,
도 10은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 온도조절부의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면,
도 11은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛의 장착예를 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛을 설명하기 위한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 4는 약액의 온도 변화에 따른 약액의 점도 변화를 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 회전모듈을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 진동모듈을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 7은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 탈기 유닛을 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 탈기 유닛의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 9는 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 온도조절부를 설명하기 위한 도면이고, 도 10은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 온도조절부의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이며, 도 11은 본 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 필터 유닛의 장착예를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(1)는, 정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛(200)과; 약액 처리 유닛(200)을 따라 처리되는 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징(232)과, 필터 하우징(232)에 공급된 약액을 필터링하는 필터 멤브레인(234)과, 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터(236)를 포함하는 필터 유닛(230)을; 포함한다.
이는, 약액을 필터링하는 필터 유닛(230)의 프리-웨팅 효율을 향상시키고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 단축하기 위함이다.
즉, 약액의 필터링에 사용되는 필터는, 수명이 다하면 여과 능력이 급격히 저하되므로 주기적으로 교체될 수 있어야 한다. 그런데, 약액의 필터링에 사용되는 필터는, 최초 건성(dry) 상태로 제공되므로, 이를 친수성으로 변환(습식 상태로 변환)시켜 공기층없이 충분한 여과 역할을 할 수 있는 조건(프리-웨팅)으로 만들어 주어야 한다.
그러나, 기존에는 필터를 프리-웨팅하는데 매우 많은 시간이 소요되고, 약액이 이송되는 설비 및 라인을 안정화(설비 및 라인의 내부의 공기층을 제거)하는데 소모되는 약액의 퍼지량(기체가 포함된 약액을 배출시켜 폐기하는 양)이 증가하여 원가가 상승되는 문제점이 있다. 특히, 코팅 공정에서 고점도 약액(예를 들어, 500 cP 이상의 점도를 갖는 약액)을 사용하면 약액의 흘러내림을 방지할 수는 있으나, 약액의 점도가 높아질수록 높은 점도의 특성으로 인하여 필터의 프리-웨팅 효율이 저하되고, 프리-웨팅에 소요되는 시간이 증가하는 문제점이 있다.
또한, 필터가 완벽하게 프리-웨팅되지 않은 상태(필터에 공기층이 남아 있는 상태)에서 약액이 필터를 통과하면, 필터를 통과한 약액에 미세하게 분할된 기체가 포함되는 문제점이 있고, 약액에 포함된 기체가 약액이 이송되는 설비 및 라인에 잔류하게 되어, 약액이 이송되는 설비 및 라인의 안정화에 더욱 많은 시간과 소요되고 약액의 퍼지량이 증가하는 문제점이 있다.
하지만, 본 발명은 필터 유닛(230)의 필터 멤브레인(234)을 통과 하는 약액의 온도가 정해진 범위로 온도로 가열되도록 하는 것에 의하여, 약액의 점도를 낮출 수 있으므로, 필터 멤브레인(234)의 프리-웨팅(pre-wetting) 효율을 향상시키고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
보다 구체적으로, 약액의 온도는 약액의 점도와 상관 관계를 가진다. 특히, 약액의 점도는 약액의 온도가 증가함에 따라 낮아지며, 약액의 점도를 낮춘 상태(묽은 상태)에서 약액이 필터 멤브레인(234)에 침투되도록 하는 것에 의하여, 필터 멤브레인(234)을 습식 상태로 안정화하는 프리-웨팅 시간을 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 필터 유닛(230)의 프리-웨팅 효율을 높이고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 단축하는 것에 의하여, 필터 유닛(230)을 통과한 약액이 이송되는 설비 및 라인을 안정화하는데 사용되는 약액의 퍼지량을 낮출 수 있으며, 약액의 사용량을 저감시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(1)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 피대상체에 도포물질(약액)을 도포하기 위해 사용될 수 있으며, 피대상체와 약액의 종류에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이하에서는 기판 처리 장치(1)가 기판(10)의 상면에 약액(예를 들어, PR)을 도포하도록 구성된 예를 들어 설명하기로 한다. 바람직하게, 기판(10)에는 500 cP(centi-poise) 이상의 고점도 특성을 갖는 약액이 도포된다.
약액 처리 유닛(200)은 약액을 노즐 유닛(400)으로 공급할 수 있는 다양한 구조로 형성될 수 있으며, 약액 처리 유닛(200)의 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
일 예로, 약액 처리 유닛(200)은, 약액이 저장되는 캐니스터(210)와, 캐니스터(210)로부터 약액을 공급하는 약액 공급라인(220)을 포함하고, 필터 유닛(230)은 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 약액의 이동 경로 상에 구비된다.
이하에서는 캐니스터(210)에 저장된 약액이 약액 공급라인(220)을 따라 공급되는 중에 필터 유닛(230)을 거쳐 처리되는 예를 들어 설명하기로 한다. 경우에 따라서는 약액 공급라인 상에 필터 유닛이 추가로 장착(2개 이상 장착)되는 것이 가능하며, 필터 유닛의 개수 및 장착 위치에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
캐니스터(210)에는 액상의 약액이 저장되며, 캐니스터(210)에 저장된 약액은 약액 공급라인(220)(예를 들어, 배관)을 통해 노즐 유닛(400)으로 공급된다.
일 예로, 캐니스터(210)는 복수개가 병렬로 연결된다. 경우에 따라서는 단일 캐니스터가 사용될 수 있으며, 캐니스터의 개수 및 배열에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
필터 유닛(230)은 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 약액에 포함된 이물질을 필터링하도록 마련되며, 약액은 필터 유닛(230)을 거쳐 필터링된 후 노즐 유닛(400)으로 공급된다.
보다 구체적으로, 필터 유닛(230)은, 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징(232)과, 필터 하우징(232)에 공급된 상기 약액을 필터링하는 필터 멤브레인(234)과, 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터(236)를 포함한다.
필터 하우징(232)은 내부에 수용 공간을 갖는 통 형상으로 제공될 수 있으며, 필터 하우징(232)의 형상 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
필터 멤브레인(234)은 필터 하우징(232)의 내부에 배치되며, 필터 하우징(232)에 공급된 약액을 필터링한다.
필터 멤브레인(234)으로서는 약액에 포함된 이물질을 필터링할 수 있는 다양한 종류의 필터가 사용될 수 있으며, 필터의 종류 및 형태에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
참고로, 필터 하우징(232)의 하부 또는 상부(또는 측부)에는 약액이 공급되는 입구(미도시)가 형성되고, 입구를 통해 필터 하우징(232)의 내부에 유입된 약액은 필터 멤브레인(234)을 통과한 후, 필터 하우징(232)의 상부에 형성된 출구(미도시)를 통해 필터 하우징(232)의 외부로 배출되어, 약액 공급라인(220)을 따라 이송된다.
히터(236)는 필터 멤브레인(234)을 통과하는 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하도록 마련된다.
바람직하게, 히터(236)는 약액을 가열하여 필터 멤브레인(234)을 통과하는 약액의 점도를 강제적으로 낮추도록 구비된다. 보다 구체적으로, 히터(236)는 약액이 필터 하우징(232)의 외부에서 필터 하우징(232)의 내부로 공급되는 제1점도보다 낮은 제2점도를 갖도록 약액을 가열한다. 이때, 제1점도와 제2점도는 하나로 정해진 점도값이거나, 소정의 범위로 정해질 수 있다.
이와 같이, 약액이 필터 멤브레인(234)을 통과하기 전에 약액의 온도가 정해진 범위의 온도로 가열되도록 하는 것에 의하여, 약액의 점도를 강제적으로 낮출 수 있으며, 약액이 필터 멤브레인(234)에 침투되는 효율을 높여 필터 멤브레인(234)을 습식 상태로 안정화하는 프리-웨팅 시간을 단축하고, 약액의 퍼지량을 낮추는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 참고로, 도 4를 참조하면, 약액의 점도는 약액의 온도가 증가함에 따라 낮아짐을 알 수 있다.
일 예로, 도 2를 참조하면, 히터(236)는 필터 하우징(232)의 내부에 공급된 약액의 내부에 침지되도록 필터 하우징(232)의 내면에 장착되며, 필터 하우징(232)의 내부에 공급된 약액은 히터(236)에 의해 직접 가열된다.
다른 일 예로, 도 3을 참조하면, 히터(236)는 필터 하우징(232)의 외면에 장착되어 필터 하우징(232)을 가열하도록 구성되며, 히터(236)에 의해 필터 하우징(232)이 가열됨에 따라 필터 하우징(232)의 내부에 공급된 약액이 가열될 수 있다.
또한, 기판 처리 장치(1)는, 필터 하우징(232)에 연결되며 필터 멤브레인(234)을 통과한 약액을 퍼지하는 퍼지라인(231)을 포함한다.
이와 같이, 필터 하우징(232)에 퍼지라인(231)을 연결하고, 필터 하우징(232)의 약액이 필터 하우징(232)에서 곧바로 퍼지되도록 하는 것에 의하여, 약액(탈기가 완전하게 이루어지지 않은 약액)에 포함된 기체가 약액 공급라인(220) 또는 노즐 유닛(400)에 잔류되는 것을 최소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 필터 유닛(230)은, 약액에 포함된 이물질을 필터링하는 역할을 수행함과 아울러, 약액에 포함된 기체를 탈기하는 역할을 함께 수행하는 것도 가능하다.
일 예로, 도 5를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는, 필터 하우징(232)을 회전시키는 회전모듈을 포함하고, 필터 하우징(232)의 내부에 약액이 채워지면, 필터 하우징(232)의 회전에 의한 원심력을 이용하여 약액에서 기체를 분리할 수 있다.
회전모듈은 회전축을 중심으로 필터 하우징(232)을 고속으로 회전시키도록 구성되며, 회전모듈의 종류 및 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이와 같이, 필터 하우징(232)이 고속으로 회전함에 따라, 필터 하우징(232)의 내부에 채워진 약액에 원심력(CF)이 작용하게 된다. 이때, 비중이 높은 액상 약약은 회전 중심의 바깥쪽에 배치되고, 비중이 낮은 기체가 회전 중심에 인접한 안쪽에 배치됨으로 인해, 기체(G)의 구속력이 약해질 수 있으므로, 약액에 포함된 기체(G)가 효과적으로 약액으로부터 분리될 수 있다.
또한, 필터 하우징(232)에는 제1배기라인(238)이 연결되며, 필터 하우징(232)의 회전에 의한 원심력에 의해 약액에서 분리된 기체는 제1배기라인(238)을 통해 필터 하우징(232)의 외부로 배기된다.
바람직하게, 제1배기라인(238)은 필터 하우징(232)의 회전 중심에 동축적으로 배치된다. 이는, 약액에 원심력이 작용하면 비중이 낮은 기체가 회전 중심에 인접한 안쪽에 배치되는 것에 기인한 것으로, 원심력에 의해 약액으로부터 분리되어 회전 중심에 인접하게 안쪽에 배치되는 기체를 보다 효과적으로 배기할 수 있다.
또한, 제1배기라인(238)에는 진공압을 인가하는 진공압 형성부(238a)가 연결되며, 약액에서 분리된 기체(G)는 제1배기라인(238)에 인가되는 진공압에 의해 흡입되어 배기된다.
더욱이, 필터 하우징(232)을 회전시켜 약액에 원심력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 필터 멤브레인(234)의 프리-웨팅 효율을 보다 높이고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 보다 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 필터 하우징(232)의 내부에 약액이 채워진 상태에서 약액에 원심력이 작용하도록 하는 것에 의하여, 약액이 필터 멤브레인(234)에 침투되는 침투력을 높이고, 필터 멤브레인(234)의 반경 방향을 따라 필터 멤브레인(234)의 바깥쪽(회전 중심의 바깥쪽)에서부터 안쪽으로 차곡차곡 약액을 침투시킬 수 있으므로, 필터 멤브레인(234)의 프리-웨팅에 소요되는 시간을 보다 단축하고, 필터 멤브레인(234)에 건성 부위(약액이 침투되지 않은 부위)가 남게되는 것을 보다 효과적으로 억제하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 6을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는, 필터 하우징(232)에 진동(또는 충격)을 인가하는 진동모듈(600)을 포함한다.
이는, 필터 하우징(232)의 내부에 약액이 채워지는 중에 필터 하우징(232)의 내벽면에 잔류하는 기체를 보다 효과적으로 제거하기 위함이다.
즉, 진동모듈(600)을 이용하여 필터 하우징(232)에 강제적으로 진동을 인가하는 것에 의하여, 필터 하우징(232)의 내벽면에 붙어 있는 기체를 필터 하우징(232)의 내벽면으로부터 효과적으로 분리시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
진동모듈(600)로서는 필터 하우징(232)에 진동 또는 충격을 줄 수 있는 다양한 진동수단이 사용될 수 있으며, 진동모듈(600)의 종류 및 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
바람직하게, 진동모듈(600)은 0.01~1 주파수(Hz)로 필터 하우징(232)을 진동시키도록 구성된다. 더욱 바람직하게 진동모듈(600)은 0.1 주파수(Hz)로 필터 하우징(232)을 진동시키도록 구성된다.
또한, 필터 하우징(232)에는 제2배기라인(239)이 연결되며, 필터 하우징(232)의 내부 기체(예를 들어, 필터 하우징(232)의 내벽면에서 분리된 기체)는 제2배기라인(239)을 통해 필터 하우징(232)의 외부로 배기된다.
바람직하게, 제2배기라인(239)에는 진공압을 인가하는 진공압 형성부(239a)가 연결되며, 약액에서 분리된 기체(G)는 제2배기라인(239)에 인가되는 진공압에 의해 흡입되어 배기된다.
경우에 따라서는 필터 하우징의 내벽면에서 분리된 기체가 전술한 제1배기라인을 통해 배기되도록 구성하는 것도 가능하다.
더욱이, 필터 하우징(232)에 진동을 인가하는 것에 의하여, 필터 멤브레인(234)의 프리-웨팅 효율을 보다 높이고, 프리-웨팅에 소요되는 시간을 보다 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 필터 하우징(232)에 진동을 인가하는 것에 의하여, 필터 하우징(232)의 내부에 채워진 약액에도 진동이 인가되도록 할 수 있으므로, 필터 하우징(232)의 내부에 존재하는 공기층을 보다 빠르게 상승시킬 수 있으며, 필터 멤브레인(234)의 프리-웨팅에 소요되는 시간을 보다 단축하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
한편, 약액 처리 유닛(200)은 약액에 포함된 기체(G)를 탈기(degassing)하는 탈기모듈(240)을 포함할 수 있다.
여기서, 약액에 포함된 기체(G)를 탈기한다 함은, 약액에 포함된 기체(G)를 약액으로부터 분리시켜 제거하는 것으로 정의된다.
이와 같이, 필터 유닛(230)에서 1차적(또는 2차적)으로 약액에 포함된 기체를 탈기하고, 탈기모듈에서 2차적(또는 1차적)으로 약액에 포함된 기체를 탈기하는 것에 의하여, 약액에 포함된 기체를 보다 확실하게 탈기하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
탈기모듈(240)은 약액에 포함된 기체(G)를 탈기할 수 있는 다양한 구조로 형성될 수 있으며, 탈기모듈(240)의 구조 및 탈기 방식에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
일 예로, 도 7을 참조하면, 탈기모듈(240)은, 모듈 하우징(242)과, 기체(G)가 투과 가능한 소재로 형성되어 모듈 하우징(242)의 내부를 통과하도록 배치되고 약액이 공급되는 멤브레인 배관(244)과, 모듈 하우징(242)에 연결되며 멤브레인 배관(244)을 투과한 기체를 모듈 하우징(242)의 외부로 배기하는 배기라인(246)을 포함한다.
모듈 하우징(242)은 내부에 수용 공간을 갖는 통 형상으로 제공될 수 있으며, 모듈 하우징(242)의 형상 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
멤브레인 배관(244)은 기체(G)가 투과 가능한 소재로 형성되어, 모듈 하우징(242)의 내부를 통과하도록 배치되고, 멤브레인 배관(244)의 내부를 따라서는 약액이 공급된다.
일 예로, 멤브레인 배관(244)은 아세트산 셀룰로오스, 폴리술폰, 폴리이미드, 폴리올레핀 등으로 이루어진 중공사(hollow fiber)로 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 멤브레인 배관이 여타 다른 소재로 형성될 수 있으며, 멤브레인 배관의 재질에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
멤브레인 배관(244)의 개수 및 배열은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 모듈 하우징(242)의 내부에는 4개의 멤브레인 배관(244)이 이격되게 수평 방향을 따라 배치될 수 있다.
배기라인(246)은 멤브레인 배관(244)을 투과한 기체(G)를 모듈 하우징(242)의 외부로 배기하도록 마련된다.
일 예로, 배기라인(246)은 모듈 하우징(242)의 상단에 연결될 수 있으며, 멤브레인 배관(244)을 투과한 기체(G)는 배기라인(246)을 통해 배기된다.
바람직하게, 배기라인(246)에는 진공압을 인가하는 진공압 형성부(246a)가 연결되며, 약액에서 탈기된 기체(멤브레인 배관을 투과한 기체)(G)는 배기라인(246)에 인가되는 진공압에 의해 흡입되어 배기된다.
또한, 탈기모듈(240)은 약액이 멤브레인 배관(244)으로 진입되기 전에 약액을 가열하는 히터(248)를 포함할 수 있다.
이와 같이, 약액이 멤브레인 배관으로 진입되기 전에 미리 가열하여 약액의 점도를 낮추는 것에 의하여, 약액에 포함된 기체의 구속력을 낮출 수 있으므로, 약액에 포함된 기체가 보다 효과적으로 멤브레인 배관을 투과되도록 하는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 경우에 따라서는 히터가 모듈 하우징을 가열하고 가열된 모듈 하우징에 의해 약액이 가열되도록 하는 것도 가능하다.
참고로, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는, 멤브레인 배관의 내부를 따라 약액이 공급(내부 관류)되고, 약액에 포함된 기체가 멤브레인 배관의 내부에서 멤브레인 배관의 외부로 투과되는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 멤브레인의 배관의 외부를 따라 약액이 공급(외부 관류)되고, 약액에 포함된 기체가 멤브레인 배관의 외부에서 멤브레인 배관의 내부로 투과되도록 구성하는 것도 가능하다.
다른 일 예로, 탈기모듈은 원심력을 이용하여 약액에서 기체를 분리하도록 구성될 수 있다.
보다 구체적으로 도 8을 참조하면, 탈기모듈(240')은, 약액이 공급되는 모듈 하우징(242')과, 모듈 하우징(242')의 내부에서 회전하며 약액을 원심력(CF)에 의해 모듈 하우징(242')의 내면에 밀착시키는 회전체(244')와, 약액이 모듈 하우징(242')의 내면에 밀착되는 중에 약액에서 분리된 기체(G)를 모듈 하우징(242')의 외부로 배기하는 배기라인(246')을 포함한다.
모듈 하우징(242')은 내부에 수용 공간을 갖는 통 형상으로 제공될 수 있으며, 모듈 하우징(242')의 형상 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
회전체(244')는 모듈 하우징(242')의 내부에 회전 가능하게 장착되며, 모듈 하우징(242)의 내부에서 약액을 고속으로 회전시킨다.
회전체(244')로서는 약액을 회전시킬 수 있는 다양한 회전체(244')가 사용될 수 있으며, 회전체(244')의 종류 및 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이와 같이, 모듈 하우징(242')의 내부에서 회전체(244')를 회전시켜 약액이 원심력(CF)에 의해 모듈 하우징(242')의 내면에 밀착되도록 하는 것에 의하여, 약액에 포함된 기체(G)를 약액으로부터 분리할 수 있다.
즉, 회전체(244')가 회전함에 따라 약액에 원심력(CF)이 작용하고, 약액은 모듈 하우징(242')의 내면에 퍼지면서 매우 얇은 약액층을 이루도록 밀착된다. 이때, 비중이 높은 액상 약약은 약액층의 바깥쪽에 배치되고, 비중이 낮은 기체는 약액층의 안쪽에 배치됨으로 인해, 기체(G)의 구속력이 약해질 수 있으므로, 약액에 포함된 기체(G)가 효과적으로 약액으로부터 분리될 수 있다.
배기라인(246')은 약액으로부터 분리된 기체(G)를 모듈 하우징(242')의 외부로 배기하도록 마련된다.
일 예로, 배기라인(246')은 모듈 하우징(242')의 상단 중앙부에 연결될 수 있으며, 약액에서 분리된 기체(G)는 배기라인(246')을 통해 배기된다.
바람직하게, 배기라인(246')에는 배기라인(246')에 진공압을 인가하는 진공압 형성부(246a')가 연결되며, 약액에서 분리된 기체(G)는 배기라인(246')에 인가되는 진공압에 의해 흡입되어 배기된다.
또한, 탈기모듈(240')은 모듈 하우징(242')을 가열하는 히터(248')를 포함할 수 있다. 원심력(CF)에 의해 모듈 하우징(242')의 내면에 밀착된 약액은 히터(248')에 의해 모듈 하우징(242')이 가열됨에 따라 가열된다.
이와 같이, 원심력(CF)에 의해 약액이 모듈 하우징(242')의 내면에 밀착되는 중에 약액을 가열하여 약액의 점도를 낮추는 것에 의하여, 약액에 포함된 기체의 구속력을 보다 낮출 수 있으므로, 약액에 포함된 기체를 보다 효과적으로 분리하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는, 모듈 하우징의 내부에서 회전하는 회전체에 의해 약액이 모듈 하우징의 내면에 밀착되는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 별도의 회전체를 배제하고 모듈 하우징을 직접 회전시켜 모듈 하우징의 원심력에 의해 약액이 모듈 하우징의 내면에 밀착되도록 하는 것도 가능하다. 다르게는, 모듈 하우징에 공급된 약액이 모듈 하우징의 내부에 마련된 경사 안내면을 따라 얇게 펴진 상태로 아래로 흘러내리면서 탈기되도록 구성하는 것도 가능하다.
한편, 노즐 유닛(400)은 약액 처리 유닛(200)에서 처리된 약액을 기판(10)에 도포하도록 마련된다.
노즐 유닛(400)은 기판(10)의 상부에 배치되며, 약액 공급라인(220)으로부터 약액을 공급받아 기판(10)의 표면에 약액(PR)을 도포한다. 일 예로, 노즐 유닛(400)은 피처리 기판(10)의 이동 방향에 직교하는 방향을 따른 기판(10)의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐(미도시)을 포함한다.
여기서, 노즐 유닛(400)에 의해 약액이 도포되는 영역은 기판(10)의 전체 표면일 수도 있고, 다수의 셀 영역으로 분할된 부분일 수도 있다.
참고로, 기판(10)은 기판이송부(100)에 의해 미리 설정된 이송 경로를 따라 이송된다.
일 예로, 기판이송부(100)는 기판(10)을 공중에 부상시킨 상태로 이송하도록 구성된다. 바람직하게, 기판이송부(100)는 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 상기 기판을 부상시킨 상태로 이송한다.
이와 같이, 초음파에 의한 진동 에너지에 의해 기판(10)이 부상되도록 하는 것에 의하여, 기판(10)의 부상력을 정밀하게 제어할 수 있고, 기판(10)이 반송되는 동안 외부 접촉에 의한 손상 및 변형을 최소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
특히, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용한 부상 방식에서는, 기판(10)의 전 걸쳐 균일한 부상력을 형성할 수 있기 때문에, 노즐 유닛(400)로부터 약액이 도포되는 도포 영역에서 노즐 유닛(400)에 대한 기판의 배치 높이를 보다 정교하게 제어 및 유지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에서는 기판이송부(100)가 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시키는 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 기판이송부가 기판의 저면에 유체(예를 들어, 기체)를 분사하여 기판을 부상시키는 것도 가능하다. 다르게는 기판이 기판이송부에 안착된 상태로 이송되도록 구성하는 것도 가능하다.
보다 구체적으로, 기판이송부(100)는 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판(10)을 부상시킨 상태로 이송시키기 위해 마련된다.
일 예로, 기판이송부(100)는 서로 이격되게 배치되도록 독립적으로 분할된 복수개의 진동플레이트를 포함한다. 본 발명의 실시예에서는 기판이송부를 구성하는 복수개의 진동플레이트가 기판이 이송되는 방향을 따라 분할된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 복수개의 진동플레이트가 기판이 이송되는 방향에 교차하는 방향을 따라 분할되는 것도 가능하다. 다르게는 기판이송부가 단 하나의 진동플레이트로 구성되는 것도 가능하다.
여기서, 기판(10)이 부상된다 함은, 기판(10)이 진동플레이트(110)의 상부에 소정 간격을 두고 공중에 띄워진 상태를 의미하며, 진동플레이트(110)의 상부에 부상된 기판(10)은 이송 레일(122)을 따라 직선 이동하는 이송부재(120)에 흡착 또는 지지된 상태로 이송된다.
또한, 복수개의 진동플레이트가 독립적으로 분할된다 함은, 복수개의 진동플레이가 서로 이격되게 배치되며, 복수개의 진동플레이트에 의한 부상력이 기판(10)에 각각 개별적으로 작용하는 것을 의미한다.
참고로, 기판이송부(100)는, 기판(10)이 로딩되는 로딩이송부와, 기판(10)의 표면에 약액이 도포되는 프로세싱이송부와, 약액이 도포된 기판(10)이 언로딩되는 언로딩이송부를 포함한다.
세정 처리 유닛에서 세정 공정이 완료된 기판(10)은 로딩이송부를 따라 프로세싱이송부로 이송되고, 프로세싱이송부로 이송된 기판(10)의 표면에는 약액이 도포된다. 그 후, 약액이 도포된 기판(10)은 언로딩이송부를 따라 이송된 후, 가열 건조 유닛에 의해 가열됨에 따라 약액이 건조된다.
그리고, 이송부재(120)는 이송 레일(122)을 따라 직선 이동하도록 구성될 수 있다. 가령, 이송 레일(122)은 N극과 S극의 영구 자석이 교대로 배열되고, 이송부재(120)의 코일에 인가되는 전류 제어에 의하여 정교한 위치 제어가 가능한 리니어 모터의 원리로 구동될 수 있다.
또한, 기판 처리 장치(1)는 노즐 유닛(400)에서 도포되는 약액의 온도를 정해진 온도범위로 조절하는 온도조절부(500)를 포함한다.
일 예로, 온도조절부(500)는 약액이 가열유닛에 의해 가열되는 제1온도보다 낮은 제2온도로 약액의 온도를 조절한다. 바람직하게, 제1온도는 상온보다 높게 설정된다. 이때, 제1온도와 제2온도는 하나로 정해진 온도값이거나, 소정의 범위로 정해질 수 있다.
이는, 노즐 유닛(400)에서 도포되는 약액을 공정에 적합한 공정 온도 범위로 조절하기 위함이다. 즉, 약액은 약액 처리 유닛(200)을 따라 처리되는 동안 가열 유닛(300)에 의해 가열되므로, 약액의 온도는 정해진 온도 범위보다 높아지게 된다. 이와 같이, 약액의 온도가 정해진 온도 범위보다 높으면, 약액이 고점도 특성을 가지기 어렵고, 약액의 점도가 낮아지므로 약액의 흘러내림이 발생되고, 고팅 품질이 저하될 수 있다.
하지만, 본 발명은 노즐 유닛(400)에서 도포되는 약액이 정해진 범위의 온도로 조절(제1온도보다 낮은 제2온도로 낮게 조절)되도록 하는 것에 의하여, 노즐 유닛(400)에서 도포되는 약액이 다시 고점도 특성을 가질 수 있으며, 약액 코팅막의 품질을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
온도조절부(500,510')는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 위치에서 약액의 온도를 조절하도록 구성될 수 있다.
일 예로, 도 9를 참조하면, 온도조절부(500)는 필터 유닛(230)을 통과한 약액의 이동 경로 상에 구비되며, 약액이 노즐 유닛에 도달하기 전에 약액의 온도를 조절한다. 보다 구체적으로, 온도조절부(500)는 필터 유닛(230)을 통과한 약액을 노즐 유닛(400)으로 공급하는 약액 공급라인(220) 상에 구비된다.
다른 일 예로, 도 10을 참조하면, 온도조절부(500')는 노즐 유닛(400)에 장착되어 노즐 유닛(400)에서 약액이 도포되기 직전에 약액의 온도를 정해진 온도범위로 조절할 수 있다.
온도조절부(500,510')는 펠티에소자(Peltier effect device)와 같은 냉각 소자를 이용하거나, 냉각수를 이용하여 약액의 온도를 조절할 수 있으며, 온도조절부(500,510')에 의한 약액의 온도 조절 방식에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 온도조절부(500,510')가 약액의 온도를 낮추도록 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 온도조절부가 약액의 온도를 높이거나 유지시키도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 필터 유닛(230)은 약액 공급라인에 선택적으로 분리 가능하게 결합된다.
바람직하게, 도 11을 참조하면, 필터 유닛(230)은 필터 멤브레인(234)이 약액에 의한 프리-웨팅이 완료된 상태로 교체 장착된다.
여기서, 필터 멤브레인(234)이 약액에 의한 프리-웨팅이 완료된 상태라 함은, 필터 멤브레인(234)에 건성 부위(약액이 침투되지 않은 부위)가 남아 있지 않고, 약액에 의해 전체적으로 습식화가 완료된 상태로 정의된다.
이와 같이, 교체될 필터 유닛(230)이 미리 프리-웨팅된 상태에서, 필터 유닛(230)이 설비(예를 들어, 약액 공급라인)에 장착되도록 하는 것에 의하여, 설비 및 라인을 다시 안정화(설비 및 라인의 내부의 공기층을 제거)하는 공정을 배제할 수 있으며, 설비의 안정화 공정에 소모되는 약액의 퍼지량(기체가 포함된 약액을 배출시켜 폐기하는 양)을 최소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 필터 유닛은 건성(dry) 상태로 제공되므로, 설비에서 필터 유닛을 교체하면 다시 설비를 안정화하는 공정을 거쳐야 하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명은 필터 유닛(230)이 미리 프리-웨팅된 상태로 설비에 장착되도록 하는 것에 의하여, 필터 유닛(230)의 교체에 따른 설비의 안정화 공정을 배제하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
참고로, 본 발명에서 필터 유닛(230)이라 함은, 약액에 포함된 이물질을 필터링하면서 약액을 공급하는 배관으로 정의될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판이송부 200 : 약액 처리 유닛
210 : 캐니스터 220 : 약액 공급라인
230 : 필터 유닛 232 : 필터 하우징
234 : 필터 멤브레인 236 : 히터
238 : 제1배기라인 239 : 제2배기라인
240,240' : 탈기모듈 400 : 노즐 유닛
500,500' : 온도조절부 600 : 진동모듈

Claims (31)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정이 행해지는 기판 처리 장치로서,
    정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛과;
    상기 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 상기 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 공급된 상기 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과, 상기 필터 하우징의 내부에서 상기 약액을 가열하여 상기 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를 포함하는 필터 유닛을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정이 행해지는 기판 처리 장치로서,
    정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛과;
    상기 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 상기 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 공급된 상기 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과, 상기 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를 포함하는 필터 유닛과;
    상기 필터 하우징을 회전시키는 회전모듈을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 필터 하우징에 연결되며, 상기 필터 하우징의 회전에 의한 원심력에 의해 상기 약액에서 분리된 기체를 상기 필터 하우징의 외부로 배기하는 제1배기라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1배기라인에 연결되며, 상기 제1배기라인에 진공압을 인가하는 진공압 형성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1배기라인은 상기 필터 하우징의 회전 중심에 동축적으로 배치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 삭제
  11. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정이 행해지는 기판 처리 장치로서,
    정해진 공정 순서에 따라 약액을 처리하는 약액 처리 유닛과;
    상기 약액 처리 유닛을 따라 처리되는 상기 약액의 이동 경로 상에 구비되는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 공급된 상기 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과, 상기 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를 포함하는 필터 유닛과;
    0.01~1 주파수(Hz)로 상기 필터 하우징을 진동시키는 진동 모듈을;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제4항 또는 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항 또는 제11항에 있어서,
    상기 필터 하우징에 연결되며, 상기 필터 하우징의 내부에서 기체를 상기 필터 하우징의 외부로 배기하는 제2배기라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제4항 또는 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항 또는 제11항에 있어서,
    상기 필터 하우징에 연결되며, 상기 필터 멤브레인을 통과한 상기 약액을 퍼지하는 퍼지라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 삭제
  15. 제4항 또는 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항 또는 제11항에 있어서, 상기 약액 처리 유닛은,
    상기 약액이 저장되는 캐니스터와;
    상기 캐니스터에서부터 상기 약액이 공급되며, 상기 필터 유닛이 장착되는 약액 공급라인과;
    상기 약액 공급라인에 장착되며 상기 약액에 포함된 기체를 탈기(degassing)하는 탈기모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제4항 또는 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항 또는 제11항에 있어서,
    상기 필터 유닛을 통과한 상기 약액의 이동 경로 상에 구비되며, 상기 약액이 노즐 유닛에 도달하기 전에 상기 약액의 온도를 조절하는 온도조절부를;
    더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 제19항에 있어서,
    상기 온도조절부는 상기 약액이 상기 히터에 의해 가열되는 제1온도보다 낮은 제2온도로 상기 약액의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 제1온도는 상온보다 높은 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  24. 제4항 또는 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항 또는 제11항에 있어서,
    상기 기판에 도포되는 상기 약액의 점도는 500 cP 이상인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  25. 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정이 행해지는 기판 처리 장치에 사용되는 필터 유닛으로서,
    약액이 공급되는 약액 공급라인에 선택적으로 분리 가능하게 결합되는 필터 하우징과;
    상기 필터 하우징에 공급된 상기 약액을 필터링하는 필터 멤브레인과;
    상기 필터 하우징의 내부에서 상기 약액을 정해진 범위의 온도로 가열하는 히터를;
    포함하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.

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