KR102454078B1

KR102454078B1 - 판형상체 지지 장치

Info

Publication number: KR102454078B1
Application number: KR1020200047571A
Authority: KR
Inventors: 타카시 히구치
Original assignee: 가부시키가이샤 이와사키 세이사쿠쇼
Priority date: 2019-06-25
Filing date: 2020-04-20
Publication date: 2022-10-14
Also published as: CN112124748A; TW202101648A; TWI733501B; JP7123010B2; JP2021004044A; KR20210000652A; CN112124748B

Abstract

[과제] 대형 유리 기판을 적층 형상으로 수납 보관 반송하기 위한 카세트 내에 설치되는 유리 기판 지지 수단 등에 활용할 수 있는 판형상체 지지 장치를 제공한다.
[해결 수단] 판형상체(G)를 수평상태로 지지하는 지지 공간의 외측의 지주 부재(17)에 기초부가 부착되어 있고 선단이 상기 지지 공간 안을 향해서 수평으로 뻗어 있는 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 기초부와 선단의 사이에 팽팽하게 설치된 와이어(12)를 구비하고, 이 와이어(12)의 장력에 의해, 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하도록 구성된 판형상체 지지 장치(9)에 있어서, 상기 와이어(12)는, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 지지 공간 내에 있어서의 최상면보다도 위쪽에서 수평으로 팽팽하게 설치되어, 이 와이어(12)에 의해 판형상체(G)를 지지하는 판형상체 지지 장치.

Description

판형상체 지지 장치{TABULAR BODY SUPPORTING DEVICE}

본 발명은, 대형 유리 기판을 적층 형상으로 수납 보관 반송하기 위한 카세트 내에 설치되는 유리 기판 지지 수단 등에 활용할 수 있는 판형상체 지지 장치 에 관한 것이다.

이런 종류의 유리 기판 수납 보관 반송용 카세트에는, 양 단부가 카세트 주위 테두리에 지지된 와이어를 수평면 상에서 병렬로 팽팽하게 설치해서 유리 기판 지지면을 형성하는 와이어 카세트와, 한 단부만이 카세트 주위 테두리에 지지된 캔틸레버 형상의 지지 부재를 사용하는 노멀 카세트가 알려져 있다. 와이어 카세트는, 유리 기판의 하역(荷役)에 전용 컨베이어가 필요한 것에 대하여, 노멀 카세트는, 수평 출퇴 운동과 승강 운동이 가능한 범용 로봇핸드를 이용하여 유리 기판의 하역이 가능한 것이며, 본 발명의 판형상체 지지 장치는, 이 노멀 카세트의 캔틸레버 형상의 지지 부재에 이용할 수 있는 것이다.

이 노멀 카세트의 과제는, 지지 대상인 유리 기판이 대형이 되면, 당해 유리 기판의 주변만을 캔틸레버 형상의 지지 부재로 지지한 것은, 유리 기판이 자체 중량에 의해 중앙부가 아래로 처지도록 휘게 된다. 따라서, 대형 유리 기판을 대상으로 하는 카세트에서는, 당해 유리 기판의 거의 전역을 지지할 수 있는 기다란 캔틸레버 형상의 지지 부재를, 유리 기판이 수평으로 출납되는 전후 방향과 평행하게 배치하지 않으면 안된다. 그러나, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 길이를 길게 하면, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재 자체의 굽힘 강도를 충분히 높이지 않으면, 지지하는 유리 기판의 중량에 의해 이 캔틸레버 형상의 지지 부재 자체가 자유단 처짐으로 휘게 변형되고, 그 결과로서, 지지되는 유리 기판에 부당한 굽힘 응력이 작용하게 된다. 또한, 상하 복수단으로 적층 형상으로 유리 기판을 수납하는 카세트에서는, 상하로 인접하는 캔틸레버 형상의 지지 부재 사이에, 로봇핸드와 이것에 지지된 유리 기판에 수평 출퇴 운동 및 승강 운동을 문제없이 하게 하기 위한 공간을 확보해야 하지만, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 상정하여, 상하로 인접하는 캔틸레버 형상의 지지 부재 사이의 공간의 높이를 크게 하면, 카세트의 대형화, 수납 효율의 저하 등을 초래하게 된다. 한편, 캔틸레버 형상의 지지 부재 자체의 굽힘 강도를 충분히 높이기 위해서 캔틸레버 형상의 지지 부재 자체의 높이를 높게 하면, 결과적으로는 같은 카세트의 대형화, 수납 효율의 저하 등을 초래하게 되므로, 높이를 높게 하지 않고 캔틸레버 형상의 지지 부재 자체의 굽힘 강도를 충분히 높이려고 하면, 고가인 특수소재, 예를 들면 CFRP라고 칭하는 카본파이버·레인포스·플라스틱에 의해 캔틸레버 형상의 지지 부재를 구성하지 않으면 안되고, 대폭적인 비용 상승으로 이어진다. 이러한 문제점을 해소하는 수단으로서, 특허문헌 1에 나타나 있는 바와 같이, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 양 단부 사이에서 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상면측에 치우친 위치에 와이어를 팽팽하게 설치하고, 이 와이어에 부여한 장력에 의해 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하는 것이 생각되었다.

일본 특개 2011-16564호 공보

그러나, 특허문헌 1에는, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 양 단부 사이에서 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상면측에 치우친 위치에 팽팽하게 설치한 와이어의 장력에 의해, 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하는 것이 가능하다고 하는 기본적 아이디어가 기재되어 있을 뿐이며, 실시를 위한 구체적인 구성까지는 개시되어 있지 않다.

본 발명은, 상기와 같은 노멀 카세트의 캔틸레버 형상의 지지 부재에 있어서의 문제점을, 캔틸레버 형상의 지지 부재에 편입한 와이어의 장력에 의해 해소할 수 있는 실용적이고 구체적인 판형상체 지지 장치를 제안하는 것으로, 본 발명에 따른 판형상체 지지 장치는, 후술하는 실시예와의 관계를 이해하기 쉽게 하기 위해서, 당해 실시예의 설명에서 사용한 참조 부호를 괄호를 붙여서 나타내면, 판형상체(G)를 수평상태로 지지하는 지지 공간(3)의 외측의 프레임(2)에 기초부가 부착되어 있고 선단이 상기 지지 공간(3) 안을 향해서 수평으로 뻗어 있는 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 기초부와 선단의 사이에 팽팽하게 설치된 와이어(12)를 구비하고, 이 와이어(12)의 장력에 의해, 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하도록 구성된 판형상체 지지 장치(9)에 있어서, 상기 와이어(12)는, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 지지 공간(3) 내에 있어서의 최상면보다도 위쪽에서 수평으로 팽팽하게 설치되어, 이 와이어(12)에 의해 판형상체(G)를 지지하는 구성으로 되어 있다.

상기의 본 발명에 따른 판형상체 지지 장치를 사용하여, 유리 기판을 적층 형상으로 수납 보관 반송하기 위한 노멀 카세트를 구성할 경우, 유리 기판의 사이즈에 따라 캔틸레버 형상의 지지 부재를 수평방향으로 소요 개수 병렬 형태로 가설함과 아울러, 이 복수개의 캔틸레버 형상의 지지 부재로 구성되는 판형상체 지지 공간을 상하 방향으로 적당한 간격으로 복수단 구성하면 되지만, 관련된 본 발명의 판형상체 지지 장치에 의하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상기 기초부와 선단의 사이에 팽팽하게 설치된 와이어의 장력에 의해, 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제할 수 있으므로, 특허문헌 1에 나타나 있는 종래 주지의 와이어 병용의 구성과 마찬가지로, 취급하는 유리 기판 등의 판형상체의 사이즈가 커져도, 그리고 캔틸레버 형상의 지지 부재를 CFRP 등의 고가인 특수소재로 구성하지 않더라도, 또한, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 지지 강도(아래쪽 방향의 굽힘 강도)를 증대시키기 위해서 캔틸레버 형상의 지지 부재의 높이를 높게 하지 않더라도, 판형상체(유리 기판)를 수평으로 안정되게 지지할 수 있다.

게다가, 본 발명의 구성에 의하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하기 위한 와이어에 의해 판형상체를 지지하는 구성으로 되어 있으므로, 특허문헌 1에 나타나 있는 바와 같이, 캔틸레버 형상의 지지 부재에 미끄럼 접촉시키지 않고 판형상체를 지지하기 위한 핀 등의 전용 지지구를 캔틸레버 형상의 지지 부재에 추가 장착할 필요가 없게 되어, 와이어와 핀 등의 전용 지지구의 양자를 필요로 하는 종래 구성과 비교하여, 부품수도 적어지고, 저렴하게 실시할 수 있다.

상기 본 발명을 실시할 경우, 구체적으로는, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 기초부는, 상기 프레임(2)을 구성하고 있는 상하 방향의 지주 부재(17)에 부착하고, 상기 와이어(12)의 한 단부는, 와이어 장력조정 수단(29)을 통하여 상기 지주 부재(17)에 부착하고, 상기 와이어(12)의 다른 단부는, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 부착된 와이어 걸림 부재(24)에 걸리게 할 수 있다. 상기 와이어의 한 단부를 직접 캔틸레버 형상의 지지 부재의 기초부에 결합할 경우에는, 당해 와이어의 한 단부에 부착되는 부재(예를 들면, 볼트)를 관통시켜서 너트로 고정하는데 필요한 강도가 있는 받침부재를 캔틸레버 형상의 지지 부재의 기초부에 부착하지 않으면 안 될 뿐만 아니라, 당해 받침부재가, 판형상체를 수평상태로 지지하는 지지 공간 내에 돌출하지 않도록 부착하지 않으면 안되므로, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 기초부의 구조가 복잡하게 되어, 비용 상승으로도 이어질 우려가 있지만, 상기의 본 발명의 구성에 의하면, 와이어의 한 단부가 와이어 장력조정 수단과 지주 부재를 통하여 캔틸레버 형상의 지지 부재의 기초부에 결합된 것으로 되어, 구조가 간단해져서 저렴하게 실시할 수 있다.

또, 상기 와이어 장력조정 수단(29)은, 상기 와이어(12)의 한 단부에 고착되어서 상기 지주 부재(17)에 형성된 관통구멍(31)을 관통하는 축간(30)과, 상기 관통구멍(31)으로부터 외측으로 돌출하는 상기 축간(30)의 나사형성축부(30b)에 나사결합하는 너트(32)로 구성하고, 상기 축간(30)에는, 상기 관통구멍(31)으로부터 내측으로 돌출하는 각축부(30a)를 형성하여 둘 수 있다. 이 구성에 의하면, 강도가 있는 지주 부재에 와이어의 한 단부를 견고하게 결합할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 관통구멍으로부터 내측으로 돌출하는 각축부(角軸部)를 공구로 파지하여 상기 축간(軸杆)을 회전 방지한 상태에서 상기 너트를 회전 조작하는 것에 의해, 간단하고 용이하게 와이어의 장력조정이 가능하게 된다. 또한, 상기 축간의 끝면으로부터 동심 형상으로 형성된 중심구멍에 상기 와이어의 선단을 삽입한 상태에서 당해 축간의 단부 일정 영역을 각축 형상으로 가압 성형하여, 상기 각축부의 형성과, 코킹에 의한 와이어 단부의 고착을 동시에 실행하게 할 수 있다. 또한, 각축부는, 사각형 단면의 것에 한정되는 것은 아니고, 적당한 공구로 회전 방지를 용이하게 할 수 있는 단면 비원형(예를 들면, 단면 타원형 등)의 것이면 된다.

상기 구성을 실시할 경우, 상기 지주 부재(17)의 적어도 내측면(상기 지지 공간(3)에 인접하는 쪽의 측면)에 당해 지주 부재(17)의 길이방향을 따라 오목 홈부(18a)를 형성하고, 이 오목 홈부(18a)의 바닥면에 상기 관통구멍(31)이 개구(開口)하도록 구성하거나, 또는, 상기 지주 부재(17)의 적어도 내측면(상기 지지 공간(3)에 인접하는 쪽의 측면)에 상기 각축부(30a)보다 충분히 큰 직경의 오목 구덩이부를 형성하고, 이 오목 구덩이부의 바닥면에 상기 관통구멍(31)이 개구하도록 구성하고, 상기 관통구멍(31)으로부터 내측으로 돌출하는 각축부(30a)가 상기 오목 홈부(18a) 또는 오목 구덩이부 내에 들어가도록 구성하면, 상기 지주 부재의 내측에 인접하는 상기 지지 공간 내에 상기 각축부를 돌출시키지 않아도 되고, 상기 지지 공간을 상기 각축부에 의해 좁히는 일이 없다.

또한, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 길이를, 그 선단에 부착된 상기 와이어 걸림 부재(24)가 상기 지지 공간(3)의 외측에 위치할 정도로 길게 하면, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단에 부착되는 상기 와이어 걸림 부재는, 상기 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(LS)보다도 필요한 만큼 높게 할 수 있다. 따라서, 그 와이어 걸림 부재(24)의 상단부에 상기 와이어(12)와 동심 형상으로 관통구멍(27)을 형성하고, 상기 와이어(12)의 다른 단부에 부착된 걸림 금구(28)를 상기 관통구멍(27)에 외측으로부터 내측을 향해서 삽입하여 걸리게 하는 것 같은 간단한 구성을 채용할 수 있다.

물론, 캔틸레버 형상의 지지 부재는, 그 선단이 상기 지지 공간 내에 위치하도록 길이를 짧게 할 경우에는, 상기 와이어의 선단에 설치되는 상기 와이어 걸림 부재를, 그 상단이 당해 와이어의 판형상체 지지 레벨보다 위쪽 방향으로 돌출하지 않도록 높이를 낮게 하지 않으면 안되므로, 다음과 같이 구성할 수 있다. 즉, 상기 와이어(12)의 다른 단부에 고착된 걸림 금구(28)는, 상기 와이어 걸림 부재(24)의 상기 와이어(12)가 있는 측과는 반대측에서 상기 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(SL)보다 하측에 부착되어 있고, 상기 와이어 걸림 부재(24)에는, 상기 걸림 금구(28)로부터 뻗어 있는 상기 와이어(12)를 판형상체 지지 레벨(SL)까지 안내하는 만곡 안내면(24f)이 형성되어 있으며, 상기 와이어 걸림 부재(24) 및 상기 걸림 금구(28)의 모두가 상기 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(SL)보다 위쪽으로 돌출하지 않도록 구성할 수 있다. 이 구성에 의하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 위쪽에 팽팽하게 설치된 와이어에 의해 판형상체를 지지하는 구성이면서, 종래 주지의 캔틸레버 형상의 지지 부재와 마찬가지로, 그 선단이 상기 지지 공간 내에 위치하도록 길이를 짧게 할 수도 있다.

상기 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 어떠한 단면 형상의 것이라도 좋지만, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 길이방향으로 연속하는 띠형상 수평판부와 당해 띠형상 수평판부로부터 아래쪽 방향으로 연속설치된 띠형상 수직판부를 구비한 구조로 할 수 있다. 이 구조는, 기본적으로는, 한 장의 폭넓은 띠형상 수평판부와, 그 하측에 단면 T자 형상으로 용접 등에 의해 부착된 한 장의 띠형상 수직판부로 구성한 단면 T자 형상의 캔틸레버 형상의 지지 부재로 실시할 수 있지만, 다른 실시예로는, A．좌우 한 쌍의 L자형 형재를 그 띠형상 수직판부끼리를 볼트 너트등으로 서로 연결해서 일체화하여 2겹의 띠형상 수직판부를 구비한 단면 T자 형상의 캔틸레버 형상의 지지 부재; B．상기 구성 A에 있어서의 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)를 각각의 띠형상 수직판부(15)끼리 간격을 두고 병렬하도록 배치시킨 캔틸레버 형상의 지지 부재; C．상기 구성 B에 있어서의 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(15) 아래측 변끼리를 수평 띠형상 저판부(34)로 연결해서 일체화한 립붙이 홈형 단면의 형재(35)로 이루어지는 캔틸레버 형상의 지지 부재; D．한 장의 폭넓은 띠형상 수평판부(36)의 좌우 양측변으로부터 아래쪽 방향으로 띠형상 수직판부(37a, 37b)를 절곡하여 연속설치한 단면 문형상의 형재(38)로 이루어지는 캔틸레버 형상의 지지 부재; 등을 생각할 수 있다.

특히, 구성 B~D의 캔틸레버 형상의 지지 부재라면, 지주 부재(17)에 대해서는, 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(15, 37a, 37b)가 당해 지주 부재(17)를 양측에서 끼우도록 부착하고, 상기 와이어 걸림 부재(24)는, 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(15, 37a, 37b) 사이에 끼워 고정할 수 있을 뿐만 아니라, 와이어를, 당해 와이어의 하측 둘레면을 양쪽 L자형 형재 사이에 느슨하게 끼워서, 측면도로 보았을 때 와이어 둘레면의 정상부(頂部)가 되는 판형상체 지지 레벨이, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상면인 띠형상 수평판부의 상면에 충분히 접근하도록, 팽팽하게 설치할 수 있다. 즉, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상측에 판형상체를 지지하는 와이어를 팽팽하게 설치하는 구성인데도 불구하고, 이 와이어를 포함하는 캔틸레버 형상의 지지 부재 전체의 높이를 궁극까지 낮추고, 상기와 같이 판형상체 지지 공간을 상하 방향으로 적층 형상으로 설치할 경우에 판형상체 지지 공간의 상하 방향의 간격을 좁혀서, 카세트의 소형화, 수납 효율의 향상에 기여할 수 있다.

또, 기본형인 단면 T자 형상의 캔틸레버 형상의 지지 부재나, 상기 구성 A~D에 나타내는 띠형상 수직판부를 구비한 캔틸레버 형상의 지지 부재로 실시할 경우는, 상기 띠형상 수직판부(15, 37a, 37b)에, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 길이방향 중앙 위치보다 선단에 가까운 측에서 하측 가장자리로부터 절결하여 형성된 오목부(16, 39, 40)를 마련해 둘 수 있다. 이 구성에 의하면, 띠형상 수직판부의 존재로 의해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 하방으로의 굽힘 강도를 충분히 높일 수 있는 것이지만, 띠형상 수평판부의 상면에 가까운 높이에 위치하는 상기 와이어의 장력으로 캔틸레버 형상의 지지 부재에 작용하는 압축 응력에 의해 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재에는 좌굴력이 작용하게 된다. 이 상황에서는, 캔틸레버 형상의 지지 부재에 위쪽 방향의 굽힘력을 확실하게 작용시킬 수 없고, 가령 위쪽 방향의 굽힘력을 캔틸레버 형상의 지지 부재에 작용시킬 수 있다고 하여도, 그 굽힘의 지점(支點) 위치가 확정되지 않고, 프레임(지주 부재 등)에 부착되어 있는 기초부를 지점으로 캔틸레버 형상의 지지 부재의 전체가 위쪽 방향으로 구부러질 가능성도 있다. 이러한 현상이 발생한 경우에는, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단의 위쪽으로의 변위량이 커지고, 캔틸레버 형상의 지지 부재 전체의 높이가 높게 되어, 판형상체 지지 공간을 상하 방향으로 적층 형상으로 설치할 경우에 판형상체 지지 공간의 상하 방향의 간격이 커지고, 나아가서는 카세트의 대형화, 수납 효율의 저하의 원인이 된다.

그런데, 상기의 오목부(16, 39, 40)를 형성한 구성에 의하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상기 오목부(凹入部)가 절결 형성된 장소가 위쪽 방향의 굽힘 강도가 가장 약한 장소가 되므로, 결과적으로, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단에 가까운 장소에 위쪽 방향의 굽힘 지점(支點)이 형성되어, 와이어의 장력에 의해 선단부에 위쪽 방향의 굽힘력이 작용하는 캔틸레버 형상의 지지 부재는, 상기 오목부가 있는 굽힘 지점으로부터 선단까지의 일정 영역이 위쪽 방향으로 구부러지게 된다. 이 때의 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단의 상승량은, 굽힘 지점으로부터 선단까지의 굽힘 응력을 받는 영역의 길이가 짧기 때문에, 캔틸레버 형상의 지지 부재의 전체가 위쪽 방향으로 구부러지는 경우와 비교해서 얼마 안되기 때문에, 앞서 설명한 바와 같이, 판형상체 지지 공간을 상하 방향으로 적층 형상으로 설치할 경우에 판형상체 지지 공간의 상하 방향의 간격을 좁혀서, 카세트의 소형화, 수납 효율의 향상에 기여할 수 있다.

또한, 서로 독립된 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)로 캔틸레버 형상의 지지 부재를 구성하는 경우에 상기 오목부(16)를 형성할 경우, 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(15)끼리를, 상기 오목부(16)의 상측의 위치에서 연결구(23)에 의해 서로 연결시킬 수 있다. 이 구성에 의하면, 상기 오목부의 존재에 의해 당해 장소에서의 각각의 L자형 형재의 비틀림 강도가 현저하게 저하하는 것이 원인으로, 와이어의 장력에 의해 캔틸레버 형상의 지지 부재에 압축력을 작용시켰을 때에, 각각의 L자형 형재가 상기 오목부의 위치에서 임의의 방향으로 좌굴되는 것을 방지하고, 캔틸레버 형상의 지지 부재를 상기 오목부의 위치를 지점(支點)으로 확실하게 위쪽 방향으로 구부려서 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재 전체의 지지 강도를 증대시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 판형상체 지지 장치를 이용하여 구성한 노멀 카세트의 정면도이다.
도 2는 상기 노멀 카세트의 천판을 제거한 상태에서의 평면도이다.
도 3은 도 1의 A-A선 단면도이다.
도 4는 본 발명의 판형상체 지지 장치의 제1 실시예를 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 판형상체 지지 장치의 기초부, 중간부, 선단부 각각의 조립전의 상태를 나타내는 확대 일부 횡단 평면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 판형상체 지지 장치의 기초부, 중간부, 선단부 각각의 확대 일부 종단 측면도이다.
도 7은 도 6의 B-B선 확대 단면도이다.
도 8은 도 6의 C-C선 확대 단면도이다.
도 9는 도 6의 D-D선 확대 단면도이다.
도 10A~10C는 도 4에 도시된 판형상체 지지 장치의 일부분의 변형예를 설명하는 측면도이다.
도 11은 본 발명의 판형상체 지지 장치의 제2 실시예를 나타내는 요부의 일부 종단 측면도이다.
도 12는 도 11의 E-E선 확대 단면도이다.
도 13은 도 11의 F-F선 확대 단면도이다.
도 14는 본 발명의 판형상체 지지 장치의 제3 실시예를 나타내는 요부의 일부 종단 측면도이다.
도 15는 도 14의 G-G선 확대 단면도이다.
도 16은 도 14의 H-H선 확대 단면도이다.
도 17은 본 발명의 판형상체 지지 장치의 제4 실시예를 나타내는 요부의 일부 종단 측면도이다.
도 18은 도 17의 정면도이다.
도 19는 도 17의 I-I선 단면도이다.

이하, 본 발명의 판형상체 지지 장치의 제1 실시예에 대해서 도 1~도 9에 기초로 하여 설명하면, 1은 본 발명의 판형상체 지지 장치를 이용하여 구성한 노멀 카세트이며, 도 1과 도 2에 가상선으로 나타낸 판형상체(유리 기판)(G)보다 한층 큰 횡단면 사각형의 기둥 형상 공간을 둘러싸는 직사각형틀 형상의 프레임(2)과, 이 직사각형틀 형상의 프레임(2)의 내부의 기둥 형상 공간을, 도 1 및 도 3에 나타나 있는 바와 같이, 판형상체(G)를 1장씩 수납 보관하는 판형상체 지지 공간(3)에 상하 방향으로 분할하는 지지 수단(4)이 상하 방향으로 동일한 간격을 두고 설치되어 있다.

직사각형틀 형상의 프레임(2)은, 직사각형 형상의 기반부(5), 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b), 배면측 벽부(7), 및 천정 벽부(8)로 구성되어 있고, 판형상체(G)를 수평으로 출납하는 정면측은 개방되어 있다. 또한, 천정 벽부(8)는 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)와 배면측 벽부(7)의 상단, 및 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)의 전측 상단끼리를 연결하는 전측 상단 연결틀재(8a)에 의해 4변이 지지되는 직사각형 천판(8b)으로 구성되어 있지만, 이 실시예에서는, 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)와 배면측 벽부(7)에는, 판재는 첩부(貼付)되어 있지 않다. 또한, 판형상체 지지 공간(3)의 전측 변은, 도 2에 도시된 평면도로 보았을 때, 약간 전측 상단 연결틀재(8a)의 하측으로 들어가 있다.

각각의 지지 수단(4)은, 배면측 벽부(7)에 부착된 좌우 폭방향 복수(도시된 예에서는 3개)의 본 발명에 따른 판형상체 지지 장치(9)와, 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)에 부착된 전후 깊이방향 복수의 판형상체 보조 지지구(10)로 구성되어 있다. 각각의 판형상체 지지 장치(9)는, 배면측 벽부(7)에 기초부가 부착되어 있고 선단이 상기 지지 공간 안을 향해서 수평으로 뻗어 있는 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 기초부와 선단의 사이에 팽팽하게 설치된 와이어(12)를 구비하고 있다. 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 병렬하는 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)로 구성되어 있다. 양쪽 L자형 형재(13a, 13b)는 좌우 대칭형이며, 각각의 L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수평판부(14)는, 각각의 띠형상 수직판부(15)의 상측 변으로부터 서로 반대 방향 바깥쪽으로 절곡하여 연속설치되어 있지만, 이 띠형상 수직판부(15)로부터 뻗어나온 폭은, 배면측 벽부(7)에 부착되는 기초부로부터 선단에 이를수록 좁혀져 있다. 또한, 띠형상 수직판부(15)는, 전체 길이에 걸쳐서 동일 높이의 것이라도 좋고, 기초부로부터 선단에 이를수록 띠형상 수평판부(14)로부터 하측 변까지의 높이가 점점 감소하는 끝으로 갈수록 가늘어지는 것이라도 좋지만, 이 실시예의 것은, 도 4에도 나타나 있는 바와 같이, 전체 길이에 걸쳐서 동일 높이의 띠형상 수직판부(15)의 길이 방향의 중앙 위치보다 선단에 가까운 측에, 하측 가장자리로부터 원호 형태로 절결 형성된 오목부(16)가 형성되어 있다.

배면측 벽부(7)에는, 각각의 판형상체 지지 장치(9)에 대응하는 위치에 상하 방향의 지주 부재(17)가 설치되어 있다. 각각의 지주 부재(17)는, 도 5 및 도 9에 나타나 있는 바와 같이, 전후 양 측면의 좌우 폭방향의 중앙 위치에, 전체 길이에 걸쳐서 연속하는 오목홈부(18a, 18b)가 형성되어 있다. 또한, 지주 부재(17)의 좌우 양 측면에는, 각각의 판형상체 지지 장치(9)의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 부착 높이에 대응시켜서, L자형 형재 위치결정 오목부(19a, 19b)가 형성되어 있다. 따라서, 각각의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)의 기초부의 띠형상 수직판부(15)를 상기 L자형 형재 위치결정 오목부(19a, 19b)에 끼워맞춤시키면, 양쪽 L자형 형재(13a, 13b)의 높이와 방향이 규제되므로, 이 상태에서 양쪽 L자형 형재(13a, 13b)의 기초부의 띠형상 수직판부(15)를 볼트(20)에 의해 지주 부재(17)의 좌우 양측에 부착하고 있다. 이렇게 하여 기초부가 지주 부재(17)에 부착된 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)는, 도 5, 도 6, 및 도 8에 나타나 있는 바와 같이, 양쪽 띠형상 수직판부(15)의 오목부(16)와 띠형상 수평판부(14)의 사이의 상하 방향의 폭(높이)이 가장 작아진 장소에서, 통형상 스페이서(21)와 이 통형상 스페이서(21)를 관통하는 볼트(22a) 및 너트(22b)로 이루어지는 연결구(23)에 의해, 서로 결합되어 일체화되어 있다.

캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에는, 와이어 걸림 부재(24)가 부착되어 있다. 이 와이어 걸림 부재(24)는, 도 5~도 7에 나타나 있는 바와 같이, 본체(24a)의 상단 좌우 양측에 돌출부(24b, 24c)가 돌출 설치된 것으로, 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15) 사이에 본체(24a)를 끼움과 동시에 돌출부(24b, 24c)를 띠형상 수평판부(14)의 상면에 맞닿게 한 상태에서, 양쪽 띠형상 수직판부(15)와 본체(24a)를 좌우 방향으로 관통하는 1개의 볼트(25)와 너트(26)에 의해, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 부착된 것으로, 이 와이어 걸림 부재(24)에 의해 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)의 선단부도 서로 연결되어 일체화되어서, 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15)는, 그 전체 길이에 걸쳐서 서로 평행하게 병렬하게 된다.

상기와 같이, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 부착된 와이어 걸림 부재(24)는, 1개의 볼트(25)와 너트(26)로 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 부착되어 있는데도 불구하고, 돌출부(24b, 24c)가 좌우 양측의 띠형상 수평판부(14)의 상면에 맞닿아 있으므로, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)에 대한 와이어 걸림 부재(24)의 위치 및 자세가 결정되게 된다. 그러나, 이 와이어 걸림 부재(24)의 좌우 폭방향 중앙부의, 띠형상 수평판부(14)의 상면보다 약간 높은 위치에, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 길이방향과 평행하게 와이어 부착용 관통구멍(27)이 형성되어 있다.

도 5에 나타나 있는 바와 같이, 와이어(12)의 한 단부에는, 와이어 걸림 부재(24)의 관통구멍(27)에 외측(캔틸레버 형상의 지지 부재(11)가 있는 측과는 반대측)으로부터 삽입가능하고, 당해 와이어 걸림 부재(24)의 외측면에 맞닿는 머리부(28a)를 구비한 축 형상의 걸림 금구(28)가 고착되어 있다. 이 걸림 금구(28)는, 그 안쪽 끝으로부터 동심 형상으로 와이어 삽입 구멍이 형성되어 있고, 이 와이어 삽입 구멍에 와이어(12)의 한 단부를 끼워넣은 상태에서 각기둥 형상으로 코킹하는 것에 의해, 와이어(12)와 걸림 금구(28)가 서로 고착되어 일체화되어 있다. 와이어(12)의 다른 단부에는, 와이어 장력조정 수단(29)을 구성하는 축간(軸杆)(30)이 당해 와이어(12)와 동심 형상으로 고착되어 일체화되어 있다. 이 축간(30)은, 그 한 단부로부터 동심 형상으로 와이어 삽입 구멍이 형성되어 있고, 이 와이어 삽입 구멍에 와이어(12)의 다른 단부를 끼워넣은 상태에서 각기둥 형상으로 코킹하는 것에 의해, 와이어(12)와 고착되어 일체화된 각축부(角軸部)(30a)가 안쪽 끝측에 형성된 것으로, 축간(30)의 각축부(30a)로부터 바깥쪽 끝까지의 사이의 부분이 나사형성축부(30b)로 형성되어 있다. 상기 코킹에 의해 형성된 각축부(30a)는, 사각기둥 형상으로 나타내져 있지만, 축간(30)을 회전 방지할 때에 공구로 용이하고 확실하게 붙잡을 수 있는 단면 형상이면 되고, 직경방향 양측에서 코킹 형성되는 타원형 단면이라도 된다.

와이어 장력조정 수단(29)은, 축간(30)과, 지주 부재(17)의 전후의 오목홈부(18a, 18b) 사이를 관통하도록 당해 지주 부재(17)에 형성된 관통구멍(31)과, 축간(30)의 나사형성축부(30b)에 나사결합하는 너트(32)로 구성되어 있다. 상기 관통구멍(31)에 전측(내측)의 오목홈부(18a)측으로부터 축간(30)을 삽입시켜, 후측(외측)의 오목홈부(18b) 안으로 돌출하는 축간(30)의 나사형성축부(30b)에 너트(32)를 나사결합시켜서, 와이어(12)를 긴장시켰을 때, 도 2, 도 4, 및 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 당해 와이어(12)가 평면도로 보았을 때의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 양쪽 L자형 형재(13a, 13b) 사이의 중앙 위치에서 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 길이방향과 평행하게 위치함과 아울러, 당해 와이어(12)가 측면도로 보았을 때의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 띠형상 수평판부(14)의 상면보다 약간 높은 위치에서 당해 띠형상 수평판부(14)의 상면과 평행하게 뻗어 있도록 구성하고 있다. 또한, 이 때 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 축간(30)의 각축부(30a)의 대부분이 지주 부재(17)의 전측(내측)의 오목홈부(18a) 안으로 돌출되어 있지만, 오목홈부(18a) 안으로부터 지주 부재(17)의 외측으로 돌출하지 않도록 구성하고 있다. 또한, 와이어(12)에 작용하는 장력을 조정하기 위해서 너트(32)를 정반대 회전 조작할 때에는, 지주 부재(17)의 상기 오목홈부(18a) 안으로 돌출되어 있는 축간(30)의 각축부(30a)를 적당한 공구로 붙잡아서, 축간(30)이 함께 회전하는 것을 저지시켜 둘 수 있다.

상기 판형상체 지지 장치(9)의 구성에서는, 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 측면도로 보았을 때, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 부착되어 있는 와이어 걸림 부재(24)의 상단이나 당해 와이어 걸림 부재(24)의 내측으로 돌출하는 걸림 금구(28)가, 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(SL)보다 조금 위쪽으로 돌출하게 된다. 이 때문에, 이 와이어 걸림 부재(24)나 걸림 금구(28)가 직사각형틀 형상의 프레임(2)의 내측의 판형상체 지지 공간(3) 안에 존재하는 것은 피해야 한다. 따라서, 도 2에 나타나 있는 바와 같이, 평면도로 보았을 때, 각각의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단 부분이 직사각형틀 형상의 프레임(2)의 내측의 판형상체 지지 공간(3) 안으로 들어가지 않도록, 평면도로 보았을 때의 전측 상단 연결틀재(8a)의 하측으로 들어가게 하고 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 판형상체 보조 지지구(10)는, 좌우 방향으로 복수의 동일 높이에 위치하는 판형상체 지지 장치(9)에 의해 지지되는 판형상체(G)의 좌우 양측 변을 지지하는 것으로, 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)의 내측(판형상체 지지 공간(3)이 있는 측)에 부설된 상하 방향의 지지 부재(33)에 부착되어서 수평으로 돌출하는, 선단에 판형상체 지지용 머리부를 구비한 핀 형상의 것이다. 물론, 판형상체(G)의 좌우 양측 변 근처도 판형상체 지지 장치(9)로 지지할 수 있도록, 동일 높이에 있는 판형상체 지지 장치(9)의 안, 좌우 방향 양단에 위치하는 판형상체 지지 장치(9)를 좌우 양쪽 가로측 벽부(6a, 6b)에 가능한 한 접근시키도록 배치하여, 상기 판형상체 보조 지지구(10)를 없애는 것도 가능하다. 이 경우, 필요에 따라 동일 높이에 있는 판형상체 지지 장치(9)의 수를 늘릴 수도 있다.

이상과 같이 구성된 노멀 카세트(1)는, 종래에 알려진 바와 같이, 판형상체(G)의 보관이나 반송에 이용되는 것으로, 판형상체(G)를 이 노멀 카세트(1)에 출납하기 위해서 반입 반출 장치(로봇)가 사용된다. 이 반입 반출 장치에 의해 판형상체(G)를 노멀 카세트(1) 안에 수납할 때는, 판형상체(G)를 지지한 판형상체 지지 암(로봇 암)을, 판형상체(G)를 지지하고자 하는 높이에 있는 판형상체 지지 공간(3) 안에, 지지하는 판형상체(G)나 판형상체 지지 암이 상하로 이웃하는 판형상체 지지 장치(9) 및 판형상체 보조 지지구(10)에 닿지 않는 높이로, 노멀 카세트(1)가 개방되어 있는 정면측으로부터 수평으로 반입시킨다. 이 때 판형상체(G)를 지지하는 판형상체 지지 암은, 좌우 수평방향으로 이웃하는 판형상체 지지 장치(9) 사이 또는 판형상체 지지 장치(9)와 판형상체 보조 지지구(10)의 사이를 수평으로 진출 이동한다. 지지하는 판형상체(G)가 소정 위치에 도달하면, 판형상체 지지 암의 진출 이동을 정지시킴과 동시에 당해 판형상체 지지 암을 강하시켜서, 지지하고 있던 판형상체(G)를 판형상체 지지 암 상에서 원하는 높이에 있는 판형상체 지지 공간(3)의 바로 아래의 판형상체 지지 장치(9)와 판형상체 보조 지지구(10)에 옮겨 싣고, 그 후, 판형상체 지지 암을 수평으로 퇴출 이동시키면 된다. 노멀 카세트(1) 안에 수납되어 있는 판형상체(G)를 꺼낼 때는, 상기의 반입 작업시와는 반대 순서로 반입 반출 장치의 판형상체 지지 암을 동작시키면 된다.

상기와 같이, 노멀 카세트(1)의 임의의 높이에 있는 판형상체 지지 공간(3) 안에 수납된 판형상체(G)는, 판형상체 보조 지지구(10)에 의해 지지되는 좌우 양측변 영역을 제외한 대부분이, 좌우 수평방향으로 병렬하는 복수의 판형상체 지지 장치(9)에 의해 지지되게 되지만, 이 때 판형상체(G)는, 이들 판형상체 지지 장치(9)의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)(좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b))에는 닿지 않고 와이어(12)만에 의해 지지된다. 각각의 판형상체 지지 장치(9)의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 와이어(12)를 통하여 지지하는 판형상체(G)의 중량을 받게 되어, 선단 처짐으로 경사진 방향으로 휨 변형이 발생하는 곳이지만, 이 때의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 아래쪽으로의 굽힘 강도를 와이어(12)의 장력에 의해 증대시켜서, 판형상체(G)의 중량에 의해 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)가 선단 처짐으로 경사진 방향으로 휨 변형되는 것을 억제할 수 있다.

즉, 와이어 장력조정 수단(29)의 너트(32)를 축간(30)의 나사형성축부(30b)에 대하여 전진하도록 돌려서, 축간(30)을 지주 부재(17)에 대하여 와이어(12)를 인장시키는 방향으로 이동시켜서 와이어(12)의 장력을 증대시키면, 이 와이어(12)의 바로 아래에 위치하는 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)에는 그 길이방향으로 압축 응력이 작용한다. 이 압축 응력은, 와이어(12)가 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 위쪽에 위치하고 있으므로 위쪽 방향의 분력을 수반하고, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)가 선단이 올라가게 구부러지는 굽힘 응력을 받게 된다. 이 때, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(15)에 오목부(16)가 형성되어 있지 않을 때는, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 위쪽 방향의 굽힘 강도가 전체 길이에 걸쳐서 거의 균일하기 때문에, 와이어(12)의 장력에 의해 받는 상기 위쪽 방향의 굽힘 응력에 의해, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 거의 전체가 지주 부재(17)에 부착되어 있는 기초부를 지점(支點)으로 위쪽 방향으로 경사지게 된다. 그러나, 상기 오목부(16)가 형성되어 있는 것으로 인해, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 위쪽 방향의 굽힘 강도는, 상기 오목부(16)의 위치가 최저로 되어 있으므로, 와이어(12)의 장력에 의해 받는 상기 위쪽 방향의 굽힘 응력에 의해, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 오목부(16)와 선단까지의 영역이 당해 오목부(16)의 위치를 지점으로 위쪽 방향으로 구부러지게 된다.

상기 작용에 의해 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 와이어(12)의 장력으로 선단 근방의 일정 영역이 위쪽 방향으로 구부러지도록 변형되지만, 이 변형량을, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단이 수 밀리미터 정도 위쪽으로 변위하는 정도로 억제하면서, 지지하는 판형상체(G)의 중량으로 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 전체가 선단 처짐으로 휨 변형되는 것을 방지할 수 있는 굽힘 강도를 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)에 부여할 수 있다. 또한, 엄밀히 말하면, 와이어(12)에 필요한 장력을 가하기 전의 상태에서 당해 와이어(12)가 수평이 되도록 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)가 지주 부재(17)에 캔틸레버 형상으로 부착되어 있다고 하면, 상기한 바와 같이, 와이어(12)에 필요한 장력을 가하여, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 아래쪽 방향으로의 굽힘 강도를 증대시켰을 때, 당해 와이어(12)는 전단이 약간 올라가게 경사지게 되지만, 그 경사 각도는 미소하기 때문에, 판형상체(G)의 지지에 영향은 없다. 그러나, 와이어(12)에 필요한 장력을 가하여, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 아래쪽 방향으로의 굽힘 강도를 증대시켰을 때, 당해 와이어(12)가 엄밀하게 수평이 되도록, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)를 선단이 약간 내려가게 경사지게 하여 지주 부재(17)에 부착하는 것도 가능하다.

이상의 설명으로부터 분명한 것처럼, 상기 구성의 판형상체 지지 장치(9)를 구비한 노멀 카세트(1)에 의하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와 와이어(12)로 이루어지는 판형상체 지지 장치(9)의 전체를 대단히 얇게 구성하면서, 판형상체(G)를 지지시켰을 때에 판형상체 지지 장치(9)가 선단 처짐으로 휘는 것도 확실하게 억제할 수 있으므로, 판형상체 지지 장치(9)에 의해 형성되는 각 단의 판형상체 지지 공간(3)의 상하 방향의 두께를 충분히 얇게 하여, 전체 높이가 제약되는 노멀 카세트(1)의 수납 효율을 높일 수 있는 것이다. 또한, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상기 오목부(16)가 형성되어 있는 장소의 좌굴 강도가 약해져 있으므로, 와이어(12)의 장력으로 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)에 압축 응력이 작용했을 때, L자형 형재(13a, 13b)의 오목부(16)가 형성된 장소가 좌우 가로방향으로 좌굴 변형되는 것도 생각할 수 있지만, L자형 형재(13a, 13b)의 오목부(16)가 형성된 장소의 띠형상 수직판부(15)끼리가 연결구(23)에 의해 서로 좌우 가로방향으로는 상대이동할 수 없는 상태로 결합되어 있으므로, L자형 형재(13a, 13b)의 오목부(16)가 형성된 장소가 좌우 가로방향으로 좌굴 변형되는 것을 방지하면서, 원하는 대로 위쪽으로 휨 변형시킬 수 있는 것이다.

L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15)에 형성되는 오목부(16)는, 도 4에 나타나 있는 바와 같이, 곡률 반경이 대단히 큰 오목부(16)로서, 이 오목부가 형성된 길이방향의 영역(L1)을 크게 하고 있지만, 도 10A에 나타나 있는 바와 같이, 곡률 반경을 작게 해서 오목부(16)의 길이방향의 영역(L2)을 작게 할 수도 있다. 오목부(16)의 형상은, 원호 형상에 한하지 않고, 도립 U자 형상이나, 정상부를 원호 형상으로 한 산 형상의 것이라도 된다. 또한, 도 10B 및 도 10C에 나타나 있는 바와 같이, L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15)의, 선단으로부터 일정 영역(L3, L4) 아래측 변을 선단이 올라가게 경사시킬 수도 있다. 오목부(16)를 대신하여 이러한 영역(L3, L4)을 형성하는 경우는, 오목부(16)를 형성한 경우와 같이, 와이어(12)의 장력으로 위쪽 방향의 휨 변형을 받을 때의 지점 위치는 결정하기 어렵지만, 역시 압축 응력으로 좌굴 변형할 가능성은 생각할 수 있으므로, 도시되어 있는 바와 같이, 상기 영역(L3, L4) 안의 적당한 장소에서, L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15)끼리를 상기 연결구(23)에 의해 서로 결합시켜 두는 것이 바람직하다.

도 11~도 13에 나타나 있는 바와 같이, 판형상체 지지 장치(9)의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)를, 앞의 실시예에 있어서의 좌우 한 쌍의 L자형 형재(13a, 13b)의 띠형상 수직판부(15) 아래측 변끼리를 수평 띠형상 저판부(34)에 의해 서로 연결하여 일체화한 것 같은, 일체형의 형재(35)로 구성할 수도 있다. 이 경우의 형재(35)의 후단부에서는, 양쪽 띠형상 수직판부(15) 사이에 지주 부재(17)가 끼워맞춤될 수 있도록, 수평 띠형상 저판부(34)를 잘라 두면, 지주 부재(17)에 대한 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)(형재(35))의 부착을, 앞의 실시예와 동일하게 할 수 있다. 또한, 도면에 나타나 있는 바와 같이, 와이어 걸림 부재(24)가 부착되는 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)(형재(35))의 선단부에서도, 수평 저판부(34)를 잘라 두는 것에 의해, 양쪽 띠형상 수직판부(15) 사이에 와이어 걸림 부재(24)를 끼워 고정시킬 수 있지만, 물론, 와이어 걸림 부재(24)의 본체(24a)를, 양쪽 띠형상 수직판부(15)와 수평 띠형상 저판부(34)에 의해 둘러싸인 바닥이 있는 공간 내에 끼워맞춤시킬 수 있는 형상으로 구성하고, 당해 바닥이 있는 공간 내에 끼워맞춤된 본체(24a)를 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)(형재(35))에 고정할 수도 있다.

또, 도 14~도 16에 나타나 있는 바와 같이, 판형상체 지지 장치(9)의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)를, 수평 띠형상 판부(36)의 좌우 양측 변으로부터 직각 아래쪽 방향으로 띠형상 수직판부(37a, 37b)를 절곡하여 연속설치한 단면이 폭넓은 문 형상의 1개의 형재(38)로 구성할 수도 있다. 이 경우, 형재(38)의 가로폭(수평 띠형상 판부(36)의 가로폭)을 전체 길이에 걸쳐서 동일하게 하면, 용이하고 저렴하게 제조할 수 있지만, 이 형재(38)를 1개씩 프레스 가공으로 제조하는 것이라면, 선단측 부근 폭이 좁아지도록 성형하는 것도 가능하다. 이 실시예에서는, 좌우 수평방향의 굽힘 강도를 높이기 위해서 형재(38)의 가로폭(적어도 지주 부재(17)에 부착되는 단부의 가로폭)이 넓어지므로, 가로폭이 넓은 지주 부재(17)를 사용하거나 또는, 별도의 부착 부재를 병용해서 지주 부재(17)에 부착하면 된다. 또한, 선단의 와이어 걸림 부재(24)는, 형재(38)에 밑으로부터 끼워맞춤시킬 수 있는 본체(24a)의 상단 중앙에, 와이어(12)의 걸림 금구(28)를 삽입해서 부착하는 관통구멍(27)을 구비한 돌출부(24d)가 돌출설치된 구조로 하고, 형재(38)의 수평 띠형상 판부(36)의 선단에는, 상기 돌출부(24d)를 끼워맞춤시키는 절결부(36a)를 형성하고, 이 절결부(36a)에 돌출부(24d)를 끼워맞춤시킨 상태에서, 와이어 걸림 부재(24)의 본체(24a)를 형재(38)의 띠형상 수직판부(37a, 37b) 사이에 볼트(25)와 너트(26)로 부착할 수 있다.

도 11~도 13에 나타낸 실시예의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)를 구성하는 형재(35)나, 도 14~도 16에 나타낸 실시예의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)를 구성하는 형재(38)에도, 앞의 실시예에 나타낸 오목부(16)에 상당하는 오목부(39, 40)를 형성할 수 있다. 형재(35)에 형성되는 오목부(39)는, 수평 저판부(34)로부터 좌우 양쪽 띠형상 수직판부(15)에 걸쳐 연속하도록 절결하여 형성되지만, 형재(38)에 형성되는 오목부(40)는, 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부(37a, 37b) 각각에 절결하여 형성된다. 이들의 실시예에 있어서의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)는, 일체형의 1개의 형재(35, 38)로 구성되어 있고, 앞의 실시예와 같이 2개의 L자형 형재(13a, 13b)로 구성되어 있지 않으므로, 오목부(39, 40)의 위치에서 좌우 양측의 띠형상 수직판부(15)끼리 또는 띠형상 수직판부(37a, 37b)끼리를 연결구(23)에 의해 연결하여 일체화하는 것을 생략하여도 된다.

또한, 도 17~도 19에 나타나 있는 바와 같이, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 와이어(12)를 걸리게 하는 와이어 걸림 부재(24)가, 당해 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(SL)보다 위쪽으로 돌출하지 않도록 구성할 수도 있다. 즉, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단에 볼트(25)와 너트(26)로 부착되는 와이어 걸림 부재(24)의 본체(24a)로부터, 와이어(12)가 있는 측과는 반대인 외측으로 뻗어 나가는 팽출부(24e)를 형성하고, 와이어(12)의 움직일 수 있는 단부(遊端)에 고착된 걸림 금구(28)를 삽입시키는 상기 관통구멍(27)은, 상기 팽출부(24e)의 아래쪽 방향으로 경사진 후측면으로부터 비스듬하게 위쪽 전방으로 경사지게 형성하여, 이 관통구멍(27)의 상단 개구로부터 와이어 걸림 부재(24)의 상단에 걸쳐 와이어(12)를 판형상체 지지 레벨(SL)까지 안내하는 홈 형상의 만곡 안내면(24f)이 형성되어 있다.

이 구성에 의하면, 상기 관통구멍(27)의 아래쪽 방향으로 경사진 후측 개구로부터 와이어(12)를, 걸림 금구(28)가 있는 움직일 수 있는 단부와는 반대측의 기단(基端)측에서 삽입하고, 움직일 수 있는 단부의 걸림 금구(28)를 상기 관통구멍(27) 안에 비스듬하게 위쪽 방향으로 삽입한다. 그리고, 와이어 걸림 부재(24)의 상측으로 끌어내진 와이어(12)의 기단은, 와이어 장력조정 수단(29)을 통하여 소정의 지주 부재(17)에 부착한다. 걸린 상태에서 와이어 장력조정 수단(29)에 의해 당해 와이어(12)를 긴장시키면, 걸림 금구(28)의 머리부(28a)가 와이어 걸림 부재(24)의 팽출부(24e)에 있어서의 아래쪽 방향으로 경사진 후측면에 맞닿음과 동시에, 이 걸림 금구(28)로부터 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단 상측으로 인도되는 와이어(12)가, 와이어 걸림 부재(24)의 상단에 형성되어 있는 홈 형상의 만곡 안내면(24f)에 끼워맞춤되고, 이 만곡 안내면(24f)의 끝으로부터 지주 부재(17)까지의 와이어(12)가, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 상측의 소정의 판형상체 지지 레벨(SL)에서 팽팽하게 설치된다. 따라서, 앞의 실시예에 나타낸 구성과 같이, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단부에 부착된 와이어 걸림 부재(24)의 상단부가, 이 와이어(12)의 판형상체 지지 레벨(SL)보다 위쪽으로 돌출하는 것 같은 일은 없으므로, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 선단부를 판형상체 지지 공간(3) 안에 위치시키는 것이 가능하게 된다. 바꾸어 말하면, 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)의 전체 길이를, 지지하는 판형상체(G)의 전후 방향의 폭보다도 짧게 하는 것도 가능하게 된다.

도 17~도 19에 나타낸 와이어 걸림 부재(24)의 실시예는, 도 1~도 9에 나타낸 실시예에 있어서의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와 조합시켜서 예시하고 있지만, 도 11~도 13에 나타낸 실시예에 있어서의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)나, 도 14~도 16에 나타낸 실시예에 있어서의 캔틸레버 형상의 지지 부재(11)와 조합시켜서 실시할 수도 있다.

본 발명의 판형상체 지지 장치는, 대형 유리 기판을 적층 형상으로 수납 보관 반송하기 위한 카세트 내에 설치되는 유리 기판 지지 수단 등에 활용할 수 있다.

1 노멀 카세트
2 직사각형틀 형상의 프레임
3 판형상체 지지 공간
4 지지 수단
5 직사각형 형상의 기반부
6a, 6b 좌우 양쪽 가로측 벽부
7 배면측 벽부
8 천정 벽부
8a 전측 상단 연결틀재
8b 직사각형 천판
9 판형상체 지지 장치
10 판형상체 보조 지지구
11 캔틸레버 형상의 지지 부재
12 와이어
13a, 13b L자형 형재
14, 36 띠형상 수평판부
15, 37a, 37b 띠형상 수직판부
16, 39, 40 오목부
17 지주 부재
18a, 18b 오목홈부
19a, 19b L자형 형재 위치결정 오목부
20, 22a, 25 볼트
21 통형상 스페이서
22b, 26, 32 너트
23 연결구
24 와이어 걸림 부재
24a 본체
24b, 24c, 4d 돌출부
24e 팽출부 너트
27, 31 관통구멍
28 걸림 금구
28a 머리부
29 와이어 장력조정 수단
30 축간
30a 각축부
30b 나사형성축부
33 지지 부재
34 수평 띠형상 저판부
35, 38 형재
G 판형상체
SL 판형상체 지지 레벨

Claims

판형상체를 수평상태로 지지하는 지지 공간의 외측의 프레임에 기초부가 부착되어 있고 선단이 상기 지지 공간 안을 향해서 수평으로 뻗어 있는 캔틸레버 형상의 지지 부재와, 이 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상기 기초부와 선단의 사이에 팽팽하게 설치된 와이어를 구비하고, 이 와이어의 장력에 의해, 당해 캔틸레버 형상의 지지 부재의 자유단이 아래로 처지는 휨 변형을 억제하도록 구성된 판형상체 지지 장치에 있어서,
상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 기초부는 상기 프레임을 구성하고 있는 상하 방향의 지주 부재에 부착되어 있고, 상기 와이어의 한 단부는 와이어 장력조정 수단을 통하여 상기 지주 부재의, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상면보다 높은 위치에 부착되어 있고, 상기 와이어의 다른 단부는 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 선단에 상측으로 돌출하도록 부착된 와이어 걸림 부재의, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상면보다 높은 위치에 걸려 있고, 상기 와이어는 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재의 상기 지지 공간 내에 있어서의 상면보다도 위쪽에서 수평으로 팽팽하게 설치되어, 이 와이어에 의해 판형상체를 지지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제1항에 있어서, 상기 와이어 장력조정 수단은, 상기 와이어의 한 단부에 고착되어 상기 지주 부재에 형성된 관통구멍을 관통하는 축간과, 상기 관통구멍으로부터 외측으로 돌출하는 상기 축간의 나사형성축부에 나사결합하는 너트로 이루어지고, 상기 축간에는 상기 관통구멍으로부터 내측으로 돌출하는 각축부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재는 그 선단에 부착된 상기 와이어 걸림 부재가 상기 지지 공간의 외측에 위치하는 길이를 가지고 있고, 상기 와이어 걸림 부재의 상단부에는 상기 와이어와 동심 형상으로 관통구멍이 형성되어 있고, 상기 와이어의 움직일 수 있는 단부에 부착된 걸림 금구가 상기 관통구멍에 외측으로부터 내측을 향해서 삽입되어 걸려있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 와이어의 다른 단부에 고착된 걸림 금구는 상기 와이어 걸림 부재의 상기 와이어가 있는 측과는 반대측에서 상기 와이어의 판형상체 지지 레벨보다 하측에 부착되어 있고, 상기 와이어 걸림 부재에는 상기 걸림 금구로부터 뻗어 있는 상기 와이어를 판형상체 지지 레벨까지 안내하는 만곡 안내면이 형성되어 있으며, 상기 와이어 걸림 부재 및 상기 걸림 금구 모두가 상기 와이어의 판형상체 지지 레벨보다 위쪽으로 돌출하지 않도록 구성된 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제1항에 있어서, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재는 이 캔틸레버 형상의 지지 부재의 길이방향으로 연속하는 띠형상 수평판부와 당해 띠형상 수평판부로부터 아래쪽 방향으로 연속설치된 띠형상 수직판부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제1항에 있어서, 상기 캔틸레버 형상의 지지 부재는 이 캔틸레버 형상의 지지 부재의 길이방향으로 연속하는 띠형상 수평판부와 당해 띠형상 수평판부로부터 아래쪽 방향으로 연속설치된 띠형상 수직판부를 구비하고, 상기 띠형상 수직판부는 좌우 한 쌍 설치되어 있고, 상기 띠형상 수평판부는 상기 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부의 상측 변으로부터 서로 반대 방향 바깥쪽으로 뻗어 있도록 좌우 한 쌍 설치되어 있고, 상기 지주 부재에 대해서는, 상기 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부가 당해 지주 부재를 양측에서 끼우도록 부착되어 있고, 상기 와이어 걸림 부재는 상기 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부 사이에 끼여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 띠형상 수직판부에는 이 캔틸레버 형상의 지지 부재의 길이방향 중앙 위치보다 선단에 가까운 위치에서 하측이 개방된 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
제6항에 있어서, 상기 좌우 한 쌍의 띠형상 수직판부와 상기 좌우 한 쌍의 띠형상 수평판부는 2개의 독립된 L자형 형재로 구성되어 있고, 양쪽 L자형 형재의 띠형상 수직판부에는 이 캔틸레버 형상의 지지 부재의 길이방향 중앙 위치보다 선단에 가까운 위치에서 하측이 개방된 오목부가 형성되어 있고, 양쪽 L자형 형재의 띠형상 수직판부는 상기 오목부의 상측 위치에서 연결구에 의해 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 판형상체 지지 장치.
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