KR102442188B1 - 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 기판, 상기 기판 상의 디스플레이부, 상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층 및 상기 박막 봉지층 상의 스트레스 완화층을 포함하고, 상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지는 유기 발광 표시 장치를 개시한다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 {Organic luminescence emitting display device and the method of manufacturing the same}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
유기발광표시장치는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 그리고 이들 사이에 형성되어 있는 유기발광층을 포함하는 유기발광소자를 구비하며, 정공 주입 전극에서 주입되는 정공과 전자 주입 전극에서 주입되는 전자가 유기발광층에서 결합하여 생성된 엑시톤(exiton)이 여기 상태(exited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어지면서 빛을 발생시키는 자발광형 표시 장치이다.
자발광형 표시장치인 유기발광표시장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 넓은 시야각, 높은 콘트라스트(contrast) 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성으로 인해 차세대 표시 장치로 주목 받고 있다.
본 발명의 목적은, 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예는 기판, 상기 기판 상의 디스플레이부, 상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층 및 상기 박막 봉지층 상의 스트레스 완화층을 포함하고, 상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지는 유기 발광 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층의 두께는 1nm~3nm일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 자가 조립 단분자막은 몸통을 이루는 알칸사슬 및 상기 알칸사슬과 결합되고 상기 박막 봉지층에 부착되는 반응기 및 상기 알칸에 결합되는 작용기를 포함하고, 상기 반응기는 silane, carboxylic acid, phosphonic acid를 포함하고, 상기 작용기는 NH2, OH, COOH, 알킬그룹을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acid)을 포함하여 이루어질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지방산은 탄소사슬을 포함하는 스테아르산(Steric acid)일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는, 캐리어 기판을 준비하는 단계, 상기 캐리어 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계, 상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층을 형성하는 단계, 상기 박막 봉지층 상에 스트레스 완화층을 형성하는 단계 및 상기 스트레스 완화층의 상부에 상부 보호 필름을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 1nm 내지 3nm의 두께로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acid)을 포함하여 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지방산은 탄소사슬을 포함하는 스테아르산(Steric acid)일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 캐리어 기판을 준비하는 단계를 수행한 후 상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 희생층은 무기물로 이루어지고 500Å 내지 2000Å의 두께로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 희생층은 산화몰리브데늄(Molybdenum oxide, MoOx)형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 상부 보호 필름을 형성한 후, 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계를 더 포함하고, 상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 상기 디스플레이부와 분리할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 형성되고, 상기 레이저 조사시 상기 스트레스 완화층은 팽창하고, 상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 수축될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acids)으로 형성되고, 상기 레이저 조사시 및 상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 상변화할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 레이저 조사시 상기 스트레스 완화층은 액화되고, 상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 고화될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 디스플레이부에 기판을 부착하는 단계 및 상기 상부 보호 필름을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 캐리어 기판을 디스플레이부로부터 분리하는 레이저 공정에서 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 유리한 효과가 있다.
본 발명의 효과는 상술한 내용 이외에도, 도면을 참조하여 이하에서 설명할 내용으로부터도 도출될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 디스플레이부를 확대하여 개략적으로 도시한 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 박막 봉지층을 확대하여 함께 도시한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어지는 스트레스 완화층의 단면을 도시한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서 지방산(fatty acid)으로 이루어지는 스트레스 완화층의 단면을 도시한 도면이다.
도 5a는 자가 조립 단분자막(SAM)의 실시예들의 분자 구조를 도시한 도면이다.
도 5b는 지방산 가운데 스테아르산의 분자 구조를 도시한 도면이다.
도 6a 내지 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
도 7a 내지 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용된다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 "위"에 또는 "상"에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 수행될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1의 디스플레이부를 확대하여 개략적으로 도시한 확대 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1000)는 기판(100), 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300) 및 스트레스 완화층(400)을 포함할 수 있다.
기판(100)은 다양한 재질을 이용하여 형성할 수 있다. 예를 들면, 기판(100)은 유리 재질 또는 기타 절연 물질을 이용하거나 금속 박막을 이용하여 형성할 수 있다.
선택적 실시예로서 기판(100)은 실리콘계 폴리머(silicone-based polymer), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), 아크릴레이트 폴리머(acrylate polymer) 및 아크릴레이트 터폴리머(acrylate terpolymer) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 여기서 실리콘계 폴리머는, 예컨대, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS), 헥사메틸디옥실란(hexamethyldisiloxane, HMDSO) 등을 포함할 수 있다.
디스플레이부(200)는 기판(100)상에 형성된다. 디스플레이부(200)는 사용자가 시인 가능하도록 가시 광선을 발생한다. 디스플레이부(200)는 다양한 소자를 구비할 수 있고, 예를 들면 유기 발광 소자 또는 액정 표시 소자 등을 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 실시예에서는 디스플레이부(200)가 유기 발광 소자(OLED)를 포함하고 있다.
유기 발광 소자(OLED)는 제1 전극(281), 유기 발광층을 포함하는 중간층(283), 및 제2 전극(285)을 포함할 수 있다.
제1 전극(281) 및 제2 전극(285)는 다양한 도전성 재질을 이용하여 형성할 수 있다.
선택적 실시예로서 제1 전극(281) 및/또는 제2 전극(285)은 광투과성 재질 또는 반사형 재질로 형성할 수 있다.
광투과성 재질은 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3를 포함할 수 있고, 반사형 재질은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 또는 이들의 화합물 등을 포함할 수 있다.
중간층(283)은 제1 전극(281)과 제2 전극(285)의 사이에 형성되고 유기 발광층을 구비할 수 있다.
선택적인 실시예로서, 중간층(283)은 유기 발광층을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(283)은 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따르면 디스플레이부(200)를 외부의 수분이나 산소로부터 보호하기 위하여 디스플레이부(200)를 완전히 밀봉하도록 박막 봉지층(300)을 포함할 수 있다.
선택적 실시예로서, 박막 봉지층(300)은 디스플레이부(200)의 상부에 형성될 수 있으며 박막 봉지층(300)의 양단이 기판(100)과 밀착하도록 형성될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이 디스플레이부(200)가 기판(100)의 상부에 형성되면 박막 봉지층(300)의 가운데 부분이 디스플레이부(200)를 덮도록 형성되고 박막 봉지층(300)의 양 끝 부분은 기판(100)과 밀착하여 형성될 수 있다.
스트레스 완화층(400)은 상기 박막 봉지층(300)의 상부에 형성될 수 있으며, 유기 분자막으로 이루어질 수 있다.
선택적 실시예로서, 스트레스 완화층(400)은 유동성이 있는 유기 분자막으로 이루어질 수 있다.
스트레스 완화층(400)은 유기 발광 표시 장치(1000)를 제조하는 과정에서 박막 봉지층(300)의 상부에 크랙이 발생하는 것을 막아주고, 결과적으로 박막 봉지층(300) 및 디스플레이부(200)로 크랙이 전파되어 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 우려를 방지할 수 있다.
선택적 실시예로서, 스트레스 완화층(400)은 자가 조립 단분자막(SAM, Self Assembled Monolayers)으로 이루어질 수 있다. 자가 조립 단분자막(SAM)은 유동성이 뛰어나 스트레스가 발생하더라도 스트레스 완화층(400)의 형태를 변화시킴에 따라 스트레스를 흡수할 수 있는 유리한 효과가 있다.
다른 선택적 실시예로서, 스트레스 완화층(400)은 지방산(fatty acid)을 포함하여 이루어질 수 있다. 지방산(fatty acid) 역시 사슬 모양의 분자 구조를 가지고 유동성이 뛰어나 스트레스를 흡수할 수 있는 유리한 효과가 있다.
선택적 실시예로서 스트레스 완화층(400)은 포화 지방산의 하나인 스테아르산(Steric acid)로 이루어질 수 있다.
선택적 실시예로서, 상기 스트레스 완화층(400)의 두께는 약 1nm 내지 3nm로 형성될 수 있다. 물론 스트레스 완화층(400)의 두께가 이에 한정되는 것은 아니며, 박막 봉지층(300)의 상부에 형성되어 크랙이 발생하는 것을 방지하고 스트레스를 흡수할 수 있는 정도의 두께면 한정되지 않고 가능하다.
도 2를 참조하면 디스플레이부(200)는 박막 트랜지스터(TFT) 및 유기 발광 소자(OLED)를 포함한다. 이를 구체적으로 설명하기로 한다.
기판(100)의 상부에 버퍼층(110)이 형성될 수 있다. 버퍼층(110)은 불순물 이온이 확산되는 것을 방지하고, 수분이나 외기의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하기 위한 베리어층, 및/또는 블록킹층으로 역할을 할 수 있다.
버퍼층(110)의 상부에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성될 수 있다. 박막 트랜지스터(TFT)의 활성층(A)은 폴리 실리콘으로 이루어질 수 있으며, 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역과, 채널 영역의 양 옆으로 불순물이 도핑되어 형성된 소스 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있다. 여기서, 불순물은 박막 트랜지스터의 종류에 따라 달라지며, N형 불순물 또는 P형 불순물이 가능하다.
활성층(A)이 형성된 후 활성층(A)의 상부에는 게이트 절연막(210)이 기판(100) 전면(全面)에 형성될 수 있다. 게이트 절연막(210)은 실리콘산화물 또는 실리콘질화물 등의 무기 물질로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 게이트 절연막(210)은 활성층(A)과 상부에 위치하는 게이트 전극(G)을 절연하는 역할을 한다.
상기 게이트 절연막(210)을 형성한 후 게이트 절연막(210)의 상부에 게이트 전극(G)이 형성될 수 있다. 상기 게이트 전극(G)은 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통하여 형성될 수 있다.
게이트 전극(G)의 물질은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 타이타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 가운데 선택된 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다.
상기 게이트 전극(G)이 형성된 후 제1 층간 절연막(230)이 기판 전면(全面)에 형성될 수 있다.
제1 층간 절연막(230)은 무기물로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제1 층간 절연막(230)은 금속 산화물 또는 금속 질화물일 수 있으며, 구체적으로 무기 물질은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZrO2) 등을 포함할 수 있다.
제1 층간 절연막(230)은 실리콘산화물(SiOx) 및/또는 실리콘질화물(SiNx) 등의 무기물로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 층간 절연막(230)은 SiOx/SiNy 또는 SiNx/SiOy의 이중 구조로 이루어질 수 있다.
제1 층간 절연막(230)의 상부에는 박막 트랜지스터의 소스 전극(S), 드레인 전극(D)이 배치될 수 있다.
상기 소스 전극(S), 드레인 전극(D)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 타이타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 가운데 선택된 하나 이상의 금속을 포함할 수 있다.
소스 전극(S)과 드레인 전극(D)을 덮도록 기판(100) 전면(全面)에 비아층(250)이 형성된다. 비아층(250)의 상부에는 화소 전극(281)이 형성될 수 있다. 도 1에 도시된 일 실시예에 따르면, 화소 전극(281)은 비아홀을 통해 드레인 전극(D)과 연결된다.
비아층(250)은 절연물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 비아층(250)은 무기물, 유기물, 또는 유/무기 복합물로 단층 또는 복수층의 구조로 형성될 수 있으며, 다양한 증착방법에 의해서 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 평탄화막(PL)은 아크릴계 수지(polyacrylates resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides rein), 불포화 폴리에스테르계 수지(unsaturated polyesters resin), 폴리페닐렌계 수지(poly phenylenethers resin), 폴리페닐렌설파이드계 수지(poly phenylenesulfides resin), 및 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB) 중 하나 이상의 물질로 형성될 수 있다.
상기 비아층(250)의 상부에는 유기 발광 소자(OLED)가 구비된다. 유기 발광 소자(OLED)는 화소 전극(281), 유기 발광층을 포함하는 중간층(283), 및 대향 전극(285)을 포함한다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 화소 정의막(270)을 더 포함할 수 있다.
화소 전극(281) 및/또는 대향 전극(285)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있다. 투명 전극으로 구비될 때에는 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 구비될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 또는 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 투명막을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 화소 전극(281) 또는 대향 전극(285)은 ITO/Ag/ITO 구조를 가질 수 있다.
화소 정의막(270)은 화소 영역과 비화소 영역을 정의하는 역할을 할 수 있다. 화소 정의막(270)은 화소 전극(281)을 노출하는 개구(270a)를 포함하며 기판(100)을 전면적으로 덮도록 형성될 수 있다. 상기 개구(270a)에 후술할 중간층(283)이 형성되어, 개구(270a)가 실질적인 화소 영역이 될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1000)의 박막 봉지층(300)을 확대하여 도시한 도면이다.
선택적 실시예로서, 박막 봉지층(300)은 다수의 박막층이 적층된 구조로서, 무기막(310)과 유기막(330)이 교번적으로 적층된 구조로 형성될 수 있다.
선택적 실시예로서, 도 3에 도시된 바와 같이 박막 봉지층(300)은 제1 무기막(310a), 제1 유기막(330a), 제2 무기막(310b), 제2 유기막(330b)이 순차적으로 적층되어 형성될 수 있다. 박막층의 개수가 이에 한정되지 않음은 물론이며 교번적으로 복수 개의 박막층이 적층되어 형성될 수 있다.
상기 무기막(310)은 산소나 수분의 침투를 견고히 막아주는 역할을 할 수 있고, 상기 유기막(330)은 무기막(310)의 스트레스를 흡수하여 유연성을 부여하는 역할을 할 수 있다.
상기 무기막(310)은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일수 있다. 선택적 실시예로서, 상기 무기막들은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 유기막(330)은 고분자로 형성되며, 예컨대, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일수 있다. 예컨대, 상기 유기막들은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 유기막들은 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 광개시제가 더 포함될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명 유기 발광 표시 장치의 스트레스 완화층(400a, 400b)의 실시예를 개략적으로 도시한 도면으로 도 4a는 스트레스 완화층(400a)이 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어지는 실시예를, 도 4b는 스트레스 완화층(400b)이 지방산(fatty acid)으로 이루어지는 실시예를 각각 도시한 도면이다.
도 5a는 자가 조립 단분자막(SAM)의 실시예들의 분자 구조를 도시한 도면이며, 도 5b는 지방산 가운데 스테아르산의 분자 구조를 도시한 도면이다.
도 4a에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 스트레스 완화층(400a)은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어질 수 있다.
자가 조립 단분자막(SAM)이란 기질의 표면에 자발적으로 입혀져 규칙적으로 잘 정렬된 유기 분자막을 지칭하는 것으로서 규칙적인 분자막 형성을 가능하게 하는 몸통 부분인 긴 알칸사슬과 상기 알칸사슬과 결합되는 반응기, 작용기로 나눌 수 있다.
상기 반응기는 기질과 결합하는 머리 부분을 의미하고 꼬리 부분인 작용기는 분자 막의 기능을 좌우하게 된다.
자가 조립 단분자막(SAM)은 자발적으로 입혀져 정렬되는 막으로서 아무런 기구를 필요로 하지 않으며 기질의 표면과 막을 이루게 되는 분자들 사이에 직접적인 화학 결합이 있는 경우가 많아 유동성이 있으면서도 매우 튼튼한 분자 막을 만들 수 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서는 자가 조립 단분자막(SAM)의 반응기가 박막 봉지층(TFE)의 최상층과 결합하게 된다.
선택적 실시예로서 스트레스 완화층(400a)이 도 5a에 도시된 자가 조립 단분자막(SAM) 실시예들 가운데 어느 하나로 이루어질 수 있다.
도 5a는 A 실시예들은 반응기가 Silane, B 실시예들은 반응기가 Carboxylic acid, C 실시예들은 반응기가 phosphoinic acid, D 실시예들은 반응기가 다양한 구조의 전구체인 자가 조립 단분자막(SAM) 분자들을 각각 도시하고 있다.
도 5a의 A 실시예들은 반응기가 Silane으로 동일하나 각각 작용기 또는알칸사슬 길이가 상이한 자가 조립 단분자막(SAM)을 도시하고 있다.
즉, 분자 막의 기능을 좌우하는 작용기 또는 알칸사슬의길이가 상이하게 형성됨에 따라 octyltrichlorosilane(OTS), octadecyltrichlorosilane(OTDS), 3-mercaptopropyltrimethoxysilane (MPTMS) 또는 hexamethyldisilizane (HMDS) 등의 실시예들을 포함할 수 있다.
도 5a의 B 실시예들, C 실시예들, D 실시예들도 A 실시예들과 마찬가지로 작용기 또는 알칸사슬이 상이한 자가 조립 단분자막(SAM)들이 도시되어 있다.
본 실시예에 따라 유기 발광 표시 장치의 스트레스 완화층(400a)이 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어지게 되면 스트레스(stress)의 발생시 스트레스가 하부에 있는 박막 봉지층(300)으로 전달되는 것을 방지하고 크랙의 발생을 방지할 수 있는 유리한 효과가 있다.
이는 자가 조립 단분자막(SAM)의 구조가 상술한 바와 같이 반응기, 알칸사슬, 작용기로 나뉘어 형성됨에 따라 자가 조립 단분자막(SAM)의 상부에서 스트레스가 발생한다 하더라도 몸통 부분인 긴 알칸사슬이 스프링과 같은 역할을 하여 스트레스를 흡수하므로 스트레스가 자가 조립 단분자막(SAM)의 하부로 전달되는 것을 방지하기 때문이다.
유기 발광 표시 장치의 제조 공정에서 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어지는 스트레스 완화층(400a)의 형태 변화에 대해서는 이후 유기 발광 표시의 제조 방법의 설명시 상세히 설명하도록 한다.
다른 선택적 실시예로서, 유기 발광 표시 장치의 스트레스 완화층(400b)은 지방산(fatty acid)으로 이루어질 수 있다.
도 4b는 본 실시예에 따라 지방산으로 이루어진 스트레스 완화층(400b)을 도시한 것으로서 동그라미 형상으로 도시하였으나 지방산 역시 사슬 모양을 갖도록 형성되고, 도 4b는 자가 조립 단분자막(SAM)과 다른 실시예로 설명하기 위해 편의상 도시한 것이며 지방산의 형상이 이에 한정되지 않음은 물론이다.
지방산(Fatty acid)은 사슬 모양의 포화 또는 불포화 모노카르복시산을 지칭하는 것으로서 지방을 가수분해하면 글리세롤과 지방산으로 분리된다. 지방산은 탄소 결합 형태에 따라 포화 지방산과 불포화 지방산으로 구분되는데 사슬에 이중 결합이 있는 경우 불포화 지방산 이중 결합이 없는 경우 포화 지방산이라 한다.
선택적 실시예로서, 스트레스 완화층(400b)은 도 5b에 도시된 스테아르산(Steric acid)으로 이루어질 수 있다.
도 5b에 도시된 바와 같이 스테아르산은 무극성을 나타내는 긴 탄화수소 사슬의 끝에 극성을 가지는 카복실기가 붙어있는 막대기처럼 생긴 분자로서 17개의 카본을 가지고 있는 것으로 포화 지방산의 하나이다.
스테아르산의 끓는점은 656K(383도씨)이고 녹는점은 342~344.5K(71.5도씨)이다.
따라서, 스테아르산으로 이루어진 고체 상태의 스트레스 완화층(400b)이 녹는점인 71.5도씨와 가까운 온도의 열을 받게 되면 스테아르산이 액체 상태로 변하기 시작하여 유연한 상태로 변화할 수 있다.
또한 고체 상태이던 스트레스 완화층(400b)에 녹는 점 71.5 도씨 이상의 온도로 열이 가해지게 되면 상변화가 일어나 스테아르산이 액체 상태로 변할 수 있다.
결과적으로 스테아르산으로 이루어지는 스트레스 완화층(400b)은 스트레스 완화층(400b)의 상부에서 스트레스(stress)가 발생한다 하더라도 스트레스 완화층(400b)를 이루는 스테아르산이 유연화되거나 액화됨에 따라 스트레스가 스트레스 완화층(400b)의 하부로 전달되는 것을 방지하고 크랙의 발생을 방지할 수 있는 유리한 효과가 있다.
유기 발광 표시 장치의 제조 공정에서 스테아르산으로 이루어지는 스트레스 완화층(400b)의 상변화에 대해서는 이후 유기 발광 표시의 제조 방법의 설명시 상세히 설명하도록 한다.
이하에서는 본 발명 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 6a 내지 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다. 도 6a 내지 6e에서, 도 1 내지 도 5와 동일한 참조 부호는 동일 부재를 나타내며, 여기서는 설명의 간략화를 위하여 이들의 중복 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)의 제조 방법은 캐리어 기판(10)을 준비하는 단계, 상기 캐리어 기판(10) 상에 디스플레이부(200)를 형성하는 단계, 상기 디스플레이부(200)를 밀봉하는 박막 봉지층(300)을 형성하는 단계, 상기 박막 봉지층(300) 상에 스트레스 완화층(400a)을 형성하는 단계 및 상기 스트레스 완화층(400a)의 상부에 상부 보호 필름(500)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판(10)은 유기 발광 표시 장치(2000)가 유연성 향상을 위해 얇은 글라스, 플라스틱(PET, PI)등과 같은 재료로 이루어지는 기판(100)으로 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300)을 포함한 구성 요소들이 트랜스퍼 되기 전에 최초로 디스플레이부(200)가 형성되는 베이스로서 캐리어 역할을 하며 글라스 등 rigid한 재질로 이루어질 수 있다.
즉, 유연성이 증대된 유기 발광 표시 장치(2000)를 제조함에 있어서 디스플레이부(200)를 포함하는 구성요소를 곧바로 얇은 글라스, 플라스틱(PET,PI)등과 같은 재료로 이루어지는 기판(100)에 형성하는 것이 아니라 글라스 등의 rigid한 재질로 이루어지는 캐리어 기판(10)에 형성한 후 한꺼번에 트랜스퍼하는 공정을 거칠 수 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)의 제조 방법은 캐리어 기판(10)을 준비하고 캐리어 기판(10) 상에 디스플레이부(200)를 형성하기 전에 희생층(30)을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
희생층(30)은 캐리어 기판(10) 상에 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300)을 포함하는 구성요소가 형성된 후 캐리어 기판(10)을 제거하는 과정에서 디스플레이부(200)에 손상이 가해지는 것을 방지하기 위해 캐리어 기판(10)과 디스플레이부(200)의 사이에 형성될 수 있다.
선택적 실시예로서 희생층(30)은 무기물로 형성될 수 있다. 선택적 실시예로서 희생층(30)은 500Å 내지 2000Å의 두께로 형성될 수 있다.
또 다른 선택적 실시예로서 희생층(30)은 산화몰리브데늄(MoOx)으로 형성될 수 있다. 희생층(30)이 산화몰리브데늄(MoOx)을 포함하여 형성되는 경우 희생층(30)을 형성하는 과정은 다음과 같다.
먼저 캐리어 기판(10)의 상부에 몰리브데늄(Mo) 금속을 증착하고 공기 중에서 약 1시간 가량 450도씨의 온도로 어닐링(anneal)할 수 있다. 가열된 몰리브데늄(Mo) 금속은 산화되어 산화몰리브데늄(MoOx)으로 증착될 수 있다. 이러한 산화몰리브데늄(MoOx)의 상부에 저온의 CVD 공정을 통하여 SiO2막을 증착하여 희생층(30)을 형성할 수 있다.
캐리어 기판(10) 상에 희생층(30)을 형성한 후 상부에 디스플레이부(200)를 형성할 수 있다.
즉, 선택적 실시예로서 캐리어 기판(10)의 상부에 디스플레이부(200)가 직접적으로 형성될 수도 있고 도 6a에 도시된 바와 같이 캐리어 기판(10)과 디스플레이부(200)는 가운데 희생층(30)만을 구비하고 곧바로 형성될 수도 있다.
상술한 바와 같이 디스플레이부(200)는 박막 트랜지스터(TFT)와 유기 발광 소자(OLED)를 포함할 수 있다.
디스플레이부(200)를 형성한 후 상기 디스플레이부(200)를 밀봉하는 박막 봉지층(300)을 형성할 수 있다. 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)는 도 6a 내지 6e에서 박막 봉지층(300)이 단순히 디스플레이부(200)의 상부에 위치하도록 도시되어 있다.
다만, 박막 봉지층(300)은 외부의 산소나 수분으로부터 디스플레이부(200)를 완전히 차단시키고 밀봉하기 위해 구비되는 것으로서 도 1에 도시된 실시예의 유기 발광 표시 장치(1000, 도 1 참고)와 같이 박막 봉지층(300)이 디스플레이부(200)를 덮어 박막 봉지층(300)의 양단이 기판(100)과 접하도록 형성되어 디스플레이부(200)를 완전히 밀봉하도록 형성될 수 있다.
박막 봉지층(300) 상에 스트레스 완화층(400a)을 형성할 수 있으며 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)는 스트레스 완화층(400a)이 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어질 수 있다.
스트레스 완화층(400a)의 상부에는 상부 보호 필름(500)을 형성할 수 있으며 상부 보호 필름(500)은 점착층(450)에 의해 스트레스 완화층(400a)상에 접착될 수 있다.
상부 보호 필름(500)은 유기 발광 표시 장치(2000)의 제조 과정에서 외부의 수분이나 산소 혹은 외부의 충격으로부터 유기 발광 표시 장치(2000)가 손상되는 것을 방지하기 위해 최상부에 형성될 수 있다. 즉, 유기 발광 표시 장치(2000)를 제조 과정에서 보호하기 위해 형성하는 임시 구성요소로서 최종 유기 발광 표시 장치의 구조에 남아있지 않다.
선택적 실시예로서, 상부 보호 필름(500)은 PET와 같은 플라스틱 재질으로 이루어질 수 있으며 이에 한정되지는 않는다.
도 6b를 참조하면, 캐리어 기판(10) 상에 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300), 스트레스 완화층(400a), 상부 보호 필름(500)이 순차적으로 형성되면 캐리어 기판(10)이 제거 될 수 있다.
상기 캐리어 기판(10)은 도 6b에 도시된 바와 같이 레이저에 의해 디스플레이부(200)와 분리되는 레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에 의해 제거 될 수 있다.
즉, 캐리어 기판(10)의 상부에 형성되어 있는 희생층(30)에 레이저를 조사하여 캐리어 기판(10) 및 희생층(30)을 디스플레이부(200)로부터 분리할 수 있다.
이 때, 희생층(30)이 형성되어 있으므로 캐리어 기판(10)과 디스플레이부(200)를 분리하는 과정에서 디스플레이부(200)가 열에 의해 손상되거나 디스플레이부(200)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에서 레이저가 조사됨에 따라 열이 가해지게 되고 열은 상부의 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300), 스트레스 완화층(400a), 점착층(450), 상부 보호 필름(500)에 전도될 수 있다.
도 6c를 참조하면 전도된 열에 의해 점착층(450)은 팽창하게 되고 점착층(450)에 접착되어 있는 플라스틱 재질의 상부 보호 필름(500) 또한 함께 팽창하게 된다.
이 때, 박막 봉지층(300)의 상부에 곧바로 점착층(450)과 상부 보호 필름(500)이 형성된다면 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)의 팽창에 의해 박막 봉지층(300)이 스트레스를 그대로 받게 되고 경계면에서 크랙이 발생하여 크랙이 박막 봉지층(300) 및 디스플레이부(200)로 전도되어 유기 발광 소자(OLED)가 손상을 입을 우려가 있다.
그러나, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)는 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어진 스트레스 완화층(400a)을 박막 봉지층(300)과 상부 보호 필름(500)의 사이에 형성함에 따라 스트레스 완화층(400a)이 스트레스를 흡수하고 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어진 스트레스 완화층(400a)은 상부에 위치하는 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)의 팽창됨에 따라 몸통 부분인 긴 알칸사슬의 유동성에 의해 스트레스 완화층(400a)의 형태가 변화될 수 있다. 자가 조립 단분자막(SAM)은 몸통 부분인 긴 알칸사슬과 알칸사슬에 결합된 작용기, 반응기로 나뉘어져 구성됨에 따라 유동성을 가지고 형태가 변화할 수 있다.
즉, 도 6c에 도시된 바와 같이 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)과 접착된 스트레스 완화층(400a)의 상부는 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)과 함께 팽창되어 스트레스를 흡수할 수 있다.
따라서, 스트레스의 발생에 의해 크랙이 발생하고 크랙이 하부의 구성요소들로 전도되는 문제를 방지할 수 있는 유리한 효과가 있다.
도 6d를 참조하면, 캐리어 기판(10) 및 희생층(30)이 디스플레이부(200)로부터 분리되어 제거된 후 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)은 냉각되어 수축될 수 있고 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)이 수축됨에 따라 하부의 스트레스 완화층(400a)도 함께 형태가 변화되어 수축될 수 있다.
이에 따라, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)의 제조 방법은 레이저 레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에서 스트레스 완화층(400a)에 의해 스트레스가 흡수되며 크랙의 발생 없이 캐리어 기판(10)을 디스플레이부(200)로부터 분리할 수 있다.
도 6e를 참조하면, 캐리어 기판(10)을 제거한 후 디스플레이부(200)에 기판(100)을 부착하고 상부 보호 필름(500)을 제거할 수 있다. 기판(100)의 상부에 기판(100)의 상부에 불순물 이온이 확산되는 것을 방지하고, 수분이나 외기의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하기 위한 베리어층, 및/또는 블록킹층으로 역할을 하는 버퍼층(110, 도 2 참고)이 형성될 수 있다.
디스플레이부(200)가 기판(100)에 부착되면 상부 보호 필름(500)은 점착층(450)과 함께 제거될 수 있다.
도 7a 내지 7e는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)의 제조 방법을 순차적으로 도시한 단면도이다. 도 7a 내지 7e에서, 도 6a 내지 도 6e와 동일한 참조 부호는 동일 부재를 나타내며, 여기서는 설명의 간략화를 위하여 이들의 중복 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)의 제조 방법은 캐리어 기판(10)을 준비하는 단계, 상기 캐리어 기판(10) 상에 디스플레이부(200)를 형성하는 단계, 상기 디스플레이부(200)를 밀봉하는 박막 봉지층(300)을 형성하는 단계, 상기 박막 봉지층(300) 상에 스트레스 완화층(400b)을 형성하는 단계 및 상기 스트레스 완화층(400b)의 상부에 상부 보호 필름(500)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)는 도 7a 내지 도 7e에서 박막 봉지층(300)이 단순히 디스플레이부(200)의 상부에 위치하도록 도시되어 있으나, 도 6 내지 도 6e에 도시된 실시예에서 상술한 바와 마찬가지로 도 1에 도시된 실시예의 유기 발광 표시 장치(1000, 도 1 참고)와 같이 박막 봉지층(300)이 디스플레이부(200)를 덮어 박막 봉지층(300)의 양단이 기판(100)과 접하도록 형성되어 디스플레이부(200)를 완전히 밀봉하도록 형성될 수 있음은 물론이다.
도 7a에 도시된 바와 같이 박막 봉지층(300) 상에 스트레스 완화층(400b)을 형성할 수 있으며 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)는 스트레스 완화층(400b)이 지방산(fatty acid)으로 이루어질 수 있다.
선택적 실시예로서 상기 스트레스 완화층(400b)은 스테아르산으로 이루어질 수 있다.
도 7b를 참조하면 상기 캐리어 기판(10)은 레이저에 의해 디스플레이부(200)와 분리되는 레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에 의해 제거 될 수 있다.
즉, 캐리어 기판(10)의 상부에 형성되어 있는 희생층(30)에 레이저를 조사하여 캐리어 기판(10) 및 희생층(30)을 디스플레이부(200)로부터 분리할 수 있다.
레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에서 레이저가 조사됨에 따라 열이 가해지게 되고 열은 상부의 디스플레이부(200), 박막 봉지층(300), 스트레스 완화층(400b), 점착층(450), 상부 보호 필름(500)에 전도될 수 있다.
도 7c를 참조하면 전도된 열에 의해 점착층(450)은 팽창하게 되고 점착층(450)에 접착되어 있는 플라스틱 재질의 상부 보호 필름(500) 또한 함께 팽창하게 된다.
이 때, 박막 봉지층(300)의 상부에 곧바로 점착층(450)과 상부 보호 필름(500)이 형성된다면 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)의 팽창에 의해 박막 봉지층(300)이 스트레스를 그대로 받게 되고 경계면에서 크랙이 발생하여 크랙이 박막 봉지층(300) 및 디스플레이부(200)로 전도되어 유기 발광 소자(OLED)가 손상을 입을 우려가 있다.
그러나, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)는 스테아르산으로 이루어진 스트레스 완화층(400b)을 박막 봉지층(300)과 상부 보호 필름(500)의 사이에 형성함에 따라 스트레스 완화층(400b)이 스트레스를 흡수하고 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 스테아르산으로 이루어진 스트레스 완화층(400b)은 끓는점이 656K(383도씨)이고 녹는점은 342~344.5K(71.5도씨)이다.
따라서, 녹는점(71.5도씨) 이상의 열이 스트레스 완화층(400b)에 전도되는 경우 고체 상태였던 스트레스 완화층(400b)은 액화되고, 액체 상태이던 스트레스 완화층(400b)이 녹는점(71.5도씨) 이하의 온도로 냉각되면 스트레스 완화층(400b)이 다시 고화될 수 있다.
즉, 도 7c를 참조하면 전도된 열에 의해 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)이 팽창될 수 있고 전도된 열에 의해 스트레스 완화층(400b) 역시 스테아르산이 액화되거나 유연화되어 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)과 함께 팽창될 수 있다.
레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에 의해 캐리어 기판(10)이 제거된 후에 온도가 낮아지게 되면 도 7d에 도시된 바와 같이 점착층(450) 및 상부 보호 필름(500)이 다시 축소되고 액체 상태로 상변화 되었던 스테아르산도 녹는점(71.5도씨) 이하의 온도로 냉각됨에 따라 고화되어 스트레스 완화층(400b)이 축소될 수 있다.
이에 따라, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)의 제조 방법은 레이저 레이저 리프트 오프(laser lift-off) 공정에서 스트레스 완화층(400b)에 의해 스트레스가 흡수되며 크랙의 발생 없이 캐리어 기판(10)을 디스플레이부(200)로부터 분리할 수 있다.
도 7e를 참조하면, 캐리어 기판(10)을 제거한 후 디스플레이부(200)에 기판(100)을 부착하고 상부 보호 필름(500)을 제거할 수 있다. 기판(100)의 상부에 기판(100)의 상부에 불순물 이온이 확산되는 것을 방지하고, 수분이나 외기의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하기 위한 베리어층, 및/또는 블록킹층으로 역할을 하는 버퍼층(110, 도 2 참고)이 형성될 수 있다.
디스플레이부(200)가 기판(100)에 부착되면 상부 보호 필름(500)은 점착층(450)과 함께 제거될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.
10: 캐리어 기판
30: 희생층
100: 기판
200: 디스플레이부
300: 박막 봉지층
400, 400a, 400b: 스트레스 완화층
450: 점착층
500: 상부 보호 필름
1000, 2000, 3000: 유기 발광 표시 장치

Claims (19)

  1. 기판;
    상기 기판 상의 디스플레이부;
    상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층; 및
    상기 박막 봉지층 상의 스트레스 완화층;을 포함하고,
    상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지며,
    상기 스트레스 완화층은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 이루어지고,
    상기 자가 조립 단분자막은 몸통을 이루는 알칸사슬 및 상기 알칸사슬과 결합되고 상기 박막 봉지층에 부착되는 반응기 및 상기 알칸에 결합되는 작용기를 포함하며,
    상기 반응기는 silane, carboxylic acid, phosphonic acid를 포함하고, 상기 작용기는 NH2, OH, COOH, 알킬그룹을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스트레스 완화층의 두께는 1nm~3nm인 유기 발광 표시 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 기판;
    상기 기판 상의 디스플레이부;
    상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층; 및
    상기 박막 봉지층 상의 스트레스 완화층;을 포함하고,
    상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지며,
    상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acid)을 포함하여 이루어지고,
    상기 지방산은 탄소사슬을 포함하는 스테아르산(Steric acid)인 유기 발광 표시 장치.
  6. 삭제
  7. 캐리어 기판을 준비하는 단계;
    상기 캐리어 기판을 준비하는 단계를 수행한 후 상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;
    상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층을 형성하는 단계;
    상기 박막 봉지층 상에 스트레스 완화층을 형성하는 단계;
    상기 스트레스 완화층의 상부에 상부 보호 필름;을 형성하는 단계; 및
    상기 상부 보호 필름을 형성한 후, 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;를 포함하고,
    상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 상기 디스플레이부와 분리하며,
    상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지며,
    상기 스트레스 완화층은 자가 조립 단분자막(SAM)으로 형성되고,
    상기 레이저 조사시 상기 스트레스 완화층은 팽창하며,
    상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 수축되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스트레스 완화층은 1nm 내지 3nm의 두께로 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  9. 삭제
  10. 캐리어 기판을 준비하는 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;
    상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층을 형성하는 단계;
    상기 박막 봉지층 상에 스트레스 완화층을 형성하는 단계; 및
    상기 캐리어 기판을 준비하는 단계를 수행한 후 상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acid)을 포함하여 형성되며,
    상기 지방산은 탄소사슬을 포함하는 스테아르산(Steric acid)인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제7항에 있어서,
    상기 희생층은 무기물로 이루어지고 500Å 내지 2000Å의 두께로 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제7항에 있어서,
    상기 희생층은 산화몰리브데늄(Molybdenum oxide, MoOx)형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 캐리어 기판을 준비하는 단계;
    상기 캐리어 기판을 준비하는 단계를 수행한 후 상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;
    상기 디스플레이부를 밀봉하는 박막 봉지층을 형성하는 단계;
    상기 박막 봉지층 상에 스트레스 완화층을 형성하는 단계;
    상기 스트레스 완화층의 상부에 상부 보호 필름;을 형성하는 단계; 및
    상기 상부 보호 필름을 형성한 후, 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;를 포함하고,
    상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 상기 디스플레이부와 분리하며,
    상기 스트레스 완화층은 유기 분자막으로 이루어지며,
    상기 스트레스 완화층은 지방산(fatty acids)으로 형성되고,
    상기 레이저 조사시 및 상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 상변화하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 레이저 조사시 상기 스트레스 완화층은 액화되고,
    상기 캐리어 기판을 제거한 후에 상기 스트레스 완화층은 고화되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제7항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 디스플레이부에 기판을 부착하는 단계; 및
    상기 상부 보호 필름을 제거하는 단계;를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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