KR102432828B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR102432828B1
KR102432828B1 KR1020200171123A KR20200171123A KR102432828B1 KR 102432828 B1 KR102432828 B1 KR 102432828B1 KR 1020200171123 A KR1020200171123 A KR 1020200171123A KR 20200171123 A KR20200171123 A KR 20200171123A KR 102432828 B1 KR102432828 B1 KR 102432828B1
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마사노리 아키야마
타츠히코 마츠오
테츠야 카타니와
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가부시키가이샤 케미토론
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Abstract

기능부를 유효하게 기능시킴과 함께, 기능부와 기판의 간섭을 방지한다.
승강체(33)는 반송 기준면(18)의 상방에서 제1 회전축(42)과 제2 회전축(44) 사이에 배치되고, 제1 및 제2 롤러(31, 32) 쌍방이 기판(1)의 윗면에 올라타지 않은 동안은 반송 기준면(18)에 대하여 소정의 하강 위치에 유지되며, 제1 및 제2 롤러(31, 32) 중 적어도 한쪽이 기판(1)의 윗면에 올라타 있는 동안은 기판(1)의 윗면에 올라탄 롤러의 회전축에 의해 하강 위치로부터 상방으로 들어 올려져 유지된다. 승강방향 규제 수단(35, 36)은 하강 위치로부터 승강할 때의 승강체(33)의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다. 기능부(50)는 승강체(33)가 하강 위치로 강하한 상태에서 반송 기준면(18)의 상방에 위치하도록 승강체(33)에 고정적으로 마련되고, 반송 도중의 기판(1)의 윗면에 상방으로부터 대향하여 기능한다.

Description

기판 처리 장치{Equipment for Treating Substrate}
본 발명은 프린트 배선판이나 리드 프레임 등의 금속판(이하, 대상으로 하는 프린트 배선판, 리드 프레임 등의 금속판을 기판이라고 약칭함)을 반송하여 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는 수평으로 늘어선 프린트 회로판 면을 가지는 프린트 회로판의 반송 수단과, 프린트 회로판의 반송면의 상부에 배열되고, 공급 용기로부터 공급된 액체상의 처리 매체를 프린트 회로판의 윗면에 분사하기 위한 노즐 장치와, 스프레이 조작 동안 프린트 회로판의 윗면에 분사된 처리 매체를 흡인하기 위한 흡인 노즐 유닛(흡인 파이프)을 구비한 스프레이 처리 장치가 기재되어 있다.
흡인 파이프는 복수개의 흡인 노즐을 구비하고, 흡인 노즐은 흡인 파이프의 원주(圓周) 상에서 슬릿 형상의 개구부로 되어 있다. 흡인 파이프는 지지 부재의 전면(前面)에 고정되고, 지지 부재는 2개의 상측 반송 롤러에 베어링 지지되어 있다.
일본 공개특허공보 특개2003-243811호
특허문헌 1의 장치에서는 지지 부재(승강체)에 2개의 상측 반송 롤러(반송방향 상류 측의 제1 롤러와 반송방향 하류 측의 제2 롤러)가 베어링 지지되어 있기 때문에, 제1 롤러가 프린트 회로판(기판)의 윗면에 올라탄 후, 제2 롤러가 기판의 윗면에 올라탈 때까지 동안, 및 제1 롤러가 기판의 윗면으로부터 강하한 후 제2 롤러가 기판의 윗면으로부터 강하할 때까지 동안은, 기판에 대하여 승강체가 경사진 상태가 된다. 이 때문에, 흡인 파이프(기능부)의 개구부와 기판의 윗면 사이의 거리가 일정하지 않고, 흡인 기능이 유효하게 발휘되지 않을 가능성이 있다. 또한, 기판의 판 두께가 증대된 경우(판 두께가 두꺼운 기판을 처리하는 경우), 기판이 승강체 또는 기능부에 간섭할 우려가 있다.
따라서 본 발명은 기판 윗면의 반송방향의 전장역(全長域)에서 기능부를 유효하게 기능시킴과 함께, 승강체 및 기능부와 기판의 간섭을 확실하게 방지하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제1 양태는 누운 자세(倒伏姿勢)의 판 형상 기판의 아랫면이 반송 기준면을 따라 대략 수평으로 이동하도록 기판을 반송하여 처리하는 기판 처리 장치로서, 제1 롤러와, 제2 롤러와, 승강체와, 승강방향 규제 수단과, 기능부를 구비한다.
제1 롤러는 반송 기준면의 상방(上方)에서 반송 기준면에 대하여 승강 가능한 제1 회전축을 가지며, 반송 도중의 기판의 윗면에 올라탄 상태에서 기판의 윗면에 접촉하면서 제1 회전축을 중심으로 하여 회전한다. 제2 롤러는 제1 롤러의 반송방향 하류 측의 반송 기준면의 상방에서 반송 기준면에 대하여 승강 가능한 제2 회전축을 가지며, 반송 도중의 기판의 윗면에 올라탄 상태에서 기판의 윗면에 접촉하면서 제2 회전축을 중심으로 하여 회전한다.
승강체는 반송 기준면의 상방에서 제1 회전축과 제2 회전축 사이에 배치되며, 제1 및 제2 롤러 쌍방이 기판의 윗면에 올라타지 않은 동안은, 반송 기준면에 대하여 소정의 하강 위치에 유지되고, 제1 및 제2 롤러 중 적어도 한쪽이 기판의 윗면에 올라타 있는 동안은 기판의 윗면에 올라탄 롤러의 회전축에 의해 하강 위치로부터 상방으로 들어 올려져 유지된다. 승강방향 규제 수단은 하강 위치로부터 승강(상승한 후에 하강)할 때의 승강체의 승강방향을 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다. 기능부는 승강체가 하강 위치로 강하한 상태에서 반송 기준면의 상방에 위치하도록 승강체에 고정적으로 마련되고, 반송 도중의 기판의 윗면에 상방으로부터 대향하여 기능한다.
상기 구성에서, 기판의 반송방향을 따른 제1 롤러의 하단(下端)과 제2 롤러의 하단의 거리(제1 회전축과 제2 회전축의 거리)는 반송방향을 따른 기판의 전장(全長)(반송방향 하류단과 반송방향 상류단의 거리)보다도 짧게 설정된다. 반송 도중의 기판의 반송방향 하류단은 제1 롤러의 하단과 제2 롤러의 하단을 순차 통과하고, 기판의 반송방향 상류단은 반송방향 하류단이 제2 롤러의 하단에 도달한 후에 제1 롤러의 하단을 통과하며, 제2 롤러의 하단을 통과한다.
상기 구성에서는, 제1 롤러는 기판의 반송방향 하류단이 제1 롤러의 하단에 도달하기 전은 반송 기준면에 대하여 소정의 초기 높이에 유지되고, 기판의 반송방향 하류단이 제1 롤러의 하단에 도달한 후에 기판의 반송방향 상류단이 제1 롤러의 하단을 통과할 때까지 동안은 기판의 윗면에 올라타며, 기판의 반송방향 상류단이 제1 롤러의 하단을 통과한 후는 초기 높이로 강하한다.
제2 롤러는, 기판의 반송방향 하류단이 제2 롤러의 하단에 도달하기 전은 초기 높이에 유지되고, 제1 롤러의 하단을 통과한 기판의 반송방향 하류단이 제2 롤러의 하단에 도달한 후에 기판의 반송방향 상류단이 제2 롤러의 하단을 통과할 때까지 동안은 기판의 윗면에 올라타며, 기판의 반송방향 상류단이 제2 롤러의 하단을 통과한 후는 초기 높이로 강하한다.
승강체는 기판의 반송방향 하류단이 제1 롤러의 하단에 도달하기 전은 반송 기준면에 대하여 소정의 하강 위치에 유지된다. 기판의 반송방향 하류단이 제1 롤러의 하단에 도달하고, 제1 롤러가 기판의 윗면에 올라타면, 승강체는 제1 회전축에 의해 하강 위치로부터 상방으로 들어 올려진다. 승강방향 규제 수단은 하강 위치로부터 승강할 때의 승강체의 승강방향을 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제하므로, 승강체는 기판의 윗면으로의 제1 롤러의 올라탐과 대략 동시에 기판의 판 두께 분량만큼 하강 위치로부터 상승한다. 그 후, 기판의 반송방향 상류단이 제1 롤러의 하단을 통과해도, 제2 롤러가 기판의 윗면에 올라타 있는 동안은, 승강체는 기판의 판 두께 분량만큼 상승한 상승 위치로부터 하강하지 않고, 기판의 반송방향 상류단이 제2 롤러의 하단을 통과할 때까지 상승 위치에 유지된다. 기판의 반송방향 상류단이 제2 롤러의 하단을 통과하여 제2 롤러가 하강하면, 승강체는 상승 위치로부터 하강 위치로 하강한다.
승강체가 하강 위치로 강하한 상태에서 반송 기준면의 상방에 위치하도록 기능부가 승강체에 고정적으로 마련되고, 승강체가 제1 롤러와 제2 롤러 사이에 배치되며, 승강체의 상승 위치가 반송 기준면으로부터 기판의 판 두께보다도 높은 위치가 되므로, 승강체는 기판의 반송방향 하류단이 승강체의 하방(下方)으로 도달할 때까지 동안에 기판에 대하여 기울지 않고 기능부와 함께 하강 위치로부터 상승 위치로 상승하며, 기판의 반송방향 상류단이 승강체의 하방을 통과한 후에, 기판에 대하여 기울지 않고 기능부와 함께 상승 위치로부터 하강 위치로 하강한다.
따라서, 기판의 판 두께에 상관 없이, 기판의 윗면에 대한 기능부의 높이 위치는 기판의 윗면의 반송방향의 전장역에서 일정하게 유지되며, 기능부를 효율적으로 기능시킬 수 있다. 또한, 승강체 및 기능부와 기판의 간섭을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제2 양태는 제1 양태의 기판 처리 장치로서, 제1 회전축의 승강방향 및 제2 회전축의 승강방향을 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제하는 제2 승강방향 규제 수단을 구비한다.
상기 구성에서는 제2 승강방향 규제 수단이 제1 회전축의 승강방향 및 제2 회전축의 승강방향을 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제하므로, 승강체 및 기능부가 승강할 때의 거동을 안정시킬 수 있고, 승강체 및 기능부와 기판의 간섭을 더 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제3 양태는 제1 또는 제2 양태의 기판 처리 장치로서, 기능부는 기판의 윗면으로부터 액체를 흡인하는 흡인구를 가진다.
상기 구성에서는 흡인구를 기판의 윗면으로부터 일정한 거리에 유지할 수 있으므로, 기판의 윗면으로부터 액체를 효율적으로 흡인하여 제거할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판 윗면의 반송방향의 전장역에서 기능부를 유효하게 기능시킴과 함께, 승강체 및 기능부와 기판의 간섭을 확실하게 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시형태에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는 에칭 처리를 설명하기 위한 프린트 배선판의 확대 단면도이다.
도 3은 흡인 유닛의 지지 구조를 장치 폭방향의 외측에서 본 측면도이다.
도 4는 흡인 유닛의 지지 구조를 장치 폭방향의 내측에서 본 측면도이다.
도 5는 도 3의 V-V 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 6은 도 5의 VI-VI 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 7은 슬라이드 블록이 하강 위치에 유지된 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 상류 측상의 롤러가 기판에 올라탄 상태를 나타내는 측면도이다.
도 9는 상류 측상의 롤러 및 하류 측상의 롤러가 기판에 올라탄 상태를 나타내는 측면도이다.
도 10은 상류 측상의 롤러가 하강한 후이며, 하류 측상의 롤러가 하강하기 전의 상태를 나타내는 측면도이다.
도 11은 흡인 유닛의 지지 구조의 다른 예를 장치 폭방향의 내측에서 본 측면도이다.
도 12는 도 11의 지지 구조를 상방에서 본 평면도이다.
이하, 본 발명의 기판 처리 장치를 에칭 장치에 적용한 1실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
우선, 본 실시형태의 에칭 장치를 이용한 프린트 배선판의 제조 방법의 개요에 대해, 도 2의 단면도를 참조하여 설명한다.
도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지나 기타 수지 등으로 이루어지는 절연성 기판(처리 대상물)(1)의 양면에, 예를 들면 구리박 등의 도전층(피(被)에칭층)(2)을 수㎛~수십㎛의 막 두께로 형성한다. 도전층(2)을 형성하는 방법은 접합, 도금, 기상(氣相) 성장 등, 어떠한 방법이어도 가능하며, 기판(1)의 양면이 에칭 대상면이 된다.
다음으로, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 포토리소그래피 공정(드라이 필름 레지스트나 액상 레지스트 등)에 의해 도전층(2)의 상층에 레지스트막(3)을 막 형성하고, 패턴 노광하고, 현상 처리를 실시함으로써, 도전층(2)의 상층에 레지스트막(3)을 패턴 형성한다. 레지스트막(3)의 형성 처리는 기판(1)의 양면에 대하여 각각 실시된다.
다음으로, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(1)의 양면 상의 도전층(2)에 대하여 레지스트막(3)을 마스크로 한 에칭 처리를 실시한다. 즉, 도전층(2)을 레지스트막(3)의 패턴을 따라 에칭하고, 배선부(2a)를 패턴 형성한다.
배선부(2a)를 패턴 형성한 후, 예를 들면, 강 알칼리 용액 또는 유기 용제 처리 등에 의해 레지스트막(3)을 박리한다. 이로써, 원하는 프린트 배선판이 형성된다.
상기 레지스트막(3)을 마스크로 한 도전층(2)에 대한 에칭 처리는 본 실시형태에 따른 에칭 장치(기판 처리 장치)를 이용하여 실시된다. 도 1은 본 실시형태에 따른 에칭 장치를 모식적으로 나타내는 개략 구성도이다.
에칭 장치(10)의 처리실(11) 내에는 한 측(도 1 중 좌측)의 입구(14)로부터 타측(도 1 중 우측)의 출구(15)를 향해 수평 직선 형상으로 연장되는 반송 경로가 설정되고, 이 반송 경로에 복수 쌍의 상하 반송 롤러(하방의 반송 롤러(16)와 상방의 반송 롤러(17))가 반송 수단으로서 마련되어 있다. 반송 롤러(16, 17)는 레지스트막(3)이 패턴 형성된 기판(1)을, 한 면이 상방을 향하고 다른 면이 하방을 향하는 대략 수평 형상으로 유지하여 반송 경로를 따라 반송한다. 하측의 반송 롤러(16)의 상단(上端)은 상류 측으로부터 하류 측으로 대략 수평면 형상으로 연장되는 반송 기준면(18)을 규정하고, 반송 롤러(16, 17)는 누운 자세의 판 형상의 기판(1)의 아랫면이 반송 기준면(18)을 따라 대략 수평으로 이동하도록 기판(1)을 반송한다. 반송 롤러(16, 17)는 모터 등에 의해 구동 회전하는 구동 롤러에 의해서만 구성되어도 되고, 비(非)구동 롤러(기판(1)의 이동에 따라 회전하는 종동(從動) 롤러)를 포함해도 된다. 또한, 상측의 반송 롤러(17)와 쌍을 이루지 않는 하측의 반송 롤러(16)나, 하측의 반송 롤러(16)와 쌍을 이루지 않는 상측의 반송 롤러(17)를 포함해도 된다.
입구(14)와 출구(15) 사이의 처리실(11) 내의 상부는 에칭 공정을 실시하는 에칭 처리부(12)를 구성한다. 에칭 처리부(12)에는 복수개의 분사 노즐(20)이 배열되어 마련되어 있다. 분사 노즐(20)은 에칭액을 분사하여 처리실(11) 내의 기판(1)에 분사한다. 분사 노즐(20)은 반송 경로에 대하여 고정적(정치(靜置))이어도 되고, 요동(搖動)(오실레이션)시켜도 된다. 분사 노즐(20)의 분사 형태는 한정되지 않고, 1유체 노즐이어도 되며, 2유체 노즐이어도 된다. 또한, 복수개의 분사 노즐(20)을 1유체 노즐과 2유체 노즐에 의해 구성해도 된다.
반송 경로 하방의 처리실(11) 내의 바닥부에는 염화제2구리, 염화제2철 또는 알카리성 물질을 베이스로 한 에칭액(처리 액체)(5)이 저류(貯留)된다. 각 분사 노즐(20)에는 처리실(11) 내에 저류한 에칭액(5)을 공급하는 에칭액 공급 관로(21)가 접속되어 있다. 에칭액 공급 관로(21)에는 펌프(22)와 필터(24)와 압력계(23)가 마련되고, 처리실(11) 내의 에칭액(5)은 펌프(22)로부터 필터(24)에 의해 여과된 후, 소정압으로 각 분사 노즐(20)에 공급된다. 분사 노즐(20)에 대한 에칭액의 공급압은 압력계(23)에 의해 계측된다.
분사 노즐(20)은 반송 경로의 상방과 하방에 각각 배치된다. 상측 및 하측의 분사 노즐(20)은 반송 롤러(16)에 의해 반송되는 기판(1)의 윗면 및 아랫면에 에칭액을 각각 분사한다.
에칭액의 성분을 포함하는 처리실(11) 내의 기체는 배기 처리 장치(도시 생략)에 의해 정화 처리된 후, 배기 관로(도시 생략)로부터 대기 중으로 방출된다.
에칭 처리부(12)의 반송 경로(반송 기준면(18))의 상방에는 상측의 분사 노즐(20)로부터 기판(1)의 윗면으로 분사된 에칭액을 흡인하여 제거하는 복수개의 흡인 유닛(기능부)(50)이 배열되어 마련되어 있다. 각 흡인 유닛(50)은 기판(1)의 전체 폭을 덮도록 반송 경로와 대략 직교하는 방향(장치 폭방향)으로 대략 수평 형상으로 연장되는 흡인 파이프(55)(도 5 및 도 6 참조)와, 흡인 파이프(55)의 외주면(外周面)(본 실시형태에서는 아랫면)에 형성되고 반송 기준면(18)(본 실시형태에서는 하방)을 향해 개구하는 복수개의 슬릿 형상의 흡인 노즐(흡인구)(56)(도 6 참조)로 구성되며, 흡인 노즐(56)은 분사 노즐(20)로부터 분사되는 에칭액의 분사 영역의 사이에 배치되고, 그 배치 영역에서 원하는 흡인 작용을 발생시킨다.
각 흡인 파이프(55)는 액체 순환 관로(54)의 도중에 마련된 이젝터(ejector)(52)의 흡인구(52a)에 흡인 관로(51)를 통해 접속되어 있다. 액체 순환 관로(54)는 양끝이 처리실(11) 내와 연통하고, 도중에 순환 펌프(53)가 마련된 폐회로이다. 순환 펌프(53)는 처리실(11) 내의 에칭액(5)을 퍼내고, 이젝터(52)로 압력을 가한 상태로 하여, 다시 처리실(11)로 되돌린다. 액체 순환 관로(54)를 순환하는 에칭액은 이젝터(52)를 통과할 때에, 이젝터(52)의 흡인구(52a)를 부압(負壓)으로 하기 때문에, 기판(1)의 윗면에 분사된 에칭액은 흡인 노즐(56)로부터 흡인 관로(51)를 지나서 흡인된다.
이와 같이, 분사 노즐(20)로부터 분사된 에칭액이 기판(1)의 윗면으로부터 조기에 제거되므로, 에칭액의 분사에 대하여 장해가 될 수 있는 에칭액의 체류 발생을 미연에 방지할 수 있어, 면내 균일성이 높은 에칭을 실시할 수 있다.
다음으로, 각 흡인 유닛(50)(흡인 파이프(55))의 지지 구조(30)에 대해 도 3~도 6을 참조하여 설명한다. 한편, 이하에서는 기판(1)의 반송방향의 상류 측을 후방, 하류 측을 전방, 기판(1)의 반송방향과 직교하는 수평방향을 장치 폭방향(좌우방향), 반송 기준면(18)과 직교하는 방향을 상하방향으로 하여 설명한다.
지지 구조(30)는 상류 측상의 롤러(제1 롤러)(31)와, 하류 측상의 롤러(제2 롤러)(32)와, 슬라이드 블록(승강체)(33)과, 복수개의 승강 가이드(34~37)를 구비하고, 복수개의 흡인 유닛(50)에 대하여 각각 마련된다. 승강 가이드(34~37)는 직사각형상의 블록체에 의해 각각 구성되고, 장치 폭방향의 양측에서 전후방향으로 연장되는 좌우의 장치 프레임(13)의 윗면에, 각각 4개씩 전후방향으로 나란히 배치되며, 장치 프레임(13)에 고정되어 연직 상방으로 연장된다. 장치 폭방향의 각 측의 4개의 승강 가이드(34~37)는 상류 측 승강 가이드(제2 승강방향 규제 수단)(34)와, 중앙 후측 승강 가이드(승강방향 규제 수단, 제2 승강방향 규제 수단)(35)와, 중앙 전측 승강 가이드(승강방향 규제 수단, 제2 승강방향 규제 수단)(36)와, 하류 측 승강 가이드(제2 승강방향 규제 수단)(37)로 구성되고, 이들은 상류 측으로부터 하류 측을 향해 소정의 간격을 두고 직선상으로 늘어선다.
좌우의 장치 프레임(13)의 윗면에는 상하의 상류 측 축 지지블록(38, 39)과, 상기 슬라이드 블록(33)과, 상하의 하류 측 축 지지블록(40, 41)이 각각 배치된다.
상류 측 축 지지블록(38, 39)의 후단면(後端面)과 전단면(前端面)은 상류 측 승강 가이드(34)의 전단면과 중앙 후측 승강 가이드(35)의 후단면에 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 걸어맞추는 오목 형상을 각각 가진다(도 5 참조). 하방의 상류 측 축 지지블록(39)은 상류 측 승강 가이드(34)와 중앙 후측 승강 가이드(35) 사이에 상방으로부터 삽입되고, 승강 가이드(34, 35)와 걸어맞춘 상태에서 장치 프레임(13)의 윗면에 배치되어 지지된다. 상방의 상류 측 축 지지블록(38)은 하방의 상류 측 축 지지블록(39)이 승강 가이드(34, 35)와 걸어맞춰서 장치 프레임(13)의 윗면에 지지된 상태에서, 상류 측 승강 가이드(34)와 중앙 후측 승강 가이드(35) 사이에 상방으로부터 삽입되고, 승강 가이드(34, 35)와 걸어맞춘 상태에서 하방의 상류 측 축 지지블록(39)의 상방에 배치된다.
상류 측 승강 가이드(34)와 중앙 후측 승강 가이드(35)는 상방의 상류 측 축 지지블록(38)(및 후술할 상방의 상류 측 롤러 지지축(42))의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다. 한편, 상류 측 축 지지블록(38, 39)과 상류 측 승강 가이드(34) 및 중앙 후측 승강 가이드(35)의 걸어맞춤 형태는 상기에 한정되지 않고, 상류 측 축 지지블록(38, 39)이 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 형태이면 된다.
상류 측과 마찬가지로, 하류 측 축 지지블록(40, 41)의 후단면과 전단면은 중앙 전측 승강 가이드(36)의 전단면과 하류 측 승강 가이드(37)의 후단면에 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 걸어맞추는 오목 형상을 각각 가진다(도 5 참조). 하방의 하류 측 축 지지블록(41)은 중앙 전측 승강 가이드(36)와 하류 측 승강 가이드(37) 사이에 상방으로부터 삽입되고, 승강 가이드(36, 37)와 걸어맞춘 상태에서 장치 프레임(13)의 윗면에 배치되어 지지된다. 상방의 하류 측 축 지지블록(40)은 하방의 하류 측 축 지지블록(41)이 승강 가이드(36, 37)와 걸어맞춰서 장치 프레임(13)의 윗면에 지지된 상태에서 중앙 전측 승강 가이드(36)와 하류 측 승강 가이드(37) 사이에 상방으로부터 삽입되고, 승강 가이드(36, 37)와 걸어맞춘 상태에서 하방의 하류 측 축 지지블록(41)의 상방에 배치된다.
중앙 전측 승강 가이드(36)와 하류 측 승강 가이드(37)는, 상방의 하류 측 축 지지블록(40)(및 후술할 상방의 하류 측 롤러 지지축(44))의 승강방향을, 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다. 한편, 하류 측 축 지지블록(40, 41)과 중앙 전측 승강 가이드(36) 및 하류 측 승강 가이드(37)의 걸어맞춤 형태는 상기에 한정되지 않고, 하류 측 축 지지블록(40, 41)이 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 형태이면 된다.
슬라이드 블록(33)의 후단면과 전단면은 중앙 후측 승강 가이드(35)의 전단면과 중앙 전측 승강 가이드(36)의 후단면에 상하방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 걸어맞추는 오목 형상을 가진다(도 5 참조). 슬라이드 블록(33)은 중앙 후측 승강 가이드(35)와 중앙 전측 승강 가이드(36) 사이에 상방으로부터 삽입되고, 승강 가이드(35, 36)와 걸어맞춰서 상하방향으로 슬라이딩 가능해진다.
좌우의 상류 측 축 지지블록(38, 39) 사이에는 장치 폭방향으로 연장되는 상류 측 롤러 지지축(42, 43)이 상하로 나란히 각각 배치된다. 상방의 상류 측 롤러 지지축(제1 회전축)(42)의 양 단부(端部)는 좌우 상방의 상류 측 축 지지블록(38)에 회전이 자유롭게 지지되고, 하방의 상류 측 롤러 지지축(43)의 양 단부는 좌우 하방의 상류 측 축 지지블록(39)에 회전이 자유롭게 지지된다.
상방의 상류 측 롤러 지지축(42)에는 복수개의 상류 측상의 롤러(31)가 장치 폭방향으로 이간되어 고정되고, 하방의 상류 측 롤러 지지축(43)에는 복수개의 상류 측하의 롤러(46)가 상류 측상의 롤러(31)와 대향하도록 장치 폭방향으로 이간되어 고정된다. 상류 측하의 롤러(46)와 상류 측상의 롤러(31)는 반송 롤러(16, 17)를 구성하고, 상류 측하의 롤러(46)의 상단은 반송 기준면(18)을 규정한다. 상방의 상류 측 롤러 지지축(42)(상방의 상류 측 축 지지블록(38) 및 상류 측상의 롤러(31))의 최하강 위치는 상방의 상류 측 축 지지블록(38)과 하방의 상류 측 축 지지블록(39)의 접촉 및/또는 상류 측상의 롤러(31)와 상류 측하의 롤러(46)의 접촉에 의해 규정되고, 상류 측상의 롤러(31)가 반송 기준면(18)에 대하여 가장 하강한 초기 높이에서, 상류 측상의 롤러(31)의 하단은 상류 측하의 롤러(46)의 상단(반송 기준면(18))에 근접 또는 접촉한다. 반송 도중의 기판(1)의 전단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단(상류 측상의 롤러(31)와 상류 측하의 롤러(46) 사이)에 달하면, 상류 측하의 롤러(46)의 상하 위치는 변동되지 않으며, 상류 측상의 롤러(31)가 기판(1)의 윗면에 올라타고, 초기 높이로부터 기판(1)의 두께 분량만큼 상승한다. 상류 측상의 롤러(31)가 상승하면, 상방의 상류 측 롤러 지지축(42) 및 상방의 상류 측 축 지지블록(38)도 상승한다. 한편, 상류 측상의 롤러(31)와 상류 측하의 롤러(46)는 구동 롤러이어도 되고, 종동 롤러이어도 된다. 또한, 상류 측하의 롤러(46)를 마련하지 않아도 된다.
좌우의 하류 측 축 지지블록(40, 41) 사이에는 장치 폭방향으로 연장되는 하류 측 롤러 지지축(44, 45)이 상하로 나란히 각각 배치되어 있다. 상방의 하류 측 롤러 지지축(제2 회전축)(44)의 양 단부는 좌우 상방의 하류 측 축 지지블록(40)에 회전이 자유롭게 지지되고, 하방의 하류 측 롤러 지지축(45)의 양 단부는 좌우 하방의 하류 측 축 지지블록(41)에 회전이 자유롭게 지지된다.
상방의 하류 측 롤러 지지축(44)에는 복수개의 하류 측상의 롤러(32)가 장치 폭방향으로 이간되어 고정되고, 하방의 하류 측 롤러 지지축(45)에는 복수개의 하류 측하의 롤러(47)가 하류 측상의 롤러(32)와 대향하도록 장치 폭방향으로 이간되어 고정된다. 하류 측하의 롤러(47)와 하류 측상의 롤러(32)는 반송 롤러(16, 17)를 구성하고, 하류 측하의 롤러(47)의 상단은 반송 기준면(18)을 규정한다. 상방의 하류 측 롤러 지지축(44)(상방의 하류 측 축 지지블록(40) 및 하류 측상의 롤러(32))의 최하강 위치는 상방의 하류 측 축 지지블록(40)과 하방의 하류 측 축 지지블록(41)의 접촉 및/또는 하류 측상의 롤러(32)와 하류 측하의 롤러(47)의 접촉에 의해 규정되고, 하류 측상의 롤러(32)가 반송 기준면(18)에 대하여 가장 하강한 초기 높이에서, 하류 측상의 롤러(32)의 하단은 하류 측하의 롤러(47)의 상단(반송 기준면(18))에 근접 또는 접촉한다. 반송 도중의 기판(1)의 전단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단(하류 측상의 롤러(32)와 하류 측하의 롤러(47) 사이)에 달하면, 하류 측하의 롤러(47)의 상하 위치는 변동되지 않고, 하류 측상의 롤러(32)가 기판(1)의 윗면에 올라타며, 초기 높이로부터 기판(1)의 두께 분량만큼 상승한다. 하류 측상의 롤러(32)가 상승하면, 상방의 하류 측 롤러 지지축(44) 및 상방의 하류 측 축 지지블록(40)도 상승한다. 한편, 하류 측상의 롤러(32)와 하류 측하의 롤러(47)는 구동 롤러이어도 되고, 종동 롤러이어도 된다. 또한, 하류 측하의 롤러(47)를 마련하지 않아도 된다.
상방의 상류 측 축 지지블록(38)과 상방의 하류 측 축 지지블록(40)에는 상방으로 연장되는 상류 측 샤프트(60)와 하류 측 샤프트(61)가 각각 장착된다. 상류 측 샤프트(60)의 하단부와 하류 측 샤프트(61)의 하단부에는 수나사부(62)가 각각 형성되고, 상방의 상류 측 축 지지블록(38)과 상방의 하류 측 축 지지블록(40)에는 상단면으로부터 하방으로 연장되는 암나사 구멍(48)이 각각 형성된다. 각 암나사 구멍(48)에 수나사부(62)를 나사 체결하고, 상류 측 및 하류 측의 너트(63, 64)를 각각 조임으로써, 상류 측 샤프트(60)와 하류 측 샤프트(61)가 상류 측 축 지지블록(38)과 하류 측 축 지지블록(40)에 고정된다.
슬라이드 블록(33)의 상단면에는 역 U 형상의 연결 부재(65)를 개재하여 서포트 플레이트(66)가 고정되고, 서포트 플레이트(66)에는 상하방향으로 관통하는 상류 측 샤프트 삽입통과 구멍(67)과 하류 측 샤프트 삽입통과 구멍(68)이 형성된다. 상류 측 지지블록(38)으로부터 상방으로 돌출되는 상류 측 샤프트(60)의 상측 부분은 상류 측 샤프트 삽입통과 구멍(67)을 삽입통과하고, 하류 측 지지블록(40)으로부터 상방으로 돌출되는 하류 측 샤프트(61)의 상측 부분은 하류 측 샤프트 삽입통과 구멍(68)을 삽입통과한다.
상류 측상의 롤러(31)가 초기 높이로부터 들어 올려지면, 상방의 상류 측 축 지지블록(38)은 상류 측 승강 가이드(34) 및 중앙 후측 승강 가이드(35)에 안내되고, 하방의 상류 측 축 지지블록(39)으로부터 떨어지도록 반송 기준면(18)에 대하여 대략 직교하는 방향으로 상승한다. 상류 측 축 지지블록(38)이 상승하면, 서포트 플레이트(66)가 너트(63)에 의해 밀려 올라가고, 슬라이드 블록(33)도 상류 측상의 롤러(31)와 마찬가지로 상승한다. 슬라이드 블록(33)의 상승방향은 중앙 후측 승강 가이드(35)와 중앙 전측 승강 가이드(36)에 의해, 반송 기준면(18)에 대하여 대략 직교하는 방향으로 규제된다. 한편, 하류 측상의 롤러(32)는 상승하지 않고 초기 높이에 유지된다(도 8 참조).
반대로, 하류 측상의 롤러(32)가 초기 높이로부터 들어 올려지면, 상방의 하류 측 축 지지블록(40)은 중앙 전측 승강 가이드(36) 및 하류 측 승강 가이드(37)에 안내되고, 하방의 하류 측 축 지지블록(41)으로부터 떨어지도록, 반송 기준면(18)에 대하여 대략 직교하는 방향으로 상승한다. 하류 측 축 지지블록(40)이 상승하면, 서포트 플레이트(66)가 너트(64)에 의해 밀려 올라가고, 슬라이드 블록(33)도 하류 측상의 롤러(32)와 마찬가지로 상승한다. 슬라이드 블록(33)의 상승방향은 중앙 후측 승강 가이드(35)와 중앙 전측 승강 가이드(36)에 의해 반송 기준면(18)에 대하여 대략 직교하는 방향으로 규제된다. 한편, 상류 측상의 롤러(31)는 상승하지 않고 초기 높이에 유지된다(도 10 참조).
흡인 유닛(50)(흡인 파이프(55))의 장치 폭방향의 양 단부는 좌우의 슬라이드 블록(33)에 각각 고정되어 지지된다. 슬라이드 블록(33)은 예를 들면 나사 등의 체결 부재를 이용한 체결 고정 외에, 임의의 방법에 의해 고정 가능하다. 흡인 파이프(55)의 내부에는 흡인 노즐(56)로부터 흡인한 에칭액을 정류하는 정류판(57)이 마련되고, 흡인 파이프(55) 내의 에칭액은 정류판(57)에 형성된 관통 구멍(57a)을 유통하며, 관 이음매(58)를 통해 흡인 관로(51)에 유출한다. 슬라이드 블록(33) 및 흡인 유닛(50)(흡인 파이프(55))의 뒤 하단의 가장자리부는 기판(1)과 간섭하기 어렵도록 경사면 형상 또는 만곡면 형상으로 형성되어 있다.
이와 같이, 상류 측상의 롤러(31)는 반송 기준면(18)의 상방에서 반송 기준면(18)에 대하여 승강 가능한 상류 측 롤러 지지축(42)을 가지며, 반송 도중의 기판(1)의 윗면에 올라탄 상태에서 기판(1)의 윗면에 접촉하면서 상류 측 롤러 지지축(42)을 중심으로 하여 회전한다. 하류 측상의 롤러(32)는 상류 측상의 롤러(31)의 반송방향 하류 측의 반송 기준면(18)의 상방에서 반송 기준면(18)에 대하여 승강 가능한 하류 측 롤러 지지축(44)을 가지며, 반송 도중의 기판(1)의 윗면에 올라탄 상태에서 기판(1)의 윗면에 접촉하면서 하류 측 롤러 지지축(44)을 중심으로 하여 회전한다.
슬라이드 블록(33)은 반송 기준면(18)의 상방에서 상방의 상류 측 롤러 지지축(42)과 상방의 하류 측 롤러 지지축(44) 사이에 배치된다. 슬라이드 블록(33)은 상류 측상의 롤러(31) 및 하류 측상의 롤러(32) 쌍방이 기판(1)의 윗면에 올라타지 않은 동안은 반송 기준면(18)에 대하여 소정의 하강 위치에 유지되고, 상류 측상의 롤러(31) 및 하류 측상의 롤러(32) 중 적어도 한쪽이 기판(1)의 윗면에 올라타 있는 동안은, 기판(1)의 윗면에 올라탄 롤러의 회전축(상방의 상류 측 롤러 지지축(42) 및/또는 상방의 하류 측 롤러 지지축(44))에 의해 하강 위치로부터 상방으로 들어 올려져 유지된다.
중앙 후측 승강 가이드(35) 및 중앙 전측 승강 가이드(36)는 하강 위치로부터 승강(상승한 후에 하강)할 때의 슬라이드 블록(33)의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다. 상류 측 승강 가이드(34), 중앙 후측 승강 가이드(35), 중앙 전측 승강 가이드(36), 및 하류 측 승강 가이드(37)는 상방의 상류 측 롤러 지지축(42) 및 상방의 하류 측 롤러 지지축(44)의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제한다.
흡인 유닛(50)(흡인 파이프(55))은 슬라이드 블록(33)이 하강 위치로 강하한 상태에서 반송 기준면(18)의 상방에 위치하도록 슬라이드 블록(33)에 고정적으로 마련되고, 반송 도중의 기판(1)의 윗면에 상방으로부터 대향하여 기능한다.
또한, 기판(1)의 반송방향을 따른 상류 측상의 롤러(31)의 하단과 하류 측상의 롤러(32)의 하단의 거리(상방의 상류 측 롤러 지지축(42)과 상방의 하류 측 롤러 지지축(44)의 거리)는 반송방향을 따른 기판(1)의 전장(전단(반송방향 하류단)과 후단(반송방향 상류단)의 거리)보다도 짧게 설정된다. 반송 도중의 기판(1)의 전단은 상류 측상의 롤러(31)의 하단과 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 순차 통과하고, 기판(1)의 후단은 기판의 전단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단에 도달한 후에 상류 측상의 롤러(31)의 하단을 통과하며, 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 통과한다.
다음으로, 기판(1)의 반송에 따라 승강하는 상류 측상의 롤러(31), 하류 측상의 롤러(32), 슬라이드 블록(33), 및 흡인 유닛(50)의 움직임에 대해, 도 7~도 10을 참조하여 설명한다.
상류 측상의 롤러(31)는, 기판(1) 전단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단에 도달하기 전은 반송 기준면(18)에 대하여 소정의 초기 높이에 유지되고(도 7 참조), 기판(1)의 전단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단에 도달한 후에 기판(1)의 후단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단을 통과할 때까지 동안은 기판(1)의 윗면에 올라타며(도 8 및 도 9 참조), 기판(1)의 후단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단을 통과한 후는 초기 높이로 강하한다(도 10 참조).
하류 측상의 롤러(32)는, 기판(1)의 전단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단에 도달하기 전은 초기 높이에 유지되고(도 7 및 도 8 참조), 상류 측상의 롤러(31)의 하단을 통과한 기판(1)의 전단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단에 도달한 후에 기판(1)의 후단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 통과할 때까지 동안은 기판(1)의 윗면에 올라타며(도 9 및 도 10 참조), 기판(1)의 후단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 통과한 후는 초기 높이로 강하한다(도 7 참조).
슬라이드 블록(33)은, 기판(1)의 전단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단에 도달하기 전은 반송 기준면(18)에 대하여 소정의 하강 위치에 유지된다(도 7 참조). 기판(1)의 전단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단에 도달하고, 상류 측상의 롤러(31)가 기판(1)의 윗면에 올라타면, 슬라이드 블록(33)은 상방의 상류 측 롤러 지지축(42)에 의해 하강 위치로부터 상방으로 들어 올려진다(도 8 참조). 중앙 후측 승강 가이드(35) 및 중앙 전측 승강 가이드(36)는 하강 위치로부터 승강(상승한 후에 하강)할 때의 슬라이드 블록(33)의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제하므로, 슬라이드 블록(33)은 기판(1)의 윗면으로의 상류 측상의 롤러(31)의 올라탐과 대략 동시에 기판(1)의 판 두께(D) 분량만큼 하강 위치로부터 상승한다. 그 후, 기판(1)의 후단이 상류 측상의 롤러(31)의 하단을 통과해도, 하류 측상의 롤러(32)가 기판(1)의 윗면에 올라타 있는 동안은, 슬라이드 블록(33)은 기판(1)의 판 두께(D) 분량만큼 상승한 상승 위치로부터 하강하지 않고, 기판(1)의 후단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 통과할 때까지 상승 위치에 유지된다(도 10 참조). 기판(1)의 후단이 하류 측상의 롤러(32)의 하단을 통과하여 하류 측상의 롤러(32)가 하강하면, 슬라이드 블록(33)은 상승 위치부터 하강 위치로 하강한다(도 7 참조).
슬라이드 블록(33)이 하강 위치로 강하한 상태에서 반송 기준면(18)의 상방(반송 기준면(18)에 대하여 소정의 높이)에 위치하도록 흡인 유닛(50)이 슬라이드 블록(33)에 고정적으로 마련되고, 슬라이드 블록(33)이 상류 측상의 롤러(31)와 하류 측상의 롤러(32) 사이에 배치되며, 슬라이드 블록(33)의 상승 위치가 반송 기준면(18)으로부터 기판(1)의 판 두께(D)보다도 높은 위치가 되므로, 슬라이드 블록(33)은 기판(1)의 전단이 슬라이드 블록(33)의 하방으로 도달할 때까지 동안에 기판(1)(반송 기준면(18))에 대하여 기울지 않고 흡인 유닛(50)과 함께 하강 위치로부터 상승 위치로 상승하며, 기판(1)의 후단이 슬라이드 블록(33)의 하방을 통과한 후에 기판(1)에 대하여 기울지 않고 흡인 유닛(50)과 함께 상승 위치로부터 하강 위치로 하강한다.
따라서, 기판(1)의 판 두께(D)에 상관 없이, 기판(1)의 윗면에 대한 흡인 유닛(50)(흡인 노즐(56))의 높이는 기판(1)의 윗면의 반송방향의 전장역(전후방향의 전역)에서 일정한 위치(높은 흡인 효과가 얻어지도록 기판(1)의 윗면에 근접한 위치)에 유지되고, 흡인 유닛(50)을 효율적으로 기능시킬 수 있다. 또한, 슬라이드 블록(33) 및 흡인 유닛(50)과 기판(1)의 간섭을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 상류 측 승강 가이드(34), 중앙 후측 승강 가이드(35), 중앙 전측 승강 가이드(36), 및 하류 측 승강 가이드(37)가 상방의 상류 측 롤러 지지축(42)의 승강방향 및 상방의 하류 측 롤러 지지축(44)의 승강방향을 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 규제하므로, 슬라이드 블록(33) 및 흡인 유닛(50)이 승강할 때의 거동을 안정시킬 수 있고, 슬라이드 블록(33) 및 흡인 유닛(50)과 기판(1)의 간섭을 더 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 흡인 노즐(56)을 기판(1)의 윗면으로부터 일정한 거리에 유지할 수 있으므로, 기판(1)의 윗면으로부터 에칭액을 효율적으로 흡인하여 제거할 수 있다.
이상, 본 발명에 대해 상기 실시형태에 기초하여 설명을 실시했는데, 본 발명은 상기 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니고, 당연히 본 발명을 일탈하지 않는 범위에서는 적절한 변경이 가능하다.
예를 들면, 흡인 유닛(50)의 지지 구조(30)의 형태는 상기 실시형태에 한정되지 않고, 슬라이드 블록(33)이 제1 및 제2 회전축 중 적어도 한쪽에 의해 들어 올려져 반송 기준면(18)에 대하여 대략 수직방향으로 상승하고, 제1 및 제2 회전축 쌍방이 하강할 때까지 상승 위치를 유지하도록 구성되어 있으면 된다. 예를 들면 도 11 및 도 12에 나타내는 지지 구조(70)의 예에서는 서포트 플레이트(66) 대신에 상류 측 플레이트(71), 하류 측 플레이트(72) 및 중앙 플레이트(73)를 마련하고, 서포트 플레이트(66)에 부대하는 상류 측 샤프트(60) 및 하류 측 샤프트(61)를 생략하고 있다. 상류 측 플레이트(71)는 상방의 상류 측 축 지지블록(38)에 고정적으로 마련되고, 장치 폭방향의 한측이 하류 측으로 연장된다. 도시예의 상류 측 플레이트(71)는 상방의 상류 측 축 지지블록(38)의 윗면에 고정되고, 장치 폭방향의 내측이 하류 측으로 연장된다. 하류 측 플레이트(72)는 상방의 하류 측 축 지지블록(40)에 고정적으로 마련되고, 장치 폭방향의 타측이 상류 측으로 연장된다. 도시예의 하류 측 플레이트(72)는 상방의 하류 측 축 지지블록(40)의 윗면에 고정되고, 장치 폭방향의 외측이 상류 측으로 연장된다. 중앙 플레이트(73)는 슬라이드 블록(33)에 고정적으로 마련되고(도시예에서는 슬라이드 블록(33)의 윗면에 고정되고), 슬라이드 블록(33)보다도 장치 폭방향의 내측 및 외측으로 돌출된다. 상류 측 플레이트(71)의 장치 폭방향의 한측의 전부(前部)는 중앙 플레이트(73)의 장치 폭방향의 한측(도시예에서는 내측)으로 하방으로부터 대향하고, 하류 측 플레이트(72)의 장치 폭방향의 타측의 후부(後部)는 중앙 플레이트(73)의 장치 폭방향의 타측(도시예에서는 외측)으로 하방으로부터 대향한다. 상방의 상류 측 롤러 지지축(42)이 상승하면, 상류 측 플레이트(71)가 중앙 플레이트(73)를 밀어 올리고, 슬라이드 블록(33)이 상승한다. 마찬가지로, 상방의 하류 측 롤러 지지축(44)이 상승하면, 하류 측 플레이트(72)가 중앙 플레이트(73)를 밀어 올리고, 슬라이드 블록(33)이 상승한다. 슬라이드 블록(33)은 상방의 상류 측 롤러 지지축(42) 및 상방의 하류 측 롤러 지지축(44) 쌍방이 하강할 때까지 상승 위치에 유지된다.
또한, 승강체(33)에 고정적으로 마련하는 기능부는 상기 실시형태와 같은 흡인 유닛(50)에 한정되지 않고, 다른 기능을 가지는 것(예를 들면, 기판(1)의 윗면을 향해 기체 및/또는 액체를 분사하는 기능을 가지는 슬릿 노즐 등)이어도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는 슬라이드 블록(33)과 흡인 유닛(50)을 별체로 형성하여 양자를 고정했는데, 양자를 일체로 형성해도 된다.
또한, 흡인 유닛(50)의 지지 구조(30)를 장치 폭방향의 양 단부 대신에 또는 추가하여, 장치 폭방향의 중간부에 마련해도 된다.
1: 기판
5: 에칭액(처리 액체)
10: 에칭 장치(기판 처리 장치)
11: 처리실
12: 에칭 처리부
13: 장치 프레임
16, 17: 반송 롤러(반송 수단)
20: 분사 노즐
30, 70: 흡인 유닛의 지지 구조
31: 상류 측상의 롤러(제1 롤러)
32: 하류 측상의 롤러(제2 롤러)
33: 슬라이드 블록(승강체)
34: 상류 측 승강 가이드(제2 승강방향 규제 수단)
35: 중앙 후측 승강 가이드(승강방향 규제 수단, 제2 승강방향 규제 수단)
36: 중앙 전측 승강 가이드(승강방향 규제 수단, 제2 승강방향 규제 수단)
37: 하류 측 승강 가이드(제2 승강방향 규제 수단)
38: 상방의 상류 측 축 지지블록
39: 하방의 상류 측 축 지지블록
40: 상방의 하류 측 축 지지블록
41: 하방의 하류 측 축 지지블록
42: 상방의 상류 측 롤러 지지축(제1 회전축)
43: 하방의 상류 측 롤러 지지축
44: 상방의 하류 측 롤러 지지축(제2 회전축)
45: 하방의 하류 측 롤러 지지축
46: 상류 측하의 롤러
47: 하류 측하의 롤러
50: 흡인 유닛(기능부)
55: 흡인 파이프
56: 흡인 노즐(흡인구)
60: 상류 측 샤프트
61: 하류 측 샤프트
65: 연결 부재
66: 서포트 플레이트
71: 상류 측 플레이트
72: 하류 측 플레이트
73: 중앙 플레이트

Claims (3)

  1. 누운 자세(倒伏姿勢)의 판 형상 기판의 아랫면이 반송 기준면을 따라 대략 수평으로 이동하도록 상기 기판을 반송하여 처리하는 기판 처리 장치로서,
    상기 반송 기준면의 상방(上方)에서 상기 반송 기준면에 대하여 승강 가능한 제1 회전축을 가지며, 반송 도중의 상기 기판의 윗면에 올라탄 상태에서 상기 기판의 윗면에 접촉하면서 상기 제1 회전축을 중심으로 하여 회전하는 제1 롤러와,
    상기 제1 롤러의 반송방향 하류 측의 상기 반송 기준면의 상방에서 상기 반송 기준면에 대하여 승강 가능한 제2 회전축을 가지며, 반송 도중의 상기 기판의 윗면에 올라탄 상태에서 상기 기판의 윗면에 접촉하면서 상기 제2 회전축을 중심으로 하여 회전하는 제2 롤러와,
    상기 반송 기준면의 상방에서 상기 제1 회전축과 상기 제2 회전축 사이에 배치되며, 상기 제1 및 제2 롤러 쌍방이 상기 기판의 윗면에 올라타지 않은 동안은 상기 반송 기준면에 대하여 소정의 하강 위치에 유지되고, 상기 제1 및 제2 롤러 중 적어도 한쪽이 상기 기판의 윗면에 올라타 있는 동안은 상기 기판의 윗면에 올라탄 롤러의 회전축에 의해 상기 하강 위치로부터 수직 상방으로 들어 올려져 상기 기판의 윗면에 대해 수평 상태로 유지되는 승강체와,
    상기 하강 위치로부터 승강할 때의 상기 승강체의 승강방향을 상기 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제하는 승강방향 규제 수단과,
    상기 승강체가 상기 하강 위치로 강하한 상태에서 상기 반송 기준면의 상방에 위치하도록 상기 승강체에 고정적으로 마련되거나 또는 상기 승강체에 일체로 형성되고, 반송 도중의 상기 기판의 윗면에 상방으로부터 대향하여 기능하는 기능부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 회전축의 승강방향 및 상기 제2 회전축의 승강방향을 상기 반송 기준면에 대하여 대략 수직방향으로 규제하는 제2 승강방향 규제 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기능부는 상기 기판의 윗면으로부터 액체를 흡인하는 흡인구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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