KR102415202B1 - 진공 증착 장치 - Google Patents

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KR102415202B1 KR1020210142817A KR20210142817A KR102415202B1 KR 102415202 B1 KR102415202 B1 KR 102415202B1 KR 1020210142817 A KR1020210142817 A KR 1020210142817A KR 20210142817 A KR20210142817 A KR 20210142817A KR 102415202 B1 KR102415202 B1 KR 102415202B1
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vacuum deposition
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전기용
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(주)한국이엔이
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Abstract

본 발명은 흡착물을 진공 상태에서 회전시켜 피막 조성물을 흡착시킬 수 있는 진공 증착 장치에 대한 것이며, 구체적으로 흡착물과 피막 조성물이 수용되는 함체와 함체의 내부 공기를 흡입하는 흡입장치와 함체의 내부에 형성되며, 흡착물이 거치되는 거치대와 복수의 거치대가 고정되며, 함체의 하단에 형성되는 고정장치를 구비한다.

Description

진공 증착 장치{Vacuum Deposition Apparatus}
본 발명은 흡착물을 진공 상태에서 회전시켜 피막 조성물을 흡착시킬 수 있는 진공 증착 장치에 대한 것이다.
특허문헌 001은 진공실; 상기 진공실의 내부 공간에 설치되며, 피막 조성물이 담겨지고, 상기 피막 조성물을 증기 상태의 피막 조성물 증기로 변환되게 가열하는 증발 용기; 상기 증발 용기에 연통되면서, 상기 피막 조성물 증기를 기 설정된 방향으로 유도하는 증기 이송관; 및 상기 증기 이송관에 설치되어, 외부의 제어 신호에 따라 상기 피막 조성물 증기를 배출시키는 방향이 달라지도록 작동되는 증기 제어 밸브;를 구비하고, 상기 증기 이송관은 상기 피막 조성물 증기를 물체의 표면으로 유도하는 제1 증기 배출관; 및 상기 제1 증기 배출관의 어느 일 지점에 연통되면서 상기 피막 조성물 증기의 배출경로를 달리하는 제2 증기 배출관;을 구비하고, 상기 증기 제어 밸브는 상기 제1 증기 배출관에 설치되면서 상기 피막 조성물 증기의 유도 흐름을 선택적으로 개폐하는 제1 증기 제어 밸브; 및 상기 제2 증기 배출관에 설치되면서 상기 제1 증기 제어 밸브에 연동되어 상기 피막 조성물 증기의 유도 흐름을 선택적으로 개폐하는 제2 증기 제어 밸브를 포함하는 기술을 제시하고 있다.
특허문헌 002는 진공용기의 내주면에 장착되는 베드와; 상기 베드의 상면에 결합되어 피증착소재의 외면을 차단하는 복수개의 외면차단부재와; 상기 베드의 상면에 결합되는 지그 프레임과; 상기 지그 프레임에 결합되며 상기 외면차단부재에 씌워져 피증착소재 내면의 증착부위는 노출시키고 비증착부위를 차단하는 복수개의 내면차단부재 및; 상기 베드와 지그 프레임을 착탈 가능하게 결합하는 결합수단을 포함하여 구성되는 진공증착 지그와, 복수개의 외면차단부재가 결합되며 하면에 가동래치가 구비된 베드와, 내면차단부재가 결합되며 상기 베드의 상면에 복개됨과 아울러 상기 가동래치에 대응하는 고정후크가 구비된 지그 프레임을 포함하는 진공증착 지그가 탑재되는 베이스와; 상기 진공증착 지그의 가동래치를 개폐구동시키는 개폐구동수단을 포함하는 기술을 제시하고 있다.
특허문헌 003은 기판이 배치된 압력을 감소시킬 수 있는 반응 용기 내로 원료 가스를 공급하기 위한 수단과 상기 기판이 배치된 상기 반응 용기 내로 고주파 전력을 공급하기 위한 고주파 전력 공급 수단을 포함하며, 원료 가스는 기판 상에 증착 피막을 형성시킬 수 있도록 고주파 전력에 의해 분해될 수 있으며, 상기 고주파 전력공급 수단의 공급부는 다수의 부재를 포함하고, 상기 고주파 전력 공급부는 기부 부재로서 기능하는 전도성 부재 및 증착 피막에 대해 높은 부착성을 가지며 전도성 부재의 표면을 덮는 재질을 포함하는 기술을 제시하고 있다.
특허발명 004는 챔버 내부에 회전모터에 의해 회전되는 회전판을 설치하고, 상기 회전판에는 다수 개의 도가니를 설치하고 상기 각각의 도가니 안에 증발물질을 안치시키되, 상기 회전판과 각각의 도가니는 챔버의 천정 부위에 설치되며, 챔버 내부에 설치된 전자총에서 발생되는 고온의 전자를 상기 회전판의 도가니로 유도하여 도가니 내부의 증발물질을 증발시키고 증발된 증발물질이 챔버 하부에 위치한 작업물에 날아와서 증착되는 기술을 제시하고 있다.
KR 10-2009-0066569 A (2009년06월24일) KR 20-0409869 Y1 (2006년02월21일) KR 10-1996-0023227 A (1996년07월18일) KR 10-2010-0057770 A (2010년06월01일)
본 발명은 흡착물을 진공 상태에서 회전시켜 피막 조성물을 흡착시킬 수 있는 진공 증착 장치에 대한 것이다.
종래발명들의 문제점을 해결하기 위한 것이며, 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것으로 흡착물(10)과 피막 조성물(20)이 수용되는 함체(100); 상기 함체(100)의 내부 공기를 흡입하는 흡입장치(200); 상기 함체(100)의 내부에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 거치대(300); 복수의 상기 거치대(300)가 고정되며, 상기 함체(100)의 하단에 형성되는 고정장치(500);를 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 함체(100)에 형성되며, 상기 함체(100) 내부의 온도를 상승시키는 가열장치(110); 상기 함체(100)와 연결되며, 냉각가스를 공급하여 상기 흡착물(10) 및 피막 조성물(20)을 냉각시키는 냉각장치(120);를 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 흡입장치(200)에 연결되며, 상기 함체(100) 내부의 공기를 흡입하는 흡입펌프(210);를 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 거치대(300)에 형성되며, 상기 고정장치(500)에 고정되는 고정축(310); 상기 고정축(310)에 결합되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 지그(400);를 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 지그(400)에 형성되며, 상기 고정축(310)에 체결되는 프레임(410); 상기 프레임(410)의 외측에 형성되며, 복수로 형성되어 상기 흡착물(10)이 체결되는 체결판(420);을 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 체결판(420)에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 고정되는 고정부재(430);를 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 고정장치(500)에 형성되며, 상기 거치대(300)가 고정되는 고정부(510); 상기 고정부(510)의 하단에 형성되며, 상기 고정부(510)를 회전시키는 회전부(520);를 부가한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 함체(100); 흡입장치(200); 거치대(300); 고정장치(500);로 이루어지는 발명에 상기 고정부(510)에 형성되며, 복수의 상기 거치대(300)를 각각 회전시키는 회전장치(530);를 부가한다.
본 발명은 진공 상태에서 함체 내부를 가열함에 따라 피막 조성물을 상승시켜 흡착물에 원활히 흡착되는 것이다.
본 발명은 함체 내부를 가열한 후 냉각함에 따라 피막 조성물이 흡착물에 효과적으로 증착되는 것이다.
본 발명은 함체 내부에 거치대가 복수로 형성되어 복수의 흡착물에 피막 조성물을 증착시킬 수 있는 것이다.
본 발명은 복수의 거치대를 고정하는 고정판이 회전함에 따라 흡착물에 피막 조성물이 효과적으로 증착되는 것이다.
본 발명은 각각의 거치대가 회전함에 따라 흡착물에 피막 조성물이 효과적으로 증착되는 것이다.
본 발명은 다양한 형태로 지그가 형성되어 다양한 종류의 흡착물에 피막 조성물을 증착하는 것이다.
도 1은 본 발명의 진공 증착 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 진공 증착 장치의 단면도.
도 3은 본 발명의 거치대의 사시도.
도 4는 본 발명의 지그의 단면도.
도 5는 다른 실시예에 따른 다양한 지그의 형상을 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 지그의 고정부재를 나타낸 단면도.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.
아래의 실시예에서 인용하는 번호는 인용대상에만 한정되지 않으며, 모든 실시예에 적용될 수 있다. 실시예에서 제시한 구성과 동일한 목적 및 효과를 발휘하는 대상은 균등한 치환대상에 해당된다. 실시예에서 제시한 상위개념은 기재하지 않은 하위개념 대상을 포함한다.
(실시예 1-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 있어서, 함체(100) 내부에 형성되며, 흡착물(10)과 피막 조성물(20)이 수용되는 함체(100); 상기 함체(100)의 내부 공기를 흡입하는 흡입장치(200); 상기 함체(100)의 내부에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 거치대(300); 복수의 상기 거치대(300)가 고정되며, 상기 함체(100)의 하단에 형성되는 고정장치(500);를 포함한다.
(실시예 1-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 1-1에 있어서, 상기 함체(100)에 형성되며, 상기 고정장치(500)에 결합되는 결합함체(101); 상기 결합함체(101)에 체결되며, 일방향으로 개폐되는 개폐함체(102);를 포함한다.
(실시예 1-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 1-2에 있어서, 상기 함체(100)의 내측에 형성되며, 밀폐력을 향상시키는 밀폐부재;를 포함한다.
(실시예 1-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 1-3에 있어서, 상기 함체(100)에 형성되며, 상기 흡입장치(200)와 연결되어 공기가 흡입되는 흡입구;를 포함한다.
(실시예 1-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 1-1에 있어서, 상기 흡입구에 형성되며, 상기 피막 조성물(20)의 이탈을 방지하는 이탈방지밸브;를 포함한다.
본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 구체적으로 진공 증착 장치는 진공 상태에서 물건의 표면에 피막 조성물(20)을 흡착시켜 피막을 형성시키는 것이다. 이러한 진공 증착 장치는 공기를 흡입하여 내부가 진공상태로 유지되는 함체(100)가 형성되며, 함체(100)의 내부에 형성되는 거치대(300)에 흡착물(10)이 거치됨에 따라 피막 조성물(20)이 흡착물(10)에 흡착된다. 이때, 함체(100)는 도 1을 참조하면, 내부에 흡착물(10)을 거치하기 위하여 결합함체(101)와 개폐함체(102)가 형성되며, 개폐함체(102)가 회전 또는 승하강하여 흡착물(10)이 거치대(300)에 거치되는 것이다. 개폐함체(102)는 결합함체(101)와 동일하게 내부에 밀폐부재가 형성되며, 개폐함체(102)와 결합함체(101)가 체결된 후 흡입장치(200)에 의하여 공기를 흡입할 때 공기의 유출을 방지할 수 있다. 그리고 흡입장치(200)와 연결되는 함체(100)의 내부에는 흡입구가 형성되며, 흡입구는 피막 조성물(20)이 흡입장치(200)로 전달되지 않도록 이탈방지밸브에 의하여 이탈방지판을 개폐할 수 있다.
이와 같이 함체(100) 내부에 거치되는 흡착물(10)은 플라스틱, 금속, 목재 등 다양한 재료의 물건들로 형성될 수 있으며, 본 발명에서 흡착물(10)의 종류는 한정하지 않는다. 그리고 흡착물(10)에 흡착되는 피막 조성물(20)은 알루미늄, 아연, 금, 은, 크롬, 니켈, 구리, 셀렌, 플루오르화마그네슘, 황화아연, 일산화규소 등 다양하게 형성된다. 또한, 흡착물(10)은 거치대(300)에 거치된 후 고정장치(500)에 의하여 회전함에 따라 보다 효과적으로 피막 조성물(20)들이 흡착물(10)에 부착될 수 있다.
따라서, 본 발명의 진공 증착 장치는 진공 상태의 함체(100) 내부에서 가열 및 냉각시켜 피막 조성물(20)이 흡착물(10)에 효과적으로 도금되는 특징을 가진다.
(실시예 2-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 함체(100)에 형성되며, 상기 함체(100) 내부의 온도를 상승시키는 가열장치(110); 상기 함체(100)와 연결되며, 냉각가스를 공급하여 상기 흡착물(10) 및 피막 조성물(20)을 냉각시키는 냉각장치(120);를 포함한다.
(실시예 2-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 2-1에 있어서, 상기 가열장치(110)는 상기 함체(100) 내부로 열풍을 공급하는 열풍장치로 형성되는 것;을 포함한다.
(실시예 2-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 2-2에 있어서, 상기 열풍장치는 상기 함체(100)와 이격되어 형성되는 가열케이스; 상기 가열케이스에 형성되며, 열풍을 공급하는 열풍공급장치;를 포함한다.
(실시예 2-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 2-1에 있어서, 상기 가열장치(110)에 형성되며, 상기 함체(100) 내부에 형성되어 플라즈마를 발생하는 플라즈마 발생장치;를 포함한다.
(실시예 2-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 2-1에 있어서, 상기 가열장치(110)는 상기 함체(100) 외측에 형성되며, 전류에 의하여 상기 함체(100) 내부의 온도를 상승시키는 전류가열장치(110);를 포함한다.
(실시예 2-6) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 2-1에 있어서, 상기 냉각장치(120)에 형성되며, 냉각가스를 분사하는 분사장치; 상기 분사장치에 형성되며, 냉각가스를 공급하는 송풍장치;를 포함한다.
본 발명은 함체(100)에 대한 것이며, 구체적으로 함체(100)는 내부의 온도를 조절하여 피막 조성물(20)이 흡착물(10)에 효과적으로 흡착되도록 하는 것이다. 이러한 함체(100)는 도 2를 참조하면, 내부의 온도를 상승시키는 가열장치(110)가 형성되며, 가열장치(110)는 열풍, 플라즈마, 열선 등에 의하여 내부의 온도를 상승시킨다. 이때, 열풍으로 함체(100) 내부의 온도를 상승시키기 위하여 가열장치(110)는 열풍장치로 형성되며, 열풍장치는 함체(100)와 이격되어 형성되어 열풍을 공급하는 것이다. 열풍장치는 함체(100)와 이격되어 공급관에 의하여 열풍을 공급하는 가열케이스와 가열케이스에 형성되어 열풍을 생성하여 공급하는 열풍공급장치로 형성된다. 열풍공급장치는 가스, 기름 등이 연소하여 발생하는 열을 송풍기를 통해 함체(100)로 공급하는 것이다.
그리고 다른 실시 예로 함체(100) 내부에 플라즈마 발생장치로 형성되는 가열장치(110)가 형성되어 플라즈마에 의하여 함체(100) 내부의 온도를 상승시킬 수 있다. 그리고 또 다른 실시 예로 함체(100) 외측에 열선이 형성되어 전류에 의하여 함체(100) 내부의 온도를 상승시키는 전류가열장치(110)가 형성된다.
이와 같이 가열장치(110)는 다양한 방법으로 함체(100) 내부의 온도를 상승시켜 피막 조성물(20)이 흡착물(10)에 흡착되는 것이며, 흡착된 피막 조성물(20)은 냉각장치(120)에 의하여 냉각되어 흡착물(10)에 피막 조성물(20)이 피막 형태로 증착되는 것이다. 이때, 냉각장치(120)는 냉각수, 냉각가스 등이 공급되어 함체(100) 내부의 온도를 하강시키는 것으로 냉각장치(120)는 냉각판을 관통하는 냉각수 또는 가스가 냉각되어 분사되는 분사장치가 형성되며, 분사장치에 의하여 분사되는 냉각가스는 송풍장치에 의하여 함체(100) 내부로 공급되는 것이다.
따라서, 본 발명의 함체(100)는 피막 조성물(20)이 흡착물(10)에 흡착된 후 고정되도록 함체(100) 내부의 온도를 가열한 후 냉각시키는 특징을 가진다.
(실시예 3-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 2-1에 있어서, 상기 흡입장치(200)에 연결되며, 상기 함체(100) 내부의 공기를 흡입하는 흡입펌프(210);을 포함한다.
(실시예 3-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 3-1에 있어서, 상기 흡입장치(200)에 형성되며, 상기 흡입펌프(210)가 수용되는 흡입케이스(220);를 포함한다.
(실시예 3-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 3-1에 있어서, 상기 흡입펌프(210)와 상기 함체(100)를 연결하는 연결관(230);을 포함한다.
(실시예 3-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 3-3에 있어서, 상기 연결관(230)에 형성되며, 공기 흡입량을 조절하는 조절밸브;를 포함한다.
(실시예 3-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 3-3에 있어서,상기 연결관(230)에 형성되며, 상기 함체(100) 내부의 공기압을 측정하는 계측센서;를 포함한다.
본 발명은 흡입장치(200)에 대한 것이며, 구체적으로 흡입장치(200)는 함체(100)와 이격되어 형성되며, 함체(100) 내부의 공기를 흡입하여 진공으로 유지시키는 것이다. 이러한 흡입장치(200)는 함체(100) 내부의 공기를 흡입하는 흡입펌프(210)가 형성되며, 흡입펌프(210)는 흡입케이스(220)에 수용되어 형성된다. 흡입케이스(220)는 함체(100)와 연결관(230)에 의하여 연결되는 것으로 함체(100)와 이격되어 형성됨이 바람직하다. 그리고 흡입펌프(210)는 다양한 종류의 펌프로 형성되며, 이에 대해 한정하지 않는다. 또한, 흡입케이스(220)와 함체(100)를 연결하는 연결관(230)은 계측센서가 형성되어 함체(100)의 공기압을 측정하며, 함체(100)의 내부가 진공 상태로 형성될 경우 흡입펌프(210)에서 공기 흡입을 중단하는 것이다. 그리고 연결관(230)에는 조절밸브가 형성되어 계측센서에 따라 흡입펌프(210)에서 흡입되는 흡입량을 조절하는 것이다. 이때, 조절밸브는 흡착물(10)에 피막 조성물(20)이 흡착된 후 함체(100) 내부로 공기를 주입하도록 조절하는 것이다.
(실시예 4-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 3-1에 있어서, 상기 거치대(300)에 형성되며, 상기 고정장치(500)에 고정되는 고정축(310); 상기 고정축(310)에 결합되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 지그(400);를 포함한다.
(실시예 4-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 4-1에 있어서, 상기 고정축(310)에 형성되며, 상기 지그(400)가 결합되는 결합장치;를 포함한다.
(실시예 4-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 4-2에 있어서, 상기 고정축(310)은 상기 지그(400)의 형상과 동일한 단면 형상으로 형성되는 것;을 포함한다.
(실시예 4-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 4-2에 있어서, 상기 고정축(310)과 상기 지그(400)는 금속 재질로 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명은 거치대(300)에 대한 것이며, 구체적으로 거치대(300)는 흡착물(10)이 거치되는 것이다. 이러한 거치대(300)는 도 3을 참조하면, 함체(100)의 내부에 복수로 형성되며, 등간격으로 형성됨에 따라 흡착물(10)에 균일하게 피막 조성물(20)이 흡착되도록 한다. 그리고 거치대(300)는 고정장치(500)에 고정되는 고정축(310)이 형성되며, 고정축(310)은 수직으로 고정장치(500)에 고정된다. 이때, 고정축(310)에는 지그(400)가 체결되어 지그(400)의 외측에 흡착물(10)이 거치된다. 고정축(310)은 지그(400)가 고정장치(500)에서 이격되어 형성되도록 지그(400)를 고정축(310)에서 고정하는 결합장치가 형성된다. 결합장치는 클램프, 클립, 너트 등 다양한 종류로 형성된다. 그리고 고정축(310)과 지그(400)는 금속 재질로 형성되어 함체(100) 내부의 온도에 따라 변형이 발생하지 않는다. 그리고 고정축(310)은 원형의 형상으로 형성되거나 지그(400)와 동일한 단면 형상으로 형성되어 고정축(310)에 의하여 지그(400)가 원활히 고정되도록 한다.
따라서, 본 발명의 거치대(300)는 함체(100) 내부에 형성되어 흡착물(10)을 거치하는 특징을 가진다.
(실시예 5-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 4-1에 있어서, 상기 지그(400)에 형성되며, 상기 고정축(310)에 체결되는 프레임(410); 상기 프레임(410)의 외측에 형성되며, 복수로 형성되어 상기 흡착물(10)이 체결되는 체결판(420);을 포함한다.
(실시예 5-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 5-1에 있어서, 상기 프레임(410)에 형성되며, 상기 고정축(310)에 고정되는 고정프레임(411); 상기 고정프레임(411)에서 상기 체결판(420)으로 연장되는 연장프레임(412);을 포함한다.
(실시예 5-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 5-2에 있어서, 상기 연장프레임(412)은 복수의 상기 체결판(420)이 접하는 위치로 연장되어 형성되는 것;을 포함한다.
(실시예 5-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 5-3에 있어서, 상기 프레임(410)에 형성되며, 복수의 상기 연장프레임(412)을 연결하는 체결프레임(413);을 포함한다.
(실시예 5-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 5-1에 있어서, 상기 체결판(420)의 양측면에 형성되며, 타 체결판(420)과 적층되도록 형성되는 접합판(421);을 포함한다.
(실시예 5-6) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 5-1에 있어서, 상기 접합판(421)은 곡면의 형상으로 형성되며, 중심에 상기 연장프레임(412)이 체결되는 체결홀(422);을 포함한다.
본 발명은 지그(400)에 대한 것이며, 구체적으로 지그(400)는 고정축(310)에 결합되어 흡착물(10)이 체결되는 것이다. 이러한 지그(400)는 고정축(310)에 체결되는 프레임(410)이 형성되며, 프레임(410)은 고정되는 고정프레임(411)과 고정프레임(411)의 외측으로 연장되는 연장프레임(412)이 형성된다. 이때, 고정프레임(411)은 고정축(310)과 동일한 단면 형상으로 형성되어 고정축(310)에서 지그(400)가 이탈되지 않도록 한다. 이때, 고정프레임(411)은 등간격으로 복수가 형성됨에 따라 고정축(310)이 고정장치(500)에서 회전할 때 지그(400)가 이탈되는 것을 방지한다. 그리고 연장프레임(412)은 지그(400)의 형상에 따라 수량이 다양하게 형성되며, 연장프레임(412)은 고정프레임(411)에서 복수의 체결판(420)이 접하는 위치로 연장된다. 이때, 체결판(420)에는 양측면에 각각 형성되는 접합판(421)이 형성되며, 접합판(421)은 곡면의 형상으로 형성되어 흡착물(10)의 크기 및 종류에 따라 지그(400)의 형상이 다양하게 형성되어도 서로 원활히 변형되는 것이다. 그리고 접합판(421)에는 도 4에 도시된 바와 같이 중심에 체결홀(422)이 형성되며, 체결홀(422)은 복수의 체결판(420)이 접함에 따라 복수의 접합판(421)이 적층되었을 때 일치하도록 형성된다. 그리고 체결홀(422)에는 연장프레임(412)이 체결되는 것으로 연장프레임(412)에 의하여 복수의 체결판(420)이 고정되는 것이다.
또한, 프레임(410)은 고정프레임(411)의 외측으로 형성되며, 복수의 연장프레임(412)에 고정되는 체결프레임(413)이 형성되어 지그(400)를 보다 효과적으로 고정축(310)에 고정한다. 그리고 체결프레임(413)은 원형 형상으로 형성되어 연장프레임(412)에 고정됨과 동시에 체결판(420)의 후면에 접함에 따라 체결판(420)이 절곡되거나 변형되는 것을 방지할 수 있다.
그리고 체결판(420)은 도 5를 참조하면, 프레임(410)의 외측에 사각, 삼각 등 다각형의 단면형상으로 형성되도록 복수가 서로 접하도록 형성되며, 체결판(420)은 고정축(310)에 수직으로 길게 형성됨에 따라 복수의 흡착물(10) 또는 크기가 큰 흡착물(10)이 다양하게 부착될 수 있다.
따라서, 본 발명의 지그(400)는 흡착물(10)이 고정되어 고정축(310)에 고정되는 특징을 가진다.
(실시예 6-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 5-1에있어서, 상기 체결판(420)에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 고정되는 고정부재(430);를 포함한다.
(실시예 6-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 6-1에 있어서, 상기 고정부재(430)는 상기 체결판(420)에 결합되는 결합체(431); 상기 결합체(431)의 외측에 형성되며, 상기 흡착물(10)을 고정하는 고정체(432);를 포함한다.
(실시예 6-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 6-2에 있어서, 상기 고정체(432)는 클립, 클램프, 볼트 중 선택된 하나로 형성되는 것;을 포함한다.
(실시예 6-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 6-1에 있어서, 상기 체결판(420)의 외측에 형성되며, 상기 흡착물(10)에 피막 조성물(20)의 흡착을 방지하는 마스킹부재(440);를 포함한다.
(실시예 6-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 6-1에 있어서, 상기 마스킹부재(440)는 합성수지, 테이프, 금속 중 선택된 하나로 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명은 체결판(420)에 대한 것이며, 구체적으로 체결판(420)은 금속 재질로 형성되어 흡착물(10)을 고정하는 고정부재(430)가 형성되는 것이다. 이러한 체결판(420)은 고정축(310)의 외측에 형성되는 것으로 흡착물(10)이 고정되는 고정부재(430)가 형성되며, 고정부재(430)는 도 6을 참조하면, 체결판(420)에 결합되는 결합체(431)가 형성된다. 결합체(431)는 복수의 타공홀이 형성되는 체결판(420)일 경우 타공홀에 억지끼움으로 결합되거나 볼트 및 너트에 의하여 고정될 수 있다. 그리고 결합체(431)의 외측에는 클립, 클램프, 볼트, 자석 등의 고정체(432)가 형성되어 흡착물(10)이 체결판(420)에 고정되는 것이다.
또한, 체결판(420)의 외측에는 마스킹부재(440)가 형성되며, 마스킹부재(440)는 흡착물(10)에서 피막 조성물(20)의 흡착을 방지한다. 이때, 마스킹부재(440)는 합성수지, 테이프, 금속 등 다양한 재질로 형성되며, 마스킹부재(440)는 흡착물(10)에 피막 조성물(20)이 흡착되는 위치만 관통되어 형성되고 나머지는 막힘 구조로 형성된다.
(실시예 7-1) 본 발명은 진공 증착 장치에 대한 것이며, 실시예 6-1에있어서, 상기 고정장치(500)에 형성되며, 상기 거치대(300)가 고정되는 고정부(510); 상기 고정부(510)의 하단에 형성되며, 상기 고정부(510)를 회전시키는 회전부(520);를 포함한다.
(실시예 7-2) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 7-1에 있어서, 상기 고정부(510)에 형성되며, 상기 거치대(300)가 고정되는 고정판(511); 상기 고정판(511)과 이격되어 형성되며, 상기 회전부(520)가 형성되는 회전판(512);을 포함한다.
(실시예 7-3) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 7-1에 있어서, 상기 고정판(511)에 형성되며, 상기 거치대(300)를 각각 회전시키는 회전장치(530);를 포함한다.
(실시예 7-4) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 7-1에 있어서, 상기 회전장치(530)에형성되며, 상기 고정축(310)을 회전시키는 제 1회전모터(531);를 포함한다.
(실시예 7-5) 본 발명의 진공 증착 장치는 실시예 7-4에 있어서, 상기 회전부(520)에 형성되며, 상기 고정판(511)을 회전시키는 제 2회전모터(521);를 포함한다.
본 발명은 고정장치(500)에 대한 것이며, 구체적으로 고정장치(500)는 함체(100)의 하단에 형성되며, 복수의 거치대(300)가 거치되어 흡착물(10)을 회전시키는 것이다. 이러한 고정장치(500)는 거치대(300)가 고정되는 고정부(510)가 형성되며, 고정부(510)는 복수의 거치대(300)가 형성된다. 이때, 복수의 거치대(300)는 고정부(510)에 형성되는 고정판(511)에 고정되고 고정판(511)은 회전부(520)에 의하여 회전한다. 고정판(511)은 복수의 거치대(300)를 고정시키고 고정판(511)의 하단에는 고정판(511)과 이격되어 회전판(512)이 형성된다. 회전판(512)은 회전부(520)가 형성되며, 회전부(520)의 제 2회전모터(521)에 의하여 고정판(511)이 회전하는 것이다. 그리고 고정판(511)에는 복수의 거치대(300)를 각각 회전시키는 회전장치(530)가 형성되며, 회전장치(530)는 제 1회전모터(531)가 형성됨에 따라 각각의 거치대(300)를 회전시킨다. 이는 진공 상태의 함체(100) 내부에서 피막 조성물(20)이 지면에서 상승함에 따라 흡착물(10)에 원활히 흡착되도록 흡착물(10)을 회전하여 상승한 피막 조성물(20)을 효과적으로 흡착시키는 것이다. 그리고 고정장치(500)는 흡착물(10)에 흡착된 피막 조성물(20)이 냉각되었을 때 제거되지 않도록 냉각과정에서 흡착물(10)을 회전시키지 않는다.
따라서, 본 발명의 고정장치(500)는 흡착물(10)을 회전시켜 피막 조성물(20)이 효과적으로 흡착되도록 하는 특징을 가진다.
10: 흡착물 20: 피막 조성물
100: 함체 101: 결합함체
102: 개폐함체 110: 가열장치
120: 냉각장치 200: 흡입장치
210: 흡입펌프 220: 흡입케이스
230: 연결관 300: 거치대
310: 고정축 400: 지그
410: 프레임 411: 고정프레임
412: 연장프레임 413: 체결프레임
420: 체결판 421: 접합판
422: 체결홀 430: 고정부재
431: 결합체 432: 고정체
440: 마스킹부재 500: 고정장치
510: 고정부 511: 고정판
512: 회전판 520: 회전부
521: 제 2회전모터 530: 회전장치
531: 제 1회전모터

Claims (8)

  1. 흡착물(10)과 피막 조성물(20)이 수용되는 함체(100);
    상기 함체(100)의 내부 공기를 흡입하는 흡입장치(200);
    상기 함체(100)의 내부에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 거치대(300);
    복수의 상기 거치대(300)가 고정되며, 상기 함체(100)의 하단에 형성되는 고정장치(500);
    상기 거치대(300)에 형성되며, 상기 고정장치(500)에 고정되는 고정축(310);
    상기 고정축(310)에 결합되며, 상기 흡착물(10)이 거치되는 지그(400);
    상기 지그(400)에 형성되며, 상기 고정축(310)에 체결되는 프레임(410);
    상기 프레임(410)의 외측에 형성되며, 복수로 형성되어 상기 흡착물(10)이 체결되는 체결판(420);
    상기 프레임(410)에 형성되며, 상기 고정축(310)에 고정되는 고정프레임(411);
    상기 고정프레임(411)에서 상기 체결판(420)으로 연장되는 연장프레임(412);
    상기 프레임(410)에 형성되며, 원형 형상으로 형성되어 복수의 상기 연장프레임(412)을 연결하는 체결프레임(413);
    상기 체결판(420)의 양측면에 형성되며, 타 체결판(420)과 적층되도록 형성되는 접합판(421);을 포함하는 진공 증착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 함체(100)에 형성되며, 상기 함체(100) 내부의 온도를 상승시키는 가열장치(110);
    상기 함체(100)와 연결되며, 냉각가스를 공급하여 상기 흡착물(10) 및 피막 조성물(20)을 냉각시키는 냉각장치(120);를 포함하는 진공 증착 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡입장치(200)에 연결되며, 상기 함체(100) 내부의 공기를 흡입하는 흡입펌프(210);를 포함하는 진공 증착 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 체결판(420)에 형성되며, 상기 흡착물(10)이 고정되는 고정부재(430);를 포함하는 진공 증착 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정장치(500)에 형성되며, 상기 거치대(300)가 고정되는 고정부(510);
    상기 고정부(510)의 하단에 형성되며, 상기 고정부(510)를 회전시키는 회전부(520);를 포함하는 진공 증착 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 고정부(510)에 형성되며, 복수의 상기 거치대(300)를 각각 회전시키는 회전장치(530);를 포함하는 진공 증착 장치.
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