KR102261207B1 - 알루미늄 증착 공법 - Google Patents

Abstract

알루미늄 증착 공법 수행시 충격을 흡수할 수 있는 거치대를 사용하는 것으로 균일한 두께로 증착될 수 있으며, 증착시 불량의 발생을 최소화할 수 있는 알루미늄 증착 공법을 개시한다.
본 발명은 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계; 상기 거치대를 상기 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계; 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계; 및 상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계를 포함하는 알루미늄 증착 공법을 제공한다.

Description

알루미늄 증착 공법{Method for aluminum deposition}

본 발명은 알루미늄 증착 공법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 알루미늄 증착 공법 수행시 충격을 흡수할 수 있는 거치대를 사용하는 것으로 균일한 두께로 증착될 수 있으며, 증착시 불량의 발생을 최소화할 수 있는 알루미늄 증착 공법에 관한 것이다.

일반적으로 여성들은 자신의 얼굴이 화사하면서 아름답게 보이도록 화장품을 이용하여 화장을 하게 된다. 이러한 화장품은 그 기능에 따라 기초 화장품, 메이크업 화장품, 기능성 화장품, 모발용 화장품 등으로 구분될 수 있으며, 그 상태에 따라 분말, 액상, 겔상, 고형 화장품으로 구분되어 각 상태에 알맞은 용기에 보관, 사용된다.

상기 메이크업 화장품은 피부색을 균일하게 하고 결점을 커버하기 위하여 사용되는 베이스 메이크업과 입술, 눈, 손톱 등 부분적으로 입체감을 높이는 포인트 메이크업으로 구분되며 베이스 메이크업에는 메이크업베이스, 파운데이션, 파우더 등으로 구성되어 있고, 포인트 메이크업에는 립스틱, 아이라이너, 마스카라 등으로 구성되어 있다.

상기 메이크업 화장품 중에서 베이스 메이크업에 해당하는 파운데이션은 화장료의 형태에 따라 고형 파운데이션, 액상 파운데이션, 겔상 파운데이션으로 구분되며, 고형 파운데이션의 경우 커버력은 높지만 수정 화장 시 뭉치는 단점이 있어 밀착감이 좋은 겔상 파운데이션을 선호하는 사용자들이 많아지고 있다.

상기 겔상 파운데이션은 색조 분말원료에 고착제(binder), 유화제(emulsifier)와 같은 성분을 혼합하고 일정온 도에서 용융, 냉각시킨 뒤 주로 콤팩트 용기에 내장되며, 화장을 할 때 퍼프 등과 같은 화장도구에 의해 얼굴 화장을 하는데 사용된다.

이러한 화장품을 보관하는 용기의 경우 자외선에 의한 변색을 방지하고 외관에 표현되는 형상의 원활한 발색을 위하여 내부 또는 외부에 불투명한 층을 포함하는 것이 대부분이다.

이 불투명한 층은 단순히 도료를 이용하여 형성하는 것도 가능하지만 도료에서 발생하는 휘발성 화합물에 의한 화잠품의 오염을 막기 위하여 대부분의 화장품 용기는 금속 증착에 의한 불투명층이 형성되고 있다.

기존의 금속 증착 방법은 PVD 또는 CVD와 같은 기상증착방식을 사용하거나 금속이온을 전기적인 방법으로 석출시키는 도금방식이 주로 사용되고 있다. 특히 기상증착 방식은 금속 층의 두께를 조절하기 용이함과 동시에 부도체의 표면에도 금속층의 형성이 용이하여 많은 분야에서 그 사용이 늘어나고 있다. 하지만 이러한 기상증착 방식은 모재의 고정이 완전하지 못한 경우 모재의 움직임으로 인하여 증착효율이 떨어질 수 있으며, 모재가 고정되어 있더라도 기기에서 발생하는 진동으로 증착효율이 떨어짐과 동시에 증착두께가 균일하지 않다는 문제점을 가지고 있다. 따라서 이러한 진동문제를 해결하기 위한 노력이 필요한 실정이다.

(0001) 대한민국 등록특허 제10-1782144호 (0002) 대한민국 등록특허 제10-0215544호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 용기 표면에 알루미늄증착시 진동을 흡수하는 것으로 알루미늄이 용기에 균일하게 증착될 수 있는 알루미늄 증착 공법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 용기에 전달되는 진동을 최소화하는 것으로 진동에 의한 알루미늄의 탈락을 방지하여 알루미늄 증착효율을 극대화할 수 있는 알루미늄 증착 공법을 제공하는 것이다.

본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계; 상기 거치대를 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계; 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계; 및 상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계를 포함하는 알루미늄 증착 공법을 제공한다.

일 실시예에 있어서, 상기 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계는, 증착 대상물의 개구부에 거치용 마개를 설치하는 단계; 및 상기 거치용 마개의 팽대부를 관통하여 설치되는 연결통로를 상기 거치대와 연결하는 단계를 포함하며; 상기 거치용 마개는, 원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥 또는 육각기둥의 형상으로 제조되는 팽대부; 상기 팽대부를 길이방향으로 관통하며, 상기 팽대부가 팽창하는 경우 상기 증착 대상물의 내부와 외부를 연결하는 연결통로; 상기 팽대부의 상면 또는 하면에 설치되며, 상기 팽대부 내부와 외부의 압력차를 일정수준 이하로 유지시키는 압력벨브; 및 상기 팽대부의 측면에 설치되며, 상기 증착케이스의 감압에 따라 상기 증착대상물의 개구부 내부와 밀착되는 밀착부를 포함하며, 상기 거치대는, 상기 거치용 마개의 연결통로가 연결되는 연결부; 상기 연결부가 일정간격으로 형성된 이송레일; 상기 이송레일이 길이방향으로 배열되어 있으며, 상기 거치용 마개를 상하로 이동시키는 이송부; 및 상기 이송부가 연결되어 있는 수직바를 포함하며, 상기 거치용 마개는 상기 이송레일의 움직임에 따라 상기 증착 대상물을 상하방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있으며, 상기 연결부는 상기 거치용 마개 및 이에 연결된 증착대상물을 회전시킬 수 있으며; 상기 거치대를 상기 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계는, 상기 거치대의 상단과 하단을 상기 거치용 지그에 연결하는 단계; 및 상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하기 위한 전극을 연결하는 단계; 를 포함하며, 상기 거치용 지그는, 상기 증착케이스 상측 및 하측 내부에 설치된 지그본체; 상기 지그본체에 일정한 간격으로 설치되며, 상기 거치대의 상부 및 하부가 고정되는 상, 하측 지지판; 상하방향으로 연장되도록 구비되며 상하단이 상기 상, 하측 지지판에 고정되어 상, 하측 지지판을 상호고정하는 복수개의 지지바; 및 상기 상, 하측 지지판에 상호 대응되도록 회전가능하게 결합되는 상, 하측 지지축을 포함하며, 상기 거치대는 상기 상, 하측 지지축에 탈착가능하도록 고정되며, 상기 상, 하측 지지축은 외부의 진동과 충격을 흡수하는 충격흡수수단을 포함하며, 상기 충격흡수수단은; 상기 상하측 지지판에 연결된 고분자 탄성체; 상기 고분자 탄성체와 일측이 연결되는 에어백; 상기 에어백의 일측에 연결되어 에어백의 내부와 외부악력의 차를 일정하게 유지하는 압력벨브; 및 상기 에어백의 타측에 연결되는 지지축 고정수단을 포함하며; 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계는, 상기 증착케이스 내부를 밀폐하는 단계; 상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하여 상기 증착대상물을 상하 연속적으로 이동시키는 단계; 상기 거치용 지그를 회전시켜 상기 거치대를 회전시키는 단계; 및 상기 증착케이스 일측에 설치된 진공펌프를 가동하여 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계를 포함하며, 상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계는, 상기 증착케이스 내부에 위치하는 알루미늄을 물리적으로 증발시키는 단계; 및 상기 증발된 알루미늄을 상기 증착대상물의 표면에 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 증착 공법을 제공한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 증착 대상물을 회전시키며 이동함에따라 증착대상물의 표면에 균일하게 즉창층의 형성이 가능하다.

또한 증착대상물이 고정된 거치대를 이송레일을 통하여 상하로 이송시키는 것으로 기존의 증착 공법에 비하여 상하 대상물의 증착이 균일하게 수행될 수 있는 알루미늄 증착공법을 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 발명 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 알루미늄 증착장치의 내부를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 증착대상물과 거치용 마개의 결합관계를 나타낸 것이가.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 거치대를 상세히 타나낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 충격흡수수단을 상세히 나타낸 것이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

한편, 본 명세서에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고 "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.

본 발명은 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계; 상기 거치대를 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계; 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계; 및 상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계를 포함하는 알루미늄 증착 공법에 관한 것이다.

본 발명에서 사용되는 증착 장치는 증착케이스(300), 상기 증착 케이스 내부에 위치하는 거치용 지그(400), 상기 거치용 지그에 일정간격으로 설치되는 거치대(100)를 포함하며, 상기 거치대(100)에는 거치용 마개와 결합된 다수개의 증착 대상물(200)이 거치될 수 있다(도 1 참조).

상기 증착대상물(200)은 표면에 알루미늄이 증착될 대상물을 의미하는 것으로 일반적으로는 일측에 개구부를 가지는 용기가 사용될 수 있지만, 본 발명의 경우 공기의 압력으로 상기 증착대상물을 고정할 수 있으므로, 일측이 개방된 컵형태의 용기를 증착시키는 것도 가능하다.

기존의 증착 장치의 경우 상기 거치대에 상기 증착대상물을 고정하는 것에 있어서, 끝이 뾰족한 거치대를 사용하는 경우가 있었다. 하지만 이 경우 증착 대상물의 외부뿐만 아니라 내부까지도 증착이 일어날 수 있으며, 특히 내부의 경우 그 구조상 균일한 증착이 어렵다는 문제점을 가지고 있다. 이를 해결하기 위하여 용기의 일측에 형성된 나사산을 이용하여 용기를 고정함과 동시에 밀폐하여 증착을 하는 방법이 수행되고 있다. 하지만 이 방법 역시 나사산을 가지는 용기만을 사용할 수 있을 뿐만 아니라 나사산의 결합부분에도 증착됨에따라 분리가 불가능하거나 분리중 깨어지는 불량이 발생한다. 하지만 본 발명의 경우 공기의 압력을 이용하여 팽창하는 팽대부를 이용하여 상기 증착대상물을 고정함에 따라 증착대상물의 종류와 관계없이 고정할 수 있으며, 단순리 압력이 제거되면 용이하게 분리할 수 있어 불량의 발생을 최소화할 수 있다.

이를 위하여 상기 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계는, 증착 대상물의 개구부에 거치용 마개를 설치하는 단계; 및 상기 거치용 마개의 팽대부를 관통하여 설치되는 연결통로를 상기 거치대와 연결하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 거치용 마개는 상기 증착대상물(200)을 상기 거치대(100)에 고정함과 동시에 상기 증착대상물(200)의 내부로 증착될 알루미늄이 침투하지 못하도록 막는 역할을 수행할 수 있다.

이때 상기 거치용 마개는 원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥 또는 육각기둥의 형상으로 제조되는 팽대부; 상기 팽대부를 길이방향으로 관통하며, 상기 팽대부가 팽창하는 경우 상기 증착 대상물의 내부와 외부를 연결하는 연결통로; 상기 팽대부의 상면 또는 하면에 설치되며, 상기 팽대부 내부와 외부의 압력차를 일정수준 이하로 유지시키는 압력벨브; 및 상기 팽대부의 측면에 설치되며, 상기 증착케이스의 감압에 따라 상기 증착 대상물의 개구부 내부와 밀착되는 밀착부를 포함할 수 있다(도 2 참조).

상기 팽대부(120)는 상기 팽대부의 내부와 외부의 압력의 차이에 따라 팽창하는 것으로 상기 증착 대상물을 고정하는 역할을 수행할 수 있다. 이를 위하여 상기 팽대부는 상기 증착대상물과 접촉하는 측면의 밀착부(121)와 후술할 연결통로가 관통되는 상하면(123, 124)으로 구성될 수 있다.

상기 팽대부의 측면인 밀착부(121)는 상기 팽대부 내외부의 압력차이로 인하여 팽창 및 수축되는 부분으로 상기 상하면과 동일한 재질로 제작될 수 있지만 원활한 팽창과 공정을 위하여 얇은 두께로 제작되는 것이 바람직하다. 이를 통하여 상기 팽대부의 팽창은 주로 상기 밀착부(121) 부분에서 일어날 수 있으며, 상기 상하면의 팽창은 억제되어 상기 증착 대상물의 고정을 원활하게 수행할 수 있다.

또한 상기 밀착부(121)는 상기 증착대상물의 내부 형상에 따라 다양한 크기 및 모양을 가질 수 있으며, 상기 상하면에 비하여 얇은 두께로 제작됨에 따라 강도를 보강하기 위한 보강구조가 상기 측면부의 내측에 설치될 수 있다.

상기 상하면(123, 124)은 상기 밀착부에 비하여 두꺼운 두께를 가지도록 제작될 수 있으며, 이에 따라 상기 팽대부 내외부의 압력차이에 의해서도 상대적으로 적게 부풀 수 있다. 이를 통하여 상기 팽대부가 일정한 형상을 유지할 수 있도록 할 수 있다. 또한 상기 상하면(123, 124)은 상기 증착대상물(200)의 입구를 밀폐하는 역할을 수행할 수 있으며, 이에 따라 상기 증착대상물의 내부로 상기 알루미늄이 침투하는 것을 방지할 수 있다.

아울러 상기 팽대부는 고분자 탄성체를 이용하여 제작될 수 있으며, 이 경우 다회사용으로 인하여 표면에 알루미늄의 증착층이 형성되더라도 상기 팽대부를 탄성 변형시키는 것으로 상기 증착층을 용이하게 제거하여 재사용할 수 있다.

상기 연결통로(110)는 상기 팽대부를 관통하여 설치되는 것으로 상기 팽대부의 내부 즉 상기 증착 대상물의 내부와 외부 공간을 연결하는 부분이다. 본 발명의 알루미늄 증착공정은 진공하에서 수행되므로, 상기와 같은 연결통로를 설치하지 않는 경우 상기 증착대상물 내외부에 큰 압력 차이가 발생할 수 있으므로 이를 완화하여 상기 증착공정에서 상기 증착 대상물의 파손을 막을 역할을 수행할 수 있다. 또한 상기 연결통로(110)가 일정길이를 초과하는 경우에서는 상기 알루미늄의 증착이 상기 연결통로(110)의 내부에서만 수행되므로 상기 증착대상물(200)의 내부에는 증착이 이루어지지 않으면서도 기체의 교환이 가능하다. 이를 위하여 상기 연결통로는 내경이 2~10mm를 가지며, 5~20cm의 길이를 가질 수 있다. 상기 범위 미만인 경우 증착시 증착 대상물과 외부의 기체교환이 원활하지 않으며, 상기 범위를 초과하는 경우 증착시 알루미늄이 상기 연결통로(110)를 통과하여 상기 증착대상물(200)의 내부에 증착될 수 있다.

상기 압력벨브(122)는 상기 팽대부의 내부와 상기 증착케이스 내부의 압력의 차이를 일정하게 유지시키는 부분으로, 이를 통하여 상기 팽대부과 과하게 팽창되거나 수축되는 것을 막는 역할을 한다. 상기 팽대부의 경우 상기 증착대상물(200)을 고정하기 위하여 일정한 압력을 현성하는 것이 바람직하다. 하지만 본 발명의 증착 케이스(300)의 경우 증착시 진공까지 감압되므로 상기 팽대부가 대기압하에서 유지하는 압력이 변화하지 않는 경우 과도한 팽창으로 상기 증착대상물(200)이 파손될 수 있다. 또한 상기 진공으로 감압된 상태에서 상기 팽대부를 조절하는 경우 진공이 해제되어 대기압으로 압력이 변화되면 상기 팽대부가 과도하게 수축하여 상기 증착대상물(200)을 고정하지 못할 수도 있다. 따라서 상기 팽대부에 상기 압력벨브(122)를 설치하는 것으로 상기 팽대부의 내부와 상기 증착케이스(300) 사이의 압력을 일정수준으로 유지하는 것이 바람직하다. 이러한 압력벨브를 일정한 압력차이에 의하여 개폐가 결정되는 양방향 벨브가 사용될 수도 있지만, 일정한 압력차이에 의하여 개폐되는 일방향 벨브를 2개 서로 반대방향으로 설치할 수도 있다.

이러한 압력벨브(122)로 인하여 상기 진공증착시 상기 팽대부가 일정한 압력을 가지고 팽창을 유지할 수 있으며, 증착이 완료된 이후 진공이 해제되면 팽대부의 내부와 외부가 동일한 압력을 가질 수 있어 상기 증착 대상물을 용이하게 고정할 수 있다.

상기와 같이 거치용 마개가 설치된 증착대상물(200)은 상기 증착 케이스(300)에 장입되기 위하여 거치대(100)에 거치될 수 있다. 상기 거치대(100)는 상기 거치용 마개에 의하여 고정된 증착 대상물이 거치되는 부분으로 수직방향으로 길게 형성되며, 상기 증착대상물이 다수개 거치될 수 있는 형상으로 제조될 수 있다.

즉 상기 거치대는 상기 거치용 마개의 연결통로가 연결되는 연결부; 상기 연결부가 일정간격으로 형성된 이송레일; 상기 이송레일이 길이방향으로 배열되어 있으며, 상기 거치용 마개를 상하로 이동시키는 이송부; 및 상기 이송부가 연결되어 있는 수직바를 포함할 수 있다(도 3 참조).

상기 연결부(140)는 상기 거치용 마개의 연결통로(110)가 연결되는 부분으로 상기 연결통로(110)를 이용하여 상기 증착대상물(120)을 고정하게 된다. 즉 상기 증착 대상물(200)은 상기 거치대(100)에 직접 고정되는 것이 아닌 상기 팽대부의 중심을 관통하는 연결통로(110)를 이용하여 상기 거치대의 연결부(140)에 연결될 수 있으며, 이에 따라 상기 증착대상물의 외부는 아무 접촉없이 상기 거치대에 거치될 수 있다.

상기 연결부(140)는 상기 거치용 마개 및 이에 연결된 증착대상물(200)을 회전시킬 수 있다. 상기 증착대상물의 증착시 알루미늄 증기는 상기 증착 케이스(300)의 하부에서 발생하게 된다. 이때 상기 알루미늄 증기가 상기 증착케이스(300) 내부를 가득 채우며 증착이 수행되지만 중력에 의한 영향 및 국부적인 유동 등으로 인하여 상기 알루미늄 증기의 농도구배가 발생할 수 있다. 이때 상기 증착 대상물(200)이 고정되어 있으면, 상기 농도구배에 의하여 증착에 불균일성이 발생할 수 있으므로 상기 연결부를 회전시키는 것으로 상기 증착대상물의 표면에 상기 알루미늄이 균일하게 증착되도록 할 수 있다.

또한 상기 연결부(140)의 회전을 위하여 추가적인 회전 수단을 연결할 수도 있지만, 후술할 이송레일의 움직임을 이용하여 상기 연결부를 회전시키는 것도 가능하다. 이를 상세히 살펴보면, 상기 이송레일에 연결된 상기 연결부는 이송레일의 움직임에 의하여 상하로 이송될수 있다. 이때 상기 연결부의 측면에 각각 두개의 이송레일을 설치하고 이 이송레일을 상이한 속도로 움직이게되면 이송레일이 움직이는 속도의 차이에 의하여 상기 연결부가 회전될 수 있다. 득 상기 이송레일의 움직임을 이용하여 사이 연결부에 별다른 회전수단을 설치하지 않고서도 상기 연결부를 회전시키는 것이 가능하다.

상기 연결부(140)는 상기 연결통로(110)의 공기유동을 원활하게 하기 위한 구조를 가질 수 있다. 상기 연결통로의 경우 상기 증착대상물의 내부와 외부를 연결하여 압력차이를 없에 주는 역할을 수행하므로 이러한 공기유동을 원활하게 하는 구조는 가짐으로써 압력차이에 의한 증착 대상물의 파손을 방지할 수 있다. 이를 위하여 상기 연결부는 측면이 다공성을 가지는 파이프 형상으로 제조되거나 상기 연결통로가 연결되는 부분의 반대면이 개방되는 구조를 가질 수 있다.

상기 이송레일은 상기 연결부가 연결되어 상기 증착대상물을 상하방향으로 연속적으로 이동시키는 수단으로, 상기 이송부(150)의 내부에 설치되어 있으며, 상기 증착 대상물을 상하방향으로 이동시켜 균일한 증착이 수행되도록할 수 있다. 위에서 살펴본 바와 같이 상기 증착 케이스 내부에는 알루미늄 증기가 가득차서 증착이 수행되지만 중력의 영향등으로 인하여 알루미늄의 증착두께가 상이할 수 있다. 기존의 증착 장치에서는 이를 개선하기 위하여 상기 증착 대상물을 회전시키는 것에 그치고 있지만 본 발명의 경우 상기 증착대상물을 상하로 이동시켜 균일한 증착이 되도록 할 수 있다. 즉 상기 이송레일은 상기 증착대상물이 거치되는 연결부를 상하방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있도록 상기 거치대에 설치되는 것이 바람직하다.

또한 위에서 살펴본 바와 같이 상기 연결부의 측면에 2개의 이송레일을 설치하며, 각 이송레일을 상이한 속도로 움직이도록 하는 것으로 상기 증착대상물의 상하 이동과 회전이동을 동시에 수행할 수 있다.

상기 이송레일은 상기 증착대상물이 거치된 연결부를 상하로 이송시킬 수 있는 것이라면 제한없이 사용할 수 있으며, 바람직하게는 고분자 화합물로 제조된 벨트형 레일을 사용할 수 있다. 상기 벨트형 레일은 내부에 일정한 간격으로 이빨이 형성되어 있으며, 탄성을 가지고 있으므로 일정한 형상을 구부려 사용할 수 있다. 따라서 상기 거치대에 상하로 연결된 레일용 홈인 이송부를 제작한 다음, 이부분에 상기 벨트형 레일을 양쪽으로 삽입하고 상기 벨트형 레일 사이에 상기 연결부를 삽입하는 경우 상기 벨트형 레일의 움직임에 따라 상기 연결부를 상하로 이송시킬 수 있다.

또한 상기 이송부(150)는 상기 거치대의 길이방향으로 길게 연결되어 있으며, 인접한 이송부(150)와 연결되도록 설치되므로 상기 연결부(140)는 상기 이송부(150)를 따라 상기 거치대의 상하부를 왕복하면서 이송될 수 있다.

상기와 같이 증착대상물이 거치된 거치대(100)는 상기 증착케이스(300) 내부에 위치하는 거치용 지그(400)에 고정될 수 있다. 이때 상기 거치용 지그는 상기 거치대를 2~10개 고정할 수 있도록 제작될 수 있으며, 중심부에 회전축을 가지며, 상기 거치대가 상기 회전축을 중심으로 동일한 거리에 설치되므로 증착시 이를 회전시켜 균일한 증착이 되도록 할 수 있다.

이때 상기 거치대를 상기 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계는, 상기 거치대의 상단과 하단을 상기 거치용 지그에 연결하는 단계; 및 상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하기 위한 전극을 연결하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 거치대의 상단과 하단을 상기 거치용 지그에 연결하는 단계는 상기 거치용 지그에 설치된 상, 하측 지지축에 상기 거치대를 결합하여 거치할 수 있으며, 이때 본 발명의 경우 상기 상, 하측 지지축이 탄성체(130)를 이용하여 연결되기 때문에 상기 상, 하측 지지축을 압축하여 연결을 위한 공간을 확보할 수 있다.

또한 본 발명의 상, 하측 지지축은 위에 나타난 바와같이 절연성 물질인 탄성체를 이용하여 연결되기 때문에 상기 거치용 지그와 상기 거치대는 전기적으로 연결되지 않으므로 상기 거치대의 이송레일을 작덩시키기 위하여 전극을 추가적으로 연결하는 것이 바람직하다. 이때 사용되는 전극은 상기 이송레일을 가동시킬 수 있는 전극 연결방법이라면 제한없이 사용될 수 있다.

상기 거치용 지그를 상세히 살펴보면, 상기 증착케이스 상측 및 하측 내부에 설치된 지그본체; 상기 지그본체에 일정한 간격으로 설치되며, 상기 거치대의 상부 및 하부가 고정되는 상, 하측 지지판; 상하방향으로 연장되도록 구비되며 상하단이 상기 상, 하측 지지판에 고정되어 상, 하측 지지판을 상호고정하는 복수개의 지지바; 및 상기 상, 하측 지지판에 상호 대응되도록 회전가능하게 결합되는 상, 하측 지지축을 포함할 수 있다.

상기 지그 본체는 상기 증착케이스의 상부 및 하부에 설치되는 원형 또는 다각형의 판으로서, 중심축을 기준으로 일방향으로 회전하도록 제작될 수 있다. 이를 통하여 상기 거치대에 거치된 상기 증착 대상물이 상기 중심출을 기존으로 회전할 수 있으며, 이에 따라 상기 증착대상물이 균일하게 증착될 수 있다. 즉 본 발명의 경우 상기 증착대상물은 상기 연결통로를 기준으로 자전하며, 상기 거치대의 길이방향으로 움직이며, 상기 거치대의 중심축을 중심으로 공전하며, 상기 지그 본체의 중심을 기준으로 회전하는 4가지 움직임을 통하여 복합적으로 이동하게 되므로 상기 알루미늄 증기가 일부 농도구배를 가지더라도 균일하게 증착이 가능하다.

상기 상하측 지지판(410, 420)은 상기 거치대의 상측 및 하측을 고정하는 판으로 상기 거치대를 일정한 간격으로 고정할 수 있다. 이를 통하여 각 증착대상물 사이에 적절한 간격을 유지할 수 있으며, 원활한 증착이 될 수 있다.

상기 지지바(430)는 상기 상하측 지지판을 연결하는 것으로 상기 상하측 지지판의 거리를 유지하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 상, 하측 지지판(410, 420)의 경우 상기 거치대(100)가 다수개 설치됨에 따라 많은 하중이 가해질 수 있으며, 특히 상기 거치대별로 상이한 증착 대상물이 거치되거나 일부 거치대(100)에만 증착 대상물(200)이 거치되는 경우 한쪽으로 무게가 집중되어 회전축이 틀어지는 편심현상이 나타날 수 있다. 이를 방치하는 경우 상기 거치용 지그의 회전이 불가능해질 수 있으며, 이는 불균일한 증착을 유발할 수 있다. 이를 방지하기 위하여 상기 상, 하측 지지판의 사이에 지지바(430)를 설치하는 것으로 하중에 의한 편심현상을 최소화함과 동시에 상, 하측 지지판의 강성을 유지할 수 있다. 상기 지지바(430)는 상기 거치대의 하중을 분산할 수 있는 크기와 수량을 가질 수 있으며, 바람직하게는 2~6개가 설치될 수 있다. 상기 지지바가 2개 미만으로 설치되는 경우 지지효과가 떨어질 수 있으며, 6개를 초과하여 설치되는 경우 상기 지지바(430)의 간섭으로 인하여 거치대의 설치가 어려울 수 있다.

상기 상하측 지지축은 상기 상하측 지지판에 연결되어 상기 거치대를 지지하는 부분으로 상기 상, 하측 지지판에 각각 대응되는 위치에 설치되는 것으로 상기 거치대를 수직으로 거치할 수 있도록 할 수 있다. 또한 상기 상하측 지지축에는 충격흡수수단을 구비하는 것으로 상기 증착 설비의 작동시 발생하는 진동을 흡수하여 상기 증착이 원활하게 될 수 있도록 할 수 있다.

이를 상세히 살펴보면 상기 증착 설비의 가동시 각종 모터 가열장치 등으로 인하여 많은 진동이 발생할 수 있다. 기존의 증착 설비의 경우 이러한 진동이 상기 증착 대상물에 직접적으로 전달되어 증착이 알루미늄 증기가 정상적으로 정착되지 못하여 불량이 발생하거나. 증착시간에 비하여 얇은 두께만 증착되는 비효율이 발생하였다. 하지만 본 발명의 경우 상기 거치대의 지지축에 충격흡수수단을 구비하는 것으로 외부에서 발생한느 진동을 흡수할 수 있으며, 상기 증착대상물이 거치되는 팽대부 역시 탄성을 가지는 물질로 제작하고 있으므로 상기 증착대상물에 가해지는 진동을 최소화할 수 있다.

이러한 충격흡수수단을 상세히 살펴보면, 상기 상하측 지지판에 연결된 고분자 탄성체; 상기 고분자 탄성체와 일측이 연결되는 에어백; 상기 에어백의 일측에 연결되어 에어백의 내부와 외부악력의 차를 일정하게 유지하는 압력벨브; 및 상기 에어백의 타측에 연결되는 지지축 고정수단을 포함할 수 있다(도 4 참조).

상기 고분자 탄성체(131)는 상기 상하측 지지판에 연결되어 1차적인 진동을 흡수하는 수단으로 원형 또는 다각형의 기둥으로 제조될 수 있다. 상기 고분자 탄성체의 일측은 상기 지지판(410, 420)과 결합되어 있으며, 타측은 후술할 에어백(130)과 연결되어 있어 상기 증착 케이스를 통하여 전달되는 진동을 1차적으로 흡수하는 역할을 수행할 수 있다.

상기 에어백(130)은 일측이 상기 고분자 탄성체(131)의 타측에 연결되는 부분으로 내부에 빈공간을 가지고 있어 일정한 크기로 부풀려져 있는 형상으로 제작될 수 있다. 이를 통하여 상기 에어백(130)은 수평방향 뿐만 아니라 수직방향의 진동을 흡수할 수 있으며, 특히 수직방향의 진동을 흡수하여 상기 증착 대상물에 전해지는 진동을 최소화할 수 있다. 또한 이 에어백은 가압하는 경우 용이하게 압축될 수 있으므로 상기 거치대(100)를 설치하기 위하여 압축하는 경우 용이하게 길이가 변화하여 상기 거치대(100)를 손쉽게 연결할 수 있도록 할 수 있다. 아울러 상기 거치대(100)가 연결된 이후 상기 에어백(130)에 추가적인 공기를 주입하게 되면, 상기 거치대를 고정할 수 있으므로 증착 공정동안 상기 거치대가 상기 거치용 지그에서 이탈되는 것을 막는 역할을 수행할 수 있다.

상기 에어백(130)의 형상을 상세히 살펴보면 상기 애어백은 외관이 구형을 가지거나 사각형의 판형을 가질 수 있다. 상기 에어백이 구형의 외관을 가지는 경우 상기 구형 에어백의 내부에는 공동이 형성되어 일정한 압력의 공기가 충전될 수 있으며, 상기 공기의 압력에 따라 에어백의 단단함의 정도가 정해질 수 있다. 또한 상기 에어백이 사각형의 판형을 가지는 경우 사각형의 탄성판 두장을 테두리 부분을 접합하여 제조될 수 있다. 이때 상기 공기응 상기 사각형의 판사이에 주입될 수 있으며, 이에 따라 상기 사각형의 에어백 중앙부가 부풀어 올라 탄성을 형성할 수 있다. 상기 구형의 에어백의 경우 진동흡수 효율이 뛰어나지만 제작이 어렵고 내구성이 떨어질 수 있으며, 상기 자각형의 판형 에어백은 제작이 용이하며 내구성이 뛰어나지만 진동흡수 능력이 떨어질 수 있으므로 적절히 선택하여 사용하는 것이 바람직하다.

상기 에어백에는 압력 벨브가 설치될 수 있다. 상기 압력 벨브는 상기 팽대부에 설치된 압력밸브와 동일한 역할을 수행하는 것으로 외부가 진공으로 변화됨에따라 상기 에어백 내부와 외부의 압력차이를 일정하게 유지하여 상시 에어백이 적절한 압력을 유지할 수 있도록 하는 부분이다. 또한 상기 에어백의 경우 외부에서 공기를 주입할 수 있는 공기주입부가 설치될 수 있으며, 이 공기주입부는 원활한 주입을 위하여 상기 고분자 탄성체를 관통하여 상기 에어백에 연결될 수 있다. 이‹š 상기 공기주입부가 상기 고분자 탄성체의 외부에 노출되어 설치되는 경우 상기 증발케이스 내부가 진공으로 변화됨에 따라 공기주입부가 파손될 수 있으므로 이를 상기 고분자 탄성체의 내부에 설치하는 것으로 압력변화에 따른 파손을 최소화할 수 있다.

상기 에어백의 타측에는 지지축 고정수단을 포함할 수 있다. 상기 지지출 고정수단은 상기 지지출을 상기 에어백에 연결하는 수단으로 상기 지지출을 통하여 상기 저치대가 상기 에어백과 연결될 수 있다. 즉 상기 충격흡수수단의 경우 상기 상하측 지지판에 모두 설치되는 것이 바람직하며, 상기 충격흡수수단을 통하여 상기 거치대가 상기 상, 하측 지지판에 연결되도록 하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 거치대(100)를 거치용 지그에 고정한 다음, 상기 증착 케이스(300)를 밀폐하고 내부를 진공으로 전환할 수 있다. 즉 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계는, 상기 증착케이스 내부를 밀폐하는 단계; 상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하여 상기 증착대상물을 상하 연속적으로 이동시키는 단계; 상기 거치용 지그를 회전시켜 상기 거치대를 회전시키는 단계; 및 상기 증착케이스 일측에 설치된 진공펌프를 가동하여 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계를 포함할 수 있다.

상기 증착케이스(300) 내부를 밀폐하는 단계는 상기 거치대를 설치하기 위하여 일측을 개방한 증착케이스를 밀폐하는 단계로, 상기 증착 케이스 내부를 진공상태로 만들기 위하여 수행하는 단계이다. 이‹š 상기 증착케이스는 상기 거치대의 출입을 위한 도어(310)가 설치되어 있으므로 이 도어를 밀폐하여 상기 증착케이스 내부를 밀폐할 수 있다.

상기와 같이 증착케이스(300)가 밀폐된 이후 상기 거치대의 이송레일을 가동하여 상기 증착대상물을 이동시킬 수 있다. 또한 이때 상기 거치대의 회전과 상기 저치용 지그의 회전을 동시에 수행하여 위에서 살펴본 바와 같이 상기 증착대상물이 4가지 방향으로 복합적인 이동을 할 수 있도록 한다.

상기와 같이 증착 대상물이 정상적으로 이동되는 것이 확인된 이후 진공펌프를 가동하여 상기 증착 케이스 내부를 진공상태로 감압하며, 이후 알루미늄의 증착을 수행할 수 있다. 상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계는 상기 증착케이스 내부에 위치하는 알루미늄을 물리적으로 증발시키는 단계; 및 상기 증발된 알루미늄을 상기 증착대상물의 표면에 증착시키는 단계를 포함할 수 있다.

상기 진공상태로 감압하는 단계는 진공펌프를 이용하여 수행될 수 있으며, 이때 상기 팽대부 및 에어백에 설치된 압력벨브에 의하여 상기 팽대부와 상기 에어백의 내부와 외부 압력이 일정하게 유지될 수 있다는 것은 위에서 살펴본바와 같다.

상기 증착 케이스의 내부에는 알루미늄의 공급원(320)이 설치되어 있으며, 이 알루미늄 공급원을 물리적으로 증발시켜 상기 증착 대상물의 표면에 증착을 수행할 수 있다. 이때 상기 알루미늄의 공급원은 단순히 말루미늄으로 구성된 금속판, 호일, 금속분말 또는 금속괴를 사용할 수 있다. 특히 알루미늄 호일의 경우 후술할 물리적인 수단에 의하여 빠르게 증발될 수 있으므로 이를 사용하는 것이 더욱 바람직하다.

상기 알루미늄 공급원(320)은 물리적인 수단에 의하여 증발될 수 있다. 이때 사용되는 물리적인 수단은 열, 전자빔 또는 이온화된 기체가 사용될 수 있으며, 상기 알루미늄 공급원의 표면에 일정이상의 에너지를 가하여 상기 알루미늄을 증발시킬 수 있다. 열을 물리적인 수단으로 사용하는 경우 상기 알루미늄 공급원의 표면 또는 주변에 가열장치를 설치하여 상기 알루미늄을 가열할 수 있으며, 대기압하의 가열과는 달리 진공상태에서 가열되므로 낮은 온도에서도 알루미늄이 증발될 수 있다. 다만 상기 열증발법의 경우 장치가 간단하여 설치에 가장 작안 비용이 필요하지만 증발되는 알루미늄 입자가 균일하지 못하므로 균일한 증착이 어렵다는 단점을 가지고 있다.

전자빔을 이용한 증발법의 경우 상기 알루미늄 공급원의 표면에 전자빔을 조사하여 증발시키는 방법으로, 흔히 이온 플레이팅으로 지칭할 수 있다. 이러한 전자빔 증발법의 경우 균일한 증발이 가능하지만, 이온빔을 제어하는 전자석의 제어가 어려우며, 커다란 크기를 필요로 한다.

이온화된 기체를 사용하는 방법은 상기 진공상태의 증착 케이스에 아르곤을 주입한 다음, 증착 대상물에 음극을 연결하고 알루미늄 공급원에 양극을 연결하고 전력을 공급하여 수행될 수 있다. 이러한 이온화된 기체를 이용하는 방법은 증발된 알루미늄의 대부분이 전기적인 인력에 의하여 증착대상물에 증착되므로 증착효율이 우수하지만, 전도체로 제작되는 증착대상물에만 사용할 수 있다.

본 발명의 경우 상기 전자빔을 이용한 증방법을 사용하는 것이 바람직하지만, 상황에 따라 열 또는 이온화된 기체를 사용하는 증발법을 선택하여 사용하는 것도 가능하다.

상기와 같이 증착이 완료된 이후 상기 증착 케이스 내의 진공을 해제한 다음, 상기 거치대를 제거하고 각 증착대상물을 분리하여 수거할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.

실시예 1

도 1에 나타난 증착장치를 이용한 증착공법을 수행하였다.

직경 100mm, 높이 100mm의 유리재질의 화장품 케이스를 사용하였으며, 10개를 도 3과 동일하게 제작된 거치대에 거치한 다음, 상기 거치대 5개를 거치용 지그에 설치하여 실험을 수행하였다. 이때 상기 이송용 레일을 이용하여 상기 화장품 케이스를 20rpm으로 회전시키며 5m/min의 속도로 상기 거치대를 상하이동하도록 속도를 조절하였다. 또한 상기 거치대는 10rpm으로 회전하며, 거치용 지그는 15rpm으로 회전하도록 하였다.

실시예 2

상기 실시예 1에서 팽대부를 가지는 거치용 마개 대신 기존에 사용하는 나사산을 이용하여 화장품 케이스를 고정하는 거치용 마개를 사용한 것을 제외하고 동일하게 실시하였다.

실시예 3

상기 실시예 1에서 진동흡수수단을 사용하지 않고 상기 거치대를 연결한 것을 제외하고 동일하게 실시하였다.

실시예 4

상기 실시예 1에서 이송레일을 같은속도로 움직여 화장품 케이스를 회전시키지 않은 것을 제외하고 동일하게 실시하였다.

실시예 5

상기 실시예 1에서 이송용 레일을 가동하지 않은 것을 제외하고 동일하게 실시하였다.

실시예 6

상기 실시예 1에서 상기 거치대의 회전 및 거치용 지그의 회전을 수행하기 않은 것을 제외하고 동일하게 실시하였다.

실험예

상기 실시예 1~6에서 제작된 유리재질의 화장품 케이스 표면에 증착된 알루미늄층의 두께를 측정하여 증착효율 및 증착의 균일성을 측정하였다. 증착의 균일성은 각 화장품 케이스의 5지점에서 증착두께를 측정한 다음, 전체 평균두께와의 차이를 기록하였다.

	평균 증착 두께(t)	증착두께 차이(Δt)
실시예 1	65nm	2nm
실시예 2	46nm	3nm
실시예 3	38nm	3nm
실시예 4	61nm	11nm
실시예 5	62nm	18nm
실시예 6	62nm	16nm

표 1에 나타난 바와 같이 본 발명의 실시예 1의 경우 균일한 증착이 완료되었으며, 동일한 시간을 증착하였지만 그 증착 두께도 가장 두꺼운 것으로 나타났다. 팽대부를 사용하지 않은 실시예2 및 진동흡수수단을 사용하지 않은 실시예 3의 경우 진동으로 인하여 증착효율이 떨어짐에 따라 증착두께가 감소하는 것을 확인하였으며, 화장품 케이스의 이동 또는 회전을 수행하지 않은 실시예 4~6의 경우 두께의 편차가 증가하는 것을 확인할 수 있었다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.

100 : 거치대
110 : 연결통로
120 : 팽대부
121 : 밀착부
122 : 압력벨브
123 : 팽대부 상면
124 : 팽대부 하면
130 : 에어백
131 : 고분자탄성체
200 : 증착대상물
300 : 증착케이스
310 : 도어
320 : 알루미늄 공급원
410 : 상측 지지판
420 : 하측 지지판
430 : 지지바

Claims (2)

1. 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계;
   상기 거치대를 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계;
   상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계; 및
   상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계;
   를 포함하는 알루미늄 증착 공법에 있어서,
   상기 거치대에 증착 대상물을 거치하는 단계는,
   증착 대상물의 개구부에 거치용 마개를 설치하는 단계; 및
   상기 거치용 마개의 팽대부를 관통하여 설치되는 연결통로를 상기 거치대와 연결하는 단계;
   를 포함하며,
   상기 거치용 마개는,
   원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥 또는 육각기둥의 형상으로 제조되는 팽대부;
   상기 팽대부를 길이방향으로 관통하며, 상기 팽대부가 팽창하는 경우 상기 증착 대상물의 내부와 외부를 연결하는 연결통로;
   상기 팽대부의 상면 또는 하면에 설치되며, 상기 팽대부 내부와 외부의 압력차를 일정수준 이하로 유지시키는 압력벨브; 및
   상기 팽대부의 측면에 설치되며, 상기 증착케이스의 감압에 따라 상기 증착대상물의 개구부 내부와 밀착되는 밀착부;
   를 포함하며,
   상기 거치대는,
   상기 거치용 마개의 연결통로가 연결되는 연결부;
   상기 연결부가 일정간격으로 형성된 이송레일;
   상기 이송레일이 길이방향으로 배열되어 있으며, 상기 거치용 마개를 상하로 이동시키는 이송부; 및
   상기 이송부가 연결되어 있는 수직바;
   를 포함하며,
   상기 거치용 마개는 상기 이송레일의 움직임에 따라 상기 증착 대상물을 상하방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있으며,
   상기 연결부는 상기 거치용 마개 및 이에 연결된 증착대상물을 회전시킬 수 있으며,
   상기 거치대를 상기 증착케이스 내의 거치용 지그에 설치하는 단계는,
   상기 거치대의 상단과 하단을 상기 거치용 지그에 연결하는 단계; 및
   상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하기 위한 전극을 연결하는 단계;
   를 포함하며,
   상기 거치용 지그는,
   상기 증착케이스 상측 및 하측 내부에 설치된 지그본체;
   상기 지그본체에 일정한 간격으로 설치되며, 상기 거치대의 상부 및 하부가 고정되는 상, 하측 지지판;
   상하방향으로 연장되도록 구비되며 상하단이 상기 상, 하측 지지판에 고정되어 상, 하측 지지판을 상호고정하는 복수개의 지지바; 및
   상기 상, 하측 지지판에 상호 대응되도록 회전가능하게 결합되는 상, 하측 지지축;
   을 포함하며,
   상기 거치대는 상기 상, 하측 지지축에 탈착가능하도록 고정되며,
   상기 상, 하측 지지축은 외부의 진동과 충격을 흡수하는 충격흡수수단을 포함하며,
   상기 충격흡수수단은,
   상기 상하측 지지판에 연결된 고분자 탄성체;
   상기 고분자 탄성체와 일측이 연결되는 에어백;
   상기 에어백의 일측에 연결되어 에어백의 내부와 외부악력의 차를 일정하게 유지하는 압력벨브; 및
   상기 에어백의 타측에 연결되는 지지축 고정수단;
   을 포함하며;
   상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계는,
   상기 증착케이스 내부를 밀폐하는 단계;
   상기 거치대의 상기 이송레일을 가동하여 상기 증착대상물을 상하 연속적으로 이동시키는 단계;
   상기 거치용 지그를 회전시켜 상기 거치대를 회전시키는 단계; 및
   상기 증착케이스 일측에 설치된 진공펌프를 가동하여 상기 증착케이스 내부를 진공상태로 만드는 단계;
   를 포함하며,
   상기 증착케이스 내부에 증착재료인 알루미늄을 증발시키는 단계는,
   상기 증착케이스 내부에 위치하는 알루미늄을 물리적으로 증발시키는 단계; 및
   상기 증발된 알루미늄을 상기 증착대상물의 표면에 증착시키는 단계;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 증착 공법.
2. 삭제

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